KR101673078B1 - 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프 - Google Patents

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Abstract

전극판을 체결하기 위한 탭이 이탈되는 것을 방지하고, 내구성이 우수하며, 탭이 삽입되는 위치가 일정하고, 접착제가 밀려나오지 않으며, 외관이 미려하고, 교체 및 재활용이 용이한 전극판 체결용 클램프를 제시한다. 그 클램프는 상부전극의 보스 삽입홀에 삽입되는 클램프 보스 및 클램프 보스에 끼워지는 클램프 탭을 포함하고, 클램프 탭은 내측은 나사산을 가지고 외주면은 평탄하며 클램프 보스의 외측에 형성된 멈춤링 고정홈을 포함하는 탭 몸체 및 고정홈의 반대측에 위치하고 클램프 보스의 단턱부에 고정되며 탭 몸체로부터 확장되면서 장공 형태를 이루는 탭 날개를 포함한다.

Description

멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프{Clamp for coupling electrode having stop ring}
본 발명은 전극판 체결용 클램프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플라즈마를 발생시키는 상부전극을 챔버 내에 고정시키기 위하여, 멈춤링을 이용하여 체결하는 전극판 체결용 클램프에 관한 것이다.
반도체 소자는 웨이퍼(wafer) 상부에 미세 패턴을 다양하게 형성하고, 필요에 따라 이러한 패턴을 식각하여 제조한다. 일반적으로 식각 공정은 건식 플라즈마 식각(dry plasma etching), 반응성 이온 식각(reactive ion etching), 이온 밀링(ion milling) 등과 같은 건식식각 기술을 적용한다. 건식식각 기술들은 습식식각에서의 수많은 한계를 극복하기 위하여 발전되어 왔다. 특히, 플라즈마 식각은 종방향 식각속도가 횡방향 식각속도보다 크기 때문에, 이를 활용하여 종횡비(aspect ratio)를 적절하게 조절할 수 있다. 플라즈마 식각공정은 플라즈마 처리 장치의 챔버 내에서 진행된다. 즉, 웨이퍼를 챔버 내에 로딩한 후, 챔버에 반응가스를 공급하고 고주파 전원을 인가하여 반응가스를 플라즈마 상태로 만든다. 플라즈마 상태가 된 반응가스는 물리적인 출동에 의해 웨이퍼의 식각공정을 진행한다.
플라즈마는 웨이퍼가 안착되는 하부전극 및 하부전극의 상측에 위치하며 샤워헤드의 기능을 갖는 상부전극 사이에서 발생한다. 이때, 상부전극을 챔버에 고정시키기 위한 클램프가 사용된다. 국내공개특허 제2009-0041132호는 상부전극의 일측에 형성된 삽입홀에 완충탭 및 완충탭의 내측에 헬리코일탭(helicoil tap)을 구비하여, 상부전극을 체결하는 볼트 체결구를 제시하고 있다. 그런데, 상기 볼트 체결구는 완충탭이 상기 체결구의 사용 중에 이탈되는 것을 방지하기 어렵고, 완충탭이 삽입되는 위치를 정확하게 설정할 수 없다.
종래의 체결방식은 상부전극을 볼트로 체결할 때, 힘의 분산이 일어나지 않아서, 상기 탭들이 쉽게 손상될 수 있다. 이에 따라, 탭들의 내구성이 떨어진다. 또한, 종래의 체결방식은 탭들이 나사결합되어 있어서 교체가 용이하지 않고, 재활용이 거의 불가능하다. 만일, 완충탭과 헬리코일탭 또는 헬리코일탭과 삽입홀 사이의 접촉면을 고정시키기 위하여 접착제를 사용하면, 접착제가 상기 탭들의 외부로 밀려나올 수 있다. 나아가, 완충탭 및 헬리코일탭이 상부전극의 외부로 노출되는 면의 외관이 미려하지 않다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 전극판을 체결하기 위한 탭이 이탈되는 것을 방지하고, 내구성이 우수하며, 탭이 삽입되는 위치가 일정하고, 접착제가 밀려나오지 않으며, 외관이 미려하고, 교체 및 재활용이 용이한 전극판 체결용 클램프를 제공하는 데 있다.
본 발명의 과제를 해결하기 위한 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프는 상부전극의 보스 삽입홀에 삽입되는 클램프 보스 및 상기 클램프 보스에 끼워지는 클램프 탭을 포함한다. 이때, 상기 클램프 탭은 내측은 나사산을 가지고 외주면은 평탄하며 상기 클램프 보스의 외측에 형성된 멈춤링 고정홈을 포함하는 탭 몸체 및 상기 고정홈의 반대측에 위치하고, 상기 클램프 보스의 단턱부에 고정되며, 상기 탭 몸체로부터 확장되면서 장공 형태를 이루는 탭 날개를 포함한다.
본 발명의 클램프에 있어서, 상기 클램프 보스는 상기 보스 삽입홀에 삽입되는 보스 몸체 및 상기 보스 몸체로부터 확장되어 상기 상부전극의 단턱부에 고정되는 보스 날개로 이루어진다. 이때, 상기 탭 날개의 두께는 상기 보스 날개의 두께보다 작은 것이 좋다. 상기 보스 날개에는 상기 클램프 보스를 체결하고 해체하기 위한 비트 삽입홀이 형성되어 있을 수 있으며, 상기 클램프 보스는 상기 비트 삽입홀 및 상기 클램프 탭의 중공에 삽입되는 핀을 가진 비트에 의해 체결되고 해체될 수 있다.
바람직한 본 발명의 클램프에 있어서, 상기 멈춤링 고정홈에 장착되는 멈춤링은 상기 보스 몸체와 간격(c)을 이루는 이탈방지부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 간격(c)은 상기 클램프 탭이 움직이도록 허용되는 범위이다. 상기 멈춤링 고정홈에 장착되는 멈춤링은 상기 이탈방지부의 반대편에 위치하며 상기 고정홈에 탄성에 의해 고정하는 탄성 고정부를 포함할 수 있다.
본 발명의 클램프에 있어서, 상기 탭 날개는 평면적으로 보아 직사각형에서 양측의 짧은 모서리가 라운딩된 형태일 수 있다. 상기 탭 날개에서 상기 직사각형의 짧은 모서리 부분의 폭은 상기 직사각형의 긴 모서리 부분의 폭에 비해 크다. 상기 긴 모서리 부분의 폭은 상기 탭 몸체의 외주면과 실질적으로 일치할 수 있다.
본 발명의 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프에 의하면, 일측은 장공 형태의 날개를 구비하고, 타측은 멈춤링으로 고정할 수 있는 클램프 탭을 구비함으로써, 클램프 탭이 삽입되는 위치가 항상 일정하고, 내구성이 우수하며, 클램프 탭이 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 클램프 탭의 날개에 의하여, 접착제가 밀려나오지 않고, 외관을 미려하게 할 수 있다. 나아가, 본 발명의 클램프 탭은 끼워 넣은 구조이므로, 교체가 용이하고 재활용이 가능하다.
도 1은 본 발명에 의한 전극판 체결용 클램프가 적용되는 플라즈마 챔버의 상부전극 및 하부전극을 개략적으로 나타내는 분해사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 전극판 체결용 클램프를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 전극판 체결용 클램프를 나타내는 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 의한 클램프 탭에 적용되는 제1 멈춤링을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 제1 멈춤링의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명에 의한 클램프 보스를 체결하고 해체하기 위한 도구를 설명하기 위한 분해사시도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
본 발명의 실시예는 일측은 장공 형태의 날개를 구비하고, 타측은 멈춤링(stop ring)으로 고정할 수 있는 클램프 탭(clamp tap)을 구비함으로써, 클램프 탭이 삽입되는 위치가 항상 일정하고, 내구성이 우수하며, 클램프 탭이 이탈되는 것을 방지하고, 접착제가 밀려나오지 않으며, 외관이 미려하고, 교체 및 재활용이 용이한 클램프를 제시한다. 이를 위해, 클램프 탭 및 멈춤링의 구조를 구체적으로 살펴보고, 클램프 탭에 의해 얻어지는 효과를 상세하게 설명하기로 한다. 여기서, 클램프 탭은 상부전극을 챔버에 고정하기 위한 클램프를 구성하는 하나의 요소이다. 상부전극은 판 형태이므로, 전극판의 일종이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 전극판 체결용 클램프(100)가 적용되는 플라즈마 챔버의 상부전극 및 하부전극을 개략적으로 나타내는 분해사시도이다.
도 1에 의하면, 플라즈마 챔버의 내부에는 웨이퍼가 탑재되는 하부전극(10), 하부전극(10)과 함께 플라즈마를 형성하는 상부전극(20)이 일정한 간격만큼 이격되어 배치된다. 상부전극(20)에는 전면에 걸쳐 하부전극(10) 방향으로 반응가스를 공급하는 복수개의 가스공급공(22)을 구비한다. 가스공급공(22)을 거친 상기 반응가스는 하부전극(10) 및 상부전극(20) 사이에서 플라즈마 형태로 변환된다. 상부전극(20)은 상기 챔버 내부에 장착된 결합부재(30)에 결착된다. 이를 위해, 결합부재(30)에는 복수개의 결합볼트(32)가 삽입되는 볼트체결구(34)를 포함한다. 볼트체결구(34)에 대응하여, 상부전극(20)에는 본 발명의 실시예에 의한 클램프(100)가 배치된다. 결합볼트(32)는 볼트체결구(34)를 관통하여, 상부전극(20)의 클램프(100)에 체결된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 전극판 체결용 클램프(100)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 절단한 단면도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 의한 전극판 체결용 클램프(100)를 나타내는 분해사시도이다. 이때, 상부전극(20)에 관련된 구조는 도 1을 참조하기로 한다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 클램프(100)는 상부전극(20)에 형성된 보스 삽입홈(24)에 삽입된다. 클램프(100)는 보스 삽입홈(24)에 체결되는 클램프 보스(40) 및 상기 보스(40)에 밀착되어 끼워지는 클램프 탭(50)로 구분된다. 클램프 보스(40)는 보스 몸체(40a) 및 보스 날개(40b)로 이루어진다. 보스 몸체(40a)는 보스 삽입홈(24)과 나사결합하며, 보스 날개(40b)는 상부전극(20)에 형성된 제1 단턱부(26)에 걸리도록 구성된다. 보스 날개(40b)는 제1 단턱부(26)에 걸치기 위하여 보스 몸체(40a)로부터 확장된다. 보스 삽입홈(24)은 나사결합이 용이하도록 원통형의 홈이 바람직하며, 보스 날개(40b)는 굳이 이에 한정하는 것은 아니나, 도 2에서와 같이 평면적으로 보아 원형의 외곽선을 이루는 형태가 좋다.
보스 날개(40b)가 제1 단턱부(26)에 걸쳐지면, 결합볼트(32)로 인하여 가해지는 힘이 상기 보스(40)를 변형시키려는 힘을 분산시킨다. 만일, 보스 날개(40b)가 없으면 결합볼트(32)에 의한 힘이 보스 몸체(40a)에만 작용하나, 보스 날개(40b)가 있으면 상기 힘이 보스 날개(40b)로 분산된다. 이에 따라, 보스 날개(40b)로 인하여 클램프 보스(40)의 내구성이 향상된다. 상기 보스(40)를 보스 삽입홈(24)에 결합시키는 보스 나사산(46)은 드릴 가공 또는 사출 등을 이용하여 제작될 수 있다. 경우에 따라, 보스 날개(40b)에는 보스 날개(40b)를 상부전극(20)에 고정시키기 위한 복수개의 비트 삽입홀(42)을 별도로 둘 수 있다. 상기 삽입홀(42)에 의해, 클램프 보스(40)는 상부전극(20)에 보다 확실하게 체결하고 해체할 수 있다. 이에 대해서는 도 7을 참조하여 설명하기로 한다.
클램프 보스(40)는 열팽창계수가 작고 외부의 충격에 강한 재질이 바람직하다. 열팽창계수가 크면, 실리콘으로 이루어진 상부전극(20)의 파손을 일으킬 염려가 있다. 클램프 보스(40)는 베스펠 및 세라졸 중에 선택된 어느 하나로 이루어질 수 있다. 베스펠 또는 세라졸은 삽입되는 결합볼트(32)를 유동적으로 지지할 수 있으며, 내마모성, 전기절연성, 기계적 물성 및 내화학성이 우수한 폴리아미노계 소재이다.
클램프 탭(50)은 탭 몸체(50a) 및 탭 날개(50b)로 이루어지며, 클램프 보스(40)에 끼워진다. 여기서, 끼워진다는 것은 나사결합 및 접착제 등을 이용한 결합이 없이, 순수하게 물리적인 힘으로만 상기 보스(40)에 삽입되는 것을 말한다. 이를 위해, 탭 몸체(50a) 및 보스 몸체(40a)가 만나는 면은 평탄한 면을 이룬다. 클램프 탭(50)에서, 탭 날개(50b)의 반대측에는 제1 멈춤링(60a)이 고정되는 멈춤링 고정홈(52)을 구비한다. 다시 말해, 클램프 탭(50)의 양측은 탭 날개(50b) 및 고정홈(52)이 배치된다. 탭 몸체(50a)의 내측에는 결합볼트(32)와 결합되는 탭 나사산(54)이 형성되어 있다. 탭 나사산(54)은 드릴 가공 또는 사출 등을 이용하여 제작될 수 있다. 본 발명의 실시예에 의한 탭 몸체(50a)는 내측에 탭 나사산(54)이 있고, 외주면은 평탄한 면을 가진다. 이때, 탭 몸체(50a)의 내부는 중공(58)을 이룬다.
탭 날개(50b)는 클램프 보스(40)에 형성된 제2 단턱부(44)에 걸리도록 구성된다. 탭 날개(50b)는 제2 단턱부(44)에 걸치도록 탭 몸체(50a)로부터 확장된다. 탭 날개(50b)가 제2 단턱부(44)에 걸쳐지면, 결합볼트(32)로 인하여 가해지는 힘이 클램프 탭(50)을 변형시키려는 힘을 분산시킨다. 즉, 상기 힘의 일부는 탭 몸체(50a), 나머지는 탭 날개(50b)로 분산된다. 만일, 탭 날개(50b)가 없으면 결합볼트(32)에 의한 힘이 탭 몸체(50a)에만 작용하나, 탭 날개(50b)가 있으면 상기 힘이 탭 날개(50b)로 분산된다. 이에 따라, 탭 날개(50b)로 인하여 클램프 탭(50)의 내구성이 향상된다.
탭 날개(50b)는 도시된 바와 같이, 평면적으로 보아 직사각형에서 양측의 짧은 모서리가 라운딩된 형태(이하, 장공 형태라고 함)이다. 장공 형태의 탭 날개(50b)에서, 짧은 모서리 부분의 제1 폭(W1)은 긴 모서리 부분의 제2 폭(W2)에 비해 상대적으로 크다. 실질적으로 제2 폭(W2)은 탭 몸체(50a)의 외주면(56)과 거의 일치하는 정도로 구현된다. 제1 폭(W1)은 탭 몸체(50a)의 외주면(56)에서 보다 확장된 형태이다. 장공 형태의 탭 날개(50b)가 제2 단턱부(44)에 끼워지면, 결합볼트(32)를 클램프 탭(50)에 체결할 때 상기 탭(50)이 회전하는 것을 방지할 수 있다. 회전에 방지되면, 상기 탭(50)은 원래 설계한 위치에 움직임이 없이 정확하게 탑재될 수 있다.
탭 날개(50b)의 제2 폭(W2)은 비트 삽입홀(42)을 형성할 수 있는 마진(M)을 보다 크게 할 수 있다. 상기 마진(M)이 상대적으로 작은 제1 폭(W1)을 가진 부분의 보스 날개(40b)에 비트 삽입홀(42)을 형성하면, 비트 삽입홀(42)과 탭 날개(50b) 사이의 간격이 좁아서, 외부의 충격에 의해 보스 날개(40b)가 파손될 우려가 있다. 비트 삽입홀(42)을 제2 폭(W2)을 가진 탭 날개(50b)의 외측에 형성함으로써, 보스 날개(40b)의 파손을 방지할 수 있다. 한편, 탭 날개(50b)의 두께는 보스 날개(40b)의 두께보다 작은 것이 바람직하다. 이는 탭 날개(50b)가 안착되는 제2 단턱부(44)를 용이하게 구현하기 위한 것이다. 본 발명의 클램프 탭(50)은 금속 재질이 바람직하며, 여기서는 스테인레스강을 적용하였다.
한편, 결합볼트(32)를 탭 몸체(50a) 내측의 나사산(54)에 체결할 때, 클램프 탭(50)이 결합부재(30) 방향으로 밀려갈 수 있다. 왜냐하면, 보스 몸체(40a) 및 탭 몸체(50a)는 나사결합을 하지 않고 끼워 넣은 상태이므로, 상기 체결을 할 때 클램프 탭(50)이 보스 몸체(40a)로부터 이탈될 수 있기 때문이다. 이를 방지하기 위하여, 탭 몸체(50a)에는 제1 멈춤링(60a)을 탑재한다. 이때, 제1 멈춤링(60a)은 보스 몸체(40a)의 외측이면서 탭 날개(50b)의 반대편에 위치한다. 제1 멈춤링(60a) 및 변형된 멈춤링은 이하의 도 5 및 도 6을 참조하여 구체적으로 살펴보기로 한다. 여기서는 도 5의 제1 멈춤링(60a)이 장착된 상태를 도시하였다.
제1 멈춤링(60a)은 보스 몸체(40a)와 간격(c)을 이루면서, 멈춤링 고정홈(52)에 장착된다. 상기 간격(c)은 클램프 탭(50)이 움직이도록 허용되는 범위로써, 본 발명의 클램프에 따라 사전에 적절하게 설정된다. 제1 멈춤링(60a)은 클램프 탭(50)이 결합볼트(32)의 작용으로 결합부재(30) 방향으로 이동할 때, 제1 멈춤링(60a)의 돌출된 부분에 의해 제1 멈춤링(60a)이 보스 몸체(40a)에 걸리게 된다. 제1 멈춤링(60a)이 보스 몸체(40a)에 걸리면, 앞에서 설명한 클램프 탭(50)의 이탈은 차단된다. 한편, 제1 멈춤링(60a)이 없이, 탭 몸체(50a)에 돌출부를 두어 클램프 탭(50)의 이탈을 방지할 수 있으나, 이렇게 되면 탭 날개(50b)를 구비할 수 없다. 이에 따라, 본 발명의 실시예에 의한 클램프 탭(50)은 탭 날개(50b)를 구비하면서, 동시에 상기 탭(50)의 이탈을 방지하는 제1 멈춤링(60a)을 구비할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 클램프 탭(50)에 적용되는 제1 멈춤링(60a)을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 6은 도 5의 제1 멈춤링(60a)의 변형예를 나타내는 도면이다. 이때, 도 6의 제1 멈춤링(60a)의 변형예는 멈춤링의 대표적인 사례를 제시한 것이며, 본 발명의 범주 내에서 다른 형태의 멈춤링을 적용할 수 있다. 이때, 클램프(100)는 도 3을 참조하기로 한다.
도 5에 의하면, 제1 멈춤링(60a)은 보스 몸체(40a)와 간격(c)을 이루고, 제3 폭(W3)을 가지는 제1 이탈방지부(62a)를 포함한다. 제1 이탈방지부(62a)의 반대편에는 한 쌍의 결합판(64)이 존재한다. 결합판(64)을 겹친 상태에서, 결합공(66)을 통하여 결합판(64)을 결합하면, 제1 멈춤링(60a)은 멈춤링 고정홈(52)에 고정된다. 이때, 멈춤링 고정홈(52)은 가상적인 점선을 이용하여 표현하였다. 제1 멈춤링(60a)은 금속 재질이 바람직하며, 여기서는 스테인레스강을 적용하였다.
도 6에 의하면, 제1 멈춤링(60a)의 변형예는 도시된 제2 멈춤링(60b)과 같이 제1 멈춤링(60a)에서의 결합판(64)이 없는 상태이다. 제2 멈춤링(60b)은 제4 폭(W4)의 제2 이탈방지부(62b)를 가지며, 제2 이탈방지부(62b)는 제1 멈춤링(60a)의 제1 이탈방지부(62a)와 동일한 기능을 한다. 제2 이탈방지부(62b)의 반대편을 개방되어 있으며, 단부에는 탄성에 의해 고정홈(52)에 고정되는 탄성 고정부(68)를 포함한다. 탄성 고정부(68)는 탄성에 의해 제2 멈춤링(60b)을 고정홈(52)에 고정되도록 한다. 제3 멈춤링(60c)은 제5 폭(W5)을 제외하고는 제2 멈춤링(60b)과 동일하다. 제5 폭(W5)은 제3 이탈방지부(62c)에 돌출부(68a)를 형성함으로써 이루어진다. 제3 멈춤링(60c)에 의하면, 제3 이탈방지부(62c)의 폭을 본 발명이 적용되는 클램프(100)에 따라 적절하게 조절할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 클램프 보스(40)를 체결하고 해체하기 위한 도구를 설명하기 위한 분해사시도이다.
도 7에 의하면, 상기 도구는 드라이버(70) 및 드라이버(70)에 삽입되는 비트(72)로 이루어진다. 드라이버(70)는 사용자가 시계 방향 또는 반시계 방향을 돌려, 그 힘을 비트(72)에 전달할 수 있다. 비트(72)에는 클램프 탭(50)의 중공(58)에 삽입되는 제1 핀(74) 및 비트 삽입홀(42)에 삽입되는 제2 핀(76)이 형성되어 있다. 사용자가 제1 및 제2 핀(74, 76)을 각각 중공(58) 및 비트 삽입홀(42)에 넣고, 드라이버(70)를 회전시키면, 클램프 보스(40)를 용이하게 체결하고 해체할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 전극판 체결용 클램프는 장공 형태의 날개(50b)를 가진 클램프 탭(50)을 구비함으로써, 클램프 탭(50)이 삽입되는 위치가 항상 일정하다. 즉, 결합볼트(32)로 인하여 클램프 탭(50)이 회전하는 것이 방지되어, 클램프 탭(50)은 항상 일정한 상태로 고정된다. 본 발명의 클램프 탭(50)은 탭 날개(50a)로 힘이 분산되어, 클램프 탭(50)의 내구성을 증가시킨다. 이에 따라, 결합볼트(32)에 의해 상부전극(20)을 체결할 때, 클램프(100)가 파손되는 것을 줄일 수 있다. 또한, 다양한 형태의 멈춤링(60a, 60b, 60c)을 적용하여, 클램프 탭(50)이 결합부재(30) 방향으로 이탈되지 않도록 한다.
본 발명의 클램프 탭(50)은 단순히 끼워 넣어서 구현하므로, 교체가 용이하고 필요에 따라 재활용이 가능하다. 부수적으로, 클램프 탭(50) 및 클램프 보스(40) 사이에 접착제를 사용하여 접착한다고 하더라도, 상기 접착제가 클램프 탭(50)의 외부로 유출되는 것을 차단한다. 본 발명의 클램프 탭(50)은 탭 날개(50a)에 의해 탭 몸체(50a)가 외부로 드러나지 않도록 함으로써, 클램프 탭(50)의 외관을 미려하게 할 수 있다.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10; 하부전극 20; 상부전극
22; 가스공급공 24; 보스 삽입홈
26, 44; 제1 및 제2 단턱부
30; 결합부재 32; 결합볼트
34; 볼트체결구 40; 클램프 보스
40a; 보스 몸체 40b; 보스 날개
42; 비트 삽입홀
46, 54; 나사산
50; 클램프 탭 50a; 탭 몸체
50b; 탭 날개 52; 멈춤링 고정홈
56; 탭 외주면
60a, 60b, 60c; 제1 내지 제3 멈춤링
62a, 62b, 62c; 제1 내지 제3 이탈방지부
68; 탄성 고정부 70; 드라이버
72; 비트 74, 76; 제1 및 제2 핀

Claims (11)

  1. 상부전극의 보스 삽입홀에 삽입되는 클램프 보스; 및
    상기 클램프 보스에 끼워지는 클램프 탭을 포함하고,
    상기 클램프 탭은,
    내측은 나사산을 가지고 외주면은 평탄하며, 상기 클램프 보스의 하측에 형성되며 멈춤링이 장착되는 멈춤링 고정홈을 포함하는 탭 몸체; 및
    상기 고정홈의 반대측에 위치하고, 상기 클램프 보스의 장공 형상의 단턱부에 고정되며, 상기 탭 몸체로부터 확장되면서 장공 형태를 이루는 탭 날개를 포함하고,
    상기 클램프 보스는 상기 보스 삽입홀에 삽입되는 보스 몸체 및 상기 보스 몸체로부터 확장되어 상기 상부전극의 단턱부에 고정되는 보스 날개로 이루어지고, 상기 보스 날개에는 상기 클램프 보스를 체결하고 해체하기 위한 비트 삽입홀이 형성되어 있으며, 상기 탭 날개는 평면적으로 보아 직사각형을 이루고 상기 비트 삽입홀은 상기 탭 날개의 직사각형의 긴 모서리의 외측에 형성되는 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 탭 날개의 두께는 상기 보스 날개의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 클램프 보스는 상기 비트 삽입홀 및 상기 클램프 탭의 중공에 삽입되는 핀들을 가진 비트에 의해 체결되고 해체되는 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  6. 제1항에 있어서, 상기 멈춤링 고정홈에 장착되는 멈춤링은 상기 보스 몸체와 간격(c)을 이루는 이탈방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  7. 제6항에 있어서, 상기 간격(c)은 상기 클램프 탭이 움직이도록 허용되는 범위인 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  8. 제6항에 있어서, 상기 멈춤링 고정홈에 장착되는 멈춤링은 상기 이탈방지부의 반대편에 위치하며, 상기 고정홈에 탄성에 의해 고정되는 탄성 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  9. 제1항에 있어서, 상기 탭 날개는 평면적으로 보아 직사각형에서 양측의 짧은 모서리가 라운딩된 형태인 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  10. 제9항에 있어서, 상기 탭 날개에서 상기 직사각형의 짧은 모서리 부분의 폭은 상기 직사각형의 긴 모서리 부분의 폭에 비해 큰 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.
  11. 제10항에 있어서, 상기 긴 모서리 부분의 폭은 상기 탭 몸체의 외주면과 일치하는 것을 특징으로 하는 멈춤링을 구비한 전극판 체결용 클램프.


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