KR101668463B1 - 미소절삭장치용 리프스프링 및 상기 리프스프링을 갖는 미소절삭장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 미소절삭장치용 리프스프링 및 상기 리프스프링을 갖는 미소절삭장치에 관한 것이다. 상기 리프스프링은, 플레이트의 형태를 취하며 일정내경의 홀더구멍을 갖는 홀더부와, 상기 홀더부의 홀더구멍 내에 일체로 형성된 것으로서, 탄성 변형 가능하며 외부로부터 전달된 진동에 의해 진동하고 그 중앙부 상면에 절삭툴을 구비한 일정두께의 스프링부를 포함하며, 상기 스프링부의 절삭툴 주변에는, 절삭툴을 중심으로 대칭을 이루는 다수의 관통구멍이 형성된다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 리프스프링은, 절삭툴을 중심으로 반지름 방향으로 대칭을 이루므로 힘이 고르게 분산되어, 작동 중 절삭툴이 측방향으로 흔들리지 않아 매우 정밀하고 연속적인 가공이 가능하며 특히 고주파 영역의 진동절삭에서 그 안전성이 뛰어나고, 힘의 분산으로 인해 자체 강성도 높고 내구성이 뛰어나다.

Description

미소절삭장치용 리프스프링 및 상기 리프스프링을 갖는 미소절삭장치{Leaf spring for Fast Tool Servo and Fast Tool Servo having the leaf spring}

본 발명은 미소절삭장치용 리프스프링 및 상기 리프스프링을 갖는 미소절삭장치에 관한 것이다.

초정밀 가공기술은, 반도체나 광통신분야는 물론 항공우주 분야에서 매우 중요한 위치를 차지하고 있으며, Energy Saving 기술과 초소형부품 생산의 일반화와 맞물려 전 세계 산업으로 확대되고 있는 추세이다. 이에 발맞추어, 에너지 기술(Energy-Technology)과, 나노 기술(Nano-Technology)의 발달과 함께, 자연 모사기술을 바탕으로 한 친수성 및 소수성 표면의 재현과 미세 광학제품의 가공에 대한 수요도 증가하고 있다. 친수성 또는 소수성 표면을 갖는 제품이나 미세광학 제품의 가공을 위해서는, 수십 내지 수μm급의 패턴형상을 유지하며 nm급의 정밀도가 요구된다.

이와같이, 최근에는 초정밀 가공을 위한 이른바 미세가공 시스템에 관한 개발이 활발히 진행되고 있으며, 높은 가공속도에서 표면작업을 할 수 있는 이른바 미소절삭장치(FTS(Fast Tool Servo))도 계속적으로 발전하고 있다.

상기 미소절삭장치는 빠른 주파수 응답특성을 가지면서 정밀 이송이 가능한 피에조 액추에이터(Piezo Actuator)를 이용해 절삭공구를 미세 진동시켜 소재를 가공하는 장치로서, 가공 중 실시간으로 운동오차를 보정할 수 있어 초정밀 제품 제작에 적극 사용되고 있다.

도 1은 종래 미소절삭장치의 구동원리를 설명하기 위한 미소절삭장치의 구조도이고, 도 2는 상기 미소절삭장치의 리프스프링을 별도로 도시한 사시도이다.

도시한 바와같이, 미소절삭장치(11)는, 바닥부(13b)와 벽부(13c)를 가지고 상부로 개방된 하우징(13)과, 상기 하우징(13)의 벽부(13c) 상단부에 고정되는 리프스프링(17)과, 상기 하우징(13)의 내부공간(13a)에 수용되며 바닥면(13b)에 지지된 상태로 그 상단부가 리프스프링(17)의 저면에 고정되는 피에조액츄에이터(15)와, 상기 리프스프링(17)의 상부 중앙에 고정되는 절삭툴(19)로 구성된다.

상기 피에조액츄에이터(15)는, 외부로부터 인가된 전압의 크기에 따라 압축과 팽창을 반복하며 화살표 z 방향 및 그 반대방향으로 진동한다. 상기 피에조액츄에이터(15)의 진동폭이 가공 행정거리이다.

상기 리프스프링(17)은 하우징(13)의 벽부(13c) 상단부에 볼팅 결합하는 대략 사각판 형태의 탄성부재로서, 홀더부(17a)와, 스프링부(17b)를 갖는다.

상기 홀더부(17a)는 벽부(13c)의 상단면에 밀착 결합하는 부분으로서 일정간격을 유지하며 그 사이에 스프링부(17b)를 지지한다. 도면부호 17d는 리프스프링(17)을 하우징(13)에 결합하기 위한 볼트(미도시)가 끼워지는 나사구멍이다.

또한 상기 스프링부(17b)는, 홀더부(17a)에 일체를 이루는 부분으로서 탄력성을 갖는다. 따라서 가령 피에조액츄에이터(15)가 화살표 z 방향으로 팽창할 때 탄성 변형하며 밀려 올라가고, 피에조액츄에이터(15)가 수축할 때는 자체 탄성 복원력에 의해 하강하며 처음 위치로 복원하는 것이다.

상기 스프링부(17b)의 상면 중앙에는 툴고정부(17c)가 위치한다. 상기 툴고정부(17c)는 스프링부(17b)에 일체를 이루며 절삭툴(19)을 수용 고정한다.

그런데 상기한 구조를 갖는 미소절삭장치(11)는, 스프링부(17b)가 구동변위를 일으켜 절삭툴(19)의 움직임이 정밀하지 않다는 단점이 있었다. 그 이유는 리프스프링(17)이 2점지지방식이기 때문이다. 즉 스프링부(17b)의 양단부만이 홀더부(17a)에 고정되기 때문이다.

다시 말하면, 도 2에 도시한 바와같이, 스프링부(17b)의 네 변중 두 변(양단부) 만이 홀더부(17a)에 고정되어 있고, 나머지 두 변은 어디에도 지지되지 않으므로, 피에조액츄에이터(15)의 진동시 화살표 a방향으로의 힘의 분산은 균등하게 이루어지지만, 폭방향으로는 흔들릴 수 있는 것이다. 즉 스프링부(17b)가 화살표 b방향 또는 그 반대방향으로 진동할 수 있는 것이다.

스프링부(17b)의 폭방향 흔들림은 절삭툴(19)의 흔들림과 같은 것이므로, 결국 상기한 종래의 2점지지식 리프스프링(17)은 가공정밀도가 좋지 못하여 어느 이상의 정밀가공을 할 수 없다.

본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 절삭툴을 중심으로 반지름 방향으로 대칭을 이루므로 힘이 고르게 분산되어, 작동 중 절삭툴이 측방향으로 흔들리지 않아 매우 정밀하고 연속적인 가공이 가능하며 특히 고주파 영역의 진동절삭에서 그 안전성이 뛰어나고, 힘의 분산으로 인해 자체 강성도 높고 내구성이 뛰어난 미소절삭장치용 리프스프링 및 상기 리프스프링을 갖는 미소절삭장치를 제공함에 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 미소절삭장치용 리프스프링은, 플레이트의 형태를 취하며 일정내경의 홀더구멍을 갖는 홀더부와; 상기 홀더부의 홀더구멍 내에 일체로 형성된 것으로서, 탄성 변형 가능하며 외부로부터 전달된 진동에 의해 진동하고 그 중앙부 상면에 절삭툴을 구비한 일정두께의 스프링부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스프링의 중앙부 저면에는, 진동을 발생하는 액츄에이터를 고정 지지하기 위한 액츄에이터지지부가 더 구비된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스프링부의 절삭툴 주변에는, 절삭툴을 중심으로 대칭을 이루는 다수의 관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 관통구멍의 내부 영역에는, 상기 스프링부의 두께보다 얇은 두께의 보조스프링부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스프링부의 상면 중앙부에는 상기 절삭툴을 수용고정하는 툴고정부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 액츄에이터지지부는, 일정내경을 갖는 원통형부재로서, 그 하단부가 외부에 지지되어 있는 피에조액츄에이터의 상단부를 수용 고정하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 미소절삭장치는, 바닥부와 벽부를 가지며 상부로 개방된 내부공간을 구비한 하우징과; 상기 하우징의 내부공간에 설치되고 외부로부터 제공된 전기신호에 의해 팽창과 수축운동을 반복하는 피에조액츄에이터와; 상기 하우징의 상부에 고정 결합되는 것으로서, 플레이트의 형태를 취하며 그 중앙부에 일정내경의 홀더구멍을 가지는 홀더부와, 상기 홀더구멍 내에 일체로 형성되며 상기 피에조액츄에이터와 접하여 피에조액츄에이터의 작동시 피에조엑츄에이터와 함께 진동하는 디스크형 스프링부로 이루어진 리프스프링과; 상기 스프링부의 상면 중앙에 고정되고, 피에조액츄에이터의 작동시 진동하며 대상물을 절삭하는 절삭툴을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스프링부의 절삭툴 주변에는, 상기 절삭툴을 중심으로 대칭을 이루는 다수의 관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 관통구멍의 내부 영역에는, 상기 스프링부의 두께보다 얇은 두께의 보조스프링부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 홀더부는 상기 벽부의 상단면에 밀착 고정되고, 상기 스프링부의 상면 중앙부에는, 상기 절삭툴을 수용고정하는 툴고정부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 피에조액츄에이터는, 그 하단부가 상기 바닥부에 고정된 상태로 상단부가 상기 스프링부의 저면에 밀착하고, 상기 스프링부의 저면에는 피에조액츄에이터의 상단부를 수용하는 액츄에이터지지부가 마련된 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 미소절삭장치용 리프스프링 및 상기 리프스프링을 갖는 미소절삭장치는, 절삭툴을 중심으로 반지름 방향으로 대칭을 이루므로 힘이 고르게 분산되어, 작동 중 절삭툴이 측방향으로 흔들리지 않아 매우 정밀하고 연속적인 가공이 가능하며 특히 고주파 영역의 진동절삭에서 그 안전성이 뛰어나고, 힘의 분산으로 인해 자체 강성도 높고 내구성이 뛰어나다.

도 1은 종래 일반적인 미소절삭장치의 구동 원리를 설명하기 위한 미소절삭장치의 구조도이다.
도 2는 상기 도 1에 도시한 종래의 리프스프링을 별도로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 미소절삭장치의 사시도이다.
도 4는 상기 도 3에 도시한 미소절삭장치에서의 리프스프링의 사시도이다.
도 5는 상기 도 3에 도시한 미소절삭장치의 내부 구조를 나타내 보인 일부 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 미소절삭장치의 외부 모습을 도시한 사시도이다.
도 7은 상기 도 6에 도시한 미소절삭장치의 리프스프링을 나타내 보인 사시도이다.
도 8은 상기 도 6의 미소절삭장치의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 9은 본 발명의 제 3실시예에 따른 미소절삭장치에서의 리프스프링을 도시한 사시도이다.
도 10은 상기 도 9에 도시한 리프스프링이 적용된 미소절삭장치의 작동 방식을 설명하기 위한 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 미소절삭장치(31)의 사시도이고, 도 4는 상기 도 3에 도시한 미소절삭장치에서의 리프스프링의 사시도이다. 또한 도 5는 상기 도 3의 미소절삭장치의 내부구조를 일부 측단면도이다.

도시한 바와같이, 본 실시예에 따른 미소절삭장치(31)는, 박스의 형태를 취하며 상부로 개방된 하우징(33)과, 상기 하우징(33)의 상부에 밀착 결합하는 리프스프링(35)과, 상기 하우징(33)의 내부공간(33a)에 구비되며 수직으로 고정된 피에조액츄에이터(15)와, 상기 리프스프링(35)의 중앙 상부에 고정되는 절삭툴(19)을 포함하여 구성된다.

먼저, 상기 하우징(33)은 바닥부(33b)와 벽부(33c)로 이루어지며 상부로 개방된 구조체로서, 그 중앙부에 피에조액츄에이터(15)를 갖는다. 상기 벽부(33c)의 상단면은 리프스프링(35)과 밀착 결합한다.

상기 피에조액츄에이터(15)는 외부로부터 인가된 전기신호에 의해 화살표 z 방향으로 팽창하거나 반대방향으로 수축하는 진동발생부로서, 그 하단부가 바닥부(33b)에 고정되며 상단부는 액츄에이터지지부(35e)에 결합한다.

이와같이 피에조액츄에이터(15)의 상하단부가 액츄에이터지지부(35e) 및 바닥부(33b)에 고정되어 있으므로, 피에조액츄에이터(15)가 화살표 z 방향으로 팽창하면 절삭툴(19)은 상기한 팽창거리만큼 이동하여 절삭을 수행한다.

특히 상기 리프스프링(35)은, 피에조액츄에이터(15)의 팽창시 그 중앙부가 딸려 올라갔다가, 수축시 탄성복원력에 의해 하강하며 처음 위치로 돌아온다. 상기 절삭툴(19)의 전진(도면상 상방향 이동)은 피에조액츄에이터(15)의 팽창력에 의해 이루어지고, 후퇴는 피에조액츄에이터(15)의 수축력과 리프스프링(35)의 탄성복원력에 의해 이루어진다.

한편, 상기 리프스프링(35)은, 사각 플레이트의 형태를 취하며 중앙부에 홀더구멍(35k)을 갖는 홀더부(35a)와, 상기 홀더구멍(35k)의 내부에 일체로 형성되는 디스크 형태의 스프링부(35b)와, 상기 스프링부(35b)의 상면 중앙에 일체로 형성되고 상기 절삭툴(19)을 고정하는 툴고정부(35c)와, 상기 툴고정부(35c)의 반대편 즉 스프링부(35b)의 저면 중앙에 마련되는 액츄에이터지지부(35e)로 이루어진다.

상기 홀더부(35a)는, 사각틀의 형태를 취하며 네 귀퉁이부에 나사구멍(35d)을 갖는다. 상기 나사구멍(35d)은 하우징(33)에 리프스프링(35)을 고정시키는 볼트(미도시)가 채워지는 구멍이다.

상기 스프링부(35b)는 홀더구멍(35k)의 내주면에 일체를 이루는 디스크형 판스프링이다. 상기 스프링부(35b)는 홀더부(35a)와 일체를 이루며 피에조액츄에이터(15)의 진동시 진동을 받아들여 함께 진동할 수 있는 두께를 갖는다.

특히 스프링부(35b)가 디스크의 형태를 취하므로 피에조액츄에이터(15)의 진동시 스프링부(35b)에 가해지는 힘은, 스프링부(35b)의 중심을 기준으로 반지름방향으로 고르게 분산되어 어느 한곳에 응력이 집중된다거나 하는 현상이 없다.

또한 스프링부(35b)가, 절삭툴(19)을 중심으로 대칭을 이루므로, 절삭툴(19)이 전진후퇴 방향 이외의 방향으로 흔들릴 염려가 없다. 즉, 절삭툴(19)이 좌우로 흔들리지 않아 그만큼 가공 정밀성이 뛰어난 것이다.

상기 툴고정부(35c)는, 절삭툴(19)을 스프링부(35b)의 중심부에 고정시키는 역할을 한다. 상기 절삭툴(19)은 툴고정부(35c)에 착탈 가능하게 고정된 상태로 피에조액츄에이터(15)의 동작에 의해 전진 및 후퇴 방향으로 진동하여 절삭 대상물을 절삭한다.

또한 상기 액츄에이터지지부(35e)는, 피에조액츄에이터(15)의 상단부를 수용 고정하여, 피에조액츄에이터(15)의 진동력을 스프링부(35b)로 전달하는 일정내경의 원통형 부재로서, 피에조액츄에이터(15)의 상단부를 수용 고정하는 지지홈(35f)을 갖는다.

도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 미소절삭장치(31)의 외부 모습을 도시한 사시도이다. 또한, 도 7은 상기 도 6에 도시한 미소절삭장치의 리프스프링(37)을 별도로 나타내 보인 사시도이고, 도 8은 상기 도 6의 미소절삭장치의 내부 구조를 도시한 도면이다.

이하, 상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재를 가리킨다.

도시한 바와같이, 제 2실시예에 따른 미소절삭장치(31)는, 상부로 개방된 박스형 하우징(33)과, 상기 하우징(33)의 상부에 결합하며 절삭툴(19)을 고정하고 피에조액츄에이터(15)의 동작에 의해 진동하는 리프스프링(37)을 포함한다.

상기 리프스프링(37)은, 일정두께를 가지며 중앙에 홀더구멍(37m)이 형성되어 있고 네 귀퉁이부에 나사구멍(37d)이 마련되어 있는 사각판 형태의 홀더부(37a)와, 상기 홀더부(37a)의 홀더구멍(37m)에 일체를 이루는 스프링부(37b)로 이루어진다.

특히 상기 스프링부(37b)는 관통구멍(37c)에 의해 3개로 분할되어 있다. 상기 관통구멍(37c)은 액츄에이터지지부(37e)의 주변에 대칭으로 형성되어 있는 부채꼴 형태의 구멍으로서, 스프링부(37b)를 일정간격으로 분할한다. 본 실시예에서 스프링부(37b)은 120도 각도로 분할되어 있다.

아울러 상기 스프링부(37b)의 상면 중앙에는 절삭툴(19)을 고정하는 툴고정부(37k)가 일체로 형성되어 있고, 저면에는 액츄에이터지지부(37e)가 마련되어 있다. 상기 액츄에이터지지부(37e)는 지지홈(37f)을 가져 피에조액츄에이터(15)의 상단부를 수용 고정한다.

이와같이, 스프링부(37b)가 액츄에이터지지부(37e)를 중심으로 등각 배치되어 있으므로, 피에조액츄에이터(15)의 진동시, 절삭툴(19)은 좌우로 흔들리지 않고 화살표 e 방향으로 정확한 수직운동을 할 수 있는 것이다.

도면부호 37f는 피에조액츄에이터(15)의 상단부가 수용되는 지지홈이다. 상기 피에조액츄에이터(15)는 그 상단부가 상기 지지홈(37f)에 끼워지고 하단부가 바닥부(33b)에 고정된 상태로 신축하여 상기 절삭툴(19)을 화살표 e 방향으로 진동시킨다.

도 9은 본 발명의 제 3실시예에 따른 미소절삭장치에서의 리프스프링(39)을 도시한 사시도이고, 도 10은 상기 도 9에 도시한 리프스프링이 적용된 미소절삭장치의 내부 구조를 도시한 도면이다.

도시한 바와같이, 제 3실시예에 따른 미소절삭장치(31)에서의 리프스프링(39)은, 일정두께를 가지며 홀더구멍(39p)과 나사구멍(39k)이 형성되어 있는 홀더부(39a)와, 상기 홀더구멍(39p)의 내부에 일체로 형성된 스프링부(39b) 및 보조스프링부(39c)와, 상기 스프링부(39b)의 상면에 고정되고 절삭툴(19)을 지지하는 툴고정부(39m)와, 상기 스프링부(39b)의 저면에 형성된 액츄에이터지지부(39e)로 이루어진다.

상기 스프링부(39b)는 액츄에이터지지부(39e)를 중심으로 반지름방향으로 연장된 부분으로서, 지지홈(39f)을 통해 피에조액츄에이터(15)의 상단부를 지지하며 피에조액츄에이터(15)의 진동시 동시에 진동하며 절삭툴(19)을 진동시킨다. 상기 스프링부(39b)가 절삭툴(19)을 중심으로 반지름 방향으로 연장되며 대칭을 이루므로, 절삭툴(19)이 좌우로 흔들릴 염려가 없음은 물론이다.

또한 보조스프링부(39c)는, 상기 스프링부(39b)의 사이에 채워진 탄성부로서 스프링부(39b)를 보조하여 피에조액츄에이터(15)를 탄력 지지한다. 상기 보조스프링부(39c)가 있음으로 해서, 절삭툴(19)로부터 홀더부(39a)로 넘어가는 진동하중의 유동 단면적이 그만큼 넓어져 응력부담이 현저히 작아진다.

상기 스프링부(39b)와 보조스프링부(39c)는 일체를 이루며, 보조스프링부(39c)의 두께는 스프링부(39b)보다 얇다.

결국 상기한 바와같이 구성되는 본 발명의 리프스프링(35,37,39)은, 스프링부(35b,37b,39b)가, 상기 절삭툴(19)을 중심에 두고 반지름방향으로 대칭을 이루므로, 절삭툴(19)이 피에조액츄에이터(15)의 진동방향으로만 진동하고 좌우로 흔들리지 않아 그만큼 정밀한 절삭동작을 할 수 있게 함은 물론, 절삭툴(19)로부터 주변으로 퍼지는 진동하중의 통과 단면적이 넓어 응력집중이 없어 국부 파손의 염려가 없고 안정적이다.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

11:미소절삭장치 13:하우징 13a:내부공간
13b:바닥부 13c:벽부 15:피에조액츄에이터
17:리프스프링 17a:홀더부 17b:스프링부
17c:툴고정부 17d:나사구멍 19:절삭툴
31:미소절삭장치 33:하우징 33a:내부공간
33b:바닥부 33c:벽부 35:리프스프링
35a:홀더부 35b:스프링부 35c:툴고정부
35d:나사구멍 35e:액츄에이터지지부
35f:지지홈 35k:홀더구멍 37:리프스프링
37a:홀더부 37b:스프링부 37c:관통구멍
37d:나사구멍 37e:액츄에이터지지부 37f:지지홈
37k:툴고정부 37m:홀더구멍 39:리프스프링
39a:홀더부 39b:스프링부 39c:보조스프링부
39e:액츄에이터지지부 39f:지지홈 39k:나사구멍
39m:툴고정부 39p:홀더구멍

Claims (11)

1. 삭제
2. 삭제
3. 플레이트의 형태를 취하며 일정내경의 홀더구멍을 갖는 홀더부와;
   상기 홀더부의 홀더구멍 내에 일체로 형성된 것으로서, 탄성 변형 가능하며 외부로부터 전달된 진동에 의해 진동하고 그 중앙부 상면에 절삭툴을 구비한 일정두께의 스프링부를 포함하며,
   상기 스프링부의 절삭툴 주변에는, 절삭툴을 중심으로 대칭을 이루는 다수의 관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치용 리프스프링.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 관통구멍의 내부 영역에는, 상기 스프링부의 두께보다 얇은 두께의 보조스프링부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치용 리프스프링.
5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
   상기 스프링부의 상면 중앙부에는 상기 절삭툴을 수용고정하는 툴고정부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치용 리프스프링.
6. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
   상기 스프링의 중앙부 저면에는, 진동을 발생하는 액츄에이터를 고정 지지하기 위한 액츄에이터지지부가 더 구비되고,
   상기 액츄에이터지지부는, 일정내경을 갖는 원통형부재로서, 그 하단부가 외부에 지지되어 있는 피에조액츄에이터의 상단부를 수용 고정하는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치용 리프스프링.
   
7. 삭제
8. 바닥부와 벽부를 가지며 상부로 개방된 내부공간을 구비한 하우징과;
   상기 하우징의 내부공간에 설치되고 외부로부터 제공된 전기신호에 의해 팽창과 수축운동을 반복하는 피에조액츄에이터와;
   상기 하우징의 상부에 고정 결합되는 것으로서, 플레이트의 형태를 취하며 그 중앙부에 일정내경의 홀더구멍을 가지는 홀더부와, 상기 홀더구멍 내에 일체로 형성되며 상기 피에조액츄에이터와 접하여 피에조액츄에이터의 작동시 피에조엑츄에이터와 함께 진동하는 디스크형 스프링부로 이루어진 리프스프링과;
   상기 스프링부의 상면 중앙에 고정되고, 피에조액츄에이터의 작동시 진동하며 대상물을 절삭하는 절삭툴을 포함하며,
   상기 스프링부의 절삭툴 주변에는, 상기 절삭툴을 중심으로 대칭을 이루는 다수의 관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치.
   
9. 제 8항에 있어서,
   상기 관통구멍의 내부 영역에는, 상기 스프링부의 두께보다 얇은 두께의 보조스프링부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치.
10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 홀더부는 상기 벽부의 상단면에 밀착 고정되고,
    상기 스프링부의 상면 중앙부에는, 상기 절삭툴을 수용고정하는 툴고정부가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 미소절삭장치.
    
11. 제 8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 피에조액츄에이터는, 그 하단부가 상기 바닥부에 고정된 상태로 상단부가 상기 스프링부의 저면에 밀착하고,
    상기 스프링부의 저면에는 피에조액츄에이터의 상단부를 수용하는 액츄에이터지지부가 마련된 것을 특징으로 하는 미소절삭장치.

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