KR101667195B1 - 물리적 기상 증착용 챔버 - Google Patents

물리적 기상 증착용 챔버 Download PDF

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Abstract

물리적 기상 증착용 챔버(200; 300; 400; 500; 600; 700; 900; 1000)가 제공된다. 챔버는 하우징(210; 310; 410; 510; 610; 710; 910; 1010), 하우징을 개방 및 폐쇄하기 위한 도어(220; 320; 420; 520; 620; 720; 920; 1020; 1100; 1220); 및 타겟(230)을 수용하기 위한 베어링(240; 340; 440; 540; 640; 740; 1140; 1240)을 포함하고, 베어링은 제 1 방향(260)으로 지향된다. 추가적으로, 챔버는 타겟이 제 1 방향으로 챔버로부터 적어도 부분적으로 제거가능하도록 적응된다. 실시예에 따르면, 물리적 기상 증착용 챔버(200; 300; 400; 500; 600; 700; 900; 1000)가 제공된다. 챔버는 적어도 하나의 타겟(230) 및 기판을 수용하도록 적응된다. 챔버는 하우징; 도어; 및 타겟을 장착하기 위한 적어도 하나의 베어링을 포함하고, 베어링은 도어에 부착된다.

Description

물리적 기상 증착용 챔버{CHAMBER FOR PHYSICAL VAPOR DEPOSITION}
본 발명의 실시예들은 물리적 기상 증착용 챔버에 관한 것이다. 특히, 본 발명의 실시예들은 도어 및 하우징을 포함하는 챔버에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명의 실시예들은 스퍼터 증착 챔버에 관한 것이다. 추가적으로, 실시예들은 물리적 기상 증착용 챔버의 유지보수의 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예들은 박막들의 증착 및 코팅들에 사용되는 장비, 공정들 및 물질들에 관련된 나노-제조 기술 해결책들에 관한 것이고, 대표적인 예들은: 반도체 및 유전체 물질들 및 디바이스들, 실리콘-기반 웨이퍼들, (TFT들과 같은) 평판 디스플레이들, 마스크들 및 필터들, (광 전지들, 연료 전지들, 및 배터리들과 같은) 에너지 변환 및 저장, (LED들 및 OLED들과 같은) 고체 상태(solid-state) 조명, 자성 및 광학 저장, 마이크로 전자기계적 시스템들(MEMS) 및 나노 전자기계적 시스템들(NEMS), 마이크로-광학 및 광전자 디바이스들, 건축용 및 자동차용 유리들, 금속 및 폴리머 포일들 및 패키징을 위한 금속화 시스템들, 및 마이크로 몰딩 및 나노 몰딩에 관련된 애플리케이션들을 포함한다(그러나 이에 제한되지 않음).
물리적 기상 증착은 종종 다양한 애플리케이션들에 대해 이용된다. 예를 들면, CD 및 DVD들과 같은 상이한 데이터 매체들은 물리적 기상 증착 공정에서 코팅된다. 그러나, 또한 포일들, 툴들 및 마이크로전자 디바이스들은 이러한 방법에 의해 생산된다. 물리적 기상 증착용 챔버들은 물질이 증착될 기판 및 물질들이 생성되는 타겟을 선택적으로 포함한다.
거의 모든 금속들은 증착될 물질로서 사용될 수 있다. 공정 가스는 물리적 기상 증착 챔버 안으로 도입된다. 종종, 타겟은 캐소드로서 사용되고, 기판은 애노드로서 사용된다. 애노드와 캐소드 사이에 전압을 인가함으로써, 그 사이의 가스는 플라즈마가 된다. 공정 가스의 플라즈마에서의 입자들은 타겟과 반응할 수 있고, 입자들을 타겟 물질로부터 해방시킬(release) 수 있다. 타겟 물질의 입자들은 기판의 표면 상에 증착된다.
타겟의 증착 물질이 소진되면, 타겟은 챔버로부터 제거되어야 하고, 새로운 타겟으로 교체되어야 한다. 또한, 챔버는 때때로 세정되어야 하며, 그에 의해 기판 상에 증착되지 않았지만 타겟 물질 입자들의 확산으로 인해 챔버의 부분들(예를 들면, 챔버 벽들, 타겟 주변부(periphery) 등) 상에 증착되었던 타겟 물질을 제거해야 한다.
타겟을 제거하고 타겟의 주변부 또는 타겟 자체가 교체된 다음 타겟을 다시 장착하는 단계가 챔버의 유지보수에 필요한 일정 양의 시간을 차지한다. 따라서, 긴-수명의 타겟들 및 일정 양으로 물질의 확산을 제한하는 공정 조건들은 생산 시간의 매우 많은 손실을 방지하기 위한 일반적인 수단이다.
실시예에 따르면, 물리적 기상 증착용 챔버가 제공된다. 챔버는 하우징; 상기 챔버를 개방 및 폐쇄하기 위한 도어; 및 타겟을 수용하기 위한 베어링을 포함하고, 상기 베어링은 제 1 방향으로 지향되며, 상기 챔버는 상기 타겟이 상기 제 1 방향으로 상기 챔버로부터 적어도 부분적으로 제거가능하도록 적응된다.
실시예에 따르면, 적어도 하나의 타겟 및 기판을 수용하도록 적응된 물리적 기상 증착용 챔버가 제공된다. 상기 챔버는 하우징, 상기 챔버를 개방 및 폐쇄하기 위한 도어, 및 상기 타겟을 장착하기 위한 적어도 하나의 베어링을 포함하고, 상기 베어링은 상기 도어에 부착된다.
본 발명의 추가 양상들, 장점들 및 특징들은 종속 청구항들, 상세한 설명 및 첨부된 도면들로부터 명백하다.
본 발명의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로 앞서 간략히 요약된 본 발명의 보다 구체적인 설명이 실시예를 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부된 도면들은 본 발명의 실시예들에 관한 것이고 다음에 설명된다:
도 1a는 간략화된 챔버 기하형상의 예를 도시한다;
도 1b는 도 1a의 간략화된 챔버 기하형상의 예의 측면도를 도시한다;
도 2a는 해당 기술분야에서 알려진 바와 같은 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 2b는 도 2a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적 측면도를 도시한다;
도 3a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 3b는 도 3a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 3c는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 4a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 4b는 도 4a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 5a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 5b는 도 5a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 5c는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 실시예들의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 6a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 6b는 도 6a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 7a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 7b는 도 7a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 8a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 8b는 도 8a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 9a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 9b는 도 9a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 측면도를 도시한다;
도 9c는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 10a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 10b는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른, 개방된 상태에서 도 10a의 물리적 기상 증착 챔버의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 11a는 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버용 도어의 개략적인 사시도를 도시한다;
도 11b는 도 11a의 물리적 기상 증착 챔버용 도어의 저면도(bottom view)를 도시한다; 및
도 12는 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들에 따른 물리적 기상 증착 챔버용 도어의 개략적인 사시도를 도시한다.
본 발명의 다양한 실시예들에 대한 참조가 이제 상세하게 이루어질 것이고, 이들의 하나 또는 그 초과의 예들은 도면들에 도시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일 참조 부호들은 동일 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별 실시예들에 대한 차이점들만이 설명된다. 각 예는 본 발명의 설명으로 제공되고, 본 발명의 제한으로서 의미되지 않는다. 예를 들면, 일 실시예의 일부로서 도시되거나 설명되는 특징들은 추가 실시예를 더 산출하기 위해 다른 실시예들에 또는 그들과 함께 사용될 수 있다. 본 발명이 이러한 수정들 및 변형들을 포함함이 의도된다.
다음에서, 설명에 사용되는 방향들이 설명된다. 간략화되지만 참조를 제한하지 않는 바와 같이, 그리고 사용된 방향 용어들의 설명을 위해, 폐쇄된 챔버의 개략적인 예가 도 1a에 도시된다. 예시적으로, 타겟들(30)은 챔버(10) 내부에 파선들로 도시된다. 도 1a는 수직 방향으로 챔버를 도시한다. 도 1b는 도 1a의 챔버를 수평 배향으로 도시한다.
방향(60)은 제 1 방향인 것으로서 표시된다. 다음 설명에 사용되는 바와 같은 제 1 방향은 챔버 내에 장착될 수 있는 타겟의 축 방향을 따라 이어지는 것으로 이해되어야 한다. 축 방향은 일반적으로 타겟의 길이 방향이다. 제 2 방향(70)은 제 1 방향(60)에 실질적으로 수직이다. 제 3 방향(65)은 제 1 방향(60)에 실질적으로 수직이다.
이러한 맥락에서 "실질적으로 수직인"이라는 용어는 실질적으로 수직으로 표시되고 있는 방향들 사이의 각도가 어느 정도 직각을 벗어날 수 있음을 의미한다. 예를 들면, 방향들 사이의 각도는 특별한 챔버 설계로 인해 변할 수 있다.
제 1, 제 2 및 제 3 방향이 챔버의 지향과 독립적임을 도 1b에서 알 수 있다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 도면에서, 방향들(60, 70 및 65)은 서로에 대하여 실질적으로 수직이다. 그러나, 제 1, 제 2 및 제 3 방향 사이의 각도는 챔버의 설계에 따라 변할 수 있다.
도 2a는 공지된 바와 같은 물리적 기상 증착(PVD) 챔버(100)를 도시한다. 챔버(100)는 하우징(110) 및 도어(120)를 포함한다. 챔버(100)의 도어(120)가 개방되고 타겟들(130)이 보일 수 있다. 챔버(100)의 도어(120)는 하우징(110)의 도어-개구(150)를 덮을 수 있는 덮개(flap)로서 배열된다.
도 2b에서, 도 2a로부터의 PVD 챔버(100)는 폐쇄된 위치에서의 측면도로 도시된다. 타겟들(130) 중 하나는 파선들로 도시되어, 타겟(130)이 챔버(100) 내부에 놓임을 표시한다.
이러한 맥락에서, 도시된 챔버들은 박막들을 증착하는 방법들에 적응된다. 선택적으로, 물질의 기화된 형태의 응결에 의해 물질을 증착하기 위해 진공이 사용된다. 공정은 고온 진공 증발 및 플라즈마 발생과 같은 단계들을 포함할 수 있다. 챔버는 공정의 양호한 결과를 위한 조건들을 제공하기 위한 디바이스들(미도시), 예를 들면, 진공 펌프들, 가열기들, 냉각 디바이스들, 가스 유입구들 및 배출구들 등을 가질 수 있다.
챔버의 세정은 시간이 걸리고, 증착 공정의 중단을 필요로 한다. 세정 공정을 단순화하기 위해, 타겟 주변부가 종종 제공된다. 선택적으로, 타겟 주변부는 챔버 벽들의 일부들을 덮는다. 타겟 주변부에 의해, 주변부의 단일 부품들이 챔버의 외부에서 교체 및 세정되기 때문에 챔버의 세정이 신속히 처리된다.
그럼에도 불구하고, 세정 또는 마모된 타겟의 교체의 목적들을 위한 공지된 설계들의 챔버들에서 타겟의 조립 및 분해가 필요하다. 사실에 상관없이, 세정 및 교체 공정들은, 타겟 자체 또는 챔버의 주변부가 교체되는 경우, 효율성을 감소시킨다.
예를 들면, 타겟이 교체되어야 하는 경우, 도어(120)가 개방되고 타겟들(130)은 챔버(100)의 제 2 방향(170)으로부터만 도달될 수 있다. 다시 말하면, 타겟은 타겟의 길이 축에 실질적으로 수직인 방향으로 제거된다. 챔버의 후방 측(111)으로부터 전방 측(112)을 의미하는 제 2 방향(170)으로 타겟을 제거하기 위해, 일부 리프팅(lifting) 디바이스는 타겟을 제 2 방향(170)으로 리프팅하도록 제공되어야 한다. 따라서, 타겟이 제거될 때까지 복잡한 절차가 수행될 것이다.
예를 들면, 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 타겟은 선택적으로 50㎏ 내지 700㎏, 보다 선택적으로 100㎏ 내지 600㎏, 그리고 더욱 선택적으로 200㎏ 내지 500㎏의 무게에 도달할 수 있다. 따라서, 타겟이 방향(170)으로 제거될 때까지 상당한 힘이 가해진다.
추가적인 예에서, 공지된 설계의 챔버 및 이에 따른 타겟 주변부(135)가 세정된다. 도어(120)가 개방되고 타겟들(130)은 타겟 주변부 및 챔버(100)의 내부 측에 도달하는데 방해된다. 따라서, 타겟들(130)이 아직 마모되지 않았을 수 있더라도 타겟들(130)은 이전의 예에 설명된 바와 같이 제거 및 리프팅되어야 한다. 챔버 세정 후에, 타겟은 챔버 내에 타겟을 위치시키기 위한 기술 수단 및 상당한 힘을 다시 이용하여 다시 챔버에 위치된다.
챔버를 세정하고 타겟을 교체하는 두 예들은 PVD 챔버의 수명 동안 특정 간격들로 수행되어야 하는 귀찮은 공정들을 설명한다. 예를 들면, 타겟은, 챔버가 디스플레이 애플리케이션들에서 스퍼터링 공정을 위해 사용되는 경우, 1주일에 한번 교체될 수 있다. 세정 절차들 사이의 시간 기간은 그와 같이 사용된 시스템, 공정, 층 두께 및 파라미터들에 따라 변할 수 있다. 그러나, 다른 시간 범위들이 상이한 공정들에 대해 예상될 수 있다. 세정 및 유지보수는 생산을 지연시키고, 생산 공정을 덜 효율적으로 만들 수 있다. 이러한 절차들이 더 자주 반복되어야 할수록, 생산 공정은 더 비효율적이 된다.
도 3a는 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 실시예를 도시한다. 하우징(210) 및 도어(220)를 갖는 PVD 챔버(200)가 제공된다. 챔버(210)는 개방된 상태로 도시된다. 챔버(200)의 제 1 방향(260)이 도시된다.
예시적으로, 도시된 실시예들에서는 2개의 타겟들(230)이 보일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 타겟들의 수는 2보다 작을 수 있다. 예를 들면, 단 하나의 타겟이 제공될 수 있다. 추가 실시예들에 따르면, 타겟들의 수는 2보다 클 수 있다. 예를 들면, 타겟들의 수는 3, 적어도 3 또는 4일 수 있다.
선택적으로, 기판은 하우징에 위치된다. 도면들은 단순화를 위하여 기판을 도시하지 않는다. 일부 실시예들에 따르면, 챔버에 단지 하나의 기판이 있을 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 복수의 기판들이 있을 수 있다. 기판들의 수는 사용되는 공정, 및 챔버 크기, 챔버 물질 및 챔버 기구들과 같은 챔버 특징들에 의존한다.
설명되는 실시예들에서, 타겟들(230)은 실질적으로 원통 형상을 갖는다. 선택적으로, 타겟들의 형상은 원통 형상에서 벗어날 수 있다. 타겟 또는 타겟들의 형상은 타겟 물질이 기판 상에 증착되게 하는 임의의 적합한 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 타겟은 실질적으로 직사각형 형상, 평판의 형상, 중공 원통 등을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 타겟은 자기장을 이용한 스퍼터 공정에 적응되는 형상을 가질 수 있다.
하우징(210)은 도어-개구(250)를 가지며, 이를 통하여 하우징의 내측에 도달될 수 있다. 도어-개구(250)를 통한 접근은 챔버를 세정하기 위해, 챔버의 부품들을 변경시키기 위해, 유지보수 목적들 등을 위해 사용된다.
추가적으로, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 챔버는 기판용 유입구, 공정 가스용 유입구, 전력 공급부, 진공 펌프들, 가열기들, 냉각 디바이스들, 구동 유닛들, 타겟들을 회전시키기 위한 컴포넌트들, 자기장을 발생시키기 위한 디바이스들 등과 같은 여러 가지 특징들을 가질 수 있으며, 이들은 단순화를 위해 도시되지 않는다.
도 3a에서 볼 수 있는 실시예들에 따르면, 타겟이 하우징(210)에 장착되어 고정된다. 타겟들(230)은 하우징(210)의 바닥 측 상에 장착된다. 다른 실시예들에 따르면, 타겟들(230)은 또한 하우징(210)의 상면 측 상에 장착될 수 있다. 그러나, 설명되는 실시예에서, 타겟들(230)은 제 2 방향(270)으로 더 큰 연장을 갖는 챔버의 해당 측 상에 장착된다.
제 2 및 제 3 방향은 제 1 방향에 실질적으로 수직이다. 제 2 방향은 폐쇄된 위치에서 도어에 의해 제공되는 평면에 실질적으로 수직인 것으로 설명될 수 있다.
가령, 도어에 의해 제공되는 평면이 평탄하게 형성되지 않는다면, 도어의 평면은 그의 수직인 평면이 제 1 방향에 수직인 것으로 이해되어야 한다.
제 3 방향은 또한 타겟들이 가상 선을 통하여 연결될 수 있는 방향인 것으로 설명될 수 있다. 타겟들을 연결하는 가상 선은 제 2 및 제 3 방향에 의해 형성되는 평면에 있다.
추가적으로, 타겟용 베어링들(240)이 제공된다. 선택적으로, 베어링들의 수는 타겟들의 수에 대응한다.
베어링은 제 1 방향(260)으로 지향된다. 베어링이 제 1 방향(260)으로 지향된 타겟의 축 방향으로 타겟을 수용할 수 있음이 이해될 것이다. 베어링은 제 2 및 제 3 방향에 의해 형성된 평면으로 연장하는 홀딩(holding) 부분을 가질 수 있다. 홀딩 부분은 타겟의 단부 또는 일부를 수용할 수 있다.
실시예에 따르면, 도어(220) 및 하우징(210)은 챔버(200)를 형성하도록 형상을 서로 보완한다. 선택적으로, 도어(220) 및 하우징(210)에 각각 접합면들(mating surfaces; 280 및 281)이 제공된다. 접합면들(280 및 281)이 서로 접촉하는 경우 챔버를 폐쇄하도록 접합면들이 구성된다.
일부 실시예들에 따르면, 본 명세서에서 설명되는 바와 같이, 챔버들의 접합면들에는 챔버 내에서 진공이 유지됨을 보증하는 밀봉 디바이스가 제공될 수 있다. 밀봉 디바이스(미도시)는 클램프 또는 탄성 물질, 그들의 조합 또는 PVD 챔버를 밀봉하는데 적합한 임의의 디바이스 또는 물질일 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 하우징 및 도어는 조금만 중첩된다. 예를 들면, 도어 및 하우징은 밀봉 목적들 등을 위해 중첩될 수 있다.
도 3b에서 볼 수 있는 바와 같이, 도어(220)의 접합면들(280) 및 하우징(210)의 접합면(281)은 제 1 방향(260)으로 테이퍼링된 형상을 제공한다. 테이퍼링된 형상은 타겟들(230)이 제 1 방향(260)으로 챔버(200)로부터 제거되게 한다. 도 3b는 타겟(230)이 챔버 내에 위치되어 장착됨을 표시하기 위해 파선들로 타겟(230)을 도시한다.
도어의 테이퍼링된 형상은 또한 타겟의 제 1 방향(260)에 대하여 실질적으로 대칭적이고, 제 3 방향(265)에 대하여 비대칭적인 것으로 설명될 수 있다. 선택적으로, 제 2 방향(270)으로의 챔버 및 도어의 연장은 제 1 방향(260)으로의 챔버의 연장에 걸쳐 변화된다. 도 3a에서 볼 수 있는 바와 같이, 제 2 방향(270)은 또한 챔버의 깊이로서 표시될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 바와 같은 "실질적으로 대칭"이라는 용어는 "실질적으로 대칭"으로 표시되는 대상의 형상이 대칭 형태로부터 어느 정도 변할 수 있음을 의미한다. 예를 들면, 챔버는 챔버 상에 대칭적으로 배열되지 않은 커넥터들, 유입구들, 배출구들, 전원 공급 디바이스들과 같은 여러 가지 디바이스들을 가질 수 있다. 추가적으로, 실질적으로 대칭인 챔버 자체의 형상은 대칭에서 벗어날 수 있다.
"비대칭"이라는 용어는 "비대칭"인 것으로 표시된 형상이 대칭이 아님을 의미한다. 예를 들면, 선은 챔버를 2개의 부분들로 분리한다. 이러한 선에 대한 비대칭은 챔버의 한 부분의 임의의 점이 챔버의 다른 부분의 대응하는 점과 동일한, 반대 부호의 좌표들을 갖지 않음을 의미한다. 대응하는 점은 분리 선에 대하여 동일한 절대 거리를 갖는 점일 수 있다. 비대칭은 실질적으로 대칭되는 것으로 표시되는 대상을 지칭하지 않는다.
도 3b의 폐쇄된 챔버의 개략적인 측면도는 어떻게 타겟이 제 1 방향으로 제거될 수 있는지를 명백하게 한다. 방향(270)으로의 도어(220)의 연장은 타겟(230)이 도 3b를 고려할 때, 제 1 방향(260)으로, 즉 좌측으로 이동될 수 있도록 선택된다. 타겟(230)은 도 3b에서 또한 볼 수 있는 바와 같이 챔버의 우측 상에 장착된다. 선택적으로, 타겟(230)을 장착 및 홀딩하기 위해 챔버에 베어링(240)이 제공된다.
베어링이 위치되거나 베어링이 부착되는 챔버의 측은 베어링 측으로서 표시된다. 일부 실시예들에 따르면, 제 1 방향(260)으로 베어링 측에 대향하는 측은 베어링 측의 반대 측인 것으로 설명될 수 있다. 선택적으로, 베어링 측의 반대 측은 베어링 측을 향하는 챔버의 측으로서 이해될 수 있다.
도 3c는 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들을 도시한다. 도 3c의 실시예에서, 도어(220) 및 하우징(210)은 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. "실질적으로 동일한 형상"은 이러한 맥락에서, 예를 들면, 베어링 측의 반대 측에서 제 2 방향(270)으로의 도어의 연장이 실질적으로 베어링 측에서 하우징의 연장만큼 큼을 의미한다. 하우징(210) 및 도어(220)는 유사한 기하학적 형상을 가질 수 있지만, 상이한 PVD 공정용 컴포넌트들을 포함할 수 있다.
일반적으로, 그리고 특히 하우징 및 도어가 동일한 형상을 갖는 경우들에서, 도어는 챔버를 개방하기 위해 이동되도록 적응되는 챔버의 그 일부로서 간주된다. 하우징은 보통 일정한 위치의 챔버의 그 일부이다. 예를 들면, 하우징에는 지하와의 접촉을 제공하기 위해 그리고 안정하고 정렬된 위치를 허용하기 위해 피트(feet) 등이 구비될 수 있다. 대부분의 실시예들에서, 도어는 단지 하우징에 대한 자신의 접촉에 의해 지지되기 때문에, 도어에는 동등한 수단이 제공되지 않는다.
선택적으로, 하우징 및 도어는 유사한 형상을 가질 수 있지만 크기가 상이하거나 상이한 물질들 또는 물질 두께들로 이루어질 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제 1 방향으로의 챔버의 연장은 전형적으로 1.2m 내지 3.5m, 보다 전형적으로 1.7m 내지 3.0m 그리고 더욱 전형적으로 2.2m 내지 2.7m까지일 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 캐소드 또는 타겟은 축 방향에 따른 길이가 전형적으로 1.0m 내지 3.5m, 보다 전형적으로는 1.5m 내지 3.0m, 그리고 더욱 전형적으로는 2.0m 내지 2.5m까지 도달할 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 챔버의 특별한 형상은 타겟이 타겟의 축 방향으로 전형적으로 약 10㎜ 내지 1000㎜, 보다 전형적으로 약 20㎜ 내지 500㎜, 그리고 더욱 전형적으로 약 50㎜ 내지 100㎜로 이동되게 한다. 타겟의 축 방향, 즉, 제 1 방향으로 타겟을 이동시킴으로써, 타겟은 고정된 위치로부터 베어링의 밖으로 각각 제거된다. 그것은 타겟이 챔버로부터 적어도 부분적으로 제거될 수 있음을 의미한다. 예를 들면, 타겟은, 방향(260)으로 100㎜로 제거가능한 것과 같이, 베어링 밖으로 정의된 거리로 제거가능할 수 있다.
제 1 방향(260)으로 어떤 양만큼 타겟을 리프팅한 다음, 캐소드가 그립(grip)되고 챔버에서 다른 방향으로부터 제거될 수 있다. 추가 실시예에 따르면, 타겟은 타겟의 전체 길이를 따라 타겟의 축 방향으로 또는 챔버의 제 1 방향(260)으로 챔버로부터 제거된다.
본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르면, 챔버의 타겟 주변부(235)는 용이하게 도달될 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르면, 타겟 주변부는 적어도 부분적으로 타겟들을 둘러싸는 공간일 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르면, 타겟 주변부는 적어도 부분적으로 타겟을 둘러싸는 공간 내의 컴포넌트들을 지칭할 수 있다. 타겟 주변부의 컴포넌트들은 특별히 형성된 시트들, 금속 시트들, 박스들, 덮개들 등일 수 있다. 실시예들에 따르면, 타겟 주변부들은 챔버의 벽들을 덮기 위한 부품들을 포함할 수 있다.
타겟들(230)은, 하우징(230)의 상면 측이 방향(270)으로 바닥 측보다 넓은 범위를 갖는 경우, 하우징의 상면 측 상에 장착될 수 있다.
이러한 맥락에서 사용되는 바와 같은 "하우징"은 PVD 공정을 수행하기 위한 컴포넌트들의 적어도 일부를 하우징하는 바디로서 이해되어야 한다. 예를 들면, 하우징에는, 기판, 타겟 주변부의 부품들, 가스 유입구들, 가스 배출구들, 전력 공급 컴포넌트들, 처리될 재료용 홀딩 부품들 등이 위치되어 있을 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 하나 또는 그 초과의 타겟들은 하우징에 위치된다. 하우징은 또한 접근 가능하거나 도어에 의해 개방 및 폐쇄될 수 있는 챔버의 일부가 되는 것으로 설명될 수 있다.
"도어"라는 용어가 이러한 본문에서 사용되는 경우, 그 용어는 도어에 의해 개방 및 폐쇄되는 바디로의 접근을 허용하는 부재를 지칭한다. 예를 들면, 도어(220)에 의해, 운영자가 하우징(210)에 접근할 수 있다. 추가적으로, 도어는, 예를 들면, 내부에서 진공이 유지될 수 있게 하기 위해 하우징을 단단히 폐쇄할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 도어는 또한 타겟용 베어링, 타겟, 가스 유입구 및/또는 배출구 등과 같은 일부 컴포넌트들을 포함할 수 있다.
추가적으로, 이러한 맥락에서, "베어링"이라는 용어는 타겟을 홀딩할 수 있는 컴포넌트인 것으로 이해되어야 한다. 일부 실시예들에 따르면, 베어링은 둘 또는 그 초과의 부품들 사이에서 정의된 상대적인 움직임을 허용하는 컴포넌트이다. 베어링은 롤링 엘리먼트들을 갖는 베어링 또는 마찰면들을 갖는 플레인 베어링(plane bearing)일 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 베어링은 도어에 또는 하우징의 벽에 위치되고, 적어도 부분적으로 타겟을 둘러싸는 컴포넌트이다. 다른 실시예들에 따르면, 베어링은 단지 하우징의 도어 또는 벽에 있는 홀일 수 있으며, 이를 통해 타겟이 연장한다. 이러한 경우, 베어링은 임의의 형상을 가질 수 있다.
이러한 맥락에서 사용되는 "타겟"이라는 용어는 기판 상에 공급되어야 하는 물질의 조각 또는 기판에 공급될 물질로 코팅되는 조각을 지칭한다. 예를 들면, 타겟은 Al, Mo, MoNb, Ti, AlNd, Cu, CuMn, IGZO, Si, ITO, SiO, Mg, Cr 등으로 이루어질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 타겟은 PVD 챔버 내의 캐소드의 기능을 제공할 수 있는 것으로 설명될 수 있다.
도 4a 및 도 4b에서는 도 3a 및 도 3b의 챔버(200)와 유사한 PVD 챔버(300)가 도시된다. 챔버(300)는 하우징(310) 및 도어(320)를 갖고, 이들의 설계는 근본적으로 도 3a 및 도 3b 또는 도 3c를 참조하여 설명된 바와 같은 설계일 수 있다. 또한, 타겟들(230)은 이전에 설명된 바와 같은 타겟들일 수 있다. 그러나, 실시예들에 따르면, 챔버는 회전하는 타겟에 적응될 수 있다. 이러한 목적을 위해, 구동 유닛(360)이 제공되고 타겟들(230)에 직접적으로 또는 간접적으로 부착된다. 예를 들면, 챔버는 구동 유닛이 타겟들에 연결되는 것을 돕는, 커넥터들 등과 같은 구동 유닛 디바이스들을 가질 수 있다. 구동 유닛은 타겟들(230)을 구동할 수 있다. 예를 들면, 구동 유닛(360)은 타겟들(230)이 회전하게 하는 모터일 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 하나의 구동 유닛이 모든 타겟들에 대해 제공될 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 각 타겟은 각각의 타겟이 독립적으로 구동될 수 있도록 각각의 구동 유닛을 가질 수 있다.
선택적으로, 구동 유닛은 챔버의 컴포넌트들을 구동하도록 적응된다. 예를 들면, 구동 유닛은 구동되는 타겟, 기판 또는 챔버의 다른 컴포넌트들의 회전 운동 또는 피벗 운동, 또는 심지어 선형 운동을 일으킬 수 있다.
구동 유닛(360)은 또한 도 4b에서 측면도로 보일 수 있다. 챔버(300)는 베어링(340)을 갖는다. 선택적으로, 구동 유닛은 챔버의 베어링 측에 장착된다. 예를 들면, 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들에 따라 타겟의 베어링이 챔버의 상면 측 상에 있는 경우, 구동 유닛은 또한 챔버의 상면 측에 위치된다. 다시 말하면, 도시된 실시예에서의 구동 유닛은 제 2 방향(270)에서 더 큰 챔버(300)의 측 상에 위치된다.
도 5a는 PVD 챔버의 다른 실시예를 도시한다. 하우징(410) 및 도어(420)를 갖는 챔버(400)가 도시된다. 도어 및 하우징은 방향(260)으로의 챔버(400)의 연장에 대하여 방향(270)으로의 실질적으로 균일한 연장을 갖는다. 이전에 설명된 것과 동일한 타겟들일 수 있는 타겟들(230)은 하우징(410)에 위치 및 장착된다. 하우징(410)에서, 베어링들(440)은 바닥 측(470) 상에 제공되는데, 이는 또한 위의 정의와 조화되어 베어링 측으로서 설명될 수 있다. 추가적으로, 실시예에서 도시된 하우징(410)은 개구들(480)을 제공하는데, 이들은 하우징(410)의 베어링 측(470)의 반대 측(475)에 위치된다.
선택적으로, 개구들(480)은 타겟들(230), 베어링들(440)과 각각 정렬된다. 예를 들면, 개구들(480)은 개구들이 타겟들(230)의 가상 연장부를 구성하도록 챔버(410)의 상면 상의 반대 측(475)에 배치된다. 일 실시예에 따르면, 개구들(480)의 형상은 타겟들(230)의 외부 형상과 유사하다. 예를 들면, 개구들(480)은 타겟들(230)의 원주와 동일한 형상을 가질 수 있지만, 치수는 선택적으로 조금 더 클 수 있다.
실시예에 따르면, 개구들의 형상은 타겟들(230)의 형상과 상이하다.
선택적으로, 개구들(480)의 형상은, 타겟들(230)이 제 1 방향(260)으로 이동되는 경우, 타겟들(230)이 통과하게 한다. 선택적으로, 개구들(480)은 타겟 개구들인 것으로 설명될 수 있다. 타겟 개구들은 적어도 타겟의 단면의 크기를 가질 수 있다. 이는 개구가 타겟의 길이 축에 수직인 방향으로 타겟의 치수의 크기를 가짐을 의미한다.
일부 실시예들에 따르면, 단 하나의 개구(480)가 제공될 수 있다. 선택적으로, 하나의 개구의 형상은 두 타겟들(230)이 통과하게 하도록 설계될 수 있다. 2개보다 많은 타겟들이 제공되는 경우, 하나의 개구는 모든 타겟들이 통과하게 하도록 설계될 수 있다.
선택적으로, 개구들(480)의 수는 타겟들의 수에 대응한다.
도 5a에 도시된 실시예에 제한되지 않는 일부 실시예들에 따르면, 도어는 하우징의 설계에 적응된다.
하우징(410) 및 도어(420)는 중첩하는 부분들을 갖는다. 선택적으로, 도어(420)의 중첩하는 부분은 하우징의 타겟 개구를 폐쇄한다. 도 5b를 참조하여 볼 수 있는 바와 같이, 도어(420)는 미리 결정된 정도로 하우징의 벽들과 중첩한다. 선택적으로, 미리 결정된 정도는 도어가 챔버를 폐쇄할 수 있도록 선택된다. 챔버, 및 특히 챔버의 개구들을 도어에 의해 폐쇄함으로써, 온도, 압력, 가스 함량 등과 같은 챔버 내의 원하는 조건들이 챔버 내에서 유지될 수 있다. 따라서, 도어(420)는 개구들(480)이 폐쇄된 상태로 도어(420)에 의해 완전히 덮여지도록 적어도 개구들(480)이 도달하는 정도까지 제 2 방향(270)으로 하우징과 중첩한다.
일부 실시예들에 따르면, 도어 및 하우징은 개구들을 덮기 위해 중첩되지 않지만, 개구들을 폐쇄할 수 있는 폐쇄 디바이스들이 제공될 수 있다. 타겟 개구/개구들을 덮도록 적응된 디바이스들은 덮개, 밀봉, 배리어, 금속 시트, 작은 도어 등일 수 있다.
도 5c는 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들에 따른 챔버를 도시한다. 도어(420) 및 하우징(410)은 접합면들(485 및 486)을 각각 갖는다. 접합면들(485 및 486)은 챔버가 폐쇄되는 경우에 접촉된다. 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따르면, 타겟들(230)은 하우징(410)의 홀딩 디바이스(445) 상에 장착되는데, 이는 ― 폐쇄된 상태에서 ―적어도 부분적으로 도어(420) 내에 위치된다. 타겟들(230)을 위한 베어링들(440)은 또한 홀딩 디바이스(445)에 위치된다.
실시예들에 따르면, 홀딩 디바이스는 챔버와 동일한 물질로 이루어진 시트일 수 있다. 홀딩 디바이스는 타겟들을 위한 베어링들을 운반하도록 적응된다. 일부 실시예들에 따르면, 홀딩 디바이스는 베어링을 운반하기에 적합한 임의의 물질로 이루어질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 홀딩 디바이스는 타겟들을 운반하도록 적응된다.
챔버로부터의 타겟의 제거는 챔버의 설계에 의해 용이하게 된다. 설명된 설계를 이용함으로써, 타겟은 제 1 방향(260)으로, 즉, 타겟의 축 방향으로 챔버로부터 제거될 수 있다.
도 6a에서, 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 실시예들이 보일 수 있다. 챔버(500)는 하우징(510) 및 도어(520)를 제공한다. 챔버(510)는 개방된 상태로 도시된다.
도어(520) 및 하우징(510)은 도 3a 및 도 3b에 대하여 설명된 형상과 유사한 형상을 가질 수 있다.
양상에 따르면, 도어(520) 및 하우징(510)은 챔버(500)를 형성하도록 형상을 서로 보완한다. 선택적으로, 도어(520) 및 하우징(510)에 각각 접합면들(580 및 581)이 제공되어 있다. 접합면들(580 및 581)은, 접합면들(580 및 581)이 서로 접촉하는 경우, 챔버를 폐쇄하도록 구성된다.
일부 실시예들에 따르면, 챔버의 접합면들에는 챔버에서 진공이 유지됨을 보증하는 밀봉 디바이스가 제공될 수 있다. 밀봉 디바이스(미도시)는 일종의 클램프 또는 탄성 물질, 그들의 조합 또는 PVD 챔버를 밀봉하기에 적합한 임의의 디바이스 또는 물질일 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 하우징 및 도어는 조금만 중첩된다. 예를 들면, 도어 및 하우징은 밀봉 목적들 등을 위해 중첩될 수 있다.
하우징(510)은 도어-개구(550)를 가지며, 이를 통하여 하우징의 내측에 도달될 수 있다. 도어-개구(550)는 챔버를 세정하기 위해, 챔버의 부품들을 변경하기 위해, 유지보수 목적들 등을 위해 챔버에 접근하는데 사용될 수 있다.
도 6a에서 볼 수 있는 바와 같이, 제 2 방향(270)으로의 챔버 및 도어의 연장은 제 1 방향(260)으로의 챔버의 연장에 걸쳐 변화한다. 선택적으로, 접합면들(580 및 581)의 형상은 테이퍼링되는 것으로 설명될 수 있다. 다시 말하면, 도어(520)는 타겟의 제 1 방향(260)에 대하여 실질적으로 대칭이고, 제 3 방향(265)에 대하여 비대칭이다.
추가 실시예들에 따르면, 하우징의 형상은 도어의 형상과 유사할 수 있다. 예를 들면, 하우징은 제 1 방향에 대하여 실질적으로 대칭이고, 제 2 방향(270)에 대하여 비대칭이다.
선택적으로, 도어 및 하우징은 실질적으로 동일한 형상을 가질 수 있다. 예는 도 3c에 도시된다. 도 3c의 실시예에서, 도어(520) 및 하우징(510)은 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 다시 말하면, 베어링 측의 반대 측에서 제 2 방향(270)으로의 도어의 연장은 실질적으로 베어링 측에서 챔버의 연장만큼 크다. 하우징(510) 및 도어(520)는 유사한 기하학적 형상을 가질 수 있지만, PVD 공정용의 상이한 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 하우징 및 도어는 유사한 형상을 가질 수 있지만, 크기는 상이하고, 상이한 물질들 또는 물질 두께들로 이루어질 수 있다. 도 3c에 도시된 기하형상은 또한 도 6a 및 도 6b에 대하여 설명된 바와 같은 PVD 챔버에 적용될 수 있다. 그것은 챔버의 기하형상이 도 3c에 도시된 바와 같을 수 있지만, 도 6a에 도시된 바와 같이, 타겟들(230)이 도어에 제공되는 것을 의미한다.
도 6a가 챔버의 제 2 방향(270)으로의 연장이 바닥 측(570)에서 더 작고 상면 측(575)에서 더 큼을 예시적으로 도시하지만, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 따른 하우징은 그 반대로, 즉, 바닥 측(570)에서 제 2 방향(270)으로의 연장이 더 크고, 상면 측(575)에서 방향(270)으로의 연장이 더 작도록 구성될 수 있다. 동일한 것이 도어의 기하형상에 대하여 유효하다.
도 6a에 도시된 실시예들에 제한되지 않는 일부 실시예들에 따르면, 타겟들(230)은 도어에 장착된다. 도어(520)는 타겟을 장착하기 위한 베어링들(540)을 갖는다. 베어링들(540)은 도어에 부착될 수 있다. 선택적으로, 베어링은 도어에 위치될 수 있다. 실시예들에 따르면, 베어링은 도어의 일부일 수 있다. 선택적으로, 베어링은 또한 사용된 베어링의 유형에 의존하여 도어에 다르게 적용될 수 있다. 차례로, 베어링의 유형은 타겟에 의존하고 수행될 공정에 따라 변할 수 있다.
타겟들은 도 3a 및 도 3b를 참조하여 위에서 설명된 것과 동일할 수 있다. 타겟들(230)은 제 2 방향(270)으로 더 큰 연장을 갖는 도어의 측에 장착된다. 따라서, 실시예에서, 타겟들(230)은 도어(520)의 바닥 측(570) 상에 장착될 수 있다. 제 2 방향(270)으로의 도어의 연장이 상면 측에서 더 큰 실시예에 따르면, 타겟들(230)은 도어의 상면 측(575) 상에 장착될 것이다.
도 6b의 폐쇄된 위치에서의 챔버의 측면도는 어떻게 도어(520)가 하우징(510)에 관하여 형성되는지를 도시할 것이다. 타겟(230)이 도어에 장착되고 제 1 방향(260)으로 하우징 안으로 연장되기 때문에, 타겟(230)은 도어를 개방함으로써 하우징(230)으로부터 제거된다. 따라서, 도어의 적어도 일 측은 그 안에 타겟을 위치시키기 위한 베어링(540)을 포함한다.
베어링을 포함하는 측은 베어링 측으로서 표시된다. 일부 실시예들에 따르면, 제 1 방향(260)으로 베어링 측에 반대되는 측은 베어링 측의 반대 측인 것으로 설명될 수 있다. 선택적으로, 베어링 측의 반대 측은 베어링 측을 대향하는 챔버의 측으로서 이해될 수 있다. 베어링은 타겟이 자신의 길이 축의 주변에서 회전되게 할 수 있다.
추가적으로, 도 6b에 도시된 실시예의 타겟들(230)은 또한 제 1 방향(260)으로 챔버로부터 제거될 수 있는데, 이는 타겟이 교체되어야 하는 경우 특히 유용하다. 일부 실시예들에 따르면, 타겟들(230)을 챔버(500)로부터 제거하기 위한 기법은 도 3 내지 도 5에 관하여 설명된 실시예들에 사용된 기법과 유사하다. 따라서, 챔버(500)는 사용자가 챔버로부터 타겟을 제거하는 추가 가능성을 갖게 할 수 있다.
예를 들면, 사용자가 챔버를 세정하길 원하는 경우, 챔버(500)의 도어(520)가 개방되고, 타겟의 주변부(235)는 직접적으로 접근되고 제거되거나 세정될 수 있다. 타겟은 챔버가 세정되는 경우 베어링(540)으로부터 제거되지 않는다.
추가 실시예에 따르면, 사용자가 마모된 타겟을 교체하길 원하는 경우, 도어(520)가 개방되고 타겟(230)은 제 1 방향(260)으로, 즉, 도 6b와 관련하여 볼 때 좌측으로 제거될 수 있다. 제 1 방향으로 또는 도어를 개방함으로써 타겟을 제거하는 것은 타겟의 제거를 용이하고 간단하게 한다.
도 6a 및 도 6b에 대하여 예시적으로 도시된 실시예들에 따른 챔버-도어 결합은, 타겟이 교환되어야 하고 그리고/또는 챔버가 세정되어야 하는 경우, 타겟(230)의 용이한 분해 및 제거를 가능하게 한다. 예를 들면, 타겟들(230)을 제 1 방향(260)으로 이동시킴으로써 도어가 개방될 수 있고 타겟들(230)이 제거될 수 있다. 추가적으로, 타겟들(230)은 하나의 단계에 의해, 즉, 도어(520)를 개방함으로써 챔버, 각각 하우징에서의 처리 영역으로부터 제거될 수 있고, 따라서 챔버의 세정 및 챔버(500)에 위치되어 있는 부품들의 교체를 용이하게 하고 가속화한다.
이러한 맥락에서 사용되는 바와 같은 "처리 영역"은 물리적 기상 증착 공정이 발생하는 챔버 내의 영역으로서 이해되어야 한다. 동작 동안, 처리 영역은, 예를 들면, 기판, 타겟 및 가스 각각, 가스의 플라즈마를 포함할 수 있다. 처리 영역은 PVD 챔버의 내부 부분, 또는 심지어 내측 전체로서 정의된다.
본 명세서에서 설명되는 실시예는 도 7a 및 도 7b에 도시된다. 실시예에서, 챔버(600)는 하우징(610) 및 도어(620)를 가지며, 이 둘은 방향(260)으로의 챔버(600)의 연장에 걸쳐 방향(270)으로 실질적으로 균일한 연장을 갖는다. 타겟들(230)은 챔버(600)에 제공된다. 타겟들(230)은 도 3a 및 도 3b, 또는 도 6a 및 도 6b에 관하여 설명된 것과 동일할 수 있다. 도 7a에 도시된 실시예에 따르면, 타겟들(230)은 도어(620)에 장착된다.
도 7a에서 볼 수 있는 바와 같이, 실시예에서의 타겟들(230)은 챔버(600)의 바닥 측(670)에 장착되고 홀딩된다. 대안적인 실시예에서, 타겟들(230)은 또한 챔버(600)의 상면 측(675)에 장착되고 홀딩될 수 있다. 타겟들(230)이 이동하게 하거나 도어(620) 내의 고정된 위치에 지지되게 하기 위해 베어링(640)이 도어(620)에, 그리고 그에 따라 챔버(600)에 제공되거나 이들에 부착된다.
도 7a 및 도 7b를 참조하여 예시적으로 도시된 실시예들에서, 도어(620)에서의 베어링들(640)의 배치로 인해 타겟들(230)이 하우징 안으로 연장되지 않거나 큰 정도로 연장되지는 않는다. 그러나, 타겟들(230)의 부분들은, 베어링들(640)이 도어(620)의 개구(651) 부근에 배열된다면 하우징(610) 안으로 연장될 수 있다. 그럼에도 불구하고, 이전에 설명된 실시예들에서와 동일한 용어가 다음에서 사용되고, 타겟들(230)은 "하우징으로부터 제거"된다. 도 7a 및 도 7b에 도시된 실시예에 따르면, "하우징으로부터 제거"라는 용어는 오히려 "챔버 내의 처리 영역으로부터 제거됨"을 의미한다.
도 7b는 측면도로 폐쇄된 상태의 챔버(600)를 도시한다. 챔버(600) 내에서의 타겟들(230)의 위치는 파선들로 보일 수 있다. 따라서, 또한, 도 7b의 실시예에서 설명되는 챔버는 도어(620)를 개방함으로써 타겟(230)을 하우징으로부터 제거하게 한다.
도 8a 및 도 8b는 도 7a 및 도 7b에 대하여 설명된 것과 실질적으로 동일하지만, 타겟들(230)을 구동하기 위한 구동 유닛(760)을 갖는 챔버를 도시한다. 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 실시예들에 따르면, 챔버는 회전하는 타겟에 적응된다. 예를 들면, 챔버는 구동 유닛이 타겟들의 베어링(740) 또는 타겟들 자체에 연결되는 것을 돕는, 커넥터들 등과 같은 구동 유닛 디바이스들을 가질 수 있다. 타겟을 구동할 목적으로, 구동 유닛(760)이 제공되고, 타겟들(230)에 직접적으로 또는 간접적으로 부착된다. 구동 유닛은 타겟들(230)을 구동할 수 있다. 예를 들면, 구동 유닛(760)은 타겟들(230)이 회전하게 하는 모터일 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 하나의 구동 유닛이 모든 타겟들에 대하여 제공될 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 각각의 타겟은 각각의 타겟이 독립적으로 구동될 수 있도록 각각의 구동 유닛을 가질 수 있다. 예를 들면, 구동 유닛 또는 다수의 구동 유닛들은 타겟의 회전 운동 또는 피벗 운동, 또는 심지어 선형 운동을 일으킬 수 있다.
구동 유닛(760)은 또한 도 8b에서 측면도로 보일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 구동 유닛(760)은 챔버의 바닥 측에 장착될 수 있다. 선택적으로, 구동 유닛은 타겟들의 베어링(740)의 측 상에 장착된다. 예를 들면, 타겟의 베어링(740)이 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들에 따른 챔버의 상면 측 상에 있는 경우, 구동 유닛은 또한 챔버의 상면 측에 위치된다.
실시예들에 따르면, 구동 유닛(760)은 도어가 개방된다면 적어도 부분적으로 도어와 함께 이동할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 구동 유닛(760)은 도어가 개방되기 이전에 타겟들(230)로부터 분리될 수 있다.
도 9a는 PVD 챔버의 실시예의 개략적 도면을 도시한다. 챔버(900)는 하우징(910) 및 도어(920)를 제공한다. 2개의 타겟들(230)이 도어(920)에 도시된다. 일반적으로, 타겟들(230)은 도어에 장착되어 있는 것으로 예시적으로 도시되지만, 도어의 일부분인 것으로 이해되지 않아야 한다. 타겟들(230)을 위한 베어링들(940)은 도어(920) 내에 위치된다. 구동 유닛(960)은 도 9a에 도시된 실시예에서 도어(920)의 근처에서 위치된다. 선택적으로, 구동 유닛(960)은 회전가능한 타겟들 등을 구동하도록 적응될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 구동 유닛(960)은 구동 디바이스, 모터, 제어 시스템의 부분들, 베어링들, 커넥터들 등을 포함할 수 있다.
도 9a에서, 챔버(900)는 개방된 상태로 도시된다. 선택적으로, 도어(920)에 부착되어 있는 구동 유닛(960)은 챔버가 폐쇄되는지 또는 개방되는지의 사실과 관계없이, 도어에 동일한 관계로 유지된다.
본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 타겟들(230)은 하우징 내의 기판보다 방향(260)으로 더 큰 연장을 가질 수 있다. 예를 들면, 타겟들(230)은 방향(260)으로 어떤 양만큼 하우징(910)을 초과할 수 있다. 초과하는 양은 증착 물질, 기판 물질, 애플리케이션의 유형 등과 같은 공정 파라미터들에 따라 선택될 수 있다.
도 9b는 도 9a에 도시된 챔버(900)의 개략적인 측면도를 폐쇄된 상태로 도시한다. 구동 유닛(960)은 도 9a 및 도 9b의 실시예에서 도어(920)에 부착된다. 도 9b의 측면도에서 파선들로 보일 수 있는 타겟(230)은 구동 유닛(960)으로 연장한다. 타겟의 베어링(940)은 도어(920)에 위치된다.
도 9c는 PVD 챔버의 실시예의 사시도를 도시한다. 챔버(950)는 측벽들(991 및 992)을 가진다. 예를 들면, 측벽들은 방향(270)으로 연장하는 보강 리브들이 되도록 설계될 수 있다. 폐쇄된 상태에서, 측벽들은 방향(270)으로 도어의 측벽들에 실질적으로 평행할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 도어(921)는 리브들과 도어가 중첩하는 부분들을 갖도록 폐쇄된 상태에서 하우징(911) 내에 적어도 부분적으로 위치될 수 있다. 선택적으로, 도어(921)는, 챔버(950)가 폐쇄된 경우, 측벽들(991 및 992) 사이에 놓일 수 있다. 하우징(911)은 도어(921)의 대응하는 접합면(980)과 매칭하기 위한 주변의 접합면(981)을 갖는다. 도어의 접합면 및 도어의 접합면은 챔버를 밀봉하기 위해, 예를 들면, 공정 파라미터들이 처리 동안 유지됨을 보증하기 위해 사용될 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 도어(921)는 하우징(911) 및 측벽들(991 및 992)의 형상에 적응된다. 예를 들면, 도어(921)는 제 3 방향(265)으로의 연장을 가질 수 있으며, 이는 제 3 방향(265)으로 서로에 대한 측벽들의 거리에 적응된다. 제 3 방향(265)으로의 도어의 연장은 하우징(911)의 측벽들(991 및 992) 사이에 맞춰지도록 적응될 수 있다.
도 9c에서, 챔버(950)는 여러 가지 방식들로 개방될 수 있다. 예를 들면, 도어(921)는 힌지형 디바이스에 의해 개방될 수 있고, 예를 들면, 위에서 설명된 도 9a에 도시된 것과 같이 회전되어 개방될 수 있다. 선택적으로, 챔버(950) 도어는 도 9c에서 화살표(260)로 표시되는 제 1 방향으로 도어(921)를 이동시킴으로써 개방될 수 있다.
도 9c에 도시된 실시예들에 제한되지 않는 실시예들에 따르면, 도어는 타겟의 길이 방향으로, 즉, 제 1 방향으로 개방되도록 구성된다. 도 9c의 실시예에서, 도어(921)는 챔버(950)를 개방하기 위해 그리고/또는 교체 또는 유지보수 목적들을 위해 방향(260)으로 리프팅될 수 있다. 선택적으로, 도어는 제 1 방향(260)으로 이동되도록 적응된다.
일반적으로, 또한 본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들의 도어들은, 도어 및 챔버의 기하학적 구성이 방향(260)으로 도어를 리프팅하게 하는 경우, 챔버의 내부에 접근하도록 방향(260)으로 리프팅될 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 본 명세서에서 설명되는 것과 같은 PVD 챔버는 하나보다 많은 도어를 가질 수 있다. 예를 들면, 챔버에는 하나의 하우징 및 3개의 도어들이 제공될 수 있다.
도 10a는 하나보다 많은 도어를 갖는 PVD 챔버(1000)의 실시예를 도시한다. 챔버(1000)는 폐쇄된 상태로 도시되고 하우징(1010) 및 예시적으로 3개의 도어들(1021, 1022, 1023)을 포함한다. 도어들의 수는 챔버의 설계, 코팅될 기판, 사용된 공정 등에 따라 변할 수 있다. 도 10a에 도시된 실시예의 각각의 도어(1021, 1022 및 1023)에, 2개의 타겟들(230)이 장착된다. 일부 실시예들에 따르면, 하나의 도어에 창작된 단지 하나의 타겟이 있을 수 있다. 선택적으로, 2개보다 많은 타겟들이 하나의 도어에 장착될 수 있다. 도 9a 및 도 9b에 대하여 설명된 바와 같이 설계되어 있는 도어들이 도시되지만, 또한 다른 실시예들에 대하여 위에서 설명된 도어들과 같이 설계될 수도 있다.
일반적으로, 도어들의 수는 타겟들의 수에 관련될 수 있다. 예를 들면, 본 명세서에서 설명되는 일부 실시예들에 따라 타겟들이 하우징에 장착되는 경우, 1개, 2개 또는 심지어 3개와 같은 정의된 수의 타겟들이 하나의 도어를 통하여 접근가능할 수 있다. 도 10a에 도시된 실시예에서, 2개의 타겟들(230)이 도어들(1021, 1022 및 1023)의 각각에 의해 접근될 수 있다.
도 10b에서, 도 10a에서와 동일한 챔버가 도시되지만, 하나의 도어(1022)가 개방된 상태로 도시된다. 도어(1022)는 그 도어 근처에 있는 구동 유닛(1060)을 갖는다. 일부 실시예들에 따르면, 챔버(1000) 또는 챔버(1050)의 다른 도어들(1021, 1023)이 또한 도어(1022)와 같이 구동 유닛(1060)을 가질 수 있다. 단순화를 위해서, 도어(1022)에만 구동 유닛이 도시된다.
개방된 상태의 챔버(1050)에서, 도어(1022)의 접합면(1080) 및 하우징(1010)의 접합면(1081)이 보일 수 있다. 접합면들은 접합면들(1080 및 1081)이 서로 접촉하는 경우 챔버를 폐쇄하도록 구성된다. 일부 실시예들에 따르면, 챔버(1050)의 접합면들(1080 및 1081)에는 밀봉 장치가 제공될 수 있는데, 이는 진공과 같은 공정 파라미터들이 챔버에서 유지됨을 보증한다. 밀봉 장치(미도시)는 클램프 또는 o-링과 같은 탄성 물질, 이들의 조합 또는 PVD 챔버를 밀봉하기에 적합한 임의의 디바이스 또는 물질일 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 챔버(1050)는 여러 개의 측벽들을 제공하는데, 이들 중 2개의 측벽은 도 10a 및 도 10b에 측벽들(1091 및 1092)로서 도시된다. 측벽들은 보강 리브들 등일 수 있고 도어들(1021, 1022 및 1023)을 서로 분리할 수 있다.
챔버(1050)의 하우징(1010)의 내측은 하우징(1050)의 하나 또는 그 초과의 도어-개구들을 통하여 접근될 수 있다. 하나의 도어 개구(1055)는 도 10b에서 보일 수 있다. 따라서 도어-개구(1055)는 기판이 처리되는 처리 영역에 대한 일종의 윈도우를 제공한다.
선택적으로, 챔버(1010)는 또한 교체 또는 유지보수 목적들을 위해 방향(260)으로 도어(2022)를 리프팅함으로써 개방될 수 있다.
일부 실시예들에서, 크레인 등과 같은 리프팅 장치는 도어들을 개방하기 위해 그리고 교체 및/또는 유지보수 목적들을 위해 PVD 챔버의 내부에 접근하도록 제공될 수 있다. 예를 들면, 위에서 설명된 PVD 챔버들 중 하나 또는 그 초과는 기판 처리를 위한 복수의 또는 많은 애플리케이션들을 위한 시스템 또는 라인에 위치될 수 있다. 시스템은 방향(260)으로 상면 측으로부터 챔버들의 각각의 단일 타겟에 접근하기 위한 여러 개의 암들을 갖는 하나의 크레인을 제공할 수 있다.
도 11a는 PVD 챔버용 도어(1100)를 도시한다. 타겟들(230)은 도어에 제공되며, 이는 이전에 설명된 타겟들과 유사하거나 동일하다. 타겟들(230)은 베어링들(1140)에 의해 도어에 장착된다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 도어의 형상은 예시적이고 적합하게 적응될 수 있다. 예를 들면, 도어의 형상은 도 6a의 챔버(500)와 매칭하도록 적응될 수 있다.
도 11b에서, 도어(1100)는 측면도로부터, 특히 도 11a에 표시된 바와 같이 측(1110)으로부터 보일 수 있다. 도 11b에 도시된 실시예에서, 도어(1100)의 베어링들(1140)은 도어(1100)의 측벽(1110)을 관통하는 홀들로서 보일 수 있다. 선택적으로, 타겟들은 베어링들(1140)을 관통하여 연장할 수 있고 PVD 챔버의 도어(1100)의 외부로 이어질 수 있다. 측벽(1110)을 관통하여 연장함으로써, 타겟들은 구동 유닛에 의해 구동될 수 있다.
실시예에 따르면, 베어링은 측벽(1110)들을 관통하여 연장할 수 없으므로, 타겟들은 도어 내에 그리고 그에 따라 챔버 내에 존재한다.
일부 실시예들에 따르면, 도어(1100)는 도 11b에 도시된 홀들 이외에도 베어링들을 가질 수 있다. "베어링"이라는 용어에 대한 위의 설명에 대한 참조가 이루어지며, 이에 따라 임의의 유형의 베어링이 본 명세서에서 설명되는 PVD 챔버의 도어 또는 하우징에서 사용될 수 있다.
일반적으로, 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 PVD 챔버의 도어는 타겟들(230), 하우징(910) 및 공정 파라미터들의 기하학적 조건들에 적응된다. 도 12는 도어의 실시예의 예를 도시하는데, 이는 본 명세서에서 설명된 바와 같은 PVD 챔버들에서 사용될 수 있다. 실시예는 도어의 형상이 상이한 실시예들에 따라 변할 수 있음을 도시하며, 도면들에서 챔버들의 도시된 예들에 제한되지 않는다.
도 12는 본 명세서에서 설명되는 바와 같은 PVD 챔버를 위해 사용될 수 있는 도어의 실시예를 도시한다. 도어(1220)는 지지 디바이스(1225)를 제공할 수 있다. 타겟들의 베어링들을 지지하기 위한 지지 디바이스(1225)는 도어에 부착될 수 있거나 도어의 부분일 수 있다. 도 12는 도어(1220)의 실시예를 사시도로 도시한다. 지지 디바이스(1225)는 도 12의 실시예에서 평판이다. 도어(1220)는 타겟들(230)을 장착하기 위한 베어링들(1240)을 제공한다. 선택적으로, 베어링들(1240)은 지지 디바이스(1225) 상에 위치될 수 있다. 지지 디바이스는 타겟들(230)의 무게를 운반하도록 적응될 수 있다.
많은 특징들이 도면들에 대하여 구체적인 참조 부호들로 설명되었지만, 설명된 특징들은 특징들이 도시되는 실시예들에 제한되지 않음이 이해되어야 한다. 예를 들면, 상이한 실시예들에서 도시된 특징들의 조합들은 또한 챔버가 PVD 챔버를 작동시키는 설명된 공정들을 수행하게 하는데 적합할 수 있다.
선택적으로, 본 명세서에서 설명된 챔버들은 스퍼터링 공정에 적합하다. 예를 들면, 챔버는 막 증착, 식각, 분석 목적들 등에 적응될 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 본 명세서에서 언급된 타겟은 스퍼터 캐소드일 수 있다. 선택적으로, 스퍼터 캐소드로 사용되고 있는 타겟은 수행될 공정들에 대한 특정 속성들을 갖는다. 예를 들면, 타겟은 스퍼터 캐소드의 기능을 제공하기 위한 타겟의 능력을 개선하기 위해 바디 상에 장착될 수 있다. 선택적으로, 바디는 수냉될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 스퍼터 캐소드는 전기적으로 절연될 수 있고 전력 공급부에 연결될 수 있다. 선택적으로 스퍼터 캐소드는 음의 전위로 설정될 수 있다.
선택적으로, 챔버는 TFT 애플리케이션들, 컬러 필터 애플리케이션들, 터치 패널 애플리케이션들 등과 같은 디스플레이 애플리케이션들뿐만 아니라 쏠라(solar) 애플리케이션들에 또한 사용되도록 구성될 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 챔버는 대형 기판 애플리케이션들을 위해 구성될 수 있다. 예를 들면, 챔버는 약 1.5m의 길이에 걸쳐 물리적 기상 증착을 가능하게 하도록 적응될 수 있다. 본 명세서에서 설명된 임의의 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 챔버는 선택적으로 0.5m 내지 3.5m, 보다 선택적으로 1.0m 내지 3.0m 및 더욱 선택적으로 1.5m보다 큰, 특히 1.5m 내지 2.5m의 기판들을 위해 적응될 수 있다. 예를 들면, 기판은 약 3.0m × 3.5m의 크기를 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 기판은 수 제곱 센티미터의 크기를 가질 수 있다. 선택적으로, 기판은 단일-부품 기판 또는 밴드와 같은 기판일 수 있는데, 이는 적응된 구동 유닛들 등에 의해 챔버로 안내된다.
본 명세서에서 설명된 다른 실시예들과 결합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 챔버의 베어링은 PVD 공정용 스퍼터 캐소드를 수용하도록 적응될 수 있다. 선택적으로, 챔버의 베어링은 PVD 공정용 스퍼터 캐소드를 홀딩하도록 적응될 수 있다. 선택적으로, 챔버의 베어링은 PVD 공정용 스퍼터 캐소드를 고정하도록 적응될 수 있다.
선택적으로, 본 명세서에서 설명된 챔버들은 수직 위치에서와 다르게 배치될 수 있다. 예를 들면, 챔버는 선택적으로 수평 배열로 배치될 수 있다. 방향의 표시는 대부분의 설명에 대해 동일한 것으로 이해되어야 한다. 도 1은 설명된 방향에 대한 참조일 수 있다. 예를 들면, 제 1 방향은 챔버가 배열되는 위치와 관계없이 타겟의 길이 축을 따라 이어진다.
본 명세서에서 설명된 실시예들에 따른 챔버를 이용함으로써, PVD 공정의 타겟들 또는 캐소드들은 PVD 챔버로부터, PVD 처리 영역으로부터 각각 빠르게 제거될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 타겟들의 제거는 타겟들의 분리 없이 이루어질 수 있는데, 이는 상당한 시간 및 비용들을 절약한다. 본 명세서에서 설명된 실시예들에 따르면, 타겟들을 챔버의 제 1 방향으로 이동시킴으로써 타깃들이 제거될 수 있다. 본 명세서에서 설명된 실시예들은, 타겟들이 이를 챔버의 제 2 방향으로부터 캐치함으로써 분리될 필요가 없기 때문에, 시간 및 비용들의 양에 대한 이익을 가져온다.
본 명세서에서 설명된 바와 같이, 챔버, 각각 처리 영역으로부터의 타겟의 제거에 의해, 챔버 안의 부품들 및 디바이스들은 편리하게 도달 및 교환될 수 있다. 따라서, 챔버 내에 위치된 부품들의 교체 및 세정 공정은 단축되고 공정 챔버의 정지 시간 또는 휴지 시간은 줄어든다. 더 큰 효율 및 더 우수한 작업 능력이 발생한다.
챔버, 특히 하우징 및 처리 영역의 내부로의 용이하고 빠른 접근은 본 명세서에서 설명된 모든 실시예들에 공통이다. 다시 말하면, 본 명세서에서 설명된 실시예들에 따른 챔버를 이용함으로써, 타겟들은 처리 영역에 접근할 필요 없이 도달될 수 있다.
앞서 설명한 것은 본 발명의 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 및 추가 실시예들이 그것의 기본 범위를 벗어남 없이 창안될 수 있고 그것의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (18)

  1. 물리적 기상 증착용 챔버로서,
    하우징;
    상기 하우징을 개방 및 폐쇄하는 도어 - 상기 챔버는 회전하는 타겟용으로 구성됨 - ; 및
    원통형의 타겟을 회전가능하게 수용하고 홀딩하는 베어링 - 상기 베어링은 상기 타겟의 길이 방향 축에 대응하는 제 1 방향으로 지향됨 - ;을 포함하고;
    상기 챔버는, 상기 베어링이 위치되는 베어링 측 및 상기 제 1 방향으로 상기 베어링 측에 반대되는 상기 베어링 측의 반대 측을 포함하며, 그리고
    상기 챔버는, 상기 타겟이 상기 제 1 방향으로 상기 베어링 밖으로 제거가능하고 상기 제 1 방향으로 상기 챔버로부터 적어도 부분적으로 제거가능하도록, 구성되는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버의 베어링 측은 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 상기 베어링 측의 반대 측보다 큰 연장을 갖는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 베어링은 상기 도어 내에 위치되는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 도어의 형상은, 상기 제 1 방향에 대하여 대칭이고, 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향에 대하여는 비대칭인,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징의 형상은, 상기 제 1 방향에 대하여 대칭이고, 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향에 대하여는 비대칭인,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징은 베어링 측에 대한 반대 측에서 하나 이상의 타겟 개구를 포함하고, 상기 타겟 개구는 적어도 상기 타겟의 횡단면의 크기를 갖는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 하우징 및 상기 도어는 중첩하는 부분들을 가지며, 상기 도어는 상기 하우징의 타겟 개구들을 폐쇄하는(lock up),
    물리적 기상 증착용 챔버.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    타겟 개구들의 개수는 베어링들의 개수에 대응하는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  9. 제 1 항, 제 2 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버는 스퍼터링 공정용 챔버인,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  10. 제 1 항, 제 2 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 타겟을 구동하기 위한 구동 유닛을 더 포함하는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  11. 하나 이상의 타겟 및 기판을 수용하도록 구성된 물리적 기상 증착용 챔버로서,
    상기 챔버는,
    하우징;
    상기 챔버를 개방 및 폐쇄하는 도어; 및
    상기 타겟을 회전가능하게 장착하는 하나 이상의 베어링을 포함하며,
    상기 챔버는 회전하는 타겟용으로 구성되고,
    상기 챔버의 도어는 상기 타겟을 위한 베어링이 위치되는 베어링 측을 포함하는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 베어링 측은 상기 하나 이상의 베어링을 포함하고, 상기 타겟은 상기 챔버의 제 1 방향으로 상기 챔버로부터 제거가능하며, 상기 제 1 방향은 상기 챔버의 상기 베어링 측으로부터 상기 베어링 측의 반대 측으로 이어지는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 도어의 형상은, 상기 제 1 방향에 대하여 대칭이고, 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향에 대하여는 비대칭인,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 하우징의 형상은, 상기 제 1 방향에 대하여 대칭이고, 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향에 대하여는 비대칭인,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  15. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 챔버는 스퍼터링 공정용 챔버인,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  16. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 타겟을 구동하기 위한 구동 유닛을 더 포함하는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  17. 제 1 항, 제 2 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 11 항 및 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나 이상의 상기 베어링은 스퍼터 캐소드를 수용하도록 구성되는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
  18. 제 1 항, 제 2 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 11 항 및 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버는 1.5m 내지 2.5m의 기판들용으로 구성되는,
    물리적 기상 증착용 챔버.
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