KR101661213B1 - 촬상 소자 유닛 및 전자 기기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자와, 상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자와, 상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자와, 상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부를 구비한 촬상 소자 유닛 및 전자 기기를 제공한다.

Description

촬상 소자 유닛 및 전자 기기{Imaging device unit and electronic apparatus}
본 발명은 촬상 소자 유닛 및 전자 기기에 관한 것이다.
종래, 촬상 장치의 촬상 유닛 등에 달라붙는 먼지를 제거하는 기술로서, 예를 들면 일본특허공개공보 제2007-206640호에는, 로우 패스 필터의 전면에 공기 흐름(공기류, 空氣流)을 발생시켜 먼지를 제거하기 위해, 압전 소자를 구동원으로 하는 유체 펌프를 배치한 구성이 개시되어 있다.
또한, 일본특허공개공보 제2006-203776호에는, 보호 유리의 진동에 의해 털린 먼지를 가동 부재가 일으키는 공기 흐름으로 보호 유리에서 멀어지게 하는 기술이 개시되어 있다.
또한, 촬상 소자 모듈의 냉각 구조로서, 일본특허공개공보 제2008-227939호에는 유체 순환로 안에 작동 유체를 순환 공급하여, 열이송하는 유체 순환 수단을 구비한 구성이 개시되어 있다.
그러나, 상기 일본특허공개공보 제2007-206640호에 기재된 기술은, 로우 패스 필터의 전면에 공기 흐름을 발생시키는 것이지만, 먼지, 티끌 등의 부착력이 비교적 강한 경우에는 공기 흐름만으로는 로우 패스 필터 표면에 달라붙은 잡티를 제거하기 힘들다.
또한, 상기 일본특허공개공보 제2006-203776호에 기재된 기술은, 보호 유리에 진동을 일으키기 위한 구동원과, 공기 흐름을 일으키기 위한 구동원 2개가 필요하기 때문에 장치의 소형화가 어려워 제조 비용이 상승되는 문제가 있다.
또한, 상기 일본특허공개공보 제2008-227939호에 기재된 기술은, 촬상 소자의 냉각 효율 향상을 가정하고 있을 뿐, 촬상 소자 유닛에 달라붙은 먼지를 제거하는 것은 전혀 가정하지 않았다.
본 발명은, 촬상 소자 유닛에 달라붙은 먼지, 파티클 등을 확실하게 제거할 수 있는 촬상 소자 유닛 및 전자 기기를 제공하는 것을 주된 과제로 한다.
촬상 소자 유닛은 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자; 상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자; 상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자; 및 상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜, 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부;를 구비하고, 상기 공기 흐름 공급부는 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시키며, 상기 공기 흐름 공급부는 상기 내부 공간의 용적이 증가되었을 때에 상기 내부 공간에 공기를 도입하는 흡기 밸브와, 상기 내부 공간의 용적이 감소되었을 때에 상기 내부 공간의 공기를 배출하는 배기 밸브를 구비하여, 상기 배기 밸브에서 배출된 공기 흐름을 상기 광학 소자의 표면에 공급한다. 따라서, 상기 압전 소자의 진동에 의해 상기 광학 소자의 표면에 달라붙은 잡티, 파티클 등을 제거함과 동시에, 잡티, 파티클 등을 상기 압전 소자의 진동에 의한 공기 흐름으로 제거할 수 있게 된다.
여기서, 상기 공기 흐름 공급부는, 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시킬 수 있다. 상기 구성에 의하면, 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 발생시킨 공기 흐름을 상기 광학 소자에 공급함과 동시에, 상기 촬상 소자의 열을 효율적으로 방열할 수 있다.
상기 구성에 의하면, 상기 압전 소자의 진동에 따른 내부 공간의 용적 변화에 대응하여 상기 흡기 밸브와 상기 배기 밸브가 작동함으로써, 내부 공간의 공기를 상기 광학 소자에 공급할 수 있게 된다.
촬상 소자 유닛은 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자; 상기 촬상 소자를 지지하는 방열용 플레이트; 상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자; 상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자; 상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜, 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부; 상기 광학 소자의 테두리부에 장착되어 상기 압전 소자에 의해 진동하며, 외형의 적어도 일부가 상기 광학 소자의 외형보다도 바깥쪽으로 연장된 연장부를 구비한 플레이트; 및 상기 광학 소자 및 상기 촬상 소자를 지지하며 상기 소정 공간에 공기를 도입하는 흡기 통로와 상기 소정 공간의 공기를 배출하는 배기 통로를 구비하는 지지 프레임;을 구비하고, 상기 공기 흐름 공급부는, 내부가 비어 있는 펌프실을 구비하며 일단이 상기 플레이트의 상기 연장부에 연결되고 타단이 상기 방열용 플레이트에 지지되도록 상기 소정 공간에 배치되어, 상기 플레이트의 진동에 의해 탄성 변형되는 펌프실 형성부; 상기 지지 프레임의 상기 배기 통로에 연결되어 상기 소정 공간의 용적 변화에 따라 공기를 배출하도록 상기 지지 프레임에 마련된 제1 구멍; 상기 플레이트의 상기 제1 구멍에 대응하는 위치에 마련된 제2 구멍; 및 상기 제2 구멍과 연결되도록 상기 펌프실 형성부의 상기 일단에 마련되는 제3 구멍을 구비하고, 상기 제1 구멍은 상기 광학 소자에 공기 흐름을 공급하는 상기 배기 통로에 연결되어, 상기 공기 흐름 공급부는 상기 플레이트가 진동할 때의 상기 펌프실 형성부의 탄성 변형에 의한 상기 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시킨다. 상기 구성에 의하면, 상기 제1 구멍 및 상기 제2 구멍을 공기가 통과할 때의 벤츄리 효과에 의해, 상기 제1 구멍을 통과하는 공기 흐름보다도 유량이 증대된 공기 흐름이 상기 광학 소자의 표면에 공급되기 때문에 유량이 증대된 공기 흐름에 의해 잡티, 파티클 등을 확실하게 제거할 수 있게 된다.
따라서, 상기 압전 소자의 진동에 의해 상기 광학 소자의 표면에 달라붙은 잡티, 파티클 등을 제거함과 동시에, 잡티, 파티클 등을 상기 압전 소자의 진동에 의한 공기 흐름에 의해 제거할 수 있게 된다.
여기서, 상기 공기 흐름 공급부는, 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시킬 수 있다. 상기 구성에 의하면, 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 발생시킨 공기 흐름을 상기 광학 소자에 공급함과 동시에, 상기 촬상 소자의 열을 효율적으로 방열할 수 있다.
상기 구성에 의하면, 상기 압전 소자의 진동에 따른 내부 공간의 용적 변화에 따라 상기 흡기 밸브와 상기 배기 밸브가 작동함으로써, 내부 공간의 공기를 상기 광학 소자에 공급할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 촬상 소자 유닛에 달라붙은 먼지, 파티클 등을 확실하게 제거할 수 있는 촬상 소자 유닛 및 전자 기기를 제공하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 관한 각 실시예에 관한 전자 기기로서의 촬상 장치의 주요부를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명에 관한 제1 실시예에 관한 촬상 소자 유닛의 구성을 도시한 단면도이다.
도 3 및 도 4는, 본 발명에 관한 제1 실시예의 로우 패스 필터가 굴곡 운동을 하고 있는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 관한 제2 실시예의 촬상 소자 유닛의 구성을 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명에 관한 제2 실시예의 금속 플레이트를 피사체쪽에서 본 상태를 도시한 평면도이다.
도 7(a) 및 도 7(b)는 본 발명에 관한 제2 실시예의 금속 플레이트 및 펌프실 형성 고무가 진동하고 있는 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명에 관한 제2 실시예의 일 변형예를 도시한 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 사용함으로써 중복 설명을 생략한다.
<제1 실시예>
도 1은, 본 발명의 각 실시예에 관한 전자 기기로서의 촬상 장치(300)의 주요부를 도시한 단면도로서, 수평 방향에서 촬상 장치(300)를 본 상태를 도시하고 있다.
촬상 장치(300)는, 그 내부에 배치된 결상 렌즈(302)를 가지고 있다.
촬상 장치(300)는, 결상 렌즈(302)의 전체, 또는 결상 렌즈(302)를 구성하는 일부의 렌즈를 광축 방향으로 이동시킴으로써, 결상 위치를 조절할 수 있는 미도시된 초점 조절 기구를 구비하고 있다.
또한, 촬상 장치(300)의 케이스 내부에는, 결상 렌즈(302)에 대해 피사체와 반대쪽에 촬상 소자 유닛(100)이 배치되어 있다.
촬상 소자 유닛(100)은, 광전 변환 소자로서 CCD(Charge Coupled Device), CMOS 등의 센서로 구성되는 촬상 소자(102)를 구비하고 있다. 촬상 소자(102)의 촬상면에는 결상 렌즈(302)에 의해 피사체상이 결상된다.
또한, 결상 렌즈(302)와 촬상 소자 유닛(100) 사이에는 촬상 소자(102)에 대한 노광량을 조정하는 셔터(304)가 마련되어 있다. 후술하는 촬상 소자 유닛(100)의 지지 프레임(104)(204)은 촬상 장치(300)의 본체에 고정되어 있다.
이하에 설명하는 각 실시예에서는 촬상 소자 유닛(100)(200)을 구비한 전자 기기로서 촬상 장치(300)를 예시한다. 그러나, 전자 기기는 그러한 예시에 한정되지 않으며, 예를 들면, 전자 기기는 퍼스널 컴퓨터(PC), 휴대전화기 등의 모바일 기기 등이어도 좋다.
도 2는, 본 발명의 제1 실시예에 관한 촬상 소자 유닛(100)의 구성을 도시한 단면도로서, 도 1 중의 촬상 소자 유닛(100)을 확대하여 도시하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 촬상 소자 유닛(100)은, 촬상 소자(102), 지지 프레임(104), 로우 패스 필터(LPF)(106), 압전 소자(108), 기판(110), 흡기 밸브(112), 배기 밸브(114), 방진(防塵) 필터(116)를 구비한다.
아울러, 본 실시예에서는 압전 소자(108)에 의해 진동되는 광학 소자로서 로우 패스 필터(106)를 예시하고 있는데, 진동되는 광학 소자는 렌즈, 또는 유리판 등이어도 좋다.
도 2에서, 촬상 소자(102)는 기판(110) 위에 실장되고, 기판(110)은 지지 프레임(104)에 대해 고정되어 있다.
지지 프레임(104)은 촬상 장치(300)의 케이스에 지지되어 있다.
압전 소자(108)는, 광축에 대해 상하 2군데에 배치되어 있다. 압전 소자(108)의 촬상 소자(102)쪽 면에는 압전 소자(108)에 신호를 보내는 플렉시블 프린트 기판(미도시)이 부착되어 있다.
압전 소자(108)는, 예를 들면 에폭시계 접착재, 자외선 경화형 등의 접착제에 의해 로우 패스 필터(106)에 접착되어 있다.
압전 소자(108)의 광축에 대한 배치는, 후술하는 제2 실시예와 동일하다. 또한, 압전 소자(108)의 촬상 소자(102)쪽 면은 지지 프레임(104)에 장착되어 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(104)에는 흡기 통로(104a)와 배기 통로(104b)가 마련되어 있다.
흡기 통로(104a)에는 흡기 밸브(112)가 마련되고, 배기 통로(104b)에는 배기 밸브(114)가 마련되어 있다.
그리고 흡기 밸브(112) 및 배기 밸브(114)가 닫힌 상태에서는 촬상 소자(102)와 로우 패스 필터(106) 사이의 공간은 외부와 밀폐된 공간이 되도록 구성되어 있다. 또한, 흡기 통로(104a)는 바깥 공기와 접속되어 있고, 그 입구에는 방진 필터(116)가 배치되어 있다.
이상과 같이 구성된 본 실시예의 촬상 소자 유닛(100)에서 상하로 배치된 각 압전 소자(108)는, 압전 소자(108)의 판두께 방향(결상 렌즈(302)의 광축 방향)과 동일한 방향으로 분극되고, 압전체 표면쪽 면에 주기 신호를 발생하는 발진기에 의해 주기적인 전압이 인가된다. 상기 주기 신호는 직사각형파여도 좋고 싸인파여도 좋다. 아울러, 2개의 압전 소자에는 동상(同相)의 주기적인 전압을 인가해도 좋고, 역상(逆相)의 주기적인 전압을 인가해도 좋다.
압전 소자(108)에 전압이 인가되면, 압전 소자(108)는 그 길이 방향으로의 신축 진동 모드로 운동한다. 이 때, 압전 소자(108)에 접착되어 있는 로우 패스 필터(106)는 압전 소자(108)의 신장 방향으로 거의 늘어나지 않기 때문에 그 신장률의 차이에 의해 압전 소자(108)와 로우 패스 필터(106)의 복합 부재에 굴곡 진동이 일어난다. 이로써, 압전 소자(108)의 굴곡 진동의 배(antinode) 부분의 질점(質點)은 광축 방향으로 진동하여 최대의 진동폭을 갖는다. 또 굴곡 진동의 마디(node) 위치에서는 질점의 진동폭은 제로(0)로서 회전 진동만 수행한다. 굴곡 진동의 배와 마디 사이에서의 질점은 해당 질점에서 가까운 쪽 마디를 중심으로 한 원호형 진동을 한다.
이와 같이 압전 소자(108)의 신축 운동에 따라 압전 소자(108)에 대해 접착된 로우 패스 필터(106)는 굴곡 운동을 한다. 이로써 로우 패스 필터(106)의 표면에 달라붙은 먼지, 티끌 등의 잡티, 파티클 등을 표면에서 이탈시켜 제거할 수 있다.
도 3 및 도 4는, 본 제1 실시예의 로우 패스 필터(106)가 굴곡 운동을 하고 있는 상태를 도시한 도면이다. 여기에서 도 3은, 로우 패스 필터(106)의 피사체쪽 면이 볼록면으로 변형된 상태를 도시하고 있으며, 도 4는, 로우 패스 필터(106)의 피사체쪽 면이 오목면으로 변형된 상태를 도시하고 있다. 도 3에 도시한 상태에서는, 로우 패스 필터(106)와 촬상 소자(102) 사이의 내부 공간(120)의 용적이 통상 상태(로우 패스 필터(106)가 변형되지 않은 상태)보다도 커져, 도 4에 도시한 상태에서는, 로우 패스 필터(106)와 촬상 소자(102) 사이의 내부 공간(120)의 용적이 통상 상태보다도 작아진다.
그리고 본 실시예의 촬상 소자 유닛(100)은, 로우 패스 필터(106)가 굴곡 운동을 하여 그에 의한 내부 공간(120)의 용적 변화을 일으킨다. 그러한 내부 공간(120)의 용적 변화는 흡기 밸브(112) 및 배기 밸브(114)를 개폐 동작시켜서 로우 패스 필터(106)와 촬상 소자(102) 사이의 내부 공간(120) 및 로우 패스 필터(106)의 전면에 공기 흐름을 발생시킨다.
흡기 밸브(112) 및 배기 밸브(114)는 고무 등의 탄성부재로 구성되어 있으며, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 내부 공간(120)의 용적 변화(압력 변화)에 따라 개폐된다. 흡기 밸브(112)는, 내부 공간(120)의 압력이 외부보다도 낮아진 경우에 열림 상태가 되고, 흡기 통로(104a)에서 내부 공간(120)을 향한 방향으로의 공기 흐름을 통과시킨다. 또 흡기 밸브(112)는 내부 공간(120)의 압력이 외부보다도 높아진 경우에 닫힘 상태가 되어 내부 공간(120)에서 흡기 통로(104a)를 향하는 방향으로의 공기 흐름을 차단한다.
배기 밸브(114)는, 내부 공간(120)의 압력이 외부보다도 낮아진 경우에 닫힘 상태가 되어 배기 통로(104b)에서 내부 공간(120)으로 향하는 방향으로의 공기 흐름을 차단한다. 또 배기 밸브(114)는, 내부 공간(120)의 압력이 외부보다도 높아진 경우에 열림 상태가 되어 내부 공간(120)에서 배기 통로(104b)로 향하는 방향으로의 공기 흐름을 통과시킨다.
도 3에 도시한 바와 같이, 로우 패스 필터(106)의 피사체쪽 면이 볼록면으로 변형된 상태에서는, 로우 패스 필터(106)와 촬상 소자(102) 간의 내부 공간(120)의 용적이 증대되어 내부 공간(120)의 압력이 저하되기 때문에 바깥 공기가 흡기 통로(104a)로부터 흡기 밸브(112)를 통과하여 내부 공간(120)에 유입된다. 내부 공간(120)에 유입된 공기는 배기 밸브(114)가 닫혀 있기 때문에 내부 공간(120)내에 보존된다. 또 이 상태에서는, 로우 패스 필터(106)의 표면이 볼록면으로 변형되었을 때에 로우 패스 필터(106) 표면, 특히 굴곡 운동시 진폭이 큰 부분에 부착되어 있던 먼지, 잡티, 파티클 등이 떨어져나간다.
다음으로, 도 4에 도시한 바와 같이 로우 패스 필터(106)의 피사체쪽 면이 오목면으로 변형된 상태에서는, 로우 패스 필터(106)와 촬상 소자(108) 사이의 내부 공간(120)의 용적이 축소되기 때문에 내부 공간(120)의 압력이 높아져 내부 공간(120)의 공기가 배기 밸브(114)를 통과하여 배기 통로(104b)로 배출된다. 또한, 로우 패스 필터(106)의 표면이 오목면으로 변형되었을 때에 로우 패스 필터(106) 표면, 특히 굴곡 운동시 진폭이 큰 부분에 달라붙어 있던 먼지, 잡티, 파티클 등이 떨어져나간다.
그리고 배기 통로(104b)로 배출된 공기 흐름은, 배기 통로(104b)의 출구가 로우 패스 필터(106)의 표면과 평행한 방향으로 설치되어 있기 때문에 로우 패스 필터(106)의 표면을 따라서 흐른다. 이로써 로우 패스 필터(106)의 진동에 의해 떨어져나간 먼지, 잡티, 파티클 등이 공기 흐름과 함께 떠내려가 광경로 밖으로 배출된다.
이와 같이 제1 실시예에서는, 흡기 밸브(112), 배기 밸브(114), 흡기 통로(104a) 및 배기 통로(104b)에 의해 공기 흐름 공급부가 구성된다.
또한, 로우 패스 필터(106)의 표면을 따라서 공기 흐름이 흐름으로써 로우 패스 필터(106)의 표면에 잔존해 있던 먼지, 잡티, 파티클 등이 공기 흐름에 의해 제거된다. 특히 진동의 마디가 되는 부분에서는 광축 방향의 진폭이 이론상 0이기 때문에 먼지, 잡티, 파티클 등이 표면에 잔존되는 것으로 가정되는데, 공기 흐름을 흘려 보냄으로써 마디 부분에 잔존해 있는 먼지, 잡티, 파티클 등을 광경로 밖으로 확실하게 이송할 수 있다.
또한, 공기 흐름에 의한 먼지, 잡티, 파티클 등의 제거가 가능해짐에 따라 압전 소자(108)의 진동 모드를 하나로만 할 수 있게 되므로, 압전 소자(108)의 갯수와 구동 회로를 각각 1개로만 구성하는 것도 가능해진다. 따라서, 제조비용을 대폭 절감할 수 있다.
또한, 내부 공간(120)에서 외부로 공기 흐름을 발생시킴으로써 촬상 소자(102)의 발열에 의한 배열을 내부 공간(120) 밖으로 열수송할 수 있고, 외부의 공기를 내부 공간(120)에 도입함으로써 촬상 소자(102)를 냉각시킬 수 있게 된다. 이로써 촬상 소자(102)를 효율적으로 냉각할 수 있게 되어 촬상 소자(102)의 과열에 의한 노이즈의 발생, 화질 악화를 확실하게 억제할 수 있게 된다.
이상 설명한 바와 같이 제1 실시예에 의하면, 압전 소자(108)의 진동에 의해 로우 패스 필터(106)에 굴곡 운동을 일으켰을 때에 로우 패스 필터(106) 표면의 먼지, 잡티, 파티클 등을 굴곡 운동으로 제거함과 동시에 굴곡 운동에 의한 내부 공간(120)의 용적 변화에 의해 공기 흐름을 발생시킬 수 있다. 이로써 굴곡 운동에 의해 떨어져나간 먼지, 잡티, 파티클 등을 광경로 밖으로 이동시킴과 동시에 굴곡 운동만으로는 떨어지지 않고 로우 패스 필터(106) 표면에 잔존해 있는 먼지, 잡티, 파티클 등에 대해서도 공기 흐름으로 광경로 밖으로 이송할 수 있게 된다.
또한, 내부 공간(120)에서 외부로 공기 흐름을 발생시킴으로써 촬상 소자(102)에서 발생된 열을 능동적으로 방출할 수 있고, 외부의 냉기를 내부 공간(120)에 도입할 수 있게 된다. 이로써 촬상 소자(102)를 효율적으로 냉각시킬 수 있게 되어 촬상 소자(102)의 과열에 의한 노이즈 발생, 화질 악화를 확실하게 억제할 수 있게 된다.
<제2 실시예>
다음으로, 본 발명의 제2 실시예에 대해서 설명하기로 한다. 도 5는, 제2 실시예에 관한 촬상 소자 유닛(200)의 구성을 도시한 단면도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 촬상 소자 유닛(200)은, 촬상 소자(202), 지지 프레임(204), 로우 패스 필터(206)(208), 금속 플레이트(210), 압전 소자(212), 쿠션재(214)(216)(218)(220), 내부 지지 프레임(222), 방열용 플레이트(224), 기판(226), 펌프실 형성 고무(228; 펌프실 형성부)를 구비한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 촬상 소자(202)는 기판(226) 위에 실장되며, 촬상 소자(202)와 기판(226) 사이에는 방열용 플레이트(224)가 배치된다.
촬상 소자(202)보다도 피사체쪽에는 내부 지지 프레임(222)에 지지된 로우 패스 필터(208)가 배치되어 있다. 내부 지지 프레임(222)은 쿠션재(220)를 통해 방열용 플레이트(224)에 지지되어 있다. 또 로우 패스 필터(208)보다도 더 피사체쪽으로는 로우 패스 필터(206)가 배치되어 있다.
제1 실시예와 마찬가지로 압전 소자(212)는 광축에 대해 상하 2군데에 배치되어 있다. 압전 소자(212)의 촬상 소자(202)쪽 면에는 압전 소자(212)에 신호를 보내는 플렉시블 프린트 기판(미도시)이 부착되어 있다. 그리고 압전 소자(212)는 쿠션재(216)에 의해 안쪽 지지 프레임(222)에 설치되어 있다.
또한, 압전 소자(212)는 금속 플레이트(210)를 통해 로우 패스 필터(206)에 고정되고, 금속 플레이트(210)는 쿠션재(214)를 통해 지지 프레임(204)에 장착되어 있다. 또한, 금속 플레이트(210)와 로우 패스 필터(208) 및 내부 지지 프레임(222) 사이에는 쿠션재(218)가 삽입되어 있다.
금속 플레이트(210)는 로우 패스 필터(206)의 촬상 소자(202)쪽 면에 장착되어 있다. 금속 플레이트(210)는 에폭시계 접착재, 자외선 경화형 등의 접착제에 의해 로우 패스 필터(206)에 접착되어 있다.
마찬가지로 압전 소자(212)는 에폭시계 접착재, 자외선 경화형 등의 접착제에 의해 금속 플레이트(210)에 접착되어 있다.
지지 프레임(204) 및 방열용 플레이트(224)는 열전도성이 높은 알루미늄 등의 금속을 소재로 하여 구성되어 있다.
지지 프레임(204) 및 방열용 플레이트(224)는, 그 사이에 로우 패스 필터(206)(208), 압전 소자(212), 안쪽 지지 프레임(222), 촬상 소자(202) 등 각 구성 요소를 내포한 상태에서 나사 조임으로 고정된다.
도 5에 도시한 바와 같이, 금속 플레이트(210)는 위쪽으로 연장되어 있고 연장부(210a)가 설치되어 있다. 그리고, 지지 프레임(204) 내의 상부에는 연장부(210a) 및 펌프실(240)을 배치하기 위한 내부 공간(230)이 마련되어 있다. 내부 공간(230)에는 펌프실 형성 고무(228)가 배치되어 있다.
펌프실 형성 고무(228; 펌프실 형성부)는 고무 등의 탄성부재로 구성되어 탄성 변형 가능하게 구성되어 있다. 펌프실 형성 고무(228)는 외형이 포탄형으로 되어 있고 일단은 금속 플레이트(210)의 연장부(210a)와 연결(접착)되어 있다.
펌프실 형성 고무(228)의 방열용 플레이트(224)쪽 타단은 방열용 플레이트(224)와 밀착된 상태로 접착되어 있으며, 펌프실 형성 고무(228)의 내부에는 펌프실(240)이 형성되어 있다.
또한, 펌프실 형성 고무(228)의 일단에는 노즐을 구성하는 제3 구멍(228a)이 뚫려 있다. 또한, 금속 플레이트(210)에는 제3 구멍(228a)에 대응하는 위치에 제2 구멍(210b)이 뚫려 있으며 제2 구멍(210b)과 제3 구멍(228a)은 연결되어 있다.
지지 프레임(204)에는 흡기 통로(204a)와 배기 통로(204b)가 마련되어 있다.
흡기 통로(204a)는 촬상 소자 유닛(200)의 바깥 공간과 내부 공간(230)을 연결하는 통로이다. 또한, 배기 통로(204b)는 제1 실시예와 같이 그 출구가 로우 패스 필터(206)의 표면과 평행한 방향을 향하고 있다.
또한, 지지 프레임(204)에서 배기 통로(204b)와 내부 공간(230)이 연결되는 부위에는 금속 플레이트(210)의 제2 구멍(210b)과 대응하는 위치에 제1 구멍(204c)이 설치되어 있다. 후술하는 바와 같이 제3 구멍(228a), 제2 구멍(210b) 및 제1 구멍(204c)은 벤츄리(venturi) 노즐을 구성하여 배기 통로(204b)에 공기 흐름을 유입시키게 된다.
도 6은, 금속 플레이트(210)를 피사체쪽에서 본 상태를 도시한 평면도이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 금속 플레이트(210)에는 결상 렌즈를 통과한 광선이 통과하는 개구(210c)가 마련되어 있고, 압전 소자(212)는 개구(210c) 바깥쪽의 상하 2군데(도 6에서는, 금속 플레이트(210)의 배후)에 배치된다. 연장부(210a)는 개구(210c)에 대해 위쪽에 설치되어 있다.
또한, 구멍(210b)은 연장부(210a)에 뚫리며, 도 6에 도시한 바와 같이, 예를 들면 3군데에 뚫려 있다.
펌프실 형성 고무(228)는 구멍(210b)의 위치에 대응한 3군데에 배치된다.
구멍(210b)을 개구(210c) 위쪽의 연장부(210a)에 뚫었기 때문에, 구멍(210b)에서 나오는 공기 흐름은 로우 패스 필터(206)의 위에서 아래로 흐르게 된다.
그리고 먼지, 티끌 등의 잡티, 파티클 등에는 중력이 작용하기 때문에 공기 흐름과 중력의 상승효과(相乘效果)에 의해 로우 패스 필터(206) 전면의 잡티, 파티클 등을 개구(210c)보다도 아래쪽으로 이송시켜, 잡티, 파티클 등을 광경로 밖으로 확실하게 이송할 수 있다.
이상과 같이 구성된 제2 실시예에 관한 촬상 소자 유닛(200)에서도 압전 소자(212)에 전압이 인가되면, 압전 소자(212)는 그 길이 방향으로의 신축 진동 모드에서 운동한다. 이 때, 압전 소자(212)에 접착되어 있는 금속 플레이트(210)는 압전 소자(212)의 신장 방향으로 거의 신장되지 않기 때문에, 그 신장률의 차이에 의해 압전 소자(212)와 금속 플레이트(210) 및 로우 패스 필터(206)의 복합 부재에 굴곡 진동이 발생한다.
이로써 압전 소자(212)의 굴곡 진동의 배 부분의 질점은 광축 방향으로 진동하여 최대의 진동폭을 갖는다. 또한, 굴곡 진동의 마디 위치에서는, 질점의 진동폭은 제로(0)로서 회전 진동만 수행한다. 굴곡 진동의 배와 마디 사이에서는 질점은 해당 질점에서 가까운 쪽의 마디를 중심으로 한 원호형 진동을 한다.
이와 같이 압전 소자(212)의 신축 운동에 따라, 압전 소자(212)에 대해 접착된 금속 플레이트(210)가 굴곡 운동을 하고, 금속 플레이트(210)에 접착된 로우 패스 필터(206)는 금속 플레이트(210)와 함께 굴곡 운동을 한다. 그리고, 로우 패스 필터(206)가 굴곡 운동을 함으로써 로우 패스 필터(206)의 피사체쪽 면에 달라붙은 잡티, 파티클 등이 떨어져나가 로우 패스 필터(206)의 표면에서 잡티, 파티클 등을 제거할 수 있다.
또한, 연장부(210a)가 굴곡 운동을 하면, 연장부(210a)에 접속된 펌프실 형성 고무(228)의 피사체쪽 끝단이 연장부(210a)와 함께 광축 방향으로 진동한다. 그리고 금속 플레이트(210)가 굴곡 운동을 했을 때에는 압전 소자(212)에서 멀어질수록 연장부(210a)의 진폭은 충분히 커지기 때문에 구멍(210b)의 위치에서의 굴곡 운동 진폭을 충분히 크게 할 수 있다.
도 7(a) 및 도 7(b)는, 금속 플레이트(210) 및 펌프실 형성 고무(228)가 진동하고 있는 상태를 도시한 도면이다.
여기에서, 도 7(a)는, 금속 플레이트(210)의 연장부(210a)가 방열용 플레이트(224)쪽으로 굴곡된 상태를 도시하고 있다. 또 도 7(b)는, 금속 플레이트(210)의 연장부(210a)가 피사체쪽으로 굴곡된 상태를 도시하고 있다.
도 7(a)에 도시한 바와 같이, 연장부(210a)가 방열용 플레이트(224)쪽으로 굴곡되면, 펌프실 형성 고무(228)가 탄성 변형하여 광축 방향으로 압축되기 때문에 펌프실(240)의 용적이 감소되어 펌프실(240) 안의 공기가 구멍(228a)으로 배출된다. 배출된 공기는 금속 플레이트(210)의 구멍(210b) 및 지지 프레임(204)에 뚫린 구멍(204c)을 통과하여 배기 통로(204b)로 보내진다.
그리고, 펌프실(240)에서 배출된 공기가 구멍(210b)에서 구멍(204c)으로 보내지면, 벤츄리(venturi) 효과가 발생하여 내부 공간(230) 안의 공기가 구멍(204c)을 향해 유입되어 배기 통로(204b)로 흘러들어간다. 보다 상세하게는, 내부 공간(230)안의 공기는, 연장부(210a)의 피사체쪽 면(210d)과, 면(210d)과 대향하는 지지 프레임(204)의 면(204d) 사이의 틈으로 흐른 후, 구멍(204c)을 통과하여 배기 통로(204b)로 배출된다. 따라서 펌프실(240)의 용적 변화에 의한 공기 흐름을 벤츄리 효과에 의해 대폭 증가시킨 상태에서 배기 통로(204b)에 유입시킬 수 있게 된다.
배기 통로(204b)로 배출된 공기 흐름은, 배기 통로(204b)가 로우 패스 필터(206)의 표면과 평행하게 연장되어 있기 때문에 로우 패스 필터(206)의 표면을 따라서 흐른다. 이로써 로우 패스 필터(206)의 진동에 의해 그 표면에서 떨어진 잡티, 파티클 등이 공기 흐름과 함께 떠내려가 광경로 밖으로 배출된다. 또 로우 패스 필터(206) 표면의 마디 위치에 달라붙어 잔존해 있던 잡티, 파티클 등에 대해서도 증대시킨 공기 흐름에 의해 확실하게 제거할 수 있다.
또 도 7(b)에 도시한 바와 같이, 연장부(210a)가 피사체쪽으로 굴곡되면, 펌프실 형성 고무(228)가 피사체쪽으로 탄성 변형되어 광축 방향으로 신장되기 때문에 펌프실(240)의 용적이 증가되어 구멍(228a)으로부터 펌프실(240)내로 공기가 유입된다. 그러나, 펌프실(240)의 용적 변화는 소량이므로 벤츨리 효과에 의해 내부 공간(230)에서 구멍(204c)을 통과하여 배기 통로(204b)로 향하는 공기의 흐름은 끊기지 않고, 도 7(b)에 도시한 상태에서도 구멍(204c)을 통과한 공기 흐름이 계속 배기 통로(204b)로 보내진다.
따라서, 제2 실시예에 의하면, 도 7(a)에 도시한 상태와 도 7(b)에 도시한 상태가 번갈아 반복됨으로써, 구멍(228a)(210b)(204c)이 벤츄리(venturi) 노즐로서 기능하고, 벤츄리 효과에 의해 배기 통로(204b)에서 로우 패스 필터(206)의 표면으로 배출되는 공기 흐름을 대폭 증대시킬 수 있다. 따라서 유량을 증대시킨 공기 흐름에 의해 로우 패스 필터(206) 표면의 잡티, 파티클 등을 확실하게 제거할 수 있다.
또한, 흡기 통로(204a)에서 배기 통로(204b)에 흐르는 공기의 양이 증대되기 때문에 촬상 소자(202)의 냉각 효과를 더 높일 수 있게 된다. 도 5 및 도 7에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(204)의 내부 공간(230)에 면한 벽면에는 방열용 핀(204e)이 마련되어 있다. 마찬가지로 방열용 플레이트(224)의 흡기 통로(204a)에 면한 벽면에도 방열용 핀(224a)이 마련되어 있다.
상술한 바와 같이, 지지 프레임(204) 및 방열용 플레이트(224)는 열전도성이 높은 알루미늄 등의 금속을 소재로 하고 있다. 따라서, 촬상 소자(202)에서 발생한 열은, 촬상 소자(202)와 면접촉되어 있는 방열용 플레이트(224)로 전도되어 방열용 핀(224a)에서 방열되고, 공기 흐름과 함께 흡기 통로(204a)에서 배기 통로(204b)로 보내진다. 또한, 방열용 플레이트(224)의 열은 지지 프레임(204)으로 전도되어 핀(204e)에서 방열되고, 공기 흐름과 함께 흡기 통로(204a)에서 배기 통로(204b)로 보내진다. 흡기 통로(204a)에는 배기 통로(204b)로의 공기 흐름의 흐름에 따라 촬상 소자 유닛(200)의 외부(촬상 장치(300)내)에서 새로 공기가 유입된다. 이로써 촬상 소자(202)에서 발생한 열을 효율적으로 촬상 소자 유닛(200)의 외부로 방열할 수 있게 된다.
이상과 같이, 배기 통로(204b)에서 로우 패스 필터(206)의 표면으로 보내진 공기는 촬상 소자 유닛(200) 밖으로 배출되어 로우 패스 필터(206) 표면의 잡티, 파티클 등을 제거할 수 있다. 또한, 배출된 공기를 방진 필터 등에 통과시킴으로써 배출된 공기 흐름에 포함되는 잡티, 파티클 등을 제거하여 촬상 장치(300)의 케이스 안으로 되돌릴 수도 있다.
<제2 실시예의 변형예>
다음으로, 제2 실시예의 일 변형예에 대해서 설명하기로 한다.
도 8은, 제2 실시예의 일 변형예를 도시한 단면도이다. 도 8에 도시한 변형예에서는, 연장부(210a)의 상단을 더욱 위쪽으로 연장하였다.
그리고, 이 변형예에서는 연장부(210a)의 상단(210e)이 진동의 마디가 되도록 압전 소자(212)의 진동 모드가 조정된다. 연장부(210a)의 상단(210e)이 마디가 되도록 구성함으로써 상단(210e)은 회전 운동만 하기 때문에 상단(210e)을 지지 프레임(204) 내벽의 상단면(204f)과 근접 또는 접촉시킬 수 있게 된다.
또한, 이 변형예에서는 흡기 통로(204a)는, 촬상 소자 유닛(200)의 외부와, 연장부(210a)의 면(210d)과 지지 프레임(204)의 면(204d) 사이의 공간(틈)을 연결한다.
이와 같이 구성된 제2 실시예의 변형예에서는, 금속 플레이트(210)가 굴곡 운동을 하면 내부 공간(230)이 제2 실시예에서의 펌프실(240)의 기능을 완수하게 된다.
보다 상세하게는 연장부(210a)가 방열용 플레이트(224)쪽으로 굴곡되면, 내부 공간(230)의 용적이 감소되어 내부 공간(230)의 공기가 금속 플레이트(210)의 구멍(210b)에서 배출된다. 그리고 배출된 공기는 지지 프레임(204)에 마련된 구멍(204c)를 통과하여 배기 통로(204b)로 보내진다.
그리고 내부 공간(230)에서 배출된 공기가 구멍(210b)에서 구멍(204c)로 보내지면 벤츄리 효과가 발생하여, 공기가 흡기 통로(204a)를 통과하여, 면(210d)과 면(204d) 사이의 틈으로 흐른 후, 구멍(204c)을 통과하여 배기 통로(204b)로 배출된다. 따라서 내부 공간(230)의 용적 변화에 의한 공기 흐름을 벤츄리 효과에 의해 대폭 증가시킨 상태에서 배기 통로(204b)에 유입시킬 수 있게 된다.
또한, 연장부(210a)가 피사체쪽으로 굴곡되면 내부 공간(230)의 용적이 증가되어 구멍(210b)으로부터 내부 공간(230)내로 공기가 유입된다. 그러나 내부 공간(230)의 용적 변화는 소량이므로 벤츄리 효과에 의해 구멍(204c)을 통과하여 배기 통로(204b)를 향하는 공기의 흐름은 끊기지 않고 구멍(204c)을 통과한 공기 흐름이 계속 배기 통로(204b)로 보내진다.
제2 실시예의 변형예에 의하면, 내부 공간(230)을 제2 실시예의 펌프실(240)로서 기능시킬 수 있기 때문에 펌프실 형성 고무(228)를 별도로 마련할 필요가 없어, 보다 간소한 구성으로 벤츄리 효과를 이용한 공기 흐름을 발생시킬 수 있게 된다.
이상과 같이, 제2 실시예와 제2 실시예의 변형예에서는, 금속 플레이트(210)의 구멍(210b), 지지 프레임(204)의 구멍(204c), 흡기 통로(204a) 및 배기 통로(204b)에 의해 공기 흐름 공급부가 구성된다.
이상 설명한 바와 같이, 제2 실시예와 제2 실시예의 변형예에 의하면, 금속 플레이트(210)의 진동으로 생긴 공기 흐름을 벤츄리 효과에 의해 증대시킬 수 있다. 따라서 증대된 공기 흐름에 의해 잡티, 파티클 등을 확실하게 제거함과 동시에 촬상 소자(202)의 냉각 효과를 더욱 높일 수 있게 된다.
이상, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하였으나, 본 발명은 상기 예로 한정되지 않는다. 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 특허청구범위에 기재된 기술적 사상의 범주 내에서 각종 변경예 또는 수정예를 생각해낼 수 있는 것은 명백하며 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 이해된다.
본 발명은 촬상 소자 유닛 및 전자 기기에 사용될 수 있다.
100, 200: 촬상 소자 유닛 102, 202: 촬상 소자
106, 206, 208: 로우 패스 필터 108, 212: 압전 소자
104, 204: 지지 프레임 104a, 204a: 흡기 통로
104b, 204b: 배기 통로 112: 흡기 밸브
114: 배기 밸브 120, 230: 내부 공간
210: 금속 플레이트 210b, 204c: 구멍
224: 방열용 플레이트 228: 펌프실 형성 고무
300: 촬상 장치 302: 결상 렌즈

Claims (10)

  1. 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자;
    상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자;
    상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자; 및
    상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜, 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부;를 구비하고,
    상기 공기 흐름 공급부는 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시키며,
    상기 공기 흐름 공급부는 상기 내부 공간의 용적이 증가되었을 때에 상기 내부 공간에 공기를 도입하는 흡기 밸브와, 상기 내부 공간의 용적이 감소되었을 때에 상기 내부 공간의 공기를 배출하는 배기 밸브를 구비하여, 상기 배기 밸브에서 배출된 공기 흐름을 상기 광학 소자의 표면에 공급하는 촬상 소자 유닛.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자;
    상기 촬상 소자를 지지하는 방열용 플레이트;
    상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자;
    상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자;
    상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜, 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부;
    상기 광학 소자의 테두리부에 장착되어 상기 압전 소자에 의해 진동하며, 외형의 적어도 일부가 상기 광학 소자의 외형보다도 바깥쪽으로 연장된 연장부를 구비한 플레이트; 및
    상기 광학 소자 및 상기 촬상 소자를 지지하며 상기 소정 공간에 공기를 도입하는 흡기 통로와 상기 소정 공간의 공기를 배출하는 배기 통로를 구비하는 지지 프레임;을 구비하고,
    상기 공기 흐름 공급부는,
    내부가 비어 있는 펌프실을 구비하며 일단이 상기 플레이트의 상기 연장부에 연결되고 타단이 상기 방열용 플레이트에 지지되도록 상기 소정 공간에 배치되어, 상기 플레이트의 진동에 의해 탄성 변형되는 펌프실 형성부;
    상기 지지 프레임의 상기 배기 통로에 연결되어 상기 소정 공간의 용적 변화에 따라 공기를 배출하도록 상기 지지 프레임에 마련된 제1 구멍;
    상기 플레이트의 상기 제1 구멍에 대응하는 위치에 마련된 제2 구멍; 및
    상기 제2 구멍과 연결되도록 상기 펌프실 형성부의 상기 일단에 마련되는 제3 구멍을 구비하고,
    상기 제1 구멍은 상기 광학 소자에 공기 흐름을 공급하는 상기 배기 통로에 연결되어,
    상기 공기 흐름 공급부는 상기 플레이트가 진동할 때의 상기 펌프실 형성부의 탄성 변형에 의한 상기 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시키는 촬상 소자 유닛.
  6. 피사체의 광학상을 결상하는 촬상 광학계;
    상기 촬상 광학계에 의해 상기 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자;
    상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자;
    상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자; 및
    상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜, 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부;를 구비하고,
    상기 공기 흐름 공급부는 상기 광학 소자와 상기 촬상 소자 사이의 내부 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시키며,
    상기 공기 흐름 공급부는 상기 내부 공간의 용적이 증가되었을 때에 상기 내부 공간에 공기를 도입하는 흡기 밸브와, 상기 내부 공간의 용적이 감소되었을 때에 상기 내부 공간의 공기를 배출하는 배기 밸브를 구비하여, 상기 배기 밸브에서 배출된 공기 흐름을 상기 광학 소자의 표면에 공급하는 전자 기기.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 피사체의 광학상을 결상하는 촬상 광학계;
    상기 촬상 광학계에 의해 상기 피사체의 광학상이 결상되는 촬상면을 가지고, 상기 광학상을 전기 신호로 변환하는 촬상 소자;
    상기 촬상 소자를 지지하는 방열용 플레이트;
    상기 촬상 소자보다도 피사체쪽에 더 가까이 배치된 광학 소자;
    상기 광학 소자에 장착되어 상기 광학 소자를 진동시키는 압전 소자;
    상기 압전 소자의 진동에 따른 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시켜, 상기 광학 소자의 표면에 상기 공기 흐름을 공급하는 공기 흐름 공급부;
    상기 광학 소자의 테두리부에 장착되어 상기 압전 소자에 의해 진동하며, 외형의 적어도 일부가 상기 광학 소자의 외형보다도 바깥쪽으로 연장된 연장부를 구비한 플레이트; 및
    상기 광학 소자 및 상기 촬상 소자를 지지하며 상기 소정 공간에 공기를 도입하는 흡기 통로와 상기 소정 공간의 공기를 배출하는 배기 통로를 구비하는 지지 프레임;을 구비하고,
    상기 공기 흐름 공급부는,
    내부가 비어 있는 펌프실을 구비하며 일단이 상기 플레이트의 상기 연장부에 연결되고 타단이 상기 방열용 플레이트에 지지되도록 상기 소정 공간에 배치되어, 상기 플레이트의 진동에 의해 탄성 변형되는 펌프실 형성부;
    상기 지지 프레임의 상기 배기 통로에 연결되어 상기 소정 공간의 용적 변화에 따라 공기를 배출하도록 상기 지지 프레임에 마련된 제1 구멍;
    상기 플레이트의 상기 제1 구멍에 대응하는 위치에 마련된 제2 구멍; 및
    상기 제2 구멍과 연결되도록 상기 펌프실 형성부의 상기 일단에 마련되는 제3 구멍을 구비하고,
    상기 제1 구멍은 상기 광학 소자에 공기 흐름을 공급하는 상기 배기 통로에 연결되어,
    상기 공기 흐름 공급부는 상기 플레이트가 진동할 때의 상기 펌프실 형성부의 탄성 변형에 의한 상기 소정 공간의 용적 변화를 이용하여 공기 흐름을 발생시키는 전자 기기.
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