KR101660251B1 - 화학 용액 잔량 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화학 용액 공급용기를 설치하여 반도체 제조 공정에 화학 용액을 공급하기 위한 화학 용액 공급용기 내의 잔량을 처리하기 위한 장치로서, 화학 용액을 외부로 공급하기 위하여 내부의 가장자리 근방에서 세로로 공급용 빨대(2)가 설치된 저장용기(1), 및 상기 저장용기(1)를 장착하는 용기 장착부를 포함하고, 상기 용기 장착부는: 상기 저장용기가 위치하는 바닥면을 제공하고, 양측 가장자리 부근에 서로 나란하게 장공(105a, 105b)이 형성된 바닥부(102), 및 상기 장공(105a, 105b)을 관통하여 탄성적으로 돌출되도록 설치된 한 쌍의 돌출 블록(111), 및 상기 돌출 블록(111)이 돌출되지 않도록 잠그기 위하여 상기 각각의 돌출 블록(111)에 설치된 잠금 장치를 포함하는 경사 발생 장치(100)를 포함한다.

Description

화학 용액 잔량 처리장치{Apparatus for Treating Remains of Chemical Solution}
본 발명은 화학 용액 공급용기를 설치하여 반도체 제조 공정에 화학 용액을 공급하기 위한 화학 용액 공급용기의 잔량을 처리하기 위한 장치로서, 특히 공급용기 내의 화학 용액이 추출되고 사용되어 공급용기가 서서히 비워지면서 공급용기의 무게가 작아지는 경우에 공급용기가 자동으로 설정된 방향으로 기울어지면서 잔여 화학 용액을 전량 추출할 수 있도록 구성된 화학 용액 잔량 처리장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정의 각 단계에는 해당 공정을 가능하게 하는 무기 화합물, 유기 화합물을 포함하는 다양한 종류의 화학 용액이 사용된다. 이러한 화학 용액은 공급 라인을 통하여 반도체 웨이퍼 상에 적량 제공되는데, 일반적으로 드럼 형태의 공급용기에 화학 용기를 채우고 공급 라인의 끝을 공급용기의 내측에 튜브의 형태로 삽입되어 있는 빨대의 노출부에 연결하여 펌핑이나 직가압 방식으로 드럼 내의 용액을 추출하여 사용하게 된다. 드럼 내의 용액이 모두 소진되어 사용되는 경우 새로이 채워진 드럼으로 교체하는 방식으로 공정 중에 필요한 화학 용액을 지속적으로 공급할 수 있다.
종래에는 단순히 평면형 운송장치에 드럼을 장착한 후 공급 설비와 공급 라인으로 연결하는 방식으로 화학 용액을 제공하였는데, 이러한 평면형 방식에 의하여 드럼 내부에 삽입된 튜브를 이용하여 화학 약품을 추출하여 사용하면 드럼 바닥과 내부 튜브의 간격만큼의 잔류량이 발생하는 문제가 있다.
만약 잔류량을 최소화하기 위하여 드럼 바닥과 내부 튜브의 간격을 줄이면 잔여 용액을 추출하는 과정에서 유채 저항이 발생하여 흡입펌프의 수명 및 성능을 저하시키는 원인이 된다.
한편, 공개특허 제10-2006-26518호에는 정량 탱크에 종류별 화학 용액을 저장하는 탱크가 개시되어 있는데, 상하 위치에서 탱크가 높은 위치에 있어 탱크의 바닥에 배출구가 형성되어 용액 전량이 하방으로 배출될 수 있는 구조를 갖는다. 등록특허 제10-0269282호의 경우도 용기의 하단에 배출구가 형성되어 있는 구조이다. 이러한 상하 배치에 의한 구성은 설치 비용이 많이 들고 종래의 평면적 배치에 적용되지 못하는 문제가 있다.
공개특허 제10-2006-26518호 (2006.03.24. 공개) 등록특허 제10-0269282호 (2000.12.01 공고)
본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에 화학 용액을 공급하는 저장용기의 잔여량을 최소화하기 위하여, 저장용기를 장착하는 용기 장착부에 탄성적으로 돌출되도록 설치된 돌출 블록 및 잠금 장치를 포함하여, 저장용기의 화학 용액이 사용되어 잔여 용액이 용기의 내부 바닥에만 존재하는 경우에도, 용기를 자동으로 기울어지게 하여 잔여 용액을 충분히 추출할 수 있도록 구성된 화학 용액 잔량 처리장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 돌출 블록에 의한 경사의 정도를 조정할 수 있는 탄성력 조정 장치를 포함하는 화학 용액 잔량 처리장치를 제공하기 위한 것이다.
기타 본 발명의 다른 목적은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 본 발명의 상세한 설명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 화학 용액 잔량 처리장치는 반도체 제조 공정에 공급되는 화학 용액의 잔량을 효과적으로 처리하기 위하여, 상기 화학 용액을 저장하고, 상기 화학 용액을 외부로 공급하기 위하여 내부의 가장자리 근방에서 세로로 공급용 빨대(2)가 설치된 저장용기(1), 및 상기 저장용기(1)를 장착하는 용기 장착부를 포함하고, 상기 용기 장착부는: 상기 저장용기가 위치하는 바닥면을 제공하고, 양측 가장자리 부근에 서로 나란하게 장공(105a, 105b)이 형성된 바닥부(102), 및 상기 장공(105a, 105b)을 관통하여 탄성적으로 돌출되도록 설치된 한 쌍의 돌출 블록(111), 및 상기 돌출 블록(111)이 돌출되지 않도록 잠그기 위하여 상기 각각의 돌출 블록(111)에 설치된 잠금 장치를 포함하는 경사 발생 장치(100)를 포함하여, 상기 바닥부(102)에 화학 용액이 저장된 저장용기(1)를 장착하여 상기 저장용기(1)의 하중에 의하여 상기 돌출블록(111)이 가압되어 수축된 상태에서 상기 공급용 빨대(2)가 위치하는 쪽의 돌출 블록(111)을 잠그면, 후에 저장용기(1) 내의 화학 용액의 양 및 이에 따른 하중이 서서히 줄어들면서 다른 쪽의 돌출 블록(111)이 상승하여 상기 저장용기(1)를 기울여 화학 용액의 잔량을 최소화한다.
또한, 상기 경사 발생 장치(100)는: 상기 바닥부(102)에 고정설치되는 고정 베이스 부재(130), 상기 고정 베이스 부재(130)의 위에 설치되어 상기 돌출 블록(111)을 탄성적으로 지지하는 탄성 스프링(120), 상기 돌출 블록(111)의 하단에 설치된 로커 브래킷(113), 및 상기 로커 브래킷(113)에 잠길 수 있도록 상기 고정 베이스 부재(130)에 상하로 회전 가능하게 설치된 ㄱ-자 형상의 잠금 설정 부재(154)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 경사 발생 장치(100)는: 상단에 머리부가 형성된 리벳 형상으로서, 상기 탄성 스프링(120)을 중간에 삽입하고 하단이 상기 고정 베이스 부재(130)에 고정된 스프링 샤프트(115), 및 상기 돌출 블록(111)의 아래 측에 형성된 가이드 홈(11) 내에서 상기 스프링 샤프트(115)의 머리부가 상하로 움직이도록 상기 돌출 블록(111)의 하면에 부착 고정되고, 상기 스프링 샤프트(115)의 머리부와 상기 스프링 샤프트(115)에 삽입된 탄성 스프링(120) 사이에 설치되고, 상기 스프링 샤프트(115)를 슬라이딩 가능하게 삽입하는 슬라이딩 홀(12)이 형성된 돌출 베이스 플레이트(112)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 경사 발생 장치(100)는 상기 잠금 설정 부재(154)를 회전시키도록 구성되고 상기 바닥부(102)의 외부로 노출된 조작 손잡이(15)를 더 포함할 수 있고, 더 나아가 상기 조작 손잡이(15)는 상기 잠금 설정 부재(154)와 같은 방향으로 배치되어 외부에서 상기 잠금 설정 부재(154)의 잠금 상태를 확인할 수 있다.
또한, 상기 돌출 블록(111)과 상기 고정 베이스 부재(130) 사이의 탄성력을 조정하기 위한 탄성력 조정 장치를 더 포함할 수 있고,
더 나아가, 상기 탄성력 조정 장치는: 상기 돌출 블록(111)을 아래에서 탄성적으로 지지하고, 상기 고정 베이스 부재(130)의 삽입공(134)을 관통하도록 설치된 탄성력 조정용 스프링(141), 상기 탄성력 조정용 스프링(141)의 하단을 지지하는 스프링 지지부재(142), 상기 고정 베이스 부재(130)의 상기 삽입공(134)을 감싸도록 설치된 탄성력 조정 브래킷(144), 및 상기 탄성력 조정 브래킷(144)에 볼트 결합하는 탄성력 조정 볼트(146)를 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 화학 용액 잔량 처리장치에 의하면, 작업자의 힘에 의하여 저장용기를 기울이지 않고도, 저장용기 내의 화학 용액의 잔류량이 정해진 하중 이하로 줄어들 때에 자동으로 저장용기를 자동으로 기울어지게 하여 저장용기 내의 용액을 더 많이 추출할 수 있으므로, 용액의 잔류량을 줄여 장기적인 사용시 고가의 화학 용액의 구매비용을 절감할 수 있다. 또한, 위험 물질인 화학 용액이 용기에서 거의 제거되므로 저장용기의 이송 과정에서 잔류 용액에 의하여 발생할 수 있는 위험을 최소화할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 화학 용액 잔량 처리장치의 용기 장착부의 구성을 도시하는 사시도;
도 2는 도 1의 분해사시도;
도 3은 도 2의 경사 발생 장치(100)의 분해사시도;
도 4(a)는 도 2의 돌출 블록에 어떠한 하중도 존재하지 않는 상태로서, 잠금 설정 부재가 해제된 모습, 도 4(b)는 돌출 블록의 상단에 용기에 의한 하중이 작용하여 돌출 블록이 가압되어 수축되고, 잠금 설정 부재가 로커 브래킷에 체결되어 잠긴 모습, 도 4(c)는 탄성력 조정 장치의 구성을 나타내는 측단면도;
도 5는 도 2의 경사 발생 장치(100)의 잠금 설정 부재 및 조작 손잡이의 동작을 보여주기 위하여 아래에서 위로 본 사시도; 및
도 6은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 화학 용액 잔량 처리장치에서 저장용기(1)가 용기 장착부에 대하여 기울어진 모습을 도시하는 정면도이다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 발명은 반도체 제고 공정에 공급되는 화학 용액의 잔량을 효과적으로 처리하기 위한 화학 용액 잔량 처리장치에 대한 것으로, 저장용기(1)와 용기 장착부로 구성된다. 저장용기는 통상적으로 원형의 드럼 형태의 용기이고, 용기 장착부는 저장용기를 장착하여 정해진 위치에 배치시킬 수 있도록 바퀴 등의 수단을 이용하여 이동 가능하게 구성된다. 그리고 정해진 위치에서는 이동 제한하여 고정시킬 수 있도록 구성된다.
상기 저장용기(1)는 화학 용액을 저장하고, 하나의 실시 예로서 도 6에 도시된 바와 같이, 저장된 용액을 외부로 공급하기 위하여 내부의 가장자리 근방에서 세로로 공급용 빨대(2)가 설치되어 있다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 화학 용액 잔량 처리장치의 용기 장착부의 구성을 도시하는 사시도이고, 도 2는 분해사시도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 용기 장착부는 바닥부(102)와 경사 발생 장치(100)를 포함하여 구성되고, 바닥부(102)의 아래 측에 바퀴(106)가 설치되는 것이 바람직하고, 바닥부(102)에 장착된 저장용기(1)를 바닥부(102) 상의 정확한 위치에 배치하고, 저장용기(1)를 원하는 위치로 이송하기 위한 골격 구조(104)를 포함할 수 있다.
도 2의 분해 사시도를 참조하면, 바닥부(102)는 바닥 상단부(102u) 및 바닥 하단부(102d)의 조립된 형태로 구성될 수 있고, 바닥 상단부(102u)에 서로 나란하게 장공(105a, 105b)이 형성되고, 바닥 하단부(102d)에는 경사 발생 장치(100)를 설치하기 위한 설치홀(108)이 형성되고, 사방에 바퀴(106)가 설치될 수 있다.
상기 경사 발생 장치(100)는 상기 장공(105a, 105b)을 관통하여 탄성적으로 돌출되도록 설치된 한 쌍의 돌출 블록(111), 및 상기 돌출 블록(111)이 돌출되지 않도록 잠그기 위하여 상기 각각의 돌출 블록(111)에 설치된 잠금 장치를 포함한다.
따라서 상기 바닥부(102)에 화학 용액이 저장된 저장용기(1)를 장착하여 상기 저장용기(1)의 하중에 의하여 상기 돌출블록(111)이 가압되어 수축된 상태에서 상기 공급용 빨대(2)가 위치하는 쪽의 돌출 블록(111)을 잠그면, 후에 저장용기(1) 내의 화학 용액의 양 및 이에 따른 하중이 서서히 줄어들면서 다른 쪽의 돌출 블록(111)이 상승하여 상기 저장용기(1)를 기울여 화학 용액의 잔량을 최소화한다.
상기 한 쌍의 장공 사이의 거리는 저장용기의 지름을 넘어서지 않아야 한다.
도 3은 도 2의 경사 발생 장치(100)의 분해사시도이다. 도 3을 참조하면, 상기 경사 발생 장치(100)는 고정 베이스 부재(130), 탄성 스프링(120), 로커 브래킷(113), 및 잠금 설정 부재(154)를 포함할 수 있다.
상기 고정 베이스 부재(130)는, 예로서 캐리어 부착 패널(132)에 의하여, 상기 바닥부(102)에 고정설치되고, 도면에서는 ㄴ-자형 앵글의 형상을 갖는다.
상기 탄성 스프링(120)은 상기 고정 베이스 부재(130)의 위에 설치되어 상기 돌출 블록(111)을 탄성적으로 지지한다. 따라서 화학 용액이 채워진 저장용기가 놓이지 않은 상태에서는 바닥부(102)의 장공을 통하여 위로 돌출 블록(111)이 돌출된 상태를 유지하게 된다. 이 상태에서 저장용기가 바닥부(102) 상에 돌출 블록(111)을 가압하도록 장착되면, 돌출 블록(111)이 눌려 바닥부(102)의 표면의 높이로 내려간다.
상기 로커 브래킷(113)은 상기 돌출 블록(111)의 하단에 설치되어, 후술하는 잠금 설정 부재(154)가 체결될 수 있도록 구성된다.
상기 잠금 설정 부재(154)는 상기 로커 브래킷(113)에 잠길 수 있도록 상기 고정 베이스 부재(130)에 상하로 회전 가능하게 설치되고 상기 로커 브래킷(113)에 체결되어 로커 브래킷(113)의 상승을 억제할 수 있도록 ㄱ-자 형상으로 구성된다. 구체적으로, 잠금 설정 부재(154)는 고정 베이스 부재(130)의 아래로 돌출하도록 설치된 체결 부재(157)에 회전가능하게 설치되는데, 회전시 방해되지 않도록 고정 베이스 부재(130)에 홈(136)이 형성된다.
다시 도 3을 참조하면, 상기 경사 발생 장치(100)는 또한, 스프링 샤프트(115), 및 돌출 베이스 플레이트(112)를 더 포함할 수 있다.
상기 스프링 샤프트(115)는 상단에 머리부가 형성된 리벳 형상으로서, 상기 탄성 스프링(120)을 중간에 삽입하고 하단이 상기 고정 베이스 부재(130)에 고정된다.
상기 돌출 베이스 플레이트(112)는 상기 돌출 블록(111)의 아래 측에 형성된 가이드 홈(11) 내에서 상기 스프링 샤프트(115)의 머리부가 상하로 움직이도록 상기 돌출 블록(111)의 하면에 부착 고정되고, 상기 스프링 샤프트(115)의 머리부와 상기 스프링 샤프트(115)에 삽입된 탄성 스프링(120) 사이에 설치되고, 상기 스프링 샤프트(115)를 슬라이딩 가능하게 삽입하는 슬라이딩 홀(12)이 형성된다. 전술한 로커 브래킷(113)은 상기 돌출 베이스 플레이트(112)의 하단에 볼트(114)에 의하여 고정될 수 있다.
또한, 도시된 바와 같이, 상기 경사 발생 장치(100)는 상기 잠금 설정 부재(154)를 회전시키도록 구성되고 상기 바닥부(102)의 외부로 노출된 조작 손잡이(15)를 더 포함할 수 있고, 더 나아가 상기 조작 손잡이(15)는 상기 잠금 설정 부재(154)와 같은 방향으로 배치되어 외부에서 상기 잠금 설정 부재(154)의 잠금 상태를 확인할 수 있다. 이러한 배치는 도 5에 나타나 있다. 따라서 작업자는 잠금 설정 부재(154)의 잠금 상태를 외부에서 눈으로 쉽게 식별하여 빨대의 위치에 따라 잠금 설정 부재(154)가 제대로 설정되어 있는지 확인하여 잘못 설정되어 있는 경우에 바로 조치를 취할 수 있게 된다.
또한, 도시된 바와 같이, 상기 돌출 블록(111)과 상기 고정 베이스 부재(130) 사이의 탄성력을 조정하기 위한 탄성력 조정 장치를 더 포함할 수 있다. 따라서 저장용기의 크기나 무게에 의하여 저장용기가 들어 올려지는 각도를 사전에 설정할 수 있다. 탄성력 조정 장치는 상기 탄성 스프링(120) 사이에 가운데 위치하도록 하여 탄성 스프링(120)에 의한 고정된 탄성력을 작업자에 의하여 설정하는 만큼 더 증가시킬 수 있도록 구성된다.
구체적으로, 상기 탄성력 조정 장치는 탄성력 조정용 스프링(141), 스프링 지지부재(142), 탄성력 조정 브래킷(144), 및 탄성력 조정 볼트(146)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 탄성력 조정용 스프링(141)은 상기 돌출 블록(111)을 아래에서 탄성적으로 지지하고, 상기 고정 베이스 부재(130)의 삽입공(134)을 관통하도록 설치된다. 돌출 블록(111)의 아래, 구체적으로는 돌출 베이스 플레이트(112)의 하면에 돌출 형성된 돌출 지지부(116)에 외삽되도록 구성된다.
상기 스프링 지지부재(142)는 상기 탄성력 조정용 스프링(141)의 하단을 지지하여 탄성력 조정 볼트(146)의 조정에 따라 승하강되도록 구성되어 탄성력 조정용 스프링(141)의 탄성력을 조정할 수 있다.
상기 탄성력 조정 브래킷(144)은 상기 고정 베이스 부재(130)의 상기 삽입공(134)을 감싸도록 설치되고, 상기 탄성력 조정 볼트(146)는 상기 탄성력 조정 브래킷(144)에 볼트 결합한다.
도 4(a)는 도 2의 돌출 블록에 어떠한 하중도 존재하지 않는 상태로서, 잠금 설정 부재가 해제된 모습, 도 4(b)는 돌출 블록의 상단에 용기에 의한 하중이 작용하여 돌출 블록이 가압되어 수축되고, 잠금 설정 부재가 로커 브래킷에 체결되어 잠긴 모습, 도 4(c)는 탄성력 조정 장치의 구성을 나타내는 측단면도이고, 도 5는 도 2의 경사 발생 장치(100)의 잠금 설정 부재 및 조작 손잡이의 동작을 보여주기 위하여 아래에서 위로 본 사시도이다. 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 화학 용액 잔량 처리장치의 사용예를 설명하면, 바닥부(102) 상의 돌출 블록(111) 상에 저장용기가 존재하지 않는 도 4(a)의 상태에서 저장용기(1)를 돌출 블록(111)을 가압하도록 바닥부(102) 상에 장착하면, 도 4(b)와 같이 돌출 블록(111)의 아래로 내려 앉게 되고, 이때에 잠금 설정 부재(154)를 회전축(1543)에 대하여 회전하여 잠금 설정 부재(154)의 돌기부(1544)를 로커 브래킷(113)의 체결부(1133)의 상단으로 밀어넣어 로커 브래킷(113)과 체결한다. 잠금 설정 부재(154)의 회전은 도 5에 도시된 바와 같이, 조작 손잡이(15)의 회전에 의한다. 한편, 도 4(c)에 도시된 바와 같이, 저장용기의 크기나 무게에 따른 탄성력 조정 과정은 조정볼트(146)의 볼트부(1466)가 탄성력 조정 브래킷(144)에 나사결합된 조정볼트(146)를 회전하여 스프링 지지부재(142)를 승하강시킴으로써 달성될 수 있다.
이상 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형실시가 가능하다. 또한, 첨부된 도면으로부터 용이하게 유추할 수 있는 사항은 상세한 설명에 기재되어 있지 않더라도 본 발명의 내용에 포함되는 것으로 보아야 할 것이며, 다양한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
1: 저장용기 2: 빨대
100: 경사 발생 장치
102: 바닥부 111: 돌출 블록
130: 고정 베이스 부재 154: 잠금 설정 부재
140: 탄성력 조정 장치

Claims (6)

  1. 반도체 제조 공정에 공급되는 화학 용액의 잔량을 처리하기 위한 화학 용액 잔량 처리장치로서,
    상기 화학 용액을 저장하고, 상기 화학 용액을 외부로 공급하기 위하여 내부의 가장자리 근방에서 세로로 공급용 빨대(2)가 설치된 저장용기(1); 및
    상기 저장용기(1)를 장착하는 용기 장착부;
    를 포함하고,
    상기 용기 장착부는:
    상기 저장용기가 위치하는 바닥면을 제공하고, 양측 가장자리 부근에 서로 나란하게 장공(105a, 105b)이 형성된 바닥부(102); 및
    상기 장공(105a, 105b)을 관통하여 탄성적으로 돌출되도록 설치된 한 쌍의 돌출 블록(111), 및 상기 돌출 블록(111)이 돌출되지 않도록 잠그기 위하여 상기 각각의 돌출 블록(111)에 설치된 잠금 장치를 포함하는 경사 발생 장치(100);
    를 포함하여,
    상기 바닥부(102)에 화학 용액이 저장된 저장용기(1)를 장착하여 상기 저장용기(1)의 하중에 의하여 상기 돌출블록(111)이 가압되어 수축된 상태에서 상기 공급용 빨대(2)가 위치하는 쪽의 돌출 블록(111)을 잠그면, 후에 저장용기(1) 내의 화학 용액의 양 및 이에 따른 하중이 서서히 줄어들면서 다른 쪽의 돌출 블록(111)이 상승하여 상기 저장용기(1)를 기울여 화학 용액의 잔량을 최소화하고,
    상기 경사 발생 장치(100)는:
    상기 바닥부(102)에 고정설치되는 고정 베이스 부재(130);
    상기 고정 베이스 부재(130)의 위에 설치되어 상기 돌출 블록(111)을 탄성적으로 지지하는 탄성 스프링(120);
    상기 돌출 블록(111)의 하단에 설치된 로커 브래킷(113); 및
    상기 로커 브래킷(113)에 잠길 수 있도록 상기 고정 베이스 부재(130)에 상하로 회전 가능하게 설치된 ㄱ-자 형상의 잠금 설정 부재(154);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 용액 잔량 처리장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 경사 발생 장치(100)는:
    상단에 머리부가 형성된 리벳 형상으로서, 상기 탄성 스프링(120)을 중간에 삽입하고 하단이 상기 고정 베이스 부재(130)에 고정된 스프링 샤프트(115); 및
    상기 돌출 블록(111)의 아래 측에 형성된 가이드 홈(11) 내에서 상기 스프링 샤프트(115)의 머리부가 상하로 움직이도록 상기 돌출 블록(111)의 하면에 부착 고정되고, 상기 스프링 샤프트(115)의 머리부와 상기 스프링 샤프트(115)에 삽입된 탄성 스프링(120) 사이에 설치되고, 상기 스프링 샤프트(115)를 슬라이딩 가능하게 삽입하는 슬라이딩 홀(12)이 형성된 돌출 베이스 플레이트(112);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 용액 잔량 처리장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 경사 발생 장치(100)는 상기 잠금 설정 부재(154)를 회전시키도록 구성되고 상기 바닥부(102)의 외부로 노출된 조작 손잡이(15)를 더 포함하고, 상기 조작 손잡이(15)는 상기 잠금 설정 부재(154)와 같은 방향으로 배치되어 외부에서 상기 잠금 설정 부재(154)의 잠금 상태를 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 화학 용액 잔량 처리장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 돌출 블록(111)과 상기 고정 베이스 부재(130) 사이의 탄성력을 조정하기 위한 탄성력 조정 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 용액 잔량 처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 탄성력 조정 장치는:
    상기 돌출 블록(111)을 아래에서 탄성적으로 지지하고, 상기 고정 베이스 부재(130)의 삽입공(134)을 관통하도록 설치된 탄성력 조정용 스프링(141);
    상기 탄성력 조정용 스프링(141)의 하단을 지지하는 스프링 지지부재(142);
    상기 고정 베이스 부재(130)의 상기 삽입공(134)을 감싸도록 설치된 탄성력 조정 브래킷(144); 및
    상기 탄성력 조정 브래킷(144)에 볼트 결합하는 탄성력 조정 볼트(146);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 용액 잔량 처리장치.
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