KR101535870B1 - 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액 병에 들어있는 약액의 표면에 가압 가스로 압력을 가하여 약액에 잠긴 약액 이동 라인을 통하여 약액을 스피너 공정에 공급하도록 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치로서, 약액 병을 위치시키기 위한 약액 병 위치 영역을 포함하는 하부 부재, 상기 하부 부재의 상기 약액 병 위치 영역을 포함하는 영역을 덮을 수 있을 정도의 개구부가 아래 방향으로 형성된 뒤집힌 형상의 용기로서, 약액 이동 라인 및 가압 가스 제공 라인을 위한 라인 홀이 각각 형성된 상부 부재, 및 상기 상부 부재를 상기 하부 부재에 대하여 상하로 이동시킬 수 있는 승하강 장치를 포함하고, 사용시 상기 약액 병 위치 영역에 약액 병을 위치시킨 후 상기 상부 부재가 상기 하부 부재의 상면으로 하강하는 경우, 상기 상부 부재의 내측에 하방으로 형성된 상기 약액 이동 라인이 상기 약액 병의 개구부를 통하여 바닥 근방까지 삽입되고 동시에 상기 상부 부재의 개구부가 상기 하부 부재의 상면에 의하여 밀폐되도록 구성된다. 따라서 교체 및 보충 과정에서 작업자가 약액 증기를 흡입하거나 약액이 누수되는 위험을 최소화할 수 있게 된다.

Description

스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치{Chemical Supplying Apparatus for Spinner Process}
본 발명은 약액 공급 장치로서, 특히 반도체 제조에 있어서 포토리소그래피 공정 중에서 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 기판 패터닝 단계에서 스피너 공정에 약액을 공급하기 위한 간접 가압 방식의 약액 공급 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정 또는 액정 제조 공정에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 유리 원판 상에 소정의 패턴을 형성하기 위하여 웨이퍼 기판 또는 유리 원판 상에 자외선이나 X선과 같은 광을 조사하여 패턴을 형성하는 포토리소그래피(photolithography) 공정이 있다.
포토리소그라피 공정은 기판을 세정한 이후에 기판에 일정한 패턴을 형성하는 기판 패터닝 공정을 포함한다. 기판 패터닝 공정은, 일반적으로 스핀 코터(spin coater) 또는 스피너(spinner) 장비에 의하여 약액, 즉 감광액(PR, photoregist)을 웨이퍼 기판 또는 유리 원판 상에 도포하는 과정을 포함하는데, 약액병에 담긴 약액을 약액 이동 라인을 통하여 스피너 장비에 놓인 웨이퍼 기판 또는 유리 원판 상에 일정량을 떨어뜨리면 회전 원심력에 의하여 약액이 웨이퍼 기판 또는 유리 원판 상에 고르게 도포가 된다.
약액을 약액병에서 스피너 장비로 공급하기 위하여 방식으로서 간접 가압 방식은 약액 공급 라인과 가압 가스 제공 라인이 형성된 약액병을 외부와 밀폐시키고 가압 가스 제공 라인을 통하여 병의 내부로 가압 가스를 공급하면 병에 담긴 약액이 압력을 받아 약액 공급 라인을 통하여 약액을 외부, 즉 스피너 장비로 공급하도록 구성된다.
그런데 종래에는, 등록특허 특1996-016959에 종래 기술로 개시된 바와 같이, 유리 병인 약액병의 상단에 캡을 단단히 씌운 후에 약액병 내부로 가압 가스를 공급하는 방식, 또는 금속 용기에 약액을 보충하고 가압하여 사용하는 방식 및 금속 용기의 내부에 약액병을 놓고 금속 용기 내부를 가압하여 사용하는 방식 등을 사용하였다. 유리 병인 약액병을 직접 가압하는 방식은 가압에 의하여 병이 깨질 위험이 있어 보통은 금속 용기를 사용하는 후자의 두 방식을 사용하게 된다.
금속 용기를 사용하는 방식에 의하는 경우에도, 약액을 모두 사용하고 나면 작업자가 금속 용기에 고정된 캡을 제거하여 약액을 직접 보충하거나 새로이 채워진 약액병을 금속 용기 내로 교체하여 스피너 장비로 약액을 공급해야 한다. 따라서 캡을 제거하여 금속 용기에 약액을 보충하거나 금속 용기 내에 새로운 약액병으로 교체하는 과정이 작업자에 의하여 매우 조심스럽게 이루어져야 하기 때문에 시간 소모적이었고, 작업자에게 약액이 직접 노출됨으로써 사고의 위험이 컸었다. 또한, 약액의 보충 또는 약액병 교체시 2인 1조가 되어 작업을 수행해야 하기 때문에 인력의 낭비가 있었다.
등록특허 특1996-016959 (1999.04.15 공고)
본 발명은 약액병에 들어 있는 약액을 간접 가압 방식으로 스피너 장비로 안전하게 공급할 수 있고, 작업자가 약액병의 교체를 매우 빠르고 안전하게 할 수 있도록 약액병을 위치시키기 위한 하부 부재 및 약액병을 덮는 용기인 상부 부재를 상하로 이동시킬 수 있는 승하강 장치를 포함하고, 하강시 상부 부재와 하부 부재를 밀폐시켜 간접 가압 방식으로 약액을 스피너 장비로 공급할 수 있는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.
기타 본 발명의 다른 목적은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 본 발명의 상세한 설명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치는, 약액 병에 들어있는 약액의 표면에 가압 가스로 압력을 가하여 약액에 잠긴 약액 이동 라인을 통하여 약액을 스피너 공정에 공급하도록 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치로서, 약액 병을 위치시키기 위한 약액 병 위치 영역을 포함하는 하부 부재, 상기 하부 부재의 상기 약액 병 위치 영역을 포함하는 영역을 덮을 수 있을 정도의 개구부가 아래 방향으로 형성된 뒤집힌 형상의 용기로서, 약액 이동 라인 및 가압 가스 제공 라인을 위한 라인 홀이 각각 형성된 상부 부재, 및 상기 상부 부재를 상기 하부 부재에 대하여 상하로 이동시킬 수 있는 승하강 장치를 포함하고, 사용시 상기 약액 병 위치 영역에 약액 병을 위치시킨 후 상기 상부 부재가 상기 하부 부재의 상면으로 하강하는 경우, 상기 상부 부재의 내측에 하방으로 형성된 상기 약액 이동 라인이 상기 약액 병의 개구부를 통하여 바닥 근방까지 삽입되고 동시에 상기 상부 부재의 개구부가 상기 하부 부재의 상면에 의하여 밀폐되도록 구성된다.
상기 승하강 장치는 상기 하부 부재의 상면에서 상부로 연장되어 형성된 지지 부재, 및 상기 지지 부재의 상부 말단에 고정된 실린더 본체 및 상기 상부 부재의 개구부의 외측에 고정된 실린더 로드를 포함하는 하나 이상의 실린더 장치를 포함할 수 있다.
상기 지지 부재는 상기 실린더 본체를 고정하기 위한 상판 및 상기 상판과 상기 하부 부재 사이를 연결하는 하나 이상의 지지봉을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 지지 부재의 상판은 가운데 중공이 형성되고, 상기 지지봉은 상기 중공의 가장자리에 세로로 형성되어 상기 상부 부재는 상기 중공을 통하여 위로 상승하도록 구성할 수 있다.
상기 상부 부재의 개구부의 외측에 고정되고, 상기 지지봉이 삽입되는 중공이 형성되어 상기 상부 부재가 승하강할 때에 상기 상부 부재를 가이드 하기 위한 가이드 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 상부 부재가 완전히 하강한 때에 상기 상부 부재와 상기 지지 부재의 상판 사이를 체결하여 상기 상부 부재 및 상기 하부 부재를 더욱 밀착 고정하기 위한 잠금 장치를 더 포함할 수 있다.
상기 잠금 장치는 상기 지지 부재의 상판에 형성된 ㄷ-자형의 체결 홈, 및 상기 상부 부재의 상단에 회전 가능하게 형성되어 회전에 의하여 상기 체결 홈에 체결되도록 구성된 회전 부재를 포함할 수 있다.
상기 상부 부재의 개구부의 외측으로 플랜지가 연장되어 형성되고, 상기 플랜지의 하면과 상기 하부 부재의 상면이 접촉하는 폐구간에 서로 대응하는 밀폐 홈이 각각 형성되고, 상기 밀폐 홈의 어느 한 쪽에 밀폐용 부재가 삽입되어 돌출되도록 구성될 수 있다.
상기 상부 부재의 외측에 상방으로 연장된 약액 이동 라인 및 가압 가스 제공 라인은 나선 형식으로 휘어진 탄성이 있는 재질로 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 승하강 장치를 포함하는 약액 공급 장치에 의하면, 약액의 교체를 작업자 1인에 의하여 충분히 수행할 수 있고, 상부 부재의 개방이 승하강 장치, 즉 실린더 장치에 의하여 이루어지기 때문에 작업자의 수작업이 필요 없게 되고, 하나의 장치로서 상이한 약액을 공급할 수 있고, 잠금 장치에 의하여 상부 부재와 하부 부재가 밀착되기 때문에 더욱 큰 압력으로 내부 공간을 가압할 수 있고, 한정된 공간에 복수의 약액 공급 장치를 설치할 수 있고, 교체 및 보충 과정에서 작업자가 약액 증기를 흡입하거나 약액이 누수되는 위험을 최소화할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치의 전체 구성을 보여주는 사시도;
도 2는 도 1의 약액 공급 장치에 약액병(10)이 놓이고, 상부 부재(200)가 하강한 모습(a) 및 상승한 모습(b)을 도시하는 정면도;
도 3은 도 1의 약액 공급 장치에 설치되는 잠금 장치에 있어서, 회전 부재(502)가 체결 홈(318)의 바깥으로 해제되어 있는 모습(a) 및 체결 홈(318)으로 삽입되어 체결된 모습(b)을 도시하는 평면도;
도 4는 도 1의 약액 공급 장치의 상부 부재(200)의 내부 구성을 보여주기 위한 부분 절단 사시도; 및
도 5는 도 1의 약액 공급 장치 4대가 하나의 수납실에 수납된 모습을 보여주는 평면도(a) 및 정면도(b)를 도시한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치의 전체 구성을 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 약액 공급 장치에 약액병(10)이 놓이고, 상부 부재(200)가 하강한 모습(a) 및 상승한 모습(b)을 도시하는 정면도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치는 크게는 하부 부재(100), 상부 부재(200) 및 승하강 장치(300)를 포함한다.
도 2에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명은 약액 병(10)에 들어있는 약액의 표면에 가압 가스로 압력을 가하여 약액에 잠긴 약액 이동 라인(22)을 통하여 약액을 스피너 공정에 공급하도록 하는 약액 공급 장치이다.
상기 하부 부재(100)는 약액 병(10)을 위치시키기 위한 약액 병 위치 영역(102)을 포함한다. 바람직하게는, 약액 병 위치 영역(102)에 약액병을 지정된 위치에 정확하게 놓을 수 있도록 약액병(10)의 폭에 맞추어 형성된 약액병 수령대(120)를 형성할 수 있다. 약액병 수령대(120)는 약액병(10)의 폭의 직경을 갖는 소정의 높이의 원통 형상으로 하부 부재(100)의 상면으로부터 위로 연장되어 형성된다. 또한, 약액병 수령대(120)의 상부 가장자리의 일부에 소정의 삽입 홈(125)이 형성되어 작업자가 약액병 수령대(120)의 내부로 약액병(10)을 삽입할 때에 이 삽입 홈(125)을 통하여 용이하게 삽입할 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 상부 부재(200)는 하부 부재(100)의 약액 병 위치 영역(102)을 포함하는 영역을 덮을 수 있을 정도의 개구부(202)가 아래 방향으로 형성된 뒤집힌 형상의 용기로서, 바람직하게는 상부 부재(200)의 상단에 약액 이동 라인(22) 및 가압 가스 제공 라인(24)을 위한 라인 홀이 각각 형성된다.
상기 승하강 장치(300)는 상부 부재(200)를 하부 부재(100)에 대하여 상하로 이동시킬 수 있다. 여기에서, 상기 상부 부재(200)의 외측에 상방으로 연장된 약액 이동 라인(22) 및 가압 가스 제공 라인(24)은 나선 형식으로 휘어진 탄성이 있는 재질로 구성함으로써 상부 부재(200)의 하강시 길게 펴진 상태의 라인이 상부 부재(200)의 상승시에 자동으로 수축되도록 함으로써 라인이 엉키는 것을 방지할 수 있다. 도 2(a) 및 (b)에 라인이 신장된 상태와 수축된 상태가 도시되어 있다. 상부 부재(200)의 상단에서 연장되어 나온 라인들이 승하강 장치(300)의 상단을 고정하는 라인 고정부(28)에 고정되어 정렬되도록 구성할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 도 5를 참조하면, 승하강 장치(300)의 상단에 라인 고정부(28)가 연결된 모습이 도시되어 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 본 장치는 사용시 약액 병 위치 영역(102)에 약액 병(10)을 위치시킨 후 상부 부재(200)가 하부 부재(100)의 상면으로 하강하는 경우, 상부 부재(200)의 내측에 하방으로 형성된 약액 이동 라인(22)이 약액 병(10)의 상단 개구부를 통하여 바닥 근방까지 삽입될 수 있고, 동시에 상부 부재(200)의 개구부(202)가 하부 부재(100)의 상면에 의하여 밀폐되도록 구성된다. 따라서 상부 부재(200)가 하부 부재(100)에 대하여 상승한 상태에서 작업자가 약액 병 위치 영역(102)에 약액 병(10)을 위치시키기만 하면, 승하강 장치(300)가 동작하여 상부 부재(200)를 하강시켜 상부 부재(200)와 하부 부재(100)에 의하여 밀폐된 공간을 형성하고 이 밀폐된 공간에 놓인 약액 병(10)에 가압 가스 공급 라인(24)을 통하여 가압 가스를 공급하면 약액이 압력을 받아 약액 공급 라인(22)을 통하여 배출되어 스피너 공정으로 공급된다. 본 발명에 따르면, 종래에 작업자가 약액병의 개구부에 설치하여 약액병을 밀폐시켜 간접 가압하기 위하여 사용하였던 캡을 취급할 필요가 없기 때문에 약액의 노출에 따른 위험을 현저하게 줄일 수 있게 된다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 승하강 장치(300)는 하부 부재(100)의 상면에서 상부로 연장되어 형성된 지지 부재(310), 및 하나 이상의 실린더 장치(320)를 포함할 수 있고, 상기 실린더 장치(320)는 지지 부재(310)의 상부 말단에 고정된 실린더 본체(322) 및 상부 부재(200)의 개구부(202)의 외측에 고정된 실린더 로드(324)를 포함하여 지지 부재(310)에 고정된 실린더 본체(322)에 대하여 실린더 로드(324)가 움직이도록 함으로써 상부 부재(200)가 위아래로 움직이도록 구성될 수 있다. 설치되는 실린더 장치(320)의 개수는 경제적 및 공간적 관점에서 최소의 개수로 구성하는 것이 바람직할 것이지만, 안정적 움직임을 위하여 본 실시 예에서는 상부 부재(200)의 양측에 2대의 실린더 장치(320)가 설치된 모습이 도시되어 있다.
또한, 지지 부재(310)는 상부 부재(200)를 실린더 장치(320)를 매개로 하여 하부 부재(100)에 대하여 상하 움직임이 가능하도록 지지하기 위한 고정 부재로서, 실린더 장치(320)를 하부 부재(100)에 대하여 일정한 높이에 고정할 수 있는 다양한 수단이 채택될 수 있을 것이다.
구체적으로는, 도 1에 하나의 실시 예로서 도시된 바와 같이, 원통형 파이프 형태의 지지봉(314)으로 구성될 수 있고, 이러한 경우 실린더 장치(320)를 안정적으로 고정하기 위하여 상부 부재(200)의 외주에 인접하여 일정한 간격으로 3개를 배치하는 것이 바람직할 것이다. 따라서 지지 부재(310)는 실린더 본체(322)를 고정하기 위한 상판(312) 및 상판(312)과 하부 부재(100) 사이를 연결하는 하나 이상의 지지봉(314)을 포함하여 구성되고 있음을 알 수 있다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 지지 부재(310)의 상판(312)은 가운데 중공이 형성되고, 상기 지지봉(314)은 상기 중공의 가장자리에 세로로 형성되어 상기 상부 부재(200)는 상기 중공을 통하여 위로 상승하도록 구성할 수 있다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 상부 부재(200)의 개구부(202)의 외측에 고정되고, 상기 지지봉(314)이 삽입되는 중공이 형성되어 상기 상부 부재(200)가 승하강할 때에 상기 상부 부재(200)를 가이드 하기 위한 가이드 부재(400)를 더 포함할 수 있다. 바람직하게는 가이드 부재(400)의 중공의 내면과 지지봉(314) 사이는 상호 움직임을 방해하지 않을 정도로 마찰력이 작으면서도 서로 충분히 밀착되어 비틀림이 발생하지 않도록 하는 것이 중요하다. 따라서 가이드 부재(400)의 중공의 내면에 마찰력이 작은 재료로 구성된 패킹 부재(도시되지 않음)를 삽입하여 가이드 부재(400)가 지지봉(314)에 대하여 부드럽고도 안정적으로 움직일 수 있도록 구성할 수 있다.
도 3은 도 1의 약액 공급 장치에 설치되는 잠금 장치(500)에 있어서, 회전 부재(502)가 체결 홈(318)의 바깥으로 해제되어 있는 모습(a) 및 체결 홈(318)으로 삽입되어 체결된 모습(b)을 도시하는 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 예는 잠금 장치(500)를 더 포함하여 구성된다.
잠금 장치(500)는 상부 부재(200)가 완전히 하강한 때에 상부 부재(200)와 지지 부재(310)의 상판(312) 사이를 체결하여 상부 부재(200) 및 하부 부재(100)를 더욱 밀착 고정하기 위한 장치이다. 따라서 상부 부재(200) 내부에 공급되는 가압 가스에 의한 가압의 범위를 증가시킬 수 있게 되어, 약액 이동 라인을 통한 약액의 이동을 더욱 신속하게 할 수 있다.
구체적인 하나의 실시 예로서, 도 3을 참조하면, 상기 잠금 장치(500)는 상기 지지 부재(310)의 상판(312)에 형성된 ㄷ-자형의 체결 홈(318), 및 상기 상부 부재(200)의 상단에 회전 가능하게 형성되어 회전에 의하여 상기 체결 홈(318)에 체결되도록 구성된 회전 부재(502)를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 상기 체결 홈(318)의 내부에 베어링을 포함하여 회전 부재(310)의 체결 부위가 부드럽게 삽입될 수 있도록 구성할 수 있다. 또한, 회전 부재(310)의 양 끝단의 체결 부위에 소정의 경사면(52)을 형성하여 체결 홈(318)에 쉽게 진입할 수 있도록 구성할 수 있다.
도 3에서 302는 실린더 탑재 영역으로서, 실린더 로드 삽입 홀(302)을 통하여 실린더 로드(324)를 삽입하여 실린더 본체(322)가 설치되고, 306은 지지봉(314)을 체결하기 위한 홀로서 중공의 외주 바깥으로 3개가 대칭적으로 형성되어 있다.
다시 도 2를 참조하면, 본 발명의 하나의 실시 예로서, 하부 부재(100)와 상부 부재(200) 사이의 밀폐 구조가 도시되어 있다. 즉, 상부 부재(200)의 개구부(202)의 외측으로 플랜지(210)가 연장되어 형성되고, 상기 플랜지(210)의 하면과 상기 하부 부재(100)의 상면이 만나는 접촉면에 의하여 형성되는 폐구간을 따라 서로 대응하는, 폐루프 형태의 밀폐 홈(212, 112)이 각각 형성될 수 있고, 상기 밀폐 홈(212, 112)의 어느 한 쪽에, 예를 들면 링 구조의 밀폐용 부재(114)가 삽입되어 돌출되도록 구성될 수 있다.
이에 더하여, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하부 부재(100)의 상면에 상기 상부 부재(200)의 플랜지(210)에 대응하여 배치되는 일정한 높이를 갖는 판형 부재(110)가 형성될 수 있고, 상부 부재(200)가 하강하는 경우 플랜지(210)와 판형 부재(110)가 밀착하여 상부 부재(200)의 내부를 외부와 밀폐시키도록 구성할 수 있다. 이 경우 약액 병 위치 영역(102)은 판형 부재(110)의 상면의 가운데 영역을 차지하게 될 것이다.
도 4는 도 1의 약액 공급 장치의 상부 부재(200)의 내부 구성을 보여주기 위한 부분 절단 사시도이다. 도 4를 참조하면, 상부 부재(200)의 내측 상단에 약액 공급 라인 관통 홀(604) 및 가압 가스 라인 관통 홀(602)이 각각 형성된 격리 부재(600)가 상부 부재(200)의 내면에 밀착하여 형성될 수 있다. 따라서 상부 부재(200)의 내부 공간은 상부 공간과 하부 공간으로 분리될 수 있고, 상부 부재(200)가 하강하여 하부 부재(100)와의 사이에 밀폐 공간인 하부 공간을 형성하게 되고, 이 하부 공간에 약액병(10)이 위치하게 된다. 이렇게 격리 부재(600)에 의하여 밀폐 공간의 체적을 줄임으로써 가압 가스에 의한 가압의 효율을 높일 수 있게 된다. 격리 부재(600)에 의하여 형성되는 하부 공간의 높이는 약액병(10)의 길이 및 하부 부재(100) 상의 약액병 수령대(120), 삽입 홀(125) 등의 형태 등을 고려하여 약액병 수령대(120)에/에서 약액병(10)을 용이하게 삽입/제거할 수 있도록 적절히 결정되어야 할 것이다.
도 5는 도 1의 약액 공급 장치 4대가 하나의 수납실에 수납된 모습을 보여주는 평면도(a) 및 정면도(b)를 도시한다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 약액 공급 장치 4대가 하나의 조를 이루어 수납실(700)에 수납되어 있고, 약액 공급 장치에 연결된 약액 공급 라인(22)을 외부, 즉 스피너 장치로 연결할 수 있는 잭 등의 연결 수단(735)을 포함한다. 수납실(700)은 비품 보관부(710), 기능 설정 및 조정 창(720), 및 약액 공급 장치 수납부(730)를 포함하고, 약액 공급 장치 수납부(730)의 하부에는 약액 공급 장치를 서랍 방식으로 용이하게 밀고 당길 수 있는 가이드 라인(740)이 형성되어 있다. 또한, 수납실(700)의 하단에는 고정 부재(752) 및 이동용 바퀴(752)가 설치되어 필요한 위치로 움직여 고정할 수 있다. 또한, 수납실(700)의 전면부에는 손잡이(732)가 형성된 여닫이 문을 형성할 수 있고 문을 열고 약액 공급 장치를 가이드 라인(740)을 따라 당긴 후에 기능 설정 및 조정 창(720)을 조작하는 등으로 하부 부재(100)에 대하여 상부 부재(200)를 상승시켜 작업자가 약액 병 위치 영역(102)에 놓인 약액병(10)을 교체할 수 있다.
이상 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형실시가 가능하다. 또한, 첨부된 도면으로부터 용이하게 유추할 수 있는 사항은 상세한 설명에 기재되어 있지 않더라도 본 발명의 내용에 포함되는 것으로 보아야 할 것이며, 다양한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
10: 약액병
22: 약액 이동 라인 24: 가압 가스 제공 라인
100: 하부 부재
102: 약액 병 위치 영역 110: 판형 부재
112: 밀폐 홈 114: 밀폐용 부재
120: 약액병 수령대 125: 삽입 홈
200: 상부 부재 202: 개구부
210: 플랜지 212: 밀폐 홈
300: 승하강 장치 310: 지지 부재
312: 상판 314: 지지봉
318: 체결 홈
320: 실린더 장치 322: 실린더 본체
324: 실린더 로드 400: 가이드 부재
500: 잠금 장치 502: 회전 부재

Claims (9)

  1. 약액 병에 들어있는 약액의 표면에 가압 가스로 압력을 가하여 약액에 잠긴 약액 이동 라인을 통하여 약액을 스피너 공정에 공급하도록 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치로서,
    약액 병을 위치시키기 위한 약액 병 위치 영역을 포함하는 하부 부재;
    상기 하부 부재의 상기 약액 병 위치 영역을 포함하는 영역을 덮을 수 있을 정도의 개구부가 아래 방향으로 형성된 뒤집힌 형상의 용기로서, 약액 이동 라인 및 가압 가스 제공 라인을 위한 라인 홀이 각각 형성된 상부 부재; 및
    상기 상부 부재를 상기 하부 부재에 대하여 상하로 이동시킬 수 있는 승하강 장치;
    를 포함하고,
    사용시 상기 약액 병 위치 영역에 약액 병을 위치시킨 후 상기 상부 부재가 상기 하부 부재의 상면으로 하강하는 경우, 상기 상부 부재의 내측에 하방으로 형성된 상기 약액 이동 라인이 상기 약액 병의 개구부를 통하여 바닥 근방까지 삽입되고 동시에 상기 상부 부재의 개구부가 상기 하부 부재의 상면에 의하여 밀폐되고,
    상기 승하강 장치는
    상기 하부 부재의 상면에서 상부로 연장되어 형성된 지지 부재; 및
    상기 지지 부재의 상부 말단에 고정된 실린더 본체 및 상기 상부 부재의 개구부의 외측에 고정된 실린더 로드를 포함하는 하나 이상의 실린더 장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는 상기 실린더 본체를 고정하기 위한 상판 및 상기 상판과 상기 하부 부재 사이를 연결하는 하나 이상의 지지봉을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 지지 부재의 상판은 가운데 중공이 형성되고, 상기 지지봉은 상기 중공의 가장자리에 세로로 형성되어 상기 상부 부재는 상기 중공을 통하여 위로 상승하는 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상부 부재의 개구부의 외측에 고정되고, 상기 지지봉이 삽입되는 중공이 형성되어 상기 상부 부재가 승하강할 때에 상기 상부 부재를 가이드 하기 위한 가이드 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 상부 부재가 완전히 하강한 때에 상기 상부 부재와 상기 지지 부재의 상판 사이를 체결하여 상기 상부 부재 및 상기 하부 부재를 더욱 밀착 고정하기 위한 잠금 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 잠금 장치는 상기 지지 부재의 상판에 형성된 ㄷ-자형의 체결 홈, 및 상기 상부 부재의 상단에 회전 가능하게 형성되어 회전에 의하여 상기 체결 홈에 체결되도록 구성된 회전 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  8. 제1항, 및 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상부 부재의 개구부의 외측으로 플랜지가 연장되어 형성되고,
    상기 플랜지의 하면과 상기 하부 부재의 상면이 접촉하는 폐구간에 서로 대응하는 밀폐 홈이 각각 형성되고, 상기 밀폐 홈의 어느 한 쪽에 밀폐용 부재가 삽입되어 돌출된 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 상부 부재의 외측에 상방으로 연장된 약액 이동 라인 및 가압 가스 제공 라인은 나선 형식으로 휘어진 탄성이 있는 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 스피너 공정용 간접 가압 방식의 약액 공급 장치.
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