KR101640082B1 - 다계조 포토마스크의 제조 방법, 다계조 포토마스크 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6514143B2 (ja) * 2016-05-18 2019-05-15 Hoya株式会社 フォトマスクの製造方法、フォトマスク、及び表示装置の製造方法
JP6573591B2 (ja) * 2016-09-13 2019-09-11 Hoya株式会社 フォトマスクの製造方法、フォトマスク、及び表示装置の製造方法
TW201823855A (zh) * 2016-09-21 2018-07-01 日商Ｈｏｙａ股份有限公司 光罩之製造方法、光罩、及顯示裝置之製造方法
JP6259508B1 (ja) * 2016-12-28 2018-01-10 株式会社エスケーエレクトロニクス ハーフトーンマスク、フォトマスクブランクス及びハーフトーンマスクの製造方法
JP6368000B1 (ja) * 2017-04-04 2018-08-01 株式会社エスケーエレクトロニクス フォトマスク及びフォトマスクブランクス並びにフォトマスクの製造方法
CN108196421B (zh) * 2017-12-14 2021-03-05 深圳市路维光电股份有限公司 灰阶掩膜版制作方法
CN111367142A (zh) * 2018-12-26 2020-07-03 聚灿光电科技（宿迁）有限公司 一种包含不同透光性的新型光学掩膜版

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008116517A (ja) 2006-11-01 2008-05-22 Sk Electronics:Kk 中間調フォトマスク及びその製造方法
JP2011186506A (ja) * 2011-07-01 2011-09-22 Sk Electronics:Kk 中間調フォトマスク
KR101364286B1 (ko) * 2012-05-02 2014-02-18 호야 가부시키가이샤 포토 마스크, 패턴 전사 방법 및 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06188270A (ja) * 1992-12-15 1994-07-08 Mitsubishi Electric Corp 電界効果トランジスタの製造方法及びパターン転写マスク
JPH0798493A (ja) * 1993-09-28 1995-04-11 Toppan Printing Co Ltd 位相シフトマスク及びその製造方法
JP4780264B2 (ja) * 2001-05-16 2011-09-28 信越化学工業株式会社 クロム系フォトマスクの形成方法
JP4521694B2 (ja) 2004-03-09 2010-08-11 Ｈｏｙａ株式会社 グレートーンマスク及び薄膜トランジスタの製造方法
JP4468093B2 (ja) * 2004-07-01 2010-05-26 大日本印刷株式会社 階調フォトマスクの製造方法
JP2006030320A (ja) * 2004-07-12 2006-02-02 Hoya Corp グレートーンマスク及びグレートーンマスクの製造方法
JP4587837B2 (ja) * 2005-02-18 2010-11-24 Ｈｏｙａ株式会社 グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク
JP4919220B2 (ja) * 2005-02-28 2012-04-18 Ｈｏｙａ株式会社 グレートーンマスク
JP4693451B2 (ja) * 2005-03-22 2011-06-01 Ｈｏｙａ株式会社 グレートーンマスクの製造方法及び薄膜トランジスタ基板の製造方法
EP1746460B1 (en) * 2005-07-21 2011-04-06 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Photomask blank, photomask and fabrication method thereof
JP4968709B2 (ja) * 2006-03-17 2012-07-04 Ｈｏｙａ株式会社 グレートーンマスクの製造方法
JP2009080421A (ja) * 2007-09-27 2009-04-16 Hoya Corp マスクブランク、及びインプリント用モールドの製造方法
JP2009237491A (ja) * 2008-03-28 2009-10-15 Hoya Corp フォトマスクの欠陥修正方法及びフォトマスクの製造方法、並びにパターン転写方法
JP5215019B2 (ja) * 2008-03-28 2013-06-19 Ｈｏｙａ株式会社 多階調フォトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法
JP2011159875A (ja) * 2010-02-02 2011-08-18 Hitachi Cable Ltd 半導体装置用テープキャリアの製造方法
JP6139826B2 (ja) * 2012-05-02 2017-05-31 Hoya株式会社 フォトマスク、パターン転写方法、及びフラットパネルディスプレイの製造方法
JP5739375B2 (ja) * 2012-05-16 2015-06-24 信越化学工業株式会社 ハーフトーン位相シフトマスクブランク及びハーフトーン位相シフトマスクの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008116517A (ja) 2006-11-01 2008-05-22 Sk Electronics:Kk 中間調フォトマスク及びその製造方法
JP2011186506A (ja) * 2011-07-01 2011-09-22 Sk Electronics:Kk 中間調フォトマスク
KR101364286B1 (ko) * 2012-05-02 2014-02-18 호야 가부시키가이샤 포토 마스크, 패턴 전사 방법 및 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법

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