KR101637035B1 - 도전성 접촉체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도전성 접촉체에 관한 것으로, 내부가 비워 있는 배럴, 상기 배럴의 상부에 삽입되는 상부 플런저, 상기 배럴에 삽입되는 제1의 하부 플런저, 상기 배럴 내에서 상기 상부 플런저와 제1의 하부 플런저 사이에 개재되는 제1탄성체를 포함하는 내부 도전성 포고핀; 상기 내부 도전성 포고핀을 수용하는 외부 통체; 상기 외부 통체의 하부에 결합된 제2의 하부 플런저; 및 상기 내부 도전성 포고핀을 부분적으로 수용하면서 상기 내부 포고핀과 외부 통체 사이 및 상기 상부 플런저와 제2의 하부 플런저 사이에 개재되는 제2탄성체를 포함한다.

Description

도전성 접촉체{A Conductive Contactor}
본 발명은 도전성 접촉체, 보다 상세하게는 피검사체의 단자와 테스트 보드의 패드 사이를 전기적으로 연결하기 위한 도전성 접촉체에 관한 것이다.
반도체 칩은 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부를 테스트한다.
이러한 반도체 칩의 테스트는 반도체 칩의 단자와 테스트 신호를 인가하는 테스트 보드의 패드를 전기적으로 연결하는 도전성 접촉체가 사용된다.
도 1은 종래 도전성 접촉체를 나타내는 것으로, 원통형의 배럴(20), 원통형 배럴(20)의 상부에 삽입되는 상부 플런저(10), 배럴의 하부에 삽입되는 하부 플런저(40), 상기 배럴(20)의 중앙에 상기 상부 플런저(10)와 하부 플런저(40) 사이에 개재되는 탄성체인 스프링(30)으로 구성되어 잇다.
이와 같은 종래 도전성 접촉체는 상부 플런저 팁(12)이 반도체 칩과 같은 피검사체의 단자에 접촉하고 하부 플런저의 팁이 테스트 보드의 패드에 접촉하여 테스트 신호의 도전 경로를 역할을 한다.
검사용 전기신호는 피검사체의 단자로부터 상부 플런저(10)를 통해 하부에서 접촉하는 배럴(20)로 전달되고, 배럴(20)를 통과해 하부 플런저(40)로 전달되어 최종적으로 테스트 보드의 패드로 전달된다.
이때, 상하부 플런저들(10,40)과 배럴(20) 사이의 접촉은 상하부 플런저들(10,40)의 슬라이딩 이동하면서 접촉하기 때문에 접촉 저항이 높아지거나 저항 편차가 심해지는 문제가 있다.
이와 같은 종래 도전성 접촉체는 파워 반도체와 같은 대전류 고전압 특성을 가진 피검사체를 터스트 하는 검사장치에 적용하기 힘든 문제가 있다.
본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 접촉저항 및 저항 편차를 줄일 수 있는 대전류용 도전성 접촉체를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 도전 경로 상의 저항을 낮춰 대전류용으로 적합한 도전성 접촉체를 제공함에 있다.
상기 본 발명의 과제를 해결하기 위한 도전성 접촉체는, 내부가 비워 있는 배럴, 상기 배럴의 상부에 삽입되는 상부 플런저, 상기 배럴에 삽입되는 제1의 하부 플런저, 상기 배럴 내에서 상기 상부 플런저와 제1의 하부 플런저 사이에 개재되는 제1탄성체를 포함하는 내부 도전성 포고핀; 상기 내부 도전성 포고핀을 수용하는 외부 통체; 상기 외부 통체의 하부에 결합된 제2의 하부 플런저; 및 상기 내부 도전성 포고핀을 부분적으로 수용하면서 상기 내부 포고핀과 외부 통체 사이 및 상기 상부 플런저와 제2의 하부 플런저 사이에 개재되는 제2탄성체를 포함한다.
상기 제2의 하부 플런저는 상기 제2의 탄성체에 의해 탄성적으로 상하 슬라이딩 이동하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 도전성 접촉체는 많은 접점을 부여하여 접촉저항 및 저항 편차를 낮출 수 있어 대전류용으로 이용할 수 있다.
또한, 본 발명의 도전성 접촉체는 많은 도전 경로를 제공하여 저항을 낮출 수 있어 대전류용으로 이용할 수 있는 효과도 있다.
도 1은 종래의 도전성 접촉체의 단면을 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 도전성 접촉체의 단면을 나타낸 도면이고,
도 3은 도 2에 나타낸 도전성 접촉체를 분해하여 나타낸 단면도이다.
본 발명의 도전성 접촉체(100)는 홀더(200) 내에 삽입되어 반도체 칩과 같은 피검사체의 단자(10)와 테스트 보드의 패드(20) 사이의 도전 경로를 형성한다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 도전성 접촉체(100)는 내부가 비워 있는 배럴(116), 상기 배럴(116)의 상부에 삽입되는 상부 플런저(111), 상기 배럴(116)에 삽입되는 제1의 하부 플런저(170), 상기 배럴(116) 내에서 상기 상부 플런저(111)와 제1의 하부 플런저(170) 사이에 개재되는 제1탄성체(160)를 포함하는 내부 도전성 포고핀(110); 상기 내부 도전성 포고핀(110)을 수용하는 외부 통체(150); 상기 외부 통체(150)의 하부에 결합된 제2의 하부 플런저(120); 및 상기 내부 도전성 포고핀(110)을 부분적으로 수용하면서 상기 내부 포고핀(110)과 외부 통체(150) 사이 및 상기 상부 플런저(111)와 제2의 하부 플런저(120) 사이에 개재되는 제2탄성체(140)를 포함할 수 있다.
내부 도전성 포고핀들(110)은 하부가 개방된 원통형 배럴(116) 내부에 스프링과 같은 제1탄성체(160)를 삽입한 후 제1의 하부 플런저를 개방된 하부에 삽입한 후 배럴의 하부 단부(118)를 내측 반경방향으로 절곡하여 제1의 하부 플런저(170)가 빠지지 않은 상태에서 상하 요동할 수 있게 한다.
도 2및 도3에 나타나 있는 바와 같이, 외부 통체(150)의 하부에 제2의 하부 플런저(120) 삽입 고정한다. 통체(150)에 제2의 하부 플런저(120)를 고정하는 형태는 제2의 하부 플런저 상부에 홈부(122)을 형성한 후, 홈부(122)가 외부 통체(150)에 수용되도록 삽입한다. 이후, 홈부(122)에 상응하는 외부 통체(150) 부분을 내측 반경방향으로 가압하여 내부 돌출부(154)를 형성하고, 돌출부(154)가 홈부(122)와 결합하도록 함으로써 외부 통체와 제2의 하부 플런저는 고정될 수 있다.
이때, 제2의 하부 플런저에 홈부9122)를 형성하는 대신에 내부 돌출부(154)에 걸릴 수 있는 턱을 만들면 제2의 하부 플런저는 외부 통체(150)에 대해 상하 이동할 수 있다.
이와 같이 외부 통체9150)와 제2의 하부 플런저(120)를 결한 상태에서 외부 통체의 상부 개방부를 통해 제2의 탄성체(140)를 삽입한 후 전술한 내부 도전성 포고핀(110)을 제2의 탄성체(140) 내부에 삽입한다.
상기 내부 도전성 포고핀을 삽입하는 정도는 외부 통체(150)의 상단이 상기 내부 포고핀(110)의 상부 플런저 걸림턱(112)을 지나도록 하여야 한다.
이후 외부 통체(150)에 내부 도전성 포고핀(110)을 삽입한 상태에서 외부 통체(110)의 상부를 내측 반경방향으로 절곡하거나 가압 돌출시켜 내부 도전성 포고핀(110)이 빠지지 않으면서 제2탄성체(140)에 의해 상하 요동하도록 한다.
본 발명의 도전성 접촉체(100)는 내부 도전성 포고핀(110)의 상부 플런저(111)로 전달된 전기신호가 배럴(116), 제1의 하부 플런저(170) 및 제2의 하부 플런저(120)로 순차적으로 전달되는 제1 도전경로와 상부 플런저(11)로 전덜된 전기신호가 외부통체(150) 및 제2의 하부 플런저(120)로 전달되는 제2 도전경로를 가진다.
따라서, 본 발명의 도전성 접촉체(100)는 도전 경로 상에서 많은 접점을 가짐으로써 도전 저항 및 접촉 저항을 낮출 수 있을 뿐만 아니라 접촉저항의 편차도 줄일 수 있어 대전류용 검사장치에 적용하는 것이 가능하다.
상술한 내부 도전성 포고핀(110)은 제1 탄성체와 제1의 하부 플런저를 생략하고 배럴(116)의 길이를 짧게 하여 제2의 탄성체만으로 내부 도전성 포고핀을 상하 요동하게 할 수 있다. 이때, 내부 도전성 포고핀(110)과 제2의 하부 플런저는 유연성을 가지는 도전성 와이어에 의해 연결하여 제1의 도전경로를 형성할 수도 있다.
또한, 제2의 하부 플런저(120)의 상측에 내부 도전성 포고핀(110)의 배럴 내부에 삽입하기 적합한 연장부를 형성하여 상기 내부 도전성 포고핀의 요동에 따라 배럴(116) 내에서 슬라이딩 접촉하면서 제1의 경로를 형성하는 것도 가능하다. 물론 전술한 도전성 와이어를 이용하면 제3의 도전 경로를 형성할 수도 있다.
100: 도전성 접촉체 110: 내부 도전성 포고핀
112: 걸림턱 120: 제2의 하부 ㅍㄹ런저
140: 제2의 탄성체 150: 외부 통체
160: 제2의 탄성체 170: 제1의 하부 플런저

Claims (2)

  1. 내부가 비워 있는 배럴, 상기 배럴의 상부에 삽입되는 상부 플런저, 상기 배럴에 삽입되는 제1의 하부 플런저, 상기 배럴 내에서 상기 상부 플런저와 제1의 하부 플런저 사이에 개재되는 제1탄성체를 포함하는 내부 도전성 포고핀;
    상기 내부 도전성 포고핀을 수용하는 외부 통체;
    상기 외부 통체의 하부에 결합된 제2의 하부 플런저; 및 상기 내부 도전성 포고핀을 부분적으로 수용하면서 상기 내부 도전성 포고핀과 외부 통체 사이 및 상기 상부 플런저와 제2의 하부 플런저 사이에 개재되는 제2탄성체를 포함하는 도전성 접촉체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제2의 하부 플런저는 상기 제2의 탄성체에 의해 탄성적으로 상하 슬라이딩 이동하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉체.
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