KR101057371B1 - 검사용 탐침 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (2)
- 반도체 칩을 검사하기 위한 검사용 탐침 장치에 있어서,상기 반도체 칩의 접속 단자에 접촉되는 탐침 돌기가 상단부에 형성된 상부 플런저와;상하가 개구되어 상기 상부 플런저의 하부가 상측에 수용되는 배럴과;상기 배럴의 내부에 수용되는 원통형상의 실리콘에 금속볼이 함유되어 도전성을 띠는 도전성 실리콘부;로 이루어지되,상기 도전성 실리콘부의 하부는 상기 배럴의 하측으로 돌출되어 검사용 회로 기판의 접촉 단자와 상기 상부 플런저를 전기적으로 연결시키고, 반도체 칩에 접촉시 발생되는 하방 압력이 상기 도전성 실리콘부에 의해서 탄성 지지되며;상기 도전성 실리콘부는 상기 배럴 내벽에 적어도 부분적으로 이격되게 수용되며,상기 도전성 실리콘부는 하부 외주면에 걸림턱이 형성되어, 상기 배럴의 하단부에 형성된 내향 절곡부에 구속됨을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
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