KR20110002962A - 검사용 탐침 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (2)
- 반도체 칩을 검사하기 위한 검사용 탐침 장치에 있어서,상기 반도체 칩의 접속 단자에 접촉되는 탐침 돌기가 상단부에 형성된 상부 플런저와;상하가 개구되어 상기 상부 플런저의 하부가 상측에 수용되는 배럴과;상기 배럴의 내부에 수용되는 원통형상의 실리콘에 금속볼이 함유되어 도전성을 띠는 도전성 실리콘부;로 이루어지되,상기 도전성 실리콘부의 하부는 상기 배럴의 하측으로 돌출되어 검사용 회로 기판의 접촉 단자와 상기 상부 플런저를 전기적으로 연결시키고, 반도체 칩에 접촉시 발생되는 하방 압력이 상기 도전성 실리콘부에 의해서 탄성 지지됨을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 도전성 실리콘부는,하부 외주면에 걸림턱이 형성되어, 상기 배럴의 하단부에 형성된 내향 절곡부에 구속됨을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107505567A (zh) * | 2017-10-11 | 2017-12-22 | 李贺满 | 一种电子线路板高速信号检测装置 |
CN107728041A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-02-23 | 李贺满 | 一种电子线路板电性能检测装置 |
WO2019004663A1 (ko) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
WO2019004661A1 (ko) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
KR20190010674A (ko) * | 2019-01-10 | 2019-01-30 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
KR20190011294A (ko) * | 2019-01-10 | 2019-02-01 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
KR20190082751A (ko) * | 2016-11-21 | 2019-07-10 | 가부시키가이샤 엔프라스 | 전기 접촉자 및 전기 부품용 소켓 |
CN113973507A (zh) * | 2020-05-22 | 2022-01-25 | (株)爱云索路深 | 超大电流用弹簧针 |
KR102663575B1 (ko) * | 2024-02-02 | 2024-05-03 | 주식회사 나노시스 | 결속력을 강화한 탄성 컨텍터 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200427407Y1 (ko) * | 2006-06-02 | 2006-09-26 | 주식회사 아이에스시테크놀러지 | 실리콘 콘택터 |
KR100809578B1 (ko) * | 2006-08-28 | 2008-03-04 | 리노공업주식회사 | 검사용 탐침 장치 |
-
2009
- 2009-07-03 KR KR1020090060513A patent/KR101057371B1/ko active IP Right Grant
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190082751A (ko) * | 2016-11-21 | 2019-07-10 | 가부시키가이샤 엔프라스 | 전기 접촉자 및 전기 부품용 소켓 |
TWI689729B (zh) * | 2017-06-28 | 2020-04-01 | 南韓商Isc股份有限公司 | 彈簧針連接器用的探針組件、其製造方法及包含其的彈簧針連接器 |
WO2019004663A1 (ko) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
WO2019004661A1 (ko) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
KR20190001735A (ko) * | 2017-06-28 | 2019-01-07 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
CN110869773A (zh) * | 2017-06-28 | 2020-03-06 | 株式会社Isc | 弹簧针连接器用的探针组件、其制造方法及包含其的弹簧针连接器 |
US11385259B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-07-12 | Isc Co., Ltd. | Probe member for pogo pin, method of manufacturing the probe member, pogo pin comprising the probe member |
US11555829B2 (en) | 2017-06-28 | 2023-01-17 | Isc Co., Ltd. | Probe member for pogo pin, manufacturing method therefor and pogo pin comprising same |
CN107728041A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-02-23 | 李贺满 | 一种电子线路板电性能检测装置 |
CN107505567A (zh) * | 2017-10-11 | 2017-12-22 | 李贺满 | 一种电子线路板高速信号检测装置 |
KR20190010674A (ko) * | 2019-01-10 | 2019-01-30 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
KR20190011294A (ko) * | 2019-01-10 | 2019-02-01 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 포고핀 |
CN113973507A (zh) * | 2020-05-22 | 2022-01-25 | (株)爱云索路深 | 超大电流用弹簧针 |
KR102663575B1 (ko) * | 2024-02-02 | 2024-05-03 | 주식회사 나노시스 | 결속력을 강화한 탄성 컨텍터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101057371B1 (ko) | 2011-08-17 |
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