KR101621452B1 - 약액 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것으로, 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과; 상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 영역에 관통부가 형성된 마스크와; 상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐과; 상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와; 상기 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를; 포함하여 구성되어, 상기 거리 센서로부터 측정되는 거리 편차의 유무로부터 상기 마스크와 기판 척의 정렬 상태를 감지하여 상기 피처리 기판의 정해진 영역에 정확히 약액을 도포할 수 있게 하는 약액 도포 장치를 제공한다.

Description

약액 도포 장치{COATER}
본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것으로, 피처리 기판에 다수의 이격된 셀 영역에 정확하게 약액을 도포할 수 있게 하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 전체 표면에 약액을 도포하고, 피처리 기판을 필요에 따라 절단하여 사용하는 방식이 사용되었다. 그러나, 최근에는 약액의 품질이 높아지면서 약액의 가격이 고가이어서 버려지는 피처리 기판의 표면에 약액의 사용을 줄여보고자 하는 시도가 행해지고 있다.
이를 위하여, 도1에 도시된 바와 같이 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 셀 영역에 해당하는 표면에만 도포하는 방식의 코팅 방법이 제안되었다.
즉, 종래의 약액 도포 장치는 피처리 기판(G)을 기판척(10)상에 거치시킨 상태에서, 피처리 기판(G)의 표면에 포토 레지스트 등의 약액을 약액 공급부(30)로부터 공급받아, 이송부(40)의 이송에 따라 크로스 바(45)를 통해 고정된 약액 노즐(20)이 이동(20d)하면서 피처리 기판(G)의 표면에 약액(55)을 도포하도록 구성된다.
여기서, 기판척(10)은 유리 기판(G)을 안착시키기 위해 통상 유리 기판보다 큰 직사각형 형상으로 형성되고, 상부에는 진공 흡착을 위하여 진공 펌프와 연통된 다수개의 진공홀(미도시)이 형성되어 있다. 피처리 기판(G)의 표면의 전면에 약액을 도포할 수도 있지만, 최근에는 E-paper, 플랙시블 디스플레이 장치 등 작은 디스플레이 모바일 장치에 사용하기 위하여 도2에 도시된 작은 셀 영역(A)에만 약액을 도포한다.
이 때, 사용하고자 하는 디스플레이 장치의 용도에 따라 셀 영역(A)의 길이(L)나 폭(W)은 다양하게 변동된다.
그러나, 피처리 기판(W)에 도포하고자 하는 셀 영역(A)의 폭과 길이가 매번 달라지므로, 이송부(40)에 무거운 약액 노즐(20)을 도포하는 셀 영역(A)의 크기에 따라 매번 교체하는 것은 대단히 어렵다. 더욱이, 피처리 기판(W)은 2800mm * 3000mm 이상의 대형화되어 약액 노즐(20)도 매우 무겁고, 초기에 셋팅하는 공정이 오랜 시간이 소요되므로 공정 효율이 저하되는 문제가 있었다.
이 뿐만 아니라, 도포하는 셀 영역(A)의 폭(w)에 맞춰 약액 노즐(20)의 폭이 제대로 설치되더라도, 약액 노즐(20)이 피처리 기판(G)에 대하여 이동하는 동안에, 약액 노즐(20)은 피처리 기판(G)의 표면과 일정한 간격을 유지한 상태로 이동하므로, 약액 노즐(20)로부터 약액(55)이 토출되는 것을 단속하는 것에 의해서는 도5에 도시된 바와 같이 정해진 셀 영역(A)에 정확히 약액(55)을 도포하는 데 한계가 있으며, 약액(55)의 도포를 단속하는 때에 도포 두께가 불균일한 부분(55x)이 발생될 뿐만 아니라 셀 영역(A)의 바깥(c)까지 약액이 도포되는 문제도 있었다.
따라서, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에만 정확히 약액을 도포할 수 있는 방안의 필요성이 절실히 요구되고 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 피처리 기판에 다수의 이격된 셀 영역에 정확하게 약액을 도포할 수 있게 하는 약액 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
무엇보다도, 본 발명은 피처리 기판의 셀 영역에 약액을 도포하기 위하여 채용되는 마스크를 피처리 기판에 정확히 정렬시킴으로써, 피처리 기판에 서로 이격된 셀 영역에 정확히 균일한 두께로 약액을 도포하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여, 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과; 상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 영역에 관통부가 형성된 마스크와; 상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치를 제공한다.
이와 같이, 피처리 기판의 표면에 서로 이격된 셀 영역에만 약액을 도포하는 데 있어서, 셀 영역의 위치 및 크기에 맞는 관통부가 형성된 마스크를 피처리 기판의 표면에 포갠 상태로 약액을 도포함으로써, 약액 노즐이 일정한 높이로 이동하면서 단속 시점이 다소 불일치하더라도, 마스크의 관통부를 통해 피처리 기판에 정확한 두께로 약액을 도포할 수 있게 된다.
무엇보다도, 본 발명은, 상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와; 상기 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를; 더 포함하여 구성되어, 피처리 기판에 대하여 마스크가 정확하게 정렬되었는지 여부를 거리 센서를 통해 확인할 수 있다.
이 때, 상기 거리 센서는 상기 기판 척의 양측면 가장자리에서의 거리를 측정함으로써, 마스크와 피처리 기판이 조금이라도 정렬 상태로부터 어긋난 것을 감지할 수 있다.
상기 거리 센서는 상기 약액 노즐과 상기 약액 노즐을 고정하는 크로스 바 중 어느 하나에 고정되어, 약액 노즐과 함께 이동한다.
그리고, 상기 마스크와 상기 피처리 기판은 동일한 면적으로 형성되어 포개어지는 것이 바람직하다.
상기 거리 센서에 의해 측정되는 거리값은 적어도 피처리 기판의 꼭지점 부근 중에 2군데 이상을 측정하여, 마스크와 피처리 기판의 정렬 상태를 파악할 수 있다. 보다 정확하게는 약액 노즐이 이동하면서 하방으로의 거리 분포를 측정하여, 거리 분포로부터 마스크와 피처리 기판의 정렬 상태로부터 어느정도 벗어난 것인지 여부를 정확하게 파악할 수 있다.
이와 같이, 본 발명은, 상기 제어부에 의하여 상기 마스크와 상기 피처리 기판이 정렬되지 아니한 것으로 감지되면, 상기 마스크의 모서리에서 밀어주어 상기 마스크와 상기 피처리 기판을 정렬시키는 정렬 기구를 더 포함하여 구성되어, 마스크와 피처리 기판의 정렬 상태를 맞춘다.
그리고, 마스크와 피처리 기판의 정렬 상태의 확인은, 상기 피처리 기판에 약액을 도포하기 이전에 상기 약액 노즐을 1회 왕복 이동하면서 상기 거리 센서의 측정값으로부터 상기 마스크와 상기 피처리 기판의 정렬 상태를 확인할 수 있으며, 상기 제어부는 상기 마스크와 상기 피처리 기판의 정렬이 적합한 경우에 한하여 약액을 도포하도록 한다.
본 발명에 따르면, 피처리 기판의 표면에 서로 이격된 셀 영역에만 약액을 도포하는 약액 도포 장치에 있어서, 셀 영역의 위치 및 크기에 맞는 관통부가 형성된 마스크를 피처리 기판의 표면에 포갠 상태로 약액을 도포함으로써, 약액 노즐이 일정한 높이로 이동하면서 단속 시점이 다소 불일치하더라도, 마스크의 관통부를 통해 피처리 기판에 정확한 두께로 약액을 도포할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
무엇보다도, 본 발명은, 상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와; 상기 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를; 더 포함하여 구성되어, 피처리 기판에 대하여 마스크가 정확하게 정렬된 상태에서 약액의 도포 공정이 행해짐으로써, 피처리 기판의 셀 영역에 정확하게 약액이 도포되는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도1은 종래의 약액 도포 장치의 구성을 도시한 사시도,
도2는 도 1의 약액 도포 장치에 의해 피처리 기판의 셀 영역에 약액이 도포된 상태를 도시한 사시도,
도3은 도2의 절단선 Ⅲ-Ⅲ에 따른 단면도,
도4는 본 발명의 일 실시예에 따라 피처리 기판의 상측에 마스크를 거치시키는 구성을 도시한 사시도,
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치의 구성을 도시한 사시도,
도6a는 마스크와 피처리 기판이 정렬되지 않은 상태로 포개진 구성을 도시한 평면도,
도6b는 마스크와 피처리 기판이 정렬되지 않은 상태를 정렬 기구로 교정하는 구성을 도시한 평면도,
도7a는 도3a의 제1거리 센서로 측정된 거리 분포 데이터를 도시한 그래프,
도7b는 도3a의 제2거리 센서로 측정된 거리 분포 데이터를 도시한 그래프,
도7c는 교정된 상태에서 도3a의 거리 센서로 측정된 거리 분포를 도시한 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치(100)을 상술한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해서는 동일 또는 유사한 도면 부호를 부여하고 이에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치(100)는, 피처리 기판(G)을 거치시키는 기판 척(110)과, 기판 척(110)의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 셀 영역(A)에 관통부(112)가 형성된 마스크(120)와, 기판 척(110)에 대하여 이동하면서 마스크(120)의 상면에 약액(55)을 도포하는 약액 노즐(130)과, 약액 노즐(130)과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서(140)와, 거리 센서(140)로부터의 측정거리(s)를 수신하여 측정 거리(s)의 편차로부터 마스크(120)와 기판 척(110)의 정렬 상태를 감지하고 보정하는 제어부(150)와, 마스크(120)와 피처리 기판(G)이 정렬되지 아니한 것으로 감지되면 마스크(120)의 꼭지점 부근의 모서리를 밀어주어 마스크(120)와 피처리 기판(G)을 정렬시키는 정렬 기구(160)를 포함하여 구성된다.
상기 기판 척(110)은 피처리 기판(G)을 상면에 거치시킨 상태에서 다수의 흡입공에 부압이 인가되어, 피처리 기판(G)을 위치 고정시킨다.
상기 마스크(120)는 도4에 도시된 바와 같이 피처리 기판(G)의 표면에 약액(55)이 도포되는 다수의 셀 영역(A)에 부합하는 길이(L)와 폭(w)으로 관통부(122)가 형성된다. 마스크(120)의 길이(Lm)와 폭(Wm) 중 어느 하나는 피처리 기판(G)의 길이(Lg)와 폭(Wg)과 다른 치수로 형성될 수 있지만, 마스크(120)와 피처리 기판(G)의 폭과 길이가 모두 같게 형성되어 완전히 일치하게 포개지는 것이 이들(120, G)의 정렬 공정을 보다 정확하고 간편하게 할 수 있다.
상기 약액 노즐(130)은 슬릿 형태의 토출구가 형성되어 약액을 도포하며, 슬릿의 길이는 셀 영역(A)에 대응하는 관통부(122)의 양단 폭(Wx)의 길이로 형성될 수도 있고, 도1에 도시된 바와 같이 각각의 관통부(122)에 대응하여 2개로 나뉘어 약액이 토출되게 구성될 수도 있다. 약액 노즐(130)은 피처리 기판(G)의 길이 방향을 따라 이동하는 한 쌍의 갠츄리(40)를 연결하는 크로스 바(45)에 결합되며, 약액 공급부(30)로부터 약액을 공급받아 피처리 기판(G)의 표면에 도포한다.
상기 거리 센서(140)는 피처리 기판(G)의 양측 가장자리 표면에 광을 조사하는 위치에 배열된다. 바람직하게는 레이저광을 조사하여 거리를 측정하는 센서로 정해진다. 즉, 거리 센서(140)로부터 조사되는 광은 피처리 기판(W)의 폭방향으로의 양끝단으로부터 0.1mm 내지 2mm 범위의 제1거리(d)만큼 이격되게 조사된다. 보다 구체적으로는, 마스크(120)의 관통부(122)가 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)과의 허용 편차로 제1거리(d)가 정해지는 것이 바람직하다.
거리 센서(140)는 광을 조사하여 측정 대상물인 마스크(120)의 상면(120s)이나 피처리 기판(G)의 상면(Gs) 중 어느 하나까지 도달하는 거리(s)를 측정한다. 도면에는 거리 센서(140)가 크로스 바(45)에 위치 고정된 구성이 예시되어 있지만, 거리 센서(140)는 약액 노즐(130)의 측면에 고정될 수도 있다. 그리고 도면에는 거리 센서(140)가 비접촉식 광센서인 것을 예로 들었지만, 거리 센서(140)는 다이얼 게이지와 같이 접촉식 센서일 수도 있다. 약액(55)이 피처리 기판(G)에 도포되기 이전에 마스크(120)와 피처리 기판(G)의 정렬 상태를 검사하므로, 거리 센서(140)가 접촉식 센서이든 비접촉식 센서이든 무방하다.
거리 센서(140)에 의하여 측정되는 측정 지점은 피처리 기판(G)의 4군데의 꼭지점을 측정하면 충분하다. 경우에 따라서는 3군데 또는 2군데만 측정하더라도, 피처리 기판(G)과 마스크(120)가 정렬된 상태인지 틀어진 상태인지를 확인할 수 있다.
가장 바람직하기에는, 갠츄리(40)가 피처리 기판(G)의 길이 방향을 따라 이동하는 동안에 거리 센서(140)도 거리 분포를 측정하는 것이다. 즉, 피처리 기판(G)의 양끝단에서 제1거리(d)만큼 이격된 위치에 거리 센서(1401, 1402; 140)가 각각 설치되어, 약액 노즐(130)의 길이 방향으로의 이동에 따라 측정 거리의 분포를 구함으로써, 피처리 기판(G)과 마스크(120)의 틀어진 방향과 틀어진 각도를 정확하게 산출하는 것이 가능해진다.
상기 제어부(150)는 피처리 기판(G)의 표면에 약액(55)을 도포하기에 앞서, 약액 노즐(130)이 피처리 기판(G)의 길이 방향으로 이동하면서 거리 센서(140)가 거리 분포를 측정하게 하고, 제1거리 센서(1401)와 제2거리센서(1402)로부터의 측정 거리 데이터를 수신한다. 그리고, 제어부(150)는 측정 거리 데이터로부터 마스크(120)가 피처리 기판(G)에 대하여 어느정도 틀어지고, 어느 위치에서 틀어졌는지를 감지하고, 마스크(120)의 틀어짐 정도가 허용치를 초과할 때에는 정렬 기구(160)를 제어하여, 마스크(120)와 피처리 기판(G)을 정렬시킨다.
상기 정렬 기구(160)는 'ㄴ'자 형태로 형성되어 구동부(M)에 의하여 피처리 기판(G)의 꼭지점 바깥에서 대각선 방향으로 왕복 이동(160d)하게 설치된다. 이를 통해, 피처리 기판(G)에 대하여 마스크(120)가 약간 틀어진 경우에, 'ㄴ'자 형태의 정렬 기구(160)가 피처리 기판(G)의 꼭지점을 향하여 대각선 방향(160d)으로 접근하는 것에 의하여, 마스크(120)의 꼭지점 부근의 모서리가 안내되면서, 마스크(120)와 피처리 기판(G)이 상호 정렬되게 한다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 약액 도포 장치(100)의 작용 원리를 상술한다.
단계 1: 피처리 기판(G)의 표면에 셀 영역(A)에서만 약액을 도포하고자, 피처리 기판(G)이 기판 척(110)에 공급되면, 약액 노즐(130)로부터 약액(55)을 도포하기에 앞서, 제어부(150)는 약액 노즐(130)이 약액의 토출 없이 1회 왕복 이동하면서, 거리 센서(1401, 1402)에 의하여 마스크(120)와 피처리 기판(G)의 정렬 상태를 검사한다.
단계 2: 도6a에 도시된 바와 같이 마스크(120)가 피처리 기판(G)에 대하여 틀어진 상태에서는, 약액 노즐(130)이 약액 토출없이 1회 왕복 이동하면서 거리 센서(1401, 1402)에 의해 측정된 거리 분포 데이터(140s1, 140s2)는 도7a 및 도7b에 도시된 바와 같다.
즉, 제1거리 센서(1401)가 이동하는 경로(140P1)를 따라 측정된 거리(s)는, 측정하기 시작하는 종단부로부터 거리(x)에 따라, x1만큼 진행하는 동안에는 제1거리센서(1401)로부터 피처리 기판(G)의 상면(Gs)까지의 거리가 측정 거리(So)가 되고, x1에서 x2만큼 진행하는 동안에는 제1거리센서(1401)로부터 마스크(120)의 상면(120s)까지의 거리가 측정 거리(S1)가 되며, x2부터 다른 종단까지 진행하는 동안에는 제1거리센서(1401)로부터 피처리 기판(G)의 상면(Gs)까지의 거리가 측정 거리(So)가 된다. 따라서, 도7a에 도시된 바와 같은 거리 분포 데이터(140s1)를 얻을 수 있다.
그리고, 제2거리센서(1402)가 이동하는 경로(140P2)를 따라 측정된 거리(s)는, 측정하기 시작하는 종단부로부터 거리(x)에 따라, x3만큼 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 피처리 기판(G)의 상면(Gs)까지의 거리가 측정 거리(So)가 되고, x3에서 x4만큼 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 마스크(120)의 상면(120s)까지의 거리가 측정 거리(S1)가 되며, x4에서 x5만큼 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 피처리 기판(G)의 상면(Gs)까지의 거리가 측정 거리(So)가 되고, x5에서 x6만큼 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 마스크(120)의 상면(120s)까지의 거리가 측정 거리(S1)가 되며,
x6에서 x7만큼 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 피처리 기판(G)의 상면(Gs)까지의 거리가 측정 거리(So)가 되고, x7에서 x8만큼 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 마스크(120)의 상면(120s)까지의 거리가 측정 거리(S1)가 되며, x8에서 다른 종단까지 진행하는 동안에는 제2거리센서(1402)로부터 피처리 기판(G)의 상면(Gs)까지의 거리가 측정 거리(So)가 된다. 따라서, 도7b에 도시된 바와 같은 거리 분포 데이터(140s2)를 얻을 수 있다.
경우에 따라서는, 거리 센서(1401, 1402)는 피처리 기판(G)의 꼭지점 부근을 찍어서 4지점에서의 측정 거리를 구하는 것에 거리 데이터를 확보할 수도 있다.
단계 3: 단계 2에서 측정된 거리 분포 데이터는 제어부(150)로 전송된다. 그런데, 약액 도포 장치(100)에 사용된 마스크(120)의 둘레 치수 및 관통부(122)의 치수는 제어부(150)에 이미 저장되거나 입력됨에 따라, 도7a 및 도7b에 도시된 측정 거리 분포 데이터로부터, 피처리 기판(G)에 대하여 마스크(120)의 틀어짐각 및 치우침 거리를 정확하게 산출할 수 있다.
참고로, 도7b의 Z로 표시된 영역은 관통부(122)의 위치에 의해 거리 데이터의 편차가 들쑥날쑥하게 분포되지만, 실제로는 관통부(122)의 위치까지 피처리 기판(G)에 대하여 마스크(120)가 틀어지는 경우는 거의 발생하지 않으며, 관통부(122)의 위치까지 피처리 기판(G)에 대하여 마스크(120)가 틀어지더라도 관통부(122)의 위치 및 크기 데이터가 제어부(150)에 저장되어 있으므로 마스크(120)의 틀어짐각 등을 정확히 구할 수 있다.
단계 4: 그 다음, 도6b에 도시된 바와 같이 제어부(150)는 정렬 기구(160)를 동작시켜 'ㄴ'자 형태의 정렬 기구(160)의 판면이 마스크(120)의 꼭지점 부근의 모서리를 피처리 기판(G)의 모서리를 향하여 밀어내어, 마스크(120)와 피처리 기판(G)이 정렬되어 완전히 포개진 상태가 되게 한다.
단계 5: 그리고 나서, 단계 2 및 단계 3을 반복하여 마스크(120)와 피처리 기판(G)이 허용 범위 내에서 정렬되었는지를 확인한다. 올바르게 정렬된 상태에서는 도7c에 도시된 바와 같이 거리 센서(140)에 의해 측정되는 측정 거리가 모두 마스크(120)의 상면(120s)까지의 거리(s1)로 나타나게 된다.
단계 6: 마스크(120)와 피처리 기판(G)이 정렬된 상태에서, 약액 노즐(130)이 피처리 기판(G)에 대하여 길이 방향으로 이동(130d)하면서 약액을 도포한다. 이 때, 약액 노즐(130)이 마스크(120)의 관통부(122)를 통과하는 동안에만 약액(55)을 단속적으로 도포하더라도, 도3의 불균일한 부분(55x)은 모두 마스크(120) 상에 형성되고, 마스크(120)의 관통부(122)에는 균일한 두께로 도포된다.
또한, 단계 2 및 단계 3을 거치면서, 피처리 기판(G)과 마스크(120)가 정확하게 정렬된 상태에서 약액이 도포됨에 따라, 피처리 기판(G)에 도포해야 하는 셀 영역(A)이 마스크(120)의 관통부(122)와 정확히 일치한 상태가 되어, 도포해야 하는 셀 영역(A)에만 약액(55)을 도포할 수 있게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치(100)는, 피처리 기판(S)의 표면에 약액이 도포되어야 하는 셀 영역(A)의 위치 및 크기에 부합하는 관통부(122)가 형성된 마스크(120)를 피처리 기판의 표면에 포갠 상태로 약액을 도포함으로써, 약액 노즐(130)의 도포 및 단속 시점이 다소 정교하지 않더라도, 마스크(120)의 관통부(122)를 통해 피처리 기판(G)에 균일한 두께로 약액(55)을 도포할 수 있으며, 또한, 피처리 기판(G)에 마스크(120)의 위치를 정확히 정렬한 상태에서 약액(55)이 피처리 기판(G) 상에 도포됨에 따라, 피처리 기판(G)의 셀 영역(A)에 틀어짐없이 정확하게 약액을 도포할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 상기와 같은 특정 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
100: 약액 도포 장치 110: 기판 척
120: 마스크 122: 관통부
130: 약액 노즐 140: 거리 센서
1401: 제1거리 센서 1402: 제2거리센서
150: 제어부 160: 정렬 기구
s: 측정 거리 G: 피처리 기판

Claims (10)

  1. 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과;
    상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 셀 영역에 관통부가 형성된 마스크와;
    상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
    상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와;
    상기 거리 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를;
    포함하여 구성되고, 상기 마스크와 상기 피처리 기판은 동일한 면적으로 형성되어 포개어지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  2. 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과;
    상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 셀 영역에 관통부가 형성된 마스크와;
    상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
    상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와;
    상기 거리 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를;
    포함하여 구성되고, 상기 거리 센서는 상기 약액 노즐이 이동하면서 거리 분포를 측정하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  3. 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과;
    상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 셀 영역에 관통부가 형성된 마스크와;
    상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
    상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와;
    상기 거리 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를;
    포함하여 구성되고, 상기 거리 센서는 상기 피처리 기판의 4군데 꼭지점 중 2개 이상의 지점을 측정하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  4. 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과;
    상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 셀 영역에 관통부가 형성된 마스크와;
    상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
    상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와;
    상기 거리 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를;
    포함하여 구성되고, 상기 거리 센서는 레이저 센서인 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  5. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 거리 센서는 상기 기판 척의 양측 끝단으로부터 제1거리만큼 이격된 위치에서 상기 마스크의 상면과 상기 피처리 기판의 상면 중 어느 하나까지 도달하는 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  6. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 거리 센서는 상기 약액 노즐과 상기 약액 노즐을 고정하는 크로스 바 중 어느 하나에 고정된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  7. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부에 의하여 상기 마스크와 상기 피처리 기판이 정렬되지 아니한 것으로 감지되면, 상기 마스크의 모서리에서 밀어주어 상기 마스크와 상기 피처리 기판을 정렬시키는 정렬 기구를;
    더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  8. 제 1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 피처리 기판에 약액을 도포하기 이전에 상기 약액 노즐을 1회 왕복 이동하면서 상기 거리 센서의 측정값으로부터 상기 마스크와 상기 피처리 기판의 정렬 상태를 확인하고, 상기 마스크와 상기 피처리 기판의 정렬이 적합한 경우에 한하여 약액을 도포하게 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  9. 제 2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마스크와 상기 피처리 기판은 동일한 면적으로 형성되어 포개어지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  10. 피처리 기판을 거치시키는 기판 척과;
    상기 기판 척의 상면에 얹혀져 도포하고자 하는 셀 영역에 관통부가 형성된 마스크와;
    상기 기판 척에 대하여 이동하면서 상기 마스크의 상면에 약액을 도포하는 약액 노즐과;
    상기 약액 노즐과 함께 이동하면서 하방으로의 거리를 측정하는 2개 이상의 거리 센서와;
    상기 거리 센서로부터의 측정거리를 수신하여 상기 측정 거리의 편차로부터 상기 마스크와 상기 기판 척의 정렬 상태를 감지하는 제어부를;
    포함하여 구성되고, 상기 제어부는 상기 피처리 기판에 약액을 도포하기 이전에 상기 약액 노즐을 1회 왕복 이동하면서 상기 거리 센서의 측정값으로부터 상기 마스크와 상기 피처리 기판의 정렬 상태를 확인하고, 상기 마스크와 상기 피처리 기판의 정렬이 적합한 경우에 한하여 약액을 도포하게 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
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