KR101610256B1 - Apparatus For Vacuum Suction Plate - Google Patents

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KR101610256B1
KR101610256B1 KR1020140153173A KR20140153173A KR101610256B1 KR 101610256 B1 KR101610256 B1 KR 101610256B1 KR 1020140153173 A KR1020140153173 A KR 1020140153173A KR 20140153173 A KR20140153173 A KR 20140153173A KR 101610256 B1 KR101610256 B1 KR 101610256B1
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Abstract

The present invention relates to a vacuum adsorption plate. The present invention comprises: a vacuum panel formed with an adsorption groove for adsorbing a steel work product, and a vacuum hole communicated with the adsorption groove for converting the inside to a vacuum state; an adsorption pad inserted in the adsorption groove for preventing the change of the steel work product; a vacuum damper coupled to the vacuum hole for converting the vacuum hole to the vacuum state with respect to the operation of a vacuum generation device; an adsorption panel coupled to the lower unit of the vacuum panel, and formed with a vacuum distribution unit inside; a reinforcing spacer coupled to the lower unit of the adsorption panel for reinforcing the hardness of the vacuum panel and the adsorption panel; and an adsorption control unit for controlling the vacuum pressure to achieve the vacuum adsorption of the steel work product.

Description

진공 흡착 플레이트 {Apparatus For Vacuum Suction Plate}Apparatus For Vacuum Suction Plate

본 발명은 진공 흡착 플레이트에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 공작물의 고정 시, 진공압력의 손실을 방지하여 공작물의 흡착 효율을 향상시킬 수 있으며, 공작물의 위치 고정력을 극대화할 수 있으며, 공작물의 진공 흡착 시, 진공 흡입 압력을 확인할 수 있도록 구성함으로써, 진공압을 조절할 수 있는 진공 흡착 플레이트에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum adsorption plate. More specifically, it is possible to improve the suction efficiency of the workpiece by preventing the vacuum pressure loss when the workpiece is fixed, to maximize the position fixing force of the workpiece, and to confirm the vacuum suction pressure when the workpiece is vacuum- To a vacuum adsorption plate capable of controlling vacuum pressure.

일반적으로, 진공 흡착 플레이트는 평판형 디스플레이 패널, 웨이퍼, 또는 반도체 패키지 등과 같은 공작물의 절단을 위한 절단 공정이 수행될 수 있도록 공작물의 위치 고정이 이루어지도록 구성되는 것이다.In general, a vacuum adsorption plate is configured to fix a workpiece so that a cutting process for cutting a workpiece such as a flat display panel, a wafer, or a semiconductor package can be performed.

이러한 진공 흡착 플레이트는 그 상면에 공작물을 안착시킨 상태에서 진공 흡착 플레이트과 연결되는 진공펌프(vacuum pump) 등 진공 발생장치를 작동시켜서 공작물을 진공흡착방식으로 고정이 이루어지도록 구성되는 것으로, 흡착판 위에 공작물을 올려놓은 상태에서 흡착판 상면에 구비된 진공라인으로부터 공기를 빨아들여 대기압과 흡착판 내 압력차로서 흡착판에 유리기판이 부착되도록 한다.The vacuum adsorption plate is structured such that a vacuum generator such as a vacuum pump connected to a vacuum adsorption plate is operated in a state where a workpiece is placed on the upper surface of the vacuum adsorption plate so that the workpiece is fixed by a vacuum adsorption method. The air is sucked from the vacuum line provided on the upper surface of the adsorption plate, and the glass substrate is attached to the adsorption plate as the atmospheric pressure and the pressure difference within the adsorption plate.

도 1은 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a schematic view of a vacuum adsorption plate according to the prior art.

도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트(10)은 진공 발생장치와 연결되는 진공홀(14)이 형성된 베이스 플레이트(13)와, 베이스 플레이트(13) 위에 얹혀지며 복수의 흡착공(11)이 형성되는 진공 플레이트(12)로 구성되고, 진공 플레이트(12)와 베이스 플레이트(13) 사이에는 흡착공(11)과 진공홀(14)이 함께 연통되는 진공분배공간(15)이 형성된다.The vacuum adsorption plate 10 according to the related art includes a base plate 13 having a vacuum hole 14 connected to the vacuum generator and a base plate 13 on which a plurality of adsorption holes 11 And a vacuum distribution space 15 is formed between the vacuum plate 12 and the base plate 13 so that the suction holes 11 and the vacuum holes 14 are communicated with each other .

이에 따라, 진공 발생장치로부터 베이스 플레이트(13)의 진공홀(14), 진공분배공간(15) 및 진공 플레이트(12)의 흡착공(11)을 통해 진공압이 연속적으로 전달되어 진공 플레이트(12) 상에 배치된 공작물(30)을 진공 흡착하게 된다Accordingly, vacuum pressure is continuously transmitted from the vacuum generating device through the vacuum hole 14 of the base plate 13, the vacuum distribution space 15, and the suction holes 11 of the vacuum plate 12, ) Is vacuum-adsorbed on the workpiece 30

하지만, 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트는 복수의 흡착공(11)이 진공 플레이트(12) 상에 설치된 공작물(30)에 의해 모두 폐쇄되지 않는 경우, 공작물(30)에 의해 폐쇄되지 않은 흡착공(11)을 통해 진공 압력이 누설되기 때문에 공작물의 흡착이 이루어지지 않는 문제점이 있었다.However, the vacuum adsorption plate according to the related art has a problem in that when the plurality of adsorption holes 11 are not closed by the work 30 provided on the vacuum plate 12, 11, the vacuum pressure is leaked, so that the workpiece is not adsorbed.

이에, 대한민국 등록특허 제0763169호(이하, 선행기술문헌 1이라 함)에는 기판의 바닥면을 흡착하는 흡착판과, 흡착판의 상면에 제1방향의 사선 형태로 오목한 홈이 형성되며, 그 홈이 일정하게 이격되어 형성되는 다수의 진공라인들과, 다수의 진공라인들에 연결된 파이프로 구성된 기판 흡착용 진공 척 구조가 개시된 바 있다.Accordingly, Korean Patent Registration No. 0763169 (hereinafter referred to as Prior Art Document 1) discloses an adsorption plate for adsorbing a bottom surface of a substrate, a groove formed in a slanting line in a first direction on an upper surface of the adsorption plate, A plurality of vacuum lines spaced apart from each other and a pipe connected to the plurality of vacuum lines.

그러나, 전술한 선행기술문헌 1에 따르면, 다수의 진공라인들을 통해 공기를 빨아들이게 되면, 흡착판에 부착된 공작물은 대기압과의 압력차를 견디지 못하고, 진공라인들을 따라 변형되는 등 공작물이 휘어지는 문제가 여전히 발생함에 따라 패터닝된 적층막들이 의도한 설계치와 달라지게 되어 가공되는 공작물의 불량이 계속적으로 발생하는 문제점이 있다.
However, according to the above-described prior art document 1, if air is sucked through a plurality of vacuum lines, the workpiece attached to the suction plate can not withstand a pressure difference with atmospheric pressure, and the workpiece is bent There is a problem that the patterned laminated films are different from the intended design values and the defects of the processed workpieces are continuously generated.

(특허문헌 1) 대한민국 등록특허 제10-0763169호
(Patent Document 1) Korean Patent No. 10-0763169

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 전술한 배경기술에 의해서 안출된 것으로, 공작물의 고정 시, 진공압력의 손실을 방지하여 공작물의 흡착 효율을 향상시킬 수 있으며, 공작물의 위치 고정력을 극대화할 수 있는 진공 흡착 플레이트를 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve such a problem, the present invention has been devised in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a vacuum cleaner capable of improving the suction efficiency of a workpiece by preventing vacuum pressure loss when a workpiece is fixed, And a vacuum adsorption plate.

또한, 본 발명은 공작물의 진공 흡착 시, 진공 흡입 압력을 확인할 수 있도록 구성함으로써, 진공압을 조절할 수 있는 진공 흡착 플레이트를 제공하는데 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a vacuum adsorption plate capable of controlling the vacuum pressure by controlling the vacuum suction pressure when the workpiece is vacuum-adsorbed.

또한, 본 발명은 공작물의 진공 흡착 시, 대기압과의 압력 차이로 인하여 공작물이 훼손되는 것을 방지함으로써, 공작물의 품질을 향상시킬 수 있는 진공 흡착 플레이트를 제공하는데 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a vacuum adsorption plate capable of improving the quality of a workpiece by preventing the workpiece from being damaged due to pressure difference between the vacuum pressure of the workpiece and atmospheric pressure.

또한, 본 발명은 공작물의 불량 발생 여부를 최소화함으로써, 제조원가를 절감할 수 있는 진공 흡착 플레이트를 제공하는데 그 목적이 있다.
It is another object of the present invention to provide a vacuum adsorption plate capable of reducing manufacturing costs by minimizing occurrence of defects in a workpiece.

이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 공작물이 흡착되는 흡착홈과, 상기 흡착홈과 연통하여 내부를 진공상태로 변환하는 진공홀이 형성된 진공패널; 상기 흡착홈에 삽입되어 상기 공작물의 변형을 방지하는 흡착패드; 상기 진공홀에 체결되어 진공 발생장치의 구동 여부에 따라 상기 진공홀을 진공상태로 변환하는 진공댐퍼; 상기 진공패널의 하부에 결합되며, 내부에 진공 분배부가 형성된 흡착패널; 상기 흡착패널의 하부에 결합되며, 진공패널 및 흡착패널의 강성을 보강하는 보강 스페이서; 및 공작물의 진공 흡착이 이루어질 수 있도록 진공압을 제어하는 흡착 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a vacuum panel including: an adsorption groove to which a workpiece is adsorbed; and a vacuum hole communicating with the adsorption groove to convert the inside of the vacuum hole into a vacuum state; A suction pad inserted in the suction groove to prevent deformation of the workpiece; A vacuum damper coupled to the vacuum hole to convert the vacuum hole into a vacuum state according to whether the vacuum generator is driven; An adsorption panel coupled to a lower portion of the vacuum panel and having a vacuum distribution part therein; A reinforcing spacer coupled to a lower portion of the adsorption panel and reinforcing the rigidity of the vacuum panel and the adsorption panel; And an adsorption control unit for controlling the vacuum pressure so that vacuum adsorption of the work can be performed.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 진공 흡착 플레이트에는 진공패널, 흡착패널, 보강 스페이서가 체결수단에 의해 결합되도록 상기 보강 스페이서의 하부에 구성되어 상기 체결수단이 삽입되는 하 지지판을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the vacuum adsorption plate further includes a lower support plate formed at a lower portion of the reinforcing spacer so that the vacuum panel, the absorption panel, and the reinforcing spacer are coupled by the fastening means, .

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 흡착패드는 상기 흡착홈에 삽입되어 공작물이 진공패널에 안착될 때, 소정의 탄성력을 부여하는 압축 패드부와, 상기 압축 패드부의 상부에 구성되고, 상기 공작물가 밀착되어 상기 진공패널의 내부 진공압이 유실되는 것을 방지하는 밀착 패드부와, 상기 공작물이 진공 흡입 압력에 의해 진공패널에 부착되도록 하는 흡입관으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the adsorption pad may include a compression pad portion which is inserted into the suction groove and applies a predetermined elastic force when the workpiece is seated on the vacuum panel, A contact pad portion for preventing the internal vacuum pressure of the vacuum panel from being lost by the workpiece being closely contacted with the vacuum panel, and a suction pipe for allowing the workpiece to be attached to the vacuum panel by a vacuum suction pressure.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 진공댐퍼는 상기 진공 분배부와 연결되는 연결홀과, 이 연결홀을 개폐하는 진공구 및 상기 진공구가 삽입되는 개폐홈이 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the vacuum damper may include a connection hole connected to the vacuum distribution portion, a center tool for opening and closing the connection hole, and an opening / closing groove for inserting the center tool .

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 흡착 제어부는 상기 진공 발생장치와 연결되어 진공 흡입이 이루어지도록 하는 진공 흡입라인과, 진공 흡입 압력을 검출하고, 검출된 압력의 세기를 표시하는 진공압 검출수단과, 상기 진공압 검출수단을 통해 표시되는 진공 흡입 압력의 세기를 조절하는 진공압 조절 스위치를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the adsorption control unit includes a vacuum suction line connected to the vacuum generator to perform vacuum suction, and a vacuum pressure detecting unit for detecting a vacuum suction pressure, And a vacuum pressure regulating switch for regulating the intensity of the vacuum suction pressure displayed through the vacuum pressure detecting means.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 흡착 제어부에는 진공 흡착에 의한 공작물의 고정을 해제할 수 있도록 진공패널의 내부를 대기압 상태로 변환시키는 오프 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
According to an embodiment of the present invention, the adsorption control unit further includes an off switch for converting the inside of the vacuum panel into an atmospheric pressure state so as to release the fixation of the workpiece by vacuum adsorption.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 공작물의 고정 시, 진공압력의 손실을 방지하여 공작물의 흡착 효율을 향상시킬 수 있으며, 공작물의 위치 고정력을 극대화할 수 있는 효과가 있다.According to the embodiment of the present invention, when the workpiece is fixed, loss of the vacuum pressure can be prevented, and the efficiency of adsorption of the workpiece can be improved and the position fixing force of the workpiece can be maximized.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 공작물의 진공 흡착 시, 진공 흡입 압력을 확인할 수 있도록 구성함으로써, 진공압을 조절할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the embodiment of the present invention, the vacuum suction pressure can be confirmed when the workpiece is vacuum-adsorbed, so that the vacuum pressure can be controlled.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 공작물의 진공 흡착 시, 대기압과의 압력 차이로 인하여 공작물이 훼손되는 것을 방지함으로써, 공작물의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Further, according to the embodiment of the present invention, when the workpiece is vacuum-adsorbed, the workpiece is prevented from being damaged due to the pressure difference with the atmospheric pressure, thereby improving the quality of the workpiece.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 공작물의 불량 발생 여부를 최소화함으로써, 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
Further, according to the embodiment of the present invention, it is possible to reduce manufacturing cost by minimizing occurrence of defects of the workpiece.

도 1은 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트를 개략적으로 나타낸 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 요부 분해 사시도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 부분 단면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 확대도이다.1 is a schematic view of a vacuum adsorption plate according to the prior art,
2 is a perspective view illustrating a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention,
FIG. 3 is an exploded perspective view showing a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention,
4 is a partial cross-sectional view of a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention,
5 is an enlarged view of a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. When a component is described as being "connected", "coupled", or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, It should be understood that an element may be "connected," "coupled," or "connected."

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 사시도, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 요부 분해 사시도, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 부분 단면도, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착 플레이트를 나타낸 확대도이다.FIG. 2 is a perspective view of a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view of a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a cross- FIG. 5 is an enlarged view of a vacuum adsorption plate according to an embodiment of the present invention. FIG.

도시된 바와 같이, 본 발명의 진공 흡착 플레이트는 공작물이 안착되는 진공패널(110), 진공패널(110)의 상부에 구성되어 공작물이 진공압에 의해 변형되는 것을 방지하는 흡착패드(130), 진공패널(110)의 하부에 결합되며, 진공 분배부(212)가 구성된 흡착패널(210), 진공패널(110) 및 흡착패널(210)을 지지하며, 진공 흡입 시 발생하는 압력으로부터 보호하는 보강 스페이서(220), 진공패널(110), 흡착패널(210) 및 보강 스페이서(220)가 일체로 구성될 수 있도록 구성된 하 지지판(230) 및 공작물의 진공 흡착이 이루어지도록 제어하는 흡착 제어부(240)를 포함하여 구성된다. As shown in the drawing, the vacuum adsorption plate of the present invention includes a vacuum panel 110 on which a workpiece is placed, an adsorption pad 130 formed on an upper portion of the vacuum panel 110 to prevent the workpiece from being deformed by vacuum pressure, A reinforcing spacer 210 which is coupled to the lower portion of the panel 110 and supports the adsorption panel 210, the vacuum panel 110 and the adsorption panel 210 constituted by the vacuum distribution portion 212, A lower support plate 230 configured to integrally constitute the vacuum panel 110, the absorption panel 210 and the reinforcing spacer 220, and an adsorption controller 240 for controlling the vacuum adsorption of the workpiece .

흡착패널(210)은 진공패널(110)의 하부에 구성되며, 체결수단(202)에 의해 진공패널(110)과 고정 결합되는 것으로, 진공패널(110)의 흡착홈(120)을 통해 공작물의 흡착이 이루어질 수 있도록 진공 흡입압을 균일하게 분배하는 진공 분배부(212)와, 흡착 제어부(240)의 제어에 따라 진공 흡입압이 발생할 수 있도록 내부에 잔류하는 공기가 배출되는 공기 배출홀(214)이 형성된다. The suction panel 210 is formed at a lower portion of the vacuum panel 110 and is fixedly coupled to the vacuum panel 110 by the fastening means 202. The suction panel 210 is fixed to the vacuum panel 110 through the suction groove 120 of the vacuum panel 110, A vacuum distributor 212 for uniformly distributing the vacuum suction pressure so that adsorption can be performed; an air discharge hole 214 for discharging the air remaining in the interior of the vacuum chamber 210 so as to generate a vacuum suction pressure under the control of the suction controller 240 Is formed.

즉, 본 발명은 진공 발생장치의 구동 시, 공기 배출홀(214)을 통해 진공 흡착 플레이트의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공 흡착이 이루어지도록 구성되는 것이다. That is, the present invention is configured such that, when the vacuum generator is driven, the air remaining in the vacuum adsorption plate is sucked through the air discharge hole 214 to perform vacuum adsorption.

보강 스페이서(220)는 진공패널(110) 및 흡착패널(210)의 강성을 보강하여 진공 흡입 시 발생하는 흡입압으로부터 형상의 변형이나, 손상이 발생하는 것을 방지하고, 진공패널(110) 및 흡착패널(210)이 일체로 구성될 수 있도록 체결수단(202)이 체결되는 구성요소이다. The reinforcing spacer 220 reinforces the rigidity of the vacuum panel 110 and the suction panel 210 to prevent deformation or damage of the shape from the suction pressure generated upon vacuum suction, And the fastening means 202 is fastened such that the panel 210 can be integrally formed.

이러한 보강 스페이서(220)는 흡착패널(210)의 하부면에 구성되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 진공패널(110) 및 흡착패널(210)의 둘레면을 감싸도록 구성될 수도 있을 것이다. Although the reinforcement spacer 220 is illustrated as being formed on the lower surface of the adsorption panel 210, the present invention is not limited thereto and may be configured to surround the circumferential surfaces of the vacuum panel 110 and the adsorption panel 210 .

하 지지판(230)은 보강 스페이서(220)의 하부에 구성되어 체결수단(202)이 삽입되는 체결홀(232)이 형성되는 것으로, 흡착 제어부(240)를 지지하며, 진공 흡착 플레이트가 진공 흡착 스테이지(미도시)와 같은 시스템 공정 내에 안정적으로 설치될 수 있도록 지지하는 구성요쇼이다.
The lower support plate 230 is formed at a lower portion of the reinforcement spacer 220 and has a fastening hole 232 through which the fastening means 202 is inserted to support the attracting control unit 240, (Not shown) such that it can be stably installed in a system process.

진공패널(110)은 흡착패널(210)의 상부에 구성되며, 체결수단(202)이 체결되는 체결홈(112)이 형성되고, 상부면에 평판형 디스플레이 패널, 웨이퍼, 또는 반도체 패키지 등과 같은 공작물이 안착되며, 진공펌프 등과 같은 진공 발생장치의 구동에 의해 진공 흡착이 이루어지는 흡착홈(120)이 형성된다. The vacuum panel 110 is formed on the upper part of the adsorption panel 210 and has a coupling groove 112 to which the coupling means 202 is coupled and is formed with a workpiece such as a flat panel display panel, And a suction groove 120 in which vacuum adsorption is performed is formed by driving a vacuum generating device such as a vacuum pump or the like.

또한, 진공패널(110)의 하부며에는 흡착홈(120)과 연통하며, 공작물이 진공패널(110)에 안착이 이루어질 때, 또는 진공 발생장치의 구동 시, 내부가 진공 상태로 변환되는 진공홀(116)이 구성된다. The lower part of the vacuum panel 110 communicates with the suction groove 120 and is connected to the vacuum panel 110 when the workpiece is placed on the vacuum panel 110 or when the vacuum generator is driven, (116).

이와 같은 진공패널(110)에는 흡착홈(120)의 내부에 삽입 및 고정되며, 진공패널(110)의 상부면에 안착되는 공작물과 밀착하여 진공 흡착 시, 공작물이 진공패널(110)의 상부면에 완전하게 밀착될 수 있도록 지지하는 한편, 진공 흡입 압력에 의해 공작물이 손상되거나, 그 형상이 변형되는 것을 방지하는 흡착패드(130)가 삽입된다. The vacuum panel 110 is inserted and fixed in the suction groove 120 and closely contacted with a workpiece placed on the upper surface of the vacuum panel 110. When vacuum is applied to the workpiece, And the suction pad 130 is inserted to prevent the workpiece from being damaged or deformed by the vacuum suction pressure.

아울러, 진공패널(110)의 하부면 즉, 진공홀(116)에는 공작물의 안착 여부, 또는 진공 발생장치의 구동 여부에 따라 진공홀(116)을 진공상태로 변환하는 진공댐퍼(150)가 구성된다. A vacuum damper 150 for converting the vacuum hole 116 into a vacuum state is formed in the lower surface of the vacuum panel 110, that is, in the vacuum hole 116 depending on whether the workpiece is seated or whether the vacuum generator is driven. do.

여기서, 흡착홈(120)은 진공패널(110)의 상부면으로부터 하향 함몰되게 형성되며, 공작물의 안착시 내부가 진공이 이루어지도록 구성되는 것이다. Here, the suction grooves 120 are formed to be depressed downward from the upper surface of the vacuum panel 110, and the inside of the suction grooves 120 is configured to be vacuumed when the workpiece is seated.

이러한 흡착홈(120)은 그 중앙측으로 후술할 흡착패드(130)와 진공댐퍼(150) 사이에 형성되되, 이 흡착패드(130)와 진공댐퍼(150)가 서로 연통될 수 있도록 형성되며, 진공 발생장치의 구동 시, 진공 상태의 흡착홈(120)에서부터 진공 흡입이 이루어질 수 있도록 하는 진공 흡입홀(122)이 형성된다. The adsorption grooves 120 are formed between the adsorption pad 130 and the vacuum damper 150 which will be described later. The adsorption pad 130 and the vacuum damper 150 are formed to communicate with each other. When the generator is driven, a vacuum suction hole 122 is formed to allow vacuum suction from the suction groove 120 in a vacuum state.

또한, 흡착홈(120)의 상부에는 외주면을 따라 흡착패드(130)가 흡착홈(120)에 안정적으로 삽입될 수 있도록 하며, 진공패널(110)의 상부면에 안착되는 공작물에 의해 위치가 가변되는 것을 방지하는 패드 삽입돌기(126)가 형성된다. The adsorption pad 130 can be stably inserted into the adsorption grooves 120 along the outer circumferential surface of the adsorption grooves 120 and the position of the adsorption pads 130 can be varied by a workpiece placed on the upper surface of the vacuum panel 110. [ A pad insertion protrusion 126 is formed.

또한, 흡착홈(120)의 패드 삽입돌기(126) 외측에는 흡착패드(130)의 상부 외주면이 결합되어 흡착홈(120)에 고정되도록 하는 패드 고정홈(124)이 형성된다. A pad fixing groove 124 is formed on the outer side of the pad insertion protrusion 126 of the absorption groove 120 to fix the upper surface of the absorption pad 130 to the absorption groove 120.

한편, 본 발명의 흡착패드(130)는 흡착홈(120)에 삽입되며, 공작물이 진공패널(110)에 안착될 때, 소정의 탄성력을 부여하는 압축 패드부(132)와, 압축 패드부(132)의 상부에 구성되며, 공작물과 긴밀하게 밀착되어 진공패널(110)의 내부 진공압이 유실되는 것을 방지하는 밀착 패드부(134)로 이루어진다. The suction pad 130 of the present invention is inserted into the suction groove 120 and includes a compression pad portion 132 for applying a predetermined elastic force when the workpiece is mounted on the vacuum panel 110, 132 and tightly adhered to the workpiece so as to prevent the internal vacuum pressure of the vacuum panel 110 from being lost.

여기서, 압축 패드부(132)는 흡착홈(120)과 억지 끼움 방식으로 결합이 이루어질 수 있도록 압축된 상태로 결합되어 공작물측으로 압축에 의한 소정의 탄성력을 제공할 수 있도록 구성된다. Here, the compression pad portion 132 is configured to be coupled with the suction groove 120 in a compressed state so as to be coupled with the suction groove 120 in a detent manner, and to provide a predetermined elastic force to the workpiece side by compression.

이와 같이 구성된 본 발명의 흡착패드(130)에는 그 중앙측으로 흡입관(140)이 구성되며, 이 흡입관(140)은 관 결합홈(136)에 의해 고정 결합이 이루어진다. The suction pad 130 of the present invention having the above-described structure is formed with a suction pipe 140 at the center side thereof. The suction pipe 140 is fixedly coupled by the pipe fitting groove 136.

여기서, 흡입관(140)은 진공 발생장치의 구동에 의해 진공 흡입이 이루어질 때, 진공 흡입 압력이 공작물의 하부면 까지 도달할 수 있도록 중공의 파이프 형태로 이루어지며, 흡착패드(130)가 이 진공 흡입 압력으로 인해 진공 흡입홀(122)측으로 흡입되는 것을 방지할 수 있도록 소정의 강성을 부여함과 동시에 진공 흡입홀(122)을 통과하는 진공 흡입 압력이 공작물의 하부면을 집적 흡입할 수 있도록 하는 역할을 한다.Here, the suction pipe 140 is formed in the form of a hollow pipe so that the vacuum suction pressure can reach the lower surface of the workpiece when the vacuum suction is performed by driving the vacuum generator, A predetermined rigidity is provided so as to prevent suction by the pressure to the side of the vacuum suction hole 122 and at the same time a vacuum suction pressure passing through the vacuum suction hole 122 allows the lower surface of the workpiece to be integratedly sucked .

아울러, 진공댐퍼(150)는 진공패널(110)의 내부를 대기압 상태에서 진공상태로 변환하는 구성요소로서, 진공 발생장치의 구동에 의해 진공홀(116)을 완전히 차단하여 진공패널(110)의 내부가 진공상태로 이루어지도록 함으로써, 공작물의 흡착이 이루어지게 하는 구성요소이다. The vacuum damper 150 is a component for converting the inside of the vacuum panel 110 from the atmospheric pressure state to the vacuum state. The vacuum damper 150 completely blocks the vacuum hole 116 by driving the vacuum generating device, So that the inside of the vacuum chamber is made to be in a vacuum state.

이러한 진공댐퍼(150)는 진공홀(116)과 분리 가능하게 결합되도록 외주면에 나사산(152)이 형성되며, 중앙으로 흡착패널(210)의 진공 분배부(212)와 연결되는 연결홀(154)이 형성된다. The vacuum damper 150 is formed with a thread 152 on the outer circumferential surface so as to be detachably coupled with the vacuum hole 116 and a connection hole 154 connected to the vacuum distribution portion 212 of the adsorption panel 210 at the center. .

또한, 진공댐퍼(150)의 상부에는 연결홀(154)의 상부에 위치하며, 진공 발생장치의 구동에 따라 연결홀(154)을 개방하거나 폐쇄하여 진공패널(110)의 진공홀(116), 흡착홈(120)이 대기압 상태, 또는 진공 상태로 변환되도록 하는 진공구(160)가 구성된다. The vacuum damper 150 is disposed on the upper portion of the connection hole 154. The connection hole 154 is opened or closed according to the driving of the vacuum generator so that the vacuum hole 116, The inertial tool 160 is configured so that the suction groove 120 is converted into an atmospheric pressure state or a vacuum state.

이때, 진공댐퍼(150)에는 진공구(160)와 동일한 형상으로 이루어지도록 구의 형상을 취하며, 진공구(160)가 진공 발생장치의 구동에 따라 긴밀하게 삽입될 수 있도록 하는 개폐홈(156)이 형성된다.At this time, the vacuum damper 150 has a shape of a sphere so as to have the same shape as that of the raw tool 160 and has an opening / closing groove 156 for allowing the raw tool 160 to be closely inserted according to the driving of the vacuum generator, .

이와 같은 진공댐퍼(150)는 진공패널(110)에 공작물이 안착된 부분에는 진공 상태를 유지하여 지속적인 진공 흡착이 이루어지도록 하고, 진공패널(110)에 공작물이 안착되지 않은 부분에는 대기압 상태에서 진공상태로 변환하여 진공압이 유실되는 것을 방지할 수 있도록 할 수 있을 것이다. The vacuum damper 150 maintains a vacuum state at a portion where the workpiece is placed on the vacuum panel 110 so that the vacuum is continuously adsorbed. In a portion where the workpiece is not placed on the vacuum panel 110, So that the vacuum pressure can be prevented from being lost.

즉, 진공패널(110)의 상부에 공작물이 안착되는 부분에는 공작물과 진공 발생장치에 의해 내부가 진공상태로 이루어져 진공구(160)가 연결홀(154)을 개방한 상태에 위치함에 따라 진공 흡착이 계속적으로 이루어질 수 있게 되고, 공작물이 안착되지 않는 부분에는 진공패널(110)의 상부가 대기압 상태에 있게 되어 진공 발생장치가 구동하면, 진공구(160)가 연결홀(154)을 차단함에 따라 진공압의 유실을 방지할 수 있는 것이다.That is, as the work 160 and the tool 160, whose interior is made in a vacuum state by the vacuum generator, are positioned in a state where the work hole is seated on the upper part of the vacuum panel 110, The upper portion of the vacuum panel 110 is at the atmospheric pressure and the vacuum generating device is driven so that when the vacuum tool 160 blocks the connection hole 154 It is possible to prevent the loss of vacuum pressure.

흡착 제어부(240)는 보강 스페이서(230)에 설치되어 공작물의 진공 흡착이 이루어질 수 있도록 제어하는 것으로, 진공 발생장치와 연결되어 진공 흡입이 이루어지도록 하는 진공 흡입라인(242)과, 진공 흡입에 의한 공작물의 흡착이 이루어질 수 있도록 하는 흡입 스위치(244)가 구성된다. The suction control unit 240 is installed in the reinforcing spacer 230 to control the vacuum suction of the workpiece. The suction control unit 240 includes a vacuum suction line 242 connected to the vacuum generator to perform vacuum suction, A suction switch 244 is provided so that the suction of the workpiece can be performed.

또한, 흡착 제어부(240)에는 진공 흡입 압력을 검출하고, 검출된 압력의 세기를 표시하는 진공압 검출수단(246)과, 진공압 검출수단(246)을 통해 표시되는 진공 흡입 압력의 세기를 조절하는 진공압 조절 스위치(250)가 구성된다. The suction control unit 240 is provided with a vacuum pressure detection means 246 for detecting vacuum suction pressure and indicating the intensity of the detected pressure and a control means for controlling the intensity of the vacuum suction pressure displayed through the vacuum pressure detection means 246 A vacuum pressure control switch 250 is provided.

또한, 흡착 제어부(240)에는 진공 흡착에 의한 공작물의 고정을 해제할 수 있도록 진공패널(110)의 내부를 대기압 상태로 변환시키는 오프 스위치(260)를 더 구성할 수 있을 것이다.The adsorption controller 240 may further include an off switch 260 for converting the inside of the vacuum panel 110 into an atmospheric pressure state so as to release the fixation of the workpiece by vacuum adsorption.

이와 같이 구성된 본 발명은, 공작물의 고정 시, 진공압력의 손실을 방지하여 공작물의 흡착 효율을 향상시킬 수 있으며, 공작물의 위치 고정력을 극대화할 수 있는 발명이다. According to the present invention configured as described above, it is possible to improve the suction efficiency of the workpiece by preventing the vacuum pressure loss when the workpiece is fixed, and to maximize the position fixing force of the workpiece.

이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. That is, within the scope of the present invention, all of the components may be selectively coupled to one or more of them.

또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. It is also to be understood that the terms such as " comprises, "" comprising," or "having ", as used herein, mean that a component can be implanted unless specifically stated to the contrary. And all terms including technical and scientific terms are to be construed in a manner generally known to one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, It has the same meaning as understood.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as falling within the scope of the present invention.

110: 진공패널 116: 진공홀
120: 흡착홈 130: 흡착패드
140: 흡입관 150: 진공댐퍼
210: 흡착패널 220: 보강 스페이서
230: 하 지지판 240: 흡착 제어부
250: 진공압 조절 스위치 260: 오프 스위치110: Vacuum panel 116: Vacuum hole
120: suction groove 130: suction pad
140: Suction pipe 150: Vacuum damper
210: absorption panel 220: reinforcing spacer
230: Lower support plate 240: Adsorption control unit
250: vacuum pressure control switch 260: off switch

Claims (6)

진공 흡착 플레이트에 있어서,
공작물이 흡착되는 흡착홈과, 상기 흡착홈과 연통하여 내부를 진공상태로 변환하는 진공홀이 형성된 진공패널;
상기 흡착홈에 삽입되어 상기 공작물의 변형을 방지하는 흡착패드;
상기 진공홀에 체결되어 진공 발생장치의 구동 여부에 따라 상기 진공홀을 진공상태로 변환하는 진공댐퍼;
상기 진공패널의 하부에 결합되며, 내부에 진공 분배부가 형성된 흡착패널;
상기 흡착패널의 하부에 결합되며, 진공패널 및 흡착패널의 강성을 보강하는 보강 스페이서; 및
공작물의 진공 흡착이 이루어질 수 있도록 진공압을 제어하는 흡착 제어부를 포함하고,
상기 진공 흡착 플레이트에는 진공패널, 흡착패널, 보강 스페이서가 체결수단에 의해 결합되도록 상기 보강 스페이서의 하부에 구성되어 상기 체결수단이 삽입되는 하 지지판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 플레이트.
In the vacuum adsorption plate,
A vacuum panel having an adsorption groove through which the workpiece is adsorbed and a vacuum hole communicating with the adsorption groove to convert the inside into a vacuum state;
A suction pad inserted in the suction groove to prevent deformation of the workpiece;
A vacuum damper coupled to the vacuum hole to convert the vacuum hole into a vacuum state according to whether the vacuum generator is driven;
An adsorption panel coupled to a lower portion of the vacuum panel and having a vacuum distribution part therein;
A reinforcing spacer coupled to a lower portion of the adsorption panel and reinforcing the rigidity of the vacuum panel and the adsorption panel; And
And an adsorption control unit for controlling the vacuum pressure so that vacuum adsorption of the work can be performed,
Wherein the vacuum adsorption plate further comprises a lower support plate formed at a lower portion of the reinforcing spacer so that the vacuum panel, the adsorption panel, and the reinforcing spacer are coupled by the fastening means, into which the fastening means is inserted.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 흡착패드는
상기 흡착홈에 삽입되어 공작물이 진공패널에 안착될 때, 소정의 탄성력을 부여하는 압축 패드부와,
상기 압축 패드부의 상부에 구성되고, 상기 공작물가 밀착되어 상기 진공패널의 내부 진공압이 유실되는 것을 방지하는 밀착 패드부와,
상기 공작물이 진공 흡입 압력에 의해 진공패널에 부착되도록 하는 흡입관
으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 플레이트.
The method according to claim 1,
The adsorption pad
A compression pad unit which is inserted into the suction groove and applies a predetermined elastic force when the workpiece is seated on the vacuum panel,
A pressing pad unit disposed on the compression pad unit to prevent the internal vacuum pressure of the vacuum panel from being lost,
A suction pipe for allowing the workpiece to be attached to the vacuum panel by a vacuum suction pressure
Wherein the vacuum adsorption plate is made of a metal.
제 1 항에 있어서,
상기 진공댐퍼는 상기 진공 분배부와 연결되는 연결홀과, 이 연결홀을 개폐하는 진공구 및 상기 진공구가 삽입되는 개폐홈이 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 플레이트.
The method according to claim 1,
Wherein the vacuum damper comprises a connection hole connected to the vacuum distribution portion, and a groove for opening and closing the connection hole and an opening and closing groove for inserting the groove.
제 1 항에 있어서,
상기 흡착 제어부는
상기 진공 발생장치와 연결되어 진공 흡입이 이루어지도록 하는 진공 흡입라인과,
진공 흡입 압력을 검출하고, 검출된 압력의 세기를 표시하는 진공압 검출수단과,
상기 진공압 검출수단을 통해 표시되는 진공 흡입 압력의 세기를 조절하는 진공압 조절 스위치
를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 플레이트.
The method according to claim 1,
The adsorption control unit
A vacuum suction line connected to the vacuum generating device to perform vacuum suction,
Vacuum pressure detecting means for detecting vacuum suction pressure and indicating the detected pressure intensity,
A vacuum pressure regulating switch for regulating the intensity of the vacuum suction pressure displayed through the vacuum pressure detecting means;
Wherein the vacuum adsorption plate comprises:
제 1 항에 있어서,
상기 흡착 제어부에는 진공 흡착에 의한 공작물의 고정을 해제할 수 있도록 진공패널의 내부를 대기압 상태로 변환시키는 오프 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착 플레이트.
The method according to claim 1,
Wherein the adsorption control unit further comprises an off switch for converting the inside of the vacuum panel to an atmospheric pressure state so as to release the fixation of the workpiece by vacuum adsorption.
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