KR20230121409A - Vacuum stage mechanism - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스테이지모듈이 제품패널을 흡착 파지할 때, 제품패널의 사이즈에 대응하여 스테이지모듈에서 흡착력이 작용하는 영역을 가변시키는 한편, 스테이지모듈에서 흡착력이 손실되는 것을 방지하기 위한 진공 스테이지 메커니즘에 관한 것이다.
이를 위해, 진공 스테이지 메커니즘은 제품패널이 흡착 고정되되 다수의 평행유로와 다수의 흡착홀과 다수의 제1편심홀과 다수의 제2편심홀이 포함되는 흡착패널과, 상호 이격되어 제2방향을 따라 흡착패널에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 파지브라켓과, 한 쌍의 파지브라켓을 상호 접근시키거나 상호 멀어지도록 흡착패널에서 한 쌍의 파지브라켓을 슬라이드 이동시키는 파지구동모듈 및 제1편심홀과 제2편심홀에 흡착력이 전달되도록 흡착패널의 하부에 상호 이격 배치되고 한 쌍의 파지브라켓에 각각 결합되며 한 쌍의 파지브라켓의 슬라이드 이동에 따라 연통되는 제1편심홀과 제2편심홀의 개수를 각각 조절하는 진공전달모듈을 포함한다.The present invention relates to a vacuum stage mechanism for preventing loss of adsorption force in a stage module while varying an area in which adsorption force acts in a stage module corresponding to the size of a product panel when a stage module adsorbs and holds a product panel. will be.
To this end, the vacuum stage mechanism is spaced apart from the adsorption panel including a plurality of parallel passages, a plurality of adsorption holes, a plurality of first eccentric holes, and a plurality of second eccentric holes, in which the product panel is adsorbed and fixed, and is spaced apart from each other to move in the second direction. A pair of gripping brackets that are slidably coupled to the adsorption panel, a gripping drive module that slides and moves the pair of gripping brackets from the adsorption panel so that the pair of gripping brackets come closer to each other or away from each other, and the first eccentric hole The number of the first eccentric hole and the second eccentric hole that are spaced apart from each other at the bottom of the adsorption panel so that the adsorption force is transmitted to the and second eccentric hole, are coupled to a pair of gripping brackets, and are in communication according to the slide movement of the pair of gripping brackets It includes a vacuum delivery module that controls each.
Description
본 발명은 진공 스테이지 메커니즘에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 스테이지모듈이 제품패널을 흡착 파지할 때, 제품패널의 사이즈에 대응하여 스테이지모듈에서 흡착력이 작용하는 영역을 가변시키는 한편, 스테이지모듈에서 흡착력이 손실되는 것을 방지하기 위한 진공 스테이지 메커니즘에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum stage mechanism, and more specifically, when a stage module adsorbs and holds a product panel, the area in which the adsorption force acts in the stage module is varied corresponding to the size of the product panel, while the adsorption force in the stage module It relates to a vacuum stage mechanism to prevent loss.
반도체, 디스플레이, OLED, 가공기 등의 분아에서 제품패널의 제조공정에는 제품패널을 흡착 고정하는 공정이 포함되고, 제품패널의 흡착 고정을 위해 진공흡착테블이 적용된다.The manufacturing process of product panels in semiconductors, displays, OLEDs, processing machines, etc. includes a process of adsorbing and fixing product panels, and a vacuum adsorption table is applied to adsorb and fix product panels.
일반적인, 진공흡착테이블은 다수의 흡착구멍이 형성된 흡착면을 갖는다. 흡착면은 원활한 진공흡착을 위해 피흡착물의 단면보다 크게 형성되며, 각각의 흡착구멍마다 동일한 진공흡착력을 갖는다.A typical vacuum suction table has an suction surface formed with a plurality of suction holes. The adsorption surface is formed larger than the cross section of the adsorbed object for smooth vacuum adsorption, and each adsorption hole has the same vacuum adsorption force.
이와 같이 넓은 흡착면을 갖는 진공흡착테이블은 작은 크기의 피흡착물부터 큰 크기의 피흡착물까지 모든 범위의 피흡착물을 제한 없이 흡착할 수 있으므로 매우 편리하다.Such a vacuum adsorption table having a wide adsorption surface is very convenient because it can adsorb all ranges of adsorbates from small sized adsorbates to large sized adsorbates without limitation.
그러나, 이러한 진공흡착테이블은 작은 크기의 피흡착물을 흡착 고정할 경우, 피흡착물과 접촉하지 않는 흡착구멍을 통해 계속적으로 대기압이 유입되므로, 진공흡착테이블의 전체적인 효율을 떨어지는 문제점이 있었다.However, such a vacuum adsorption table has a problem in that the overall efficiency of the vacuum adsorption table is lowered because atmospheric pressure is continuously introduced through the adsorption hole that does not contact the adsorbed object when a small-sized adsorbate is adsorbed and fixed.
이러한 문제점을 감안하여, 진공흡착테이블의 내부를 칸막이로 구획하여 진공압의 손실과 피흡착물의 위치에 따른 진공편차를 최소화시키고자 하였으나, 이러한 구조의 진공흡착테이블은 칸막이마다 별도의 진공관을 연결해야 할 뿐만 아니라, 각각의 진공관에 밸브를 설치하고 이들 밸브의 개폐를 수시로 제어해야 하는 단점이 있었다.In view of these problems, the inside of the vacuum adsorption table is partitioned with partitions to minimize the loss of vacuum pressure and the vacuum deviation according to the position of the adsorbed object, but the vacuum adsorption table of this structure requires a separate vacuum tube to be connected to each partition. In addition, there is a disadvantage in that valves must be installed in each vacuum tube and the opening and closing of these valves must be controlled from time to time.
또한, 진공흡착테이블은 흡착면의 구획이 이미 설치된 칸막이에 의해 나누어질 뿐, 실질적인 피흡착물의 크기와 일치하지 않으므로, 피흡착물의 하부 표면과 진공흡착테이블의 흡착면 간의 불일치로 인한 진공압 손실과 피흡착물의 변형 또는 파손의 문제점을 해소하지 못하고 있다.In addition, since the vacuum adsorption table divides the division of the adsorption surface by already installed partitions and does not match the actual size of the adsorption target, vacuum pressure loss due to mismatch between the lower surface of the adsorption target and the adsorption surface of the vacuum adsorption table The problem of deformation or breakage of the adsorbed material has not been solved.
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 스테이지모듈이 제품패널을 흡착 파지할 때, 제품패널의 사이즈에 대응하여 스테이지모듈에서 흡착력이 작용하는 영역을 가변시키는 한편, 스테이지모듈에서 흡착력이 손실되는 것을 방지하기 위한 진공 스테이지 메커니즘을 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the conventional problems, and when a stage module adsorbs and holds a product panel, the area where the adsorption force acts in the stage module is varied in accordance with the size of the product panel, while the adsorption force in the stage module It is to provide a vacuum stage mechanism for preventing loss.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 진공 스테이지 메커니즘은 제품패널이 흡착 고정되되, 제1방향과 평행하도록 등간격으로 내장되는 다수의 평행유로와, 상기 제1방향을 따라 등간격으로 이격되어 상기 평행유로의 상부로 관통 형성되는 다수의 흡착홀과, 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 일측에서 이격되어 타측까지 상기 평행유로의 하부로 관통 형성되는 다수의 제1편심홀과, 상기 제1편심홀에서 이격되고 상기 제2방향을 따라 타측에서 이격되어 일측까지 상기 평행유로의 하부로 관통 형성되는 다수의 제2편심홀이 포함되는 흡착패널; 상호 이격되어 상기 제2방향을 따라 상기 흡착패널에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 파지브라켓; 한 쌍의 파지브라켓을 상호 접근시키거나 상호 멀어지도록 상기 흡착패널에서 한 쌍의 파지브라켓을 슬라이드 이동시키는 파지구동모듈; 및 상기 제1편심홀과 상기 제2편심홀에 상기 흡착력이 전달되도록 상기 흡착패널의 하부에 상호 이격 배치되고, 한 쌍의 파지브라켓에 각각 결합되며, 한 쌍의 파지브라켓의 슬라이드 이동에 따라 연통되는 상기 제1편심홀과 상기 제2편심홀의 개수를 각각 조절하는 진공전달모듈;을 포함한다.According to a preferred embodiment for achieving the object of the present invention described above, the vacuum stage mechanism according to the present invention includes a plurality of parallel passages in which product panels are adsorbed and fixed and embedded at equal intervals so as to be parallel to the first direction, and the first direction. A plurality of suction holes spaced apart at equal intervals along one direction and penetrating through the top of the parallel passage, spaced apart from one side along the second direction perpendicular to the first direction, and penetrating through the bottom of the parallel passage to the other side An adsorption panel including a plurality of first eccentric holes and a plurality of second eccentric holes spaced apart from the first eccentric holes and spaced apart from the other side along the second direction to one side through the lower part of the parallel passage; A pair of holding brackets spaced apart from each other and slidably coupled to the adsorption panel along the second direction; A gripping drive module for sliding and moving a pair of gripping brackets in the adsorption panel to bring the pair of gripping brackets closer to each other or to move away from each other; And the first eccentric hole and the second eccentric hole are mutually spaced apart from each other so that the suction force is transmitted to the lower part of the suction panel, coupled to a pair of gripping brackets, and communicating according to the slide movement of the pair of gripping brackets. and a vacuum delivery module for adjusting the number of the first eccentric hole and the second eccentric hole respectively.
본 발명에 따른 진공 스테이지 메커니즘은 상기 흡착패널에서 상기 제품패널을 흡착하는 흡입력을 측정하거나 관측하는 진공확인모듈; 및 상기 흡착패널에서 상기 제품패널의 안착 여부블 감지하는 제품감지부; 중 적어도 어느 하나를 더 포함한다.The vacuum stage mechanism according to the present invention includes a vacuum check module for measuring or observing a suction force for adsorbing the product panel in the suction panel; and a product detecting unit for detecting whether or not the product panel is seated in the adsorption panel. It further includes at least one of
여기서, 상기 흡착패널에는, 상기 파지브라켓의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 브라켓가이드;가 구비되고, 상기 파지브라켓에는, 상기 브라켓가이드와 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 브라켓슬라이더;가 구비된다.Here, the suction panel is provided with a bracket guide forming a sliding path of the gripping bracket, and the gripping bracket is provided with a bracket slider that is slidably coupled to the bracket guide.
여기서, 상기 흡착패널에는, 안착된 상기 제품패널의 가장자리를 지지하기 위한 지지돌부;가 구비된다.Here, the suction panel is provided with a support protrusion for supporting the edge of the product panel on which it is seated.
여기서, 상기 파지구동모듈은, 상기 흡착패널의 하부에 구비되어 회전력을 발생시키는 파지구동부; 상기 파지구동부의 회전력을 둘로 양분하는 구동변환부; 상기 구동변환부의 일측에 결합되어 상기 회전력에 의해 회전되는 제1스크류; 한 쌍의 파지브라켓 중 어느 하나에 결합된 상태에서 상기 제1스크류에 나사 결합되는 제1너트부; 상기 구동변환부의 타측에 결합되어 상기 회전력에 의해 회전되는 제2스크류; 및 한 쌍의 파지브라켓 중 다른 하나에 결합된 상태에서 상기 제2스크류에 나사 결합되는 제2너트부;를 포함한다.Here, the gripping driving module includes a gripping driving unit provided at a lower portion of the suction panel to generate rotational force; a drive conversion unit that halves the rotational force of the gripper driving unit; A first screw coupled to one side of the drive conversion unit and rotated by the rotational force; A first nut portion screwed to the first screw while being coupled to one of a pair of gripping brackets; a second screw coupled to the other side of the drive conversion unit and rotated by the rotational force; and a second nut portion screwed to the second screw while being coupled to the other of the pair of gripping brackets.
여기서, 상기 진공전달모듈은, 상기 흡착모듈의 하부에 결합되되, 일측에서 상기 흡착력이 전달되도록 상기 제2방향으로 길게 관통 형성되는 편심전달유로와, 상기 제1편심홀과 상기 제2편심홀 중 어느 하나를 상기 편심전달유로와 1:1 대응으로 연통시키는 다수의 편심전달홀이 포함되는 편심전달블럭; 및 상기 파지브라켓에 결합된 상태에서 상기 편심전달유로의 타측으로 슬라이드 이동 가능하게 결합되고, 상기 편심전달유로의 일측과 연통되도록 상기 흡착모듈의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되고 타측이 폐쇄되는 전달가변유로와, 상기 흡착모듈의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되어 편심전달유로에서 편심전달홀과 전달가변유로를 연통시키는 가변슬릿이 포함된 전달가변부재;를 포함한다.Here, the vacuum transfer module is coupled to the lower portion of the adsorption module, and one of an eccentric transfer passage formed long in the second direction so that the adsorption force is transmitted from one side, and the first eccentric hole and the second eccentric hole. an eccentric transmission block including a plurality of eccentric transmission holes for communicating one of them with the eccentric transmission passage in a 1:1 correspondence; And in the state of being coupled to the gripping bracket, it is slidably coupled to the other side of the eccentric transmission passage, and is formed long through in a direction perpendicular to the sliding direction of the adsorption module so as to communicate with one side of the eccentric transmission passage, and the other side is closed. and a variable transmission member including a variable transmission passage and a variable slit formed to penetrate long in a direction perpendicular to the sliding direction of the adsorption module and communicating the eccentric transmission hole and the variable transmission passage in the eccentric transmission passage.
본 발명에 따른 진공 스테이지 메커니즘에 따르면, 스테이지모듈이 제품패널을 흡착 파지할 때, 제품패널의 사이즈에 대응하여 스테이지모듈에서 흡착력이 작용하는 영역을 가변시키는 한편, 스테이지모듈에서 흡착력이 손실되는 것을 방지할 수 있다.According to the vacuum stage mechanism according to the present invention, when the stage module adsorbs and holds the product panel, the area where the adsorption force acts in the stage module is varied in accordance with the size of the product panel, while preventing the stage module from losing the adsorption force. can do.
또한, 본 발명은 스테이지모듈의 세부 결합 관계를 통해 제품패널의 사이즈에 대응하여 제품패널의 흡착 영역 조절 동작과, 제품패널의 정렬 동작을 동시에 구현할 수 있다. In addition, according to the present invention, an operation of adjusting an adsorption area of a product panel and an operation of arranging the product panel can be implemented simultaneously in accordance with the size of the product panel through the detailed coupling relationship of the stage modules.
또한, 본 발명은 흡착패널의 세부 결합 관계를 통해 스테이지모듈에서 흡착력에 의한 유체의 이동을 명확하게 하고, 평행유로 간에 유체가 이동되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the present invention can clarify the movement of fluid by adsorption force in the stage module through the detailed coupling relationship of the adsorption panel and prevent the fluid from moving between parallel passages.
또한, 본 발명은 파지브라켓의 세부 결합 관계를 통해 흡착패널에서 파지브라켓의 슬라이드 이동을 부드럽게 하고, 파지브라켓이 슬라이드 이동될 때, 파지브라켓의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다.In addition, the present invention can smooth the sliding movement of the gripping bracket in the adsorption panel through the detailed coupling relationship of the gripping bracket, and suppress or prevent the flow of the gripping bracket when the gripping bracket slides.
또한, 본 발명은 파지구동모듈의 세부 결합 관계를 통해 흡착패널에서 한 쌍의 파지브라켓을 동시 구동시켜 제품패널의 정렬과 파지를 동시에 구현할 수 있다.In addition, according to the present invention, a pair of gripping brackets can be simultaneously driven in an adsorption panel through a detailed coupling relationship of a gripping driving module to realize alignment and gripping of product panels at the same time.
또한, 본 발명은 진공전달모듈의 세부 결합 관계를 통해 제품패널의 사이즈에 대응하여 흡착력이 작용하는 흡착홀의 개수를 조절하고, 제품패널의 사이즈에서 벗어는 흡착홀에는 흡착력이 작용하지 못하도록 한다.In addition, the present invention controls the number of adsorption holes through which the adsorption force acts in accordance with the size of the product panel through the detailed coupling relationship of the vacuum transfer module, and prevents the adsorption force from acting on the adsorption holes that deviate from the size of the product panel.
또한, 본 발명은 진공확인모듈의 세부 결합 관계를 통해 제품패널을 흡착하는 흡입력을 측정하거나 관측할 수 있고, 제품패널에 대응하여 흡착력의 조절에 이바지할 수 있다.In addition, the present invention can measure or observe the suction force for adsorbing the product panel through the detailed coupling relationship of the vacuum checking module, and can contribute to adjusting the suction force in response to the product panel.
또한, 본 발명은 제품감지부의 결합 관계를 통해 제품패널의 이동에 간섭되지 않고, 제품패널의 안착 여부를 간편하게 확인할 수 있다.In addition, the present invention can easily check whether the product panel is seated without interfering with the movement of the product panel through the coupling relationship of the product sensing unit.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 장치본체를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 스테이지모듈을 도시한 정면사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 스테이지모듈을 도시한 배면사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 스테이지모듈의 흡착패널을 도시한 평단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 스테이지모듈의 진공전달모듈을 도시한 분해사시도이다.
도 7은 도 6의 종단면도이다.
도 8은 도 6의 횡단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 진공가변라인의 제1예를 도시한 사시도이다.
도 10은 도 9의 "A" 부분 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 진공가변라인의 제2예를 도시한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 라인결합모듈을 도시한 사시도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템에서 진공펌핑모듈을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing an apparatus body in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
3 is a front perspective view showing a stage module in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
4 is a rear perspective view showing a stage module in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
5 is a planar cross-sectional view showing an adsorption panel of a stage module in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
6 is an exploded perspective view showing a vacuum transmission module of a stage module in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a longitudinal cross-sectional view of Figure 6;
8 is a cross-sectional view of FIG. 6 .
9 is a perspective view showing a first example of a vacuum variable line in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
10 is a partial sectional view “A” of FIG. 9 .
11 is a perspective view showing a second example of a vacuum variable line in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
12 is a perspective view showing a line coupling module in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
13 is a perspective view showing a vacuum pumping module in a vacuum stage system according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 진공 스테이지 메커니즘의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.Hereinafter, an embodiment of a vacuum stage mechanism according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. At this time, the present invention is not limited or limited by the examples. In addition, in describing the present invention, detailed descriptions of well-known functions or configurations may be omitted to clarify the gist of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템은 장치본체(10)와, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 메커니즘과, 슬라이딩모듈과, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 펌핑라인 메커니즘과, 진공펌핑모듈(300)을 포함할 수 있다.A vacuum stage system according to an embodiment of the present invention includes an apparatus main body 10, a vacuum stage mechanism according to an embodiment of the present invention, a sliding module, a vacuum pumping line mechanism according to an embodiment of the present invention, A vacuum pumping module 300 may be included.
장치본체(10)는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 시스템의 기초를 형성한다. 장치본체(10)는 스테이지모듈(100)의 슬라이드 이동 영역을 설정하는 이송바디(11)를 포하고, 이송바디(11)와 인접하거나 이송바디(11)와 결합되거나 이송바디(11)에 일체로 형성되어 후술하는 진공가변라인(210)을 파지하기 위한 고정바디를 더 포함할 수 있다.The apparatus body 10 forms the basis of a vacuum stage system according to one embodiment of the present invention. The device body 10 includes a transfer body 11 that sets the slide movement area of the stage module 100, and is adjacent to the transfer body 11, combined with the transfer body 11, or integrated with the transfer body 11. It may further include a fixing body for gripping the vacuum variable line 210 to be described later.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 스테이지 메커니즘은 스테이지모듈(100)을 포함할 수 있다.A vacuum stage mechanism according to an embodiment of the present invention may include a stage module 100 .
스테이지모듈(100)은 장치본체(10)에 결합되어 제공되는 흡착력을 이용하여 제품패널이 흡착 고정되도록 한다. 스테이지모듈(100)은 제품패널의 사이즈에 대응하여 제품패널의 흡착 영역 조절 동작과 제품패널의 정렬 동작을 동시에 구현하게 된다. 그러면, 스테이지모듈(100)에서는 흡착력이 작용함에 따라 스테이지모듈(100)의 상부에 적층된 제품패널을 흡착 고정할 수 있다. 또한, 스테이지모듈(100)에서는 파지브라켓(120)에 의해 제품패널이 파지되므로, 파지브라켓(120)에 의해 한정된 영역 내에서만 흡착력이 작용된다.The stage module 100 is coupled to the device body 10 so that the product panel is adsorbed and fixed by using the adsorption force provided. The stage module 100 simultaneously implements an adsorption area adjustment operation of the product panel and an alignment operation of the product panel corresponding to the size of the product panel. Then, the stage module 100 can adsorb and fix the product panel stacked on top of the stage module 100 as the adsorption force acts. In addition, in the stage module 100, since the product panel is gripped by the gripping bracket 120, the suction force is applied only within the area limited by the gripping bracket 120.
스테이지모듈(100)은 흡착패널(110)과, 파지브라켓(120)과, 파지구도모듈과, 진공전달모듈(140)을 포함할 수 있다. 여기서, 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향은 제1방향을 나타내고, 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향에 수직인 방향은 제2방향을 나타낸다.The stage module 100 may include an adsorption panel 110, a gripping bracket 120, a gripping guidance module, and a vacuum transmission module 140. Here, the sliding direction of the stage module 100 represents a first direction, and a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 represents a second direction.
흡착패널(110)은 제공되는 흡착력에 의해 제품패널이 흡착 고정된다.The adsorption panel 110 adsorbs and fixes the product panel by the adsorption force provided.
흡착패널(110)에는 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향과 평행하도록 등간격으로 내장되는 다수의 평행유로(111)와, 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향을 따라 등간격으로 이격되어 평행유로(111)의 상부로 관통 형성되는 다수의 흡착홀(112)과, 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향과 수직인 방향을 따라 일측에서 이격되어 타측까지 평행유로(111)의 하부로 관통 형성되는 다수의 제1편심홀(113)과, 제1편심홀(113)에서 이격되고 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향과 수직인 방향을 따라 타측에서 이격되어 일측까지 평행유로(111)의 하부로 관통 형성되는 다수의 제2편심홀(114)이 포함될 수 있다.In the adsorption panel 110, a plurality of parallel passages 111 embedded at equal intervals parallel to the sliding direction of the stage module 100, and spaced apart at equal intervals along the sliding direction of the stage module 100, parallel passages 111 A plurality of adsorption holes 112 formed through the upper part of the stage module 100 and spaced apart from one side along a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 to the other side through the lower part of the parallel passage 111 formed through the plurality of adsorption holes 112 One eccentric hole 113 and a number of spaced apart from the first eccentric hole 113 and spaced apart from the other side along a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 to one side through the lower part of the parallel passage 111. The second eccentric hole 114 of may be included.
다수의 평행유로(111)는 상호 등간격으로 이격된 평행선 형태를 나타내므로, 흡착홀(112)에 균일한 흡착력이 제공되도록 한다. 흡착홀(112)은 종횡으로 상호 이격 배치되되, 등간격으로 이격 배치될 수 있다. 제1편심홀(113)은 도 5를 기준으로 흡착패널(110)의 상부와 하부 중 어느 하나에 편심 배치되되, 흡착패널(110)의 좌측과 우측 중 어느 하나의 단부로부터 이격되어 1열 또는 상호 이격된 2열 이상이 배치될 수 있다. 마찬가지로 제2편심홀(114)은 도 5을 기준으로 흡착패널(110)의 상부와 하부 중 다른 하나에 편심 배치되되, 흡착패널(110)의 좌측과 우측 중 다른 하나의 단부로부터 이격되어 1열 또는 2열 이상이 배치될 수 있다.Since the plurality of parallel passages 111 are spaced apart at equal intervals in the form of parallel lines, a uniform adsorption force is provided to the adsorption holes 112 . Suction holes 112 are spaced apart from each other vertically and horizontally, and may be spaced apart at regular intervals. The first eccentric hole 113 is eccentrically disposed in either the upper or lower portion of the adsorption panel 110 with reference to FIG. 5, and is spaced apart from either end of the left or right side of the adsorption panel 110 to form a single row or Two or more rows spaced apart from each other may be arranged. Similarly, the second eccentric hole 114 is disposed eccentrically on the other one of the upper and lower portions of the adsorption panel 110 with reference to FIG. Alternatively, two or more rows may be arranged.
그러면, 흡착력은 제1편심홀(113)과 평행유로(111)를 거쳐 흡착홀(112)에 작용하거나, 제2편심홀(114)과 평행유로(111)를 거쳐 흡착홀(112)에 작용할 수 있다.Then, the adsorption force acts on the adsorption hole 112 via the first eccentric hole 113 and the parallel passage 111, or acts on the adsorption hole 112 via the second eccentric hole 114 and the parallel passage 111. can
흡착패널(110)에는 파지브라켓(120)의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 브라켓가이드가 더 포함되므로, 흡착패널(110)에서 파지브라켓(120)의 슬라이드 이동을 원활하게 하고, 흡착패널(110)에서 파지브라켓(120)의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다. 브라켓가이드는 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향과 수직인 방향을 따라 흡착패널(110)의 상부에서 양측 가장자리로부터 길게 함몰 또는 돌출 형성되는 파지가이드(115)와, 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향과 수직인 방향을 따라 흡착패널(110)의 하부에서 양측 가장자리로부터 길게 함몰 형서되는 지지가이드(116) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다. 흡착패널(110)과 파지브라켓(120)의 접촉 안정성 및 유지 보수의 편의성을 위해 파지가이드(115)는 함몰 형성되고, 지지가이드(116)는 돌출 형성되는 것이 바람직하다.Since the adsorption panel 110 further includes a bracket guide forming a slide movement path of the gripping bracket 120, the sliding movement of the gripping bracket 120 in the adsorption panel 110 is smooth, and in the adsorption panel 110 The flow of the gripping bracket 120 can be suppressed or prevented. The bracket guide includes a gripping guide 115 formed long indenting or protruding from both side edges of the top of the suction panel 110 along a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100, and a sliding direction of the stage module 100. At least one of the support guides 116 that are long recessed from both sides of the bottom of the suction panel 110 along the vertical direction may be further included. For contact stability between the adsorption panel 110 and the gripping bracket 120 and convenience of maintenance, it is preferable that the gripping guide 115 is recessed and the support guide 116 protrudes.
흡착패널(110)에는 안착된 제품패널의 가장자리를 지지하기 위한 지지돌부(117)가 더 포함되는 것이 바람직하다.It is preferable that the adsorption panel 110 further includes a support protrusion 117 for supporting the edge of the seated product panel.
흡착패널(110)에는 후술하는 제품감지부(160)가 노출되도록 하는 센서홀(118)이 구비되므로, 제품패널의 로딩 작업과 언로딩 작업을 원활하게 할 수 있다.Since the adsorption panel 110 is provided with a sensor hole 118 through which a product detection unit 160 to be described later is exposed, loading and unloading of the product panel can be performed smoothly.
파지브라켓(120)은 한 쌍이 상호 이격 배치된다. 파지브라켓(120)은 도 3을 기준으로 흡착패널(110)의 우측으로 편심 배치되어 흡착패널(110)의 우측 가장자리와 좌측 사이에서 슬라이드 이동 가능한 제1브라켓(120-1)과, 도 3을 기준으로 제1브라켓(120-1)에서 이격되어 흡착패널(110)의 좌측으로 편심 배치되어 흡착패널(110)의 좌측 가장자리와 우측 사이에서 슬라이드 이동 가능한 제2브라켓(120-2)으로 구분할 수 있다. 파지브라켓(120)은 흡착패널(110)의 상부와 하부에서 모두 주변 부품과 연계되므로, "ㅁ" 자 형태를 나타내어 흡착패널(110)을 감싸도록 할 수 있다.A pair of gripping brackets 120 are spaced apart from each other. The gripping bracket 120 is eccentrically disposed on the right side of the adsorption panel 110 with reference to FIG. 3 and the first bracket 120-1 that can slide between the right edge and the left side of the adsorption panel 110 and FIG. As a reference, it can be divided into a second bracket 120-2 that is spaced apart from the first bracket 120-1 and is eccentrically disposed to the left side of the adsorption panel 110 and can slide between the left edge and the right side of the adsorption panel 110. there is. Since the gripping bracket 120 is associated with peripheral parts at both the top and bottom of the adsorption panel 110, it can be wrapped around the adsorption panel 110 by representing a “ㅁ” shape.
파지브라켓(120)은 한 쌍이 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향과 수직인 방향을 따라 흡착패널(110)에 슬라이드 이동 가능하게 결합된다.A pair of gripping brackets 120 are slidably coupled to the suction panel 110 along a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 .
파지브라켓(120)에는 브라켓가이드와 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 브라켓슬라이더가 구비될 수 있다. 브라켓슬라이더는 파지가이드(115)와 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 파지슬라이더(121)와, 지지가이드(116)와 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 지지슬라이더(122) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.The gripping bracket 120 may be provided with a bracket slider that is coupled to the bracket guide and slide-movable. The bracket slider may further include at least one of a gripping slider 121 that is slidably coupled to the gripping guide 115 and a support slider 122 that is slidably coupled to the support guide 116.
파지구동모듈(130)은 한 쌍의 파지브라켓(120)을 상호 접근시키거나 상호 멀어지도록 흡착패널(110)에서 한 쌍의 파지브라켓(120)을 슬라이드 이동시킨다.The gripping driving module 130 slides the pair of gripping brackets 120 on the adsorption panel 110 so that the pair of gripping brackets 120 come closer to each other or away from each other.
파지구동모듈(130)은 흡착패널(110)의 하부에 구비되어 회전력을 발생시키는 파지구동부(131)와, 파지구동부(131)의 회전력을 둘로 양분하는 구동변환부(132)와, 구동변환부(132)의 일측에 결합되어 회전력에 의해 회전되는 제1스크류(133)와, 한 쌍의 파지브라켓(120) 중 어느 하나에 결합된 상태에서 제1스크류(133)에 나사 결합되는 제1너트부와, 구동변환부(132)의 타측에 결합되어 회전력에 의해 회전되는 제2스크류(135)와, 한 쌍의 파지브라켓(120) 중 다른 하나에 결합된 상태에서 제2스크류(135)에 나사 결합되는 제2너트부(136)를 포함할 수 있다.The gripping driving module 130 includes a gripping driving unit 131 provided at the bottom of the suction panel 110 to generate rotational force, a drive conversion unit 132 for dividing the rotational force of the gripping driving unit 131 into two, and a drive conversion unit. A first screw 133 coupled to one side of the 132 and rotated by a rotational force, and a first nut screwed to the first screw 133 while being coupled to any one of the pair of gripping brackets 120 unit, the second screw 135 coupled to the other side of the drive conversion unit 132 and rotated by the rotational force, and the second screw 135 in a state of being coupled to the other one of the pair of gripping brackets 120 A second nut portion 136 that is screwed together may be included.
여기서, 구동변환부(132)는 베벨기어 연결구조를 채택할 수 있다.Here, the drive conversion unit 132 may adopt a bevel gear connection structure.
진공전달모듈(140)은 한 쌍이 상호 이격 배치된다. 진공전달모듈(140)은 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114)에 흡착력이 전달되도록 흡착패널(110)의 하부에 상호 이격 배치된다. 진공전달모듈(140)은 도 4를 기준으로 흡착패널(110)의 하측으로 편심되어 제1편심모듈에 흡착력을 전달하는 제1전달모듈(140-1)과, 도 4를 기준으로 흡착패널(110)의 하측으로 편심되어 제2편심모듈에 흡착력을 전달하는 제2전달모듈(140-2)로 구분할 수 있다.A pair of vacuum delivery modules 140 are spaced apart from each other. The vacuum transfer module 140 is disposed spaced apart from each other in the lower portion of the adsorption panel 110 so that adsorption force is transmitted to the first eccentric hole 113 and the second eccentric hole 114 . The vacuum transfer module 140 is eccentric to the lower side of the adsorption panel 110 based on FIG. 4 and transfers the adsorption force to the first eccentric module. The first transfer module 140-1 and the adsorption panel based on FIG. 4 ( 110) can be divided into a second transmission module 140-2 that is eccentric to the lower side and transmits an adsorption force to the second eccentric module.
진공전달모듈(140)은 한 쌍의 파지브라켓(120)에 각각 결합된다. 다시 말해, 제1전달모듈(140-1)은 제1브라켓(120-1)에 결합되고, 제2전달모듈(140-2)은 제2브라켓(120-2)에 결합된다. 그러면, 한 쌍의 파지브라켓(120)의 슬라이드 이동에 따라 연통되는 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114)의 개수를 각각 조절할 수 있다.The vacuum transfer module 140 is coupled to a pair of gripping brackets 120, respectively. In other words, the first transmission module 140-1 is coupled to the first bracket 120-1, and the second transmission module 140-2 is coupled to the second bracket 120-2. Then, the number of the first eccentric hole 113 and the second eccentric hole 114 communicating with each other according to the sliding movement of the pair of gripping brackets 120 can be adjusted.
진공전달모듈(140)은 편심전달블럭(141)과, 전달가변부재(143)를 포함하고, 밀착부재(142)를 더 포함할 수 있다.The vacuum transfer module 140 includes an eccentric transfer block 141 and a variable transfer member 143, and may further include a contact member 142.
편심전달블럭(141)은 흡착패널(110)의 하부에 결합된다. 편심전달블럭(141)에는 일측에서 흡착력이 전달되도록 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되는 편심전달유로(1411)와, 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114) 중 어느 하나를 편심전달유로(1411)와 1:1 대응으로 연통시키는 다수의 편심전달홀(1413)이 포함될 수 있다. 편심전달블럭(141)에는 전달가변부재(143)의 슬라이드 이동 거리를 제한하는 전달가이드(1412)가 더 포함될 수 있다. 편심전달블럭(141)에는 일측에서 진공가변유닛 또는 라인결합모듈(220)이 결합되는 라인연결부(1414)가 더 포함될 수 있다.Eccentric transmission block 141 is coupled to the lower portion of the adsorption panel (110). In the eccentric transmission block 141, an eccentric transmission passage 1411 formed long in a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 so that adsorption force is transmitted from one side, a first eccentric hole 113, and a second eccentric hole A plurality of eccentric transmission holes 1413 communicating one of the eccentric transmission passages 1411 and 1:1 correspondence among (114) may be included. The eccentric transfer block 141 may further include a transfer guide 1412 for limiting the slide movement distance of the variable transfer member 143 . The eccentric transfer block 141 may further include a line connection unit 1414 to which the vacuum variable unit or the line coupling module 220 is coupled at one side.
전달가변부재(143)는 파지브라켓(120)에 결합된 상태에서 편심전달유로(1411)의 타측으로 슬라이드 이동 가능하게 결합된다. 전달가변부재(143)는 편심전달유로(1411)의 타측으로 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 가변관(1431)과, 편심전달유로(1411)의 일측과 연통되도록 스테이지모듈(100)의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되고 타측이 폐쇄되는 전달가변유로(1432)와, 스테이지모듈(100)( 또는 흡착패널(110))의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되어 편심전달유로(1411)에서 편심전달홀(1413)과 전달가변유로(1432)를 연통시키는 가변슬릿(1433)을 포함할 수 있다. 전달가변부재(143)는 가변관(1431)의 단부에 결합된 상태에서 전달가이드(1412)에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 전달슬라이더(1434)를 더 포함할 수 있다. 전달슬라이더(1434)는 파지브라켓(120)에 결합되므로, 파지브라켓(120)의 슬라이드 이동에 따라 전달가변부재(143)는 편심전달유로(1411)에서 안전되게 슬라이드 이동되도록 한다.The variable transmission member 143 is slidably coupled to the other side of the eccentric transmission passage 1411 while being coupled to the gripping bracket 120 . The transmission variable member 143 is perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 so as to communicate with the variable tube 1431 slidably coupled to the other side of the eccentric transmission passage 1411 and one side of the eccentric transmission passage 1411. A transmission variable passage 1432 formed long in the in direction and closed on the other side, and an eccentric transmission passage 1411 formed long through in a direction perpendicular to the sliding direction of the stage module 100 (or suction panel 110) may include a variable slit 1433 communicating the eccentric transmission hole 1413 and the variable transmission passage 1432. The transmission variable member 143 may further include a transmission slider 1434 slidably coupled to the transmission guide 1412 in a state coupled to the end of the variable pipe 1431 . Since the transfer slider 1434 is coupled to the gripping bracket 120, the transfer variable member 143 slides safely in the eccentric transfer passage 1411 according to the slide movement of the gripping bracket 120.
밀착부재(142)는 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114) 중 어느 하나가 편심전달홀(1413)과 1:1 대응으로 연통되도록 흡착력이 전달되도록 흡착패널(110)의 하부와 편심전달블럭(141) 사이를 밀폐시킨다. 이때, 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114) 중 어느 하나가 편심전달홀(1413)과 연통될 때, 상호 연통되는 두 홀의 가장자리를 밀폐시켜 흡착력이 누설되는 것을 방지한다.The adhesion member 142 is the lower part of the adsorption panel 110 so that the adsorption force is transmitted so that any one of the first eccentric hole 113 and the second eccentric hole 114 communicates with the eccentric transmission hole 1413 in a 1: 1 correspondence. and the eccentric transmission block 141 are sealed. At this time, when any one of the first eccentric hole 113 and the second eccentric hole 114 communicates with the eccentric transmission hole 1413, the edges of the two mutually communicating holes are sealed to prevent leakage of the suction force.
스테이지모듈(100)은, 진공확인모듈(150)과, 제품감지부(160) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.The stage module 100 may further include at least one of a vacuum checking module 150 and a product detecting unit 160 .
진공확인모듈(150)은 흡착패널(110)에서 제품패널을 흡착하는 흡입력을 측정하거나 관측한다.The vacuum check module 150 measures or observes the suction force for adsorbing the product panel in the suction panel 110 .
진공확인모듈(150)은 흡착패널(110)의 중앙 부분에서 평행유로(111)로부터 흡착패널(110)의 하부로 관통 형성되는 진공확인홀(151)과, 흡착패널(110)의 가장자리에 결합되어 흡착패널(110)에서 제품패널을 흡착하는 흡입력을 측정하거난 관측하는 진공확인부(153)와, 진공확인홀(151)과 진공확인부(153)를 연결시켜 유체의 이동 경로를 형성하는 진공확인라인(152)을 포함할 수 있다.The vacuum check module 150 is coupled to the vacuum check hole 151 formed through the bottom of the suction panel 110 from the parallel passage 111 in the center of the suction panel 110 and the edge of the suction panel 110. The suction panel 110 connects the vacuum confirmation unit 153 that measures or observes the suction force for adsorbing the product panel, and the vacuum confirmation hole 151 and the vacuum confirmation unit 153 to form a fluid movement path A vacuum check line 152 may be included.
제품감지부(160)는 흡착패널(110)에서 제품패널의 안착 여부블 감지한다.The product detection unit 160 detects whether or not the product panel is seated in the adsorption panel 110 .
제품감지부(160)는 흡착패널(110)의 하부에 구비되고 센서홀(118)에서 노출되도록 하므로, 흡착패널(110)의 상부에서 제품패널과의 간섭을 방지할 수 있다.Since the product detecting unit 160 is provided under the adsorption panel 110 and exposed through the sensor hole 118, interference with the product panel from the upper portion of the adsorption panel 110 can be prevented.
슬라이딩모듈은 장치본체(10)에서 스테이지모듈(100)을 슬라이드 이동시킨다.The sliding module slides and moves the stage module 100 in the device body 10 .
슬라이딩모듈은 장치본체(10)에 결합되어 스테이지모듈(100)의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 이송가이드(12)와, 스테이지모듈(100)이 결합된 상태에서 이송가이드(12)에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 이송슬라이더(13)와, 이송가이드(12)에서 이송슬라이더(13)를 슬라이드 이동시키는 이송구동부(14)를 포함할 수 있다. 이송구동부(14)에는 이송가이드(12)와 평행한 구동가이드가 구비되어 이송슬라이더(13)의 슬라이드 이동을 원활하게 한다. 이송슬라이더(13)에는 진공가변라인(210)이 결합되는 실린더고정부(131)와, 흡착패널(110)을 이송슬라이더(13)에 결합시키는 스테이지결합부(132)가 포함될 수 있다.The sliding module is coupled to the device body 10 to form a slide movement path of the stage module 100, and the transfer guide 12 and the stage module 100 are coupled to the transfer guide 12 to be able to slide. It may include a coupled transfer slider 13 and a transfer drive unit 14 for sliding and moving the transfer slider 13 in the transfer guide 12 . The transfer driver 14 is provided with a drive guide parallel to the transfer guide 12 to facilitate the slide movement of the transfer slider 13 . The transfer slider 13 may include a cylinder fixing part 131 to which the vacuum variable line 210 is coupled, and a stage coupling part 132 to couple the suction panel 110 to the transfer slider 13 .
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 펌핑라인 메커니즘은 진공가변라인(210)을 포함하고, 라인결합모듈(220)을 더 포함할 수 있다.The vacuum pumping line mechanism according to an embodiment of the present invention includes a vacuum variable line 210 and may further include a line coupling module 220.
진공가변라인(210)은 흡착력이 작용하는 스테이지모듈(100)에 결합되어 제품패널을 흡착 고정하기 위한 흡착력을 스테이지모듈(100) 쪽으로 전달한다. 진공가변라인(210)은 스테이지모듈(100)의 슬라이드 이동에 대응하여 직선 형태로 길이 조절이 가능하다. 진공가변라인(210)은 제1전달모듈(140-1)에 The vacuum variable line 210 is coupled to the stage module 100 on which the adsorption force acts, and transfers the adsorption force for adsorbing and fixing the product panel to the stage module 100. The length of the vacuum variable line 210 can be adjusted in a straight line corresponding to the slide movement of the stage module 100 . The vacuum variable line 210 is in the first transfer module 140-1.
제1실시예에 따르면, 도 9와 도 10에 도시된 바와 같이 진공가변라인(210)은 흡착력을 제공하는 진공펌핑모듈(300)에 결합되고 흡착력이 전달되는 가변전달유로(2111)가 관통 형성되는 전달실린더(211)와, 전달실린더(211)와 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합된 상태에서 스테이지모듈(100) 또는 라인결합모듈(220)과 결합되고 가변전달유로(2111)와 연통되어 흡착력이 전달되는 진공가변유로(2121)가 관통 형성되는 가변실린더(212)를 포함할 수 있다.According to the first embodiment, as shown in FIGS. 9 and 10, the vacuum variable line 210 is coupled to the vacuum pumping module 300 providing adsorption force, and a variable transmission passage 2111 through which the adsorption force is transmitted is formed through it. The transfer cylinder 211, which is coupled to the stage module 100 or the line coupling module 220 in a state where the transfer cylinder 211 is slidably fitted and coupled, communicates with the variable transfer passage 2111 to transmit adsorption force. It may include a variable cylinder 212 through which the vacuum variable passage 2121 is formed.
여기서, 전달실린더(211)와 가변실린더(212) 중 어느 하나의 단부에는 가변전달유로(2111) 또는 진공가변유로(2121)에 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합되는 가변슬라이더(2122)가 결합되고, 전달실린더(211)와 가변실린더(212) 중 다른 하나의 단부에는 전달실린더(211)와 가변실린더(212) 중 어느 하나가 슬라이드 이동 가능하게 지지하되 가변슬라이더(2122)가 걸림 가능한 중공의 가변지지부시(2113)가 결합되며, 가변슬라이더(2122)의 둘레와 가변지지부시(2113)의 내주면 중 적어도 어느 하나에는 탄성을 갖는 링 형상의 가변밀착부(2123)가 결합되어 전달실린더(211)와 가변실린더(212) 사이에서 밀폐력을 향상시킬 수 있다.Here, a variable slider 2122 that is slidably fitted into the variable transmission passage 2111 or the vacuum variable passage 2121 is coupled to one end of the transmission cylinder 211 and the variable cylinder 212, and At the end of the other one of the cylinder 211 and the variable cylinder 212, one of the transfer cylinder 211 and the variable cylinder 212 is slidably supported and the variable slider 2122 is hooked on a hollow variable support bush. 2113 is coupled, and a ring-shaped variable contact portion 2123 having elasticity is coupled to at least one of the circumference of the variable slider 2122 and the inner circumferential surface of the variable support bush 2113, so that the transmission cylinder 211 and the variable The sealing force between the cylinders 212 can be improved.
제2실시예에 따르면, 도 11에 도시된 바와 같이 진공가변라인(210)은 흡착력을 제공하는 진공펌핑모듈(300)에 결합되고 흡착력이 전달되는 가변전달유로(2111)가 관통 형성되는 전달실린더(211)와, 전달실린더(211)와 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합되고 가변전달유로(2111)와 연통되어 흡착력이 전달되는 제1유로가 관통 형성되는 제1실린더(213)와, 제1실린더(213)와 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합된 상태에서 스테이지모듈(100) 또는 라인결합모듈(220)과 결합되고, 제1유로와 연통되어 흡착력이 전달되는 제2유로가 관통 형성되는 제2실린더(214)를 포함할 수 있다.According to the second embodiment, as shown in FIG. 11, the vacuum variable line 210 is coupled to the vacuum pumping module 300 providing adsorption force, and a transfer cylinder through which a variable transmission passage 2111 through which the adsorption force is transmitted is formed. 211, a first cylinder 213 through which a first passage through which the transmission cylinder 211 is fitted and coupled to be slidable and communicates with the variable transmission passage 2111 to transmit the adsorption force, and the first cylinder ( 213) coupled to the stage module 100 or the line coupling module 220 in a state of being slidably fitted and coupled to the second cylinder 214 through which a second passage through which an adsorption force is transmitted through communication with the first passage is formed. ) may be included.
전달실린더(211)와 제1실린더(213) 중 어느 하나의 단부에는 가변전달유로(2111) 또는 제1유로에 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합되는 제1슬라이더가 결합되고, 전달실린더(211)와 제1실린더(213) 중 다른 하나의 단부에는 전달실린더(211)와 제1실린더(213) 중 어느 하나를 슬라이드 이동 가능하게 지지하되, 제1슬라이더가 걸림 가능한 제1부시(2113-1)가 결합되며 제1슬라이더의 둘레와 제1부시(2113-1)의 내주면 중 적어도 어느 하나에는 탄성을 갖는 링 형상의 제1밀착부가 결합되어 전달실린더(211)와 제1실린더(213) 사이에서 밀폐력을 향상시킬 수 있다.A variable transmission passage 2111 or a first slider that is slidably fitted into the first passage is coupled to one end of the transmission cylinder 211 and the first cylinder 213, and the transmission cylinder 211 and the first slider are coupled to each other. At the end of the other one of the cylinders 213, a first bush 2113-1 is coupled to support one of the transfer cylinder 211 and the first cylinder 213 so as to be slidably movable, and to which the first slider can be hooked. A ring-shaped first contact portion having elasticity is coupled to at least one of the circumference of the first slider and the inner circumferential surface of the first bush 2113-1 to provide a sealing force between the transmission cylinder 211 and the first cylinder 213. can improve
마찬가지로, 제1실린더(213)와 제2실린더(214) 중 어느 하나의 단부에는 제1유로 또는 제2유로에 슬라이드 이동 가능하게 끼움 결합되는 제2슬라이더가 결합되며, 제1실린더(213)와 제2실린더(214) 중 다른 하나의 단부에는 제1실린더(213)와 제2실린더(214) 중 어느 하나를 슬라이드 이동 가능하게 지지하되 제2슬라이더가 걸림 가능한 제2부시(2113-2)가 결합되고, 제2슬라이더의 둘레와 제2부시(2113-2)의 내주면 중 적어도 어느 하나에는 탄성을 갖는 링 형상의 제2밀착부가 결합되어 제1실린더(213)와 제2실린더(214) 사이에서 밀폐력을 향상시킬 수 있다.Similarly, a second slider that is slidably fitted into the first or second passage is coupled to either end of the first cylinder 213 or the second cylinder 214, and the first cylinder 213 and At the end of the other one of the second cylinders 214, a second bush 2113-2 supporting either the first cylinder 213 or the second cylinder 214 so as to be slidably movable and capable of engaging the second slider is provided. The ring-shaped second contact part having elasticity is coupled to at least one of the circumference of the second slider and the inner circumferential surface of the second bush 2113-2, so that it is formed between the first cylinder 213 and the second cylinder 214. sealing power can be improved.
여기서, 고정브라켓(215)은 전달실린더(211)를 장치본체(10)의 고정바디에 고정시킨다.Here, the fixing bracket 215 fixes the delivery cylinder 211 to the fixing body of the device body 10.
일예로, 전달실린더(211)와 진공펌핑모듈(300)의 연결라인(304)은 고정브라켓(215)에 의해 연결될 수 있다. 다른 예로, 전달실린더(211)와 진공펌핑모듈(300)의 연결라인(304)은 라인커넥터(216)에 의해 연결될 수 있다.For example, the connection line 304 of the transfer cylinder 211 and the vacuum pumping module 300 may be connected by a fixing bracket 215 . As another example, the connection line 304 of the delivery cylinder 211 and the vacuum pumping module 300 may be connected by a line connector 216 .
라인결합모듈(220)은 스테이지모듈(100)과 진공가변라인(210)을 연결하여 흡착력을 스테이지모듈(100)에 전달한다. 라인결합모듈(220)은 제1전달모듈(140-1)과 제1가변라인(210-1)을 연결시키는 제1결합모듈과, 제2전달모듈(140-2)과 제2가변라인(210-2)을 연결시키는 제2결합모듈로 구분할 수 있다.The line coupling module 220 connects the stage module 100 and the vacuum variable line 210 to transmit suction power to the stage module 100 . The line coupling module 220 includes a first coupling module connecting the first transmission module 140-1 and the first variable line 210-1, the second transmission module 140-2 and the second variable line ( 210-2) can be divided into a second coupling module that connects.
라인결합모듈(220)은 진공가변라인(210)과 결합되는 실린더결합부(221)와, 스테이지모듈(100)과 결합되는 결합챔버부(222)와, 실린더결합부(221)와 결합챔버부(222)를 연결시키되 흡착력의 전달 여부를 선택하거나 흡착력의 세기를 조절하는 앵글밸브(223)를 포함할 수 있다.The line coupling module 220 includes a cylinder coupling portion 221 coupled to the vacuum variable line 210, a coupling chamber portion 222 coupled to the stage module 100, a cylinder coupling portion 221, and a coupling chamber portion. 222 may be connected, but an angle valve 223 may be included to select whether or not to transmit the adsorption force or to adjust the intensity of the adsorption force.
진공펌핑모듈(300)은 제품패널이 스테이지모듈(100)에 흡착 고정되도록 흡착력을 제공한다.The vacuum pumping module 300 provides an adsorption force so that the product panel is adsorbed and fixed to the stage module 100 .
진공펌핑모듈(300)은 흡착력을 발생시키는 진공구동부(301)와, 진공구동부(301)로 흡입되는 유체의 양을 조절하거나 진공구동부(301)에서의 유체 흡입 여부를 선택하는 릴리프밸브(302)와, 릴리프밸브(302)로 전달되는 공기가 수용되는 헤더(303)와, 진공가변라인(210)과 헤더(303)를 연결하여 진공구동부(301) 쪽으로 흡입되는 유체의 전달 경로를 형성하는 연결라인(304)을 포함할 수 있다. 진공펌핑모듈(300)은 진공구동부(301)에 결합되어 유체가 배출되는 배기부(305)를 더 포함할 수 있다. 연결라인(304)은 제1가변라인(210-1)과 연결되는 제1라인(310)과, 제2가변라인(210-2)과 연결되는 제2라인(320)으로 구분할 수 있다.The vacuum pumping module 300 includes a vacuum driving unit 301 that generates adsorption force and a relief valve 302 that controls the amount of fluid sucked into the vacuum driving unit 301 or selects whether fluid is sucked from the vacuum driving unit 301. And, the header 303 in which the air delivered to the relief valve 302 is accommodated, and the vacuum variable line 210 and the header 303 are connected to form a delivery path for fluid sucked toward the vacuum driving unit 301 line 304. The vacuum pumping module 300 may further include an exhaust unit 305 coupled to the vacuum driving unit 301 to discharge fluid. The connection line 304 can be divided into a first line 310 connected to the first variable line 210-1 and a second line 320 connected to the second variable line 210-2.
제품패널이 흡착패널(110)의 상부에 안착되면, 제품패널의 사이즈에 대응하여 한 쌍의 파지브라켓(120)이 동작됨에 따라 흡착패널(110)에서 제품패널은 정위치에 정렬됨은 물론 한 쌍의 파지브라켓(120)에 의해 흡착패널(110)에서 제품패널이 안착된 영역이 한정된다. 이때, 한 쌍의 파지브라켓(120)의 동작과 연계하여 진공전달모듈(140)이 동작된다. 다시 말해, 파지브라켓(120)의 슬라이드 이동에 따라 편심전달블럭(141)에서 전달가변부재(143)가 슬라이드 이동됨에 따라 제품패널의 사이즈에 대응하여 가변슬릿(1433)에 연통되는 편심전달홀(1413)의 개수가 조절되고, 조절된 편심전달홀(1413)의 개수에 대응하여 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114)의 개수가 조절되며, 조절된 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114)의 개수에 대응하여 평행유로(111)의 개수가 조절되므로, 조절된 평행유로(111)에 대응하여 흡착홀(112)의 개수가 조절된다. 조절이 완료된 흡착홀(112)은 제품패널의 하부에 배치된다.When the product panel is seated on the upper part of the adsorption panel 110, as a pair of holding brackets 120 are operated corresponding to the size of the product panel, the product panel is aligned in place in the adsorption panel 110 as well as a pair of The area where the product panel is seated in the adsorption panel 110 is limited by the gripping bracket 120 of the. At this time, the vacuum transfer module 140 is operated in conjunction with the operation of the pair of gripping brackets 120. In other words, as the transmission variable member 143 slides in the eccentric transmission block 141 according to the sliding movement of the gripping bracket 120, the eccentric transmission hole communicates with the variable slit 1433 corresponding to the size of the product panel ( 1413) is adjusted, and the number of the first eccentric holes 113 and the second eccentric holes 114 is adjusted corresponding to the number of the adjusted eccentric transmission holes 1413, and the adjusted first eccentric holes 113 ) and the number of parallel passages 111 corresponding to the number of second eccentric holes 114, the number of suction holes 112 is adjusted corresponding to the adjusted parallel passages 111. The adjusted adsorption hole 112 is disposed at the lower part of the product panel.
이때, 진공펌핑모듈(300)에서 발생된 흡착력은 진공가변라인(210)과 라인결합모듈(220)을 거쳐 스테이지모듈(100)에 전달된다. 스테이지모듈(100)에 전달된 흡착력은 전달가변유로(1432)와 가변슬릿(1433)을 거쳐 파지브라켓(120)에 의해 조절이 완료된 편심전달홀(1413)에 전달되고, 이후 조절이 완료된 제1편심홀(113)과 제2편심홀(114)을 통과하여 최종적으로 조절이 완료된 흡착홀(112)까지 전달되므로, 조절이 완료된 흡착홀(112)에서느 흡착력이 작용하여 적층된 제품패널을 흡착 고정시킬 수 있다.At this time, the adsorption force generated by the vacuum pumping module 300 is transmitted to the stage module 100 via the vacuum variable line 210 and the line coupling module 220 . The adsorption force transmitted to the stage module 100 is transferred to the eccentric transmission hole 1413, which has been adjusted by the gripping bracket 120, through the variable transmission passage 1432 and the variable slit 1433, and then the first, which has been adjusted. Since it passes through the eccentric hole 113 and the second eccentric hole 114 and finally reaches the adsorption hole 112 that has been adjusted, the adsorption force acts in the adsorption hole 112 that has been adjusted to adsorb the stacked product panels. can be fixed.
상술한 진공 스테이지 시스템에 따르면, 스테이지모듈(100)이 제품패널을 흡착 파지할 때, 제품패널의 사이즈에 대응하여 스테이지모듈(100)에서 흡착력이 작용하는 영역을 가변시키는 한편, 스테이지모듈(100)에서 흡착력이 손실되는 것을 방지하고, 스테이지모듈(100)의 슬라이드 이동에 대응하여 진공가변라인(210)의 길이를 가변시키는 한편, 진공가변라인(210)의 처짐을 방지할 수 있다.According to the above-described vacuum stage system, when the stage module 100 adsorbs and holds the product panel, the area where the adsorption force acts in the stage module 100 is varied corresponding to the size of the product panel, while the stage module 100 It is possible to prevent the loss of suction force in the vacuum variable line 210 while varying the length of the vacuum variable line 210 in response to the slide movement of the stage module 100 and preventing the vacuum variable line 210 from sagging.
또한, 장치본체(10)의 세부 결합 관계를 통해 스테이지모듈(100)과 슬라이딩모듈을 정위치에 배치시킬 수 있다.In addition, the stage module 100 and the sliding module can be placed in place through the detailed coupling relationship of the device body 10 .
또한, 슬라이딩모듈의 세부 결합 관계를 통해 장치본체(10)를 기준으로 스테이지모듈(100)을 안정되게 슬라이드 이동시킬 수 있고, 진공가변라인(210)과의 연계성을 명확하게 할 수 있다.In addition, the stage module 100 can be stably slid and moved with respect to the device body 10 through the detailed coupling relationship of the sliding module, and the connection with the vacuum variable line 210 can be clarified.
또한, 스테이지모듈(100)의 세부 결합 관계를 통해 제품패널의 사이즈에 대응하여 제품패널의 흡착 영역 조절 동작과, 제품패널의 정렬 동작을 동시에 구현할 수 있다.In addition, through the detailed coupling relationship of the stage module 100, an adsorption area adjustment operation of the product panel and an alignment operation of the product panel corresponding to the size of the product panel may be implemented simultaneously.
또한, 흡착패널(110)의 세부 결합 관계를 통해 스테이지모듈(100)에서 흡착력에 의한 유체의 이동을 명확하게 하고, 평행유로(111) 간에 유체가 이동되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the movement of fluid by the adsorption force in the stage module 100 can be clarified through the detailed coupling relationship of the adsorption panels 110, and the movement of fluid between the parallel passages 111 can be prevented.
또한, 파지브라켓(120)의 세부 결합 관계를 통해 흡착패널(110)에서 파지브라켓(120)의 슬라이드 이동을 부드럽게 하고, 파지브라켓(120)이 슬라이드 이동될 때, 파지브라켓(120)의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다.In addition, the sliding movement of the gripping bracket 120 is smoothed in the adsorption panel 110 through the detailed coupling relationship of the gripping bracket 120, and the flow of the gripping bracket 120 is reduced when the gripping bracket 120 slides. can be suppressed or prevented.
또한, 파지구동모듈(130)의 세부 결합 관계를 통해 흡착패널(110)에서 한 쌍의 파지브라켓(120)을 동시 구동시켜 제품패널의 정렬과 파지를 동시에 구현할 수 있다.In addition, by simultaneously driving a pair of gripping brackets 120 in the suction panel 110 through the detailed coupling relationship of the gripping drive module 130, alignment and gripping of product panels can be implemented simultaneously.
또한, 진공전달모듈(140)의 세부 결합 관계를 통해 제품패널의 사이즈에 대응하여 흡착력이 작용하는 흡착홀(112)의 개수를 조절하고, 제품패널의 사이즈에서 벗어는 흡착홀(112)에는 흡착력이 작용하지 못하도록 한다.In addition, through the detailed coupling relationship of the vacuum transfer module 140, the number of adsorption holes 112 for which the adsorption force is applied is adjusted in response to the size of the product panel, and the adsorption force is applied to the adsorption hole 112 that is out of the size of the product panel. prevent this from working.
또한, 진공확인모듈(150)의 세부 결합 관계를 통해 제품패널을 흡착하는 흡입력을 측정하거나 관측할 수 있고, 제품패널에 대응하여 흡착력의 조절에 이바지할 수 있다.In addition, it is possible to measure or observe the suction force for adsorbing the product panel through the detailed coupling relationship of the vacuum checking module 150, and contribute to adjusting the suction force in response to the product panel.
또한, 제품감지부(160)의 결합 관계를 통해 제품패널의 이동에 간섭되지 않고, 제품패널의 안착 여부를 간편하게 확인할 수 있다.In addition, it is possible to easily check whether the product panel is seated without interfering with the movement of the product panel through the coupling relationship of the product detecting unit 160 .
또한, 진공가변라인(210)의 세부 결합 관계를 통해 흡착력이 전달되는 과정에서 흡착력의 손실이 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent loss of adsorption force from occurring in the process of transferring adsorption force through the detailed coupling relationship of the vacuum variable line 210 .
또한, 진공가변라인(210)의 세부 결합 관계를 통해 흡착력의 전달에 필요한 배선류의 설치, 밸브류의 동작 및 제어프로그램의 동작을 간소화하고, 원가 절감에 이바지하며, 공정시간을 단축시키고, 생산량을 증가시킬 수 있다.In addition, the detailed coupling relationship of the vacuum variable line 210 simplifies the installation of wiring necessary for the transfer of adsorption force, the operation of valves and the operation of control programs, contributes to cost reduction, shortens process time, and yields can increase
또한, 진공가변라인(210)의 세부 결합 관계를 통해 장치본체(10)에서 스테이지모듈(100)의 슬라이드 이동 거리를 확장시키고, 제품패널의 로딩 범위를 확장시켜 다양한 제품패널의 사이즈에 대응할 수 있다.In addition, the slide movement distance of the stage module 100 in the device main body 10 is extended through the detailed coupling relationship of the vacuum variable line 210, and the loading range of the product panel can be extended to correspond to the size of various product panels. .
또한, 라인결합모듈(220)의 세부 결합 관계를 통해 스테이지모듈(100)과 진공가변라인(210)의 결합을 명확하게 하고, 스테이지모듈(100)과 진공가변라인(210) 사이의 유체 이동을 조절하여 제품패널의 흡입력을 안정화시킬 수 있다.In addition, the coupling between the stage module 100 and the vacuum variable line 210 is clarified through the detailed coupling relationship of the line coupling module 220, and the movement of fluid between the stage module 100 and the vacuum variable line 210 is clarified. The suction power of the product panel can be stabilized by adjusting.
또한, 진공펌핑모듈(300)의 세부 결합 관계를 통해 흡착력을 안정되게 발생시키고, 진공구동부(301)의 오동작에 대응하여 시스템의 오류 및 파손을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to stably generate adsorption force through the detailed coupling relationship of the vacuum pumping module 300 and prevent system failure and damage in response to malfunction of the vacuum driving unit 301 .
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described with reference to the drawings, but those skilled in the art can make various modifications to the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. may be modified or changed.
10: 장치본체
11: 이송바디
12: 이송가이드
13: 이송슬라이더
131: 실린더고정부
132: 스테이지결합부
14: 이송구동부
100: 스테이지모듈
110: 흡착패널
111: 평행유로
112: 흡착홀
113: 제1편심홀
114: 제2편심홀
115: 파지가이드
116: 지지가이드
117: 지지돌부
118: 센서홀
120: 파지브라켓
120-1: 제1브라켓
120-2: 제2브라켓
121: 파지슬라이더
122: 지지슬라이더
130: 파지구동모듈
131: 파지구동부
132: 구동변환부
133: 제1스크류
135: 제2스크류
136: 제2너트부
140: 진공전달모듈
140-1: 제1전달모듈
140-2: 제2전달모듈
141: 편심전달블럭
1411: 편심전달유로
1412: 전달가이드
1413: 편심전달홀
1414: 라인연결부
142: 밀착부재
143: 전달가변부재
1431: 가변관
1432: 전달가변유로
1433: 가변슬릿
1434: 전달슬라이더
150: 진공확인모듈
151: 진공확인홀
152: 진공확인라인
153: 진공확인부
160: 제품감지부
210: 진공가변라인
210-1: 제1가변라인
210-2: 제2가변라인
211: 전달실린더
2111: 가변전달유로
2113: 가변지지부시
2113-1: 제1부시
2113-2: 제2부시
212: 가변실린더
2121: 진공가변유로
2122: 가변슬라이더
2123: 가변밀착부
213: 제1실린더
214: 제2실린더
215: 고정브라켓
216: 라인커넥터
220: 라인결합모듈
221: 실린더결합부
222: 결합챔버부
223: 앵글밸브
300: 진공펌핑모듈
301: 진공구동부
302: 릴리프밸브
303: 헤더
304: 연결라인
310: 제1라인
320: 제2라인
305: 배기부10: device body
11: transfer body 12: transfer guide 13: transfer slider
131: cylinder fixing part 132: stage coupling part 14: transfer driving part
100: stage module
110: adsorption panel 111: parallel passage 112: adsorption hole
113: first eccentric hole 114: second eccentric hole 115: gripping guide
116: support guide 117: support protrusion 118: sensor hole
120: holding bracket 120-1: first bracket 120-2: second bracket
121: gripping slider 122: supporting slider 130: gripping drive module
131: gripping drive unit 132: drive conversion unit 133: first screw
135: second screw 136: second nut part 140: vacuum transfer module
140-1: first transmission module 140-2: second transmission module 141: eccentric transmission block
1411: eccentric transmission passage 1412: transmission guide 1413: eccentric transmission hole
1414: line connection part 142: adhesion member 143: transmission variable member
1431: variable pipe 1432: transmission variable flow path 1433: variable slit
1434: transfer slider 150: vacuum check module 151: vacuum check hole
152: vacuum check line 153: vacuum check unit 160: product detection unit
210: vacuum variable line
210-1: first variable line 210-2: second variable line 211: transfer cylinder
2111: variable transmission passage 2113: variable support bush 2113-1: first bush
2113-2: second bush 212: variable cylinder 2121: vacuum variable flow path
2122: variable slider 2123: variable contact part 213: first cylinder
214: second cylinder 215: fixing bracket 216: line connector
220: line coupling module
221: cylinder coupling part 222: coupling chamber unit 223: angle valve
300: vacuum pumping module
301: vacuum drive unit 302: relief valve 303: header
304: connection line 310: first line 320: second line
305: exhaust part
Claims (6)
상호 이격되어 상기 제2방향을 따라 상기 흡착패널에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 파지브라켓;
한 쌍의 파지브라켓을 상호 접근시키거나 상호 멀어지도록 상기 흡착패널에서 한 쌍의 파지브라켓을 슬라이드 이동시키는 파지구동모듈; 및
상기 제1편심홀과 상기 제2편심홀에 상기 흡착력이 전달되도록 상기 흡착패널의 하부에 상호 이격 배치되고, 한 쌍의 파지브라켓에 각각 결합되며, 한 쌍의 파지브라켓의 슬라이드 이동에 따라 연통되는 상기 제1편심홀과 상기 제2편심홀의 개수를 각각 조절하는 진공전달모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 스테이지 메커니즘.
A plurality of parallel passages in which the product panel is adsorbed and fixed, embedded at equal intervals in parallel with the first direction, and a plurality of suction holes spaced apart at equal intervals along the first direction and formed through the top of the parallel passage; A plurality of first eccentric holes spaced apart from one side along a second direction perpendicular to the first direction and penetrating the lower portion of the parallel passage to the other side, and spaced apart from the first eccentric hole and formed to the other side along the second direction an adsorption panel including a plurality of second eccentric holes spaced apart from and formed through the lower part of the parallel passage to one side;
A pair of holding brackets spaced apart from each other and slidably coupled to the adsorption panel along the second direction;
A gripping drive module for sliding and moving a pair of gripping brackets in the adsorption panel to bring the pair of gripping brackets closer to each other or to move away from each other; and
The first eccentric hole and the second eccentric hole are mutually spaced apart from each other in the lower part of the suction panel so that the suction force is transmitted, coupled to a pair of gripping brackets, and communicated according to the sliding movement of the pair of gripping brackets The vacuum stage mechanism comprising a; vacuum transfer module for adjusting the number of the first eccentric hole and the number of the second eccentric hole, respectively.
상기 흡착패널에서 상기 제품패널을 흡착하는 흡입력을 측정하거나 관측하는 진공확인모듈; 및
상기 흡착패널에서 상기 제품패널의 안착 여부블 감지하는 제품감지부; 중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 스테이지 메커니즘.
According to claim 1,
a vacuum check module for measuring or observing a suction force for adsorbing the product panel in the suction panel; and
a product detecting unit for detecting whether or not the product panel is seated in the adsorption panel; Vacuum stage mechanism further comprising at least one of.
상기 흡착패널에는,
상기 파지브라켓의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 브라켓가이드;가 구비되고,
상기 파지브라켓에는,
상기 브라켓가이드와 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 브라켓슬라이더;가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 스테이지 메커니즘.
According to claim 1 or 2,
In the adsorption panel,
A bracket guide forming a slide movement path of the gripping bracket is provided,
In the gripping bracket,
A vacuum stage mechanism characterized in that it is provided; a bracket slider coupled to the bracket guide and slidable.
상기 흡착패널에는,
안착된 상기 제품패널의 가장자리를 지지하기 위한 지지돌부;가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 스테이지 메커니즘.
According to claim 1 or 2,
In the adsorption panel,
A vacuum stage mechanism, characterized in that it is provided; a support protrusion for supporting the edge of the seated product panel.
상기 파지구동모듈은,
상기 흡착패널의 하부에 구비되어 회전력을 발생시키는 파지구동부;
상기 파지구동부의 회전력을 둘로 양분하는 구동변환부;
상기 구동변환부의 일측에 결합되어 상기 회전력에 의해 회전되는 제1스크류;
한 쌍의 파지브라켓 중 어느 하나에 결합된 상태에서 상기 제1스크류에 나사 결합되는 제1너트부;
상기 구동변환부의 타측에 결합되어 상기 회전력에 의해 회전되는 제2스크류; 및
한 쌍의 파지브라켓 중 다른 하나에 결합된 상태에서 상기 제2스크류에 나사 결합되는 제2너트부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 스테이지 메커니즘.
According to claim 1 or 2,
The gripping drive module,
a gripping driving unit provided at a lower portion of the adsorption panel to generate rotational force;
a drive conversion unit that halves the rotational force of the gripper driving unit;
A first screw coupled to one side of the drive conversion unit and rotated by the rotational force;
A first nut portion screwed to the first screw while being coupled to one of a pair of gripping brackets;
a second screw coupled to the other side of the drive conversion unit and rotated by the rotational force; and
A vacuum stage mechanism comprising: a second nut portion screwed to the second screw while being coupled to the other one of the pair of gripping brackets.
상기 진공전달모듈은,
상기 흡착모듈의 하부에 결합되되, 일측에서 상기 흡착력이 전달되도록 상기 제2방향으로 길게 관통 형성되는 편심전달유로와, 상기 제1편심홀과 상기 제2편심홀 중 어느 하나를 상기 편심전달유로와 1:1 대응으로 연통시키는 다수의 편심전달홀이 포함되는 편심전달블럭; 및
상기 파지브라켓에 결합된 상태에서 상기 편심전달유로의 타측으로 슬라이드 이동 가능하게 결합되고, 상기 편심전달유로의 일측과 연통되도록 상기 흡착모듈의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되고 타측이 폐쇄되는 전달가변유로와, 상기 흡착모듈의 슬라이딩 방향에 수직인 방향으로 길게 관통 형성되어 편심전달유로에서 편심전달홀과 전달가변유로를 연통시키는 가변슬릿이 포함된 전달가변부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 스테이지 메커니즘.
According to claim 1 or 2,
The vacuum transfer module,
An eccentric transmission passage coupled to the lower part of the adsorption module and formed long through in the second direction so that the adsorption force is transmitted from one side, and any one of the first eccentric hole and the second eccentric hole, and the eccentric transmission passage An eccentric transmission block including a plurality of eccentric transmission holes communicating in a 1:1 correspondence; and
In the state of being coupled to the gripping bracket, it is slidably coupled to the other side of the eccentric transmission passage, formed long in a direction perpendicular to the sliding direction of the adsorption module so as to communicate with one side of the eccentric transmission passage, and the other side is closed A variable transmission member including a variable transmission passage and a variable slit formed through a long way in a direction perpendicular to the sliding direction of the adsorption module to communicate the eccentric transmission hole and the variable transmission passage in the eccentric transmission passage. vacuum stage mechanism.
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