KR101117256B1 - A Variable Type Vacuum Table - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 패널이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 부재들을 흡착 고정하는 진공흡착테이블에 관한 것으로서, 다수의 흡착구멍들이 형성된 사각형상의 흡착면을 구비하고, 내부에 상기 흡착구멍들과 소통하는 유로 또는 공간이 형성된 테이블몸체; 상기 흡착면 위쪽에 상기 흡착면의 제1면과 평행한 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 설치되어, 상기 흡착구멍들을 부분적 또는 전체적으로 폐쇄하는 제1차단부재; 상기 제1차단부재를 이동시키는 제1구동수단; 상기 흡착면 위쪽에 상기 흡착면의 제2면과 평행한 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 설치되어, 상기 흡착구멍들을 부분적 또는 전체적으로 폐쇄하는 제2차단부재; 및 상기 제2차단부재를 이동시키는 제1구동수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum adsorption table for adsorbing and fixing thin members such as LCD panels and semiconductor wafers. Formed table body; A first blocking member disposed above the adsorption surface so as to be linearly reciprocated in a direction parallel to the first surface of the adsorption surface to partially or completely close the adsorption holes; First driving means for moving the first blocking member; A second blocking member disposed above the suction surface in a direction parallel to the second surface of the suction surface to partially or completely close the suction holes; And first driving means for moving the second blocking member.

진공흡착, 테이블, 가변 Vacuum Suction, Table, Variable

Description

가변형 진공흡착테이블{A Variable Type Vacuum Table}Variable Vacuum Suction Table {A Variable Type Vacuum Table}

본 발명은 진공흡착테이블에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 피 흡착물의 크기에 따라 진공흡착면적을 가변시킬 수 있는 가변형 진공흡착테이블에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum suction table, and more particularly to a variable vacuum suction table capable of varying the vacuum suction area according to the size of the adsorbed material.

반도체의 웨이퍼나 LCD 또는 PDP 패널의 제조공정에는 이들 부재들을 고정하여 절단하거나 또는 세정하는 공정들이 포함되며, 이러한 공정들에는 웨이퍼나 LCD 패널을 파손시키지 않고 단단히 고정시키기 위한 진공흡착테이블이 설치된다.BACKGROUND OF THE INVENTION A manufacturing process of a wafer or LCD or PDP panel of a semiconductor includes processes for fixing, cutting or cleaning these members, and these processes are provided with a vacuum suction table for firmly fixing the wafer or LCD panel without damaging it.

일반적인 진공흡착테이블(200)은 도 1에 도시된 바와 같이 다수의 다수의 흡착구멍(212)이 형성된 흡착면(210)을 갖는다. 흡착면(210)은 원활한 진공흡착을 위해 피 흡착물의 단면보다 크게 형성되며, 각각의 흡착구멍(212)마다 동일한 진공흡착력을 갖는다.The general vacuum suction table 200 has a suction surface 210 having a plurality of suction holes 212 as shown in FIG. The adsorption surface 210 is formed larger than the cross section of the adsorbed material for smooth vacuum adsorption, and has the same vacuum adsorption force for each adsorption hole 212.

이와 같이 넓은 흡착면(210)을 갖는 진공흡착테이블(200)은 작은 크기의 피 흡착물부터 큰 크기의 피 흡착물까지 모든 범위의 피 흡착물을 제한 없이 흡착할 수 있으므로 매우 편리하다.The vacuum adsorption table 200 having the wide adsorption surface 210 as described above is very convenient because it can adsorb the entire range of the adsorbents from the small sized adsorbate to the large sized adsorbate without limitation.

그러나, 이러한 진공흡착테이블(200)은 작은 크기의 피 흡착물을 흡착 고정 할 경우, 피 흡착물과 접촉하지 않는 흡착구멍(212)을 통해 계속적으로 대기압이 유입되므로, 진공흡착테이블(200)의 전체적인 효율을 떨어지는 문제점이 있다. 예를 들어, 종래 진공흡착테이블(200)은 진공펌프를 통해 -90 ㎪의 진공압력을 걸어도, 위와 같은 진공파괴 현상으로 인해 진공흡착테이블(200)에는 실질적으로 -10 ~ -20 ㎪의 진공압력이 발생하지 않았다.However, when the vacuum adsorption table 200 adsorbs and fixes a small size of the adsorbent, the atmospheric pressure continuously flows through the adsorption hole 212 which does not come into contact with the adsorbate. There is a problem of lowering the overall efficiency. For example, even if the conventional vacuum suction table 200 applies a vacuum pressure of -90 kPa through the vacuum pump, the vacuum pressure of the vacuum suction table 200 is substantially -10 to -20 kPa due to the above vacuum destruction phenomenon. This did not happen.

또한, 피 흡착물의 가장자리가 흡착구멍(212)에 일치되게 배치되지 않는 경우, 피 흡착물의 가장자리에서의 진공압과 피 흡착물의 중앙에서의 진공압 사이에 편차가 발생하여, 피 흡착물이 변형되거나 심한 경우 파손되는 문제점이 발생하기도 한다.In addition, when the edges of the adsorbate are not arranged to match the adsorption holes 212, a deviation occurs between the vacuum pressure at the edge of the adsorbate and the vacuum pressure at the center of the adsorbate, whereby the adsorbate is deformed or In severe cases, the problem of breakage may occur.

이러한 문제점을 감안하여, 도 1의 점선으로 표시한 바와 같이 진공흡착테이블(200)의 내부를 칸막이(230)로 구획하여 진공압의 손실과 피 흡착물의 위치에 따른 진공편차를 최소화를 꾀하고 있다.In view of these problems, the interior of the vacuum adsorption table 200 is partitioned into partitions 230, as indicated by the dotted lines of FIG. 1, to minimize the vacuum deviation due to the loss of vacuum pressure and the position of the adsorbed material. .

그러나 이러한 구조의 진공흡착테이블(200)은 칸막이마다 별도의 진공관을 연결해야 할 뿐만 아니라 각각의 진공관에 밸브를 설치하고 이들 밸브의 개폐를 수시로 제어해야 하는 단점이 있다.However, the vacuum adsorption table 200 having such a structure has a disadvantage in that a separate vacuum tube must be connected to each partition, and valves are installed in each vacuum tube and the opening and closing of these valves is frequently controlled.

아울러, 이러한 구조의 진공흡착테이블(200)은 흡착면(210)의 구획이 이미 설치된 칸막이(230)에 의해 나누어질 뿐 실질적인 피 흡착물의 크기와 일치하지 않으므로, 피 흡착물의 하부 표면과 진공흡착테이블(200)의 흡착면(210) 간의 불일치로 인한 진공압 손실과 피 흡착물의 변형 또는 파손의 문제점을 크게 해소하지 못한다는데 더 큰 단점이 있다.In addition, the vacuum adsorption table 200 having such a structure is divided by the partition 230 in which the partition of the adsorption surface 210 is already installed, and thus does not coincide with the size of the adsorbed substance. There is a further disadvantage in that the problems of vacuum pressure loss and deformation or breakage of the adsorbed material due to inconsistencies between the adsorption surfaces 210 of the 200 are not largely solved.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 피 흡착물의 변형이나 파손 또는 진공압의 손실발생현상을 효과적으로 방지 또는 감소시킬 수 있도록 피 흡착물의 크기에 따라 테이블몸체의 흡착면적을 변형시킬 수 있는 진공흡착테이블을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, a vacuum that can deform the adsorption area of the table body according to the size of the adsorbate in order to effectively prevent or reduce the deformation or breakage of the adsorbate or the occurrence of the loss of vacuum pressure. The purpose is to provide a suction table.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 실시예에 따르면, 다수의 흡착구멍들이 형성된 사각형상의 흡착면을 구비하고, 내부에 상기 흡착구멍들과 소통하는 유로 또는 공간이 형성된 테이블몸체; 상기 흡착면 위쪽에 상기 흡착면의 제1면과 평행한 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 설치되어, 상기 흡착구멍들을 부분적 또는 전체적으로 폐쇄하는 제1차단부재; 상기 제1차단부재를 이동시키는 제1구동수단; 상기 흡착면 위쪽에 상기 흡착면의 제2면과 평행한 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 설치되어, 상기 흡착구멍들을 부분적 또는 전체적으로 폐쇄하는 제2차단부재; 및 상기 제2차단부재를 이동시키는 제1구동수단;을 포함하는 가변형 진공흡착테이블이 제공된다.According to an embodiment of the present invention for achieving the above object, a table body having a rectangular suction surface formed with a plurality of suction holes, the flow passage or space communicating with the suction holes therein; A first blocking member disposed above the adsorption surface so as to be linearly reciprocated in a direction parallel to the first surface of the adsorption surface to partially or completely close the adsorption holes; First driving means for moving the first blocking member; A second blocking member disposed above the suction surface in a direction parallel to the second surface of the suction surface to partially or completely close the suction holes; And a first driving means for moving the second blocking member.

바람직하게는, 상기 테이블몸체의 가장자리에는 상기 차단부재들의 직선 이동을 안내하기 위한 안내홈 또는 안내 돌기가 형성되는 것이 좋다.Preferably, the guide groove or guide protrusion for guiding the linear movement of the blocking members is formed on the edge of the table body.

또한, 바람직하게는, 상기 테이블몸체의 가로 측면(제1측면)에는 상기 제1측면과 평행하고 상기 제1차단부재가 감겨지는 제1축이 회전 가능하게 설치되고, 상 기 테이블몸체의 세로 측면(제2측면)에는 상기 제2측면과 평행하고 상기 제2차단부재가 감겨지는 제2축이 회전 가능하게 설치되는 것이 좋다.In addition, preferably, the horizontal side surface (first side surface) of the table body is provided with a first axis parallel to the first side surface and the first blocking member is wound rotatably, the vertical side surface of the table body It is preferable that a second axis parallel to the second side surface and on which the second blocking member is wound is rotatably provided on the (second side surface).

더욱 바람직하게는, 상기 테이블몸체에는 상기 테이블몸체에 얹어지는 피 흡착물의 크기를 감지하는 센서; 및 상기 센서에서 측정된 피 흡착물의 가로 세로 크기에 따라 상기 제1구동수단과 상기 제2구동수단에 의한 상기 제1차단부재와 상기 제2차단부재의 이동량 또는 이동위치를 결정하는 제어수단을 더 설치되는 것이 좋다.More preferably, the table body includes a sensor for detecting the size of the adsorbed substance placed on the table body; And control means for determining the movement amount or the movement position of the first blocking member and the second blocking member by the first driving means and the second driving means according to the horizontal and vertical size of the adsorbed substance measured by the sensor. It is good to be installed.

본 발명은 테이블몸체에서의 흡착면적을 피 흡착물의 크기(흡착 면적)에 따라 가변 시킬 수 있으므로, 피 흡착물의 보다 확실하게 흡착 고정시킬 수 있다.According to the present invention, the adsorption area in the table body can be varied according to the size (adsorption area) of the object to be adsorbed, so that the object to be adsorbed can be fixed more securely.

또한 본 발명에 따르면, 테이블몸체의 흡착면적이 피 흡착물의 크기와 실질적으로 거의 일치하므로, 피 흡착물에 흡착력(또는 진공압)이 고르게 작용한다. 따라서, 진공펌프를 통해 -90 ㎪의 진공압력을 걸면, 진공펌프에 의한 진공압력의 80 ~ 90% 크기의 진공압력이 진공흡착테이블에 발생하여, 피 흡착물을 단단히 흡착할 수 있다. Further, according to the present invention, since the adsorption area of the table body substantially matches the size of the adsorbed substance, the adsorption force (or vacuum pressure) acts evenly on the adsorbed substance. Therefore, when a vacuum pressure of -90 kPa is applied through the vacuum pump, a vacuum pressure of 80 to 90% of the vacuum pressure by the vacuum pump is generated in the vacuum adsorption table, so that the adsorbed substance can be firmly adsorbed.

그러므로, 본 발명에 따르면, 진공흡착테이블에 종래 기술보다 상대적으로 작은 크기의 진공압력을 형성시켜도 동일한 크기의 피 흡착물을 흡착고정시킬 수 있으므로, 피 흡착물의 진공흡착에 필요한 에너지를 크게 절감시킬 수 있다. 즉, 본 발명은 진공 흡착면을 통해 적은 양의 공기를 흡입하여도, 이를 통해 피 흡착물을 효과적으로 흡착 고정할 수 있으므로, 저 용량의 진공펌프를 사용하거나 또는 고 용량의 진공펌프를 최저 출력으로 사용하여도 원하는 크기의 피 흡착물을 효과적으로 흡착 고정할 수 있다.Therefore, according to the present invention, even if a vacuum pressure of a relatively smaller size is formed on the vacuum adsorption table, the adsorbed substances of the same size can be fixed and adsorbed, thereby greatly reducing the energy required for vacuum adsorption of the adsorbed substances. have. That is, in the present invention, even if a small amount of air is sucked through the vacuum adsorption surface, the adsorbed substance can be effectively adsorbed and fixed therethrough, so that a low capacity vacuum pump or a high capacity vacuum pump is used as the It is also possible to effectively adsorb and fix an adsorbate of a desired size.

또한 본 발명에 따르면, 앞서 언급한 바와 같이 테이블몸체에 의한 흡착력(또는 진공압)이 피 흡착물의 하부 표면에 고르게 작용하므로, 불균일한 흡착력이나 부분적인 흡착력 편차에 의해 피 흡착물이 변형되거나 파손되는 현상 또는 이러한 피 흡착물의 변형 및 파손에 의한 테이블몸체에서의 부분적인 진공파괴(또는 진공압 손실)현상을 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, according to the present invention, as described above, since the adsorption force (or vacuum pressure) by the table body acts evenly on the lower surface of the object to be adsorbed, the adsorbed substance is deformed or damaged due to uneven adsorption or partial adsorption force deviation. Partial vacuum breakage (or vacuum pressure loss) in the table body due to the phenomenon or deformation and breakage of the adsorbed material can be effectively prevented.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다. 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, terms that refer to the components of the present invention are named in consideration of the function of each component, it should not be understood as a meaning limiting the technical components of the present invention.

(제1실시 예)(Embodiment 1)

도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 가변형 진공흡착테이블의 개념을 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 3 및 도 4는 도 2에 나타낸 개념을 보다 구체화한 진공흡착테이블의 A-A 단면도와 B-B 단면도이다.2 is a plan view schematically showing the concept of the variable vacuum suction table according to the first embodiment of the present invention, Figures 3 and 4 are AA and BB cross-sectional view of the vacuum suction table more specifically the concept shown in FIG. .

본 발명에 따른 진공흡착테이블(100)은 테이블몸체(10)의 흡착면(12)에 형성된 흡착구멍(14)을 별도의 차폐수단을 통해 덮어서, 실질적으로 흡착구멍(14)을 통해 피 흡착물(300, 도 6 참조)과 접촉하는 흡착면(12)의 면적을 피 흡착물(300)과 일치시키는 구조에 그 특징이 있다.The vacuum adsorption table 100 according to the present invention covers the adsorption holes 14 formed in the adsorption surface 12 of the table body 10 through separate shielding means, and substantially the adsorption material through the adsorption holes 14. (300, Fig. 6) is characterized in that the structure of the adsorption surface 12 in contact with the object to be adsorbed (300).

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 진공흡착테이블(100)은 테이블몸체(10)의 서로 다른 2 측면에 흡착면(12)의 위쪽으로 수평 이동할 수 있는 적어도 2개의 차단부재(20, 30)를 구비한다. 각각의 차단부재(20, 30)는 흡착면(12)과 거의 동일한 높이로 이동하며, 흡착면(12)의 흡착구멍들(14)을 덮는다. 여기서 제1차단부재(20)는 테이블몸체(10)의 세로 면(도 2 기준임)에 배치되어 X-축 방향으로 왕복 이동하고, 제2차단부재(30)는 테이블몸체(10)의 가로 면에 배치되어 Y-축 방향으로 왕복 이동한다. As shown in FIG. 2, the vacuum suction table 100 of the present invention includes at least two blocking members 20 and 30 that are horizontally movable upwards of the suction surface 12 on two different sides of the table body 10. It is provided. Each of the blocking members 20 and 30 moves to almost the same height as the adsorption surface 12 and covers the adsorption holes 14 of the adsorption surface 12. Here, the first blocking member 20 is disposed on the vertical surface of the table body 10 (refer to FIG. 2) to reciprocate in the X-axis direction, and the second blocking member 30 is horizontal to the table body 10. Disposed on the surface and reciprocating in the Y-axis direction.

한편, 제1차단부재(20)와 제2차단부재(30)은 수평 이동 시 부분적으로 겹쳐질 수 있으므로, 최대한 얇으면서 진공압에 의해 쉽게 주름지거나 이동 시 변형되지 않도록, 소정의 강도를 갖는 판 부재나 두꺼운 필름부재 등으로 제작되는 것이 좋다.On the other hand, since the first blocking member 20 and the second blocking member 30 may partially overlap during horizontal movement, the plate having a predetermined strength so as to be as thin as possible but not easily wrinkled or deformed when moved by vacuum pressure. It is good to be made from a member, a thick film member, or the like.

아울러, 테이블몸체(10)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 각각의 차단부재들(20, 30)이 독립적으로 이동할 수 있는 공간을 갖는 것이 좋다. 각각의 안내 돌기들(18, 19)에 의해 분리되나, 흡착면(12)의 흡착구멍들(14)과 자유롭게 소통될 수 있도록 완전히 개방된 형태를 갖는다. 참고로 안내 돌기들(18, 19)은 각각의 차단부재들(20, 30)이 서로 간섭되지 않고 원활하게 수평 이동할 수 있도록, 차단부재들(20, 30)을 안내하는 구실을 한다. 차단부재들(20, 30)의 직선 왕복운동을 위한 구동수단은 실린더 또는 리니어모터 등 일반적으로 이 분야에서 알려진 직선운동수단을 활용할 수 있다.In addition, the table body 10 may have a space in which the respective blocking members 20 and 30 can move independently, as shown in FIGS. 3 and 4. Separated by the respective guide protrusions 18, 19, but has a completely open form so as to be able to communicate freely with the suction holes 14 of the suction surface (12). For reference, the guide protrusions 18 and 19 serve to guide the blocking members 20 and 30 so that the blocking members 20 and 30 can move horizontally smoothly without interfering with each other. The driving means for linear reciprocation of the blocking members 20 and 30 may utilize a linear movement means generally known in the art, such as a cylinder or a linear motor.

이와 같이 이루어진 제1실시 예의 진공흡착테이블(100)은 2개의 차단부재 들(20, 30)에 의해 흡착면(12)의 흡착가능한 크기가 실질적으로 축소 또는 확대되므로, 피 흡착물(300)을 보다 효과적이면서 안정적으로 흡착 유지할 수 있다.In the vacuum adsorption table 100 of the first embodiment configured as described above, since the adsorbable size of the adsorption surface 12 is substantially reduced or enlarged by the two blocking members 20 and 30, the adsorbed material 300 is reduced. More effective and stable adsorption can be maintained.

(제2실시 예)(Second Embodiment)

도 5는 본 발명의 제2실시 예에 따른 가변형 진공흡착테이블의 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 진공흡착테이블의 작동원리를 설명하기 위한 사용상태 평면도이다.Figure 5 is a perspective view of a variable vacuum suction table according to a second embodiment of the present invention, Figure 6 is a plan view showing the operating principle of the vacuum suction table shown in FIG.

제2실시 예는 차단부재들(20, 30)의 형태에 및 차단부재들(20, 30)의 보관형태와 센서(6)를 더 구비한 점에 있어서, 제1실시 예와 차이를 갖는다. 참고로, 제1실시 예와 동일한 구성요소들은 동일한 도면부호를 사용하며, 이들 구성요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.The second embodiment differs from the first embodiment in that it further includes a sensor 6 and a storage form of the blocking members 20 and 30 and a storage form of the blocking members 20 and 30. For reference, the same components as those of the first embodiment have the same reference numerals, and detailed descriptions of these components will be omitted.

본 실시 예에 따른 가변형 진공흡착테이블(100)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 2개의 축(42, 52)을 더 포함한다. 제1축(42)은 테이블몸체(10)의 가로방향(도 5 기준임)과 평행하게 설치되고, 제2축(52)은 테이블몸체(10)의 세로방향(도 5 기준임)과 평행하게 설치된다. 각각의 축들(42, 52)에는 흡착면(12)의 흡착구멍들(14)을 덮는 차단부재들(20, 30)이 감겨진다. 즉, 제1축(42)에는 테이블몸체(10)의 세로방향(도 6 기준임)을 따라 이동하는 제1차단부재(20)가 감겨지고, 제2축(52)에는 테이블몸체(10)의 가로방향(도 6 기준임)을 따라 이동하는 제2차단부재(30)가 감겨진다. 제1축(42)과 제2축(52)의 끝에는 축들(42, 52)을 정방향 또는 역방향으로 회전시키는 구동수단(40, 50)이 각각 설치된다.The variable vacuum suction table 100 according to the present embodiment further includes two shafts 42 and 52 as shown in FIGS. 5 and 6. The first shaft 42 is installed in parallel with the horizontal direction (see FIG. 5) of the table body 10, and the second axis 52 is parallel to the longitudinal direction (see FIG. 5) of the table body 10. Is installed. Each of the shafts 42 and 52 is wound with blocking members 20 and 30 covering the adsorption holes 14 of the adsorption face 12. That is, the first blocking member 20 moving along the longitudinal direction of the table body 10 (see FIG. 6) is wound around the first shaft 42, and the table body 10 is wound around the second shaft 52. The second blocking member 30 is moved along the horizontal direction (of FIG. 6). At the ends of the first shaft 42 and the second shaft 52, drive means 40, 50 for rotating the shafts 42, 52 in the forward or reverse direction are provided, respectively.

센서(60)는 테이블몸체(10)의 흡착면(12)에 설치된다. 더욱 상세하게는 센 서(60)는 차단부재들(20, 30)의 이동을 간섭하지 않도록 흡착면(12)의 (세로 및 가로방향의) 가장자리에 설치된다. 설치된 센서(60)는 흡착면(12) 위에 얹어진 피 흡착물의 크기를 감지하여 제어수단에 송출하고, 또한, 흡착면(12) 위를 수평 이동하는 각각의 차단부재들(20, 30)의 이동위치를 감지하여 제어수단(도시되지 않음)에 송출한다.The sensor 60 is installed on the suction surface 12 of the table body 10. More specifically, the sensor 60 is installed at the edges (in the vertical and horizontal directions) of the suction surface 12 so as not to interfere with the movement of the blocking members 20 and 30. The installed sensor 60 detects the size of the adsorbed substance placed on the adsorption surface 12 and sends it to the control means, and further, for each of the blocking members 20 and 30 horizontally moving on the adsorption surface 12. The moving position is sensed and sent to the control means (not shown).

다음에서는 이와 같이 이루어진 가변형 진공흡착테이블(100)의 작동상태를 설명하겠다.Next will be described the operating state of the variable vacuum suction table 100 made as described above.

피 흡착물(300)의 가공이나 기타 검사를 위해 테이블몸체(10)의 흡착면(12) 위에 피 흡착물(300)이 얹어지면(이 경우, 피 흡착물(300)은 흡착면(12)의 일 측 모서리(도 6 기준으로는 우측 하단)에 대체로 일치하게 얹어지는 것이 좋다), 센서(60)는 피 흡착물(300)의 크기(세로 및 가로 길이)를 측정하고. 측정된 값을 제어수단에 송출한다. 그러면 제어수단은 센서(60)를 통해 전달된 측정 값을 통해 흡착면(12)에 얹어진 피 흡착물(300)의 크기(특히, 가로 및 세로 길이)를 판단하고, 이를 토대로 제1차단부재(20)와 제2차단부재(30)의 이동변위를 산출한다. 이동변위의 산출이 완료되면, 제어수단은 제1구동수단(40)과 제2구동수단(50)를 순차적으로 작동시켜, 제1차단부재(20)와 제2차단부재(30)가 피 흡착물(300)의 가장자리까지 또는 피 흡착물(300) 주변의 흡착구멍들(14)을 모두 덮는 위치까지 이동시킨다. 차단부재들(20, 30)은 피 흡착물(300)의 흡착 고정에 사용되지 않는 모든 흡착구멍들(특히 피 흡착물(300)의 가장자리에 위치한 흡착구멍들)를 차단하여 이를 통해 진공압이 유실되는 것을 방지하고, 이를 통해 피 흡착물(300)에 진공압이 고르게 작용하도록 도와주는 구실을 한다. 이러한 차단부재들(20, 30)은 피 흡착물(300)에 대한 모든 작업이 끝나면, 제어수단의 제어신호에 따라 작동하는 구동수단들(40, 50)에 의해 본래의 상태(축에 감겨진 상태)로 복귀한다.When the adsorbed material 300 is placed on the adsorption surface 12 of the table body 10 for processing or other inspection of the adsorbed material 300 (in this case, the adsorbed material 300 is the adsorption surface 12). It is preferable that the one side of the edge (the bottom right in Fig. 6 is generally matched), the sensor 60 measures the size (vertical and horizontal length) of the adsorbate 300. The measured value is sent to the control means. Then, the control means determines the size (particularly, horizontal and vertical length) of the adsorbed material 300 mounted on the adsorption surface 12 through the measured value transmitted through the sensor 60, and based on this, the first blocking member The displacement of 20 and the second blocking member 30 is calculated. When the calculation of the movement displacement is completed, the control means operates the first driving means 40 and the second driving means 50 sequentially, so that the first blocking member 20 and the second blocking member 30 are sucked. It moves to the edge of the water 300 or to the position which covers all the adsorption holes 14 around the adsorbate 300. The blocking members 20 and 30 block all the adsorption holes (particularly, the adsorption holes located at the edge of the object to be adsorbed 300) which are not used to fix the adsorption material 300 to be adsorbed. It prevents the loss, and thereby serves to help the vacuum to work evenly on the adsorbed material 300. When the blocking members 20 and 30 have all the work on the absorbent material 300 finished, the blocking members 20 and 30 are wound in their original state by the driving means 40 and 50 operating according to the control signal of the control means. Status).

이와 같이 이루어진 본 발명은 앞서 설명한 바와 같이 피 흡착물(300)의 흡착 고정에 사용되는 흡착구멍들(14)만이 개방되어 진공흡착에 사용되므로, 진공장치의 효율을 높일 수 있으며, 피 흡착물(300)을 고른 진공압으로 흡착할 수 있다.As described above, in the present invention, since only the adsorption holes 14 used for fixing the adsorption material 300 are opened and used for vacuum adsorption, the present invention can increase the efficiency of the vacuum device. 300) can be adsorbed with even vacuum pressure.

한편, 위 실시 예들의 설명과 위 실시 예들에 대한 도면에서는 진공흡착테이블의 흡착면이 다수의 구멍이 형성된 부재로 설명되었으나, 필요에 따라 소결가공을 통해 미세한 구멍이 형성된 소결부재를 흡착면 대용으로 사용할 수 있다. 이러한 소결부재의 사용은 진공압에 의해 형태가 변형되기 쉬운 박판 부재(예를 들어 반도체의 웨이퍼) 등의 진공흡착고정에 유용하게 적용될 수 있다.Meanwhile, in the description of the above embodiments and the drawings for the above embodiments, the adsorption surface of the vacuum adsorption table has been described as a member having a plurality of holes. Can be used. The use of such a sintered member can be usefully applied to the vacuum adsorption fixing of thin plate members (for example, wafers of semiconductors) which are easily deformed by vacuum pressure.

본 발명은 이상에서 설명되는 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.The present invention is not limited only to the embodiments described above, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can be made without departing from the spirit of the technical idea of the present invention described in the claims below. Various changes can be made.

도 1은 종래 진공흡착테이블의 개략적인 구조를 나타낸 평면도이고,1 is a plan view showing a schematic structure of a conventional vacuum suction table,

도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 가변형 진공흡착테이블의 개념을 개략적으로 나타낸 평면도이고,2 is a plan view schematically showing the concept of a variable vacuum suction table according to a first embodiment of the present invention,

도 3 및 도 4는 도 2에 나타낸 개념을 보다 구체화한 진공흡착테이블의 A-A 단면도와 B-B 단면도이고,3 and 4 are sectional views A-A and B-B of the vacuum adsorption table in which the concept shown in FIG. 2 is more specific;

도 5는 본 발명의 제2실시 예에 따른 가변형 진공흡착테이블의 사시도이고,5 is a perspective view of a variable vacuum suction table according to a second embodiment of the present invention,

도 6은 도 5에 도시된 진공흡착테이블의 작동원리를 설명하기 위한 사용상태 평면도이다.FIG. 6 is a plan view illustrating a state of use of the vacuum suction table illustrated in FIG. 5.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >Description of the Related Art

100: 진공흡착테이블 10: 테이블몸체100: vacuum suction table 10: table body

12: 흡착면 14: 흡착구멍12: adsorption surface 14: adsorption hole

16: 공간(또는 유로) 18, 19: 안내 돌기16: space (or euro) 18, 19: guide protrusion

20: 제1차단부재 30: 제2차단부재 20: first blocking member 30: second blocking member

40: 제1구동수단 50: 제2구동수단40: first driving means 50: second driving means

60: 센서60: sensor

Claims (4)

다수의 흡착구멍들이 형성된 사각형상의 흡착면을 구비하고, 내부에 상기 흡착구멍들과 소통하는 유로 또는 공간이 형성된 테이블몸체;A table body having a rectangular suction surface having a plurality of suction holes formed therein and having a flow path or a space communicating therewith; 상기 흡착면 위쪽에 상기 흡착면의 제1면과 평행한 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 설치되어, 상기 흡착구멍들을 부분적 또는 전체적으로 폐쇄하는 제1차단부재;A first blocking member disposed above the adsorption surface so as to be linearly reciprocated in a direction parallel to the first surface of the adsorption surface to partially or completely close the adsorption holes; 상기 제1차단부재를 이동시키는 제1구동수단;First driving means for moving the first blocking member; 상기 흡착면 위쪽에 상기 흡착면의 제2면과 평행한 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 설치되어, 상기 흡착구멍들을 부분적 또는 전체적으로 폐쇄하는 제2차단부재; 및A second blocking member disposed above the suction surface in a direction parallel to the second surface of the suction surface to partially or completely close the suction holes; And 상기 제2차단부재를 이동시키는 제2구동수단을 포함하고,A second driving means for moving the second blocking member; 상기 테이블몸체에는 상기 테이블몸체에 얹어지는 피 흡착물의 크기를 감지하는 센서; 및The table body includes a sensor for sensing the size of the adsorbed substance placed on the table body; And 상기 센서에서 측정된 피 흡착물의 가로 세로 크기에 따라 상기 제1구동수단과 상기 제2구동수단에 의한 상기 제1차단부재와 상기 제2차단부재의 이동량 또는 이동위치를 결정하는 제어수단을 설치한 것을 특징으로 하는 가변형 진공흡착테이블.The control means for determining the movement amount or the movement position of the first blocking member and the second blocking member by the first driving means and the second driving means in accordance with the horizontal and vertical size of the adsorbed substance measured by the sensor. Variable vacuum suction table, characterized in that. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 테이블몸체의 가장자리에는 상기 차단부재들의 직선 이동을 안내하기 위한 안내홈 또는 안내 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 가변형 진공흡착테이블.A variable vacuum suction table, characterized in that the guide groove or guide projection for guiding the linear movement of the blocking members are formed at the edge of the table body. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 테이블몸체의 가로 측면(제1측면)에는 상기 제1측면과 평행하고 상기 제1차단부재가 감겨지는 제1축이 회전 가능하게 설치되고,On the horizontal side surface (first side surface) of the table body, a first shaft parallel to the first side surface and on which the first blocking member is wound is rotatably installed. 상기 테이블몸체의 세로 측면(제2측면)에는 상기 제2측면과 평행하고 상기 제2차단부재가 감겨지는 제2축이 회전 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 가변형 진공흡착테이블.And a second shaft parallel to the second side surface and on which the second blocking member is wound is rotatably installed on a vertical side surface (second side surface) of the table body. 삭제delete
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