KR101597975B1 - 진공 흡착용 멀티-디스크 및 그것을 이용한 진공 그리퍼 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 흡착용 멀티 디스크 및 그것을 이용한 진공 그리퍼 장치에 관한 것이다. 특히 상기 멀티-디스크는, 평면 플레이트의 저면에서 하향 돌출하고 각 내부공간(S2)이 상기 배기홀에 연통하는 다수의 내측 흡착-패드가 평면 배열로 구성된 패드 어레이와, 상기 플레이트의 가장자리 부분에서 하향 돌출하여 상기 패드 어레이를 둘러싸는 외벽을 구성하며, 내부공간(S1)이 상기 내부공간(S2)을 통하여 상기 배기홀에 연통하는 외측 흡착-패드를 포함한다. 그리고 상기 그리퍼 장치는 중공형 챔버를 형성하는 본체에, 중간 쿠션-패드를 선택적으로 구비하며, 상기 멀티-디스크를 접합하여 형성된다.

Description

진공 흡착용 멀티-디스크 및 그것을 이용한 진공 그리퍼 장치 {Multi-disc for vacuum sucking and Vacuum gripper using the same}

본 발명은 진공이송 시스템에서 물품의 홀딩을 위하여 사용되는 진공 그리퍼 장치에 관한 것으로, 특히 물품에 직접 접촉하게 되는 흡착용 수단 및 그것을 이용한 진공 그리퍼에 관한 것이다.

일반적으로 진공이송 시스템은 고속의 압축공기에 의하여 작용하는 진공펌프와, 내부 공간이 상기 진공펌프의 흡입포트에 연통하도록 연결되는 중공형 그리퍼를 포함하여 이루어진다. 그리고 이송 대상물이 상기 그리퍼의 저면에 밀착된 상태에서, 고속의 압축공기가 진공펌프의 일측 유입구로 공급되고 타측 배출구를 통하여 배출된다.

이 과정에서 상기 그리퍼의 내부 공기가 상기 흡입포트를 통하여 진공펌프 내부로 유인되고 압축공기와 함께 외부로 배출된다. 그러면서 그리퍼의 내부 공간에 부압이 발생하고, 이 발생한 부압에 의하여 대상물이 그리퍼 저면에 흡착된다. 이와 같은 작용으로 상기 그리퍼가 물품을 홀딩하게 되면, 로보틱 메카니즘에 따라서 정해진 위치로 물품을 이송할 수 있게 되는 것이다.

상기 그리퍼는 여러 형태의 것이 있을 수 있으나, 보통은 스커트 형태의 소위 '흡착-컵(suction cup)' 또는 '평면형 그리퍼'가 주로 사용된다. 전자의 것은 주지된 바, 연질의 고무재료로서 스커트형으로 성형되는 흡착 수단이다. 그리고 후자의 것은 도 1에 예시되어 있다.

예시된 상기 그리퍼(10)는 표면에 다수의 그립홀(12)이 형성된 흡착 플레이트(11)와, 상기 흡착 플레이트(11)의 상측에 결합되어 내부에 그립홀(12)과 연통하는 부압 챔버(14)를 형성하는 본체부(13)를 포함하며, 상기 챔버(14)와 소통하는 배기용 진공펌프(15)가 그 챔버(14)의 내부에 설치되어 있다. 당연하겠지만, 설계에 따라서 상기 진공펌프(15)는 챔버(14)의 외부에 설치될 수 있다.

상기 흡착 플레이트(11)가 대상물(A)의 표면에 접촉한 상태에서, 압축공기(16)가 상기 진공펌프(15)를 고속으로 통과하면 상기 챔버(14)의 내부 공기가 진공펌프(15) 내부로 유인되고 압축공기와 함께 외부로 배출된다. 그러면서 챔버(14) 에 부압이 발생하고, 이 발생한 부압에 의하여 상기 대상물(A)이 그리퍼(10) 저면에 흡착될 수 있는 것이다.

상기한 평면형 그리퍼(10)가 진공이송 시스템에 적용되어 대상물을 홀딩하고 이송가능한 상태로 유지하는 점에서 유용하게 사용되고 있지만, 여기에는 대상물의 안전한 홀딩을 위한 고려가 부족한 단점이 있다. 즉 단순 그립홀(12) 구조의 그리퍼(10)는 컵 형태의 것에 비하여 대상물에 대한 그립력이 약할 뿐만 아니라, 그 때문에 대상물과의 사이에 부분적인 진공 누설이 생길 경우에도 대상물 자체가 아예 분리되어 버리는 문제가 있다.

이에 대한 대책으로, 상기 흡착 플레이트(11)의 각 그립홀(12)에 또 다른 종류의 그리퍼인 상기 스커트형 흡착-컵을 하나씩 설치하는 방법을 생각해 볼 수도 있다. 그러나 각 홀(12)마다에 흡착-컵을 설치하는 것은 그 작업이 대단히 어렵고 불편할 뿐만 아니라, 설치된 각 흡착-컵이 상기 그립홀(12)로부터 쉽게 떨어져나갈 염려가 크다.

<선행기술 문헌>

대한민국 등록특허 제10-0890191호

대한민국 등록특허 제10-1036797호

대한민국 등록특허 제10-1056705호

대한민국 등록특허 제10-1195176호

본 발명은 상기한 평면형 그리퍼에 다른 종류의 그리퍼인 흡착-패드 특히, 흡착컵 요소들을 효과적으로 적용할 수 있는 방안을 제시한다. 구체적으로, 본 발명의 목적은 다수의 흡착-패드 요소를 효과적으로 설계 및 배치함으로써, 진공 그리퍼 장치에 최적으로 적용될 수 있는 흡착용 멀티-디스크를 제공하고자 하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 소위 평면형 그리퍼에 상기 멀티-디스크를 유효하게 적용함으로써, 부분적 및 전체적 그립력이 향상되는 진공 그리퍼 장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 진공 흡착용 멀티-디스크는:

가요성 재료로서 일체로 성형되는 진공 흡착용 수단으로서.

평면 상에 형성된 하나 이상의 광역용 제1배기홀과 다수의 협역용 제2배기홀을 포함하는 지지 플레이트;

상기 플레이트의 저면에서 하향 돌출하여 형성되고, 각 내부공간(S2)이 상기 제2배기홀에 연통하는 내측 흡착-패드가 평면 배열되어 구성된 패드 어레이;

상기 지지 플레이트의 저면 또는 가장자리 부분에서 하향 돌출하여 형성되어 상기 패드 어레이를 둘러싸는 외벽을 구성하며, 내부공간(S1)이 상기 제1배기홀에 연통하는 외측 흡착-패드;

를 포함하여 이루어진다.

바람직하게 상기 내측 및 외측 외측 흡착-패드는, 선택적으로 또는 동시에, 스커트형으로 확장되는 흡착컵이다. 또한 바람직하게, 상기 지지 플레이트를 기준으로 흡착 대상물의 표면을 향하여:

상기 내측 흡착-패드는 서로 동일한 길이로;

상기 외측 흡착-패드는 상기 내측 흡착-패드에 비하여 같거나 긴 길이로;

돌출된다.

한편, 본 발명의 진공 그리퍼 장치는:

상기 멀티-디스크를 이용하는 그리퍼 장치로서,

진공펌프와 소통하는 부압 챔버가 형성된 중공형 부재로서, 저면에는 상기 챔버에 연통하는 다수의 그립홀이 형성된 그리퍼 본체;

상기 본체의 저면에 상기 지지 플레이트의 상면이 밀착되도록 배치되며, 이때 상기 제1 및 제2 배기홀이 그립홀에 연통하는 상기 멀티-디스크;

를 포함한다.

다른 예에서, 본 발명의 진공 그리퍼 장치는:

역시, 상기 멀티-디스크를 이용하는 그리퍼 장치로서,

진공펌프와 소통하는 부압 챔버가 형성된 중공형 부재로서, 저면에는 상기 챔버에 연통하는 다수의 그립홀이 형성된 그리퍼 본체;

상기 본체의 저면 측에 상기 지지 플레이트의 상면이 대향 배치되는 상기 멀티-디스크;

상기 본체 및 멀티-디스크의 사이에 제공되고 양면이 상기 본체의 저면 및 멀티-디스크의 상면에 밀착 배치되며, 이때 상기 제1 및 제2 배기홀이 그립홀에 연통되도록 하는 다수의 통공이 형성된 쿠션-패드;

를 포함한다.

이상에서, 상기 본체는:

상기 그립홀이 형성된 하부 플레이트와;

상기 하부 플레이트 상에 결합되어 하부 플레이트와의 사이에 상기 챔버를 형성하는 상부 플레이트;

를 포함하여 구성될 수 있다.

본 발명의 진공 흡착용 멀티-디스크는 내측의 패드 어레이와 외측의 흡착-패드를 일체로 포함하여 구성된다. 즉 본 발명에 따르면, 인접 및 내외 관계로 중복 설계 및 배치된 흡착패드가 대상물을 그립하게 되며, 이에 따라 흡착패드 중 어느 일부에서 진공 리키지(leakage)가 생기더라도 보완적으로 배치된 흡착-패드에 의하여 대상물의 안전한 이송이 가능한 효과가 있다.

또한, 상기 흡착-패드들은 멀티-디스크가 그리퍼 본체에 단지 부착됨으로써, 동시에 적용될 수 있다. 바람직하게 상기 흡착-패드는 흡착컵이다. 따라서, 그리퍼 장치에 대한 다수 흡착-패드 특히 흡착컵 요소의 적용이 용이하며, 적용된 각 요소가 견고하게 유지될 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 진공 그리퍼 장치는 상기 멀티-디스크를 이용하는데, 이 경우 흡착컵 요소를 포함하는 그리퍼 장치의 제조가 용이하고 안정적이며, 장치에 적용된 상기 멀티-디스크에 의하여 장치의 부분적 및 전체적 그립력이 향상 및 보강되어 대상물의 안전한 이송이 가능한 효과가 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 평면형 그리퍼의 예시 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 흡착용 멀티-디스크 및 그리퍼 장치를 보인 사시도.
도 3은 도 2의 분해 사시도.
도 4는 도 2의 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 그리퍼 장치의 작용도.

이상에 기재된 또는 기재되지 않은 본 발명의 "진공 흡착용 멀티-디스크"(이하, '멀티-디스크') 및 진공 그리퍼 장치(이하, '그리퍼 장치')의 특징과 효과들은, 이하에서 설명하는 실시예 기재를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 도 2 이하의 도면에서, 본 발명에 따른 '멀티-디스크'가 부호 110으로, '그리퍼 장치'가 부호 100으로 표시되어 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 멀티-디스크(110)는 가요성 재료로서 일체로 성형되는 진공 흡착용 수단이다. 이 멀티-디스크(110)는 평면 형태의 지지 플레이트(111)와, 다수의 내측 흡착-패드(114)로 구성되는 패드 어레이(113), 그리고 외측 흡착-패드(115)를 포함하여 이루어진다. 전체 흡착-패드(114,115)의 레이아웃을 보면:

상기 패드 어레이(113)를 구성하는 내측 흡착-패드(114) 간의 인접 관계; 및

상기 패드 어레이(113)와 외측 흡착-패드(115) 간의 내외 관계;

가 중복하여;

설계되어 있음을 알 수 있다.

구체적으로, 상기 지지 플레이트(111)는 평면 상에 형성된 하나 이상의 광역용 제1배기홀(112a)과 다수의 협역용 제2배기홀(112b)을 포함하는 플레이트로서, 이 지지 플레이트(111)를 기반으로 상기 패드 어레이(113) 및 외측 흡착-패드(115)가 형성되는 것이다. 여기에서 '광역'이라 함은 외측 흡착-패드(115)에 의하여 형성되는 내부공간 'S1'를 의미하며, '협역'이라 함은 각 내측 흡착-패드(114)에 의하여 형성된 내부공간 'S2'을 의미한다.

상기 내측 흡착-패드(114)는 지지 플레이트(111)의 저면에서 하향 돌출하여 형성되고 각각의 내부공간(S2)이 상기 제2배기홀(112b)에 연통하는 흡착요소로서, 다수의 내측 흡착-패드(114)가 평면적으로 인접 배열되어 하나의 패드 어레이(113)를 구성한다. 본 실시예에서 상기 내측 흡착-패드(114)는 하향하면서 스커트형으로 확장되는 소위 흡착컵이지만, 필요에 따라 신축가능한 원통형이나 링형 또는 평면 패드형 기타 다양한 형태로서 성형될 수 있을 것이다.

상기 외측 흡착-패드(115)는 지지 플레이트(111)의 가장자리 부분에서 하향 돌출하여 형성되어 상기 패드 어레이(113)를 둘러싸는 외벽을 구성하며, 그 내부공간(S1)이 상기 제1배기홀(112a)에 연통하는 흡착요소이다. 본 실시예에서 외측 흡착-패드(115)는 내측 흡착-패드(114)와 마찬가지로 하향하면서 스커트형으로 확장되는 소위 흡착컵이지만, 역시 필요에 따라 다른 형태로서 성형될 수 있을 것이다.

바람직하게, 상기 지지 플레이트(111)에서 흡착 대상물의 표면을 향한 직선 거리를 기준으로, 상기 내측 흡착-패드(114)는 서로 동일한 길이(d2)로 돌출되고, 상기 외측 흡착-패드(115)는 상기 내측 흡착-패드(114)에 비하여 바람직하게는 긴 길이(d1)로 돌출된다. 예컨대 상기 외측 흡착-패드(115)가 상기 내측 흡착-패드(114)에 비하여 짧다면, 대상물 표면에 접촉하여야 하는 흡착-패드로서 그 기능을 수행할 수 없게 될 수가 있다.

한편, 상기 상기 지지 플레이트(111)의 저면에는 상기 내측 흡착-패드(114)의 돌출 길이(d1)에 비하여 작게 돌출되어 형성된 다수의 지지 돌기(116)가 내·외측 흡착-패드(114,115)와 중첩되지 않는 적절한 위치에 형성되어 있다. 이 지지 돌기(116)는 대상물 흡착시 내·외측 흡착-패드(114,115)가 과도하게 수축되는 것 또는 대상물이 찌그러지는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.

부호 100은 상기한 멀티-디스크(110)를 이용하여 설계된 본 발명의 진공 그리퍼 장치이다. 본 실시예에서 상기 그리퍼 장치(100)는 상·하 대향 배치된 그리퍼 본체(120)와 상기 멀티-디스크(110), 상기 본체(120) 및 멀티-디스크(110)의 사이에 제공되는 쿠션-패드(130)를 포함하여 이루어진다.

상기 그리퍼 본체(120)는 진공펌프와 소통하는 내부 부압챔버(121)가 형성된 중공형 부재로서, 저면에는 상기 챔버(121)에 연통하는 다수의 그립홀(124)이 형성되어 있다. 도면에서, 본체(120)는 상기 그립홀(124)이 형성된 하부 플레이트(122)와, 상기 하부 플레이트(122) 상에 결합되어 하부 플레이트(122)와의 사이에 상기 챔버(121)를 형성하는 상부 플레이트(123)를 포함하여 구성된다. 다만 본 발명이 상기 본체(120)의 구성에 한정되는 것은 아니며, 이 구성은 간단한 설계변경을 통하여 다양하게 변경될 수 있을 것이다.

본 실시예에서 상기 그립홀(124)은 단순 파이프형 홀이다. 다른 실시예에서, 요구되는 진공속도 또는 진공도 등을 고려하여, 하부 플레이트(122)의 저면에서 챔버(121)를 향하여 폭이 좁아지는 형태로서 깔데기 형태로 설계될 수도 있다. 바람직하게, 상기 그립홀(124)은 제1 및 제2 배기홀(112a,112b)에 비하여 좁게 설계되는데, 이는 공간(S1,S2)에 대한 배기량 및 진공도를 향상시키는데 유리하다.

상기 멀티-디스크(110)가 상기 본체(120)의 저면 측에 그 상면이 대향하도록 배치된다. 도시되지 않았으나, 실제로 상기 그리퍼 본체(120)의 저면에 상기 멀티-디스크(110)의 상면 즉 지지 플레이트(112)의 상면을 접합시켜 본체(120)와 멀티-디스크(110)를 접착재료로 직접 결합하고, 이때 상기 멀티-디스크(110)이 제1 및 제2 배기홀(112a,112b)이 본체(120)의 그립홀(124)에 연통되도록 함으로써 본 발명의 그리퍼 장치를 구성할 수도 있다.

다만 본 실시예에서 그리퍼 장치(100)는, 대향 배치된 상기 그리퍼 본체(120)와 멀티-디스크(110)의 사이에 별도로 제공되고 결합되는 쿠션-패드(130)를 포함하여 이루어진다.

상기 쿠션-패드(130)는 다수의 통공(131)이 형성된 완충용 패드로서, 고무, 스폰지, 우레탄, 실리콘, 다공성 수지 기타 쿠션 재료로 성형된다. 이 쿠션-패드(130)가 본체(120) 및 멀티-디스크(110)의 사이에 제공되고, 그 양면이 상기 본체(120)의 저면 및 멀티-디스크(110)의 지지 플레이트(112) 상면에 밀착되면서 접착재료에 의하여 결합되며, 이때 상기 통공(131)은 각 배기홀(112a,112b)과 그립홀(124)의 연통을 매개한다.

상기 쿠션-패드(130)는 그립퍼 장치(100)와 그립 대상물 간 접촉시 충격을 완화하는 동시에 그립 대상물의 표면 요철에 대하여 멀티-디스크(110)가 유연·탄력적으로 대응할 수 있도록 함으로써, 그리퍼 장치(100)가 대상물 흡착 및 이송함에 있어서 진공 누설이 생기는 것을 방지할 수 있다.

도 5를 참조하면, 진공펌프(P)는 그리퍼 장치(100)의 외부에 배치되고 연결라인을 통하여 본체(120)의 챔버(121)와 소통하고 있다. 그리고 로보틱 장치에 의하여 상기 그리퍼 장치(100)가 이송 대상물(A) 쪽으로 이동하여, 멀티-디스크(110)를 구성하는 외측 흡착-패드(115)가 이송 대상물(A)의 표면에 접촉해 있다.

도면에서 점선은, 그리퍼 장치(100)가 이송 대상물(A)에 접촉할 때 또는 일차로 광역 공간(S1)의 배기가 시작되면서, 외측 흡착-패드(115)의 단부가 외측으로 확장됨에 따라 외측 흡착패드(115)의 거리 'd1'이 내측 흡착-패드(114)의 거리 'd2'만큼 축소되어, 모든 내·외측의 흡착패드(114,115)가 대상물(A) 표면에 접촉한 상태를 나타내는 것이다.

이 상태에서 고속의 압축공기가 진공펌프(P)로 공급(화살표 ① 참조)되면, 챔버(121) 내의 공기가 흡입구을 통하여 진공펌프(P)로 유인(화살표 ② 참조)되고, 압축공기와 함께 배출(화살표 ③ 참조) 되는 것이다. 이 과정에서 상기 멀티-디스크(110)의:

광역 공간(S1)의 내부 공기는 제1배기홀(112a) - 통공(131) - 그립홀(124) - 챔버(121)를 차례로 경유하고(화살표 ⑤ 참조);

협역 공간(S2)의 내부 공기는 제2배기홀(112b) - 통공(131) - 그립홀(124) - 챔버(121)를 차례로 경유하여(화살표 ④ 참조);

여 배기(排氣)된다.

이에 따라, 상기 공간(S1,S2)에 부압 및 진공이 발생하며, 이 발생한 부압에 의하여 대상물(A)이 흡착 및 그립될 수 있는 것이다.

이 때 패드 어레이(113)를 구성하는 각 내측 흡착-패드(114) 및 외측 흡착-패드(115)는 서로 인접한 및 내외적 관계를 가지고 배치되어 있으면서, 각 흡착-패드(114,115)가 그리퍼 장치(100)의 동작시 개별적으로 형성된 부압에 의하여, 역시 개별적으로 대상물(A)에 대한 흡착력 및 그립력을 보유하게 된다. 따라서 흡착-패드(114,115) 중 어느 일부에서 진공 리키지(leakage)가 생기더라도 인접 및 내외 배치된 흡착-패드(114,115)에 의하여 대상물(A)의 안전한 이송이 가능하다.

예컨대 대상물의 표면적이 외측 흡착-패드(115)에 외경에 비하여 작은 경우에도, 패드 어레이(113)를 구성하는 내측 흡착-패드(114) 또는 그의 일부에 의하여 대상물의 흡착 및 그립이 가능하다. 물론 이 경우 사용되지 않는 흡착-패드에 의하여 진공 손실이 발생할 수 있으나 그 정도는 무시해도 좋은 정도일 것이며, 필요하다면 상기한 공간(S1,S2)의 배기라인에 공기의 흐름을 제어하는 체크-밸브를 적정 설치할 수도 있을 것이다.

100. 그리퍼 장치
110. 멀티-디스크
111. 지지 플레이트 112a. 제1배기홀
112b. 제2배기홀 113. 패드 어레이
114. 내측 흡착-패드 115. 외측 흡착-패드
120. 본체
121. 챔버 122. 하부 플레이트
123. 상부 플레이트 124. 그립홀
130. 쿠션-패드
131. 통공
S1,S2. 공간

Claims (9)

1. 가요성 재료로서 일체로 성형되는 진공 흡착용 멀티-디스크로서,
   평면 상에 형성된 하나의 광역 내부공간(S1)을 배기하는 제1배기홀(112a)과 다수의 협역 내부공간(S2)을 각각 배기하는 다수의 제2배기홀(112b)을 포함하는 지지 플레이트(111);
   상기 플레이트(111)의 저면에서 하향 돌출하여 형성되고 각 협역 내부공간(S2)이 각 제2배기홀(112b)에 연통하는 다수의 내측 흡착-패드(114)가 평면 배열되어 구성된 패드 어레이(113);
   상기 지지 플레이트(111)의 가장자리 부분에서 하향 돌출하여 형성되어 상기 패드 어레이(113)를 둘러싸는 외벽을 구성하며, 상기 외벽으로 포위된 광역 내부공간(S1)이 제1배기홀(112a)에 연통하는 외측 흡착-패드(115);
   를 포함하며,
   상기 지지 플레이트(111)에서 흡착 대상물(A)의 표면을 향한 직선 거리를 기준으로, 내측 흡착-패드(114)는 서로 동일한 길이(d2)로, 외측 흡착-패드(115)는 내측 흡착-패드(114)에 비해 긴 길이(d1)로 돌출되고;
   상기 외측 흡착-패드(115)가 이송 대상물(A)의 표면에 접촉해 있다가, 일차로 광역 내부공간(S1)의 배기가 시작되면서, 진공압에 의하여 외측 흡착-패드(115)의 단부가 외측으로 확장되고 외측 흡착패드(115)의 거리 'd1'이 내측 흡착-패드(114)의 거리 'd2'만큼 축소되어, 상기 내·외측의 모든 흡착-패드(114,115)가 대상물(A) 표면에 접촉하는 것;
   을 특징으로 하는 진공 흡착용 멀티-디스크.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 내측 및 외측 외측 흡착-패드(114,115)는, 선택적으로 또는 동시에, 스커트형으로 확장되는 흡착컵인 것을 특징으로 하는 진공 흡착용 멀티-디스크.
   
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 멀티-디스크는:
   상기 지지 플레이트(111)의 저면에서 상기 내측 흡착-패드(114)및 외측 흡착-패드(115)의 돌출 길이에 비하여 작게 돌출되어 형성된 다수의 지지 돌기(116);
   를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착용 멀티-디스크.
   
5. 진공펌프(P)와 소통하는 부압 챔버(121)가 형성된 중공형 부재로서, 저면에는 상기 챔버(121)에 연통하는 다수의 그립홀(124)이 형성된 그리퍼 본체(120);
   상기 본체(120)의 저면에 상기 지지 플레이트(111)의 상면이 밀착되도록 배치되며, 이때 상기 제1 및 제2 배기홀(112a,112b)이 그립홀(124)에 연통하는 제1항 또는 제2항의 멀티-디스크(110);
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼 장치.
   
6. 진공펌프(P)와 소통하는 부압챔버(121)가 형성된 중공형 부재로서, 저면에는 상기 챔버(121)에 연통하는 다수의 그립홀(124)이 형성된 그리퍼 본체(120);
   상기 본체(120)의 저면 측에 상기 지지 플레이트(111)의 상면이 대향 배치되는 제1항 또는 제2항의 멀티-디스크(110);
   상기 본체(120) 및 멀티-디스크(110)의 사이에 제공되고 양면이 상기 본체(120)의 저면 및 멀티-디스크(110)의 상면에 밀착 배치되며, 상기 제1 및 제2 배기홀(112a,112b)이 그립홀(124)에 연통하도록 하는 다수의 통공(131)이 형성된 쿠션-패드(130);
   를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼 장치.
   
7. 제5항에 있어서,
   상기 본체(120)와 멀티-디스크(110)는 밀착 배치되어 접착재료로 접합되는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼 장치.
   
8. 제6항에 있어서,
   상기 본체(120), 쿠션-패드(130), 멀티-디스크(110)는 밀착 배치되어 접착재료로 접합되는 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼 장치.
   
9. 제5항에 있어서,
   상기 그립홀(124)은 제1 및 제2 배기홀(112a,112b)에 비하여 좁게 설계된 것을 특징으로 하는 진공 그리퍼 장치.
   

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