KR101597352B1 - Stage 4 axis parallel alignment device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 4축 병렬 스테이지 얼라인장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD, OLED, 스마트폰 등의 합착을 위해 글라스를 지지하는 스테이지를 전후좌우 방향으로 위치를 이동시킬 수 있도록 하는 구성과 카메라의 구성을 통해 스테이지의 얼라인을 수행할 수 있도록 한 4축 병렬 스테이지 얼라인장치에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a four-axis parallel stage aligning apparatus, and more particularly, to a four-axis parallel stage aligning apparatus for aligning a stage supporting a glass for aligning an LCD, an OLED, The present invention relates to a four-axis parallel stage alignment apparatus capable of performing alignment of a stage through a configuration.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 디스플레이 패널(LCD) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 한 장의 대형 글래스 기판(glass substrate) 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB)(이하, 통칭하여 "기판"이라 합니다) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들(예를 들어, 전극 회로 패턴, 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix) 또는 외장형 전자파 차단(EMI: electromagnetic interference) 필터를 형성하여야 한다. 이러한 패턴들은 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)(이하, 통칭하여 "도액"이라 합니다)에 의해 형성된다.In general, in order to manufacture a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display panel (LCD), or an organic light emitting diode (OLED), a single large glass substrate or a printed circuit A plurality of the same or different patterns (for example, an electrode circuit pattern, a color filter, or the like) such as electrodes or dots on a substrate (hereinafter referred to as a "substrate" for example, a photoresist (PR) solution or a copper (Cu), silver (Ag) or silver (Ag) (Hereinafter collectively referred to as "coating solution") such as aluminum (Ag) or aluminum (Al)
전술한 바와 같은 평판 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 기판이 스테이지 상에 위치되어야 한다. 그 후, 예를 들어 스테이지 상에 위치된 기판 상에서 코팅 공정 또는 패턴 형성 공정, 노광 공정, 에칭 공정, 또는 접착제 도포 및 본딩 공정 등의 다양한 공정이 수행된다. In order to manufacture a flat panel display (FPD) as described above, the substrate must be placed on the stage. Thereafter, various processes such as a coating process or a pattern forming process, an exposure process, an etching process, or an adhesive application and bonding process are performed on a substrate placed on a stage, for example.
한편, 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인장치는 복수의 기판이 장착되는 스테이지, 스테이지의 하부에 장착되며 스테이지의 X축, Y축, Z 축 및 θ축 방향의 얼라인을 제어하기 위한 하나의 얼라인 장치 및 얼라인 장치에 제공되며 얼라인 장치를 X축, Y축, 및 Z 축 방향으로 선형 이동하고 θ축 방향으로 회전 이동하도록 구동하는 제 1 내지 제 4 구동부재의 구성으로 이루어진다. On the other hand, the conventional stage aligning apparatus includes a stage on which a plurality of substrates are mounted, a stage which is mounted on the lower portion of the stage, and which has one alignment portion for controlling alignment of the stage in the X-, Y-, And the first to fourth driving members provided in the apparatus and the aligning apparatus and linearly moving the aligning apparatus in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions and rotationally moving in the? -Axis direction.
그러나, 전술한 바와 같이 구성된 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인장치는 복수의 기판에 대해 얼라인이 개별적으로 이루어지므로 얼라인에 소요되는 시간이 증가하므로 전체 공정 시간(tact time)이 증가하는 문제가 있다.However, since the stage aligning apparatus according to the related art, which is constructed as described above, has a problem in that the total processing time (tact time) is increased because the time required for alignment is increased because the aligning is performed individually for a plurality of substrates .
또한, 전술한 바와 같은 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인장치를 구성하는 각도 조절기구는 백래시에 의한 정밀도 문제를 갖는 경우가 많다는 문제가 있음은 물론, 이러한 일반적인 각도 조절기구는 정밀도를 올리기 위해서는 가격이 매우 비싸다는 문제가 있다.In addition, there is a problem that the angle adjusting mechanism constituting the stage aligning apparatus according to the related art as described above often has a problem of precision due to backlash, and in addition, there is a problem that such a general angle adjusting mechanism is very expensive There is a problem that it is expensive.
더구나, 전술한 바와 같은 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인장치를 구성하는 각도 조절기구를 XYR로 쌓아 올리면 장비 공간을 많이 차지한다는 문제는 물론, XYR 기구는 센터를 관통하는 구조가 필요할 경우 구현이 어렵다는 문제가 있다.In addition, when the angle adjusting mechanism constituting the stage aligning apparatus according to the related art as described above is stacked up with XYRs, there is a problem that the XYR mechanism takes up a lot of equipment space, .
본 발명은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, LCD, OLED, 스마트폰 등의 합착을 위해 글라스를 지지하는 스테이지를 전후좌우 방향으로 위치를 이동시킬 수 있도록 하는 구성과 카메라의 구성을 통해 글라스 상의 마커 이미지를 촬상하여 스테이지의 얼라인을 수행할 수 있도록 한 4축 병렬 스테이지 얼라인장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve all of the problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a structure for allowing a stage supporting a glass to move its position in the front, back, left and right directions for attaching LCDs, OLEDs, smart phones, The present invention is directed to a four-axis parallel stage aligning apparatus capable of aligning a stage by picking up an image of a marker on a glass.
또한, 본 발명에 따른 기술의 다른 목적은 슬라이딩 블록을 U·V·W방향의 3개 모터를 구동시켜 리니어가이드를 따라 이송시킬 수 있도록 하는 구성과 테이블의 움직임에 따라 결정되는 롤링핀의 구성을 통해 4축 병렬 스테이지 구조를 제공하여 스테이지의 얼라인을 수행할 수 있도록 함으로써 백래시에 의한 정밀도 문제를 해결할 수 있도록 함에 그 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a structure in which a sliding block can be moved along a linear guide by driving three motors in the directions of U, V, and W and a structure of a rolling pin determined according to the movement of the table The present invention has been made to solve the problem of precision caused by backlash by providing a four-axis parallel stage structure through which a stage can be aligned.
아울러, 본 발명에 따른 기술의 또 다른 목적은 슬라이딩 블록을 U·V·W방향의 3개 모터를 구동시켜 리니어가이드를 따라 이송시킬 수 있도록 하는 구성과 테이블의 움직임에 따라 결정되는 롤링핀의 구성을 통해 4축 병렬 스테이지 구조를 제공함으로써 장비의 가격 경쟁력을 확보할 수 있도록 합에 그 목적이 있다.It is a further object of the present invention to provide a structure in which a sliding block can be moved along a linear guide by driving three motors in the directions of U, V, and W, and a structure of a rolling pin To provide a four-axis parallel stage structure to ensure the price competitiveness of the equipment.
나아가, 본 발명에 따른 기술은 슬라이딩 블록을 U·V·W방향의 3개 모터를 구동시켜 리니어가이드를 따라 이송시킬 수 있도록 하는 구성과 테이블의 움직임에 따라 결정되는 롤링핀의 구성을 통해 4축 병렬 스테이지 구조를 제공함으로써 공간을 차지하지 않는 구조의 스테이지 얼라인장치를 제공함에 그 목적이 있다.Furthermore, according to the technique of the present invention, the sliding block can be driven along the linear guide by driving three motors in the directions of U, V, and W, and a configuration of the rolling pin determined by the movement of the table. And it is an object of the present invention to provide a stage alignment apparatus which does not occupy space by providing a parallel stage structure.
전술한 목적을 달성하기 위해 구성되는 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치는 LCD, OLED, 스마트폰용 글라스의 합착 과정에서 상하 글라스 상에 형성된 마커의 위치 보정 과정에서 스테이지의 얼라인이 이루어질 수 있도록 하는 스테이지 얼라인장치에 있어서, 일정 크기의 사각형 형태로 이루어진 정반; 정반의 상부면 모서리 방향 각각에 전후 및 좌우 동일 간격으로 착탈 가능하게 설치되는 지지플레이트; 지지플레이트 각각에 설치 고정되는 가이드 블록; 가이드 블록 각각의 상부면 상에 슬라이딩 가능하게 설치되어지되 대각선 방향의 쌍 중 한 쌍은 전후 방향으로 슬라이딩되고 다른 한 쌍은 좌우 방향으로 슬라이딩되는 슬라이딩 블록; 지지플레이트 중 3개 이상에 설치되어 슬라이딩 블록을 이송시키는 이송모터; 슬라이딩 블록의 이송 방향과는 상호 직교하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 슬라이딩 블록 각각의 상부면 상에 설치되는 롤링핀; 롤링핀에 의해 지지되는 스테이지; 및 정반의 양측 또는 전후의 상부면 상에 길이 방향으로 이송 가능하게 설치되어 글라스 상에 형성된 마커의 이미지를 촬상하는 이미지 촬상수단을 포함한 구성으로 이루어진다.The present invention configured to achieve the above-described object is as follows. That is, the four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention is a stage aligning apparatus for aligning a stage in the process of correcting the position of a marker formed on the upper and lower glass in the process of attaching the glass for LCD, OLED, A base having a rectangular shape of a predetermined size; A support plate detachably installed at each of the front, rear, right and left sides at the same intervals in the top surface corner direction of the table; A guide block installed and fixed to each of the support plates; A sliding block slidably mounted on the upper surface of each of the guide blocks, wherein a pair of diagonally opposite pairs of sliding blocks are slid in the forward and backward direction and the other pair of the sliding blocks are slid in the left and right direction; A feed motor installed at three or more of the support plates to feed the sliding block; A rolling pin installed on an upper surface of each of the sliding blocks so as to be slidable in a direction perpendicular to the direction of travel of the sliding block; A stage supported by the rolling pin; And an image pickup means for picking up an image of a marker formed on the glass so as to be transported in the longitudinal direction on both sides or front and back upper surfaces of the table.
전술한 본 발명에 따른 구성에서 가이드 블록 각각의 상부면에 설치되는 슬라이딩 블록은 리니어가이드에 의해 슬라이딩 가능하게 설치됨이 보다 양호하다.In the above-described structure according to the present invention, the sliding block provided on the upper surface of each of the guide blocks is preferably slidable by a linear guide.
그리고, 본 발명에 따른 구성에서 롤링핀은 슬라이딩 블록 각각의 상부면 상에 리니어가이드에 의해 슬라이딩 가능하게 설치되는 핀블록; 및 핀블록의 상부면 각각의 중심에 일정 높이로 설치 고정되어 스테이지를 지지하는 지지축의 구성으로 이루어질 수 있다.Further, in the structure according to the present invention, the rolling pin includes a pin block slidably installed on the upper surface of each of the sliding blocks by a linear guide; And a supporting shaft which is fixedly installed at a predetermined height in the center of the upper surface of the pin block to support the stage.
또한, 본 발명에 따른 구성에서 스테이지의 얼라인시 롤링핀은 글라스의 합착 과정에서 이송모터의 구동에 따른 슬라이딩 블록의 슬라이딩에 의해 이송되는 스테이지의 이송에 끌려가도록 구성됨이 보다 양호하다.Further, in the structure according to the present invention, it is preferable that the aligning rolling pin of the stage is configured to be attracted to the conveyance of the stage conveyed by the sliding of the sliding block as the conveying motor is driven in the process of attaching the glass.
아울러, 본 발명에 따른 구성에서 이미지 촬상수단은 정반의 좌우의 상부면 또는 전후의 상부면 상에 길이 방향으로 설치된 LM가이드; LM가이드 상에 설치되어 길이 방향으로 슬라이딩되는 LM블록; LM블록을 LM가이드 상에서 길이 방향으로 슬라이딩되도록 하는 리니어모터; LM블록에 일정 높이로 절곡되게 구성되는 지지대; 및 지지대의 끝단에 설치되어 상하의 두 글라스 상에 마킹된 마커를 촬상하는 CCD 카메라의 구성으로 이루어질 수 있다.In addition, in the configuration according to the present invention, the image pickup means includes an LM guide provided in the longitudinal direction on the left and right upper surfaces or front and rear upper surfaces of the table; An LM block installed on the LM guide and sliding in the longitudinal direction; A linear motor for sliding the LM block in the longitudinal direction on the LM guide; A support member configured to be bent at a predetermined height on the LM block; And a CCD camera installed at an end of the support to pick up markers marked on the upper and lower two glasses.
전술한 바와 같은 본 발명에 따른 구성에는 지지플레이트 각각의 양측에 상하로 관통 형성되는 고정홈; 및 지지플레이트의 고정홈에 대응하는 정반 각각의 위치에 돌출 형성되어 지지플레이트의 고정홈과의 결합을 통해 정반에 지지플레이트를 위치 고정시키는 고정핀으로 이루어져 지지플레이트의 180도 방향 전환이 가능하도록 하는 지지플레이트 고정수단이 더 구성될 수 있다.In the above-described structure according to the present invention, a fixing groove is formed on both sides of each of the support plates, And a fixing pin protruding from a position of each of the base plates corresponding to the fixing groove of the support plate and fixing the support plate to the base plate through engagement with the fixing groove of the base plate, The support plate fixing means can be further configured.
본 발명에 따른 기술은 슬라이딩 블록을 U·V·W방향의 3개 모터를 구동시켜 리니어가이드를 따라 이송시킬 수 있도록 하는 구성과 테이블의 움직임에 따라 결정되는 롤링핀의 구성을 통해 4축 병렬 스테이지 구조를 제공함으로써 글라스 상의 마커 이미지를 촬상하여 스테이지의 얼라인을 수행할 수 있도록 한다.According to the technique of the present invention, the sliding block is driven by three motors in the U, V, and W directions so as to be able to be traversed along the linear guide, and the structure of the rolling pin determined by the movement of the table, Structure is provided to image the marker image on the glass so that the stage can be aligned.
또한, 본 발명에 따른 기술은 슬라이딩 블록을 U·V·W방향의 3개 모터를 구동시켜 리니어가이드를 따라 이송시킬 수 있도록 하는 구성과 테이블의 움직임에 따라 결정되는 롤링핀의 구성을 통해 4축 병렬 스테이지 구조를 제공하여 스테이지의 얼라인을 수행할 수 있도록 함으로써 백래시에 의한 정밀도 문제를 해결할 수 있음은 물론, 장비의 가격 경쟁력을 확보와 공간을 차지하지 않는 구조의 스테이지 얼라인장치를 제공할 수가 있다.Further, according to the technique of the present invention, the sliding block can be moved along the linear guide by driving three motors in the directions of U, V, and W, and the structure of the rolling pin determined by the movement of the table, It is possible to provide a stage alignment device capable of solving the problem of precision due to backlash by providing a parallel stage structure and performing alignment of the stage, have.
도 1 은 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치를 간략하게 보인 사시 구성도.
도 2 는 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 슬라이딩 블록의 구조를 보인 사시 구성도.
도 3 은 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 전체적인 구성을 보인 사시 구성도.
도 4 는 본 발명에 다른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 플레이트 지그와 마커시트의 결합을 보인 사시 구성도.
도 5 는 본 발명에 다른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 마커 배치 완료 상태를 보인 사시 구성도.1 is a perspective view of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a four-axis parallel stage aligning apparatus.
FIG. 3 is a perspective view showing the overall configuration of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention. FIG.
4 is a perspective view showing a combination of a plate jig and a marker sheet of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention.
FIG. 5 is a perspective view of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to another embodiment of the present invention. FIG.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 양호한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1 은 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치를 간략하게 보인 사시 구성도, 도 2 는 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 슬라이딩 블록의 구조를 보인 사시 구성도, 도 3 은 본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 전체적인 구성을 보인 사시 구성도, 도 4 는 본 발명에 다른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 플레이트 지그와 마커시트의 결합을 보인 사시 구성도, 도 5 는 본 발명에 다른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치의 마커 배치 완료 상태를 보인 사시 구성도이다.FIG. 2 is a perspective view showing a structure of a sliding block of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention. FIG. 3 is a perspective view of a four- FIG. 4 is a perspective view showing a combination of a plate jig and a marker sheet of a four-axis parallel stage aligning apparatus according to the present invention, and FIG. 5 Axis parallel stage aligning apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 본 발명에 다른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치(100)는 일정 크기의 사각형 형태로 이루어진 정반(110), 정반(110)의 상부면 모서리 방향 각각에 전후 및 좌우 동일 간격으로 착탈 가능하게 설치되는 지지플레이트(120), 지지플레이트(120) 각각에 설치 고정되는 가이드 블록(130), 가이드 블록(130) 각각의 상부면 상에 슬라이딩 가능하게 설치되어지되 대각선 방향의 쌍 중 한 쌍은 전후 방향으로 슬라이딩되고 다른 한 쌍은 좌우 방향으로 슬라이딩되는 슬라이딩 블록(140), 지지플레이트(120) 중 3개 이상에 설치되어 슬라이딩 블(140)록을 이송시키는 이송모터(150), 슬라이딩 블록(140)의 이송 방향과는 상호 직교하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 슬라이딩 블록(140) 각각의 상부면 상에 설치되는 롤링핀(160), 롤링핀(160)에 의해 지지되는 스테이지(170) 및 정반(110)의 양측 또는 전후의 상부면 상에 길이 방향으로 이송 가능하게 설치되어 글라스 상에 형성된 마커의 이미지를 촬상하는 이미지 촬상수단을 포함한 구성으로 이루어진다.As shown in FIGS. 1 to 5, a four-axis parallel
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 스테이지 얼라인장치(100)는 스테이지(170)의 상부로 위치되는 하부측 글라스(10) 상에 마킹된 마커(12)와 얼라이너에 의해 이송된 상부측 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)의 오차를 보정하여 스테이지(170)의 얼라인이 이루어질 수 있도록 하는 것으로, 마커(12, 22)의 오차 보정을 통해 스테이지(170)의 얼라인 과정을 살펴보면 다음과 같다.The
먼저, 본 발명은 스테이지(170)의 얼라인을 위해 하부 글라스(10)를 대체하여 도 4 및 도 5 에 도시된 바와 같이 스테이지(170)의 상부면에 고정되는 플레이트 지그(200)의 상부측으로 레이저 프린팅된 마커시트(210)를 접착 고정한다. 이때, 마커시트(210)의 일측에는 마커(212)가 마킹되어져 있다.First, the present invention can be applied to the upper side of the
전술한 바와 같이 구성된 스테이지 얼라인장치(100)를 통한 스테이지(170)의 얼라인 과정을 살펴보면 마커시트(210) 상에 마킹된 마커(212)와 얼라이너에 의해 이송된 상부측 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)의 오차 보정을 위해 이미지 촬상수단을 통해 상하의 글라스(20)와 마커시트(210)에 마킹된 마커(22, 212)를 촬상하여 얼라인장치(100) 전반을 제어하는 제어부의 오차 보정 알고리즘을 통해 연산한다.The alignment process of the
다음으로, 전술한 바와 같이 오차 보정 알고리즘을 통해 연산된 보정 데이터를 통해 제어부는 이송모터(150)를 구동시켜 슬라이딩 블록(140)을 이송시킴으로써 마커시트(210) 상에 마킹된 마커(212)와 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)를 일치시켜 스테이지(170)의 얼라인이 이루어질 수 있도록 한다.Next, the control unit drives the
전술한 바와 같은 과정에서 슬라이딩 블록(140)은 제어부의 제어하에 구동되는 이송모터(150)에 의해 그 위치가 결정된다. 이때, 스테이지(170)의 얼라인시 롤링핀(160)은 이송모터(150)의 구동에 따른 슬라이딩 블록(140)의 슬라이딩에 의해 이송되는 스테이지(170)의 이송에 끌려가도록 구성된다.In the process described above, the position of the sliding
다시 말해서, 전술한 바와 같은 롤링핀(160)은 슬라이딩 블록(140) 각각의 상부면 상에 리니어가이드(160a)에 의해 슬라이딩 가능하게 설치되는 핀블록(162) 및 핀블록(162)의 상부면 각각의 중심에 일정 높이로 설치 고정되어 스테이지(170)를 지지하는 지지축(164)의 구성으로 진 것으로, 롤링핀(160)의 운동은 자유스러우며 그 위치는 스테이지(170)의 움직임에 따라 결정되도록 구성된다.In other words, the
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 스테이지 얼라인장치(100)는 이미지 촬상수단에 의한 마커(22, 212)의 이미지 촬상하여 촬상된 이미지를 통해 오차 보정 알고리즘에 의한 연산한 다음, 연산 데이터를 통해 이송모터(150)를 구동시켜 슬라이딩 블록(140)을 이송시킴으로써 스테이지의(170)를 움직여 마커시트(210) 상의 마커(212)와 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)를 일치시킨다. 이처럼 마커시트(210) 상의 마커(212)와 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)를 일치시켜 오차를 보정함으로써 스테이지(170)의 얼라인이 이루어질 수 있도록 한다.As described above, the
본 발명에 따른 4축 병렬 스테이지 얼라인장치(100)를 구성하는 각각의 구성요소를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 먼저, 본 발명을 구성하는 정반(110)은 정확하고 평평하게 다듬질된 평면의 금속이나 돌로 만든 판을 말하는 것으로, 이러한 정반(110)은 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 사각형 형태로 평판으로 이루어진다.Each component constituting the four-axis parallel
다음으로, 본 발명을 구성하는 지지플레이트(120)는 이송모터(150)의 위치와 방향을 모든 조합으로 구성할 수 있도록 하기 위한 것으로, 이러한 지지플레이트(120)는 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 평판의 형태로 형성되어 정반(110)의 상부면 모서리 방향 각각에 전후 및 좌우 동일 간격으로 착탈 가능하게 설치된다.Next, the
한편, 전술한 바와 같이 구성되는 지지플레이트(120)는 지지플레이트 고정수단을 통해 위치와 방향을 전환시킬 수 있도록 구성된다. 이때, 지지플레이트 고정수단은 지지플레이트(120) 각각의 양측에 상하로 관통 형성되는 고정홈(190) 및 지지플레이트(120)의 고정홈(190)에 대응하는 정반(110) 각각의 위치에 돌출 형성되어 지지플레이트(120)의 고정홈(190)과의 결합을 통해 정반(110)에 지지플레이트(120)를 위치 고정시키는 고정핀(192)으로 이루어진다.Meanwhile, the
전술한 바와 같이 구성된 지지플레이트 고정수단은 도 3 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 대칭의 한 쌍은 좌우 양측으로 구성되고, 개칭의 다른 한 쌍은 전후로 구성되어 지지플레이트(120)의 각각을 180도 방향 전환이 가능하도록 한다. 이처럼 지지플레이트(120)의 방향이 전환되면 가이드 블록(130)과 슬라이딩 블록(140) 및 이송모터(150)의 위치 및 방향이 전환된다.3 to 5, the pair of symmetrical pairs is constituted of both right and left sides, and the other pair of the pair of the supporting plates is constituted forward and rearward, so that each of the
다음으로, 본 발명을 구성하는 가이드 블록(130)은 리니어가이드(140a)를 통해 슬라이딩 블록(140)을 슬라이딩 가능하게 가이드하기 위한 것으로, 이러한 가이드 블록(130)은 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 지지플레이트(120) 각각에 설치 고정되어진다.Next, the
전술한 바와 같이 구성되는 가이드 블록(130)은 슬라이딩 블록(140)의 슬라이딩시 가이드 방향을 살펴보면 4개의 가이드 블록(130) 중 전방 왼쪽의 가이드 블록(130)과 대칭 방향의 후방 오른쪽의 가이드 블록(130)은 전후로 슬라이딩 블록(140)의 슬라이딩이 이루어질 수 있도록 가이드하고, 4개의 가이드 블록(130) 중 전방 오른쪽의 가이드 블록(130)과 대칭 방향의 후방 왼쪽의 가이드 블록(130)은 좌우로 슬라이딩 블록(140)의 슬라이딩이 이루어질 수 있도록 가이드하는 구성으로 이루어진다.When the
다음으로, 본 발명을 구성하는 슬라이딩 블록(140)은 U방향, V방향 및 W방향으로의 이송을 통해 스테이지(170)의 움직임이 있도록 하는 것으로, 이러한 슬라이딩 블록(140)은 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 가이드 블록(130) 각각의 상부면 상에 슬라이딩 가능하게 설치되어지되 대각선 방향의 쌍 중 한 쌍은 전후 방향으로 슬라이딩되고 다른 한 쌍은 좌우 방향으로 슬라이딩되는 구성으로 이루어진다.Next, the
전술한 바와 같은 슬라이딩 블록(140)의 구성에서 슬라이딩 블록(140)은 가이드 블록(130)과의 사이에 구성되는 리니어가이드(140a)를 통해 슬라이딩 가능하게 설치되어진다. 이때, 앞서도 기술한 바와 같이 대각선 방향의 두 쌍으로 이루어지는 슬라이딩 블록(140)은 한 쌍은 전후 방향으로 슬라이딩되고 다른 한 쌍은 좌우 방향으로 슬라이딩 되어진다.The
한편, 전술한 바와 같은 슬라이딩 블록(140)의 구성에서 슬라이딩 블록(140)의 이송방향은 도 2 에 도시된 바와 같이 후방 오른쪽에 구성된 슬라이딩 블록(140)의 전후로의 이송방향을 U방향, 전방 왼쪽에 구성된 슬라이딩 블록(140)의 전후로의 이송방향을 V방향 그리고, 전방 오른쪽에 구성된 슬라이딩 블록(140)의 좌우로의 이송방향을 W방향이라 하여 XY방향과는 구별하여 설명하기로 한다.2, the forward direction of the
다음으로, 본 발명을 구성하는 이송모터(150)는 슬라이딩 블록(140)를 U방향, V방향 및 W방향으로의 이송시키기 위한 것으로, 이러한 이송모터(150)는 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 지지플레이트(120) 중 3개 이상에 설치되어 구동을 통해 슬라이딩 블록(140)이 U방향, V방향 및 W방향으로 이송될 수 있도록 한다.Next, the
전술한 바와 같이 본 발명에서는 이송모터(150)를 U방향, V방향 및 W방향의 3개만 설치하여 슬라이딩 블록(140)의 이송이 이루어질 수 있도록 하였다. 이때, 이송모터(150)가 설치되지 않는 나머지 한 개의 슬라이딩 블록(140)은 이송모터(150)의 구동에 의해 이송이 이루어지는 3개의 슬라이딩 블록(140)에 의해 움직이는 스테이지(170)에 의해 슬라이딩이 이루어진다.As described above, in the present invention, only three of the
다음으로, 본 발명을 구성하는 롤링핀(160)은 스테이지(170)를 지지하는 것으로, 이러한 롤링핀(160)은 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 슬라이딩 블록(140)의 이송 방향과는 상호 직교하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 슬라이딩 블록(140) 각각의 상부면 상에 설치된다.The
전술한 바와 같은 롤링핀(160)은 앞서도 기술한 바와 같이 슬라이딩 블록(140) 각각의 상부면 상에 리니어가이드(160a)에 의해 슬라이딩 가능하게 설치되는 핀블록(162) 및 핀블록(162)의 상부면 각각의 중심에 일정 높이로 설치 고정되어 스테이지(170)를 지지하는 지지축(164)의 구성으로 이루어진다. 이때, 슬라이딩 블록(140)의 이송 방향과는 상호 직교하는 방향으로 슬라이딩되는 구성은 리니어가이드(160a)에 의해 슬라이딩 블록(140) 각각의 상부면 상에 설치되는 필블록(162)에 의해 이루어진다.The
다시 말해서, 전술한 바와 같이 롤링핀(160)을 구성하는 핀블록(162)은 슬라이딩 블록(140) 각각에 리니어가이드(160a)를 통해 슬라이딩 가능하게 설치되어지되 핀블록(162)은 슬라이딩 블록(140)의 슬라이딩 방향과는 직교하는 방향으로 슬라이딩되도록 구성된다. 이때, 좌우 이송되는 핀블록(162)을 X방향이라 하고, 전후 이송되는 핀블록(162)을 Y방향이라 한다.In other words, as described above, the
아울러, 앞서 기술한 바와 같이 이송모터(150)의 구동에 따른 슬라이딩 블록(140)의 U방향과 V방향 및 W방향 이송에 따라 스테이지(170)의 움직임이 발생과 움직이는 스테이지(170)에 의해 끌려 핀블록(162)의 X방향과 Y방향의 이송이 이루어지면 핀블록(162)의 상부면에 구성되는 지지축(164)의 회전이 이루어진다. 이때, 지지축(164)의 좌우 회전방향을 R방향이라 한다.As described above, movement of the
다시 말해서, 본 발명에 따른 기술은 이송모터(150)의 구동에 의해 슬라이딩 블록(140)의 U방향과 V방향 및 W방향 이송이 이루어지면 스테이지(170)의 움직임이 발생하게 되고, 이에 따라 스테이지(170)의 끌림에 의해 롤링핀(160)은 X방향과 Y방향의 이송과 R방향 회전이 이루어지게 된다.In other words, according to the present invention, movement of the
전술한 바와 같은 슬라이딩 블록(140)의 U방향과 V방향 및 W방향 이송, 스테이지(170)의 움직임, 롤링핀(160)의 X방향과 Y방향 이송과 R방향 회전이 이루어지는 가운데 스테이지(170) 상부에 구성되는 마커시트(210)의 마커(212)와 마커시트(210) 상부로 얼라이너에 의해 위치되는 글라스(20) 상의 마커(22)가 일치되면 스테이지(170)의 얼라인이 이루어졌다고 볼 수 있다.The
다음으로, 본 발명을 구성하는 스테이지(170)는 상부측으로 하부측 글라스(10)를 지지하기 위한 것으로, 이러한 스테이지(170)는 도 1 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 롤링핀(160)을 구성하는 지지축(164)에 의해 지지되어진다.Next, the
전술한 바와 같이 구성되는 스테이지(170)의 상부면에는 스테이지(170)의 얼라인을 위해 플레이트 지그(200)와 플레이트 지그(200)의 상부측으로 부착되는 레이저 프린팅된 마커시트(210)가 구성된다. 이때, 마커시트(210)의 일측에는 마커(212)가 마킹되어져 있다.A laser-printed
한편, 전술한 바와 같은 마커시트(210) 상에 마킹된 마커(212)와 얼라이너에 의해 이송된 상부측 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)의 오차 보정을 통해 스테이지(170)의 얼라인은 앞서 기술한 바와 같이 이미지 촬상수단을 통한 이미지 촬상으로부터 이루어진다.On the other hand, by correcting the error of the marker marked on the
다음으로, 본 발명을 구성하는 이미지 촬상수단은 마커시트(210) 상에 마킹된 마커(212)와 얼라이너에 의해 이송된 상부측 글라스(20) 상에 마킹된 마커(22)의 오차 보정을 통해 스테이지(170)의 얼라인을 하기 위한 것으로, 이러한 이미지 촬상수단은 도 3 내지 도 5 에 도시된 바와 같이 정반(110)의 양측 또는 전후의 상부면 상에 길이 방향으로 이송 가능하게 설치되어 마커시트(210) 상에 마킹된 마커(212)와 글라스(20) 상에 형성된 마커(22)의 이미지를 촬상하는 이미지 촬상수단을 포함한 구성으로 이루어진다.Next, the image pick-up means constituting the present invention corrects the error of the
한편, 전술한 바와 같이 구성되는 이미지 촬상수단은 정반(110)의 좌우의 상부면 또는 전후의 상부면 상에 길이 방향으로 설치된 LM가이드(180), LM가이드(180) 상에 설치되어 길이 방향으로 슬라이딩되는 LM블록(182), LM블록(182)을 LM가이드(180) 상에서 길이 방향으로 슬라이딩되도록 하는 리니어모터(184), LM블록(182)에 일정 높이로 절곡되게 구성되는 지지대(186) 및 지지대(186)의 끝단에 설치되어 마커(22, 212)의 이미지를 촬상하는 CCD 카메라(188)의 구성으로 이루어진다.On the other hand, the image pickup means constructed as described above is provided on the left and right upper surfaces or front and rear upper surfaces of the
전술한 바와 같이 구성된 이미지 촬상수단은 마커시트(210)의 상부측으로 얼라이너를 통해 글라스(20)를 위치시킨 상태에서 리니어모터(184)의 구동을 통해 CCD 카메라(188)를 마커(22, 212)의 위치로 이송시켜 촬상이 이루어질 수 있도록 한다.The image pickup means constructed as described above moves the
이상에서와 같이 본 발명에 따른 기술은 슬라이딩 블록(140)을 U·V·W방향의 3개 모터(150)를 구동시켜 리니어가이드(140a)를 따라 이송시킬 수 있도록 하는 구성과 스테이지(170)의 움직임에 따라 그 위치가 결정되는 롤링핀(160)의 구성을 통해 글라스(10, 20) 상의 마커 이미지를 촬상하여 스테이지의 얼라인을 보다 용이하게 수행 할 수 있도록 한다.As described above, according to the present invention, the sliding
또한, 본 발명에 따른 기술은 전술한 바와 같은 단순한 구성을 통해 백래시에 의한 정밀도 문제를 해결할 수 있음은 물론, 장비의 가격 경쟁력을 확보와 공간을 차지하지 않는 구조의 장비를 제공할 수가 있다.Also, the technology according to the present invention can provide a device that can solve the precision problem due to backlash through a simple configuration as described above, and also can secure cost competitiveness of equipment and occupy no space.
본 발명은 전술한 실시 예에 국한되지 않고 본 발명의 기술사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수가 있다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made within the scope of the technical idea of the present invention.
10. 하부측 글라스 12. 마커
20. 상부측 글라스 22. 마커
100. 스테이지 얼라인장치 110. 정반
120. 지지플레이트 130. 가이드 블록
140. 슬라이딩 블록 150. 이송모터
160. 롤링핀 170. 스테이지
180. LM가이드 182. LM블록
184. 리니어모터 186. 지지대
188. CCD 카메라 190. 고정홈
192. 고정핀 200. 플레이트 지그
210. 마커시트 212. 마커10.
20.
100.
120.
140. Sliding
160.
180.
184.
188.
192. Fixing
210.
Claims (6)
일정 크기의 사각형 형태로 이루어진 정반;
상기 정반의 상부면 모서리 방향 각각에 전후 및 좌우 동일 간격으로 착탈 가능하게 설치되는 지지플레이트;
상기 지지플레이트 각각에 설치 고정되는 가이드 블록;
상기 가이드 블록 각각의 상부면 상에 슬라이딩 가능하게 설치되어지되 대각선 방향의 쌍 중 한 쌍은 전후 방향으로 슬라이딩되고 다른 한 쌍은 좌우 방향으로 슬라이딩되는 슬라이딩 블록;
상기 지지플레이트 중 3개 이상에 설치되어 상기 슬라이딩 블록을 이송시키는 이송모터;
상기 슬라이딩 블록의 이송 방향과는 상호 직교하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 슬라이딩 블록 각각의 상부면 상에 설치되는 롤링핀;
상기 롤링핀에 의해 지지되는 스테이지;
상기 정반의 양측 또는 전후의 상부면 상에 길이 방향으로 이송 가능하게 설치되어 글라스 상에 형성된 마커의 이미지를 촬상하는 이미지 촬상수단; 및
상기 지지플레이트 각각의 양측에 상하로 관통 형성되는 고정홈과 상기 지지플레이트의 고정홈에 대응하는 상기 정반 각각의 위치에 돌출 형성되어 상기 지지플레이트의 고정홈과의 결합을 통해 상기 정반에 지지플레이트를 위치 고정시키는 고정핀으로 이루어져 상기 지지플레이트의 180도 방향 전환이 가능하도록 하는 지지플레이트 고정수단을 포함한 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4축 병렬 스테이지 얼라인장치.1. A stage aligning apparatus for aligning a stage in a process of correcting a position of a marker formed on a vertical glass in an adhesion process of a glass for an LCD, an OLED, and a smartphone,
A rectangular plate having a predetermined size;
A support plate detachably installed at each of the front, back, left and right sides of the base in the top surface corner direction;
A guide block installed and fixed to each of the support plates;
A sliding block slidably installed on an upper surface of each of the guide blocks, wherein a pair of diagonally opposite pairs of sliding blocks are slid in the forward and backward direction and the other pair is slid in the left and right direction;
A feed motor installed at three or more of the support plates to feed the sliding block;
A rolling pin installed on an upper surface of each of the sliding blocks so as to be slidable in a direction orthogonal to the conveying direction of the sliding block;
A stage supported by the rolling pin;
Image pickup means for picking up an image of a marker formed on a glass, which is provided so as to be transported in the longitudinal direction on both sides or front and rear upper surfaces of the table; And
And a support plate protruding from the support plate at positions corresponding to the fixing grooves of the support plate and being coupled to the fixing grooves of the support plate, And a support plate fixing means for fixing the position of the support plate so that the support plate can be rotated 180 degrees.
상기 핀블록의 상부면 각각의 중심에 일정 높이로 설치 고정되어 상기 스테이지를 지지하는 지지축의 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4축 병렬 스테이지 얼라인장치.The sliding block of claim 1, wherein the rolling pin is a pin block slidably mounted on a top surface of each of the sliding blocks by a linear guide. And
And a support shaft installed and fixed to a center of each of the upper surfaces of the pin block at a predetermined height to support the stage.
상기 LM가이드 상에 설치되어 길이 방향으로 슬라이딩되는 LM블록;
상기 LM블록을 상기 LM가이드 상에서 길이 방향으로 슬라이딩되도록 하는 리니어모터;
상기 LM블록에 일정 높이로 절곡되게 구성되는 지지대; 및
상기 지지대의 끝단에 설치되어 상하의 두 글라스 상에 마킹된 마커를 촬상하는 CCD 카메라의 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4축 병렬 스테이지 얼라인장치.The image pickup apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the image pickup means comprises: an LM guide provided in a longitudinal direction on left and right upper surfaces or front and rear upper surfaces of the table;
An LM block installed on the LM guide and sliding in the longitudinal direction;
A linear motor for sliding the LM block in the longitudinal direction on the LM guide;
A support member configured to be bent at a predetermined height to the LM block; And
And a CCD camera provided at an end of the support to pick up markers marked on two upper and lower glass plates.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150050450A KR101597352B1 (en) | 2015-04-09 | 2015-04-09 | Stage 4 axis parallel alignment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150050450A KR101597352B1 (en) | 2015-04-09 | 2015-04-09 | Stage 4 axis parallel alignment device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101597352B1 true KR101597352B1 (en) | 2016-02-25 |
Family
ID=55446125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150050450A KR101597352B1 (en) | 2015-04-09 | 2015-04-09 | Stage 4 axis parallel alignment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101597352B1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101781550B1 (en) * | 2016-04-20 | 2017-09-26 | 주식회사 신성이엔지 | Cassette align port |
| KR20190050253A (en) | 2017-11-02 | 2019-05-10 | 인베니아 주식회사 | Multi-align assembly for substrate and multi-align apparatus having the same |
| CN111142570A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-12 | 广州中国科学院先进技术研究所 | High-precision parallel platform with alignment demonstration function |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100218015B1 (en) | 1991-02-19 | 2000-03-15 | 김종온 | Method for constructing tunnel |
| KR20080034375A (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-21 | 주식회사 에스에프에이 | Printer |
| JP2012071403A (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Ihi Corp | Four-axis alignment stage |
| KR20130031481A (en) | 2011-09-21 | 2013-03-29 | 주식회사 나래나노텍 | Improved stage align device and method, and coating apparatus and printing apparatus having the same |
| KR101351250B1 (en) | 2013-02-07 | 2014-01-14 | 세광테크 주식회사 | Align stage apparatus for substrate inspection equipment |
| KR20140087809A (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-09 | 엘아이지에이디피 주식회사 | Alignment Method for Bonding LCD Panel and Cover Glass |
-
2015
- 2015-04-09 KR KR1020150050450A patent/KR101597352B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100218015B1 (en) | 1991-02-19 | 2000-03-15 | 김종온 | Method for constructing tunnel |
| KR20080034375A (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-21 | 주식회사 에스에프에이 | Printer |
| JP2012071403A (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Ihi Corp | Four-axis alignment stage |
| KR20130031481A (en) | 2011-09-21 | 2013-03-29 | 주식회사 나래나노텍 | Improved stage align device and method, and coating apparatus and printing apparatus having the same |
| KR20140087809A (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-09 | 엘아이지에이디피 주식회사 | Alignment Method for Bonding LCD Panel and Cover Glass |
| KR101351250B1 (en) | 2013-02-07 | 2014-01-14 | 세광테크 주식회사 | Align stage apparatus for substrate inspection equipment |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101781550B1 (en) * | 2016-04-20 | 2017-09-26 | 주식회사 신성이엔지 | Cassette align port |
| KR20190050253A (en) | 2017-11-02 | 2019-05-10 | 인베니아 주식회사 | Multi-align assembly for substrate and multi-align apparatus having the same |
| CN111142570A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-12 | 广州中国科学院先进技术研究所 | High-precision parallel platform with alignment demonstration function |
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