KR20190050253A - Multi-align assembly for substrate and multi-align apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a multi-align assembly for a substrate, which aligns at least two substrates, and a multi-align device for a substrate, having the same. According to the present invention, the multi-align assembly for a substrate includes: an actuator unit; a pair of align units installed between at least two substrates and pressing each substrate in an opposite direction in accordance with the operation of the actuator unit; a connection unit installed between the pair of align units and the actuator unit and having a pair of links rotating in accordance with the operation of the actuator unit, wherein each align unit is individually installed on one side of the connection unit; and a guide roller inserted into the other side of the pair of links and connected to the actuator unit, wherein the guide roller slides in accordance with the operation of the actuator unit and rotates the pair of links. Therefore, the multi-align assembly for a substrate can align at least two substrates by the pair of align units and the connection unit installed between the at least two substrates and rotating in accordance with the operation of the actuator unit. The multi-align assembly for a substrate can improve processing efficiency of the substrate and can prevent the substrate from being damaged.

Description

기판용 멀티 얼라인 조립체 및 이를 갖는 기판용 멀티 얼라인 장치{MULTI-ALIGN ASSEMBLY FOR SUBSTRATE AND MULTI-ALIGN APPARATUS HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer assembly for a substrate and a multi-

본 발명은 기판용 멀티 얼라인 조립체 및 이를 갖는 기판용 멀티 얼라인 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 적어도 2개의 기판을 얼라인 시키는 기판용 멀티 얼라인 조립체 및 이를 갖는 기판용 멀티 얼라인 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer assembly for a substrate and a multilayer assembly for a substrate having the same, and more particularly, to a multilayer assembly for a substrate for aligning at least two substrates and a multi- .

일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 디스플레이 패널(LCD) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)와 같은 평판 디스플레이는 한 장의 대형 글라스 기판(glass substrate) 또는 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB) 등과 같은 기판 상에 식각 또는 코팅 등의 공정처리에 의해서 제조 된다.In general, a flat panel display such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display panel (LCD), or an organic light emitting diode (OLED) has a substrate such as a large glass substrate or a printed circuit board By a process such as etching or coating.

여기서, 디스플레이 제조에 사용되는 기판은 공정 공간으로 공급되기 전에 얼라인 또는 공정 공간에 공급된 후 얼라인 된다. 이러한 기판의 얼라인은 기판의 공정처리 시의 불량, 즉 수율 저하를 방지하기 위한 중요한 공정 과정이다.Here, the substrate used for display manufacture is supplied to the aligning or processing space before being supplied to the processing space, and is then aligned. Alignment of such a substrate is an important process step for preventing defects in the processing of the substrate, that is, reduction in yield.

한편, 기판의 얼라인은 기판의 공정 처리 효율을 향상시키기 위한 중요 요소로서 최근 적어도 2개의 기판 얼라인과 같이 복수 개의 기판을 얼라인 하는 방식이 증가하는 추세이다. 예를 들어, 유기 발광 다이오드 제조 공정 상 특정 세대의 크기를 갖는 2개의 기판을 동시에 로딩 해야 할 필요가 있다. 2개의 기판이 적재수단 또는 로딩수단에 동시에 로딩될 때, 돌기 등에 의해서 얼라인 된다.On the other hand, alignment of the substrate is an important factor for improving the processing efficiency of the substrate, and in recent years, a method of aligning a plurality of substrates such as at least two substrate alignments is increasing. For example, there is a need to simultaneously load two substrates of a certain generation size in an organic light emitting diode manufacturing process. When the two substrates are simultaneously loaded on the loading means or the loading means, they are aligned by protrusions or the like.

그런데, 종래의 얼라인 장치는 2개의 기판이 동시에 적재수단으로 진입될 때 기판과 얼라인을 위한 돌기가 충돌하여 기판의 파손을 초래할 수 있는 문제점이 있다. 또한, 기판을 얼라인 하는 돌기 이외에도 물리적인 구조를 갖는 얼라인 수단이 배치될 때도 기판과 얼라인 수단의 물리적인 충돌에 의한 기판의 파손이 발생될 수 있는 우려가 있다.However, the conventional aligning apparatus has a problem that, when two substrates are simultaneously introduced into the stacking means, protrusions for aligning with the substrate collide with each other to cause breakage of the substrate. In addition, there is a concern that when the aligning means having a physical structure is arranged in addition to the protrusion for aligning the substrate, the substrate may be damaged due to a physical collision between the substrate and the aligning means.

대한민국 등록특허공보 제10-1597352호; 4축 병렬 스테이지 얼라인장치Korean Patent Publication No. 10-1597352; 4-axis parallel stage alignment device

본 발명의 목적은 적어도 2개의 기판이 인입된 후 적어도 2개의 기판을 얼라인 할 수 있도록 구조가 개선된 기판용 멀티 얼라인 조립체 및 이를 갖는 기판용 멀티 얼라인 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a multilayer assembly for a substrate having improved structure so that at least two substrates can be aligned after at least two substrates are drawn, and a multi-aligning apparatus for a substrate having the multilayer assembly.

상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 액추에이터부와, 적어도 2개의 기판 사이에 배치되며 상기 액추에이터부의 작동에 따라 각각의 상기 기판을 상호 반대 방향으로 가압하는 한 쌍의 얼라인부와, 상기 액추에이터부와 한 쌍의 상기 얼라인부 사이에 배치되며 일측에는 각각의 상기 얼라인부가 개별적으로 배치되고 상기 액추에이터부의 작동에 따라 회전 운동되는 한 쌍의 링크를 갖는 연결부와, 한 쌍의 상기 링크의 타측에 삽입되고 상기 액추에이터부에 연결되며 상기 액추에이터부의 작동에 따라 슬라이딩 이동되어 한 쌍의 상기 링크를 회전 운동시키는 가이드롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체에 의해 이루어진다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including an actuator section, a pair of alignment sections disposed between at least two substrates and pressing each of the substrates in opposite directions in accordance with an operation of the actuator section, And a pair of link portions which are disposed between the pair of the alignment portions and on one side of which the alignment portions are individually disposed and which are rotated in accordance with the operation of the actuator portion, And a guide roller connected to the actuator and slidably moving according to the operation of the actuator to rotate the pair of links.

여기서, 상기 연결부는 한 쌍의 상기 링크를 상호 연결하고 각각의 상기 링크가 회전 운동되는 회전축선을 형성하는 회전축과, 상기 가이드롤러가 삽입되어 슬라이딩 이동 되도록 한 쌍의 상기 링크의 타측에 형성되는 슬릿을 더 포함할 수 있다.Here, the connection portion may include a rotation axis for connecting a pair of links and forming a rotation axis line in which each of the links is rotated, and a slit formed on the other side of the pair of links, As shown in FIG.

한 쌍의 상기 링크는 상기 슬릿에 삽입된 상기 가이드롤러의 슬라이딩 이동에 따라 상기 회전축을 중심으로 상호 반대 방향으로 회전 운동될 수 있다.The pair of links may be rotated in opposite directions about the rotation axis in accordance with the sliding movement of the guide rollers inserted in the slits.

한 쌍의 상기 얼라인부는 적어도 2개의 상기 기판 사이에 배치되어 각각의 상기 기판을 상호 반대 방향으로 가압하는 얼라인 위치와 각각의 상기 기판으로부터 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 왕복 이동될 수 있다.A pair of the alignment portions may be reciprocated between an alignment position disposed between at least two of the substrates and pressing each of the substrates in opposite directions and a release position being released from each of the substrates.

상기 가이드롤러는 상기 슬릿을 따라 슬라이딩 이동되어 한 쌍의 상기 얼라인부를 상기 얼라인 위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동시킬 수 있다.The guide roller is slidable along the slit to reciprocate a pair of the alignment portions between the alignment position and the release position.

한 쌍의 상기 링크는 상호 상이한 길이를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.And the pair of links may have mutually different lengths.

한 쌍의 상기 링크는 한 쌍의 상기 얼라인부가 상기 해제위치일 때 동일선상에서 상호 적층 배치되며, 한 쌍의 상기 얼라인부는 상기 해제위치일 때 상호 평행하게 배치될 수 있다.A pair of the links may be stacked mutually on the same line when the pair of the alignment portions are in the release position and the pair of alignment portions may be arranged parallel to each other when the release portion is in the release position.

상기 액추에이터부는 외부로부터 공급 및 배출되는 유체압에 따라 신축 운동되는 벨로우즈와, 상기 벨로우즈 및 상기 가이드롤러에 결합되며 상기 벨로우즈의 신축 운동에 연동되어 상기 가이드롤러를 상기 슬릿을 따라 슬라이딩 이동시키는 리니어 이동부를 포함할 수 있다.The actuator unit includes a bellows that is stretchable and contractible in response to a fluid pressure supplied and discharged from the outside, a linear moving unit coupled to the bellows and the guide roller and slidably moving the guide roller in association with the expansion and contraction movement of the bellows, .

또한, 상기 기판용 멀티 얼라인 조립체는 상기 리니어 이동부에 적어도 2개가 배치되고 상기 리니어 이동부의 이동에 연동되어 한 쌍의 상기 얼라인부의 이동 방향의 가로 방향으로 이동되는 사이드 얼라인부를 더 포함할 수 있다.The substrate multi-aligning assembly may further include a side aligning portion disposed at least two in the linear moving portion and being moved in the transverse direction of the moving direction of the pair of alignment portions interlocked with the movement of the linear moving portion .

상기 사이드 얼라인부는 한 쌍의 상기 얼라인부가 상기 얼라인 위치에 위치될 때, 상기 기판에 대한 한 쌍의 상기 얼라인부의 가압 방향의 가로 방향으로 상기 기판을 가압할 수 있다.The side aligning portion can press the substrate in the lateral direction of the pressing direction of the pair of alignment portions with respect to the substrate when the pair of alignment portions are located at the alignment position.

한편, 상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 적어도 2개의 기판을 동일 평면상에 적재시키는 적재유닛과, 상기 적재유닛의 중앙 영역에 상호 대향 배치되어 적어도 2개의 상기 기판을 얼라인 시키는 상술한 구성들 중 어느 하나의 기판용 멀티 얼라인 조립체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 장치에 의해서도 이루어진다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a stacking unit for stacking at least two substrates on the same plane according to the present invention; And a multilayer assembly for a substrate of any one of the structures.

여기서, 상기 기판용 멀티 얼라인 조립체를 사이에 두고 배치되어 각각의 상기 기판을 상기 액추에이터부의 이동 방향을 따라 개별적으로 가압하는 제 1얼라인유닛과, 각각의 상기 기판에 대해 적어도 2개가 배치되어 상기 제 1얼라인유닛의 가압 방향의 가로 방향으로 각각의 상기 기판을 가압하는 제 2얼라인유닛을 더 포함할 수 있다.A first aligning unit disposed in the substrate multi-aligning assembly so as to individually press the respective substrates along the moving direction of the actuator unit; and a second aligning unit disposed at least two of the substrates, And a second aligning unit for pressing each of the substrates in the transverse direction of the pressing direction of the first aligning unit.

기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명에 따른 기판용 멀티 얼라인 조립체 및 기판용 멀티 얼라인 장치의 효과는 적어도 2개의 기판 사이에 배치되며 액추에이터부의 작동에 따라 회전 운동되는 연결부와 한 쌍의 얼라인부에 의해 적어도 2개의 기판 사이를 상호 얼라인 시킬 수 있으므로, 기판의 파손 방지와 함께 기판의 공정처리 효율을 향상시킬 수 있다.The effect of the substrate multi-aligning assembly and the substrate multi-aligning apparatus according to the present invention is achieved by providing a connecting portion which is disposed between at least two substrates and is rotated according to the operation of the actuator portion, It is possible to prevent breakage of the substrate and to improve the processing efficiency of the substrate.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 장치의 개략 구성도,
도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ의 확대도,
도 3은 도 2에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 측면도,
도 4는 도 2에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 일부 구성도,
도 5는 도 1에 도시된 기판용 멀티 얼라인 장치의 기판에 대한 개략 구성 배치도,
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 조립체의 작동도,
도 7은 도 6에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 측면도,
도 8은 도 6에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 일부 구성도,
도 9는 도 6에 따른 기판용 멀티 얼라인 장치의 기판에 대한 개략 구성 배치도이다.1 is a schematic configuration diagram of a substrate multi-aligning apparatus according to an embodiment of the present invention,
Fig. 2 is an enlarged view of II shown in Fig. 1,
FIG. 3 is a side view of the multilayer assembly for a substrate shown in FIG. 2,
4 is a partial schematic view of the multilayer assembly for a substrate shown in Fig. 2,
Fig. 5 is a schematic configuration diagram of the substrate of the substrate multi-aligning apparatus shown in Fig. 1,
6 is an operational view of a multi-aligner assembly for a substrate according to an embodiment of the present invention;
FIG. 7 is a side view of the multilayer assembly for a substrate shown in FIG. 6;
8 is a partial structural view of the multilayer assembly for a substrate shown in Fig. 6,
Fig. 9 is a schematic configuration diagram of the substrate of the substrate multi-aligning apparatus according to Fig. 6; Fig.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 조립체 및 이를 갖는 기판용 멀티 얼라인 장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a multilayer board for a substrate according to an embodiment of the present invention and a substrate multi-aligner having the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

설명하기에 앞서, 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 조립체는 2개의 기판 사이에 상호 대향으로 2개가 배치되나, 3개의 기판을 얼라인 할 때는 4개, 4개의 기판을 얼라인 할 때는 6개가 배치될 수 있다.Prior to the description, two multilayer assemblies for substrates according to embodiments of the present invention are arranged so that two substrates are opposed to each other between two substrates. However, when aligning three substrates, four and four substrates are aligned There are six possible positions.

즉, 기판의 개수 n+1이라고 할 때, 멀티 얼라인 조립체의 개수는 2n이 된다. (n은 자연수)That is, when the number of substrates is n + 1, the number of multi-alignment assemblies is 2n. (n is a natural number)

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 장치의 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a substrate multi-aligning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 장치(10)는 적재유닛(100), 제 1얼라인유닛(300), 제 2얼라인유닛(500) 및 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)를 포함한다.1, a substrate multi-aligning apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a stacking unit 100, a first aligning unit 300, a second aligning unit 500, (Not shown).

적재유닛(100)은 적어도 2개의 기판(S)을 동일 평면상에 적재시킨다. 즉, 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 동일 평면상에 나란히 적재시킨다. 여기서, 적재유닛(100)은 본 발명의 실시 예로서, 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)이 배치되는 것으로 기재되나 2개를 초과하는 기판(S)을 적재시킬 수도 있다.The stacking unit 100 stacks at least two substrates S on the same plane. That is, the first substrate S1 and the second substrate S2 are stacked on the same plane. Here, the stacking unit 100 is described as an embodiment of the present invention in which the first substrate S1 and the second substrate S2 are arranged, but it is also possible to stack more than two substrates S.

제 1얼라인유닛(300)은 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)를 사이에 두고 배치된다. 제 1얼라인유닛(300)은 각각의 기판(S)을 후술할 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)의 액추에이터부(770)의 이동 방향을 따라 개별적으로 가압한다. 실질적으로 제 1얼라인유닛(300)은 후술할 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)의 사이드 얼라인부(790)와 같이 기판(S)의 일 측변을 가압한다.The first aligning unit 300 is disposed across the substrate multi-aligning assembly 700. The first aligning unit 300 individually presses the respective substrates S along the moving direction of the actuator portion 770 of the multilayer assembly 700 for a substrate to be described later. Substantially, the first aligning unit 300 presses one side of the substrate S like the side aligning portion 790 of the multilayer assembly 700 for a substrate to be described later.

제 2얼라인유닛(500)은 각각의 기판(S)에 대해 적어도 2개가 배치된다. 제 2얼라인유닛(500)은 제 1얼라인유닛(300)의 가압 방향의 가로 방향으로 각각 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 가압한다.At least two second alignment units 500 are disposed for each substrate S. The second aligning unit 500 presses the first substrate S1 and the second substrate S2 in the lateral direction of the pressing direction of the first aligning unit 300, respectively.

여기서, 제 1얼라인유닛(300) 및 제 2얼라인유닛(500)은 각각 탄성부재(미도시)에 연결되어 탄성력에 따라 기판(S)의 양측변을 가압하여 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 상호 얼라인 시킨다.Here, the first aligning unit 300 and the second aligning unit 500 are connected to an elastic member (not shown), respectively, to press both sides of the substrate S according to the elastic force, And the second substrate S2 are aligned with each other.

다음으로 도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ의 확대도, 도 3은 도 2에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 측면도, 도 4는 도 2에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 일부 구성도, 도 5는 도 1에 도시된 기판용 멀티 얼라인 장치의 기판에 대한 개략 구성 배치도, 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 조립체의 작동도, 도 7은 도 6에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 측면도, 도 8은 도 6에 도시된 기판용 멀티 얼라인 조립체의 일부 구성도, 그리고 도 9는 도 6에 따른 기판용 멀티 얼라인 장치의 기판에 대한 개략 구성 배치도이다.Fig. 2 is a magnified view of Fig. 1, Fig. 3 is a side view of the multilayer assembly for a substrate shown in Fig. 2, Fig. 4 is a partial plan view of a multilayer assembly for a substrate shown in Fig. Fig. 5 is a schematic configuration diagram of the board for the board multi-aligning apparatus shown in Fig. 1, Fig. 6 is an operation diagram of the board multi-aligning apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 8 is a partial schematic view of the multilayer assembly for a substrate shown in FIG. 6, and FIG. 9 is a schematic configuration diagram for a substrate of a multilayer board for a substrate according to FIG. to be.

기판용 멀티 얼라인 조립체(700)는 도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 적어도 2개의 기판(S) 사이에 배치되어 기판(S)을 상호 얼라인 시킨다. 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)는 얼라인부(710), 연결부(730), 가이드롤러(750) 및 액추에이터부(770)를 포함한다. 또한, 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)는 사이드 얼라인부(790)를 더 포함한다.The substrate multi-aligning assembly 700 is disposed between at least two substrates S, as shown in Figs. 2 to 9, to align the substrates S with each other. The substrate multi-aligning assembly 700 includes an aligning portion 710, a connecting portion 730, a guide roller 750, and an actuator portion 770. In addition, the board multi-line assembly 700 further includes a side alignment portion 790.

얼라인부(710)는 적어도 2개의 기판(S) 사이, 즉 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2) 사이에 배치된다. 얼라인부(710)는 한 쌍으로 마련되어 상호 대향된 기판(S)에 가압력을 제공한다. 한 쌍의 얼라인부(710)는 액추에이터부(770)의 작동에 따라 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 상호 반대 방향으로 가압하는 얼라인 위치와 제 1기판(S1) 및 제 2기판(S2)으로부터 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 왕복 이동된다. 본 발명의 한 쌍의 얼라인부(710)는 제 1얼라인부(712) 및 제 2얼라인부(714)를 포함한다. 여기서, 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)는 기판(S)의 파손을 방지하기 위해 롤러 방식으로 마련되는 것이 바람직하다.The alignment portion 710 is disposed between at least two substrates S, that is, between the first substrate S1 and the second substrate S2. The alignment portions 710 are provided in a pair to provide a pressing force to the mutually opposed substrate S. [ The pair of alignment portions 710 are aligned with the aligning positions for pressing the first substrate S1 and the second substrate S2 in opposite directions in accordance with the operation of the actuator portion 770, 2 substrate (S2). The pair of alignment portions 710 of the present invention includes a first aligning portion 712 and a second aligning portion 714. Here, the first alignment portion 712 and the second alignment portion 714 are preferably provided in a roller manner in order to prevent the substrate S from being damaged.

연결부(730)는 액추에이터부(770)의 작동에 따라 회전 운동된다. 연결부(730)는 링크(732), 회전축(734) 및 슬릿(slit)(736)을 포함한다. 연결부(730)는 액추에이터부(770)와 한 쌍의 얼라인부(710) 사이에 배치된다. 연결부(730)는 1개의 회전축선을 가지고 액추에이터부(770)의 리니어 운동에 따라 회전 운동된다.The connection portion 730 is rotated according to the operation of the actuator portion 770. The connecting portion 730 includes a link 732, a rotating shaft 734, and a slit 736. The connection portion 730 is disposed between the actuator portion 770 and the pair of alignment portions 710. The connection portion 730 has one rotation axis and is rotated according to the linear motion of the actuator portion 770.

링크(732)는 한 쌍으로 마련된다. 링크(732)는 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)를 포함한다. 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)의 일측에는 각각 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)가 배치된다. 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)는 각각 상이한 길이를 갖는다. 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)는 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)가 상이한 길이를 가짐에 따라 얼라인 위치와 해제위치 사이에서 상호 간섭 없이 이동된다. 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)는 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)의 해제위치에서 동일선상에서 상호 적층된다. 이때, 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)는 상호 평행하게 배치된다.The links 732 are provided in pairs. The link 732 includes a first link 732a and a second link 732b. First and second alignment portions 712 and 714 are disposed on one side of the first link 732a and the second link 732b, respectively. The first link 732a and the second link 732b have different lengths, respectively. The first alignment portion 712 and the second alignment portion 714 are moved between the alignment position and the release position without mutual interference as the first link 732a and the second link 732b have different lengths. The first link 732a and the second link 732b are stacked on the same line at the release positions of the first aligning portion 712 and the second aligning portion 714. [ At this time, the first alignment portion 712 and the second alignment portion 714 are disposed in parallel with each other.

회전축(734)은 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)를 상호 연결한다. 회전축(734)은 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)가 얼라인 위치와 해제위치 사이에서 왕복 이동되도록 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)가 회전 운동되는 회전축선을 형성한다.The rotation shaft 734 interconnects the first link 732a and the second link 732b. The rotation shaft 734 rotatably supports the first link 732a and the second link 732b in such a manner that the first link 732a and the second link 732b are rotated so that the first link 732a and the second link 732b are reciprocated between the alignment position and the release position, .

슬릿(736)은 가이드롤러(750)가 삽입되어 슬라이딩 이동되도록 한 쌍의 링크(732)의 타측에 형성된다. 본 발명의 슬릿(736)은 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)의 타측에 형성되는 제 1슬릿(736a)과 제 2슬릿(736b)을 포함한다. 제 1슬릿(736a)과 제 2슬릿(736b)은 도 4 및 도 8에 도시된 바와 같이, 가이드롤러(750)에 함께 삽입되고 가이드롤러(750)의 슬라이딩 이동에 따라 함께 해제위치와 얼라인 위치 사이에서 왕복 회전 운동된다.The slit 736 is formed on the other side of the pair of links 732 so that the guide roller 750 is inserted and slidably moved. The slit 736 of the present invention includes a first slit 736a and a second slit 736b formed on the other side of the first link 732a and the second link 732b. The first slit 736a and the second slit 736b are inserted together with the guide roller 750 as shown in Figs. 4 and 8, and together with the sliding movement of the guide roller 750, Position.

가이드롤러(750)는 상술한 바와 같이 제 1슬릿(736a)과 제 2슬릿(736b)에 함께 삽입된다. 가이드롤러(750)는 후술할 액추에이터부(770)의 리니어 이동부(774)에 결합된다. 가이드롤러(750)는 액추에이터부(770)의 리니어 운동에 따라 슬라이딩 이동된다. 연결부(730)의 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)는 제 1슬릿(736a)과 제 2슬릿(736b)을 따라 슬라이딩 이동되는 가이드롤러(750)에 따라 회전 운동된다. 가이드롤러(750)는 회전 운동 가능한 롤러로 마련된다. 이렇게 가이드롤러(750)는 롤러 방식으로 마련되어 제 1슬릿(736a)과 제 2슬릿(736b)의 접촉 영역에서 마찰력을 저감함과 함께 마모를 방지할 수 있다.The guide roller 750 is inserted together with the first slit 736a and the second slit 736b as described above. The guide roller 750 is engaged with the linear moving portion 774 of the actuator portion 770 to be described later. The guide roller 750 is slidably moved in accordance with the linear movement of the actuator unit 770. The first link 732a and the second link 732b of the connection portion 730 are rotated according to the guide roller 750 sliding along the first slit 736a and the second slit 736b. The guide roller 750 is provided with a rotatable roller. Thus, the guide roller 750 is provided in a roller manner so as to reduce frictional force in the contact area between the first slit 736a and the second slit 736b, and to prevent wear.

액추에이터부(770)는 연결부(730)가 왕복 회전 운동되도록 리니어 운동된다. 액추에이터부(770)는 벨로우즈(bellows)(772) 및 리니어 이동부(774)를 포함한다.The actuator unit 770 is linearly moved so that the connection unit 730 reciprocally rotates. The actuator portion 770 includes a bellows 772 and a linear movement portion 774.

벨로우즈(772)는 외부로부터 공급 및 배출되는 유체압에 따라 신축 운동된다. 본 발명의 일 실시 예로서 벨로우즈(772)에는 응답성이 높은 공압이 사용된다. 그러나, 벨로우즈(772)는 본 발명의 실시 예와 달리 피스톤과 실린더 방식과 같이 리니어 운동 가능한 공지된 구성이 사용될 수 있다.The bellows 772 is stretchable and contractible according to the fluid pressure supplied and discharged from the outside. As one embodiment of the present invention, a highly responsive air pressure is used for the bellows 772. However, the bellows 772 may be a known configuration which can be linearly moved, such as a piston and a cylinder type, unlike the embodiment of the present invention.

리니어 이동부(774)는 벨로우즈(772) 및 가이드롤러(750)에 결합된다. 리니어 이동부(774)는 벨로우즈(772)의 신축 운동에 연동되어 가이드롤러(750)를 슬릿(736)을 따라 이동시킨다.The linear movement portion 774 is coupled to the bellows 772 and the guide roller 750. The linear moving unit 774 moves the guide roller 750 along the slit 736 in conjunction with the expansion and contraction movement of the bellows 772.

마지막으로 사이드 얼라인부(790)는 리니어 이동부(774)에 적어도 2개가 배치된다. 사이드 얼라인부(790)는 리니어 이동부(774)의 이동에 연동되어 얼라인부(710)의 이동 방향의 가로 방향으로 이동된다. 사이드 얼라인부(790)는 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)가 기판(S)을 가압하는 방향의 가로 방향으로 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 가압한다.Finally, at least two side aligning portions 790 are disposed in the linear moving portion 774. [ The side alignment portion 790 is moved in the lateral direction in the moving direction of the alignment portion 710 in conjunction with the movement of the linear movement portion 774. The side aligning portions 790 are formed by pressing the first substrate S1 and the second substrate S2 in the transverse direction in the direction in which the first aligning portion 712 and the second aligning portion 714 press the substrate S do.

이러한 구성에 의해 본 발명의 실시 예에 따른 기판용 멀티 얼라인 장치(10)의 작동 과정을 이하에서 설명하면 다음과 같다.The operation of the board multi-aligner 10 according to the embodiment of the present invention will be described below.

우선, 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)은 적재유닛(100)으로 인입된다. 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)은 상호 대향된 일 측변을 제외하고 3변은 제 1얼라인유닛(300)과 제 2얼라인유닛(500)에 의해 얼라인 된다.First, the first substrate S1 and the second substrate S2 are drawn into the stacking unit 100. [ The three sides of the first substrate S1 and the second substrate S2 are aligned by the first aligning unit 300 and the second aligning unit 500 except for the one side facing each other.

제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)의 사이를 상호 얼라인 하기 위해 기판용 멀티 얼라인 조립체(700)가 작동된다. 외부로부터 유체압이 액추에이터부(770)로 제공되면 벨로우즈(772)는 공급된 유체압에 의해 신장된다. 벨로우즈(772)가 신장되면 리니어 이동부(774)는 리니어 운동되고, 리니어 이동부(774)에 의해 가이드롤러(750)는 함께 이동된다.The substrate multi-aligning assembly 700 is operated to align the first substrate S1 and the second substrate S2 with each other. When the fluid pressure is supplied from the outside to the actuator portion 770, the bellows 772 is elongated by the supplied fluid pressure. When the bellows 772 is extended, the linear movement portion 774 linearly moves, and the linear movement portion 774 moves the guide roller 750 together.

가이드롤러(750)는 제 1슬릿(736a)과 제 2슬릿(736b)을 따라 슬라이딩 이동된다. 그러면, 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)는 회전축(734)을 중심으로 상호 반대 방향으로 회전 운동된다. 제 1링크(732a)와 제 2링크(732b)의 회전 운동에 따라 제 1얼라인부(712)와 제 2얼라인부(714)는 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 상호 반대 방향으로 가압하는 얼라인 위치로 이동된다.The guide roller 750 is slidably moved along the first slit 736a and the second slit 736b. Then, the first link 732a and the second link 732b are rotated in opposite directions about the rotation axis 734. The first alignment portion 712 and the second alignment portion 714 align the first substrate S1 and the second substrate S2 against each other in accordance with the rotational movement of the first link 732a and the second link 732b To an aligning position for pressing in a direction.

그리고, 상술한 리니어 이동부(774)의 리니어 이동에 따라 리니어 이동부에 결합된 사이드 얼라인부(790)는 제 1기판(S1)과 제 2기판(S2)을 각각 가압한다.The side aligning portion 790 coupled to the linear moving portion according to the linear movement of the linear moving portion 774 presses the first substrate S1 and the second substrate S2, respectively.

이에, 적어도 2개의 기판 사이에 배치되며 액추에이터부의 작동에 따라 회전 운동되는 연결부와 한 쌍의 얼라인부에 의해 적어도 2개의 기판 사이를 상호 얼라인 시킬 수 있으므로, 기판의 파손 방지와 함께 기판의 공정처리 효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, since at least two substrates can be aligned with each other by the connection portion and the pair of alignment portions which are disposed between the at least two substrates and are rotated according to the operation of the actuator portion, The efficiency can be improved.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, . Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

10: 기판용 멀티 얼라인 장치 100: 적재유닛
300: 제 1얼라인유닛 500: 제 2얼라인유닛
700: 기판용 멀티 얼라인 조립체 710: 얼라인부
730: 연결부 732: 링크
734: 회전축 736: 슬릿
750: 가이드롤러 770: 액추에이터부
772: 벨로우즈 774: 리니어 이동부
790: 사이드 얼라인부10: Multi-aligning apparatus for substrate 100: stacking unit
300: First alignment unit 500: Second alignment unit
700 multilayer assembly for substrate 710:
730: connection portion 732: link
734: rotating shaft 736: slit
750: Guide roller 770: Actuator part
772: Bellows 774: Linear moving part
790: Side Alliance

Claims (12)

액추에이터부와;
적어도 2개의 기판 사이에 배치되며, 상기 액추에이터부의 작동에 따라 각각의 상기 기판을 상호 반대 방향으로 가압하는 한 쌍의 얼라인부와;
상기 액추에이터부와 한 쌍의 상기 얼라인부 사이에 배치되며, 일측에는 각각의 상기 얼라인부가 개별적으로 배치되고 상기 액추에이터부의 작동에 따라 회전 운동되는 한 쌍의 링크를 갖는 연결부와;
한 쌍의 상기 링크의 타측에 삽입되고 상기 액추에이터부에 연결되며, 상기 액추에이터부의 작동에 따라 슬라이딩 이동되어 한 쌍의 상기 링크를 회전 운동시키는 가이드롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
An actuator section;
A pair of alignment portions disposed between at least two substrates and pressing each of the substrates in opposite directions according to the operation of the actuator portion;
A connecting portion disposed between the actuator portion and a pair of the alignment portions, each of the alignment portions being disposed at one side thereof and having a pair of links rotatably moved according to an operation of the actuator portion;
And a guide roller inserted in the other side of the pair of links and connected to the actuator part and slidably moved according to the operation of the actuator part to rotationally move the pair of links. .
제 1항에 있어서,
상기 연결부는,
한 쌍의 상기 링크를 상호 연결하고, 각각의 상기 링크가 회전 운동되는 회전축선을 형성하는 회전축과;
상기 가이드롤러가 삽입되어 슬라이딩 이동 되도록 한 쌍의 상기 링크의 타측에 형성되는 슬릿을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
The method according to claim 1,
The connecting portion
A rotation shaft interconnecting the pair of links and forming a rotation axis line in which each of the links rotates;
Further comprising a slit formed on the other side of the pair of links so that the guide roller is inserted and slidably moved.
제 2항에 있어서,
한 쌍의 상기 링크는 상기 슬릿에 삽입된 상기 가이드롤러의 슬라이딩 이동에 따라 상기 회전축을 중심으로 상호 반대 방향으로 회전 운동되는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
3. The method of claim 2,
Wherein the pair of links are rotated in opposite directions about the rotation axis according to sliding movement of the guide rollers inserted in the slits.
제 2항에 있어서,
한 쌍의 상기 얼라인부는 적어도 2개의 상기 기판 사이에 배치되어, 각각의 상기 기판을 상호 반대 방향으로 가압하는 얼라인 위치와 각각의 상기 기판으로부터 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
3. The method of claim 2,
And a pair of the alignment portions are disposed between the at least two substrates and are reciprocated between an alignment position for pressing each of the substrates in mutually opposing directions and a release position for releasing the contact from each substrate. Wherein the substrate is a multilayer substrate.
제 4항에 있어서,
상기 가이드롤러는 상기 슬릿을 따라 슬라이딩 이동되어, 한 쌍의 상기 얼라인부를 상기 얼라인 위치와 상기 해제위치 사이에서 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
5. The method of claim 4,
Wherein the guide roller is slidably moved along the slit to reciprocate a pair of the alignment portions between the alignment position and the release position.
제 4항에 있어서,
한 쌍의 상기 링크는 상호 상이한 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
5. The method of claim 4,
Wherein the pair of links have mutually different lengths. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제 6항에 있어서,
한 쌍의 상기 링크는 한 쌍의 상기 얼라인부가 상기 해제위치일 때 동일선상에서 상호 적층 배치되며,
한 쌍의 상기 얼라인부는 상기 해제위치일 때 상호 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
The method according to claim 6,
A pair of said links are stacked on each other on the same line when said pair of said alignment portions are in said release position,
And the pair of the alignment portions are disposed in parallel with each other when the release position.
제 4항에 있어서,
상기 액추에이터부는,
외부로부터 공급 및 배출되는 유체압에 따라 신축 운동되는 벨로우즈와;
상기 벨로우즈 및 상기 가이드롤러에 결합되며, 상기 벨로우즈의 신축 운동에 연동되어 상기 가이드롤러를 상기 슬릿을 따라 슬라이딩 이동시키는 리니어 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
5. The method of claim 4,
The actuator unit includes:
A bellows which is stretchable and contractible according to a fluid pressure supplied and discharged from the outside;
And a linear moving unit coupled to the bellows and the guide roller, the linear moving unit interlocking with the expansion and contraction movement of the bellows to slide the guide roller along the slit.
제 8항에 있어서,
상기 기판용 멀티 얼라인 조립체는,
상기 리니어 이동부에 적어도 2개가 배치되고 상기 리니어 이동부의 이동에 연동되어, 한 쌍의 상기 얼라인부의 이동 방향의 가로 방향으로 이동되는 사이드 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
9. The method of claim 8,
Wherein the multilayer assembly for a substrate comprises:
Further comprising a side aligning portion in which at least two linear moving portions are disposed and which are interlocked with the movement of the linear moving portion and are moved in the transverse direction of the moving direction of the pair of alignment portions. Assembly.
제 9항에 있어서,
상기 사이드 얼라인부는 한 쌍의 상기 얼라인부가 상기 얼라인 위치에 위치될 때, 상기 기판에 대한 한 쌍의 상기 얼라인부의 가압 방향의 가로 방향으로 상기 기판을 가압하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 조립체.
10. The method of claim 9,
Wherein the side aligning portion presses the substrate in the transverse direction of the pressing direction of the pair of alignment portions relative to the substrate when the pair of alignment portions are positioned at the alignment position. Lt; / RTI >
적어도 2개의 기판을 동일 평면상에 적재시키는 적재유닛과;
상기 적재유닛의 중앙 영역에 상호 대향 배치되어, 적어도 2개의 상기 기판을 얼라인 시키는 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 기판용 멀티 얼라인 조립체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 장치.
A stacking unit for stacking at least two substrates on the same plane;
The multilayer board for a substrate according to any one of claims 1 to 10, which is disposed opposite to a central region of the stacking unit to align at least two of the substrates. Device.
제 11항에 있어서,
상기 기판용 멀티 얼라인 조립체를 사이에 두고 배치되어, 각각의 상기 기판을 상기 액추에이터부의 이동 방향을 따라 개별적으로 가압하는 제 1얼라인유닛과;
각각의 상기 기판에 대해 적어도 2개가 배치되어, 상기 제 1얼라인유닛의 가압 방향의 가로 방향으로 각각의 상기 기판을 가압하는 제 2얼라인유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 멀티 얼라인 장치.12. The method of claim 11,
A first aligning unit disposed between the multilayer assemblies for the substrate, for individually pressing each of the substrates along the moving direction of the actuator;
Further comprising a second aligning unit disposed on at least two of said substrates for pressing each of said substrates in the transverse direction of the pressing direction of said first aligning unit, Device.
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