KR101579679B1 - 수직형 페럴린 성막 노즐장치 - Google Patents

수직형 페럴린 성막 노즐장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 수직형 페럴린 성막 노즐장치는 가열분해부의 내부 통기단면(通氣斷面)을 축소시켜 기체 상의 다이머가 빠른 속도로 페럴린 모노머로 열분해 되어 증착 챔버로 공급될 수 있도록 하고, 또한 기화된 페럴린 다이머의 이동경로를 증대시켜 장치를 소규모로 제작할 수 있는 특징이 있다.

Description

수직형 페럴린 성막 노즐장치{NOZZLE APPARATUS FOR VERTICAL TYPE PARYLENE MONOMER}
본 발명은 페럴린 다이머 분말을 기화시키는 기화부와, 기체 상의 페럴린 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부 및 페럴린 모노머를 증착 챔버의 내부로 공급하는 노즐판부를 상호 간 수직 선상에 배치시킨 구조의 수직형 페럴린 성막 노즐장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가열분해부는 내부 통기단면(通氣斷面)을 축소시켜 기체 상의 다이머가 빠른 속도로 페럴린 모노머로 열분해 되어 증착 챔버로 공급될 수 있도록 하고, 또한 기화된 페럴린 다이머의 이동경로를 증대시켜 장치를 소규모로 제작할 수 있는 구조의 수직형 페럴린 성막 노즐장치에 관한 것이다.
일반적으로 의료장치, 신분증(예컨대, 주민등록증, 운전면허증, 여권, 기업내 신분증/출입증 등), 반도체, 전자소자, 바이칩, 침, 바늘 등은 화학적 내식성 및 열적 안정성이 높은 페럴린(Parylene) 고분자물질을 코팅하여 사용된다.
이러한 페럴린(Parylene)은 기상증착이 가능한 고분자 군들로 구성되며 치환기에 따라 그 명칭이 부여되는데, 어떠한 모재에도 그 형태에 관계없이 균일하게 코팅이 가능하고 특히 깊은 구멍이나 크랙 등의 속에 치밀하게 코팅될 수 있는 특징이 있다.
페럴린 증착 코팅은 투명하고 화학적으로 매우 안정할 뿐만 아니라 현존하는 어떠한 화학 용제에도 쉽게 용해되지 않기 때문에 그동안 전자 패키징 등에 광범위하게 사용되어져 왔다.
이러한 페럴린 증착 코팅장치는 통상 진공펌프가 연결된 증착 챔버에 피코팅재를 수용하고, 증착 챔버의 내부로 페럴린 모너머를 공급하기 위해 기화부와 열분해부를 연결하여 구성된다.
하지만 종래의 페럴린 증착 코팅장치(특허등록 제10-0735869호)는 기화부와 열분해부는 페럴린 다이머 분말을 기화시키고, 충분히 열분해시키기 위해서는 기화부와 열분해부의 크기를 크게 제작되는 문제점이 있었다.
또한 이렇게 크게 제작된 기화부와 열분해부는 증착 챔버에 수직으로 설치하지 못하고, 수평연결시키기 때문에 페럴린 증착 코팅장치를 협소한 장소에는 설치하지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제 1목적은, 기화부와 가열분해부 및 노즐판부가 상호 간 수직선상에 배치되고, 상기 가열분해부는 내부 통기단면(通氣斷面)이 축소되어 페럴린 모너머를 빠르게 생성될 수 있도록 구성된 페럴린 성막 노즐장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 제 2목적은, 기화된 페럴린 다이머의 이동경로를 증대시켜 장치를 소규모로 제작할 수 있는 페럴린 성막 노즐장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 특징에 따르면, 제 1발명은, 증착 챔버에 수용된 피코팅물에 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버의 하부에 연결되는 페럴린 성막 노즐장치에 있어서, 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하는 기화부; 상기 기화부와 연통되게 결합되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부; 상기 가열분해부와 연통되게 결합되어 증착 챔버의 내부에 기체 상의 다이머를 공급하는 노즐판부; 열손실을 방지하기 위해 상기 기화부 및 가열분해부를 외주면에 결합되는 단열자켓; 및 상기 증착 챔버를 보호하기 위해 상기 증착 챔버와 결합되는 가열분해부의 상부 외주면에 결합되는 냉각자켓;을 포함하여 이루어지되, 상기 기화부와 가열분해부 및 노즐판부는 상호 간 수직선상에 배치되고, 상기 가열분해부에는 기체 상의 다이머가 빠른 속도로 열분해될 수 있도록 내부 통기단면(通氣斷面)을 축소하는 환봉이 내부에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 기화부에는 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기가 안착되고, 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시킬 수 있도록 제 1히팅코일의 권선되는 제 1관체로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 가열분해부는 상기 기화부의 상부에 수직 연설되고, 외주면에는 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성할 수 있도록 제 2히팅코일이 권선되는 제 2관체로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 노즐판부는 상기 가열분해부의 상단에 결합되되, 제 2관체의 내경과 동일 크기의 노즐공이 중심에 형성되고, 상기 환봉은 상기 노즐공보다 상대적으로 작은 직경으로 형성되어 상기 노즐공의 중심에서 하향결합되는 것이 바람직하다.
상기 환봉은 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대를 통해 노즐공에 지지되고, 하부가 가열분해부까지 하향 연장되어 상기 가열분해부의 내부 통기단면이 축소될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 다른 구성으로서, 증착 챔버에 수용된 피코팅물에 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버의 하부에 연결되는 페럴린 성막 노즐장치에 있어서, 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하는 기화부; 상기 기화부와 연통되게 결합되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부; 상기 가열분해부와 연통되게 결합되어 증착 챔버의 내부에 기체 상의 다이머를 공급하는 노즐판부; 열손실을 방지하기 위해 상기 기화부 및 가열분해부를 외주면에 결합되는 단열자켓; 및 상기 증착 챔버를 보호하기 위해 상기 증착 챔버와 결합되는 가열분해부의 상부 외주면에 결합되는 냉각자켓;을 포함하여 이루어지되, 상기 기화부 및 가열분해부 및 노즐판부는 상호 간 수직선상에 배치되고, 상기 기화부는 가열분해부의 내부에 삽입되어 기체 상의 다이머를 하향유도하고, 하향 유도된 다이머를 기화부와 가열분해부의 사이로 재차 상향 유도하여 이동경로를 증대에 따른 규모의 크기를 축소하고, 다이머의 효과적인 열분해가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기화부는 내부에 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기를 갖는 중공의 제 1관체로 이루어지되, 상기 제 1관체의 하부는 가열분해부와 연통되게 삽입되고, 상부는 상기 노즐판부의 저면 중심에 결합되어 차폐되는 구조인 것이 바람직하다.
상기 가열분해부는 상부가 개방된 제 2관체로 구성되되, 상기 제 2관체의 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 간접 가열에 의해 기화시키는 제 1히팅코일과, 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 제 2히팅코일이 권선되어 구성되는 것이 바람직하다.
상기 노즐판부는 상기 가열분해부의 상단에 결합되되, 제 2관체의 내경과 동일 크기의 노즐공이 중심에 형성되고, 상기 노즐공의 중심에는 상기 노즐공 보다 상대적으로 작은 직경을 갖는 차단디스크가 상기 제 1관체의 상부와 결합되는 구조인 것이 바람직하다.
상기 차단디스크는 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대를 통해 노즐공에 지지되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치에 따르면, 가열분해부의 내부 통기단면(通氣斷面)이 축소되어 페럴린 모너머를 빠르게 생성될 수 있는 효과가 있다.
또한 기체 상의 페럴린 다이머를 이동경로를 하향 및 상향으로 증대시켜 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 규모의 크기를 축소시킨 소규모로 제작할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 단면구성도,
도 2는 도 1의 분해도,
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치가 증착 챔버에 결합된 모습을 나타내는 예시도,
도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 작동도,
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 단면구성도,
도 6은 도 5의 분해도,
도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치가 증착 챔버에 결합된 모습을 나타내는 예시도,
도 8은 본 발명의 제 2실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 작동도이다.
이하에서는 본 발명에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 단면구성도이고, 도 2는 도 1의 분해도이고, 도 3은 본 발명의 제 2실시예에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치가 증착 챔버에 결합된 모습을 나타내는 예시도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1실시예는 증착 챔버(200)에 수용된 피코팅물(미도시)에 페럴린 모너머의 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버(200)의 내부로 기체 상의 페럴린 모너머를 공급하는 페럴린 성막 노즐장치(100)에 관한 것이다.
이러한 페럴린 성막 노즐장치(100)는 기화부(10)와 가열분해부 및 노즐판부가 상호 간 수직선상에 배치되고, 상기 가열분해부(20)는 내부 통기단면(通氣斷面)이 축소되어 페럴린 모너머를 빠르게 생성될 수 있도록 구성된다.
여기서 상기 기화부(10)는 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하여 승화시키는 기능을 한다.
이러한 기화부(10)는 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기(12)가 안착되고, 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시킬 수 있도록 제 1히팅코일(60)의 권선되는 제 1관체(11)로 구성된다.
그리고 상기 제 1관체(11)의 상부에는 플랜지(P)가 형성되기 때문에 상기 가열분해부(20)와 수직으로 연통 결합시켜 기화된 페럴린 다이머가 통기(通氣)될 수 있는 구조가 마련된다.
아울러 상기 가열분해부(20)는 상기 기화부(10)의 연통되게 수직 연설되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머(Monomer)를 생성하는 기능을 한다.
이러한 상기 가열분해부(20)의 외주면에는 가열에 의해 기체상의 페럴린 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성할 수 있도록 제 2히팅코일(70)이 권선되는 제 2관체(21)로 구성된다.
이 때 상기 제 2관체(21)의 하부 및 상부에는 기화부(10)와 노즐판부(30)와 각각 결합될 수 있도록 플랜지(P)가 형성되는 구조이다.
그리고 상기 가열분해부(20)의 제 2관체(21) 내부 중앙영역에는 상기 노즐판부(30)에 하향 결합된 환봉(33)이 배치되어 내부 통기단면(通氣斷面)이 축소되는 구조로, 이에 따라 기체 상의 다이머를 빠른 열분해가 가능하도록 구성된다.
이러한 구조는 기체 상의 다이머를 가열분해부(20)의 내벽면에 근접시켜 다이머의 열분해 효율이 향상되도록 하고, 또한 통기단면이 축소되기 때문에 빠른 속도로 기체 상의 페럴린 모노머(Monomer)가 생성되어 유출되도록 한 구조이다.
그리고 상기 노즐판부(30)는 상기 가열분해부(20)의 상단에 형성된 플랜지(P)에 결합되되, 제 2관체(21)의 내경과 동일 크기의 노즐공(31)이 중심에 형성되고, 상기 노즐공(31)의 중심에는 상기 노즐공(31) 보다 상대적으로 작은 직경을 갖는 환봉(33)이 하향 결합되는 구조이다.
이 때 상기 환봉(33)은 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대(34)를 통해 노즐공(31)에 지지되고, 가열분해부(20)까지 하향 연장되어 상기 가열분해부(20)의 내부 통기단면을 축소시킬 수 있도록 구성된다.
또한 상기 노즐판부(30)의 노즐공(31)은 중심에 환봉(33)이 연결대(34)를 매개로 결합되기 때문에 그 형태는 가열분해부(20)의 단면과 같은 도너츠 형태를 취한다.
때문에 기화부(10)에서 기화된 기체 상의 다이머는 가열분해부(20)에서 열분해 되어 페럴린 모노머가 생성되고, 기체 상의 페럴린 모노머는 노즐판부(30)의 노즐공(31)을 통해 증착 챔버(200)의 내부로 유입될 수 있도록 한 구조이다.
한편 상기 기화부(10) 및 가열분해부(20)는 외주면에 단열자켓(40)이 결합되어 열손실을 방지할 수 있도록 구성된다.
또한 상기 가열분해부(20)는 증착 챔버(200)에 결합되거나 노출되는 부분에 냉각자켓(50)이 더 결합되어 증착 챔버(200)를 보호할 수 있도록 구성된다.
이하에서는 제 1실시예에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 작동에 관하여 간단히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 제 1실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 작동도이다.
도 4와 같이, 본 발명의 수직형 페럴린 성막 노즐장치(100)는 진공펌프(미도시)가 연결된 증착 챔버(200)의 하부에 연결되어 진공에 의해 페럴린 모노머를 공급한다.
이는 증착 챔버(200)의 내부에 배치된 피증착물(미도시)의 표면에 페럴린 모노머가 중합반응에 의해 증착될 수 있도록 하기 위함이다.
이 때 가열분해부(20)와 기화부(10)는 단열자켓(40)이 결합되어 열손실을 방지할 수 있도록 구성되고, 가열분해부(20)의 상부 외주면에는 냉각자켓(50)이 단열자켓의 외주면에 중첩 결합되어 증착 챔버(200)를 열에 보호할 수 있도록 한다.
이 상태에서 기화부(10)에 권선된 제 1히팅코일(60)을 발열시켜 기화부(10) 내의 온도를 약 100℃ 내지 150℃의 상승시키면, 용기(12)에 수용된 페럴린 다이머 분말은 기체 상의 다이머로 기화된다.
기화된 다이머는 진공압에 의해 가열분해부(20)로 승화된다.
가열분해부(20)로 승화된 다이머는 제 2히팅코일(70)의 발열에 의해 약 650℃ 내지 700℃의 온도범위가 조성된 가열분해부(20)의 내부에서 열분해되어 페럴린 모노머(Monomer)를 생성하게 된다.
이 때 가열분해부(20)의 제 2관체(21) 내부 중앙영역에는 상기 노즐판부(30)에 하향 결합된 환봉(33) 때문에 승화되는 다이머는 가열분해부(20)의 내벽면으로 유도되어 보다 효과적으로 양질의 페럴린 모노머(Monomer)를 생성하게 된다.
따라서 가열분해부(20)는 통기단면(通氣斷面)이 축소되기 때문에 빠른 속도로 열분해된 기체 상의 페럴린 모노머(Monomer)가 증착 챔버로 내부로 공급된다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 단면구성도이고, 도 6은 도 5의 분해도이고, 도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치가 증착 챔버에 결합된 모습을 나타내는 예시도이다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제 2실시예는 제 1실시예와 달리 기화부(10)가 가열분해부(20)의 내부에 삽입되는 구조이다.
이러한 구조는 상기 기화부(10)는 가열분해부(20)의 내부에 삽입되어 기체 상의 다이머를 하향유도하고, 하향 유도된 다이머를 기화부(10)와 가열분해부(20)의 사이로 재차 상향 유도하여 이동경로를 증대에 따른 규모의 크기를 축소하고, 다이머의 효과적인 열분해가 가능하도록 한 구조이다.
제 2실시예는 제 1실시예의 장점인 통기단면의 축소와 더불어 기체 상 다이머의 이동경로를 증대시킨 것을 특징으로 한다.
여기서 기화부(10)는 내부에 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기(12)를 갖는 중공의 제 1관체(11)로 이루어진다.
이 때 상기 제 1관체(11)의 상부는 플랜지(P)를 통해 노즐판부(30)의 저면 중심에 결합되고, 하부는 가열분해부(20)의 제 2관체(21) 내부에 삽입되는 구조이다.
따라서 상기 제 1관체(11) 내에서 기화된 다이머는 상부가 차폐되어 진행하지 못하고, 증착 챔버(200)의 진공압에 의해 하향으로 유도될 수 있는 구조가 마련된다.
또한 상기 기화부(10)의 제 1관체(11) 외경은 가열분해부(20)의 제 2관체(21)의 내경 보다 작게 형성하여 제 1관체(11)와 제 2관체(21)의 사이로 기화된 다이머가 상향 유도될 수 있도록 한 구조이다.
여기서 상기 가열분해부(20)는 상기 기화부(10)의 제 1관체(11)를 삽입시켜 수직 연설되고, 상부가 개방된 제 2관체(21)로 구성된다.
이 때 상기 제 2관체(21)의 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시키는 제 1히팅코일(60)과, 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 제 2히팅코일(70)이 권선되어 구성된다.
이는 제 1히팅코일(60)을 통해 기화부(10)의 용기(12)에 수용된 분말 다이머를 기화시켜 기체 상의 다이머가 생성될 수 있도록 한 구성이고, 또한 제 2히팅코일(70)은 제 1관체(11)와 제 2관체의 사이로 상향유도되는 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 다이머가 생성될 수 있도록 한 구조이다.
한편, 상기 노즐판부(30)는 상기 가열분해부(20)의 제 2관체(21) 상단에 결합되되, 제 2관체(21)의 내경과 동일 크기의 노즐공(31)이 중심에 형성되고, 상기 노즐공(31)의 중심에는 상기 노즐공(31) 보다 상대적으로 작은 직경을 갖는 차단디스크(32)가 상기 제 1관체(11)의 상부에 형성된 플랜지(P)와 결합되는 구조이다.
이 때 상기 차단디스크(32)는 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대(34)를 통해 노즐공(31)에 지지되는 구조이다.
이에 따라 상기 노즐판부(30)는 가열분해부(20)의 제 2관체(21) 상부에 고정되고, 기화부의 제 1관체(11)는 노즐판부(30)의 차단디스크(32)에 고정된 상태로 제 2관체(21)에 삽입된다.
이하에서는 제 2실시예에 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 작동에 관하여 간단히 설명하기로 한다.
도 8은 본 발명의 제 2실시예에 따른 따른 수직형 페럴린 성막 노즐장치의 작동도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 가열분해부(20)에 권선된 제 1히팅코일(60)을 발열시켜 제 2관체의 내부 온도를 약 약 650℃ 내지 700℃의 온도범위로 상승시킨다.
그러면 제 2관체(21)의 내부에 삽입된 제 1관체(11) 내부의 온도는 간접가열로 인해 약 100℃ 내지 150℃의 온도범위로 상승된다.
그러면 기화부(10)의 용기(12)에 수용된 페럴린 다이머 분말은 기체 상의 다이머로 기화된다.
기화된 다이머는 제 1관체(11)의 상부가 차폐되어 있기 때문에 제 1관체(11)의 하부로 하향 유도된다.
하향 유도되는 기체 상의 다이머는 제 1관체와 제 2관체의 사이로 재차 상향 유도된다.
그러면 제 2히팅코일(70)을 통해 상향 유도되는 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 다이머를 생성하여 노즐판부(30)의 노즐공(31)을 통해 증착 챔버(200)의 내부로 공급된다.
따라서 제 2실시예의 수직형 페럴린 성막 노즐장치는 제 1실시예의 장점인 통기단면의 축소와 더불어 기체 상 다이머의 이동경로를 증대시켜 효과적인 열분해에 따른 양질의 페럴린 모노머를 생성할 수 있게 된다.
또한 제 2실시에는 기체 상 다이머의 이동경로를 증대시킬 수 있기 때문에 수직형 페럴린 성막 노즐장치를 규모의 크기를 축소시킨 소규모로 제작할 수 있는 효과가 있다.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위 내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.
10: 기화부 11: 제 1관체 12: 용기
20: 가열분해부 21: 제 2관체
30: 노즐판부 31: 노즐공 32: 차단디스크
33: 환봉 34: 연결대
40: 단열자켓
50: 냉각자켓
60: 제 1히팅코일
70: 제 2히팅코일
P: 플랜지 100: 수직형 페럴린 성막 노즐장치
200: 증착 챔버

Claims (10)

  1. 증착 챔버(200)에 수용된 피코팅물에 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버의 하부에 연결되는 페럴린 성막 노즐장치(100)에 있어서,
    페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하는 기화부(10);
    상기 기화부(10)와 연통되게 결합되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부(20);
    상기 가열분해부(20)와 연통되게 결합되어 증착 챔버(200)의 내부에 기체 상의 다이머를 공급하는 노즐판부(30);
    열손실을 방지하기 위해 상기 기화부(10) 및 가열분해부(20)를 외주면에 결합되는 단열자켓(40); 및
    상기 증착 챔버(200)를 보호하기 위해 상기 증착 챔버(200)와 결합되는 가열분해부(20)의 상부 외주면에 결합되는 냉각자켓(50);을 포함하여 이루어지되,
    상기 기화부(10)와 가열분해부(20) 및 노즐판부(30)는 상호 간 수직선상에 배치되고, 상기 가열분해부(20)에는 기체 상의 다이머가 빠른 속도로 열분해될 수 있도록 내부 통기단면(通氣斷面)을 축소하는 환봉(33)이 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 기화부(10)는 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기(12)가 안착되고, 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시킬 수 있도록 제 1히팅코일(60)의 권선되는 제 1관체(11)로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 가열분해부(20)는 상기 기화부(10)의 상부에 수직 연설되고, 외주면에는 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성할 수 있도록 제 2히팅코일(70)이 권선되는 제 2관체(21)로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 노즐판부(30)는 상기 가열분해부(20)의 상단에 결합되되, 제 2관체(21)의 내경과 동일 크기의 노즐공(31)이 중심에 형성되고,
    상기 환봉(33)은 상기 노즐공(31)보다 상대적으로 작은 직경으로 형성되어 상기 노즐공(31)의 중심에서 하향결합되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 환봉(33)은 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대(34)를 통해 노즐공(31)에 지지되고, 하부가 가열분해부(20)까지 하향 연장되어 상기 가열분해부(20)의 내부 통기단면이 축소될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  6. 증착 챔버(200)에 수용된 피코팅물에 성막 증착을 하기 위해 증착 챔버의 하부에 연결되는 페럴린 성막 노즐장치(100)에 있어서,
    페럴린 다이머 분말을 가열에 의해 기화시켜 기체 상의 다이머를 생성하는 기화부(10);
    상기 기화부(10)와 연통되게 결합되고, 가열에 의해 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 가열분해부(20);
    상기 가열분해부(20)와 연통되게 결합되어 증착 챔버(200)의 내부에 기체 상의 다이머를 공급하는 노즐판부(30);
    열손실을 방지하기 위해 상기 기화부(10) 및 가열분해부(20)를 외주면에 결합되는 단열자켓(40); 및
    상기 증착 챔버(200)를 보호하기 위해 상기 증착 챔버(200)와 결합되는 가열분해부(20)의 상부 외주면에 결합되는 냉각자켓(50);을 포함하여 이루어지되,
    상기 기화부(10) 및 가열분해부(20) 및 노즐판부(30)는 상호 간 수직선상에 배치되고,
    상기 기화부(10)는 가열분해부(20)의 내부에 삽입되어 기체 상의 다이머를 하향유도하고, 하향 유도된 다이머를 기화부(10)와 가열분해부(20)의 사이로 재차 상향 유도하여 이동경로를 증대에 따른 규모의 크기를 축소하고, 다이머의 효과적인 열분해가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 기화부(10)는 내부에 페럴린 다이머 분말이 수용된 용기(12)를 갖는 중공의 제 1관체(11)로 이루어지되,
    상기 제 1관체(11)의 하부는 가열분해부(20)와 연통되게 삽입되고, 상부는 상기 노즐판부(30)의 저면 중심에 결합되어 차폐되는 구조인 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 가열분해부(20)는 상부가 개방된 제 2관체(21)로 구성되되, 상기 제 2관체의 외주면에는 페럴린 다이머 분말을 간접 가열에 의해 기화시키는 제 1히팅코일(60)과, 기체 상의 다이머를 열분해시켜 페럴린 모노머를 생성하는 제 2히팅코일(70)이 권선되어 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 노즐판부(30)는 상기 가열분해부(20)의 상단에 결합되되, 제 2관체(21)의 내경과 동일 크기의 노즐공(31)이 중심에 형성되고, 상기 노즐공(31)의 중심에는 상기 노즐공(31) 보다 상대적으로 작은 직경을 갖는 차단디스크(32)가 상기 제 1관체(11)의 상부와 결합되는 구조인 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 차단디스크(32)는 방사상으로 결합되는 적어도 2개 이상의 연결대(34)를 통해 노즐공(31)에 지지되는 것을 특징으로 하는 수직형 페럴린 성막 노즐장치.
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