CN109930113A - 蒸镀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种蒸镀装置，包括：蒸发源，所述蒸发源具有壳体以及设置在该壳体顶部的多个蒸发喷嘴；和电磁感应加热器，该电磁感应加热器用于对所述蒸发喷嘴进行加热，其中该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴之间的相对距离可调节。通过采用电磁感应加热器，蒸发喷嘴中产生涡流并快速审问，将堵塞的材料蒸发出去，能方便地解决有机材料在蒸发过程中蒸发喷嘴发生的堵塞现象。
Description
技术领域
本发明总体涉及蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀装置。
背景技术
目前大尺寸有机发光二极管(OLED)蒸镀采用的有机蒸发源是线源。通常，蒸发源构造由外至内大致为具有蒸发喷嘴的外壳、内坩埚、坩埚内的材料。
在蒸镀过程中，坩埚内的材料在高温下蒸发，从坩埚顶部的缝隙出来，再通过蒸发喷嘴出来，进而蒸镀到玻璃基板上。一旦发生堵孔，有机材料就会把整个蒸发喷嘴堵住，使得材料无法全部蒸发出来。
传统的解决方法是在蒸发喷嘴附近加装加热丝，通过提升该加热丝的温度，使得堵孔材料蒸发。但这种方法提升蒸发喷嘴的温度效率很低，升温需要较长时间，导致用此法解决堵孔现象往往需要数个小时，时间较长。
另外的解决方法是通过机械结构对蒸发喷嘴进行疏通，但是这种方法缺点也较为明显：一是由于蒸发喷嘴的孔尺寸较小，对机械结构精度要求较高；二是机械结构对蒸发喷嘴内壁摩擦，会有可能破坏内壁光滑表面，使得后期更加容易堵孔；三是有可能造成材料污染问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种蒸镀装置，其采用电磁感应加热器，利用非接触的电磁感应加热原理，减缓蒸发源堵孔问题。
为此，本发明提供一种蒸镀装置，蒸发源，所述蒸发源具有壳体以及设置在该壳体顶部的多个蒸发喷嘴；和电磁感应加热器，该电磁感应加热器用于对所述蒸发喷嘴进行加热，其中该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴之间的相对距离可调节。这种电磁感应加热器采用电磁感应原理，升温速度快，节省生产时间。
根据本发明，所述蒸镀装置还包括位于所述蒸发源的上方的挡板。在一个方案中，在所述挡板的面向所述蒸发喷嘴的第一侧，设有与至少一个所述蒸发喷嘴对应的套筒，其中所述电磁感应加热器包括布置在每个套筒上的导电线圈以及与所述导电线圈相连接的高频交流电源，所述套筒的尺寸设置成在所述挡板下降时，使得每个套筒以及导电线圈能够套在相应的蒸发喷嘴外侧对其进行加热。当蒸发喷嘴发生堵塞现象时，挡板下降，套筒将相应的蒸发喷嘴罩在其中，将导电线圈接通高频交流电源，通过电磁感应，蒸发喷嘴中产生涡流并快速升温，将堵塞的材料蒸发出去。由于导电线圈套在蒸发喷嘴的外侧，避免了与蒸发喷嘴内壁的接触，降低了材料污染风险。
在一个优选实施例中，设有与所述多个蒸发喷嘴对应的多个套筒，所述多个套筒的数目与所述多个蒸发喷嘴的数目相同。
在本发明的一个方案中，所述蒸发喷嘴和所述套筒均由金属材料例如铜或不锈钢制成。
在本发明中，有利的是，所述套筒的内径大于所述蒸发喷嘴的外径。所述蒸发喷嘴可以设置成垂直于所述壳体顶部所在平面或者相对所述壳体顶部所在平面倾斜。
有利的是，为了保证解决堵孔问题时，蒸发喷嘴内的材料更容易蒸发出去，在所述挡板的与所述第一侧相反的第二侧，在与每个套筒对应的位置，还分别设有与所述套筒连通的通孔。
根据本发明的一个有利方案，在挡板上的所述通孔处，设有能在闭合位置和打开位置之间移动的盖板，在该闭合位置，所述盖板封闭所述通孔，在该打开位置，所述通孔敞开。当需要解决堵塞问题而对蒸发喷嘴进行加热时，挡板下降，同时盖板打开，使得堵塞的蒸发喷嘴内的材料更容易蒸发出去；当不需要解决堵孔问题时，挡板为闭合状态。
在本发明的一个方案中，所述电磁感应加热器配置成包括可移动的机械手臂、连接到该机械手臂的导电线圈以及与该导电线圈相连接的高频交流电源。由于机械手臂可以移动，使得与其连接的导电线圈可移动到发生堵孔的蒸发喷嘴上方，同时对导电线圈通电产生电磁场，蒸发喷嘴中产生涡流并快速升温，将堵塞的材料蒸发出去。
根据本发明的一个方案，所述蒸镀装置还包括蒸镀腔室，所述蒸发源设置于蒸镀腔室内，该蒸镀腔室内还设有防着板，用于防止蒸镀材料附着到所述蒸镀腔室的内壁上，导电线圈可通过机械手臂移动到防着板附近，对其进行加热，以解决蒸镀材料累积在防着板上的问题。
在本发明中，上述蒸发源为线形蒸发源。
附图说明
下面参照附图描述本发明的示例性实施例。
图1示出了本发明的实施例的一蒸镀装置的示意图；
图2示出了本发明的电磁感应加热器配置的一个实施例；
图3示出了本发明的电磁感应加热器的结构示意图；
图4示出了本发明的电磁感应加热器配置的另一个实施例；
图5示出了非竖直取向的蒸发喷嘴与套筒配合的示意图；
图6示出了本发明的挡板和与蒸发源配合的一个实施例；
图7示出了本发明的挡板和与蒸发源配合的另一个实施例；
图8示出了本发明的蒸镀装置的另一个实施例的示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的示例性实施例。下文描述的和附图示出的示例性实施例旨在教导本发明的原理，使本领域技术人员能够在若干不同环境中和对于若干不同应用实施和使用本发明。
图1示出了根据本发明的蒸镀装置1的一个实施例。从图中可以看出，蒸镀装置1包括蒸发源3，所述蒸发源3具有壳体以及设置在该壳体顶部的多个蒸发喷嘴302；和电磁感应加热器，该电磁感应加热器用于对所述蒸发喷嘴进行加热，其中该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴302之间的相对距离可调节，这种电磁感应加热器采用电磁感应原理，升温速度快，节省生产时间，并且该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴302之间的相对距离可调节，可以当喷嘴堵塞不严重或者未发生堵塞时，移至远离喷嘴的位置，不影响喷嘴的正常使用。
继续通过图1说明本申请的实施例。从图中可以看出，蒸镀装置1还包括位于蒸发源3上方的挡板5，蒸镀腔室2，蒸发源3设置在蒸镀腔室2内。本申请实施例中，为了防止蒸镀材料附着到蒸镀腔室的内壁上，在蒸镀腔室的内壁附近，还设有防着板6。蒸发源3具有壳体301，该壳体形成容纳坩埚以及蒸镀材料的中空腔室。在蒸发源3的壳体301的顶部，设有例如沿直线排列的多个蒸发喷嘴302，用于向待蒸镀的基板4喷射气化的蒸镀材料。在图1所示的蒸镀装置1中，设有适于对蒸发喷嘴302进行加热的电磁感应加热器，以在蒸发喷嘴发生堵塞时，能够通过加热将堵塞的材料蒸发出去。这种电磁感应加热器采用电磁感应原理，升温速度快，节省生产时间。
在图2示出的实施例中，挡板5的面向蒸发源3的多个蒸发喷嘴302的第一侧设有多个套筒501，所述多个套筒的数目与所述多个蒸发喷嘴的数目相同，并且套筒的尺寸设置成在所述挡板5下降时，每个套筒能够套在相应的蒸发喷嘴302外侧。
如图3所示，根据本发明的电磁感应加热器包括导电线圈7以及连接到该导电线圈7的高频交流电源8。在图2所示的配置中，导电线圈7布置在挡板5的每个套筒501中，通过挡板5内的线路与高频交流电源8相连接。当蒸发喷嘴发生堵塞现象时，下降挡板5，挡板上的套筒501罩住相应的蒸发喷嘴302，进而导电线圈7也如图3所示套在蒸发喷嘴外。接通高频交流电源8，通过电磁感应，蒸发喷嘴内产生涡流并快速升温，将堵塞的材料蒸发出去。
虽然图1和图2示出的蒸发喷嘴均为竖直取向，但蒸发喷嘴也可以配置成非竖直取向(参见图5)。有利的是，通过增大套筒501的内径，也可以非竖直取向的蒸发喷嘴套在其中，而不影响电磁感应效果。
在图6所示的一个实施例中，为了保证解决蒸发喷嘴的堵塞问题时，蒸发喷嘴中的材料更容易蒸发出去，在所述挡板5的与所述第一侧相反的第二侧，在与每个套筒501对应的位置，分别开设有与所述套筒连通的通孔502。
在一个有利的方案中，如图7所示，可以在挡板上的每个通孔502处，设有能在闭合位置和打开位置之间移动的盖板503，在闭合位置，所述盖板封闭所述通孔502，在该打开位置，所述通孔502敞开。当需要解决堵塞问题而对蒸发喷嘴进行加热时，挡板下降，同时盖板打开，使得堵塞的蒸发喷嘴内的材料更容易蒸发出去；当不需要解决堵孔问题时，挡板为闭合状态。
图8示出了根据本发明的蒸镀装置的另一个实施例。从图中可以看出，蒸镀装置包括蒸镀腔室2，布置在该蒸镀腔室2内的线形蒸发源3，蒸发源3具有壳体301，该壳体形成容纳坩埚以及蒸镀材料的中空腔室。在蒸发源3的壳体301的顶部，设有沿直线排列的多个蒸发喷嘴302，用于向待蒸镀的基板4喷射气化的蒸镀材料。该蒸镀装置还包括适于对蒸发喷嘴302进行加热的电磁感应加热器。并且，为了防止蒸镀材料附着到蒸镀腔室的内壁上，在蒸镀腔室的内壁附近，设有防着板6。
在该实施例中，电磁感应加热器配置成包括可移动的机械手臂9、连接到该机械手臂的导电线圈7以及与该导电线圈相连接的高频交流电源(未示出)。通过这种可移动的电磁感应加热器，在某个蒸发喷嘴发生堵塞时，可以根据需要通过机械手臂将导电线圈移动到堵塞的蒸发喷嘴上方，同时接通高频交流电源，对导电线圈通电产生电磁场，蒸发喷嘴中产生涡流并快速升温，将堵塞的材料蒸发出去。并且导电线圈7可通过机械手臂9移动到防着板6附近，对其进行加热，以解决蒸镀材料累积在防着板上的问题。
虽然在本发明中，电磁感应加热器配置成与蒸发喷嘴之间的可以调节，但应当理解，电磁感应加热器直接设置在蒸发喷嘴周围也涵盖在本申请的范围内。例如，在图4所示的配置中，在每个蒸发喷嘴302的外侧，均设有套筒501,导电线圈7布置在每个套筒内，并与高频交流电源相连接。当蒸发喷嘴发生堵塞现象时，接通高频交流电源，通过电磁感应，蒸发喷嘴内产生涡流并快速升温，将堵塞的材料蒸发出去。
在一个实施例中，套筒501可以一部分直接设置在蒸发喷嘴302周围(如图4所示)，另外一部分可以设置在挡板5面向所述蒸发喷嘴302的第一侧(如图2所示)，这样可以根据蒸发源上喷嘴302的设计分布灵活调节套筒501的分布，以便更有利的缓解喷嘴堵塞问题。
应当指出，上面的说明仅是示例性的，本领域技术人员可以根据上述说明对本发明实施例做出各种修改和变型，这些修改和变型均在本发明的保护范围之内。
Claims (11)
1.一种蒸镀装置，包括：
蒸发源，所述蒸发源具有壳体以及设置在该壳体顶部的多个蒸发喷嘴；和
电磁感应加热器，该电磁感应加热器用于对所述蒸发喷嘴进行加热，其中该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴之间的相对距离可调节。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，还包括位于所述蒸发源的上方的挡板，在所述挡板的面向所述蒸发喷嘴的第一侧，设有与至少一个所述蒸发喷嘴对应的套筒，其中所述电磁感应加热器包括布置在每个套筒上的导电线圈以及与所述导电线圈相连接的高频交流电源，所述套筒的尺寸设置成在所述挡板下降时，使得每个套筒以及导电线圈能够套在相应的蒸发喷嘴外侧对其进行加热。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述套筒的数目与所述蒸发喷嘴的数目相同，并且每个所述套筒对应一个所述蒸发喷嘴。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述蒸发喷嘴由金属材料制成。
5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述套筒的内径大于所述蒸发喷嘴的外径。
6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其中，所述蒸发喷嘴设置成相对所述壳体顶部所在平面倾斜。
7.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，在所述挡板的与所述第一侧相反的第二侧，在与每个套筒对应的位置，分别设有与所述套筒连通的通孔。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其中，在所述通孔处，设有能在闭合位置和打开位置之间移动的盖板，在该闭合位置，所述盖板封闭所述通孔，在该打开位置，所述通孔敞开。
9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述电磁感应加热器包括可移动的机械手臂、连接到该机械手臂的导电线圈以及与该导电线圈相连接的高频交流电源。
10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述蒸镀装置还包括蒸镀腔室，所述蒸发源设置于蒸镀腔室内，在该蒸镀腔室还设有防着板，用于防止蒸镀材料附着到所述蒸镀腔室的内壁上。
11.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸镀装置，其中，所述蒸发源为线形蒸发源。
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