CN205133725U - 蒸镀机的喷嘴系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种蒸镀机的喷嘴系统，包括：具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具；布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器；安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴；用于推出喷嘴内堵塞的推出装置，在本申请提供的实施例中，当喷嘴发生堵塞时，推出装置将喷嘴内堵塞推出，从而可以解决喷嘴堵塞处理时间长的技术问题。

Description

蒸镀机的喷嘴系统

技术领域

本申请涉及PVD(PhysicalVaporDeposition)领域，尤其涉及一种蒸镀机的喷嘴系统。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内蒸发材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。

蒸发镀膜是通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面的一种真空镀膜技术。蒸发材料如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源。待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待坩埚抽至高真空后，加热坩埚使其中的蒸发材料进而从喷嘴喷出。蒸发材料的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。

如图1和图2所述为一种蒸镀机的喷嘴系统的示意图。

线源21作为蒸发材料收纳于坩埚12内。待坩埚12抽至高真空后，加热器13加热坩埚12使线源21蒸发进而从喷嘴11喷出，线源21的原子或分子以冷凝的方式沉积在待镀工件表面。

在实现现有技术过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

坩埚12局部加热不均匀时，或者，由于喷嘴11设置的倾斜角度不合理时，导致喷嘴11内蒸发材料分布不均匀，容易导致喷嘴11堵塞。当碰嘴11堵塞时，需要先降低坩埚12的温度以免烫伤操作人员。接着，需要破除坩埚12内的真空，否则由于坩埚12内外气压差，不易除去喷嘴11内的堵塞。破除真空时，有大量保持真空的氮气逸出，因此，需要等待氮气完全逸出后，才能采取去除堵塞的动作，否则容易导致操作人员窒息。去除堵塞后，需要抽取坩埚12内空气，保持坩埚12内真空环境，然后，加热使得坩埚12升温以便蒸发材料蒸发从而开始工作。从坩埚12降温、破除真空、去除堵塞、抽真空、坩埚12升温完成整个堵塞去除的时间较长。

因此，需要提供一种解决喷嘴11堵塞处理时间长的技术问题的技术方案。

实用新型内容

本申请实施例提供一种解决喷嘴堵塞处理时间长的技术问题的蒸镀机的喷嘴系统。

具体的，一种蒸镀机的喷嘴系统，包括：

具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具；

布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器；

安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴；

用于推出喷嘴内堵塞的推出装置。

优选的，所述推出装置包括：

用于在喷嘴内滑动的顶针；

用于带动顶针往复的推杆；

用于为推杆提供动力的动力机构。

优选的，所述动力机构包括与推杆固定连接的活塞、供活塞运动的气缸。

优选的，所述动力机构经过一个周期推动推杆往复运动；

推杆带动顶针在喷嘴内滑动。

优选的，所述载具为坩埚；

所述坩埚包括坩埚主体和坩埚盖；

所述喷嘴系统还包括气压传感器；

气压传感器安装于坩埚盖，用于当坩埚主体内的气压超过阈值时发出侦测信号。

优选的，所述喷嘴系统还包括逻辑控制器；

所述逻辑控制器用于接收坩埚主体内的气压超过阈值的侦测信号，并向推出装置发出运动的控制信号。

优选的，所述气压传感器的耐高温指标高于400℃。

本申请实施例提供的蒸镀机的喷嘴系统，至少具有如下有益效果：

当喷嘴发生堵塞时，推出装置将喷嘴内堵塞推出，从而可以解决喷嘴堵塞处理时间长的技术问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例改进前的喷嘴系统示意图。

图2为图1的剖视图。

图3为本申请实施例提供的喷嘴系统的喷嘴的示意图。

图4为本申请实施例提供的喷嘴系统的整体示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

蒸镀工艺是一种通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面的一种真空镀膜技术。

蒸镀机是一种执行该蒸镀工艺的专用设备。蒸镀机在执行该蒸镀工艺时，抽取真空，然后加热蒸发材料使蒸发材料升华或汽化从喷嘴内喷出到待镀工件表面。

在生成过程中待镀工件置于喷嘴正对的位置。蒸发材料从喷嘴内连续喷出对待镀工件的加工质量有重大影响。

请参照图1和图2，正如背景技术中所指出的，线源21作为蒸发材料收纳于坩埚12内。待坩埚12抽至高真空后，加热器13加热坩埚12使线源21蒸发进而从喷嘴11喷出，线源21的原子或分子以冷凝的方式沉积在待镀工件表面。

在本申请实施例中，为了解决喷嘴堵塞的问题，发明人对原有的喷嘴系统进行了改进。

请参见图3和图4，喷嘴系统100包括具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具1、布设于载具1周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器2、安装于载具1并用于供蒸镀材料从载具1中喷出的喷嘴3、用于推出喷嘴3内堵塞的推出装置4。

载具1具有用于收容蒸镀材料的容纳腔10。蒸镀材料作为蒸发源在载具1的容纳腔10内完成升华或汽化。在本申请提供的一种实施例中，载具1为坩埚。坩埚耐高温，而且可以保证蒸发源的纯度。坩埚12包括坩埚主体和坩埚盖。蒸镀材料主要可以依靠坩埚主体承载。

蒸镀加热器2用于加热蒸镀材料，以便蒸镀材料升华或汽化。蒸镀加热器2，可以采用电阻加热、感应加热、电弧加热、电子束加热、红外线加热和介质加热中的至少一种。

电阻加热可以采用电阻加热圈。采用电阻加热方式时，电阻加热圈缠绕于载具1的周围。电阻加热圈在通电时，将电能转化为热能经载具1最终传热到蒸镀材料。

感应加热可以采用感应加热圈。采用感应加热方式时，要求蒸镀材料为导体。感应加热圈在通交变电流时，作为导体的蒸镀材料处于交变电磁场中，产生感应电流(涡流)，涡流所形成的热效应使蒸镀材料发热，从而升华或汽化。

电弧加热可以采用电弧加热圈。电弧加热时利用电弧产生的高温加热蒸镀材料。电弧加热有直接和间接电弧加热两种。直接电弧加热的电弧电流直接通过蒸镀材料，蒸镀材料可以作为电弧的一个电极或是媒质。间接电弧加热时，电弧辐射的热量加热蒸镀材料。

电子束加热时，可以采用电子束加热圈。电子束加热利用在电场作用下高速运动的电子轰击蒸镀材料表面，使之被加热。

红外线加热可以采用红外线加热圈。红外线加热圈利用红外线辐射物体，物体吸收红外线后，将辐射能转变为热能而被加热。

介质加热可以采用介质加热圈。采用感应加热方式时，要求蒸镀材料为绝缘体。作为电介质的蒸镀材料置于交变电场中，会被反复极化(电介质在电场作用下，其表面或内部出现等量而极性相反的电荷的现象)，从而将电场中的电能转变成热能。

喷嘴3安装于载具1。喷嘴3连通载具1的容纳腔10，以便蒸镀材料从喷嘴3内喷出。

推出装置4包括用于在喷嘴3内滑动的顶针41、用于带动顶针41往复的推杆42、用于为推杆42提供动力的动力机构43。

进一步的，在本申请提供的又一实施例中，动力机构43包括与推杆42固定连接的活塞431、供活塞431运动的气缸432。

进一步的，在本申请提供的又一实施例中，可以设置推出装置4周期性地在喷嘴3内滑动以防止喷嘴堵塞。动力机构43经过一个周期推动推杆42往复运动；推杆42带动顶针41在喷嘴3内滑动。

进一步的，在本申请提供的又一实施例中，可以设置推出装置4在喷嘴3发生堵塞时运动。具体的，喷嘴系统100还包括气压传感器。气压传感器安装于坩埚主体，用于当坩埚主体内的气压超过阈值时发出侦测信号。

气压传感器(未图示)用于测量载具1内蒸镀材料升华或汽化的气压。气压传感器(未图示)的耐高温指标高于400℃，从而可以保证在高温下持续有效工作。当喷嘴3堵塞时，气压会逐渐升高。气压传感器(未图示)可以侦测到升高的气压。气压传感器可以安装于坩埚盖内壁。

进一步的，在本申请提供的又一实施例中，喷嘴系统100还包括逻辑控制器。逻辑控制器用于接收坩埚主体内的气压超过阈值的侦测信号，并向推出装置4发出运动的控制信号。

在实际使用过程中，当发生堵塞时，气压传感器(未图示)侦测到持续升高的气压大于或等于设定的阈值时，向逻辑控制器发出气压超过阈值的侦测信号。逻辑控制器根据该侦测信号，向推出装置4发出控制信号。动力机构43为推杆42提供动力，推杆42往复运动时带动顶针41在喷嘴3内滑动，进而可以将堵塞物推出，从而可以解决喷嘴3堵塞处理时间长的技术问题。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (7)

1.一种蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，包括：

具有用于收容蒸镀材料的容纳腔的载具；

布设于载具周围的用于加热蒸镀材料的蒸镀加热器；

安装于载具并用于供蒸镀材料从载具中喷出的喷嘴；

用于推出喷嘴内堵塞的推出装置。

2.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述推出装置包括：

用于在喷嘴内滑动的顶针；

用于带动顶针往复的推杆；

用于为推杆提供动力的动力机构。

3.如权利要求2所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述动力机构包括与推杆固定连接的活塞、供活塞运动的气缸。

4.如权利要求2所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述动力机构经过一个周期推动推杆往复运动；

推杆带动顶针在喷嘴内滑动。

5.如权利要求1所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述载具为坩埚；

所述坩埚包括坩埚主体和坩埚盖；

所述喷嘴系统还包括气压传感器；

气压传感器安装于坩埚盖，用于当坩埚主体内的气压超过阈值时发出侦测信号。

6.如权利要求5所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述喷嘴系统还包括逻辑控制器；

所述逻辑控制器用于接收坩埚主体内的气压超过阈值的侦测信号，并向推出装置发出运动的控制信号。

7.如权利要求5所述的蒸镀机的喷嘴系统，其特征在于，所述气压传感器的耐高温指标高于400℃。