KR101576834B1 - Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 상부 발광 방식 유기전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 제 2 전극의 전압강하 방지를 위한 보조전극에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a top emission type organic electroluminescent device, and more particularly to an auxiliary electrode for preventing a voltage drop of a second electrode.

본 발명의 특징은 제 2 전극이 비발광영역에서는 보조전극콘택홀을 통해 보조전극배선과 전기적으로 연결되도록 하는 것이다. A feature of the present invention is that the second electrode is electrically connected to the auxiliary electrode wiring through the auxiliary electrode contact hole in the non-emitting region.

이를 통해, 제 2 전극이 막질이 나쁘고 비저항이 높아, 화소의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되어, 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, since the second electrode has poor film quality and high resistivity, the same negative voltage is not applied for each pixel position, but a voltage difference occurs in a region near the voltage input region due to a voltage drop (IR drop) Thus, it is possible to prevent unevenness of luminance and image characteristics, and to cause a problem of raising the power consumption of the OLED.

유기전계발광소자, 보조전극배선, 전압강하 Organic electroluminescent device, auxiliary electrode wiring, voltage drop

Description

유기전계발광소자 및 이의 제조방법{Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method for fabricating the same,

본 발명은 상부 발광 방식 유기전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 제 2 전극의 전압강하 방지를 위한 보조전극에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a top emission type organic electroluminescent device, and more particularly to an auxiliary electrode for preventing a voltage drop of a second electrode.

최근까지, CRT(cathode ray tube)가 표시장치로서 주로 사용되었다. 그러나, 최근에 CRT를 대신할 수 있는, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기전계발광소자(organic electro-luminescence device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있는 추세이다.Until recently, CRT (cathode ray tube) was mainly used as a display device. However, in recent years, flat panel displays such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), and an organic electro-luminescence device (OLED) Display devices have been widely studied and used.

위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기전계발광소자(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Of the above flat panel display devices, an organic electroluminescent element (hereinafter referred to as OLED) is a self-luminous element and can be lightweight and thin because it does not require a backlight used in a liquid crystal display device which is a non-light emitting element.

그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요 소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. In addition, it has a better viewing angle and contrast ratio than liquid crystal display devices, is advantageous in terms of power consumption, can be driven by DC low voltage, has a fast response speed, is resistant to external impacts due to its solid internal components, It has wide advantages.

특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

이러한 특성을 갖는 OLED는 크게 패시브 매트릭스 타입(passive matrix type)과 액티브 매트릭스 타입(active matrix type)으로 나뉘어 지는데, 패시브 매트릭스 타입은 신호선을 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하는 반면, 액티브 매트릭스 타입은 화소를 온/오프(on/off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터와 전류를 흘려보내주는 구동 박막트랜지스터 및 구동 박막트랜지스터에 한 프레임 동안 전압을 유지해 주는 캐패시터가 화소 별로 위치하도록 한다. OLEDs having such characteristics are largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In a passive matrix type, a device is formed in a matrix form while crossing signal lines, whereas an active matrix type is a pixel A thin film transistor which is a switching element for on / off switching, a driving thin film transistor for flowing a current, and a capacitor for holding a voltage for one frame in a driving thin film transistor are provided for each pixel.

최근, 패시브 매트릭스 타입은 해상도나 소비전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있어, 고해상도나 대화면을 구현할 수 있는 액티브 매트릭스 타입 OLED의 연구가 활발히 진행되고 있다. In recent years, passive matrix type has many limitations such as resolution, power consumption and lifetime, and active matrix type OLED capable of realizing high resolution and large screen is actively being studied.

도 1은 일반적인 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a general OLED. FIG.

도시한 바와 같이, OLED(10)는 제 1 기판(1)의 상부에는 화소영역(P) 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(11)과, 유기발광층(13)과, 제 2 전극(15)이 순차적으로 형성되어 있다. As shown in the drawing, a driving thin film transistor DTr is formed in the OLED 10 on the first substrate 1 for each pixel region P, and the first electrode 1 constituting the organic electroluminescent diode E 11, an organic light emitting layer 13, and a second electrode 15 are sequentially formed.

여기서, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 액티브층(21)과 게이트전극(23)과 소스 및 드레인전극(27, 29)으로 이루어지며, 이러한 구동 박막트랜지스터(DTr) 상부에는 절연막(25)을 사이에 두고 유기전계발광 다이오드(E)가 위치한다. The driving thin film transistor DTr includes an active layer 21 and a gate electrode 23 and source and drain electrodes 27 and 29. An insulating film 25 is formed on the driving thin film transistor DTr, And the organic electroluminescent diode E is positioned.

이때, 유기전계발광 다이오드(E)의 제 1 전극(11)은 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(29)과 연결되며, 제 1 전극(11)은 각 화소영역(P) 별로 형성되며, 제 1 전극(11) 사이에는 뱅크(bank : 26)가 위치한다. The first electrode 11 of the organic electroluminescent diode E is connected to the drain electrode 29 of the driving thin film transistor DTr and the first electrode 11 is formed for each pixel region P, A bank (bank) 26 is located between the first electrodes 11.

그리고, 제 2 전극(15)에 공통전압을 인가하는 공통전압배선(31)이 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트전극(23)과 동일층, 동일물질로 구성된다. The common voltage wiring 31 for applying a common voltage to the second electrode 15 is composed of the same layer and the same material as the gate electrode 23 of the driving thin film transistor DTr.

공통전압배선(31)은 상부에 구성된 다수의 절연막(25)을 식각한 콘택홀(33)을 통해 제 2 전극(15)과 접촉하게 된다.The common voltage wiring 31 is brought into contact with the second electrode 15 through the contact hole 33 in which a plurality of insulating films 25 formed on the upper part are etched.

여기서, OLED(10)는 유기발광층(13)을 통해 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 하부 발광방식은 안정성 및 공정이 자유도가 높은 반면 개구율의 제한이 있어 고해상도 제품에 적용하기 어려운 문제점이 있다. The OLED 10 is divided into a top emission type and a bottom emission type according to a transmission direction of light emitted through the organic emission layer 13. There is a problem that it is difficult to apply to a high-resolution product due to the limitation of the aperture ratio.

이에, 최근에는 고개구율 및 고해상도를 갖는 상부 발광방식에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. In recent years, studies have been actively made on an upper light emitting method having a high aperture ratio and a high resolution.

이와 같이, 상부 발광방식인 OLED(10)인 경우에는, 제 1 전극(11)은 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질로 이루어져 애노드전극 역할을 하며, 제 2 전극(15)은 제 1 전극(11)에 비해 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어져 캐소드전극 역할을 한다.As described above, in the case of the OLED 10 of the top emission type, the first electrode 11 is made of a transparent conductive material having a relatively large work function value and functions as an anode electrode, and the second electrode 15 is formed of a first electrode 11), and serves as a cathode electrode.

이때, 유기발광층(13)으로부터 발광된 빛은 제 2 전극(15)을 투과해야 하나, 제 2 전극(15)은 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어짐에 따라 불투명한 특성을 갖게 된다. At this time, the light emitted from the organic light emitting layer 13 must pass through the second electrode 15, but the second electrode 15 has opaque characteristics due to the metallic material having a low work function value.

이에 따라, 제 2 전극(15)을 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하여 사용하는데, 이러한 제 2 전극(15)은 유기발광층(13)의 손상을 최소화하기 위하여 저온 증착에 의해 형성하게 된다. The second electrode 15 is formed by depositing a transparent conductive material thick on the semitransparent metal film thinly deposited on the second electrode 15. The second electrode 15 may be damaged by damage to the organic light- Temperature deposition is performed to minimize the thickness of the film.

이에, 제 2 전극(15)은 막질이 나쁘고 비저항이 높아지게 된다. Thus, the second electrode 15 has poor film quality and high resistivity.

여기서, 제 2 전극(15)의 비저항이 높다는 것은 화소의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 한다.Here, the high specific resistance of the second electrode 15 means that not the same negative voltage is applied for each pixel position but a voltage difference occurs in a region close to a voltage input region due to a voltage drop (IR drop) do.

이는, 결국 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(10)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 된다. This results in unevenness of luminance and image characteristics, and raises a problem of increasing the power consumption of the OLED 10.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전압강하를 방지할 수 있는 유기전계발광소자를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide an organic electroluminescent device capable of preventing a voltage drop.

이를 통해, 균일한 신호를 제공함으로써, 휘도 및 화상 특성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다. It is a second object of the present invention to provide a uniform signal to improve luminance and image characteristics.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 발광영역과 비발광영역 이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상의 상기 비발광영역에 형성되는 보조전극배선과; 상기 제 1 기판의 상기 발광영역에 형성되며, 반도체층, 게이트전극 및 소스 및 드레인전극을 포함하는 구동 박막트랜지스터와; 상기 소스 및 드레인전극 및 상기 보조전극배선 상부에 형성되며, 상기 보조전극배선의 일부가 노출되도록 콘택홀을 포함하는 절연막과; 상기 드레인전극과 접촉되도록 형성되는 제 1 전극과; 상기 노출된 제 1 전극 상부에 형성되는 유기발광층과; 상기 제 1 기판 전면에 걸쳐 상기 유기발광층 상부에 형성되며, 상기 보조전극배선과 전기적으로 연결되는 제 2 전극을 포함하며, 상기 유기발광층에서 발광하는 빛은 상기 제 2 전극 상부로 투과하는 상부발광 방식 유기전계발광소자를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a light emitting device including a first substrate on which a light emitting region and a non-emitting region are defined; An auxiliary electrode line formed in the non-emission region on the first substrate; A driving thin film transistor formed in the light emitting region of the first substrate and including a semiconductor layer, a gate electrode, and a source and a drain electrode; An insulating layer formed on the source and drain electrodes and the auxiliary electrode wiring, the insulating layer including a contact hole such that a part of the auxiliary electrode wiring is exposed; A first electrode formed to be in contact with the drain electrode; An organic light emitting layer formed on the exposed first electrode; And a second electrode formed on the organic light emitting layer over the entire surface of the first substrate and electrically connected to the auxiliary electrode wiring, wherein light emitted from the organic light emitting layer is transmitted through the upper light emitting method An organic electroluminescent device is provided.

이때, 상기 보조전극배선은 상기 게이트전극과 동일층, 동일물질로 이루어지며, 상기 보조전극배선은 상기 소스 및 드레인전극과 동일층, 동일물질로 이루어진다. At this time, the auxiliary electrode line is formed of the same layer and the same material as the gate electrode, and the auxiliary electrode line is formed of the same layer and the same material as the source and drain electrodes.

여기서, 상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 선택된 하나이며, 상기 제 2 전극은 반투명 금속막과 투명한 도전성 물질이 중첩된다. Here, the first electrode is a selected one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO), and the second electrode overlaps a translucent metal film and a transparent conductive material.

위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 제 2 전극이 비발광영역에서는 보조전극콘택홀을 통해 보조전극배선과 전기적으로 연결되도록 함으로써, 음극전극의 전압강하를 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, the second electrode is electrically connected to the auxiliary electrode line through the auxiliary electrode contact hole in the non-emitting region according to the present invention, thereby preventing the voltage drop of the cathode electrode.

이에 유기전계발광소자에 균일한 신호를 인가할 수 있어, 휘도 및 화상 특성을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다. Therefore, a uniform signal can be applied to the organic electroluminescent device, and the brightness and image characteristics can be made uniform.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따라 보조전극배선이 OLED 기판 상에 구성된 모습을 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 2b는 도 2a의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다. FIG. 2A is a plan view schematically showing an auxiliary electrode wiring formed on an OLED substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a cross-sectional view schematically showing a cross section of FIG. 2A.

도 2a에 도시한 바와 같이, OLED(100)의 제 1 기판(101)의 일 가장자리에는 구동회로가 실장된 드라이버IC가 구성되며, 드라이버IC와 연결된 보조전극배선(335)이 제 1 기판(101)의 양측 가장자리에 구성된다. 2A, a driver IC in which a driving circuit is mounted is formed on one edge of the first substrate 101 of the OLED 100, and an auxiliary electrode wiring 335 connected to the driver IC is formed on the first substrate 101 As shown in Fig.

보조전극배선(335)은 유기전계발광 다이오드의 캐소드전극인 제 2 전극(115)과 전기적으로 연결되며, 보조전극배선(334)은 기판(101)의 좌측 및/또는 우측에 수백 마이크로미터에서 수 미리미터로 제 1 기판(101)의 길이방향을 따라 배치된다.The auxiliary electrode wiring 335 is electrically connected to the second electrode 115 which is the cathode electrode of the organic light emitting diode and the auxiliary electrode wiring 334 is electrically connected to the left and / And is disposed along the longitudinal direction of the first substrate 101 in advance by a meter.

그리고, 보조전극배선(335)은 화소부에 배열된 모든 화소에 전압강하(IR drop)가 발생하지 않고 동일한 전압이 인가되는 역할을 한다. 이에 대해 차후 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. The auxiliary electrode wiring 335 serves to apply the same voltage to all the pixels arranged in the pixel portion without generating a voltage drop (IR drop). Let me take a closer look at this later.

이의 구조에 대해 도 2b를 참조하여 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(101) 상부에는 각 화소영역(P) 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 유기전 계발광 다이오드(E)를 구성하는 애노드전극인 제 1 전극(111)과, 유기발광층(113)과, 캐소드전극인 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. Referring to FIG. 2B, a driving TFT DTr is formed on the first substrate 101 for each pixel region P, and an organic electroluminescence diode E A first electrode 111 which is an anode electrode, an organic light emitting layer 113 and a second electrode 115 which is a cathode electrode are sequentially formed.

제 1 전극(111)은 구동 박막트랜지스터(DTr)와 전기적으로 연결된다. The first electrode 111 is electrically connected to the driving thin film transistor DTr.

그리고, 제 1 기판(101)의 양측 가장자리에는 스캔 드라이버 및 게이트 구동회로가 실장된 회로부(333)가 위치하며, 회로부(333)의 일측에 보조전극배선(335)이 위치한다. A circuit portion 333 on which the scan driver and the gate driving circuit are mounted is positioned on both sides of the first substrate 101 and an auxiliary electrode wiring 335 is disposed on one side of the circuit portion 333.

보조전극배선(335)은 구동소자의 게이트 전극(도 1의 23)과 동일층, 동일물질로 구성할 수 있으며, 또는 구동소자의 소스 및 드레인전극(도 1의 27, 29)과 동일층, 동일물질로 구성할 수 있다. The auxiliary electrode wiring 335 may be formed of the same layer and the same material as the gate electrode (23 in FIG. 1) of the driving element, or the same layer as the source and drain electrodes (27 and 29 in FIG. 1) It can be composed of the same material.

이에, 보조전극배선(335)은 회로부(333)의 게이트 구동회로와 연결되는 게이트 라인(도 1의 38)에 의해 회로부(333)의 외측으로 구성된다.Thus, the auxiliary electrode wiring 335 is formed outside the circuit portion 333 by the gate line (38 in FIG. 1) connected to the gate driving circuit of the circuit portion 333.

그리고, 제 2 전극(115)은 제 1 기판(101)의 전면에 증착되는데, 제 2 전극(115)은 보조전극배선(335)과 다수의 콘택홀(미도시)을 통해 전기적으로 연결된다. The second electrode 115 is deposited on the entire surface of the first substrate 101. The second electrode 115 is electrically connected to the auxiliary electrode wiring 335 through a plurality of contact holes (not shown).

이러한 제 1 기판(101)은 제 2 기판(102)과 일정간격 이격되어 서로 마주보며 위치하며, 이의 가장자리부는 실패턴(seal pattern : 120)을 통해 봉지되어 합착됨으로써, 인캡슐레이션(encapsulation)된 OLED(100)가 완성된다. The first substrate 101 and the second substrate 102 are spaced apart from each other by a predetermined distance. The edge portions of the first substrate 101 are sealed and adhered to each other through a seal pattern 120 so as to be encapsulated The OLED 100 is completed.

이러한 본 발명의 OLED(100)는 상부 발광방식으로 유기발광층(113)으로부터 발광된 빛이 제 2 기판(102)쪽으로 방출되어야 하므로, 제 2 전극(115)은 투명한 도전성 물질하게 이루어져야 한다. In the OLED 100 according to the present invention, the light emitted from the organic light emitting layer 113 is emitted toward the second substrate 102 in the top emission type, so that the second electrode 115 must be made of a transparent conductive material.

그러나, 투명한 도전성 물질은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 물질을 사용하지만, 이러한 투명 도전성 물질은 일함수가 높아 캐소드전극으로 사용하기 어렵다. However, the transparent conductive material uses a material such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), but such a transparent conductive material has a high work function and is difficult to use as a cathode electrode.

이에, 제 2 전극(115)을 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하여 사용하는데, 이러한 제 2 전극(115)은 열이나 플라즈마에 의한 유기발광층(113)의 손상을 최소화하기 위하여 저온 증착에 의해 형성함으로써, 막질이 나쁘고 비저항이 높아지게 된다. The second electrode 115 is formed by depositing a transparent conductive material thick on the semitransparent metal film thinly deposited with a metal material having a low work function. The second electrode 115 is formed by using an organic light emitting layer 113 are formed by low-temperature deposition in order to minimize damage, the film quality is poor and the resistivity is high.

이에, 화소(P)의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되고, 이는 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(100)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 된다. Accordingly, not only the same negative voltage is applied to each pixel P but also a voltage difference is generated in a region far from a region where a voltage is input due to a voltage drop (IR drop) Which causes a problem of raising the power consumption of the OLED 100.

그러나, 본 발명은 보조전극배선(335)을 더욱 형성하고, 제 2 전극(115)이 보조전극배선(335)과 콘택홀(미도시)을 통해 전기적으로 연결되도록 함으로써, 이와 같은 문제점을 방지하게 되는 것이다.However, in the present invention, the auxiliary electrode wiring 335 is further formed, and the second electrode 115 is electrically connected to the auxiliary electrode wiring 335 through the contact hole (not shown) to prevent such a problem .

여기서, 보조전극배선(335)과 제 2 전극(115)이 서로 전기적으로 연결되는 모습을 도 3을 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Here, the manner in which the auxiliary electrode wiring 335 and the second electrode 115 are electrically connected to each other will be described in detail with reference to FIG.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이다. 3 is a schematic cross-sectional view of an OLED according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 OLED(100)는 발광영역(PA)과 비발광영역(NA)으로 구분되는데, 여기서, 발광영역(PA)에는 다수의 구동 박막트랜지스 터(DTr)와 유기전계발광 다이오드(E)가 형성되고, 비발광영역(NA)에는 보조전압배선(335)이 형성된다. As shown, the OLED 100 according to the present invention is divided into a light emitting region PA and a non-light emitting region NA. In the light emitting region PA, a plurality of driving thin film transistors DTr, An electroluminescent diode E is formed and an auxiliary voltage wiring 335 is formed in the non-emission area NA.

이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, OLED(100)의 발광영역(PA)의 제 1 기판(101) 상에는 반도체층(201)이 형성되는데, 반도체층(201)은 실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(201b) 그리고 액티브영역(201b) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201a, 201c)으로 구성된다. A semiconductor layer 201 is formed on the first substrate 101 of the light emitting area PA of the OLED 100. The semiconductor layer 201 is made of silicon and the center of the semiconductor layer 201 is made of active And source and drain regions 201a and 201c doped with a high concentration of impurities on both sides of the region 201b and the active region 201b.

이러한 반도체층(201) 상부로는 게이트절연막(203)이 형성되어 있다.A gate insulating layer 203 is formed on the semiconductor layer 201.

게이트절연막(203) 상부로는 반도체층(201)의 액티브영역(201b)에 대응하여 게이트전극(223)과 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선이 형성되어 있다. Gate electrodes 223 corresponding to the active region 201b of the semiconductor layer 201 are formed on the gate insulating film 203 and gate wirings extending in one direction although not shown in the figure.

그리고, 게이트절연막(203) 상부에는 제 2 전극(115)에 공통전압을 인가하는 공통전압배선(331)이 게이트전극(223)과 동일층, 동일물질로 구성된다. A common voltage wiring 331 for applying a common voltage to the second electrode 115 is formed on the gate insulating film 203 in the same layer and the same material as the gate electrode 223.

그리고, 게이트전극(223)과 게이트배선 그리고 공통전압배선(331)의 상부 전면에 제 1 층간절연막(207a)이 형성되어 있으며, 이때 제 1 층간절연막(207a)과 그 하부의 게이트절연막(203)은 액티브영역(201b) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(201a, 201c)을 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(208a, 208b)을 구비한다. A first interlayer insulating film 207a and a gate insulating film 203 under the first interlayer insulating film 207a are formed on the entire upper surface of the gate electrode 223 and the gate wiring and the common voltage wiring 331. In this case, The first and second semiconductor layer contact holes 208a and 208b exposing the source and drain regions 201a and 201c located on both sides of the active region 201b.

다음으로, 제 1, 2 반도체층 콘택홀(208a, 208b)을 포함하는 제 1 층간절연막(207a) 상부로는 서로 이격하며 제 1, 2 반도체층 콘택홀(208a, 208b)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(201a, 201c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(227, 229)이 형성되어 있다. Next, upper portions of the first interlayer insulating film 207a including the first and second semiconductor layer contact holes 208a and 208b are separated from each other by a source exposed through the first and second semiconductor layer contact holes 208a and 208b, And source and drain electrodes 227 and 229 which are in contact with the source and drain regions 201a and 201c, respectively.

이때, 기판(101)의 비발광영역(NA)에는 보조전극배선(335)이 형성되는데, 보조전극배선(335)은 게이트 전극(223)과 동일층, 동일물질로 구성할 수도 있으며, 소스 및 드레인전극(227, 229)과 동일층, 동일물질로 구성할 수 있다.At this time, an auxiliary electrode wiring 335 is formed in the non-emission area NA of the substrate 101. The auxiliary electrode wiring 335 may be formed of the same layer and the same material as the gate electrode 223, Drain electrodes 227 and 229, and the same material.

본 발명에서는 보조전극배선(335)을 소스 및 드레인 전극(227, 229)과 동일층, 동일물질로 구성된 것을 일예로 설명하도록 하겠다. In the present invention, the auxiliary electrode wiring 335 is composed of the same layer and the same material as the source and drain electrodes 227 and 229.

그리고, 소스 및 드레인전극(227, 229)과 두 전극(227, 229) 사이로 노출된 제 1 층간절연막(207a) 그리고 보조전극배선(335) 상부로 드레인전극(229)을 노출시키는 드레인콘택홀(215) 및 공통전압배선(331)을 노출시키는 공통전압콘택홀(331a) 그리고 보조전극배선(335)을 노출시키는 보조전극콘택홀(335a)을 갖는 제 2 층간절연막(207b)이 형성되어 있다. The first interlayer insulating film 207a exposed between the source and drain electrodes 227 and 229 and the two electrodes 227 and 229 and the drain contact hole 227 exposing the drain electrode 229 over the auxiliary electrode wiring 335 A common voltage contact hole 331a exposing the common voltage wiring line 331 and a second interlayer insulating film 207b having an auxiliary electrode contact hole 335a exposing the auxiliary electrode wiring 335 are formed.

이때, 소스 및 드레인 전극(227, 229)과 이들 전극(227, 229)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 포함하는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(223)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. The semiconductor layer 201 including the source and drain electrodes 227 and 229 and the source and drain regions 201b and 201c in contact with the electrodes 227 and 229 and the gate insulating film The gate electrode 203 and the gate electrode 223 constitute a driving thin film transistor DTr.

이때 도면에 나타나지 않았지만, 게이트배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다. At this time, although not shown in the drawing, data lines (not shown) are formed which cross the gate wiring (not shown) and define the pixel region P. The switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.

그리고, 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)는 도면에서는 반도체 층(201)이 폴리실리콘 반도체층으로 이루어진 탑 게이트(top gate) 타입을 예로써 보이고 있으며, 이의 변형예로써 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성될 수도 있다. The switching and driving thin film transistor (not shown) DTr is shown as an example of a top gate type in which the semiconductor layer 201 is a polysilicon semiconductor layer. As a variation thereof, the amorphous Or may be formed of a bottom gate type made of silicon nitride.

또한, 제 2 층간절연막(207b) 상부의 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(111)과 유기발광층(113) 그리고 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. The first electrode 111, the organic light emitting layer 113 and the second electrode 115 constituting the organic electroluminescent diode E are sequentially formed on the second interlayer insulating film 207b, Respectively.

제 1, 2 전극(111, 115)과 그 사이에 형성된 유기발광층(113)은 유기전계발광 다이오드(E)를 이루게 된다.The first and second electrodes 111 and 115 and the organic light emitting layer 113 formed therebetween form an organic light emitting diode E.

제 1 전극(111)은 제 2 층간절연막(207b)의 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)과 연결되며, 제 2 전극(115)은 제 2 층간절연막(207b)의 공통전압콘택홀(331a)과 보조전극콘택홀(335a)을 통해 공통전압배선(331) 및 보조전극배선(335)과 연결된다. The first electrode 111 is connected to the drain electrode 229 of the driving thin film transistor DTr through the drain contact hole 215 of the second interlayer insulating film 207b and the second electrode 115 is connected to the drain electrode 229 of the second thin film transistor DTr, The common voltage wiring 331 and the auxiliary electrode wiring 335 are connected through the common voltage contact hole 331a and the auxiliary electrode contact hole 335a of the common electrode wiring 207b.

이와 같은 경우에, 제 1 전극(111)은 애노드(anode) 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 높은 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성하며, 제 2 전극(115)은 캐소드(cathode)의 역할을 하기 위해 비교적 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어진다. In this case, the first electrode 111 is formed of indium-tin-oxide (ITO), which is a relatively high work function value, to serve as an anode electrode, and the second electrode 115 is formed of a cathode cathode is made of a metal material having a relatively low work function value.

그리고, 유기발광층(113)에서 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 향해 방출되는 상부 발광방식으로 구동된다. The light emitted from the organic light emitting layer 113 is driven by the upper light emitting method that is emitted toward the second electrode 115.

유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층( hole transporting layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다.The organic light emitting layer 113 may be a single layer made of a light emitting material and may include a hole injection layer, a hole transporting layer, an emitting material layer, and an electron transporting layer an electron transporting layer, and an electron injection layer.

그리고, 유기발광층(113)으로부터 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 투과해야 하므로, 제 2 전극(115)은 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하게 된다. Since the light emitted from the organic light emitting layer 113 has to be transmitted through the second electrode 115, the second electrode 115 may be formed by forming a transparent conductive material on the semi-transparent metal film thinly deposited with a metal material having a low work function, Respectively.

이때, 제 2 전극(115)을 보조전극배선(335)과 연결되도록 함으로써, 제 2 전극(115)이 막질이 나쁘고 비저항이 높아, 화소(P)의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되고, 이는 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(100)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 되는 것을 방지할 수 있다. Since the second electrode 115 is connected to the auxiliary electrode wiring 335 at this time, the second electrode 115 has poor film quality and high resistivity, so that the same negative voltage is not applied to each pixel P, A voltage difference is generated between the region where the voltage is input by the IR drop and the region far from the region where the voltage is input. This causes a variation in brightness and image characteristics, and raises the power consumption of the OLED 100 And it is possible to prevent it from being caused.

이러한 OLED(100)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(111)과 제 2 전극(115)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(111)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(115)으로부터 인가된 전자가 유기발광층(113)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.When a predetermined voltage is applied to the first electrode 111 and the second electrode 115 in accordance with a selected color signal, the OLED 100 emits a positive voltage, which is injected from the first electrode 111, The excited electrons are transported to the organic light emitting layer 113 to form an exciton. When the excitons transit from the excited state to the ground state, light is generated and emitted in the form of visible light.

이때, 발광된 빛은 투명한 제 2 전극(115)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, OLED(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다. At this time, the emitted light passes through the transparent second electrode 115 and exits to the outside, so that the OLED 100 realizes an arbitrary image.

한편, 제 1 전극(111)은 각 화소영역(P)별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별 로 형성된 제 1 전극(111) 사이에는 뱅크(bank : 221)가 위치한다. The first electrode 111 is formed for each pixel region P and a bank 221 is located between the first electrodes 111 formed for each pixel region P.

즉, 뱅크(221)는 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어, 뱅크(221)를 각 화소영역 별 경계부로 하여 제 1 전극(111)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조로 형성되어 있다. That is, the banks 221 are formed in a matrix type of a grid structure as a whole on the substrate 101, and the first electrodes 111 are divided into the pixel regions P with the banks 221 as boundary portions for the respective pixel regions Respectively.

이후에는 전술한 본 발명의 실시예에 따른 상부발광 방식 OLED의 제조 방법에 대해 간단히 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the top emission type OLED according to the embodiment of the present invention will be briefly described.

본 발명의 실시예의 경우, 제 1 기판에 모든 구성요소가 형성되므로 제 1 기판의 제조 방법을 위주로 설명하도록 하겠다. In the embodiment of the present invention, since all the components are formed on the first substrate, the manufacturing method of the first substrate will be mainly described.

이때, 구동 박막트랜지스터의 드레인전극과 연결된 제 1 전극이 애노드 전극의 역할을 하며, 제 2 전극이 캐소드 전극을 역할을 하는 상부발광 방식 OLED의 제조 방법을 일례로 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing a top emission type OLED in which a first electrode connected to a drain electrode of a driving thin film transistor serves as an anode electrode and a second electrode serves as a cathode electrode will be described as an example.

도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 상부 발광 방식 OLED의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 공정 단면도이다. 4A to 4F are cross-sectional views illustrating one pixel region of a top emission OLED according to an exemplary embodiment of the present invention.

우선, 도 4a에 도시한 바와 같이, 절연기판(101)의 발광영역(PA)에 비정질 실리콘을 증착하여 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이에 대해 레이저 빔을 조사하거나 또는 열처리를 실시하여 상기 비정질 실리콘층을 폴리실리콘층(미도시)으로 결정화시킨다. 4A, an amorphous silicon layer (not shown) is formed by depositing amorphous silicon on the light emitting region PA of the insulating substrate 101, and a laser beam is irradiated thereto or heat treatment is performed The amorphous silicon layer is crystallized with a polysilicon layer (not shown).

이후, 마스크 공정을 실시하여 폴리실리콘층(미도시)을 패터닝하여 순수 폴리실리콘 상태의 반도체층(201)을 형성한다. 이때 비정질 실리콘층(미도시)을 형성 하기 전에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 절연기판(101) 전면에 증착함으로써 버퍼층(미도시)을 형성할 수도 있다. Thereafter, a mask process is performed to pattern a polysilicon layer (not shown) to form a semiconductor layer 201 in a pure polysilicon state. A buffer layer (not shown) may be formed by depositing an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x) on the entire surface of the insulating substrate 101 before forming an amorphous silicon layer (not shown) .

다음으로, 순수 폴리실리콘의 반도체층(201) 위로 산화실리콘(SiO2)을 증착하여 게이트절연막(203)을 형성한다. Next, silicon oxide (SiO 2 ) is deposited on the semiconductor layer 201 of pure polysilicon to form a gate insulating film 203.

이후, 게이트절연막(203) 위로 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 중 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 반도체층(201)의 중앙부에 대응하여 게이트전극(223)을 형성한다. Thereafter, a first metal layer (not shown) is formed by depositing a low resistance metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), or copper alloy on the gate insulating film 203, The mask process is performed to form the gate electrode 223 corresponding to the central portion of the semiconductor layer 201. [

이때 게이트전극(223) 중 스위칭영역(미도시)에 형성된 게이트전극(미도시)과 연결되며 일 방향으로 연장하는 게이트배선(미도시)과, 게이트배선(미도시)과 나란하게 일정간격 이격하여 공통전압배선(331)을 형성한다.At this time, gate wirings (not shown) connected to a gate electrode (not shown) formed in a switching region (not shown) of the gate electrode 223 and extending in one direction and gate wirings (not shown) Thereby forming the common voltage wiring 331.

다음, 게이트전극(223)을 블록킹 마스크로 이용하여 기판(101) 전면에 불순물 즉, 3가 원소 또는 5가 원소를 도핑함으로써 반도체층(201) 중 게이트전극(223) 외측에 위치한 부분에 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201a, 201c)을 이루도록 하고, 도핑이 방지된 게이트전극(223)에 대응하는 부분은 순수 폴리실리콘의 액티브영역(201b)을 이루도록 한다. Next, impurities, that is, a trivalent element or a pentavalent element are doped on the entire surface of the substrate 101 by using the gate electrode 223 as a blocking mask, thereby forming impurities on the portion of the semiconductor layer 201 located outside the gate electrode 223 Doped source and drain regions 201a and 201c and a portion corresponding to the doped gate electrode 223 forms an active region 201b of pure polysilicon.

다음으로 반도체층(201)이 형성된 기판(101) 전면에 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)과 같은 무기절연물질을 증착하여 전면에 제 1 층간절연막(207a)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 제 1 층간절연막(207a)과 하부의 게이트절연 막(203)을 동시 또는 일괄 패터닝함으로써 반도체층(201)의 소스 및 드레인영역(201a, 201c)을 각각 노출시키는 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(208a, 208b)을 형성한다.Next, an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2 ) is deposited on the entire surface of the substrate 101 on which the semiconductor layer 201 is formed to form a first interlayer insulating film 207a on the entire surface, To expose the source and drain regions 201a and 201c of the semiconductor layer 201 by simultaneously or collectively patterning the first interlayer insulating film 207a and the underlying gate insulating film 203, Layer contact holes 208a and 208b are formed.

이후, 제 1 층간절연막(207a) 위로 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr) 및 몰리브덴(Mo) 중 하나를 증착하여 제 2 금속층(미도시)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(208a, 208b)을 통해 소스 및 드레인영역(201a, 201c)과 접촉하는 소스 및 드레인전극(227, 229)을 형성한다. Then, one of a metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, chromium (Cr) and molybdenum (Mo) is deposited on the first interlayer insulating film 207a, The source and drain electrodes 227 (227) and 227 (227) which contact the source and drain regions 201a and 201c through the first and second semiconductor layer contact holes 208a and 208b by forming a metal layer (not shown) , 229 are formed.

동시에 기판(101)의 비발광영역(NA)의 제 1 층간절연막(207a) 위로 보조전극배선(335)을 형성한다. At the same time, an auxiliary electrode wiring 335 is formed on the first interlayer insulating film 207a in the non-light emitting area NA of the substrate 101. [

이때 반도체층(201)과 게이트절연막(203)과 게이트전극(223)과 제 1 층간절연막(207a)과 서로 이격하는 소스 및 드레인전극(227, 229)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이룬다. The source and drain electrodes 227 and 229 spaced apart from the semiconductor layer 201, the gate insulating layer 203, the gate electrode 223 and the first interlayer insulating layer 207a constitute a driving thin film transistor DTr.

다음으로 도 4b에 도시한 바와 같이, 소스 및 드레인전극(227, 229) 및 보조전극배선(335) 위로 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하거나 또는 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 제 2 층간절연막(207b)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)을 노출시키는 드레인콘택홀(215)과, 공통전압배선(331)을 노출시키는 공통전압콘택홀(331a)을 형성한다. Next, as shown in Figure 4b, the source and drain electrodes 227 and 229 and the auxiliary electrode wiring 335 over the inorganic insulating material, for example deposited, or organic silicon oxide (SiO 2) or silicon nitride (SiNx) A second interlayer insulating film 207b is formed by applying an insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene (BCB), and the second interlayer insulating film 207b is patterned to expose the drain electrode 229 of the driving thin film transistor DTr A drain contact hole 215 and a common voltage contact hole 331a exposing the common voltage wiring 331 are formed.

또한, 기판(101)의 비발광영역(NA)의 보조전극배선(335)을 노출시키는 보조전극콘택홀(335a)을 형성한다. An auxiliary electrode contact hole 335a exposing the auxiliary electrode wiring 335 in the non-emission area NA of the substrate 101 is formed.

다음으로 도 4c에 도시한 바와 같이, 드레인콘택홀(215)을 갖는 제 2 층간절연막(207b) 위로 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 수천 Å 정도의 두께를 갖도록 증착하고 패터닝함으로써 각 화소영역(P)별로 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)과 접촉하는 제 1 전극(111)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4C, on the second interlayer insulating film 207b having the drain contact hole 215, indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) is deposited to have a thickness of about several thousand angstroms and patterned to form a first electrode 111 (111) which contacts the drain electrode 229 of the driving thin film transistor DTr through the drain contact hole 215 for each pixel region P ).

이후, 도 4d에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(111) 위로 제 1 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 제 1 유기절연물질층(미도시)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 각 화소영역(P)을 테두리하며, 공통전극배선(331)을 노출시키는 제 2 공통전극콘택홀(331b)을 갖는 뱅크(221)를 형성한다. 4D, a first organic insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene (BCB) is applied on the first electrode 111 to form a first organic insulating material layer (not shown) And the bank 221 having the second common electrode contact hole 331b which rims the respective pixel regions P and exposes the common electrode wiring 331 is formed by patterning the same.

다음, 도 4e에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(111) 위로 유기발광층(113)을 형성한다. 이때 유기발광층(113)은 적, 녹, 청색을 발광하는 적, 녹, 청색 유기 발광패턴(미도시)을 포함하여 형성될 수도 있고, 또는 백색을 발광하는 백색 유기 발광패턴(113)만으로 이루어질 수도 있다. Next, as shown in FIG. 4E, the organic light emitting layer 113 is formed over the first electrode 111. [ The organic light emitting layer 113 may include red, green, and blue organic light emitting patterns (not shown) that emit red, green, and blue light, or white organic light emitting patterns 113 that emit white light. have.

적, 녹, 청색의 유기 발광패턴(미도시)으로 구성되는 경우 3회의 쉐도우 마스크를 이용한 열증착 실시하게 되며, 백색 유기 발광패턴(113)만을 형성할 경우 1회의 쉐도우 마스크를 이용한 열증착을 실시하게 된다. In the case where the organic light emitting device is composed of red, green, and blue organic light emission patterns (not shown), thermal evaporation is performed using three shadow masks. In the case of forming only the white organic light emitting patterns 113, thermal shadowing using a single shadow mask is performed .

다음, 도 4f에 도시한 바와 같이, 유기발광층(113) 위로 비교적 일함수 값이 작은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금, 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au) 중 하나를 열증착 또는 이온 빔 증착을 실시함으로써 기판(101)의 전면에 5Å 내지 50Å 정도의 비교적 얇은 두께를 갖도록 제 2 전극(115)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4F, a metal material having a relatively low work function value such as aluminum (Al), an aluminum alloy, silver (Ag), magnesium (Mg) The second electrode 115 is formed on the entire surface of the substrate 101 to have a relatively thin thickness of about 5 to 50 angstroms by performing one of thermal deposition and ion beam deposition.

이때, 제 2 전극(115)은 제 2 공통전극콘택홀(331b)을 통해 공통전극배선(331)과 접촉하게 되며, 비발광영역(NA)에서는 보조전극콘택홀(335a)을 통해 보조전극배선(335)과 전기적으로 연결된다. At this time, the second electrode 115 is in contact with the common electrode wiring 331 through the second common electrode contact hole 331b, and the auxiliary electrode contact hole 335a in the non- (Not shown).

따라서, 제 2 전극(115)은 공통 신호전압이 보조전극배선(335)을 통해 각 화소영역(P)별로 인가되는 구조가 됨으로써, 그 내부 저항에 의한 전압강하 현상은 거의 발생하지 않게 되며, 따라서 이에 의한 표시영역 내의 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있게 되는 것이다.  Accordingly, the second electrode 115 has a structure in which the common signal voltage is applied to each pixel region P through the auxiliary electrode wiring 335, so that the voltage drop due to the internal resistance hardly occurs. It is possible to prevent the uneven luminance phenomenon in the display area.

도면에 나타나지 않았지만, 비교적 얇은 두께를 갖는 제 2 전극(115)의 보호와 유기발광층(113)에로의 수분 침투 방지 강화를 위해 제 2 전극(115) 위로는 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로써 500Å 내지 2000Å 정도의 두께를 갖는 보조 제 2 전극(미도시)을 더욱 형성할 수도 있다. Although not shown in the drawing, a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO) is formed on the second electrode 115 in order to protect the second electrode 115 having a relatively thin thickness and to prevent moisture penetration into the organic light- An auxiliary second electrode (not shown) having a thickness of about 500 Å to 2000 Å may be further formed of ITO or indium-zinc-oxide (IZO).

한편, 전술한 바와 같이 완성된 제 1 기판(101)에 대해, 발광영역 테두리를 따라 씰패턴(미도시)을 형성하고, 투명한 재질의 제 2 기판(도 2b의 102)을 대향시킨 후, 불활성 기체 분위기 또는 진공의 분위기에서 상기 제 1 및 제 2 기판(101, 도 2b의 102)을 합착함으로써 본 발명의 실시예에 따른 상부발광 방식 OLED(100)를 완성할 수 있다. On the other hand, a sealing pattern (not shown) is formed along the edge of the light-emitting region with respect to the completed first substrate 101 as described above, the second substrate (102 of Fig. 2B) It is possible to complete the top emission type OLED 100 according to the embodiment of the present invention by bonding the first and second substrates 101 (102 of FIG. 2B) in a gas atmosphere or a vacuum atmosphere.

본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

도 1은 일반적인 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 schematically shows a cross section of a typical OLED. FIG.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따라 보조전극배선이 OLED 기판 상에 구성된 모습을 개략적으로 도시한 평면도.FIG. 2A is a plan view schematically showing a state in which an auxiliary electrode wiring is formed on an OLED substrate according to an embodiment of the present invention; FIG.

도 2b는 도 2a의 단면을 개략적으로 도시한 단면도.FIG. 2B is a cross-sectional view schematically showing the section of FIG. 2A. FIG.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면.3 schematically illustrates a cross-section of an OLED according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 상부 발광 방식 OLED의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 공정 단면도.FIGS. 4A through 4F are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a pixel region of a top emission OLED according to an exemplary embodiment of the present invention; FIGS.

Claims (5)

발광영역과 비발광영역이 정의된 제 1 기판과; A first substrate on which a light emitting region and a non-emitting region are defined; 상기 제 1 기판 상의 상기 비발광영역에 형성되는 보조전극배선과; An auxiliary electrode line formed in the non-emission region on the first substrate; 상기 제 1 기판의 상기 발광영역에 형성되며, 반도체층, 게이트전극 및 소스 및 드레인전극을 포함하는 구동 박막트랜지스터와; A driving thin film transistor formed in the light emitting region of the first substrate and including a semiconductor layer, a gate electrode, and a source and a drain electrode; 상기 소스 및 드레인전극 및 상기 보조전극배선 상부에 형성되며, 상기 보조전극배선의 일부가 노출되도록 콘택홀을 포함하는 절연막과; An insulating layer formed on the source and drain electrodes and the auxiliary electrode wiring, the insulating layer including a contact hole such that a part of the auxiliary electrode wiring is exposed; 상기 드레인전극과 접촉되도록 형성되는 제 1 전극과; A first electrode formed to be in contact with the drain electrode; 상기 노출된 제 1 전극 상부에 형성되는 유기발광층과;An organic light emitting layer formed on the exposed first electrode; 상기 제 1 기판 전면에 걸쳐 상기 유기발광층 상부에 형성되며, 상기 보조전극배선과 전기적으로 연결되는 제 2 전극A second electrode formed on the organic light emitting layer over the entire surface of the first substrate and electrically connected to the auxiliary electrode wiring, 을 포함하며, / RTI > 상기 제 2 전극은 반투명 금속막과 투명한 도전성 물질막을 포함하고, Wherein the second electrode comprises a semitransparent metal film and a transparent conductive material film, 상기 반투명 금속막은 상기 유기발광층과 상기 투명한 도전성 물질막 사이에 위치하며, 상기 투명한 도전성 물질막의 두께는 상기 반투명 금속막의 두께보다 두껍고, 상기 반투명 금속막의 일함수는 상기 투명한 도전성 물질막 및 상기 제 1 전극보다 낮으며,Wherein the semitransparent metal film is located between the organic light emitting layer and the transparent conductive material film, the thickness of the transparent conductive material film is greater than the thickness of the semitransparent metal film, and the work function of the semi- Lt; / RTI > 상기 유기발광층에서 발광하는 빛은 상기 제 2 전극 상부로 투과하는 상부발광 방식 유기전계발광소자.Wherein the light emitted from the organic light emitting layer is transmitted to an upper portion of the second electrode. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 보조전극배선은 상기 게이트전극과 동일층, 동일물질로 이루어지는 상부발광 방식 유기전계발광소자.Wherein the auxiliary electrode wiring is formed of the same material and the same material as the gate electrode. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 보조전극배선은 상기 소스 및 드레인전극과 동일층, 동일물질로 이루어지는 상부발광 방식 유기전계발광소자.Wherein the auxiliary electrode wiring is formed of the same material and the same material as the source and drain electrodes. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 선택된 하나인 상부발광 방식 유기전계발광소자. Wherein the first electrode is a selected one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO). 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 투명한 도전성 물질막은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지는 상부발광 방식 유기전계발광소자. Wherein the transparent conductive material layer is made of indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO).
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