KR101576834B1 - Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same - Google Patents
Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101576834B1 KR101576834B1 KR1020090092597A KR20090092597A KR101576834B1 KR 101576834 B1 KR101576834 B1 KR 101576834B1 KR 1020090092597 A KR1020090092597 A KR 1020090092597A KR 20090092597 A KR20090092597 A KR 20090092597A KR 101576834 B1 KR101576834 B1 KR 101576834B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- light emitting
- auxiliary electrode
- layer
- substrate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
- H10K2102/3023—Direction of light emission
- H10K2102/3026—Top emission
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
본 발명은 상부 발광 방식 유기전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 제 2 전극의 전압강하 방지를 위한 보조전극에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a top emission type organic electroluminescent device, and more particularly to an auxiliary electrode for preventing a voltage drop of a second electrode.
본 발명의 특징은 제 2 전극이 비발광영역에서는 보조전극콘택홀을 통해 보조전극배선과 전기적으로 연결되도록 하는 것이다. A feature of the present invention is that the second electrode is electrically connected to the auxiliary electrode wiring through the auxiliary electrode contact hole in the non-emitting region.
이를 통해, 제 2 전극이 막질이 나쁘고 비저항이 높아, 화소의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되어, 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, since the second electrode has poor film quality and high resistivity, the same negative voltage is not applied for each pixel position, but a voltage difference occurs in a region near the voltage input region due to a voltage drop (IR drop) Thus, it is possible to prevent unevenness of luminance and image characteristics, and to cause a problem of raising the power consumption of the OLED.
유기전계발광소자, 보조전극배선, 전압강하 Organic electroluminescent device, auxiliary electrode wiring, voltage drop
Description
본 발명은 상부 발광 방식 유기전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 제 2 전극의 전압강하 방지를 위한 보조전극에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a top emission type organic electroluminescent device, and more particularly to an auxiliary electrode for preventing a voltage drop of a second electrode.
최근까지, CRT(cathode ray tube)가 표시장치로서 주로 사용되었다. 그러나, 최근에 CRT를 대신할 수 있는, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기전계발광소자(organic electro-luminescence device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있는 추세이다.Until recently, CRT (cathode ray tube) was mainly used as a display device. However, in recent years, flat panel displays such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), and an organic electro-luminescence device (OLED) Display devices have been widely studied and used.
위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기전계발광소자(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Of the above flat panel display devices, an organic electroluminescent element (hereinafter referred to as OLED) is a self-luminous element and can be lightweight and thin because it does not require a backlight used in a liquid crystal display device which is a non-light emitting element.
그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요 소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. In addition, it has a better viewing angle and contrast ratio than liquid crystal display devices, is advantageous in terms of power consumption, can be driven by DC low voltage, has a fast response speed, is resistant to external impacts due to its solid internal components, It has wide advantages.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.
이러한 특성을 갖는 OLED는 크게 패시브 매트릭스 타입(passive matrix type)과 액티브 매트릭스 타입(active matrix type)으로 나뉘어 지는데, 패시브 매트릭스 타입은 신호선을 교차하면서 매트릭스 형태로 소자를 구성하는 반면, 액티브 매트릭스 타입은 화소를 온/오프(on/off)하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터와 전류를 흘려보내주는 구동 박막트랜지스터 및 구동 박막트랜지스터에 한 프레임 동안 전압을 유지해 주는 캐패시터가 화소 별로 위치하도록 한다. OLEDs having such characteristics are largely divided into a passive matrix type and an active matrix type. In a passive matrix type, a device is formed in a matrix form while crossing signal lines, whereas an active matrix type is a pixel A thin film transistor which is a switching element for on / off switching, a driving thin film transistor for flowing a current, and a capacitor for holding a voltage for one frame in a driving thin film transistor are provided for each pixel.
최근, 패시브 매트릭스 타입은 해상도나 소비전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있어, 고해상도나 대화면을 구현할 수 있는 액티브 매트릭스 타입 OLED의 연구가 활발히 진행되고 있다. In recent years, passive matrix type has many limitations such as resolution, power consumption and lifetime, and active matrix type OLED capable of realizing high resolution and large screen is actively being studied.
도 1은 일반적인 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a general OLED. FIG.
도시한 바와 같이, OLED(10)는 제 1 기판(1)의 상부에는 화소영역(P) 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(11)과, 유기발광층(13)과, 제 2 전극(15)이 순차적으로 형성되어 있다. As shown in the drawing, a driving thin film transistor DTr is formed in the
여기서, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 액티브층(21)과 게이트전극(23)과 소스 및 드레인전극(27, 29)으로 이루어지며, 이러한 구동 박막트랜지스터(DTr) 상부에는 절연막(25)을 사이에 두고 유기전계발광 다이오드(E)가 위치한다. The driving thin film transistor DTr includes an
이때, 유기전계발광 다이오드(E)의 제 1 전극(11)은 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(29)과 연결되며, 제 1 전극(11)은 각 화소영역(P) 별로 형성되며, 제 1 전극(11) 사이에는 뱅크(bank : 26)가 위치한다. The
그리고, 제 2 전극(15)에 공통전압을 인가하는 공통전압배선(31)이 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트전극(23)과 동일층, 동일물질로 구성된다. The common voltage wiring 31 for applying a common voltage to the
공통전압배선(31)은 상부에 구성된 다수의 절연막(25)을 식각한 콘택홀(33)을 통해 제 2 전극(15)과 접촉하게 된다.The
여기서, OLED(10)는 유기발광층(13)을 통해 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 하부 발광방식은 안정성 및 공정이 자유도가 높은 반면 개구율의 제한이 있어 고해상도 제품에 적용하기 어려운 문제점이 있다. The OLED 10 is divided into a top emission type and a bottom emission type according to a transmission direction of light emitted through the
이에, 최근에는 고개구율 및 고해상도를 갖는 상부 발광방식에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. In recent years, studies have been actively made on an upper light emitting method having a high aperture ratio and a high resolution.
이와 같이, 상부 발광방식인 OLED(10)인 경우에는, 제 1 전극(11)은 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질로 이루어져 애노드전극 역할을 하며, 제 2 전극(15)은 제 1 전극(11)에 비해 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어져 캐소드전극 역할을 한다.As described above, in the case of the OLED 10 of the top emission type, the
이때, 유기발광층(13)으로부터 발광된 빛은 제 2 전극(15)을 투과해야 하나, 제 2 전극(15)은 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어짐에 따라 불투명한 특성을 갖게 된다. At this time, the light emitted from the organic
이에 따라, 제 2 전극(15)을 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하여 사용하는데, 이러한 제 2 전극(15)은 유기발광층(13)의 손상을 최소화하기 위하여 저온 증착에 의해 형성하게 된다. The
이에, 제 2 전극(15)은 막질이 나쁘고 비저항이 높아지게 된다. Thus, the
여기서, 제 2 전극(15)의 비저항이 높다는 것은 화소의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 한다.Here, the high specific resistance of the
이는, 결국 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(10)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 된다. This results in unevenness of luminance and image characteristics, and raises a problem of increasing the power consumption of the OLED 10.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전압강하를 방지할 수 있는 유기전계발광소자를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide an organic electroluminescent device capable of preventing a voltage drop.
이를 통해, 균일한 신호를 제공함으로써, 휘도 및 화상 특성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다. It is a second object of the present invention to provide a uniform signal to improve luminance and image characteristics.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 발광영역과 비발광영역 이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상의 상기 비발광영역에 형성되는 보조전극배선과; 상기 제 1 기판의 상기 발광영역에 형성되며, 반도체층, 게이트전극 및 소스 및 드레인전극을 포함하는 구동 박막트랜지스터와; 상기 소스 및 드레인전극 및 상기 보조전극배선 상부에 형성되며, 상기 보조전극배선의 일부가 노출되도록 콘택홀을 포함하는 절연막과; 상기 드레인전극과 접촉되도록 형성되는 제 1 전극과; 상기 노출된 제 1 전극 상부에 형성되는 유기발광층과; 상기 제 1 기판 전면에 걸쳐 상기 유기발광층 상부에 형성되며, 상기 보조전극배선과 전기적으로 연결되는 제 2 전극을 포함하며, 상기 유기발광층에서 발광하는 빛은 상기 제 2 전극 상부로 투과하는 상부발광 방식 유기전계발광소자를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a light emitting device including a first substrate on which a light emitting region and a non-emitting region are defined; An auxiliary electrode line formed in the non-emission region on the first substrate; A driving thin film transistor formed in the light emitting region of the first substrate and including a semiconductor layer, a gate electrode, and a source and a drain electrode; An insulating layer formed on the source and drain electrodes and the auxiliary electrode wiring, the insulating layer including a contact hole such that a part of the auxiliary electrode wiring is exposed; A first electrode formed to be in contact with the drain electrode; An organic light emitting layer formed on the exposed first electrode; And a second electrode formed on the organic light emitting layer over the entire surface of the first substrate and electrically connected to the auxiliary electrode wiring, wherein light emitted from the organic light emitting layer is transmitted through the upper light emitting method An organic electroluminescent device is provided.
이때, 상기 보조전극배선은 상기 게이트전극과 동일층, 동일물질로 이루어지며, 상기 보조전극배선은 상기 소스 및 드레인전극과 동일층, 동일물질로 이루어진다. At this time, the auxiliary electrode line is formed of the same layer and the same material as the gate electrode, and the auxiliary electrode line is formed of the same layer and the same material as the source and drain electrodes.
여기서, 상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 선택된 하나이며, 상기 제 2 전극은 반투명 금속막과 투명한 도전성 물질이 중첩된다. Here, the first electrode is a selected one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO), and the second electrode overlaps a translucent metal film and a transparent conductive material.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 제 2 전극이 비발광영역에서는 보조전극콘택홀을 통해 보조전극배선과 전기적으로 연결되도록 함으로써, 음극전극의 전압강하를 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, the second electrode is electrically connected to the auxiliary electrode line through the auxiliary electrode contact hole in the non-emitting region according to the present invention, thereby preventing the voltage drop of the cathode electrode.
이에 유기전계발광소자에 균일한 신호를 인가할 수 있어, 휘도 및 화상 특성을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다. Therefore, a uniform signal can be applied to the organic electroluminescent device, and the brightness and image characteristics can be made uniform.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따라 보조전극배선이 OLED 기판 상에 구성된 모습을 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 2b는 도 2a의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다. FIG. 2A is a plan view schematically showing an auxiliary electrode wiring formed on an OLED substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a cross-sectional view schematically showing a cross section of FIG. 2A.
도 2a에 도시한 바와 같이, OLED(100)의 제 1 기판(101)의 일 가장자리에는 구동회로가 실장된 드라이버IC가 구성되며, 드라이버IC와 연결된 보조전극배선(335)이 제 1 기판(101)의 양측 가장자리에 구성된다. 2A, a driver IC in which a driving circuit is mounted is formed on one edge of the
보조전극배선(335)은 유기전계발광 다이오드의 캐소드전극인 제 2 전극(115)과 전기적으로 연결되며, 보조전극배선(334)은 기판(101)의 좌측 및/또는 우측에 수백 마이크로미터에서 수 미리미터로 제 1 기판(101)의 길이방향을 따라 배치된다.The
그리고, 보조전극배선(335)은 화소부에 배열된 모든 화소에 전압강하(IR drop)가 발생하지 않고 동일한 전압이 인가되는 역할을 한다. 이에 대해 차후 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. The
이의 구조에 대해 도 2b를 참조하여 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(101) 상부에는 각 화소영역(P) 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 유기전 계발광 다이오드(E)를 구성하는 애노드전극인 제 1 전극(111)과, 유기발광층(113)과, 캐소드전극인 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. Referring to FIG. 2B, a driving TFT DTr is formed on the
제 1 전극(111)은 구동 박막트랜지스터(DTr)와 전기적으로 연결된다. The
그리고, 제 1 기판(101)의 양측 가장자리에는 스캔 드라이버 및 게이트 구동회로가 실장된 회로부(333)가 위치하며, 회로부(333)의 일측에 보조전극배선(335)이 위치한다. A
보조전극배선(335)은 구동소자의 게이트 전극(도 1의 23)과 동일층, 동일물질로 구성할 수 있으며, 또는 구동소자의 소스 및 드레인전극(도 1의 27, 29)과 동일층, 동일물질로 구성할 수 있다. The
이에, 보조전극배선(335)은 회로부(333)의 게이트 구동회로와 연결되는 게이트 라인(도 1의 38)에 의해 회로부(333)의 외측으로 구성된다.Thus, the
그리고, 제 2 전극(115)은 제 1 기판(101)의 전면에 증착되는데, 제 2 전극(115)은 보조전극배선(335)과 다수의 콘택홀(미도시)을 통해 전기적으로 연결된다. The
이러한 제 1 기판(101)은 제 2 기판(102)과 일정간격 이격되어 서로 마주보며 위치하며, 이의 가장자리부는 실패턴(seal pattern : 120)을 통해 봉지되어 합착됨으로써, 인캡슐레이션(encapsulation)된 OLED(100)가 완성된다. The
이러한 본 발명의 OLED(100)는 상부 발광방식으로 유기발광층(113)으로부터 발광된 빛이 제 2 기판(102)쪽으로 방출되어야 하므로, 제 2 전극(115)은 투명한 도전성 물질하게 이루어져야 한다. In the OLED 100 according to the present invention, the light emitted from the organic
그러나, 투명한 도전성 물질은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 물질을 사용하지만, 이러한 투명 도전성 물질은 일함수가 높아 캐소드전극으로 사용하기 어렵다. However, the transparent conductive material uses a material such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), but such a transparent conductive material has a high work function and is difficult to use as a cathode electrode.
이에, 제 2 전극(115)을 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하여 사용하는데, 이러한 제 2 전극(115)은 열이나 플라즈마에 의한 유기발광층(113)의 손상을 최소화하기 위하여 저온 증착에 의해 형성함으로써, 막질이 나쁘고 비저항이 높아지게 된다. The
이에, 화소(P)의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되고, 이는 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(100)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 된다. Accordingly, not only the same negative voltage is applied to each pixel P but also a voltage difference is generated in a region far from a region where a voltage is input due to a voltage drop (IR drop) Which causes a problem of raising the power consumption of the
그러나, 본 발명은 보조전극배선(335)을 더욱 형성하고, 제 2 전극(115)이 보조전극배선(335)과 콘택홀(미도시)을 통해 전기적으로 연결되도록 함으로써, 이와 같은 문제점을 방지하게 되는 것이다.However, in the present invention, the
여기서, 보조전극배선(335)과 제 2 전극(115)이 서로 전기적으로 연결되는 모습을 도 3을 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. Here, the manner in which the auxiliary electrode wiring 335 and the
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이다. 3 is a schematic cross-sectional view of an OLED according to an embodiment of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 OLED(100)는 발광영역(PA)과 비발광영역(NA)으로 구분되는데, 여기서, 발광영역(PA)에는 다수의 구동 박막트랜지스 터(DTr)와 유기전계발광 다이오드(E)가 형성되고, 비발광영역(NA)에는 보조전압배선(335)이 형성된다. As shown, the OLED 100 according to the present invention is divided into a light emitting region PA and a non-light emitting region NA. In the light emitting region PA, a plurality of driving thin film transistors DTr, An electroluminescent diode E is formed and an
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, OLED(100)의 발광영역(PA)의 제 1 기판(101) 상에는 반도체층(201)이 형성되는데, 반도체층(201)은 실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(201b) 그리고 액티브영역(201b) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201a, 201c)으로 구성된다. A
이러한 반도체층(201) 상부로는 게이트절연막(203)이 형성되어 있다.A
게이트절연막(203) 상부로는 반도체층(201)의 액티브영역(201b)에 대응하여 게이트전극(223)과 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선이 형성되어 있다.
그리고, 게이트절연막(203) 상부에는 제 2 전극(115)에 공통전압을 인가하는 공통전압배선(331)이 게이트전극(223)과 동일층, 동일물질로 구성된다. A
그리고, 게이트전극(223)과 게이트배선 그리고 공통전압배선(331)의 상부 전면에 제 1 층간절연막(207a)이 형성되어 있으며, 이때 제 1 층간절연막(207a)과 그 하부의 게이트절연막(203)은 액티브영역(201b) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(201a, 201c)을 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(208a, 208b)을 구비한다. A first
다음으로, 제 1, 2 반도체층 콘택홀(208a, 208b)을 포함하는 제 1 층간절연막(207a) 상부로는 서로 이격하며 제 1, 2 반도체층 콘택홀(208a, 208b)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(201a, 201c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(227, 229)이 형성되어 있다. Next, upper portions of the first
이때, 기판(101)의 비발광영역(NA)에는 보조전극배선(335)이 형성되는데, 보조전극배선(335)은 게이트 전극(223)과 동일층, 동일물질로 구성할 수도 있으며, 소스 및 드레인전극(227, 229)과 동일층, 동일물질로 구성할 수 있다.At this time, an
본 발명에서는 보조전극배선(335)을 소스 및 드레인 전극(227, 229)과 동일층, 동일물질로 구성된 것을 일예로 설명하도록 하겠다. In the present invention, the
그리고, 소스 및 드레인전극(227, 229)과 두 전극(227, 229) 사이로 노출된 제 1 층간절연막(207a) 그리고 보조전극배선(335) 상부로 드레인전극(229)을 노출시키는 드레인콘택홀(215) 및 공통전압배선(331)을 노출시키는 공통전압콘택홀(331a) 그리고 보조전극배선(335)을 노출시키는 보조전극콘택홀(335a)을 갖는 제 2 층간절연막(207b)이 형성되어 있다. The first
이때, 소스 및 드레인 전극(227, 229)과 이들 전극(227, 229)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 포함하는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(223)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. The
이때 도면에 나타나지 않았지만, 게이트배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다. At this time, although not shown in the drawing, data lines (not shown) are formed which cross the gate wiring (not shown) and define the pixel region P. The switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.
그리고, 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)는 도면에서는 반도체 층(201)이 폴리실리콘 반도체층으로 이루어진 탑 게이트(top gate) 타입을 예로써 보이고 있으며, 이의 변형예로써 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성될 수도 있다. The switching and driving thin film transistor (not shown) DTr is shown as an example of a top gate type in which the
또한, 제 2 층간절연막(207b) 상부의 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(111)과 유기발광층(113) 그리고 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. The
제 1, 2 전극(111, 115)과 그 사이에 형성된 유기발광층(113)은 유기전계발광 다이오드(E)를 이루게 된다.The first and
제 1 전극(111)은 제 2 층간절연막(207b)의 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)과 연결되며, 제 2 전극(115)은 제 2 층간절연막(207b)의 공통전압콘택홀(331a)과 보조전극콘택홀(335a)을 통해 공통전압배선(331) 및 보조전극배선(335)과 연결된다. The
이와 같은 경우에, 제 1 전극(111)은 애노드(anode) 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 높은 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성하며, 제 2 전극(115)은 캐소드(cathode)의 역할을 하기 위해 비교적 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어진다. In this case, the
그리고, 유기발광층(113)에서 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 향해 방출되는 상부 발광방식으로 구동된다. The light emitted from the organic
유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층( hole transporting layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다.The organic
그리고, 유기발광층(113)으로부터 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 투과해야 하므로, 제 2 전극(115)은 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하게 된다. Since the light emitted from the organic
이때, 제 2 전극(115)을 보조전극배선(335)과 연결되도록 함으로써, 제 2 전극(115)이 막질이 나쁘고 비저항이 높아, 화소(P)의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되고, 이는 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(100)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 되는 것을 방지할 수 있다. Since the
이러한 OLED(100)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(111)과 제 2 전극(115)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(111)으로부터 주입된 정공과 제 2 전극(115)으로부터 인가된 전자가 유기발광층(113)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.When a predetermined voltage is applied to the
이때, 발광된 빛은 투명한 제 2 전극(115)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, OLED(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다. At this time, the emitted light passes through the transparent
한편, 제 1 전극(111)은 각 화소영역(P)별로 형성되는데, 각 화소영역(P) 별 로 형성된 제 1 전극(111) 사이에는 뱅크(bank : 221)가 위치한다. The
즉, 뱅크(221)는 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어, 뱅크(221)를 각 화소영역 별 경계부로 하여 제 1 전극(111)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조로 형성되어 있다. That is, the
이후에는 전술한 본 발명의 실시예에 따른 상부발광 방식 OLED의 제조 방법에 대해 간단히 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the top emission type OLED according to the embodiment of the present invention will be briefly described.
본 발명의 실시예의 경우, 제 1 기판에 모든 구성요소가 형성되므로 제 1 기판의 제조 방법을 위주로 설명하도록 하겠다. In the embodiment of the present invention, since all the components are formed on the first substrate, the manufacturing method of the first substrate will be mainly described.
이때, 구동 박막트랜지스터의 드레인전극과 연결된 제 1 전극이 애노드 전극의 역할을 하며, 제 2 전극이 캐소드 전극을 역할을 하는 상부발광 방식 OLED의 제조 방법을 일례로 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing a top emission type OLED in which a first electrode connected to a drain electrode of a driving thin film transistor serves as an anode electrode and a second electrode serves as a cathode electrode will be described as an example.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 상부 발광 방식 OLED의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 공정 단면도이다. 4A to 4F are cross-sectional views illustrating one pixel region of a top emission OLED according to an exemplary embodiment of the present invention.
우선, 도 4a에 도시한 바와 같이, 절연기판(101)의 발광영역(PA)에 비정질 실리콘을 증착하여 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이에 대해 레이저 빔을 조사하거나 또는 열처리를 실시하여 상기 비정질 실리콘층을 폴리실리콘층(미도시)으로 결정화시킨다. 4A, an amorphous silicon layer (not shown) is formed by depositing amorphous silicon on the light emitting region PA of the insulating
이후, 마스크 공정을 실시하여 폴리실리콘층(미도시)을 패터닝하여 순수 폴리실리콘 상태의 반도체층(201)을 형성한다. 이때 비정질 실리콘층(미도시)을 형성 하기 전에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 절연기판(101) 전면에 증착함으로써 버퍼층(미도시)을 형성할 수도 있다. Thereafter, a mask process is performed to pattern a polysilicon layer (not shown) to form a
다음으로, 순수 폴리실리콘의 반도체층(201) 위로 산화실리콘(SiO2)을 증착하여 게이트절연막(203)을 형성한다. Next, silicon oxide (SiO 2 ) is deposited on the
이후, 게이트절연막(203) 위로 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금 중 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 진행하여 반도체층(201)의 중앙부에 대응하여 게이트전극(223)을 형성한다. Thereafter, a first metal layer (not shown) is formed by depositing a low resistance metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), or copper alloy on the
이때 게이트전극(223) 중 스위칭영역(미도시)에 형성된 게이트전극(미도시)과 연결되며 일 방향으로 연장하는 게이트배선(미도시)과, 게이트배선(미도시)과 나란하게 일정간격 이격하여 공통전압배선(331)을 형성한다.At this time, gate wirings (not shown) connected to a gate electrode (not shown) formed in a switching region (not shown) of the
다음, 게이트전극(223)을 블록킹 마스크로 이용하여 기판(101) 전면에 불순물 즉, 3가 원소 또는 5가 원소를 도핑함으로써 반도체층(201) 중 게이트전극(223) 외측에 위치한 부분에 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201a, 201c)을 이루도록 하고, 도핑이 방지된 게이트전극(223)에 대응하는 부분은 순수 폴리실리콘의 액티브영역(201b)을 이루도록 한다. Next, impurities, that is, a trivalent element or a pentavalent element are doped on the entire surface of the
다음으로 반도체층(201)이 형성된 기판(101) 전면에 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)과 같은 무기절연물질을 증착하여 전면에 제 1 층간절연막(207a)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 제 1 층간절연막(207a)과 하부의 게이트절연 막(203)을 동시 또는 일괄 패터닝함으로써 반도체층(201)의 소스 및 드레인영역(201a, 201c)을 각각 노출시키는 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(208a, 208b)을 형성한다.Next, an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2 ) is deposited on the entire surface of the
이후, 제 1 층간절연막(207a) 위로 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr) 및 몰리브덴(Mo) 중 하나를 증착하여 제 2 금속층(미도시)을 형성하고, 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 제 1 및 제 2 반도체층콘택홀(208a, 208b)을 통해 소스 및 드레인영역(201a, 201c)과 접촉하는 소스 및 드레인전극(227, 229)을 형성한다. Then, one of a metal material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, chromium (Cr) and molybdenum (Mo) is deposited on the first
동시에 기판(101)의 비발광영역(NA)의 제 1 층간절연막(207a) 위로 보조전극배선(335)을 형성한다. At the same time, an
이때 반도체층(201)과 게이트절연막(203)과 게이트전극(223)과 제 1 층간절연막(207a)과 서로 이격하는 소스 및 드레인전극(227, 229)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이룬다. The source and drain
다음으로 도 4b에 도시한 바와 같이, 소스 및 드레인전극(227, 229) 및 보조전극배선(335) 위로 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하거나 또는 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 제 2 층간절연막(207b)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)을 노출시키는 드레인콘택홀(215)과, 공통전압배선(331)을 노출시키는 공통전압콘택홀(331a)을 형성한다. Next, as shown in Figure 4b, the source and drain
또한, 기판(101)의 비발광영역(NA)의 보조전극배선(335)을 노출시키는 보조전극콘택홀(335a)을 형성한다. An auxiliary
다음으로 도 4c에 도시한 바와 같이, 드레인콘택홀(215)을 갖는 제 2 층간절연막(207b) 위로 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 수천 Å 정도의 두께를 갖도록 증착하고 패터닝함으로써 각 화소영역(P)별로 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)과 접촉하는 제 1 전극(111)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4C, on the second
이후, 도 4d에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(111) 위로 제 1 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 제 1 유기절연물질층(미도시)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 각 화소영역(P)을 테두리하며, 공통전극배선(331)을 노출시키는 제 2 공통전극콘택홀(331b)을 갖는 뱅크(221)를 형성한다. 4D, a first organic insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene (BCB) is applied on the
다음, 도 4e에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(111) 위로 유기발광층(113)을 형성한다. 이때 유기발광층(113)은 적, 녹, 청색을 발광하는 적, 녹, 청색 유기 발광패턴(미도시)을 포함하여 형성될 수도 있고, 또는 백색을 발광하는 백색 유기 발광패턴(113)만으로 이루어질 수도 있다. Next, as shown in FIG. 4E, the organic
적, 녹, 청색의 유기 발광패턴(미도시)으로 구성되는 경우 3회의 쉐도우 마스크를 이용한 열증착 실시하게 되며, 백색 유기 발광패턴(113)만을 형성할 경우 1회의 쉐도우 마스크를 이용한 열증착을 실시하게 된다. In the case where the organic light emitting device is composed of red, green, and blue organic light emission patterns (not shown), thermal evaporation is performed using three shadow masks. In the case of forming only the white organic
다음, 도 4f에 도시한 바와 같이, 유기발광층(113) 위로 비교적 일함수 값이 작은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금, 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au) 중 하나를 열증착 또는 이온 빔 증착을 실시함으로써 기판(101)의 전면에 5Å 내지 50Å 정도의 비교적 얇은 두께를 갖도록 제 2 전극(115)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4F, a metal material having a relatively low work function value such as aluminum (Al), an aluminum alloy, silver (Ag), magnesium (Mg) The
이때, 제 2 전극(115)은 제 2 공통전극콘택홀(331b)을 통해 공통전극배선(331)과 접촉하게 되며, 비발광영역(NA)에서는 보조전극콘택홀(335a)을 통해 보조전극배선(335)과 전기적으로 연결된다. At this time, the
따라서, 제 2 전극(115)은 공통 신호전압이 보조전극배선(335)을 통해 각 화소영역(P)별로 인가되는 구조가 됨으로써, 그 내부 저항에 의한 전압강하 현상은 거의 발생하지 않게 되며, 따라서 이에 의한 표시영역 내의 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있게 되는 것이다. Accordingly, the
도면에 나타나지 않았지만, 비교적 얇은 두께를 갖는 제 2 전극(115)의 보호와 유기발광층(113)에로의 수분 침투 방지 강화를 위해 제 2 전극(115) 위로는 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로써 500Å 내지 2000Å 정도의 두께를 갖는 보조 제 2 전극(미도시)을 더욱 형성할 수도 있다. Although not shown in the drawing, a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO) is formed on the
한편, 전술한 바와 같이 완성된 제 1 기판(101)에 대해, 발광영역 테두리를 따라 씰패턴(미도시)을 형성하고, 투명한 재질의 제 2 기판(도 2b의 102)을 대향시킨 후, 불활성 기체 분위기 또는 진공의 분위기에서 상기 제 1 및 제 2 기판(101, 도 2b의 102)을 합착함으로써 본 발명의 실시예에 따른 상부발광 방식 OLED(100)를 완성할 수 있다. On the other hand, a sealing pattern (not shown) is formed along the edge of the light-emitting region with respect to the completed
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
도 1은 일반적인 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 schematically shows a cross section of a typical OLED. FIG.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따라 보조전극배선이 OLED 기판 상에 구성된 모습을 개략적으로 도시한 평면도.FIG. 2A is a plan view schematically showing a state in which an auxiliary electrode wiring is formed on an OLED substrate according to an embodiment of the present invention; FIG.
도 2b는 도 2a의 단면을 개략적으로 도시한 단면도.FIG. 2B is a cross-sectional view schematically showing the section of FIG. 2A. FIG.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면.3 schematically illustrates a cross-section of an OLED according to an embodiment of the present invention.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 상부 발광 방식 OLED의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 공정 단면도.FIGS. 4A through 4F are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a pixel region of a top emission OLED according to an exemplary embodiment of the present invention; FIGS.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090092597A KR101576834B1 (en) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090092597A KR101576834B1 (en) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110035049A KR20110035049A (en) | 2011-04-06 |
KR101576834B1 true KR101576834B1 (en) | 2015-12-11 |
Family
ID=44043442
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090092597A KR101576834B1 (en) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101576834B1 (en) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102021028B1 (en) * | 2012-12-04 | 2019-09-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device |
CN103943649B (en) * | 2013-02-15 | 2017-10-03 | 上海天马微电子有限公司 | OLED display panel and its driving method |
KR102077723B1 (en) | 2013-05-23 | 2020-04-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organinc light emitting display device and manufacturing method for the same |
KR101654232B1 (en) | 2013-06-04 | 2016-09-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display and method for fabricating the same |
KR102122598B1 (en) * | 2013-09-12 | 2020-06-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting device and method of fabricating the same |
KR102205588B1 (en) | 2014-02-24 | 2021-01-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | Display device |
KR102214476B1 (en) | 2014-03-17 | 2021-02-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method for manufacturing the same |
KR20160007900A (en) | 2014-07-09 | 2016-01-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Pixel, pixel driving method, and display device comprising the pixel |
KR102178471B1 (en) * | 2014-11-11 | 2020-11-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | Large Area Transparent Organic Light Emitting Diode Display |
KR102422960B1 (en) | 2014-12-29 | 2022-07-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same |
CN104882466A (en) | 2015-05-27 | 2015-09-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Organic luminescence display device |
CN111129089B (en) * | 2019-12-17 | 2020-12-25 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and preparation method thereof |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005031651A (en) * | 2003-06-17 | 2005-02-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Display device and electronic apparatus |
JP2005338789A (en) * | 2004-05-29 | 2005-12-08 | Samsung Sdi Co Ltd | Electroluminescence display device and its manufacturing method |
JP2007108469A (en) | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Seiko Epson Corp | Method of manufacturing organic el device, organic el device, and electronic apparatus |
-
2009
- 2009-09-29 KR KR1020090092597A patent/KR101576834B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005031651A (en) * | 2003-06-17 | 2005-02-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Display device and electronic apparatus |
JP2005338789A (en) * | 2004-05-29 | 2005-12-08 | Samsung Sdi Co Ltd | Electroluminescence display device and its manufacturing method |
JP2007108469A (en) | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Seiko Epson Corp | Method of manufacturing organic el device, organic el device, and electronic apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110035049A (en) | 2011-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101576834B1 (en) | Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same | |
KR102045036B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Having High Aperture Ratio And Method For Manufacturing The Same | |
KR101575168B1 (en) | Top emission type organic electro luminescent device and method of fabricating the same | |
KR101596935B1 (en) | Organic electro luminescent device and method of fabricating the same | |
JP5323667B2 (en) | Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof | |
KR101927334B1 (en) | Organic electro luminescence device and method for fabricating the same | |
KR20150042367A (en) | Organic electro luminescent device and method of fabricating the same | |
US10872948B2 (en) | Electroluminescent display device | |
JP6868676B2 (en) | Electroluminescent display device and its manufacturing method | |
KR20120039874A (en) | Organic electro luminescent device | |
KR102062912B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display And Method For Manufacturing The Same | |
KR20100004221A (en) | Top emission type organic electro-luminescence device | |
KR20100051485A (en) | Top emission type organic electroluminescent device | |
KR101560233B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device and Method for fabricating the same | |
KR20110015757A (en) | Organic light emitting display device and method for fabricating the same | |
US10797127B2 (en) | Electroluminescent display device | |
KR102053440B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Having High Aperture Ratio And Method For Manufacturing The Same | |
KR102355605B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same | |
KR20180077856A (en) | Electroluminescent Display Device | |
KR102294170B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same | |
KR102089248B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Device And Method Of Fabricating The Same | |
KR20160139635A (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same | |
KR20150002119A (en) | Organic electro luminescent device and method of fabricating the same | |
KR20180061777A (en) | Organic Light Emitting Diode Display Device | |
KR101427667B1 (en) | organic electro-luminescent device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181114 Year of fee payment: 4 |