KR20160139635A - Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same - Google Patents

Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same Download PDF

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Abstract

The present invention relates to an organic light emitting diode display device and a manufacturing method thereof. The manufacturing method forms a bank layer including a first bank and a second bank to form a light emitting layer in a pixel area in the bank layer by means of a solution process, wherein a bank hole is formed in the second bank between the adjacent pixel areas to have solution layers of the adjacent pixel areas mixed during the solution process, thereby minimizing a nozzle deviation between the pixel areas and forming a thin film having a uniform thickness.

Description

유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법 {Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same}Technical Field [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) display device and a fabrication method thereof,

본 발명은 유기발광다이오드 표시장치에 관한 것으로, 특히 균일한 휘도를 제공할 수 있는 대면적, 고해상도 유기발광다이오드 표시장치와 그 제조 방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED) display device, and more particularly, to a large-area, high-resolution organic light emitting diode display device capable of providing uniform luminance and a method of manufacturing the same.

최근, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판표시장치(flat panel display)가 널리 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다. 2. Description of the Related Art Flat panel displays having excellent characteristics such as thinning, lightening, and low power consumption have been widely developed and applied to various fields.

평판표시장치 중에서, 유기 전계발광 표시장치 또는 유기 전기발광 표시장치(organic electroluminescent display device)라고도 불리는 유기발광다이오드 표시장치(organic light emitting diode display device: OLED display device)는, 전자 주입 전극인 음극과 정공 주입 전극인 양극 사이에 형성된 발광층에 전하를 주입하여 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다. 이러한 유기발광다이오드 표시장치는 플라스틱과 같은 유연한 기판(flexible substrate) 위에도 형성할 수 있을 뿐 아니라, 자체 발광형이기 때문에 대조비(contrast ratio)가 크며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도이므로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5V 내지 15V의 비교적 낮은 전압으로 구동이 가능하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다. Among the flat panel display devices, an organic light emitting diode (OLED) display device, also referred to as an organic electroluminescent display device or organic electroluminescent display device, An electron injecting charge is injected into the light emitting layer formed between the anode which is the injection electrode, and the electron and the hole are paired, and then the light is emitted while disappearing. Such an organic light emitting diode display device can be formed not only on a flexible substrate such as a plastic but also because it has a large contrast ratio and response time of several microseconds since it is a self- It is easy to manufacture and design a driving circuit because it is easy to operate, is not limited in viewing angle, is stable at a low temperature, and can be driven at a relatively low voltage of 5 V to 15 V DC.

유기발광다이오드 표시장치는 구동 방식에 따라 수동형(passive matrix type) 및 능동형(active matrix type)으로 나누어질 수 있는데, 저소비전력, 고정세, 대형화가 가능한 능동형 유기발광다이오드 표시장치가 다양한 표시장치에 널리 이용되고 있다. The organic light emitting diode display device can be classified into a passive matrix type and an active matrix type according to a driving method. An active type organic light emitting diode display device capable of low power consumption, fixed size, and large size is widely used in various display devices. .

도 1은 일반적인 유기발광다이오드 표시장치의 구조를 밴드 다이어그램으로 표시한 도면이다. FIG. 1 is a diagram showing a structure of a general organic light emitting diode display device in a band diagram.

도 1에 도시한 바와 같이, 유기발광다이오드 표시장치는 양극인 애노드(anode)(1)와 음극인 캐소드(cathode)(7) 사이에 발광물질층(light emitting material layer)(4)이 위치한다. 애노드(1)로부터의 정공과 캐소드(7)로부터의 전자를 발광물질층(4)으로 주입하기 위해, 애노드(1)와 발광물질층(4) 사이 및 캐소드(7)와 발광물질층(4) 사이에는 각각 정공수송층(hole transporting layer)(3)과 전자수송층(electron transporting layer)(5)이 위치한다. 이때, 정공과 전자를 좀더 효율적으로 주입하기 위해 애노드(1)와 정공수송층(3) 사이에는 정공주입층(hole injecting layer)(2)을, 전자수송층(5)과 캐소드(7) 사이에는 전자주입층(electron injecting layer)(6)을 더 포함한다. 1, an organic light emitting diode display device includes a light emitting material layer 4 between an anode 1, which is an anode, and a cathode 7, which is an anode. . Emitting material layer 4 and between the anode 1 and the luminescent material layer 4 and between the cathode 7 and the luminescent material layer 4 to inject holes from the anode 1 and electrons from the cathode 7 into the luminescent material layer 4. [ A hole transporting layer 3 and an electron transporting layer 5 are disposed between the electron transporting layer 5 and the electron transporting layer 5, respectively. A hole injecting layer 2 is formed between the anode 1 and the hole transporting layer 3 and electrons are injected between the electron transporting layer 5 and the cathode 7 in order to more efficiently inject holes and electrons. And an electron injecting layer (6).

도 1의 밴드 다이어그램에서, 아래쪽 선은 가전자 띠(valence band)의 가장 높은 에너지 레벨로, HOMO(highest occupied molecular orbital)라고 부르고, 위쪽 선은 전도성 띠(conduction band)의 가장 낮은 에너지 레벨로, LUMO(lowest unoccupied molecular orbital)라 부른다. HOMO 레벨과 LUMO 레벨의 에너지 차이는 밴드 갭(band gap)이 된다. 1, the lower line is the highest energy level of the valence band, the highest occupied molecular orbital (HOMO), the upper line is the lowest energy level of the conduction band, LUMO (lowest unoccupied molecular orbital). The energy difference between the HOMO level and the LUMO level is the band gap.

이러한 구조를 가지는 유기발광다이오드 표시장치에서, 애노드(1)로부터 정공주입층(2)과 정공수송층(3)을 통해 발광물질층(4)으로 주입된 정공(+)과, 캐소드(7)로부터 전자주입층(6) 및 전자수송층(5)을 통해 발광물질층(4)으로 주입된 전자(-)가 결합하여 여기자(exciton)(8)를 형성하게 되고, 이 여기자(8)로부터 발광물질층(4)의 밴드 갭에 해당하는 색상의 빛을 발하게 된다.(+) Injected from the anode 1 into the light emitting material layer 4 through the hole injecting layer 2 and the hole transporting layer 3 and positive holes injected from the cathode 7 into the light emitting material layer 4 in the organic light emitting diode display device having such a structure Electrons injected into the light emitting material layer 4 through the electron injecting layer 6 and the electron transporting layer 5 are combined with each other to form an exciton 8. From this exciton 8, And emits light of a color corresponding to the band gap of the layer (4).

이러한 유기발광다이오드 표시장치의 발광물질층(4)은 미세금속마스크(fine metal mask)를 이용하여 유기발광물질을 선택적으로 진공 증착함으로써 열증착(thermal evaporation)법에 의해 형성되는데, 마스크의 제작 편차, 처짐, 쉐도우 효과(shadow effect) 등에 의해 대면적 및 고해상도 표시장치에 적용하기 어려운 문제가 있다. The light emitting material layer 4 of the organic light emitting diode display device is formed by thermal evaporation by selectively vacuum depositing an organic light emitting material using a fine metal mask. , Deflection, shadow effect, etc., which are difficult to apply to large-area and high-resolution display devices.

이를 해결하기 위해, 용액 공정(solution process)에 의해 발광물질층을 형성하는 방법이 제안되었다. 용액 공정에서는, 화소영역을 둘러싸는 뱅크층을 형성하고, 분사장치의 노즐(nozzle)을 일정 방향으로 스캔함으로써 뱅크층 내의 화소영역에 발광물질을 적하(drop)한 후 이를 경화하여 발광물질층을 형성한다. 이때, 정공주입층과 정공수송층 또한 용액 공정에 의해 형성될 수 있다.To solve this problem, a method of forming a light emitting material layer by a solution process has been proposed. In the solution process, a bank layer surrounding the pixel region is formed, a nozzle of the injector is scanned in a predetermined direction to drop a light emitting material in a pixel region in the bank layer, and then the light emitting material layer is cured . At this time, the hole injecting layer and the hole transporting layer may also be formed by a solution process.

그런데, 용액 공정에 의해 정공주입층과 정공수송층 및 발광물질층 등을 형성하는 경우, 용액을 적하하기 위해 각 화소영역에는 서로 다른 노즐이 사용되며, 노즐간 적하량 편차에 따라 각 화소영역에 생성되는 박막 두께의 편차가 발생하게 된다. 이에 따라 노즐의 스캔 방향으로 얼룩(mura)이 발생하며, 표시장치의 화질이 저하된다.
However, when the hole injection layer, the hole transport layer, the light emitting material layer, and the like are formed by the solution process, different nozzles are used for each pixel region for dropping the solution, A variation in the thickness of the thin film occurs. As a result, mura is generated in the scanning direction of the nozzle, and the image quality of the display device is deteriorated.

본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 화질이 우수하고 대면적, 고해상도의 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an organic light emitting diode display device having excellent image quality, large area, and high resolution and a method of manufacturing the same.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상부의 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 연결되는 제1전극과, 상기 제1전극의 가장자리를 덮고 상기 제1전극에 대응하는 투과홀을 가지며, 제1뱅크와 상기 제1뱅크 상부의 제2뱅크를 포함하는 뱅크층과, 상기 투과홀 내의 상기 제1전극 상부에 위치하는 발광층과, 상기 발광층 상부의 제2전극을 포함하고, 상기 제2뱅크는 인접한 서브화소 사이에 뱅크홀을 가지며, 상기 뱅크홀 내에는 상기 발광층과 동일 물질을 포함하는 잔막이 위치하는 유기발광다이오드 표시장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a thin film transistor comprising: a substrate; a thin film transistor on the substrate; a first electrode connected to a drain electrode of the thin film transistor; A bank layer having a corresponding transmission hole and including a first bank and a second bank above the first bank; a light emitting layer positioned above the first electrode in the transmission hole; and a second electrode disposed above the light emitting layer, Wherein the second bank has bank holes between adjacent sub-pixels, and a remaining film including the same material as the light emitting layer is disposed in the bank holes.

인접한 상기 투과홀과 상기 뱅크홀 사이의 상기 제2뱅크의 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가진다.And the width of the second bank between the adjacent through hole and the bank hole has a value between 5 micrometers and 10 micrometers.

상기 발광층은 정공보조층, 발광물질층, 전자보조층을 포함하고, 상기 잔막은 상기 정공보조층과 동일 물질을 포함한다.The light emitting layer includes a hole assist layer, a light emitting material layer, and an electron assist layer, and the remaining layer includes the same material as the hole assist layer.

상기 잔막은 상기 발광물질층과 동일 물질을 더 포함한다.The remaining film further includes the same material as the light emitting material layer.

상기 인접한 서브화소는 동일 색의 빛을 발광한다.The adjacent sub-pixels emit light of the same color.

상기 뱅크홀은 제1뱅크홀과 제2뱅크홀을 포함하며, 상기 제1뱅크홀은 한 화소의 인접한 서브화소 사이에 위치하고, 상기 제2뱅크홀은 인접한 화소 사이에 위치한다.The bank hole includes a first bank hole and a second bank hole, the first bank hole is located between adjacent sub-pixels of one pixel, and the second bank hole is located between adjacent pixels.

또한, 본 발명은, 기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터 상부에 보호막을 형성하는 단계와, 상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 연결되는 제1전극을 형성하는 단계와, 상기 제1전극의 가장자리를 덮는 제1뱅크를 형성하는 단계와, 인접한 서브화소 사이의 상기 제1뱅크 상부에 뱅크홀을 가지며, 상기 제1뱅크와 함께 상기 제1전극을 노출하는 투과홀을 갖는 제2뱅크를 형성하는 단계와, 상기 투과홀 내의 상기 제1전극 상부에 발광층을 형성하는 단계와, 상기 발광층 상부에 제2전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 발광층을 형성하는 단계는 상기 뱅크홀 내에 잔막을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법을 제공한다.The method may further include forming a thin film transistor on the substrate, forming a protective film on the thin film transistor, forming a first electrode connected to the drain electrode of the thin film transistor on the protective film, Forming a first bank covering an edge of the first electrode, forming a first hole in the first bank and a second hole in the first hole, Forming a light emitting layer on the first electrode in the transmission hole; and forming a second electrode on the light emitting layer, wherein the step of forming the light emitting layer comprises the steps of: And forming a retentive film in the bank hole. The present invention also provides a method of manufacturing an organic light emitting diode display device.

상기 발광층을 형성하는 단계는, 상기 인접한 서브화소의 투과홀 내에 제1용액층을 형성하는 단계와, 상기 뱅크홀 내에 상기 제1용액층과 맞닿는 제2용액층을 형성하는 단계와, 상기 제1용액층과 상기 제2용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되어 상기 인접한서브화소에 단일 용액층을 형성하는 단계와, 상기 단일 용액층을 건조하는 단계를 포함한다.Forming the light emitting layer includes forming a first solution layer in a transmission hole of the adjacent sub pixel, forming a second solution layer in the bank hole in contact with the first solution layer, Forming a single solution layer in the adjacent sub-pixels by causing the solution layer and the second solution layer to be agglomerated and mixed with each other; and drying the single solution layer.

상기 발광층을 형성하는 단계는 정공보조층을 형성하는 단계 또는 정공보조층과 발광물질층을 형성하는 단계를 포함한다.
The forming of the light emitting layer may include forming a hole assist layer or forming a hole assist layer and a light emitting material layer.

본 발명에서는, 용액 공정에 의해 유기발광다이오드 표시장치의 발광층을 형성함으로써, 대면적 및 고해상도의 표시장치에 적용할 수 있다. In the present invention, a light emitting layer of an organic light emitting diode display device is formed by a solution process, so that the present invention can be applied to a display device having a large area and a high resolution.

이때, 뱅크층을 제1뱅크와 제2뱅크의 이중 구조로 형성하여 화소영역 내에서 발광층의 두께를 균일하게 할 수 있다.At this time, the bank layer may be formed of a double structure of the first bank and the second bank, so that the thickness of the light emitting layer in the pixel region can be made uniform.

또한, 제2뱅크 내에 뱅크홀을 형성하여 인접한 화소영역의 용액층이 섞이도록 함으로써, 화소영역간 노즐 편차를 최소화하고 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있다. 따라서, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
Further, by forming bank holes in the second bank to mix the solution layers in the adjacent pixel regions, it is possible to minimize the deviation of the nozzles between the pixel regions and to obtain a thin film having a uniform thickness. Therefore, it is possible to prevent stains and improve image quality.

도 1은 일반적인 유기발광다이오드 표시장치의 구조를 밴드 다이어그램으로 표시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 하나의 화소영역에 대한 회로도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4a 내지 4i는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 공정 중 각 단계에서의 표시장치를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제4실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제6실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
FIG. 1 is a diagram showing a structure of a general organic light emitting diode display device in a band diagram.
2 is a circuit diagram of one pixel region of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention.
4A to 4I are cross-sectional views illustrating a display device in each step of a manufacturing process of an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a first embodiment of the present invention.
6 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention.
7 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a third embodiment of the present invention.
8 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a fourth embodiment of the present invention.
9 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a fifth embodiment of the present invention.
10 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a sixth embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조 방법에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting diode display and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 하나의 화소영역에 대한 회로도이다. 2 is a circuit diagram of one pixel region of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트배선(GL)과 데이터배선(DL)을 포함하고, 각각의 화소영역(P)에는 스위칭 박막트랜지스터(Ts)와 구동 박막트랜지스터(Td), 스토리지 커패시터(Cst), 그리고 유기발광다이오드(De)가 형성된다. 2, the organic light emitting diode display device according to the embodiment of the present invention includes a gate line GL and a data line DL that define a pixel region P and intersect with each other, A switching thin film transistor Ts, a driving thin film transistor Td, a storage capacitor Cst, and an organic light emitting diode De are formed in the region P.

보다 상세하게, 스위칭 박막트랜지스터(Ts)의 게이트전극은 게이트배선(GL)에 연결되고 소스전극은 데이터배선(DL)에 연결된다. 구동 박막트랜지스터(Td)의 게이트전극은 스위칭 박막트랜지스터(Ts)의 드레인전극에 연결되고, 소스전극은 고전위 전압(VDD)에 연결된다. 유기발광다이오드(De)의 애노드(anode)는 구동 박막트랜지스터(Td)의 드레인전극에 연결되고, 캐소드(cathode)는 저전위 전압(VSS)에 연결된다. 스토리지 커패시터(Cst)는 구동 박막트랜지스터(Td)의 게이트전극과 드레인전극에 연결된다. More specifically, the gate electrode of the switching thin film transistor Ts is connected to the gate wiring GL and the source electrode thereof is connected to the data wiring DL. The gate electrode of the driving thin film transistor Td is connected to the drain electrode of the switching thin film transistor Ts, and the source electrode thereof is connected to the high potential voltage VDD. The anode of the organic light emitting diode De is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor Td and the cathode is connected to the low potential voltage VSS. The storage capacitor Cst is connected to the gate electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor Td.

이러한 유기발광다이오드 표시장치의 영상표시 동작을 살펴보면, 게이트배선(GL)을 통해 인가된 게이트신호에 따라 스위칭 박막트랜지스터(Ts)가 턴-온(turn-on) 되고, 이때, 데이터배선(DL)으로 인가된 데이터신호가 스위칭 박막트랜지스터(Ts)를 통해 구동 박막트랜지스터(Td)의 게이트전극과 스토리지 커패시터(Cst)의 일 전극에 인가된다. The switching TFTs turn on according to the gate signal applied through the gate line GL and the data line DL is turned on at this time. Is applied to the gate electrode of the driving thin film transistor Td and the one electrode of the storage capacitor Cst through the switching thin film transistor Ts.

구동 박막트랜지스터(Td)는 데이터신호에 따라 턴-온 되어 유기발광다이오드(De)를 흐르는 전류를 제어하여 영상을 표시한다. 유기발광다이오드(De)는 구동 박막트랜지스터(Td)를 통하여 전달되는 고전위 전압(VDD)의 전류에 의하여 발광한다.The driving thin film transistor Td is turned on according to the data signal to control the current flowing through the organic light emitting diode De to display an image. The organic light emitting diode De emits light by a current of a high potential voltage (VDD) transmitted through the driving thin film transistor Td.

즉, 유기발광다이오드(De)를 흐르는 전류의 양은 데이터신호의 크기에 비례하고, 유기발광다이오드(De)가 방출하는 빛의 세기는 유기발광다이오드(De)를 흐르는 전류의 양에 비례하므로, 화소영역(P)은 데이터신호의 크기에 따라 상이한 계조를 표시하고, 그 결과 유기발광다이오드 표시장치는 영상을 표시한다. That is, the amount of current flowing through the organic light emitting diode De is proportional to the size of the data signal, and the intensity of light emitted by the organic light emitting diode De is proportional to the amount of current flowing through the organic light emitting diode De, The region P displays different gradations according to the size of the data signal, and as a result, the organic light emitting diode display displays an image.

스토리지 커패시터(Cst)는 데이터신호에 대응되는 전하를 일 프레임(frame) 동안 유지하여 유기발광다이오드(De)를 흐르는 전류의 양을 일정하게 하고 유기발광다이오드(De)가 표시하는 계조를 일정하게 유지시키는 역할을 한다.
The storage capacitor Cst maintains the charge corresponding to the data signal for one frame so that the amount of current flowing through the organic light emitting diode De is kept constant and the gradation displayed by the organic light emitting diode De is maintained constant .

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 단면도로, 다수의 화소영역에 대응하는 구조를 도시한다.3 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention, and shows a structure corresponding to a plurality of pixel regions.

도 3에 도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 상부에 각 화소영역에 대응하여 패터닝된 반도체층(122)이 형성된다. 기판(110)은 유리기판이나 플라스틱기판일 수 있다. 반도체층(122)은 산화물 반도체 물질로 이루어질 수 있는데, 이 경우 반도체층(122) 하부에는 차광패턴(도시하지 않음)과 버퍼층(도시하지 않음)이 형성될 수 있으며, 차광패턴은 반도체층(122)으로 입사되는 빛을 차단하여 반도체층(122)이 빛에 의해 열화되는 것을 방지한다. 이와 달리, 반도체층(122)은 다결정 실리콘으로 이루어질 수도 있으며, 이 경우 반도체층(122)의 양 가장자리에 불순물이 도핑되어 있을 수 있다. As shown in FIG. 3, a semiconductor layer 122 patterned corresponding to each pixel region is formed on an insulating substrate 110. The substrate 110 may be a glass substrate or a plastic substrate. In this case, a light shielding pattern (not shown) and a buffer layer (not shown) may be formed under the semiconductor layer 122, and the light shielding pattern may be formed on the semiconductor layer 122 And prevents the semiconductor layer 122 from being deteriorated by light. Alternatively, the semiconductor layer 122 may be made of polycrystalline silicon. In this case, impurities may be doped on both edges of the semiconductor layer 122.

반도체층(122) 상부에는 절연물질로 이루어진 게이트 절연막(130)이 기판(110) 전면에 형성된다. 게이트 절연막(130)은 산화 실리콘(SiO2)과 같은 무기절연물질로 형성될 수 있다. 반도체층(122)이 다결정 실리콘으로 이루어질 경우, 게이트 절연막(130)은 산화 실리콘(SiO2)이나 질화 실리콘(SiNx)으로 형성될 수 있다.A gate insulating layer 130 made of an insulating material is formed on the entire surface of the substrate 110 on the semiconductor layer 122. The gate insulating film 130 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ). When the semiconductor layer 122 is made of polycrystalline silicon, the gate insulating layer 130 may be formed of silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx).

게이트 절연막(130) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 이루어진 게이트전극(132)이 각 화소영역의 반도체층(122)의 중앙에 대응하여 형성된다. 또한, 게이트 절연막(130) 상부에는 게이트배선(도시하지 않음)과 제1 커패시터 전극(도시하지 않음)이 형성될 수 있다. 게이트배선은 제1방향을 따라 연장되고, 제1 커패시터 전극은 게이트전극(132)에 연결된다. A gate electrode 132 made of a conductive material such as metal is formed on the gate insulating layer 130 in correspondence with the center of the semiconductor layer 122 in each pixel region. A gate line (not shown) and a first capacitor electrode (not shown) may be formed on the gate insulating layer 130. The gate wiring extends along the first direction, and the first capacitor electrode is connected to the gate electrode 132. [

한편, 본 발명의 실시예에서는 게이트 절연막(130)이 기판(110) 전면에 형성되어 있으나, 게이트 절연막(130)은 게이트전극(132)과 동일한 모양으로 패터닝될 수도 있다. In the embodiment of the present invention, the gate insulating layer 130 is formed on the entire surface of the substrate 110, but the gate insulating layer 130 may be patterned to have the same shape as the gate electrode 132.

게이트전극(132) 상부에는 절연물질로 이루어진 층간 절연막(140)이 기판(110) 전면에 형성된다. 층간 절연막(140)은 산화 실리콘(SiO2)이나 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 형성되거나, 포토 아크릴(photo acryl)이나 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다. An interlayer insulating layer 140 made of an insulating material is formed on the entire surface of the substrate 110 on the gate electrode 132. The interlayer insulating film 140 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x), or an organic insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene .

층간 절연막(140)은 반도체층(122)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)을 가진다. 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)은 게이트전극(132)의 양측에 게이트전극(132)과 이격되어 위치한다. 여기서, 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)은 게이트 절연막(130) 내에도 형성된다. 이와 달리, 게이트 절연막(130)이 게이트전극(132)과 동일한 모양으로 패터닝될 경우, 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)은 층간 절연막(140) 내에만 형성된다. The interlayer insulating film 140 has first and second contact holes 140a and 140b that expose both upper surfaces of the semiconductor layer 122. [ The first and second contact holes 140a and 140b are spaced apart from the gate electrode 132 on both sides of the gate electrode 132. Here, the first and second contact holes 140a and 140b are also formed in the gate insulating film 130. Alternatively, when the gate insulating film 130 is patterned to have the same shape as the gate electrode 132, the first and second contact holes 140a and 140b are formed only in the interlayer insulating film 140. [

각 화소영역에 대응하여 층간 절연막(140) 상부에는 금속과 같은 도전성 물질로 소스 및 드레인전극(142, 144)이 형성된다. 또한, 층간 절연막(140) 상부에는 제2방향을 따라 연장되는 데이터배선(도시하지 않음)과 전원배선(도시하지 않음) 및 제2 커패시터 전극(도시하지 않음)이 형성될 수 있다. Source and drain electrodes 142 and 144 are formed of a conductive material such as metal on the interlayer insulating layer 140 corresponding to each pixel region. A data line (not shown), a power supply line (not shown), and a second capacitor electrode (not shown) may be formed on the interlayer insulating layer 140 in the second direction.

소스 및 드레인전극(142, 144)은 게이트전극(132)을 중심으로 이격되어 위치하며, 각각 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)을 통해 반도체층(122)의 양측과 접촉한다. 도시하지 않았지만, 데이터배선은 제2방향을 따라 연장되고 게이트배선과 교차하여 각 화소영역을 정의하며, 고전위 전압을 공급하는 전원배선은 데이터배선과 이격되어 위치한다. 제2 커패시터 전극은 드레인전극(144)과 연결되고, 제1 커패시터 전극과 중첩하여 둘 사이의 층간 절연막(140)을 유전체로 스토리지 커패시터를 이룬다. The source and drain electrodes 142 and 144 are spaced around the gate electrode 132 and contact the two sides of the semiconductor layer 122 through the first and second contact holes 140a and 140b, respectively. Although not shown, the data wiring extends along the second direction and crosses the gate wiring to define each pixel region, and the power wiring for supplying the high potential voltage is located apart from the data wiring. The second capacitor electrode is connected to the drain electrode 144, and overlaps the first capacitor electrode to form a storage capacitor with the dielectric interlayer 140 between the two.

한편, 반도체층(122)과, 게이트전극(132), 그리고 소스 및 드레인전극(142, 144)은 박막트랜지스터를 이룬다. 여기서, 박막트랜지스터는 반도체층(122)의 일측, 즉, 반도체층(122)의 상부에 게이트전극(132)과 소스 및 드레인전극(142, 144)이 위치하는 코플라나(coplanar) 구조를 가진다.On the other hand, the semiconductor layer 122, the gate electrode 132, and the source and drain electrodes 142 and 144 constitute a thin film transistor. Here, the thin film transistor has a coplanar structure in which the gate electrode 132 and the source and drain electrodes 142 and 144 are located on one side of the semiconductor layer 122, that is, above the semiconductor layer 122.

이와 달리, 박막트랜지스터는 반도체층의 하부에 게이트전극이 위치하고 반도체층의 상부에 소스 및 드레인전극이 위치하는 역 스태거드(inverted staggered) 구조를 가질 수 있다. 이 경우, 반도체층은 비정질 실리콘으로 이루어질 수 있다. Alternatively, the thin film transistor may have an inverted staggered structure in which a gate electrode is positioned below the semiconductor layer and source and drain electrodes are located above the semiconductor layer. In this case, the semiconductor layer may be made of amorphous silicon.

여기서, 박막트랜지스터는 유기발광다이오드 표시장치의 구동 박막트랜지스터에 해당하며, 구동 박막트랜지스터와 동일한 구조의 스위칭 박막트랜지스터(도시하지 않음)가 각 화소영역에 대응하여 기판(110) 상에 더 형성된다. 구동 박막트랜지스터의 게이트 전극(132)은 스위칭 박막트랜지스터의 드레인전극(도시하지 않음)에 연결되고 구동 박막트랜지스터의 소스전극(142)은 전원배선(도시하지 않음)에 연결된다. 또한, 스위칭 박막트랜지스터의 게이트전극(도시하지 않음)과 소스전극(도시하지 않음)은 게이트 배선 및 데이터 배선과 각각 연결된다.Here, the thin film transistor corresponds to a driving thin film transistor of an organic light emitting diode display, and a switching thin film transistor (not shown) having the same structure as the driving thin film transistor is further formed on the substrate 110 corresponding to each pixel region. The gate electrode 132 of the driving thin film transistor is connected to the drain electrode (not shown) of the switching thin film transistor and the source electrode 142 of the driving thin film transistor is connected to the power supply wiring (not shown). In addition, a gate electrode (not shown) and a source electrode (not shown) of the switching thin film transistor are connected to the gate wiring and the data wiring, respectively.

소스 및 드레인전극(142, 144) 상부에는 절연물질로 제1보호막(152)과 제2보호막(154)이 기판(110) 전면에 순차적으로 형성된다. 제1보호막(152)은 산화 실리콘(SiO2)이나 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 형성될 수 있으며, 제2보호막(154)은 벤조사이클로부텐이나 포토 아크릴과 같은 유기절연물질로 형성되어 제2보호막(154)의 상면은 평탄할 수 있다. A first passivation layer 152 and a second passivation layer 154 are sequentially formed on the entire surface of the substrate 110 as insulating materials on the source and drain electrodes 142 and 144. The first protective film 152 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x), and the second protective film 154 may be formed of an organic insulating material such as benzocyclobutene or photoacryl And the upper surface of the second protective film 154 may be flat.

제1보호막(152)과 제2보호막(154)은 드레인전극(144)을 노출하는 드레인 컨택홀(156)을 가진다. 여기서, 드레인 컨택홀(156)은 제2 컨택홀(140b) 바로 위에 형성된 것으로 도시되어 있으나, 제2 컨택홀(140b)과 이격되어 형성될 수도 있다. The first passivation layer 152 and the second passivation layer 154 have drain contact holes 156 exposing the drain electrodes 144. Here, the drain contact hole 156 is formed directly on the second contact hole 140b, but may be formed apart from the second contact hole 140b.

제1보호막(152)과 제2보호막(154) 중 하나는 생략될 수도 있으며, 일례로, 무기절연물질로 이루어진 제1보호막(152)이 생략될 수 있다. One of the first protective film 152 and the second protective film 154 may be omitted. For example, the first protective film 152 made of an inorganic insulating material may be omitted.

제2보호막(154) 상부에는 비교적 일함수가 높은 도전성 물질로 제1전극(162)이 형성된다. 제1전극(162)은 각 화소영역마다 형성되고, 드레인 컨택홀(156)을 통해 드레인전극(144)과 접촉한다. 일례로, 제1전극(162)은 인듐-틴-옥사이드(indium tin oxide: ITO)나 인듐-징크-옥사이드(indium zinc oxide: IZO)와 같은 투명 도전성 물질로 형성될 수 있다. A first electrode 162 is formed on the second protective film 154 with a conductive material having a relatively high work function. The first electrode 162 is formed for each pixel region and contacts the drain electrode 144 through the drain contact hole 156. For example, the first electrode 162 may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

제1전극(162) 상부에는 절연물질로 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 인접한 화소영역 사이에 위치하고, 제1전극(162)을 노출하는 투과홀(170a)을 가지며, 제1전극(162)의 가장자리를 덮는다. A bank layer 170 is formed of an insulating material on the first electrode 162. The bank layer 170 is located between adjacent pixel regions and has a through hole 170a for exposing the first electrode 162 and covers the edge of the first electrode 162. [

뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제1뱅크(172) 상부의 제2뱅크(174)를 포함한다. 제1뱅크(172)는 제1폭(w1)을 갖고, 제2뱅크(174)는 제2폭(w2)을 가지며, 제1뱅크(172)의 제1폭(w1)이 제2뱅크(174)의 제2폭(w2)보다 넓다. 따라서, 제1뱅크(172)에 대응하는 투과홀(170a)의 폭은 제2뱅크(174)에 대응하는 투과홀(170b)의 폭보다 좁다. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 above the first bank 172. The first bank 172 has a first width w1 and the second bank 174 has a second width w2 and the first width w1 of the first bank 172 is greater than the second width w1 of the second bank 172. [ 174, respectively. Therefore, the width of the transmission hole 170a corresponding to the first bank 172 is narrower than the width of the transmission hole 170b corresponding to the second bank 174.

제1뱅크(172)는 상대적으로 표면 에너지가 높은 물질로 이루어져 추후 형성되는 발광층 재료와의 접촉각을 낮추고, 제2뱅크(174)는 상대적으로 표면 에너지가 낮은 물질로 이루어져 추후 형성되는 발광층 재료와의 접촉각을 크게 함으로써 인접한 화소영역으로 발광층 재료가 넘치는 것을 방지한다. 일례로, 제1뱅크(172)는 친수성 특성을 갖는 무기절연물질이나 유기절연물질로 이루어질 수 있으며, 제2뱅크(174)는 소수성 특성을 갖는 유기절연물질로 이루어질 수 있다. The first bank 172 is made of a material having a relatively high surface energy to lower the contact angle with the later-formed light-emitting layer material. The second bank 174 is made of a material having a relatively low surface energy, By increasing the contact angle, it is possible to prevent the light emitting layer material from overflowing into adjacent pixel regions. For example, the first bank 172 may be formed of an inorganic insulating material or an organic insulating material having a hydrophilic property, and the second bank 174 may be formed of an organic insulating material having a hydrophobic property.

한편, 제2뱅크(174)는 뱅크홀(174a)을 가지며, 뱅크홀(174a)에 대응하는 제2뱅크(174)가 완전히 제거되어 뱅크홀(174a)을 통해 제1뱅크(172)의 상면이 노출될 수 있다. 이와 달리, 뱅크홀(174a)에 대응하는 제2뱅크(174)가 부분적으로 제거되어, 뱅크홀(174a)을 통해 제1뱅크(172) 상면이 노출되지 않을 수도 있으며, 이 경우, 뱅크홀(174a)을 통해 제2뱅크(174)의 표면이 노출된다. On the other hand, the second bank 174 has a bank hole 174a, and the second bank 174 corresponding to the bank hole 174a is completely removed and is transferred to the upper surface of the first bank 172 through the bank hole 174a Lt; / RTI > Alternatively, the second bank 174 corresponding to the bank hole 174a may be partially removed, so that the upper surface of the first bank 172 may not be exposed through the bank hole 174a. In this case, 174a to expose the surface of the second bank 174.

여기서, 뱅크홀(174a)은 인접한 화소영역 사이에 위치하며, 선택적으로 형성될 수 있다. 즉, 모든 화소영역 사이에 뱅크홀(174a)이 형성될 수도 있고, 일부 화소영역 사이에만 뱅크홀(174a)이 형성될 수도 있다.Here, the bank hole 174a is located between adjacent pixel regions, and may be selectively formed. That is, the bank holes 174a may be formed between all the pixel regions, or the bank holes 174a may be formed only between some of the pixel regions.

이때, 뱅크홀(174a)은 투과홀(170a)에 인접하게 형성되며, 인접한 뱅크홀(174a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.At this time, the bank hole 174a is formed adjacent to the transmission hole 170a, and the width of the second bank 174 between the adjacent bank hole 174a and the transmission hole 170a is between 5 micrometers and 10 micrometers Value.

뱅크홀(174a)은 사각형의 평면 모양을 가질 수 있다. 뱅크홀(174a)의 평면 모양은 이에 제한되지 않으며, 삼각형이나 사각형을 포함하는 다각형일 수 있고, 또는 원형이나 타원형일 수도 있다. 또한, 사각형은 정사각형이나 직사각형 또는 마름모형일 수 있으며, 곡면 형태의 모서리를 포함할 수 있다. The bank hole 174a may have a rectangular planar shape. The planar shape of the bank hole 174a is not limited to this, and may be a polygon including a triangle or a rectangle, or may be a circle or an ellipse. In addition, the rectangle may be square, rectangular, or rhombic, and may include curved edges.

뱅크층(170)의 투과홀(170a)을 통해 노출된 제1전극(162) 상부에는 발광층(180)이 형성된다. 발광층(180)은 제1전극(162) 상부로부터 순차적으로 적층된 정공보조층(hole auxiliary layer)(182)과 발광물질층(light-emitting material layer)(184), 그리고 전자보조층(electron auxiliary layer)(186)을 포함한다. 정공보조층(182)은 정공주입층(hole injecting layer)과 정공수송층(hole transporting layer) 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 전자보조층(186)은 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injecting layer) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. A light emitting layer 180 is formed on the first electrode 162 exposed through the transmission hole 170a of the bank layer 170. [ The light emitting layer 180 includes a hole auxiliary layer 182 and a light-emitting material layer 184 sequentially stacked from the top of the first electrode 162, and an electron auxiliary layer layer 186. The hole assistant layer 182 may include at least one of a hole injecting layer and a hole transporting layer and the electron assistant layer 186 may include at least one of an electron transporting layer and an electron injecting layer, and an electron injecting layer.

여기서, 정공보조층(182)과 발광물질층(184)은 투과홀(170a) 내에만 형성되고, 전자보조층(186)은 실질적으로 기판(110) 전면에 형성된다. 정공보조층(182)과 발광물질층(184)은 용액 공정을 통해 형성될 수 있으며, 전자보조층(186)은 진공 증착 공정을 통해 형성될 수 있다. 용액 공정으로는 다수의 노즐을 포함하는 분사장치를 이용한 인쇄법이나 코팅법이 이용될 수 있으며, 이에 제한되지 않는다. 일례로, 용액 공정으로 잉크젯 인쇄법(inkjet printing method)이 이용될 수 있다. Here, the hole-assist layer 182 and the light-emitting material layer 184 are formed only in the transmission hole 170a, and the electron-assist layer 186 is formed substantially on the entire surface of the substrate 110. [ The hole-assist layer 182 and the light-emitting material layer 184 may be formed through a solution process, and the electron-assist layer 186 may be formed through a vacuum deposition process. As the solution process, a printing method or a coating method using an injection device including a plurality of nozzles may be used, but the present invention is not limited thereto. As an example, an inkjet printing method may be used in a solution process.

한편, 뱅크홀(174a) 내에는 잔막(182a)이 형성된다. 잔막(182a)은 정공보조층(182)과 동일 물질로 이루어질 수 있다. 뱅크홀(174a)이 제1뱅크(172) 상면을 노출할 경우, 잔막(182a)은 제1뱅크(172)와 접촉한다. On the other hand, a residual film 182a is formed in the bank hole 174a. The residual film 182a may be made of the same material as the hole auxiliary layer 182. [ When the bank hole 174a exposes the upper surface of the first bank 172, the residual film 182a contacts the first bank 172. [

일례로, 정공보조층(182)은 정공주입층일 수 있으며, 정공보조층(182)과 발광물질층(184) 사이에는 정공수송층일 수 있다. 이 경우, 잔막(182a)은 정공주입층과 동일 물질로만 이루어진다.For example, the hole assist layer 182 may be a hole injection layer, and the hole assist layer 182 may be a hole transport layer between the light emitting material layer 184 and the hole assist layer 182. In this case, the residual film 182a is formed only of the same material as the hole injection layer.

각 화소영역의 발광물질층(184)은 적, 녹, 청색 발광물질층 중 하나일 수 있으며, 하나의 화소영역에 하나의 색이 대응한다. The light emitting material layer 184 of each pixel region may be one of red, green, and blue light emitting material layers, and one color corresponds to one pixel region.

발광층(180) 상부에는 비교적 일함수가 낮은 도전성 물질로 제2전극(192)이 기판(110) 전면에 형성된다. 여기서, 제2전극(192)은 알루미늄(aluminum)이나 마그네슘(magnesium), 은(silver) 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다.A second electrode 192 is formed on the entire surface of the substrate 110 with a conductive material having a relatively low work function on the light emitting layer 180. Here, the second electrode 192 may be formed of aluminum, magnesium, silver, or an alloy thereof.

제1전극(162)과 발광층(180) 및 제2전극(192)은 유기발광다이오드를 이루며, 제1전극(162)은 애노드(anode)의 역할을 하고, 제2전극(192)은 캐소드(cathode)의 역할을 한다. The first electrode 162 and the emission layer 180 and the second electrode 192 constitute an organic light emitting diode and the first electrode 162 serves as an anode and the second electrode 192 serves as a cathode cathode.

여기서, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 발광물질층(184)으로부터 발광된 빛이 제2전극(192)을 통해 외부로 출력되는 상부발광방식(top emission type)일 수 있다. 이때, 제1전극(162)은 불투명 도전성 물질로 이루어진 반사층(도시하지 않음)을 더 포함한다. 일례로, 반사층은 알루미늄-팔라듐-구리(aluminum-paladium-copper: APC) 합금으로 형성될 수 있으며, 제1전극(162)은 ITO/APC/ITO의 3중층 구조를 가질 수 있다. 또한, 제2전극(192)은 빛이 투과되도록 비교적 얇은 두께를 가지며, 제2전극(192)의 빛 투과도는 약 45-50%일 수 있다.Here, the organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention may be a top emission type in which light emitted from the light emitting material layer 184 is output to the outside through the second electrode 192. At this time, the first electrode 162 further includes a reflective layer (not shown) made of an opaque conductive material. For example, the reflective layer may be formed of an aluminum-palladium-copper (APC) alloy, and the first electrode 162 may have a triple-layer structure of ITO / APC / ITO. Also, the second electrode 192 may have a relatively thin thickness to transmit light, and the second electrode 192 may have a light transmittance of about 45-50%.

이와 달리, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 발광물질층(184)으로부터 발광된 빛이 제1전극(162)을 통해 외부로 출력되는 하부발광방식(bottom emission type)일 수 있다. Alternatively, the organic light emitting diode display according to the exemplary embodiment of the present invention may be a bottom emission type in which light emitted from the light emitting material layer 184 is output to the outside through the first electrode 162 .

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서는, 뱅크층(170)을 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)의 이중 구조로 형성하여 용액 공정에 의한 발광층(180)의 두께 불균일을 완화시킬 수 있다. In the organic light emitting diode display device according to the embodiment of the present invention, the bank layer 170 is formed in a double structure of the first bank 172 and the second bank 174, and the thickness of the light emitting layer 180 Can be mitigated.

이때, 인접한 화소영역 사이의 제2뱅크(174) 내에 선택적으로 뱅크홀(174a)을 형성하여 인접한 화소영역의 용액층이 섞이도록 함으로써, 화소영역간 노즐 편차를 최소화하고 박막 두께의 편차를 방지할 수 있다. 따라서, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
At this time, the bank holes 174a are selectively formed in the second bank 174 between the adjacent pixel regions so that the solution layer in the adjacent pixel region is mixed, thereby minimizing the nozzle deviation between the pixel regions and preventing the deviation in the thickness of the thin film have. Therefore, it is possible to prevent stains and improve image quality.

이러한 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 4a 내지 4i는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 공정 중 각 단계에서의 표시장치를 도시한 단면도이다. 4A to 4I are cross-sectional views illustrating a display device in each step of a manufacturing process of an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention.

도 4a에 도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 상부에 반도체 물질을 증착하여 반도체물질층(미도시)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 반도체물질층을 선택적으로 제거함으로써 각 화소영역에 대응하여 반도체층(122)을 형성한다. 4A, a semiconductor material is deposited on the insulating substrate 110 to form a semiconductor material layer (not shown), and then a semiconductor material layer is selectively removed through a photolithography process using a mask, The semiconductor layer 122 is formed.

여기서, 절연 기판(110)은 유리기판이나 플라스틱기판일 수 있다. 또한, 반도체층(122)은 산화물 반도체 물질로 이루어질 수 있으며, 산화물 반도체 물질은 인듐-갈륨-징크-옥사이드(indium gallium zinc oxide: IGZO)나 인듐-틴-징크-옥사이드(indium tin zinc oxide: ITZO), 인듐-징크-옥사이드(indium zinc oxide: IZO), 징크-옥사이드(zinc oxide: ZnO), 인듐-갈륨-옥사이드(indium gallium oxide: IGO) 또는 인듐-알루미늄-징크-옥사이드(indium aluminum zinc oxide: IAZO)일 수 있다. 이때, 반도체층(122) 하부에는 차광패턴(도시하지 않음)과 버퍼층(도시하지 않음)이 더 형성될 수 있다. Here, the insulating substrate 110 may be a glass substrate or a plastic substrate. In addition, the semiconductor layer 122 may be made of an oxide semiconductor material, and the oxide semiconductor material may be indium gallium zinc oxide (IGZO) or indium tin zinc oxide (ITZO) ), Indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium gallium oxide (IGO), or indium aluminum zinc oxide : IAZO). At this time, a light shielding pattern (not shown) and a buffer layer (not shown) may be further formed under the semiconductor layer 122.

이와 달리, 반도체층(122)은 다결정 실리콘으로 이루어질 수도 있다. Alternatively, the semiconductor layer 122 may be made of polycrystalline silicon.

다음, 반도체층(122) 상부에 절연물질을 화학기상증착 등의 방법으로 증착하여 기판(110) 전면에 게이트 절연막(130)을 형성한다. 게이트 절연막(130)은 산화 실리콘(SiO2)이나 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 형성될 수 있다. 반도체층(122)을 산화물 반도체 물질로 형성할 경우, 게이트 절연막(130)은 산화 실리콘(SiO2)으로 형성되는 것이 바람직하다. Next, a gate insulating layer 130 is formed on the entire surface of the substrate 110 by depositing an insulating material on the semiconductor layer 122 by chemical vapor deposition or the like. The gate insulating film 130 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x). When the semiconductor layer 122 is formed of an oxide semiconductor material, the gate insulating layer 130 is preferably formed of silicon oxide (SiO 2 ).

이어, 게이트 절연막(130) 상부에 금속과 같은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 제1도전물질층(도시하지 않음)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제1도전물질층을 선택적으로 제거하여 게이트전극(132)을 형성한다. 게이트전극(132)은 반도체층(122)보다 좁은 폭을 가지고 반도체층(122)의 중앙에 대응하여 위치한다. Next, a conductive material such as a metal is deposited on the gate insulating layer 130 by sputtering or the like to form a first conductive material layer (not shown), and then, through a photolithography process using a mask, So that the gate electrode 132 is formed. The gate electrode 132 has a width narrower than that of the semiconductor layer 122 and is positioned corresponding to the center of the semiconductor layer 122.

게이트전극(132)은 알루미늄(A)이나 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 합금 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The gate electrode 132 may be formed of at least one of aluminum (A), copper (Cu), molybdenum (Mo), chromium (Cr), nickel (Ni), tungsten (W)

한편, 게이트전극(132)과 함께 제1 커패시터 전극(도시하지 않음)과 게이트배선(도시하지 않음)이 형성된다. 도시하지 않았지만, 제1 커패시터 전극은 게이트전극(132)과 연결되며, 게이트 배선은 제1방향을 따라 연장된다. On the other hand, a first capacitor electrode (not shown) and a gate wiring (not shown) are formed together with the gate electrode 132. Although not shown, the first capacitor electrode is connected to the gate electrode 132, and the gate wiring extends along the first direction.

다음, 게이트전극(132) 상부에 절연물질을 증착하거나 또는 도포하여 기판(110) 전면에 층간 절연막(140)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 층간 절연막(140) 및 게이트 절연막(130)을 선택적으로 제거하여 반도체층(122)의 양측 상면을 노출하는 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)을 형성한다. 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)은 게이트전극(132)의 양측에 게이트전극(132)과 이격되어 위치한다.An interlayer insulating layer 140 is formed on the entire surface of the substrate 110 by depositing or coating an insulating material on the gate electrode 132. The interlayer insulating layer 140 and the gate insulating layer 130 Are selectively removed to form first and second contact holes 140a and 140b that expose both upper surfaces of the semiconductor layer 122. [ The first and second contact holes 140a and 140b are spaced apart from the gate electrode 132 on both sides of the gate electrode 132.

층간 절연막(140)은 산화 실리콘(SiO2)이나 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 형성되거나, 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)이나 포토 아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다.The interlayer insulating film 140 may be formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x), or may be formed of an organic insulating material such as benzocyclobutene or photo acryl .

다음, 층간 절연막(140) 상부에 금속과 같은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 제2도전물질층(도시하지 않음)을 형성한 후, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제2도전물질층을 선택적으로 제거하여 소스 및 드레인전극(142, 144)을 형성한다. 소스 및 드레인전극(142, 144)은 게이트전극(132)을 중심으로 서로 이격되어 있으며, 제1 및 제2 컨택홀(140a, 140b)을 통해 반도체층(122)의 양측과 각각 접촉한다. Next, a conductive material such as metal is deposited on the interlayer insulating layer 140 by sputtering or the like to form a second conductive material layer (not shown), and then, through a photolithography process using a mask, The source and drain electrodes 142 and 144 are formed. The source and drain electrodes 142 and 144 are spaced apart from each other around the gate electrode 132 and are in contact with both sides of the semiconductor layer 122 through the first and second contact holes 140a and 140b.

소스 및 드레인전극(142, 144)은 알루미늄(A)이나 구리(Cu), 몰리브데(Mo), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 합금 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The source and drain electrodes 142 and 144 are formed of at least one of aluminum (A), copper (Cu), molybdenum (Mo), chromium (Cr), nickel (Ni), tungsten .

한편, 소스 및 드레인전극(142, 144)과 함께 데이터배선(도시하지 않음)과 제2 커패시터 전극(도시하지 않음) 및 전원배선(도시하지 않음)이 형성된다. 도시하지 않았지만, 데이터배선은 제2방향을 따라 연장되고, 게이트배선과 교차하여 화소영역을 정의한다. 제2 커패시터 전극은 드레인전극(144)과 연결되며, 전원배선은 데이터배선과 이격되어 위치한다. On the other hand, a data line (not shown), a second capacitor electrode (not shown) and a power line (not shown) are formed together with the source and drain electrodes 142 and 144. Although not shown, the data line extends along the second direction, and intersects the gate line to define the pixel region. The second capacitor electrode is connected to the drain electrode 144, and the power supply wiring is located apart from the data wiring.

다음, 소스 및 드레인전극(142, 144) 상부에 절연물질을 증착하거나 또는 도포하여 기판(110) 전면에 제1보호막(152)과 제2보호막(154)을 순차적으로 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제1보호막(152)과 제2보호막(154)을 선택적으로 제거하여 드레인전극(144)을 노출하는 드레인 컨택홀(156)을 형성한다. 도시한 것처럼, 드레인 컨택홀(156)은 제2 컨택홀(140b) 바로 위에 형성될 수 있다. 이와 달리, 드레인 컨택홀(156)은 제2 컨택홀(140b)과 이격되어 형성될 수도 있다.Next, a first protective film 152 and a second protective film 154 are sequentially formed on the entire surface of the substrate 110 by depositing or applying an insulating material on the source and drain electrodes 142 and 144, The first passivation layer 152 and the second passivation layer 154 are selectively removed through the etching process to form a drain contact hole 156 exposing the drain electrode 144. As shown, the drain contact hole 156 may be formed directly on the second contact hole 140b. Alternatively, the drain contact hole 156 may be formed apart from the second contact hole 140b.

제1보호막(152)은 산화 실리콘(SiO2)이나 질화 실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 형성되고, 제2보호막(154)은 평탄한 표면을 가지도록 포토 아크릴(photo acryl)이나 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)과 같은 유기절연물질로 형성될 수 있다. 제1보호막(152)과 제2보호막(154) 중 하나는 생략될 수도 있다. The first protective film 152 is formed of an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiN x), and the second protective film 154 is formed of a photo acryl or benzocyclobutene or an organic insulating material such as benzocyclobutene. One of the first protective film 152 and the second protective film 154 may be omitted.

다음, 도 4b에 도시한 바와 같이, 제2보호막(154) 상부에 비교적 일함수가 높은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 제1전극물질층(도시하지 않음)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제1전극물질층을 선택적으로 제거하여 제1전극(162)을 형성한다. 제1전극(162)은 각 화소영역에 위치하고, 드레인 컨택홀(156)을 통해 드레인전극(144)과 접촉한다. Next, as shown in FIG. 4B, a first electrode material layer (not shown) is formed by depositing a conductive material having a relatively high work function on the second protective film 154 by sputtering or the like, The first electrode material layer is selectively removed through the photolithography process to form the first electrode 162. The first electrode 162 is located in each pixel region and contacts the drain electrode 144 through the drain contact hole 156.

제1전극(162)은 인듐-틴-옥사이드(indium tin oxide: ITO)나 인듐-징크-옥사이드(indium zinc oxide: IZO)로 이루어진 투명도전층을 포함할 수 있다. 또한, 제1전극(162)은 반사층을 더 포함할 수 있으며, 반사층은 알루미늄-팔라듐-구리(aluminum-paladium-copper: APC) 합금으로 이루어질 수 있다. 일례로, 제1전극(162)은 ITO/APC/ITO의 3중층 구조를 가질 수 있다. The first electrode 162 may include a transparent conductive layer made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). In addition, the first electrode 162 may further include a reflective layer, and the reflective layer may be formed of an aluminum-palladium-copper (APC) alloy. For example, the first electrode 162 may have a triple-layer structure of ITO / APC / ITO.

이어, 도 4c에 도시한 바와 같이, 제1전극(162) 상부에 제1뱅크물질을 증착하거나 또는 도포하여 기판(110) 전면에 제1뱅크물질층(도시하지 않음)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제1뱅크물질층을 선택적으로 제거하여 인접한 화소영역 사이에 제1폭(w1)을 갖는 제1뱅크(172)를 형성한다. 제1뱅크(172)는 제1전극(162)의 가장자리를 덮으며, 화소영역에 대응하는 제1전극(162)의 상면을 노출한다. 제1뱅크물질은 친수성 특성을 갖는 무기절연물질이나 유기절연물질일 수 있다. Next, as shown in FIG. 4C, a first bank material layer (not shown) is formed on the entire surface of the substrate 110 by depositing or applying a first bank material on the first electrode 162, The first bank material layer is selectively removed through the photolithography process to form the first bank 172 having the first width w1 between adjacent pixel regions. The first bank 172 covers the edge of the first electrode 162 and exposes the upper surface of the first electrode 162 corresponding to the pixel region. The first bank material may be an inorganic insulating material or an organic insulating material having a hydrophilic property.

다음, 도 4d에 도시한 바와 같이, 제1뱅크(172) 상부에 제2뱅크물질을 증착하거나 또는 도포하여 기판(110) 전면에 제2뱅크물질층(도시하지 않음)을 형성하고, 마스크를 이용한 사진식각공정을 통해 제2뱅크물질층을 선택적으로 제거하여 제1뱅크(172) 상부에 제2폭(w2)을 갖는 제2뱅크(174)를 형성한다. 제2뱅크(174)의 제2폭(w2)은 제1뱅크(172)의 제1폭(w1)보다 좁다. Next, as shown in FIG. 4D, a second bank material layer (not shown) is formed on the entire surface of the substrate 110 by depositing or applying a second bank material on the first bank 172, The second bank material layer is selectively removed through the photolithography process to form a second bank 174 having a second width w2 over the first bank 172. [ The second width w2 of the second bank 174 is narrower than the first width w1 of the first bank 172. [

이때, 제2뱅크(174) 내에는 선택적으로 뱅크홀(174a)이 형성된다. 뱅크홀(174a)을 통해 제1뱅크(172)의 상면이 노출될 수 있다. 이와 달리, 뱅크홀(174a)을 통해 제2뱅크(174)의 표면이 노출될 수도 있다. At this time, a bank hole 174a is selectively formed in the second bank 174. The upper surface of the first bank 172 can be exposed through the bank hole 174a. Alternatively, the surface of the second bank 174 may be exposed through the bank hole 174a.

여기서, 제2뱅크물질은 소수성 특성을 갖는 유기절연물질일 수 있다.Here, the second bank material may be an organic insulating material having a hydrophobic property.

제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)는 뱅크층(170)을 이루며, 뱅크층(170)은 화소영역에 대응하여 제1전극(162)의 상면을 노출하는 투과홀(170a)을 가진다.The first bank 172 and the second bank 174 constitute a bank layer 170. The bank layer 170 has a transmission hole 170a corresponding to the pixel region and exposing the upper surface of the first electrode 162 I have.

제2뱅크(174)의 뱅크홀(174a)은 투과홀(170a)과 인접하게 위치하며, 추후 용액 공정에 의해 뱅크홀(174a)과 투과홀(170a) 내에 형성되는 용액층이 서로 섞일 수 있도록 인접한 뱅크홀(174a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.The bank holes 174a of the second bank 174 are positioned adjacent to the transmission holes 170a so that the solution layers formed in the bank holes 174a and the transmission holes 170a may be mixed with each other The width of the second bank 174 between the adjacent bank holes 174a and the transmission hole 170a preferably has a value between 5 micrometers and 10 micrometers.

다음, 도 4e에 도시한 바와 같이, 다수의 노즐을 포함하는 분사장치(도시하지 않음)를 이용하여 정공보조물질을 적하함으로써 각 투과홀(170a) 내의 노출된 제1전극(162) 상부에 제1용액층(182b)을 형성한다. 한편, 인접한 화소영역 사이의 뱅크홀(174a) 내에도 정공보조물질을 선택적으로 적하하여 제2용액층(182c)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4E, a hole-injecting material (not shown) including a plurality of nozzles is used to drop the hole-assist material, so that the hole- 1 solution layer 182b. On the other hand, a hole-assist material is selectively dropped into the bank holes 174a between adjacent pixel regions to form a second solution layer 182c.

이때, 적하량을 조절함으로써 인접한 화소영역 사이의 뱅크홀(174a) 내 제2용액층(128c)이 각 화소영역의 제1용액층(182b)과 맞닿도록 한다. At this time, the second solution layer 128c in the bank hole 174a between the adjacent pixel regions is brought into contact with the first solution layer 182b of each pixel region by adjusting the drop amount.

이어, 도 4f에 도시한 바와 같이, 인접한 화소영역의 제1용액층(도 4e의 182b)과 그 사이의 제2용액층(128c)은 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 인접한 화소영역에는 단일 용액층인 정공보조물질층(182d)이 형성된다. Then, as shown in FIG. 4F, the first solution layer (182b in FIG. 4E) in the adjacent pixel region and the second solution layer 128c therebetween are coalesced and mixed together, and a single solution layer A hole-assistant material layer 182d is formed.

이때, 정공보조물질층(182d)은 서로 다른 노즐에 의해 적하된 제1용액층(도 4e의 182b)이 뭉쳐지고 섞여 형성된 것이므로, 노즐 섞기 효과에 의해 각 화소영역에 대응하여 균일한 두께를 가진다. At this time, the hole-assistant material layer 182d has a uniform thickness corresponding to each pixel region due to the nozzle mixing effect because the first solution layer (182b in FIG. 4E) dripped by different nozzles is formed by being agglomerated and mixed .

다음, 도 4g에 도시한 바와 같이, 정공보조물질층(도 4f의 128d)을 건조하여 제1전극(162) 상부에 정공보조층(182)을 형성한다. 이때, 뱅크홀(174a) 내부에는 선택적으로 잔막(182a)이 형성된다. 잔막(182a)은 정공보조층(182)과 동일한 물질로 이루어진다. Next, as shown in FIG. 4G, the layer of the hole-assist material (128d in FIG. 4F) is dried to form the hole-assist layer 182 on the first electrode 162. At this time, a residual film 182a is selectively formed in the bank hole 174a. The residual film 182a is made of the same material as the hole auxiliary layer 182. [

여기서, 정공보조층(182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. 따라서, 잔막(182a)은 정공주입층과 동일 물질로 이루어지거나, 정공주입층 및 정공수송층과 동일 물질로 이루어질 수 있다. Here, the hole-assist layer 182 may be a hole injection layer or a hole injection layer and a hole transport layer. Therefore, the remainder film 182a may be formed of the same material as the hole injection layer, or may be made of the same material as the hole injection layer and the hole transport layer.

다음, 도 4h에 도시한 바와 같이, 투과홀(170a) 내의 정공보조층(182) 상부에 발광물질을 도포하고 건조하여 용액 공정에 의해 발광물질층(184)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4H, a light emitting material is applied onto the hole assist layer 182 in the transmission hole 170a and dried to form a light emitting material layer 184 by a solution process.

여기서, 인접한 화소영역의 발광물질층(184)은 서로 다른 색의 빛을 발광할 수 있다. 이때, 다수의 노즐을 포함하는 분사장치(도시하지 않음)를 이용하여 투과홀(170a) 내에만 발광물질을 적하함으로써 발광물질용액층(도시하지 않음)을 형성하고 이를 건조할 수 있다. Here, the light emitting material layer 184 of adjacent pixel regions may emit light of different colors. At this time, a light emitting material solution layer (not shown) may be formed by dropping the light emitting material only in the transmission hole 170a using an injection device (not shown) including a plurality of nozzles, and then dried.

이와 달리, 인접한 화소영역의 발광물질층(184)은 동일한 색의 빛을 발광할 수 있다. 이러한 경우, 발광물질층(184)은 도 4e 내지 도 4g의 정공보조층(182) 형성 공정과 마찬가지 공정을 통해 형성될 수 있으며, 노즐 섞기 효과에 의해 각 화소영역에 대응하여 균일한 두께를 가질 수 있다. Alternatively, the light emitting material layer 184 in the adjacent pixel region may emit light of the same color. In this case, the light emitting material layer 184 may be formed through a process similar to the process of forming the hole assist layer 182 of FIGS. 4E to 4G, and may have a uniform thickness corresponding to each pixel region by the nozzle mixing effect .

즉, 인접한 화소영역의 각 투과홀(170a) 내 정공보조층(182) 상부에 발광물질을 적하하여 제3용액층(도시하지 않음)을 형성하고, 인접한 화소영역 사이의 뱅크홀(174a) 내에 발광물질을 선택적으로 적하하여 제4용액층(도시하지 않음)을 형성한다. 이때, 뱅크홀(174a) 내의 제4용액층이 각 화소영역의 제3용액층과 맞닿아 제3용액층과 제4용액층은 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 인접한 화소영역에는 단일 용액층인 발광물질용액층(도시하지 않음)이 형성된다. 이어 발광물질용액층을 건조하여 투과홀(170a) 내에 발광물질층(184)을 형성한다. 이때, 뱅크홀(174a) 내의 정공보조물질로 이루어진 잔막(182a) 상부에는 발광물질로 이루어진 잔막(도시하지 않음)이 더 형성될 수 있다. That is, a light emitting material is dropped onto the hole-assist layer 182 in each of the transmission holes 170a of the adjacent pixel region to form a third solution layer (not shown) A light emitting material is selectively dropped to form a fourth solution layer (not shown). At this time, the fourth solution layer in the bank hole 174a is in contact with the third solution layer in each pixel region, so that the third solution layer and the fourth solution layer are cohered and mixed with each other. In the adjacent pixel region, A solution layer (not shown) is formed. Then, the light emitting material solution layer is dried to form a light emitting material layer 184 in the transmission hole 170a. At this time, a residual film (not shown) made of a light emitting material may be further formed on the residual film 182a made of the hole assist material in the bank hole 174a.

여기서, 발광물질로 이루어진 잔막은 정공보조물질로 이루어진 잔막(182a)과 다른 뱅크홀(174a) 내에 형성될 수도 있다. Here, the remaining film made of the light emitting material may be formed in another bank hole 174a from the remainder film 182a made of the hole-assistant material.

다음, 도 4i에 도시한 바와 같이, 뱅크층(170)과 발광물질층(184) 상부에 전자보조물질을 진공증착하여 기판(110) 전면에 전자보조층(186)을 형성한다. 정공보조층(182)과 발광물질층(184) 및 전자보조층(186)은 발광층(180)을 이룬다. 전자보조층(186)은 전자수송층과 전자주입층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 전자보조층(186)은 뱅크홀(174a) 내의 잔막(182a)과 접촉할 수 있다. Next, as shown in FIG. 4I, an electron-assistant layer 186 is formed on the entire surface of the substrate 110 by vacuum depositing an electron-assist material on the bank layer 170 and the light-emitting material layer 184. The hole assist layer 182 and the light emitting material layer 184 and the electron assist layer 186 constitute the light emitting layer 180. The electron assist layer 186 may include at least one of an electron transport layer and an electron injection layer. The electron assist layer 186 can contact the residual film 182a in the bank hole 174a.

이어, 전자보조층(186) 상부에 비교적 일함수가 낮은 도전성 물질을 스퍼터링 등의 방법으로 증착하여 기판(110) 전면에 제2전극(192)을 형성한다. 제2전극(192)은 알루미늄이나 마그네슘, 그리고 은과 같은 금속 물질로 형성될 수 있다. 제2전극(192)은 빛이 투과되도록 비교적 얇은 두께를 가질 수 있다.A second electrode 192 is formed on the entire surface of the substrate 110 by depositing a conductive material having a relatively low work function on the electron assist layer 186 by sputtering or the like. The second electrode 192 may be formed of a metal material such as aluminum, magnesium, and silver. The second electrode 192 may have a relatively thin thickness so that light is transmitted.

이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 정공보조층과 발광물질층을 용액 공정에 의해 형성함으로써 대면적, 고해상도의 표시장치를 구현할 수 있다. As described above, in the embodiment of the present invention, a display device having a large area and a high resolution can be realized by forming the hole assist layer and the light emitting material layer by a solution process.

또한, 제2뱅크(174) 내에 뱅크홀(174a)을 형성하여 뱅크홀(174a) 내의 용액층에 의해 인접한 화소영역의 용액층이 서로 뭉치도록 함으로써, 노즐 섞기 효과에 의해 노즐 적하량 편차를 감소시키고 균일한 두께의 막을 형성할 수 있다. In addition, since the bank holes 174a are formed in the second bank 174 to allow the solution layers in the bank holes 174a to aggregate the solution layers in the adjacent pixel regions, the nozzle loading amount variation can be reduced And a film having a uniform thickness can be formed.

본 발명의 실시예에서는 인접한 두 화소영역의 용액층이 서로 뭉치는 것만을 설명하였으나, 이에 제한되지 않으며, 보다 많은 화소영역의 용액층이 서로 뭉치게 되어 보다 많은 화소영역에 대해 노즐 섞기 효과를 얻을 수도 있다.
In the exemplary embodiment of the present invention, the solution layers of adjacent two pixel regions are aggregated to each other. However, the present invention is not limited thereto, and the solution layers of a larger number of pixel regions may be aggregated together to obtain a nozzle mixing effect for more pixel regions It is possible.

본 발명의 실시예에 따른 뱅크홀의 구조 및 위치는 다양하게 적용 가능하며, 도 5 내지 도 10을 참조하여 설명한다. The structure and position of the bank holes according to the embodiment of the present invention are variously applicable and will be described with reference to FIGS. 5 to 10. FIG.

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 5 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a first embodiment of the present invention.

도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소(PX)를 포함하고, 각 화소(PX)는 다수의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하며, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 각각은 한 화소영역에 해당한다. 일례로, 각 화소(PX)는 제1방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 내지 제4 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함할 수 있으며, 제1 서브화소(SP1)는 적색 빛을 발광하고, 제2 및 제4 서브화소(SP2, SP4)는 청색 빛을 발광하며, 제3 서브화소(SP3)는 녹색 빛을 발광할 수 있다. 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 배치 및 개수는 이에 한정되지 않으며, 각 화소(PX)는 적어도 하나의 적, 녹, 청색 서브화소를 포함한다. 또한, 각 화소(PX)는 적, 녹, 청색 서브화소 이외에 백색 서브화소를 더 포함할 수도 있다. 5, the organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention includes a plurality of pixels PX, each pixel PX includes a plurality of sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4), and each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 corresponds to one pixel region. For example, each pixel PX may include first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 sequentially disposed along a first direction, and the first sub-pixel SP1 may include red light The second and fourth sub-pixels SP2 and SP4 emit blue light, and the third sub-pixel SP3 emits green light. The arrangement and the number of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 are not limited thereto, and each pixel PX includes at least one red, green and blue sub-pixel. In addition, each pixel PX may further include white subpixels in addition to red, green, and blue subpixels.

본 발명의 제1실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 인접한 화소영역 사이에 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)를 포함하고, 화소영역, 즉, 제1 내지 제4서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 대응하여 투과홀(170a)을 가진다. 제2뱅크(174)는 제1뱅크(172) 상부에 위치하며, 제2뱅크(174)의 폭은 제1뱅크(172)의 폭보다 좁다. In the organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention, a bank layer 170 is formed between adjacent pixel regions. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 and is formed in correspondence to each pixel region, that is, first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4, (170a). The second bank 174 is located above the first bank 172 and the width of the second bank 174 is narrower than the width of the first bank 172.

한편, 제2뱅크(174)는 인접한 화소영역 사이에 뱅크홀(174a)을 가진다. 이때, 뱅크홀(174a)은 각 화소(PX)의 제1방향을 따라 인접한 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 위치한다. 즉, 뱅크홀(174a)은 제1 및 제2서브화소(SP1, SP2) 사이와 제2 및 제3서브화소(SP2, SP3) 사이, 그리고 제3 및 제4서브화소(SP3, SP4) 사이에 위치하며, 인접한 화소(PX) 사이에는 뱅크홀이 형성되지 않는다. 이러한 뱅크홀(174a)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 일단, 보다 상세하게, 도면 상에서 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 하단에 대응하여 위치하며, 도시하지 않았지만, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 박막트랜지스터(도시하지 않음)와 인접하게 위치한다. On the other hand, the second bank 174 has bank holes 174a between adjacent pixel regions. At this time, the bank hole 174a is located between adjacent sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4 along the first direction of each pixel PX. That is, the bank hole 174a is formed between the first and second sub-pixels SP1 and SP2 and between the second and third sub-pixels SP2 and SP3 and between the third and fourth sub-pixels SP3 and SP4 And no bank holes are formed between adjacent pixels PX. This bank hole 174a is located at one end of each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4, more specifically in correspondence with the lower ends of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 in the figure, (Not shown) of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4.

여기서, 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해, 각 화소(PX) 내에서 인접한 뱅크홀(174a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.In order to obtain a nozzle mixing effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 for each of the pixels PX, the second (third) pixel electrode PX between the adjacent bank holes 174a and the transmission hole 170a The width of the bank 174 is preferably between 5 micrometers and 10 micrometers.

이러한 본 발명의 제1실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 정공보조층(도 3의 182)은 노즐을 포함하는 분사장치를 이용하여 용액 공정을 통해 형성된다. 여기서, 제1방향과 교차하는 제2방향은 노즐의 스캔 방향이 된다. 즉, 제2방향을 따라 분사장치의 노즐이 이동하여 각 투과홀(170a) 및 뱅크홀(174a) 내에 용액을 적하한다. In the organic light emitting diode display according to the first embodiment of the present invention, the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed through a solution process using an injector including a nozzle. Here, the second direction intersecting with the first direction is the scanning direction of the nozzle. That is, the nozzle of the injector moves along the second direction to drop the solution into each of the through hole 170a and the bank hole 174a.

따라서, 각 화소(PX)에서 뱅크홀(174a) 내에 적하된 용액층과 각 투과홀(170a) 내에 적하된 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 각 화소(PX)에 대응하여 단일 용액층이 형성된다. 이어, 단일 용액층을 건조하여 각 화소(PX)의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 내에 균일한 두께를 갖는 정공보조층(도 3의 182)을 형성한다. 이때, 뱅크홀(174a) 내에는 정공보조층(도 3의 182)과 동일 물질로 이루어진 잔막(도 3의 182a)이 형성된다. Therefore, the solution layer dropped in the bank hole 174a and the solution layer dropped in each of the transmission holes 170a in each pixel PX are stacked and mixed together, and a single solution layer is formed corresponding to each pixel PX do. Subsequently, the single solution layer is dried to form a hole auxiliary layer (182 in FIG. 3) having a uniform thickness in the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 of each pixel PX. At this time, a remainder (182a in Fig. 3) made of the same material as the hole assist layer (182 in Fig. 3) is formed in the bank hole 174a.

여기서, 정공보조층(도 3의 182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. 따라서, 잔막(도 3의 182a)은 정공주입층과 동일 물질로 이루어지거나, 정공주입층 및 정공수송층과 동일 물질로 이루어질 수 있다. Here, the hole assist layer (182 in FIG. 3) may be a hole injection layer, or may be a hole injection layer and a hole transport layer. Therefore, the remainder (182a in FIG. 3) may be formed of the same material as the hole injection layer, or may be made of the same material as the hole injection layer and the hole transport layer.

본 발명의 제1실시에서는 뱅크홀(174a)에 의해 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있으며, 노즐 적하량 편차를 감소시켜 균일한 두께의 막을 형성할 수 있다. 따라서, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
In the first embodiment of the present invention, the nozzle blending effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 can be obtained for each pixel PX by the bank hole 174a, the nozzle loading amount deviation can be reduced, Can be formed. Therefore, it is possible to prevent stains and improve image quality.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.6 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소(PX)를 포함하고, 각 화소(PX)는 다수의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하며, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 각각은 한 화소영역에 해당한다. 일례로, 각 화소(PX)는 제1방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 내지 제4 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함할 수 있으며, 제1 서브화소(SP1)는 적색 빛을 발광하고, 제2 및 제4 서브화소(SP2, SP4)는 청색 빛을 발광하며, 제3 서브화소(SP3)는 녹색 빛을 발광할 수 있다. 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 배치 및 개수는 이에 한정되지 않으며, 각 화소(PX)는 적어도 하나의 적, 녹, 청색 서브화소를 포함한다. 또한, 각 화소(PX)는 적, 녹, 청색 서브화소 이외에 백색 서브화소를 더 포함할 수도 있다. 6, the organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention includes a plurality of pixels PX, each pixel PX includes a plurality of sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4), and each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 corresponds to one pixel region. For example, each pixel PX may include first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 sequentially disposed along a first direction, and the first sub-pixel SP1 may include red light The second and fourth sub-pixels SP2 and SP4 emit blue light, and the third sub-pixel SP3 emits green light. The arrangement and the number of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 are not limited thereto, and each pixel PX includes at least one red, green and blue sub-pixel. In addition, each pixel PX may further include white subpixels in addition to red, green, and blue subpixels.

본 발명의 제2실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 인접한 화소영역 사이에 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)를 포함하고, 화소영역, 즉, 제1 내지 제4서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 대응하여 투과홀(170a)을 가진다. 제2뱅크(174)는 제1뱅크(172) 상부에 위치하며, 제2뱅크(174)의 폭은 제1뱅크(172)의 폭보다 좁다. In the organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention, a bank layer 170 is formed between adjacent pixel regions. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 and is formed in correspondence to each pixel region, that is, first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4, (170a). The second bank 174 is located above the first bank 172 and the width of the second bank 174 is narrower than the width of the first bank 172.

한편, 제2뱅크(174)는 인접한 화소영역 사이에 제1뱅크홀(274a)과 제2뱅크홀(274b)을 가진다. 이때, 제1뱅크홀(274a)과 제2뱅크홀(274b)은 각 화소(PX)의 제1방향을 따라 인접한 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 위치한다. 즉, 제1뱅크홀(274a)과 제2뱅크홀(274b)은 제1 및 제2서브화소(SP1, SP2) 사이와 제2 및 제3서브화소(SP2, SP3) 사이, 그리고 제3 및 제4서브화소(SP3, SP4) 사이에 위치하며, 인접한 화소(PX) 사이에는 뱅크홀이 형성되지 않는다. 이러한 제1뱅크홀(274a)과 제2뱅크홀(274b)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 일단과 타단, 보다 상세하게, 도면 상에서 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 하단 및 상단에 각각 대응하여 위치한다. 도시하지 않았지만, 제1뱅크홀(274a)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 박막트랜지스터(도시하지 않음)와 인접하게 위치한다. On the other hand, the second bank 174 has a first bank hole 274a and a second bank hole 274b between adjacent pixel regions. At this time, the first bank hole 274a and the second bank hole 274b are located between the adjacent sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 along the first direction of each pixel PX. That is, the first bank hole 274a and the second bank hole 274b are formed between the first and second sub-pixels SP1 and SP2 and between the second and third sub-pixels SP2 and SP3, Pixels are located between the fourth sub-pixels SP3 and SP4, and no bank holes are formed between the adjacent pixels PX. The first bank hole 274a and the second bank hole 274b are connected to the sub pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 on one end and the other end of the sub pixels SP1, SP2, SP3 and SP4, As shown in Fig. Although not shown, the first bank hole 274a is located adjacent to the thin film transistor (not shown) of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4.

여기서, 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해, 각 화소(PX) 내에서 인접한 제1뱅크홀(274a)과 투과홀(170a) 사이 및 제2뱅크홀(274b)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.Here, in order to obtain a nozzle mixing effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 for each pixel PX, the first bank hole 274a and the transmission hole 170a adjacent to each other in each pixel PX, The width of the second bank 174 between the second bank hole 274b and the transmission hole 170a preferably has a value between 5 micrometers and 10 micrometers.

이러한 본 발명의 제2실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 정공보조층(도 3의 182)은 노즐을 포함하는 분사장치를 이용하여 용액 공정을 통해 형성된다. 여기서, 제1방향과 교차하는 제2방향은 노즐의 스캔 방향이 된다. 즉, 제2방향을 따라 분사장치의 노즐이 이동하여 각 투과홀(170a)과 제1뱅크홀(274a) 및 제2뱅크홀(274b) 내에 용액을 적하한다. In the organic light emitting diode display according to the second embodiment of the present invention, the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed through a solution process using an injector including a nozzle. Here, the second direction intersecting with the first direction is the scanning direction of the nozzle. That is, the nozzle of the injector moves along the second direction to drop the solution into each of the through holes 170a, the first bank hole 274a, and the second bank hole 274b.

따라서, 각 화소(PX)에서 제1뱅크홀(274a) 및 제2뱅크홀(274b) 내에 적하된 용액층과 각 투과홀(170a) 내에 적하된 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 각 화소(PX)에 대응하여 단일 용액층이 형성된다. 이어, 단일 용액층을 건조하여 각 화소(PX)의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 내에 균일한 두께를 갖는 정공보조층(도 3의 182)을 형성한다. 이때, 제1뱅크홀(274a) 및 제2뱅크홀(274b) 내에는 정공보조층(도 3의 182)과 동일 물질로 이루어진 잔막(도 3의 182a)이 형성된다. Therefore, the solution layer dropped in the first bank hole 274a and the second bank hole 274b in each pixel PX and the solution layer dropped in each of the transmission holes 170a are aggregated and mixed with each other, PX), a single solution layer is formed. Subsequently, the single solution layer is dried to form a hole auxiliary layer (182 in FIG. 3) having a uniform thickness in the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 of each pixel PX. At this time, a remainder (182a in FIG. 3) made of the same material as the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed in the first bank hole 274a and the second bank hole 274b.

여기서, 정공보조층(도 3의 182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. 따라서, 잔막(도 3의 182a)은 정공주입층과 동일 물질로 이루어지거나, 정공주입층 및 정공수송층과 동일 물질로 이루어질 수 있다. Here, the hole assist layer (182 in FIG. 3) may be a hole injection layer, or may be a hole injection layer and a hole transport layer. Therefore, the remainder (182a in FIG. 3) may be formed of the same material as the hole injection layer, or may be made of the same material as the hole injection layer and the hole transport layer.

본 발명의 제2실시에서는 제1뱅크홀(274a) 및 제2뱅크홀(274b)에 의해 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있으며, 노즐 적하량 편차를 감소시켜 균일한 두께의 막을 형성할 수 있다. 따라서, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
In the second embodiment of the present invention, the nozzle blending effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 can be obtained for each pixel PX by the first bank hole 274a and the second bank hole 274b, It is possible to form a film having a uniform thickness by decreasing the nozzle drop amount deviation. Therefore, it is possible to prevent stains and improve image quality.

도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.7 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a third embodiment of the present invention.

도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소(PX)를 포함하고, 각 화소(PX)는 다수의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하며, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 각각은 한 화소영역에 해당한다. 일례로, 각 화소(PX)는 제1방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 내지 제4 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함할 수 있으며, 제1 서브화소(SP1)는 적색 빛을 발광하고, 제2 및 제4 서브화소(SP2, SP4)는 청색 빛을 발광하며, 제3 서브화소(SP3)는 녹색 빛을 발광할 수 있다. 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 배치 및 개수는 이에 한정되지 않으며, 각 화소(PX)는 적어도 하나의 적, 녹, 청색 서브화소를 포함한다. 또한, 각 화소(PX)는 적, 녹, 청색 서브화소 이외에 백색 서브화소를 더 포함할 수도 있다. 7, the organic light emitting diode display according to the third embodiment of the present invention includes a plurality of pixels PX, each pixel PX includes a plurality of sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4), and each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 corresponds to one pixel region. For example, each pixel PX may include first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 sequentially disposed along a first direction, and the first sub-pixel SP1 may include red light The second and fourth sub-pixels SP2 and SP4 emit blue light, and the third sub-pixel SP3 emits green light. The arrangement and the number of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 are not limited thereto, and each pixel PX includes at least one red, green and blue sub-pixel. In addition, each pixel PX may further include white subpixels in addition to red, green, and blue subpixels.

본 발명의 제3실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 인접한 화소영역 사이에 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)를 포함하고, 화소영역, 즉, 제1 내지 제4서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 대응하여 투과홀(170a)을 가진다. 제2뱅크(174)는 제1뱅크(172) 상부에 위치하며, 제2뱅크(174)의 폭은 제1뱅크(172)의 폭보다 좁다. In the organic light emitting diode display according to the third embodiment of the present invention, a bank layer 170 is formed between adjacent pixel regions. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 and is formed in correspondence to each pixel region, that is, first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4, (170a). The second bank 174 is located above the first bank 172 and the width of the second bank 174 is narrower than the width of the first bank 172.

한편, 제2뱅크(174)는 인접한 화소영역 사이에 제1뱅크홀(374a)과 제2뱅크홀(374b)을 가진다. 이때, 제1뱅크홀(374a)은 각 화소(PX)의 제1방향을 따라 인접한 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 위치한다. 즉, 제1뱅크홀(374a)은 제1 및 제2서브화소(SP1, SP2) 사이와 제2 및 제3서브화소(SP2, SP3) 사이, 그리고 제3 및 제4서브화소(SP3, SP4) 사이에 위치한다. 한편, 제2뱅크홀(374b)은 제1방향을 따라 인접한 화소(PX) 사이에 위치한다. 여기서, 제2뱅크홀(374b)의 제1방향의 폭은 인접한 화소(PX) 사이의 거리에 따라 달라질 수 있으며, 제1뱅크홀(374a)의 제1방향의 폭보다 클 수 있다. 이와 달리, 제2뱅크홀(374b)의 제1방향의 폭은 제1뱅크홀(374a)의 제1방향의 폭과 같을 수도 있다.On the other hand, the second bank 174 has a first bank hole 374a and a second bank hole 374b between adjacent pixel regions. At this time, the first bank hole 374a is located between the adjacent sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4 along the first direction of each pixel PX. That is, the first bank hole 374a is formed between the first and second sub-pixels SP1 and SP2, between the second and third sub-pixels SP2 and SP3, and between the third and fourth sub-pixels SP3 and SP4 . On the other hand, the second bank holes 374b are located between adjacent pixels PX along the first direction. Here, the width of the second bankhole 374b in the first direction may vary according to the distance between adjacent pixels PX, and may be greater than the width of the first bankhole 374a in the first direction. Alternatively, the width of the second bankhole 374b in the first direction may be the same as the width of the first bankhole 374a in the first direction.

이러한 제1뱅크홀(374a)과 제2뱅크홀(374b)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 일단, 보다 상세하게, 도면 상에서 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 하단에 대응하여 위치한다. 도시하지 않았지만, 제1뱅크홀(374a)과 제2뱅크홀(374b)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 박막트랜지스터(도시하지 않음)와 인접하게 위치한다. The first bank hole 374a and the second bank hole 374b are connected to one end of each of the sub pixels SP1, SP2, SP3 and SP4, in more detail, at the bottom of the sub pixels SP1, SP2, SP3, Respectively. Although not shown, the first bank hole 374a and the second bank hole 374b are located adjacent to the thin film transistors (not shown) of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4.

여기서, 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해, 각 화소(PX) 내에서 인접한 제1뱅크홀(374a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 인접한 화소(PX) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해 인접한 제2뱅크홀(374b)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.Here, in order to obtain the nozzle mixing effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 for each pixel PX, a difference between the adjacent first bank holes 374a and the transmission holes 170a in each pixel PX The width of the second bank 174 is preferably between 5 micrometers and 10 micrometers. The width of the second bank 174 between the adjacent second bank holes 374b and the transmission hole 170a is set to a value between 5 micrometers and 10 micrometers in order to obtain a nozzle mixing effect between adjacent pixels PX. .

이러한 본 발명의 제3실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 정공보조층(도 3의 182)은 노즐을 포함하는 분사장치를 이용하여 용액 공정을 통해 형성된다. 여기서, 제1방향과 교차하는 제2방향은 노즐의 스캔 방향이 된다. 즉, 제2방향을 따라 분사장치의 노즐이 이동하여 각 투과홀(170a)과 제1뱅크홀(374a) 및 제2뱅크홀(374b) 내에 용액을 적하한다. In the organic light emitting diode display according to the third embodiment of the present invention, the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed through a solution process using an injector including a nozzle. Here, the second direction intersecting with the first direction is the scanning direction of the nozzle. That is, the nozzle of the injector moves along the second direction to drop the solution into the respective transmission holes 170a, the first bank holes 374a, and the second bank holes 374b.

따라서, 각 화소(PX)에서 제1뱅크홀(374a) 내에 적하된 용액층과 각 투과홀(170a) 내에 적하된 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 또한, 인접한 화소(PX) 사이의 제2뱅크홀(374a) 내에 적하된 용액층과 각 화소(PX)의 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되어, 다수의 화소(PX)에 대응하여 단일 용액층이 형성된다. 여기서, 단일 용액층이 형성되는 다수의 화소(PX) 수는 제한되지 않는다. Therefore, the solution layer dropped in the first bank hole 374a in each pixel PX and the solution layer dropped in each of the transmission holes 170a are aggregated and mixed with each other, and the second layer between the adjacent pixels PX The solution layer dropped in the bank hole 374a and the solution layer of each pixel PX are agglomerated and mixed together to form a single solution layer corresponding to the plurality of pixels PX. Here, the number of pixels PX in which a single solution layer is formed is not limited.

이어, 단일 용액층을 건조하여 다수의 화소(PX) 각각의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 내에 균일한 두께를 갖는 정공보조층(도 3의 182)을 형성한다. 이때, 제1뱅크홀(374a) 및 제2뱅크홀(374b) 내에는 정공보조층(도 3의 182)과 동일 물질로 이루어진 잔막(도 3의 182a)이 형성된다. Subsequently, the single solution layer is dried to form a hole-assist layer (182 in FIG. 3) having a uniform thickness in the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 of each of the plurality of pixels PX. At this time, a remainder (182a in FIG. 3) made of the same material as that of the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed in the first bank hole 374a and the second bank hole 374b.

여기서, 정공보조층(도 3의 182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. 따라서, 잔막(도 3의 182a)은 정공주입층과 동일 물질로 이루어지거나, 정공주입층 및 정공수송층과 동일 물질로 이루어질 수 있다. Here, the hole assist layer (182 in FIG. 3) may be a hole injection layer, or may be a hole injection layer and a hole transport layer. Therefore, the remainder (182a in FIG. 3) may be formed of the same material as the hole injection layer, or may be made of the same material as the hole injection layer and the hole transport layer.

본 발명의 제3실시에서는 제1뱅크홀(374a)에 의해 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있으며, 또한 제2뱅크홀(374b)에 의해 인접한 화소(PX) 간에도 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 노즐 적하량 편차를 감소시켜 균일한 두께의 막을 형성할 수 있으며, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
In the third embodiment of the present invention, the nozzle blending effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 can be obtained for each pixel PX by the first bank hole 374a, and the second bank hole 374b, It is possible to obtain a nozzle mixing effect between adjacent pixels PX. Therefore, it is possible to form a film having a uniform thickness by decreasing the nozzle drop amount deviation, to prevent stains and to improve the image quality.

도 8은 본 발명의 제4실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 8 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a fourth embodiment of the present invention.

도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소(PX)를 포함하고, 각 화소(PX)는 다수의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하며, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 각각은 한 화소영역에 해당한다. 일례로, 각 화소(PX)는 제1방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 내지 제4 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함할 수 있으며, 제1 서브화소(SP1)는 적색 빛을 발광하고, 제2 및 제4 서브화소(SP2, SP4)는 청색 빛을 발광하며, 제3 서브화소(SP3)는 녹색 빛을 발광할 수 있다. 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 배치 및 개수는 이에 한정되지 않으며, 각 화소(PX)는 적어도 하나의 적, 녹, 청색 서브화소를 포함한다. 또한, 각 화소(PX)는 적, 녹, 청색 서브화소 이외에 백색 서브화소를 더 포함할 수도 있다. 8, the OLED display according to the fourth exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of pixels PX, each pixel PX includes a plurality of sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4), and each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 corresponds to one pixel region. For example, each pixel PX may include first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 sequentially disposed along a first direction, and the first sub-pixel SP1 may include red light The second and fourth sub-pixels SP2 and SP4 emit blue light, and the third sub-pixel SP3 emits green light. The arrangement and the number of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 are not limited thereto, and each pixel PX includes at least one red, green and blue sub-pixel. In addition, each pixel PX may further include white subpixels in addition to red, green, and blue subpixels.

본 발명의 제4실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 인접한 화소영역 사이에 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)를 포함하고, 화소영역, 즉, 제1 내지 제4서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 대응하여 투과홀(170a)을 가진다. 제2뱅크(174)는 제1뱅크(172) 상부에 위치하며, 제2뱅크(174)의 폭은 제1뱅크(172)의 폭보다 좁다. In the organic light emitting diode display according to the fourth embodiment of the present invention, a bank layer 170 is formed between adjacent pixel regions. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 and is formed in correspondence to each pixel region, that is, first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4, (170a). The second bank 174 is located above the first bank 172 and the width of the second bank 174 is narrower than the width of the first bank 172.

한편, 제2뱅크(174)는 인접한 화소영역 사이에 뱅크홀(474a)을 가진다. 이때, 뱅크홀(474a)은 각 화소(PX)의 제1방향을 따라 인접한 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 위치한다. 즉, 뱅크홀(474a)은 제1 및 제2서브화소(SP1, SP2) 사이와 제2 및 제3서브화소(SP2, SP3) 사이, 그리고 제3 및 제4서브화소(SP3, SP4) 사이에 위치하며, 인접한 화소(PX) 사이에는 뱅크홀이 형성되지 않는다. 이러한 뱅크홀(474a)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 중앙에 대응하여 위치한다. On the other hand, the second bank 174 has bank holes 474a between adjacent pixel regions. At this time, the bank hole 474a is located between the adjacent sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4 along the first direction of each pixel PX. That is, the bank hole 474a is formed between the first and second sub-pixels SP1 and SP2 and between the second and third sub-pixels SP2 and SP3, and between the third and fourth sub-pixels SP3 and SP4 And no bank holes are formed between adjacent pixels PX. These bank holes 474a are located corresponding to the centers of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4.

여기서, 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해, 각 화소(PX) 내에서 인접한 뱅크홀(474a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.Here, in order to obtain a nozzle mixing effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 for each pixel PX, in order to obtain the effect of mixing the nozzles between the bank holes 474a and the transmission holes 170a in the pixels PX, The width of the bank 174 is preferably between 5 micrometers and 10 micrometers.

이러한 본 발명의 제4실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 정공보조층(도 3의 182)은 노즐을 포함하는 분사장치를 이용하여 용액 공정을 통해 형성된다. 여기서, 제1방향과 교차하는 제2방향은 노즐의 스캔 방향이 된다. 즉, 제2방향을 따라 분사장치의 노즐이 이동하여 각 투과홀(170a) 및 뱅크홀(474a) 내에 용액을 적하한다. In the organic light emitting diode display according to the fourth embodiment of the present invention, the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed through a solution process using an injector including a nozzle. Here, the second direction intersecting with the first direction is the scanning direction of the nozzle. That is, the nozzle of the injector moves along the second direction to drop the solution into each of the through holes 170a and the bank holes 474a.

따라서, 각 화소(PX)에서 뱅크홀(474a) 내에 적하된 용액층과 각 투과홀(170a) 내에 적하된 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 각 화소(PX)에 대응하여 단일 용액층이 형성된다. 이어, 단일 용액층을 건조하여 각 화소(PX)의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 내에 균일한 두께를 갖는 정공보조층(도 3의 182)을 형성한다. 이때, 뱅크홀(474a) 내에는 정공보조층(도 3의 182)과 동일 물질로 이루어진 잔막(도 3의 182a)이 형성된다. Therefore, the solution layer dropped in the bank hole 474a in each pixel PX and the solution layer dropped in each of the through holes 170a are stacked and mixed together, and a single solution layer is formed corresponding to each pixel PX do. Subsequently, the single solution layer is dried to form a hole auxiliary layer (182 in FIG. 3) having a uniform thickness in the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 of each pixel PX. At this time, a remainder (182a in FIG. 3) made of the same material as the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed in the bank hole 474a.

여기서, 정공보조층(도 3의 182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. 따라서, 잔막(도 3의 182a)은 정공주입층과 동일 물질로 이루어지거나, 정공주입층 및 정공수송층과 동일 물질로 이루어질 수 있다. Here, the hole assist layer (182 in FIG. 3) may be a hole injection layer, or may be a hole injection layer and a hole transport layer. Therefore, the remainder (182a in FIG. 3) may be formed of the same material as the hole injection layer, or may be made of the same material as the hole injection layer and the hole transport layer.

본 발명의 제4실시에서는 뱅크홀(474a)에 의해 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있으며, 노즐 적하량 편차를 감소시켜 균일한 두께의 막을 형성할 수 있다. 따라서, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
In the fourth embodiment of the present invention, the nozzle blending effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 can be obtained for each pixel PX by the bank hole 474a, Can be formed. Therefore, it is possible to prevent stains and improve image quality.

도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.9 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a fifth embodiment of the present invention.

도 9에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제5실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소(PX)를 포함하고, 각 화소(PX)는 다수의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하며, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 각각은 한 화소영역에 해당한다. 일례로, 각 화소(PX)는 제1방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 내지 제4 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함할 수 있으며, 제1 서브화소(SP1)는 적색 빛을 발광하고, 제2 및 제4 서브화소(SP2, SP4)는 청색 빛을 발광하며, 제3 서브화소(SP3)는 녹색 빛을 발광할 수 있다. 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 배치 및 개수는 이에 한정되지 않으며, 각 화소(PX)는 적어도 하나의 적, 녹, 청색 서브화소를 포함한다. 또한, 각 화소(PX)는 적, 녹, 청색 서브화소 이외에 백색 서브화소를 더 포함할 수도 있다. 9, the OLED display according to the fifth embodiment of the present invention includes a plurality of pixels PX, each pixel PX includes a plurality of sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4), and each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 corresponds to one pixel region. For example, each pixel PX may include first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 sequentially disposed along a first direction, and the first sub-pixel SP1 may include red light The second and fourth sub-pixels SP2 and SP4 emit blue light, and the third sub-pixel SP3 emits green light. The arrangement and the number of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 are not limited thereto, and each pixel PX includes at least one red, green and blue sub-pixel. In addition, each pixel PX may further include white subpixels in addition to red, green, and blue subpixels.

본 발명의 제5실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 인접한 화소영역 사이에 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)를 포함하고, 화소영역, 즉, 제1 내지 제4서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 대응하여 투과홀(170a)을 가진다. 제2뱅크(174)는 제1뱅크(172) 상부에 위치하며, 제2뱅크(174)의 폭은 제1뱅크(172)의 폭보다 좁다. In the organic light emitting diode display according to the fifth embodiment of the present invention, a bank layer 170 is formed between adjacent pixel regions. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 and is formed in correspondence to each pixel region, that is, first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4, (170a). The second bank 174 is located above the first bank 172 and the width of the second bank 174 is narrower than the width of the first bank 172.

한편, 제2뱅크(174)는 인접한 화소영역 사이에 제1뱅크홀(574a)과 제2뱅크홀(574b)을 가진다. 이때, 제1뱅크홀(574a)은 각 화소(PX)의 제1방향을 따라 인접한 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 위치한다. 즉, 제1뱅크홀(574a)은 제1 및 제2서브화소(SP1, SP2) 사이와 제2 및 제3서브화소(SP2, SP3) 사이, 그리고 제3 및 제4서브화소(SP3, SP4) 사이에 위치한다. 한편, 제2뱅크홀(574b)은 제1방향을 따라 인접한 화소(PX) 사이에 위치한다. 여기서, 제2뱅크홀(574b)의 제1방향의 폭은 인접한 화소(PX) 사이의 거리에 따라 달라질 수 있으며, 제1뱅크홀(574a)의 제1방향의 폭보다 클 수 있다. 이와 달리, 제2뱅크홀(574b)의 제1방향의 폭은 제1뱅크홀(574a)의 제1방향의 폭과 같을 수도 있다.On the other hand, the second bank 174 has a first bank hole 574a and a second bank hole 574b between adjacent pixel regions. At this time, the first bank hole 574a is located between adjacent sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4 along the first direction of each pixel PX. That is, the first bank hole 574a is provided between the first and second sub-pixels SP1 and SP2, between the second and third sub-pixels SP2 and SP3, and between the third and fourth sub-pixels SP3 and SP4 . On the other hand, the second bank holes 574b are located between adjacent pixels PX along the first direction. Here, the width of the second bank hole 574b in the first direction may vary depending on the distance between adjacent pixels PX, and may be larger than the width of the first bank hole 574a in the first direction. Alternatively, the width of the second bank hole 574b in the first direction may be the same as the width of the first bank hole 574a in the first direction.

이러한 제1뱅크홀(574a)과 제2뱅크홀(574b)은 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 중앙에 대응하여 위치한다.The first bank hole 574a and the second bank hole 574b correspond to the centers of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4.

여기서, 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해, 각 화소(PX) 내에서 인접한 제1뱅크홀(574a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 인접한 화소(PX) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해 인접한 제2뱅크홀(574b)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.Here, in order to obtain a nozzle mixing effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 for each pixel PX, it is preferable that the distance between the adjacent first bank holes 574a and the transmission holes 170a in each pixel PX The width of the second bank 174 is preferably between 5 micrometers and 10 micrometers. The width of the second bank 174 between the adjacent second bank holes 574b and the transmission hole 170a is set to a value between 5 micrometers and 10 micrometers in order to obtain a nozzle mixing effect between adjacent pixels PX. .

이러한 본 발명의 제5실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 정공보조층(도 3의 182)은 노즐을 포함하는 분사장치를 이용하여 용액 공정을 통해 형성된다. 여기서, 제1방향과 교차하는 제2방향은 노즐의 스캔 방향이 된다. 즉, 제2방향을 따라 분사장치의 노즐이 이동하여 각 투과홀(170a)과 제1뱅크홀(574a) 및 제2뱅크홀(574b) 내에 용액을 적하한다. In the organic light emitting diode display according to the fifth embodiment of the present invention, the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed through a solution process using an injector including a nozzle. Here, the second direction intersecting with the first direction is the scanning direction of the nozzle. That is, the nozzles of the injection device move along the second direction to drop the solution into the respective through holes 170a and the first bank holes 574a and the second bank holes 574b.

따라서, 각 화소(PX)에서 제1뱅크홀(574a) 내에 적하된 용액층과 각 투과홀(170a) 내에 적하된 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 또한, 인접한 화소(PX) 사이의 제2뱅크홀(574a) 내에 적하된 용액층과 각 화소(PX)의 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되어, 다수의 화소(PX)에 대응하여 단일 용액층이 형성된다. 여기서, 단일 용액층이 형성되는 다수의 화소(PX) 수는 제한되지 않는다. Therefore, the solution layer dropped in the first bank hole 574a and the solution layer dropped in each of the transmission holes 170a in each pixel PX are aggregated and mixed with each other, and the second layer between the adjacent pixels PX The solution layer dropped in the bank hole 574a and the solution layer of each pixel PX are stacked and mixed together to form a single solution layer corresponding to the plurality of pixels PX. Here, the number of pixels PX in which a single solution layer is formed is not limited.

이어, 단일 용액층을 건조하여 다수의 화소(PX) 각각의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 내에 균일한 두께를 갖는 정공보조층(도 3의 182)을 형성한다. 이때, 제1뱅크홀(574a) 및 제2뱅크홀(574b) 내에는 정공보조층(도 3의 182)과 동일 물질로 이루어진 잔막(도 3의 182a)이 형성된다. Subsequently, the single solution layer is dried to form a hole-assist layer (182 in FIG. 3) having a uniform thickness in the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 of each of the plurality of pixels PX. At this time, a remainder (182a in FIG. 3) made of the same material as the hole assist layer (182 in FIG. 3) is formed in the first bank hole 574a and the second bank hole 574b.

여기서, 정공보조층(도 3의 182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. 따라서, 잔막(도 3의 182a)은 정공주입층과 동일 물질로 이루어지거나, 정공주입층 및 정공수송층과 동일 물질로 이루어질 수 있다. Here, the hole assist layer (182 in FIG. 3) may be a hole injection layer, or may be a hole injection layer and a hole transport layer. Therefore, the remainder (182a in FIG. 3) may be formed of the same material as the hole injection layer, or may be made of the same material as the hole injection layer and the hole transport layer.

본 발명의 제5실시에서는 제1뱅크홀(574a)에 의해 각 화소(PX)별로 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있으며, 또한 제2뱅크홀(574b)에 의해 인접한 화소(PX) 간에도 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 노즐 적하량 편차를 감소시켜 균일한 두께의 막을 형성할 수 있으며, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
In the fifth embodiment of the present invention, the nozzle blending effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 can be obtained for each pixel PX by the first bank hole 574a, and the second bank hole 574b, It is possible to obtain a nozzle mixing effect between adjacent pixels PX. Therefore, it is possible to form a film having a uniform thickness by decreasing the nozzle drop amount deviation, to prevent stains and to improve the image quality.

도 10은 본 발명의 제6실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 10 is a plan view schematically showing an organic light emitting diode display device according to a sixth embodiment of the present invention.

도 10에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제6실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치는 다수의 화소(PX)를 포함하고, 각 화소(PX)는 다수의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하며, 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 각각은 한 화소영역에 해당한다. 일례로, 각 화소(PX)는 제1방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 내지 제4 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함할 수 있으며, 제1 서브화소(SP1)는 적색 빛을 발광하고, 제2 및 제4 서브화소(SP2, SP4)는 청색 빛을 발광하며, 제3 서브화소(SP3)는 녹색 빛을 발광할 수 있다. 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)의 배치 및 개수는 이에 한정되지 않으며, 각 화소(PX)는 적어도 하나의 적, 녹, 청색 서브화소를 포함한다. 또한, 각 화소(PX)는 적, 녹, 청색 서브화소 이외에 백색 서브화소를 더 포함할 수도 있다. 10, the organic light emitting diode display according to the sixth embodiment of the present invention includes a plurality of pixels PX, each pixel PX includes a plurality of sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4), and each of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 corresponds to one pixel region. For example, each pixel PX may include first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 sequentially disposed along a first direction, and the first sub-pixel SP1 may include red light The second and fourth sub-pixels SP2 and SP4 emit blue light, and the third sub-pixel SP3 emits green light. The arrangement and the number of the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 are not limited thereto, and each pixel PX includes at least one red, green and blue sub-pixel. In addition, each pixel PX may further include white subpixels in addition to red, green, and blue subpixels.

본 발명의 제6실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 인접한 화소영역 사이에 뱅크층(170)이 형성된다. 뱅크층(170)은 제1뱅크(172)와 제2뱅크(174)를 포함하고, 화소영역, 즉, 제1 내지 제4서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 대응하여 투과홀(170a)을 가진다. 제2뱅크(174)는 제1뱅크(172) 상부에 위치하며, 제2뱅크(174)의 폭은 제1뱅크(172)의 폭보다 좁다. In the organic light emitting diode display according to the sixth embodiment of the present invention, a bank layer 170 is formed between adjacent pixel regions. The bank layer 170 includes a first bank 172 and a second bank 174 and is formed in correspondence to each pixel region, that is, first through fourth sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4, (170a). The second bank 174 is located above the first bank 172 and the width of the second bank 174 is narrower than the width of the first bank 172.

한편, 제2뱅크(174)는 인접한 화소영역 사이에 뱅크홀(674a)을 가진다. 이때, 뱅크홀(674a)은 제2방향을 따라 인접한 화소(PX)의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)들 사이에 위치한다. 즉, 뱅크홀(674a)은 동일한 색의 빛을 발광하는 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 사이에 위치한다. 뱅크홀(674a)의 제2방향의 폭은 제1방향의 폭보다 클 수 있다.On the other hand, the second bank 174 has bank holes 674a between adjacent pixel regions. At this time, the bank hole 674a is located between the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 of the adjacent pixel PX along the second direction. That is, the bank holes 674a are located between the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 that emit light of the same color. The width of the bank hole 674a in the second direction may be larger than the width in the first direction.

여기서, 동일 색의 빛을 발광하는 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻기 위해, 인접한 뱅크홀(674a)과 투과홀(170a) 사이의 제2뱅크(174) 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 것이 바람직하다.Here, in order to obtain a nozzle mixing effect between the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 that emit light of the same color, the width of the second bank 174 between the adjacent bank holes 674a and the transmission hole 170a is And has a value between 5 micrometers and 10 micrometers.

이러한 본 발명의 제6실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치에서, 정공보조층(도 3의 182) 및 발광물질층(도 3의 184)은 노즐을 포함하는 분사장치를 이용하여 용액 공정을 통해 형성된다. 여기서, 제1방향은 노즐의 스캔 방향이 된다. 즉, 제1방향을 따라 분사장치의 노즐이 이동하여 각 투과홀(170a) 및 뱅크홀(674a) 내에 용액을 적하한다. In the organic light emitting diode display according to the sixth embodiment of the present invention, the hole assist layer (182 in FIG. 3) and the light emitting material layer (184 in FIG. 3) are formed by a solution process . Here, the first direction is the scanning direction of the nozzle. That is, the nozzle of the injector moves along the first direction to drop the solution into each of the through hole 170a and the bank hole 674a.

따라서, 동일 색을 발광하는 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)들의 투과홀(170a) 내에 적하된 용액층과 그 사이의 뱅크홀(474a) 내에 적하된 용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되며, 동일 색을 발광하는 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4)들에 대응하여 단일 용액층이 형성된다. 이어, 단일 용액층을 건조하여 각 화소(PX)의 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 내에 균일한 두께를 갖는 정공보조층(도 3의 182) 및/또는 발광물질층(도 3의 184)을 형성한다. 이때, 뱅크홀(674a) 내에는 정공보조층(도 3의 182) 및/또는 발광물질층(도 3의 184)과 동일 물질로 이루어진 잔막(도 3의 182a)이 형성된다. Therefore, the solution layer dropped in the transmission hole 170a of the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 emitting the same color and the solution layer dropped in the bank hole 474a between them are aggregated and mixed with each other, A single solution layer is formed corresponding to the sub-pixels SP1, SP2, SP3 and SP4 emitting the same color. Then, the single solution layer is dried to form a hole assist layer (182 in FIG. 3) and / or a light emissive material layer (FIG. 3) having a uniform thickness in the sub-pixels SP1, SP2, SP3, SP4 of each pixel PX. 184). At this time, a remainder (182a in FIG. 3) made of the same material as the hole assist layer (182 in FIG. 3) and / or the light emitting material layer (184 in FIG. 3) is formed in the bank hole 674a.

여기서, 정공보조층(도 3의 182)은 정공주입층일 수 있으며, 또는 정공주입층과 정공수송층일 수 있다. Here, the hole assist layer (182 in FIG. 3) may be a hole injection layer, or may be a hole injection layer and a hole transport layer.

본 발명의 제6실시에서는 뱅크홀(674a)에 의해 동일 색의 빛을 발광하는 서브화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 간 노즐 섞기 효과를 얻을 수 있으므로, 정공보조층(도 3의 182)뿐만 아니라 발광물질층(도 3의 184)을 형성하는데 있어, 노즐 적하량 편차를 감소시켜 균일한 두께의 막을 형성할 수 있다. 따라서, 얼룩을 방지하고 화질을 향상시킬 수 있다.
In the sixth embodiment of the present invention, since the nozzle blending effect can be obtained between the sub-pixels SP1, SP2, SP3, and SP4 that emit light of the same color by the bank holes 674a, In addition, in forming the luminous material layer (184 in FIG. 3), it is possible to reduce the deviation of the nozzle loading amount and to form a film of uniform thickness. Therefore, it is possible to prevent stains and improve image quality.

한편, 본 발명의 실시예에서는 정공보조층과 발광물질층이 용액 공정에 의해 형성되고 전자보조층은 진공 증착 공정에 의해 형성되는 경우에 대하여 설명하였으나, 전자보조층도 용액 공정에 의해 형성될 수 있다. 이때, 전자보조층 또한 도 4e 내지 도 4g의 정공보조층 형성 공정과 마찬가지 공정을 통해 형성될 수 있으며, 노즐 섞기 효과에 의해 각 화소영역에 대응하여 균일한 두께를 가질 수 있다.
While the hole assist layer and the light emitting material layer are formed by a solution process and the electron assist layer is formed by a vacuum deposition process in the embodiment of the present invention, the electron assist layer may be formed by a solution process have. At this time, the electron-assisted layer may also be formed through the same process as the hole-assisted layer forming process of FIGS. 4E to 4G and may have a uniform thickness corresponding to each pixel region by the nozzle-shuffling effect.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. And changes may be made without departing from the spirit and scope of the invention.

110: 기판 122: 반도체층
130: 게이트 절연막 132: 게이트전극
140: 층간 절연막 140a, 140b: 제1 및 제2 컨택홀
142: 소스전극 144: 드레인전극
152, 154: 제1 및 제2보호막 156: 드레인 컨택홀
162: 재1전극 170: 뱅크층
172: 제1뱅크 174: 제2뱅크
170a: 투과홀 174a: 뱅크홀
180: 발광층 182: 정공보조층
184: 발광물질층 186: 전자보조층
182a: 잔막 192: 제2 전극
110: substrate 122: semiconductor layer
130: gate insulating film 132: gate electrode
140: interlayer insulating film 140a, 140b: first and second contact holes
142: source electrode 144: drain electrode
152, 154: first and second protective films 156: drain contact holes
162: Substrate electrode 170: Bank layer
172: first bank 174: second bank
170a: Through hole 174a: Bank hole
180: light emitting layer 182: hole assist layer
184: luminescent material layer 186: electron assist layer
182a: residual film 192: second electrode

Claims (9)

기판과;
상기 기판 상부의 박막트랜지스터와;
상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 연결되는 제1전극과;
상기 제1전극의 가장자리를 덮고 상기 제1전극에 대응하는 투과홀을 가지며, 제1뱅크와 상기 제1뱅크 상부의 제2뱅크를 포함하는 뱅크층과;
상기 투과홀 내의 상기 제1전극 상부에 위치하는 발광층과;
상기 발광층 상부의 제2전극
을 포함하고,
상기 제2뱅크는 인접한 서브화소 사이에 뱅크홀을 가지며,
상기 뱅크홀 내에는 상기 발광층과 동일 물질을 포함하는 잔막이 위치하는 유기발광다이오드 표시장치.
Claims [1]
A thin film transistor on the substrate;
A first electrode connected to a drain electrode of the thin film transistor;
A bank layer covering the edge of the first electrode and having a through hole corresponding to the first electrode, the bank layer including a first bank and a second bank above the first bank;
A light emitting layer located above the first electrode in the transmission hole;
The second electrode
/ RTI >
The second bank having bank holes between adjacent sub-pixels,
And a remaining film including the same material as the light emitting layer is disposed in the bank hole.
제1항에 있어서,
인접한 상기 투과홀과 상기 뱅크홀 사이의 상기 제2뱅크의 폭은 5 마이크로미터 내지 10 마이크로미터 사이의 값을 가지는 유기발광다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
And the width of the second bank between the adjacent through hole and the bank hole has a value between 5 micrometers and 10 micrometers.
제1항에 있어서,
상기 발광층은 정공보조층, 발광물질층, 전자보조층을 포함하고, 상기 잔막은 상기 정공보조층과 동일 물질을 포함하는 유기발광다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the light emitting layer includes a hole assist layer, a light emitting material layer, and an electron assist layer, and the remaining layer includes the same material as the hole assist layer.
제3항에 있어서,
상기 잔막은 상기 발광물질층과 동일 물질을 더 포함하는 유기발광다이오드 표시장치.
The method of claim 3,
Wherein the remaining film further comprises the same material as the light emitting material layer.
제4항에 있어서,
상기 인접한 서브화소는 동일 색의 빛을 발광하는 유기발광다이오드 표시장치.
5. The method of claim 4,
And the adjacent sub-pixels emit light of the same color.
제1항에 있어서,
상기 뱅크홀은 제1뱅크홀과 제2뱅크홀을 포함하며,
상기 제1뱅크홀은 한 화소의 인접한 서브화소 사이에 위치하고, 상기 제2뱅크홀은 인접한 화소 사이에 위치하는 유기발광다이오드 표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the bank hole includes a first bank hole and a second bank hole,
Wherein the first bank hole is located between adjacent sub-pixels of one pixel, and the second bank hole is located between adjacent pixels.
기판 상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;
상기 박막트랜지스터 상부에 보호막을 형성하는 단계와;
상기 보호막 상부에 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 연결되는 제1전극을 형성하는 단계와;
상기 제1전극의 가장자리를 덮는 제1뱅크를 형성하는 단계와;
인접한 서브화소 사이의 상기 제1뱅크 상부에 뱅크홀을 가지며, 상기 제1뱅크와 함께 상기 제1전극을 노출하는 투과홀을 갖는 제2뱅크를 형성하는 단계와;
상기 투과홀 내의 상기 제1전극 상부에 발광층을 형성하는 단계와;
상기 발광층 상부에 제2전극을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 발광층을 형성하는 단계는 상기 뱅크홀 내에 잔막을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법.
Forming a thin film transistor on a substrate;
Forming a protective film on the thin film transistor;
Forming a first electrode connected to the drain electrode of the thin film transistor on the protective film;
Forming a first bank covering an edge of the first electrode;
Forming a second bank having a bank hole above the first bank between adjacent sub-pixels and having a transmission hole exposing the first electrode together with the first bank;
Forming a light emitting layer on the first electrode in the transmission hole;
Forming a second electrode on the light emitting layer
Lt; / RTI >
Wherein the forming of the light emitting layer includes forming a remaining film in the bank hole.
제7항에 있어서,
상기 발광층을 형성하는 단계는,
상기 인접한 서브화소의 투과홀 내에 제1용액층을 형성하는 단계와;
상기 뱅크홀 내에 상기 제1용액층과 맞닿는 제2용액층을 형성하는 단계와;
상기 제1용액층과 상기 제2용액층이 서로 뭉쳐지고 섞이게 되어 상기 인접한 서브화소에 단일 용액층을 형성하는 단계와;
상기 단일 용액층을 건조하는 단계
를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법.
8. The method of claim 7,
The forming of the light emitting layer may include:
Forming a first solution layer in a transmission hole of the adjacent sub-pixel;
Forming a second solution layer in the bank hole in contact with the first solution layer;
Forming a single solution layer in the adjacent sub-pixels by causing the first solution layer and the second solution layer to be aggregated and mixed with each other;
Drying the single solution layer
Wherein the organic light emitting diode display device comprises:
제8항에 있어서,
상기 발광층을 형성하는 단계는 정공보조층을 형성하는 단계 또는 정공보조층과 발광물질층을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the forming of the light emitting layer includes forming a hole auxiliary layer or forming a hole assist layer and a light emitting material layer.
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