KR101566919B1 - Auto probe inspection apparatus and inspection method of organic light emmiting pannel using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본원은 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an auto-probe inspection apparatus and an inspection method of an organic light emitting display panel using the same.
일반적으로 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic light emitting panel)은 유기 전계 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED)를 사용한 표시 장치로서, 유기 전계 발광 소자의 RGB화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 디스플레이 영상을 출력한다. 그런데, 유기 전계 발광 소자는 배면 발광 하는 바, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널은 배면이 상측을 향하고 패드부는 하측을 향하도록 뒤집어진 상태에서 점등 검사가 수행된다. 2. Description of the Related Art In general, an organic light emitting panel is a display device using organic light emitting diodes (OLED), in which RGB pixels of an organic electroluminescent device are arranged in a matrix form, Output. Meanwhile, the organic electroluminescent device emits light on the backside, and the organic electroluminescence display type panel is turned on with the backside facing upward and the pad portion facing downward.
이러한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사를 위해, 대한민국 공개특허공보 제10-2014-0126799호에는 누름지그 및 누름지그에 형성된 윈도우를 통해 내외측 방향으로 이동되는 프로브 유닛을 이용해 패널을 검사하는 오토 프로브 검사 장치가 개시되었다. 이러한 오토 프로브 검사 장치는 패널 검사에 상당히 유용하였다.For inspection of such an organic electroluminescent display type panel, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2014-0126799 discloses an inspection apparatus for inspecting a panel using a probe unit which is moved inward and outward through a window formed on a pressing jig and a pressing jig, An inspection apparatus is disclosed. Such an auto-probe inspection apparatus was very useful for panel inspection.
그런데, 최근에는 패널의 면적이 대형화되는바, 개시된 오토 프로브 검사 장치에는 다음과 같은 개선점이 발생하였다. 패널의 면적의 증가에 따라, 누름지그의 길이도 길어지는데, 누름지그의 길이가 길면, 누름지그가 점차 어느 일 방향으로 편향되게 되며, 누름지그 하면이 전체적으로 수평을 이루지 못하게된다. 이와 같이, 수평을 이루지 않는 누름지그를 패널에 접촉시키면, 패널의 일부분에 누름지그가 작용하는 힘이 편중되는바, 패널에 손상이 발생되었다.In recent years, however, the area of the panel has become larger, and the following improvements have been made in the disclosed auto-probe inspection apparatus. As the panel area increases, the length of the pressing jig becomes longer. When the length of the pressing jig is longer, the pressing jig is gradually deflected in one direction, and the pressing jig is not horizontally formed as a whole. When the non-horizontal pressing jig is brought into contact with the panel, the force acting on the pressing jig is partially applied to a part of the panel, and the panel is damaged.
또한, 개시된 오토 프로브 검사 장치는 프로브 유닛이 누름지그의 윈도우에 삽입되어 내외측 방향으로 이동되는데, 최근의 패널이 대형화되는 추세 및 프로브 유닛이 소형화되가는 추세에 대응하다보니, 누름지그의 길이가 증가하고, 윈도우의 개수가 증가하게 되는바, 윈도우 사이의 격벽이 얇아져 누름지그의 내구성이 확보되지 못한다는 개선점이 있었다.In addition, in the disclosed auto-probe inspection apparatus, the probe unit is inserted into the window of the pushing jig and moved in the outward direction. In response to the tendency of the recent panel becoming larger and the tendency that the probe unit becomes smaller, And the number of windows is increased. As a result, the partition walls between the windows become thin, so that the durability of the pressing jig can not be secured.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 수평 상태의 유지 및 조절이 용이하고, 내구성이 확보되는 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide an auto-probe inspection apparatus which is easy to maintain and adjust in a horizontal state and is durable, and a method of inspecting a panel of an organic electroluminescence display type using the same. do.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 전면에 패드부가 형성된 패널이 그 전면을 하측으로 향하며 안착되는 워크 테이블; 상기 워크 테이블에 안착된 상기 패널의 상기 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수 개의 프로브 유닛; 및 상기 복수 개의 프로브 유닛의 상측에 위치하는 누름 구조체를 포함하되, 상기 누름 구조체는, 상측을 향하는 상기 패널의 후면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 지그부; 상기 누름 지그부가 상기 후면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름 지그부를 상하 방향으로 이동시키는 바디부; 및 상기 누름 지그부와 상기 바디부를 연결하는 바디 장착부를 포함할 수 있다.According to a first aspect of the present invention, there is provided an autoclave inspection apparatus comprising: a work table on which a panel having a pad on its front surface is seated with its front surface facing downward; A plurality of probe units contacting the pad portion of the panel mounted on the work table to perform inspection of the panel; And a pressing structure disposed on an upper side of the plurality of probe units, wherein the pressing structure includes: a pressing jig that contacts the rear edge of the panel toward the upper side to limit upward movement of the panel; A body portion for moving the pressing jig in a vertical direction so that the pressing jig can contact or be released from the rear edge; And a body mounting portion connecting the pressing jig and the body portion.
한편, 본원의 제2 측면에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은, (a) 상기 패널이 상기 워크 테이블에 로딩되는 단계; (b) 상기 누름 지그부가 상기 후면 테두리부에 접촉되는 단계; (c) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계; (d) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부로부터 접촉 해제되는 단계; 및 (d) 상기 누름 지그부가 상기 후면 테두리부로부터 접촉 해제되는 단계를 포함할 수 있다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a panel of an organic electroluminescence display type, comprising the steps of: (a) loading the panel onto the work table; (b) contacting the pressing jig with the rear edge portion; (c) performing the inspection by contacting the probe unit with the pad unit; (d) disengaging the probe unit from the pad unit; And (d) the pressing jig is released from the rear edge.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 프로브 유닛과 패드부의 접촉 시에 발생하는 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 구조체가 복수 개의 프로브 유닛의 상측에 위치하는바, 프로브 유닛의 구동 범위와 누름 지그부의 구동 범위가 독립적으로 구현될 수 있어 내구성이 확보되고, 패널 검사에 있어 안정성이 극대화된 오토 프로브 검사 장치가 구현될 수 있다.According to the above-mentioned problem solving means of the present invention, the pressing structure for restricting the upward movement of the panel, which is generated when the probe unit and the pad portion are brought into contact with each other, is located on the upper side of the plurality of probe units, The driving range can be independently implemented to assure durability and an auto-probe inspection apparatus with maximized stability in panel inspection can be realized.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 오토 프로브 검사 장치를 제3 바디부를 후측에서 바라보고 도시한 개략적인 후면도이다.
도 3은 도 2의 (A)를 확대한 도면이다.
도 4는 바디 장착부 및 지그 블록의 개략적인 사시도이다.
도 5는 도 4의 ⅤⅤ선을 따라 절개한 개략적인 단면도이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 따른 누름 구조체의 개략적인 평면도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 워크 테이블 및 스토퍼의 개략적인 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 워크 테이블 및 스토퍼를 측면에서 바라본 개략적인 측면도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 간격 유지부를 설명하기 위해 워크 테이블의 일부분을 확대 도시한 개략적인 개념도이다.
도 10은 본원의 일 실시예에 따른 에어 블로워를 설명하기 위해 워크 테이블의 일부분을 확대 도시한 개략적인 개념도이다.
도 11은 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a perspective view of an automatic probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic rear view of the automatic probe inspection apparatus shown in FIG. 1, which is viewed from the rear side of the third body part.
Fig. 3 is an enlarged view of Fig. 2 (A).
4 is a schematic perspective view of the body mount and the jig block.
5 is a schematic cross-sectional view taken along the line VV in Fig.
6 is a schematic plan view of a pressing structure according to one embodiment of the present application.
7 is a schematic perspective view of a worktable and a stopper according to one embodiment of the present application.
8 is a schematic side view of the work table and the stopper shown in Fig. 7 viewed from the side.
FIG. 9 is a schematic conceptual view showing an enlarged view of a part of a work table for explaining an interval maintaining portion according to an embodiment of the present invention; FIG.
10 is a schematic conceptual view showing an enlarged view of a part of a work table to explain an air blower according to an embodiment of the present invention;
11 is a flowchart illustrating a panel inspection method of an organic electroluminescent display type according to an embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It should be understood, however, that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In the drawings, the same reference numbers are used throughout the specification to refer to the same or like parts.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it is not limited to a case where it is "directly connected" but also includes the case where it is "electrically connected" do.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is " on " another member, it includes not only when the member is in contact with the other member, but also when there is another member between the two members.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.Throughout this specification, when an element is referred to as "including " an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise. The terms "about "," substantially ", etc. used to the extent that they are used throughout the specification are intended to be taken to mean the approximation of the manufacturing and material tolerances inherent in the stated sense, Accurate or absolute numbers are used to help prevent unauthorized exploitation by unauthorized intruders of the referenced disclosure. The word " step (or step) "or" step "used to the extent that it is used throughout the specification does not mean" step for.
본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.Throughout this specification, the term " combination thereof " included in the expression of the machine form means one or more combinations or combinations selected from the group consisting of the constituents described in the expression of the machine form, And the like.
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 하측 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예시적으로, 도 2 내지 도 4를 보았을 때, 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 6시 방향이 하측 등이 될 수 있다. 또한, 본원의 실시예에서, 수평 방향이라 함은, 상하 방향과 수직하는 방향을 의미할 수 있다.For reference, the terms related to direction or position (upper side, lower side, etc.) in the description of the embodiments of the present application are set based on the arrangement state of each structure shown in the drawings. 2 to 4, the 12 o'clock direction may be the upper side, and the 6 o'clock direction generally may be the lower side. Further, in the embodiments of the present application, the horizontal direction may mean a direction perpendicular to the vertical direction.
다만, 본원의 실시예의 다양한 실제적인 적용에 있어서는, 상면이 수평 방향을 바라보거나, 또는 수평 방향보다 약간 위를 바라보도록 비스듬하게 배치되는 등 다양한 방향으로 배치될 수 있을 것이다. 이러한 본원 장치의 배치 높이나 각도는 검사자가 점등 상태 등을 수동 검사할 때의 편의성을 고려하여 설정함이 바람직하다.However, in various practical applications of the embodiments of the present application, it may be arranged in various directions such that the upper surface is obliquely arranged to look horizontally or slightly above the horizontal direction. It is preferable that the arrangement height or angle of the present apparatus is set in consideration of the convenience when the inspector manually inspects the lighting state or the like.
본원은 오토 프로브 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an auto-probe inspection apparatus.
우선, 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치(이하 '본 오토 프로브 검사 장치'라 함)에 대해 설명한다.First, an autoprobe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention (hereinafter referred to as " the present autoprobe inspection apparatus ") will be described.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 워크 테이블(9)을 포함한다. 도 1 및 도 3을 함께 참조하면, 워크 테이블(9)에는 전면에 패드부(72)가 형성된 패널(7)이 그 전면을 하측으로 향하며 안착된다.Referring to FIGS. 1 and 2 together, this automatic probe inspection apparatus includes a work table 9. Referring to FIGS. 1 and 3 together, the work table 9 is seated with the
예시적으로, 패널(7)은 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic electroluminescence panel)일 수 있다. 일반적으로, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널은 유기 전계 발광 소자가 후면(배면) 발광하므로 후면이 상측을 향하도록 워크 테이블(9)에 안착될 수 있다.Illustratively, the
또한, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 워크 테이블에 안착된 패널(7)의 패드부(72)에 접촉되어 패널(7)에 대한 검사를 수행하는 복수 개의 프로브 유닛(8)을 포함한다.2 and 3, the automatic probe inspection apparatus includes a plurality of probe units (not shown) for contacting the
도면에 명확하게 도시되지는 않았으나, 프로브 유닛(8)은 복수의 프로브 니들을 포함할 수 있다. 프로브 유닛(8)은 프로브 니들을 통해 패널(7)의 패드부(72)에 전기적 신호를 인가함으로써 검사를 수행할 수 있다. 검사는 예시적으로, 패널의 신호 라인(데이터 라인, 게이트 라인)의 단선 검사, 점등 검사 등일 수 있다. Although not explicitly shown in the drawings, the
또한, 프로브 유닛(8)은 워크 스테이지(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다. 예시적으로, 프로브 유닛(8)은 프로브 스테이지 상에 설치될 수 있다. 또한, 프로브 스테이지는 레일 상에 설치될 수 있다. 프로브 스테이지가 레일을 따라 내외측 방향으로 이동함으로써, 프로브 유닛(8)은 워크 스테이지(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다.Further, the
프로브 유닛(8)에 관한 구성 및 기능은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The configuration and function of the
도 3에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(8)은 워크 테이블(9)에 수납된 패널(7)의 전면에 형성된 패드부(72)에 접촉되어 패널(9)에 대한 검사를 수행한다.3, the
전술한 바와 같이, 패널(7)은 그 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(9)에 안착되는바, 도 3에 나타난 바와 같이, 패널(7)의 전면에 형성된 패드부(72)는 하측을 향하게 된다. 도 2 및 도 3에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(7)은 하측을 향하는 패드부(72)에 접촉될 수 있도록, 워크 테이블(9)에 안착된 패널(7)의 패드부(72)보다 하측에 위치할 수 있다.As described above, the
또한, 프로브 유닛(8)은 패드부(72)에 대한 접촉 및 접촉 해제되도록 상하 방향으로 승하강이동 될 수 있다.Further, the
예시적으로, 프로브 유닛(8)은 패널(7)에 대한 검사가 수행될 때, 도 3을 참조하면, 상측 방향으로 승강 이동됨으로써 패드부(72)에 접촉되어 검사를 수행할 수 있다. 또한, 프로브 유닛(8)은 검사가 수행된 후에는 패드부(72)로부터 접촉 해제되도록 하측 방향으로 하강 이동될 수 있다.3, when the inspection of the
또한, 도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 누름 구조체(1)를 포함한다.1 and 2 together, the present autoprobe inspection apparatus includes a
도 2 및 도 3을 참조하면, 누름 구조체(1)는 상측을 향하는 패널(7)의 후면 테두리부(71)에 접촉되어 패널(7)의 상향 이동을 제한하는 누름 지그부(11)를 포함한다.2 and 3, the
예시적으로, 후면 테두리부(71)라 함은, 도 3에 나타난 바와 같이, 패널(7)에서 패드부(72)가 형성된 하면 부분의 반대면(상면) 부분을 의미할 수 있다. Illustratively, the
상술한 바와 같이, 패널(7)은 패드부(72)가 하측 방향을 향하도록 워크 테이블(9)에 안착되며, 워크 테이블(9)에 안착된 패널(7)의 패드부(72)보다 하측에 위치하며 상하(수직) 방향으로 승하강 이동하는 프로브 유닛(8)에 의해 검사된다. The
그런데, 일반적으로, 프로브 유닛(8)이 상측 방향으로 이동되어 패드부(722)에 접촉하게 되면, 패널(7)에는 상측 방향으로 소정의 외력이 작용하게 된다. 외력에 의해 패널(7)은 상향으로 이동될 수 있는데, 예시적으로, 상향으로 들뜨게 될 수 있다. 도 3에 나타난 바와 같이, 누름 지그부(11)는 프로브 유닛(8)과 패드부(72)가 접촉되기 전에 패널(7)의 후면 테두리부(71)에 접촉되어 있음으로써 이러한 패널(7)의 상향 이동을 제한할 수 있다.In general, when the
누름 지그부(11)의 패널(7)의 상면 테두리부(71)에 대한 접촉 또는 접촉 해제는 누름 지그부(11)를 상하 방향으로 승하강 이동시키는 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)에 의해 구현된다. The contact or disengagement of the pushing
바디부(15a, 15b, 15c, 15d)에 대해 보다 구체적으로 설명한다.The
본 누름 구조체는 도 1을 참조하면, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)를 포함한다. 1, the main pressing structure includes
바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 누름 지그부(11)를 상하 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)가 누름 지그부(11)를 하측 방향으로 하강 이동 시키면 누름 지그부(11)는 후면 테두리부(71)에 접촉될 수 있다. 또한, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)가 누름 지그부(11)를 상측 방향으로 승강 이동 시키면 누름 지그부(11)는 후면 테두리부(71)로부터 접촉 해제될 수 있다.The
도 1 및 도 6을 참조하면, 바디부는 2개 이상 구비될 수 있다. 또한, 2개 이상의 바디부 각각은 워크 테이블(9)의 둘레를 따라 구비될 수 있다. 또한, 2개 이상의 바디부 각각에는 누름 지그부(11)가 구비될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 6, at least two body portions may be provided. Further, each of the two or more body portions may be provided along the circumference of the work table 9. Each of the two or more body parts may have a
예시적으로, 도 1 및 도 6에 나타난 바와 같이, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는, 4 개로 구비될 수 있다. 4 개의 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는, 도 1에 나타난 바와 같이, 워크 테이블(9)의 일측면에 구비되는 제1 바디부(15a), 상기 제1 바디부(15a)와 이웃하며 구비되는 제2 바디부(15b), 제2 바디부(15b)와 이웃하게 구비되되 제1 바디부(15a)와 서로 대향하며 구비되는 제3 바디부(15c) 및 제3 바디부(15c)와 이웃하며 구비되되 제2 바디부(15b)와 서로 대향하며 구비되는 제4 바디부(15d)일 수 있다.Illustratively, as shown in Figs. 1 and 6, four
또한, 자세히 후술하겠지만, 제1 바디부(15a) 및 제3 바디부(15c) 각각은 서로를 향하는 방향 또는 서로 이격되는 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 제2 바디부(15b) 및 제4 바디부(15d) 각각은 서로를 향하는 방향 또는 서로 이격되는 방향으로 이동될 수 있다.Further, as will be described later in detail, the first body part 15a and the
또한, 예시적으로, 도 1에 나타난 바와 같이, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는, 4 개로 구비될 수 있다. 4 개의 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 바디부(15a), 제2 바디부(15b), 제3 바디부(15c) 및 제4 바디부(15d)일 수 있다.Further, as an example, as shown in Fig. 1, four
도 1에 나타난 바와 같이, 제1 바디부(15a), 제2 바디부(15b), 제3 바디부(15c) 및 제4 바디부(15d) 각각은 패널(7)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 내지 제4 바디부(15a, 15b, 15c, 15d) 각각에는 누름 지그부(11)가 구비될 수 있다.1, each of the first body part 15a, the
누름 지그부(11)와 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 도 1을 참조하면, 바디 장착부(12)에 의해 연결된다.The pushing
또한, 도 2에 나타난 바와 같이, 누름 구조체(1)는 복수 개의 프로브 유닛(8)의 상측에 위치한다. 다시 말해, 누름 지그부(11), 바디 장착부(12) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 복수 개의 프로브 유닛(8)의 상측에 위치할 수 있다. 이에 따라, 누름 구조체(1)의 구동과 프로브 유닛(8)의 구동간의 간섭이 발생하지 않으며, 누름 구조체(1)의 내구성을 확보할 수 있다. Further, as shown in Fig. 2, the
종래에 개시된 오토 프로브 검사 장치에 의하면, 프로브 유닛이 누름지그의 윈도우에 삽입되어 구동되는바, 프로브 유닛의 구동 반경과 누름 지그의 구동 반경이 서로 겹쳤고, 누름지그에 윈도우가 형성되어야 하는바, 누름지그의 내구성이 확보되지 못했다.According to the conventional auto-probe inspection apparatus, since the probe unit is inserted into the window of the pushing jig and driven, the driving radius of the probe unit and the driving radius of the pushing jig are overlapped with each other, and a window is formed in the pushing jig, The durability of the pressing jig could not be secured.
그러나, 본 누름 구조체에 의하면, 누름 지그부(11), 바디 장착부(12) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)가 프로브 유닛(8)의 상측에 위치하는바, 누름 지그부(11)와 프로브 유닛(8) 각각의 구동 반경을 서로에 대해 독립적으로 형성시킬 수 있고, 누름 지그부(11)에 윈도우를 형성할 필요가 없어 누름 지그부(11)의 내구성을 확보할 수 있다.However, according to the main pressing structure, the pressing
또한, 도 1, 도 2 및 도 4를 참조하면, 누름 지그부(11)는 복수 개의 지그 블록(111)으로 분할 형성될 수 있다.1, 2, and 4, the pressing
이에 따라, 패널(7)에 대한 검사시 패널(7)에 손상이 발생하는 것을 막을 수 있다. 구체적으로, 종래의 오토 프로브 검사 장치는 패널의 면적이 큰 경우에는, 누름지그의 길이를 패널의 면적에 대응하여 증가시켰다. 그런데, 이와 같이, 누름지그의 길이가 증가되면, 초기에는 수평 상태였던 누름지그가 점차 어느 일방향으로 기울어지게 되며 어느 일 방향으로 기울어진 이러한 누름지그를 패널의 상면 테두리부에 접촉시키면, 상면 테두리부의 어느 일 부분은 다른 부분에 비해 더 큰 힘을 받게 되고, 더 큰 힘을 받은 부분은 손상될 수 있었다.As a result, it is possible to prevent the
그러나, 본 누름 구조체에 의하면, 패널(7)의 상면 테두리부(71)와 접촉하는 누름 지그부(11)가 도 4에 나타난 바와 같이, 복수 개의 지그 블록(111)으로 분할 형성되는바, 패널(7)의 면적이 증가되는 경우에도, 지그 블록(111)의 길이가 증가되는 것이 아니라, 각각이 적정 길이를 갖는 지그 블록(111)의 개수가 증가하는바, 누름 지그부(11)의 하면의 수평이 유지되지 않는 문제를 방지할 수 있다. However, according to the main pressing structure, as shown in Fig. 4, the pressing
도 6에 나타난 바와 같이, 지그 블록(111)의 길이는 다양할 수 있다. 예시적으로, 도 6에 나타난 바와 같이, 패널(7)을 중심으로 12시 방향에 위치한 제1 바디부(15a)에 장착된 지그 블록(111)과 패널(7)을 중심으로 6시 방향에 위치한 제3 바디부(15c)에 장착된 지그 블록(111)의 길이는 다를 수 있다. 이와 같이, 지그 블록(111)의 길이는 예시적으로, 패널(7)에 대한 지그 블록(111)의 위치 지점, 지그 블록(111)이 패널(7)에 작용하는 힘 등에 따라 결정될 수 있다.As shown in Fig. 6, the length of the
또한, 도 1 및 도 6을 참조하면, 복수 개의 지그 블록(111)은 상호 간에 미리 설정된 간격을 가지고 배치될 수 있다.1 and 6, the plurality of jig blocks 111 may be disposed at predetermined intervals with respect to one another.
구체적으로, 복수 개의 지그 블록(111) 은, 도 6의 제1 바디부(15a)에 장착된 지그 블록(111) 간의 간격을 참조하면, 복수 개의 지그 블록(111)이 상호 연결되어 작동되는 것과 같은 효과를 발휘할 수 있을 정도로 서로 가깝게 구비될 수 있다.More specifically, referring to the gap between the jig blocks 111 mounted on the first body portion 15a of FIG. 6, the plurality of jig blocks 111 are configured such that a plurality of jig blocks 111 are connected to each other and operated They can be provided close to each other so as to exert the same effect.
또는, 복수 개의 지그 블록(111)은, 도 6의 제3 바디부(15c)에 장착된 지그 블록(111)간의 간격과 같이, 복수 개의 지그 블록(111)이 서로 독립적으로 효과를 발휘할 수 있도록, 소정 간격으로 서로 이격 되어 배치될 수 있다. 이와 같은 지그 블록(111)간의 간격은, 패널(7)에 대한 지그 블록(111)의 위치 지점, 지그 블록(111)이 패널(7)에 작용하는 힘의 크기 등에 따라 결정될 수 있다.Alternatively, the plurality of jig blocks 111 may be formed so that a plurality of jig blocks 111 can independently exhibit an effect, such as an interval between the jig blocks 111 mounted on the
또한, 도 3내지 도 5를 참조하면, 지그 블록(111)은 패널(7)의 상면 테두리부(71)에 접촉되는 누름부(1111) 및 누름부(1111)로부터 상측 방향으로 연장되고 바디 장착부(12)에 장착되는 지지부(1112)를 포함할 수 있다. 예시적으로, 지지부(1112)는 도 3 내지 도 5에 나타난 바와 같이, 누름부(1111)로부터 상측 방향으로 절곡 연장될 수 있다. 또는, 다른 구현예로서, 도면에는 도시되지 않았지만, 지지부(1112)는 절곡되지 않고 누름부(1111)로부터 상측 방향으로 연장 형성될 수 있다.3 to 5, the
또한, 도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 누름부(1111)에는, 패널(7)이 발산하는 빛이 통과하도록 상하 방향으로 홀(11111)이 하나 이상 형성될 수 있다.4 and 5, one or
패널(7)의 패드부(72)와 프로브 유닛(8)의 접촉시 패널(7)이 빛을 발산하면, 발산된 빛은 홀(11111)을 통과할 수 있다. 이에 따라, 패드부(72)와 프로브 유닛(8)의 접촉시 홀(11111)을 통해 홀(11111)의 상측으로 발산되는 빛의 유무에 따라, 패널(7)의 점등 검사의 결과가 확인될 수 있다.When the
도 4에 나타난 바와 같이, 홀(11111)은 그 단면이 원형 형상일 수 있다. 또는, 도 4에 나타난 바와 같이, 홀(11111)은 장공 형태일 수 있다.As shown in Fig. 4, the
또한, 도 4를 참조하면, 누름 지그부(11)는, 지그 블록(111)의 수평을 조절하는 수평 조절 유닛(13)을 포함할 수 있다.4, the pressing
지그 블록(111)의 수평이라 함은, 지그 블록(111)의 하면이 어느 한쪽으로 기울지 않고 평평한 상태를 의미할 수 있다.The horizontal direction of the
상술한 바와 같이, 패널(7)을 가압하는 지그 블록(111)의 수평이 이루어지지 않는 경우, 패널(7)에 손상이 발생할 수 있다. 종래에 개시된 오토 프로브 검사 장치는 패널의 상면 테두리부와 접촉하는 누름지그의 하면의 수평을 조절하는 구성을 포함하지 않고 있고, 이에 따라, 패널에 손상이 발생할 수 있었다.As described above, if the
그러나, 본 누름 구조체에 의하면, 상술한 바와 같이, 누름 지그부(11)가 복수 개의 지그 블록(111)으로 분할 형성된바, 패널(7)의 상면 테두리부(71)와 접촉하는 지그 블록(111)의 수평도가 유지되게 할 수 있고, 지그 블록(111)의 하면이 수평 상태를 이루지 않고 있는 경우, 수평 조절 유닛(13)을 통해 지그 블록(111)을 수평 상태로 셋팅할 수 있다.However, as described above, the pushing
구체적으로, 도 3 및 도 4에 나타난 바와 같이, 수평 조절 유닛(13)은, 지그 블록(111)의 상측에 위치하는 기준 블록(131) 및 기준 블록(131)과 지지부(1112)를 상하 방향으로 동시에 관통하며 배치되는 복수 개의 수평 조절 부재(132)를 포함할 수 있다. 수평 조절 부재(132)는 도 4에 나타난 바와 같이, 서로 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다.3 and 4, the
수평 조절 부재(132)의 회전시, 회전되는 수평 조절 부재(132)가 배치된 지지부(1112)의 부분은 기준 블록(131)에 대하여 상하 방향으로 상대적으로 이동될 수 있다.The portion of the
구체적으로, 도 4를 참조하면, 지그 블록(111)이 어느 일 방향으로 편향된 경우, 편향된 부분에 위치하는 수평 조절 부재(132)를 회전시켜 지그 블록(111)을 상하 방향으로 승강 이동시킬 수 있다. 또는 지그 블록(111)이 어느 일 방향으로 편향된 경우, 편향된 부분에 위치하는 수평 조절 부재(132)를 회전시켜 지그 블록(111)을 상하 방향으로 하강 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 지그 블록(111)의 수평 상태가 셋팅될 수 있다.4, when the
또한, 수평 조절 유닛(13)은 도 4에 나타난 바와 같이, 수평 조절 부재(132)가 기준 블록(131)에 대하여 공회전하는 것을 방지하는 공회전 방지 볼트(133)를 포함할 수 있다.The
또한, 누름 지그부(11)는 도 4 및 도 5를 참조하면, 지그 블록(111)을 바디 장착부(12)에 위치 고정 시키는 체결 볼트 (116)를 포함할 수 있다. 체결 볼트(116)는 도 5에 나타난 바와 같이, 지지부(1112) 및 바디 장착부(133)를 수평 방향으로 동시에 관통하며 배치됨으로써, 지그 블록(111)을 바디 장착부(12)에 위치 고정 시킬 수 있다.4 and 5, the pushing
또한, 체결 볼트(116)에 의하면, 수평 조절 부재(132)가 회전되더라도, 지그 블록(111)이 상하 방향으로 이동되는 것이 방지될 수 있다.According to the
즉, 지그 블록(111)의 수평 조절을 위해, 상술한 수평 조절 부재(132)의 회전이 필요한 경우, 체결 볼트(116)를 해제하여, 지그 블록(111)이 상하 방향으로 이동 가능한 상태로 만든 후, 수평 조절 부재(132)를 회전시켜 지그 블록(111)의 수평을 조절 할 수 있다. 지그 블록(111)의 수평 조절이 완료되면, 체결 볼트(116)를 체결시켜, 수평 조절된 지그 블록(111)의 상태를 유지할 수 있다.That is, when the
또한, 도 1 및 도 4를 함께 참조하면, 바디 장착부(12)는 복수 개의 장착 블록(121)으로 분할 형성될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 4 together, the
이에 따라, 바디 장착부(12)의 내구성을 확보할 수 있다. 만약, 바디 장착부(12)의 규모가 커질수록 그 내구성은 약해질 수 있다. 그러나, 본 누름 구조체는, 바디 장착부(12)를 복수 개의 장착 블록(121)으로 분할 형성함으로써, 그 내구성을 확보한다. As a result, the durability of the
또한, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 워크 테이블(9)에 대하여 내측 방향(도 1 및 도 2 참조, 패널(7)을 향하는 방향) 및 외측 방향(도 1 및 도 2 참조, 패널(7)로부터 이격되는 방향)으로 이동할 수 있다. 1 and 2, the direction toward the panel 7) and the outer direction (see Figs. 1 and 2, see Figs. 1 and 2), the
예시적으로, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)의 하측에는 레일이 배치될 수 있고, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 레일을 따라 워크 테이블(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동될 수 있다. For example, the rails can be disposed below the
이것은, 도 1 및 도 6을 참조하면, 제1 바디부(15a) 및 제3 바디부(15c) 각각은 서로를 향하는 방향 또는 서로 이격되는 방향으로 이동되고, 제2 바디부(15b) 및 제4 바디부(15d) 각각은 서로를 향하는 방향 또는 서로 이격되는 방향으로 이동되는 것을 의미할 수 있다.1 and 6, the first body part 15a and the
이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.Although this movement is not clearly shown in the drawing, it can be exemplarily performed by a motor or the like.
또한, 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 누름 지그부(11)를 상하측 방향으로 승하강 구동하기 전 또는 승하강 구동 후, 패널(7) 측으로 이동되거나, 패널(7)로부터 이격되는 방향으로 이동될 수 있다.The
구체적으로, 워크 테이블(9)에 패널(7)이 안착되면, 상술한 프로브 유닛(8) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 워크 테이블(9)(워크 테이블(9) 상에 안착된 패널(7))에 가까워지는 내측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 패널 검사가 완료되면, 프로브 유닛(8) 및 누름 지그부(11)는 패널(9)로부터 이격되고, 프로브 유닛(8) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 패널(7)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다.Specifically, when the
이와 같은, 프로브 유닛(8) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)의 내외측 방향으로의 이동을 통해 패널 검사 시에, 패널(7)의 규격이 달라져도 용이하게 대처할 수 있다. 예시적으로, 패널(7)의 규격이 증가한 경우, 프로브 유닛(8) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 패널(7)의 규격이 증가하기 전보다 내측으로 덜 이동할 수 있으며, 패널(7)의 규격이 감소한 경우, 프로브 유닛(8) 및 바디부(15a, 15b, 15c, 15d)는 패널(7)의 규격이 감소하기 전보다 내측으로 더 이동할 수 있다.It is possible to easily cope with the variation of the standard of the
한편, 본 오토 프로브 검사 장치는, 도 7 및 도 8을 참조하면, 워크 테이블(9)에 안착된 패널(7)의 수평 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼(6)를 포함할 수 있다.7 and 8, the automatic probe inspection apparatus may include a
도 7에 나타난 바와 같이, 스토퍼(6)는 워크 테이블(6)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 또한, 스토퍼(6)는 도 8에 나타난 바와 같이, 그 상면이 워크 테이블(9)의 상면보다 미리 설정된 길이만큼 더 높게 위치할 수 있다. 미리 설정된 길이는, 패널(7)의 두께 이상의 값일 수 있다. 이는, 스토퍼(6)의 상면이 워크 테이블(9) 상에 로딩되는 패널(7)의 상면보다 더 높게 위치하게 하여 패널(7)의 수평 방향으로의 이동이 스토퍼(6)에 의해 제한되게 하기 위함이다.As shown in Fig. 7, the
또한, 스토퍼(6)는 워크 테이블(9)에 대하여 내측 또는 외측 방향으로 이동 가능할 수 있다. 구체적으로, 스토퍼(6)는 패널(7)에 접촉되도록 워크 테이블(9)에 대하여 내측으로 이동될 수 있다. 또는, 패널(7)에 대한 접촉이 해제되도록 워크 테이블(9)에 대하여 외측으로 이동될 수 있다.Further, the
이러한 스토퍼(6)의 이동은 선형 구동부에 의해 구현될 수 있다. 예시적으로, 선형 구동부는 스토퍼(6)의 하측에서 스토퍼(6)의 이동 경로를 따라 구비되는 레일 및 스토퍼(6)의 하면에 장착되어 레일을 따라 이동 가능한 가이드유닛을 포함할 수 있다. 이러한 선형 구동부에 의하면, 가이드유닛이 레일을 따라 이동됨으로써, 스토퍼(6)는 워크 테이블(9)에 대하여 내측 또는 외측 방향으로 이동될 수 있다. 참고로, 가이드 유닛은 공압 또는 유압에 의해 레일을 따라 이동될 수 있다.The movement of the
이러한 스토퍼(6)는 이와 같이 구동할 수 있다. 예시적으로, 스토퍼(6)는, 누름 지그부(11)가 패널(7)의 후면 테두리부(71)에 접촉하기 이전에 워크 테이블(9)에 대하여 내측 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 누름 지그부(11)가 후면 테두리부(71)에 접촉하기 이전에 패널(7)은 수평 방향으로 얼라인될 수 있다. The
또한, 스토퍼(6)는 상기와 같은 내측 방향으로의 이동이 완료된 후, 워크 테이블(9)에 대하여 외측 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 스토퍼(6)는 패널(7)의 얼라인이 완료된 후, 패널(7)에 대한 접촉이 해제될 수 있다.The
스토퍼(6)의 워크 테이블(9)에 대한 외측 방향으로의 이동 완료 후, 누름 지그부(11)는 패널(7)의 후면 테두리부(71)에 접촉할 수 있다.After the movement of the
또한, 스토퍼(6)는, 누름 지그부(11)의 패널(7)의 후면 테두리부(71)에 대한 접촉 후, 내측 방향으로 재이동하여 패널(7)에 접촉할 수 있다. 내측 방향으로의 재 이동하여 패널(7)에 접촉한 스토퍼(6)는 패널(7)의 수평 방향으로의 위치 이동을 막을 수 있다. The
이와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치에 의하면, 패널(7)은 스토퍼(7)에 의해 얼라인될 수 있다. 또한, 패널(7)은 프로브 유닛(8)에 의한 검사시 누름 지그부(11)에 의해 상향 이동이 제한될 수 있다. 또한, 패널(7)은 스토퍼(6)에 의해 수평 방향으로의 위치 이동이 제한될 수 있다.As described above, according to the present auto-probe inspection apparatus, the
또한, 상술한 바와 같이, 스토퍼(6)는 누름 지그부(11)의 패널(7)의 후면 테두리부(71)에 대한 접촉 이후에 워크 테이블(9)에 대하여 내측 방향으로 이동해 패널(7)에 접촉되는데, 이는, 누름 지그부(11)와 스토퍼(6)가 동시에 패널(71)에 접촉하게 될 경우 발생할 수 있는 패널(71)의 손상을 막기 위함이다.The
만약, 누름 지그부(11)와 스토퍼(6)가 동시에 패널(71)에 접촉하게되면, 패널(71)에는 짧은 시간 내에 여러 방향에서 외력이 작용하게 된다. 이에 따라, 패널(71)이 손상될 수 있다. 본 오토 프로브 검사 장치는, 패널(7)과 누름 지그부(11)의 접촉과 패널(7)과 스토퍼(6)의 접촉이 순차적으로 이루어지게 함으로써, 이러한 패널(7)의 손상을 막을 수 있다.If the
또한, 도 9를 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는, 스토퍼(6)와 워크 테이블(9)의 둘레면 사이의 간격이 일정하게 유지되도록, 워크 테이블(9)과 스토퍼(6) 사이에 개재되는 간격 유지부(5)를 포함할 수 있다.9, the auto-probe inspection apparatus includes a
또한, 도 9에 나타난 바와 같이, 간격 유지부(5)는 스토퍼(6)의 워크 테이블(9)을 향하는 면으로부터 워크 테이블(9)을 향해 돌출 형성될 수 있다. 즉, 간격 유지부(5)는 스토퍼(6)와 일체화되어 형성될 수 있다. 이에 따라, 간격 유지부(5)와 스토퍼(6)는 긴밀하게 연동되어 구동될 수 있다.9, the
또한, 도 10을 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는, 워크 테이블(9)의 하측에 구비되어 프로브 유닛(8) 상의 파티클이 제거되도록 기체를 분사하는 에어 블로워(4)를 포함할 수 있다.10, the autoclave inspection apparatus may include an
프로브 유닛(8) 상이라 함은, 패널(7)의 패드부(72)와 접촉되는 프로브 유닛(8)의 일부분을 의미할 수 있다. 또한, 파티클은 각종 이물질을 의미할 수 있다. 또한, 에어 블로워(4)는 프로브 유닛(8)이 패드부(72)에 접촉되기 전에 기체를 분사하여 프로브 유닛(8) 상의 파티클을 제거할 수 있다. 이에 따라, 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다.The
또한, 본 오토 프로브 검사 장치는 베이스부(미도시)를 포함할 수 있다. 베이스부에는 상술한 워크 테이블(9), 프로브 유닛(8) 및 누름 구조체(1)가 실장될 수 있다.The autoclave inspection apparatus may include a base portion (not shown). The above-described work table 9, the
한편, 이하에서는 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 이용한 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법(이하 '본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법'이라 함)에 관하여 살핀다. 다만, 앞서 살핀 구성과 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.Hereinafter, an inspection method of an organic electroluminescent display type panel according to one embodiment of the present invention using an auto-probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention (hereinafter referred to as a 'panel inspection method of organic electroluminescent display type' . It should be noted, however, that the same reference numerals are used for the same or similar components as those of the foregoing embodiment, and a duplicate description will be simplified or omitted.
도 11을 참조하면, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 패널(7)이 워크 테이블(9)에 로딩되는 단계(S100)를 포함한다.Referring to FIG. 11, the organic light emitting display type panel inspection method includes a step S100 of loading the
또한, S100 단계는 패널(7)이 로딩된 후, 안착된 패널(7)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우, 패널(7)이 안착된 워크 테이블(9) 과 상술한 누름 구조체(1)를 3축 구동(X, Y 및 Z축)함으로써 패널(9)의 위치를 조정할 수 있다.If the position of the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 누름 지그부(11)가 후면 테두리부(71)에 접촉되는 단계(S200)를 포함한다.Also, the panel inspection method of the organic electroluminescent display type includes a step (S200) in which the
S200 단계에서, 누름 지그부(11)는 후면 테두리부(71)에 접촉되도록 하측 방향으로 하강 이동될 수 있다. In step S200, the pressing
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 프로브 유닛(8)이 패드부(72)에 접촉되어 검사를 수행하는 단계(S300)를 포함한다.The panel inspection method of the organic electroluminescence display type includes a step S300 of performing the inspection by contacting the
S300 단계에서, 프로브 유닛(8)은 패드부(91)에 접촉되도록 상측 방향으로 승강 이동될 수 있다.In step S300, the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S100 단계 및 S200 단계 사이에, 누름 지그부(11) 및 프로브 유닛(8)이 패널(7)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 누름 지그부(11) 및 프로브 유닛(8)은 패널(7)에 접촉 가능하도록 패널(7)에 가까워질 수 있다.The panel inspection method of organic electroluminescence display type includes a step in which the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S100 단계 및 S200 단계 사이에, 스토퍼(6)가 패널(7)과 접촉되도록, 워크 테이블(9)에 대하여 내측 방향으로 이동하는 단계를 포함할 수 있다. 이 단계를 통해, 스토퍼(6)는 패널(7)의 위치를 얼라인할 수 있다. The panel inspection method of organic electroluminescence display type includes a step of moving inward relative to the work table 9 so that the
또한, 스토퍼(6)가 패널(7)과 접촉되도록, 워크 테이블(9)에 대하여 내측 방향으로 이동하는 단계와 상술한 누름 지그부(11)가 후면 테두리부(71)에 접촉하는 단계(S200) 사이에 스토퍼(6)와 패널(7)의 접촉이 해제되도록, 스토퍼(6)가 워크 테이블(9)에 대해 외측 방향으로 이동하는 단계가 수행될 수 있다. 즉, 스토퍼(6)는 내측 방향으로 이동되어 패널(7)을 얼라인한 후, 외측 방향으로 이동되어 초기 위치로 복귀할 수 있다. 스토퍼(6)의 워크 테이블(9)에 대한 외측 방향으로의 이동후, 누름 지그부(11)가 후면 테두리부(71)에 접촉하는 단계(S200)가 수행될 수 있다.The step of moving the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 도 1을 참조하면, 프로브 유닛(8)이 패드부(72)에 접촉되어 검사를 수행하는 단계(S300)를 포함할 수 있다.In addition, referring to FIG. 1, the panel inspection method of the organic electroluminescent display type may include a step S300 of performing inspection by contacting the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은, 누름 지그부(11)가 후면 테두리부(71)에 접촉하는 단계(S200)와 프로브 유닛(8)이 패드부(72)에 접촉되어 검사를 수행하는 단계(S300) 사이에는, 스토퍼(6)가 패널(7)과 접촉되도록, 스토퍼(6)가 워크 테이블(9)에 대해 내측 방향으로 이동하는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 프로브 유닛(8)과 패드부(72)의 접촉에 따라 패널(8)에 작용하는 외력에 의해 패널(8)이 수평 방향으로 이동하는 것이 방지될 수 있다.The method of inspecting a panel of the organic electroluminescence display type according to the present invention is characterized in that a step S200 in which the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은, 프로브 유닛(8)이 패드부(72)에 접촉되어 검사를 수행하는 단계(S300) 이전에, 에어 블로워(4)가 프로브 유닛(8) 상의 파티클이 제거되도록, 기체를 분사하는 단계를 포함할 수 있다.The panel inspection method of the present organic electroluminescence display type is characterized in that the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 프로브 유닛(8)이 패드부(72)로부터 접촉 해제되는 단계(S400)를 포함한다.The method of inspecting a panel of the organic electroluminescent display type includes a step (S400) in which the
검사가 수행된 후 프로브 유닛(8)은 패드부(72)로부터 접촉 해제될 수 있다.After the inspection is performed, the
S400 단계에서, 프로브 유닛(8)은 패드부(72)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다.In step S400, the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 누름 지그부(11)가 후면 테두리부(71)로부터 접촉 해제되는 단계(S500)를 포함한다.The panel inspection method of the organic electroluminescence display type includes a step S500 of releasing the
S500 단계에서, 누름 지그부(11)는 후면 테두리부(71)로부터 접촉 해제되도록 상측 방향으로 승강 이동될 수 있다.The pushing
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 패널(7)이 워크 테이블(9)로부터 언로딩되는 단계(S600)를 포함할 수 있다.The panel inspection method of the present organic electroluminescence display type may include a step S600 in which the
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S500 단계와 S600단계 사이에 누름 지그부(11) 및 프로브 유닛(8)이 패널(7)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다. The panel inspection method of the present organic electroluminescence display type may include a step in which the
또는 다른 구현예로, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S400 단계 및 S500 단계 사이에 프로브 유닛(8)이 패널(7) 로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계 및 S500 단계 및 S600 단계 사이에, 누름 지그부(11)가 패널(7)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다.Alternatively, the panel inspection method of the organic electroluminescence display type may include a step in which the
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those of ordinary skill in the art that the foregoing description of the embodiments is for illustrative purposes and that those skilled in the art can easily modify the invention without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.
1: 누름 구조체 11: 누름 지그부
111: 지그 블록 11111: 홀
12: 바디 장착부 121: 장착 블록
13: 수평 조절 유닛 131: 기준 블록
132: 수평 조절 부재 133: 공회전 방지 볼트
15a 제1 바디부 15b: 제2 바디부
15c: 제3 바디부 15d: 제4 바디부
4: 에어 블로워 5: 간격 유지부
6: 스토퍼 7: 패널
71: 상면 테두리부 72: 패드부
9: 워크 테이블 8: 프로브 유닛1: pressing structure 11: pressing jig
111: jig block 11111: hole
12: body mounting part 121: mounting block
13: horizontal adjustment unit 131: reference block
132: horizontal adjustment member 133: idling prevention bolt
15a
15c:
4: air blower 5:
6: Stopper 7: Panel
71: upper surface frame portion 72: pad portion
9: Work table 8: Probe unit
Claims (18)
전면에 패드부가 형성된 패널이 그 전면을 하측으로 향하며 안착되는 워크 테이블;
상기 워크 테이블에 안착된 상기 패널의 상기 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수 개의 프로브 유닛;
상기 워크 테이블에 안착된 상기 패널의 수평 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼; 및
상기 복수 개의 프로브 유닛의 상측에 위치하는 누름 구조체를 포함하되,
상기 스토퍼는, 상기 워크 테이블의 둘레를 따라 배치되고, 상기 워크 테이블에 대하여 내측 또는 외측 방향으로 이동하고,
상기 누름 구조체는,
상측을 향하는 상기 패널의 후면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름 지그부;
상기 누름 지그부가 상기 후면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름 지그부를 상하 방향으로 이동시키는 바디부; 및
상기 누름 지그부와 상기 바디부를 연결하는 바디 장착부를 포함하는 것인 오토 프로브 검사 장치.In an auto-probe inspection apparatus,
A work table on which a panel having a front pad portion is seated with its front surface facing downward;
A plurality of probe units contacting the pad portion of the panel mounted on the work table to perform inspection of the panel;
A stopper restricting movement of the panel in the horizontal direction which is seated on the work table; And
And a pressing structure positioned above the plurality of probe units,
Wherein the stopper is disposed along the periphery of the work table and moves inward or outward relative to the work table,
The pressing structure includes:
A pressing jig which contacts the rear edge of the panel facing upward and restricts upward movement of the panel;
A body portion for moving the pressing jig in a vertical direction so that the pressing jig can contact or be released from the rear edge; And
And a body mounting portion connecting the pressing jig to the body portion.
상기 스토퍼는, 상기 누름 지그부가 상기 패널의 후면 테두리부에 접촉되기 이전에 상기 워크 테이블에 대하여 내측 방향으로 이동하여 상기 워크 테이블 상에 안착된 상기 패널에 접촉하고, 내측 방향으로의 이동 완료 후 외측 방향으로 이동하여 상기 패널에 대한 접촉을 해제하며,
상기 누름 지그부는, 상기 스토퍼의 외측 방향으로의 이동 완료 후, 상기 패널의 후면 테두리부에 접촉되고,
상기 스토퍼는, 상기 누름 지그부의 상기 패널의 후면 테두리부에 대한 접촉 후, 내측 방향으로 재이동하여 상기 패널에 접촉하는 것인 오토 프로브 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the stopper moves inward relative to the work table and contacts the panel seated on the work table before the pushing jig contacts the rear edge of the panel, To release contact with the panel,
The pressing jig is brought into contact with the rear edge of the panel after the movement of the stopper in the outward direction is completed,
Wherein the stopper is moved in the inward direction after contact with the rear edge of the panel of the pressing jig to contact the panel.
상기 스토퍼와 상기 워크 테이블의 둘레면 사이의 간격이 일정하게 유지되도록, 상기 워크 테이블과 상기 스토퍼 사이에 개재되는 간격 유지부를 더 포함하는 오토 프로브 검사 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a gap holding portion interposed between the work table and the stopper so that the gap between the stopper and the circumferential surface of the work table is kept constant.
상기 간격 유지부는 상기 스토퍼의 상기 워크 테이블을 향하는 면으로부터 상기 워크 테이블을 향해 돌출 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.6. The method of claim 5,
And the gap holding portion is formed to protrude from the surface of the stopper facing the work table toward the work table.
상기 워크 테이블의 하측에 구비되어 상기 프로브 유닛 상의 파티클이 제거되도록 기체를 분사하는 에어 블로워를 더 포함하는 오토 프로브 검사 장치.The method according to claim 1,
And an air blower provided below the work table for spraying gas to remove particles on the probe unit.
상기 누름 지그부는 복수 개의 지그 블록으로 분할 형성된 것인 오토 프로브 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the pressing jig is divided into a plurality of jig blocks.
상기 지그 블록은, 상기 후면 테두리부에 접촉되는 누름부 및 상기 누름부로부터 상측 방향으로 연장되고 상기 바디 장착부에 장착되는 지지부를 포함하는 것인 오토 프로브 검사 장치.9. The method of claim 8,
Wherein the jig block includes a pressing portion contacting the rear edge portion and a supporting portion extending upward from the pressing portion and mounted on the body mounting portion.
상기 누름 지그부는, 상기 지그 블록의 수평을 조절하는 수평 조절 유닛을 더 포함하는 것인 오토 프로브 검사 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the pressing jig further comprises a horizontal adjusting unit for adjusting the horizontal position of the jig block.
상기 바디 장착부는 복수 개의 장착 블록으로 분할 형성된 것인 오토 프로브 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the body mounting portion is divided into a plurality of mounting blocks.
상기 바디부는 2개 이상 구비되고,
상기 누름 지그부는 상기 2개 이상의 바디부 각각에 대하여 구비되되,
상기 2 개 이상의 바디부 각각은 상기 워크 테이블의 둘레를 따라 구비되는 것인 오토 프로브 검사 장치.The method according to claim 1,
At least two body portions are provided,
Wherein the pressing jig is provided for each of the at least two body portions,
Wherein each of the at least two body portions is provided along a circumference of the work table.
상기 바디부는 4 개로 구비되되,
상기 4개의 바디부는 상기 워크 테이블의 일측면에 구비되는 제1 바디부, 상기 제1 바디부와 이웃하며 구비되는 제2 바디부, 상기 제2 바디부와 이웃하되 상기 제1 바디부와 서로 대향하며 구비되는 제3 바디부 및 상기 제3 바디부와 이웃하며 구비되되 상기 제2 바디부와 서로 대향하며 구비되는 제4 바디부이고,
상기 제1 및 제3 바디부 각각은 서로를 향하는 방향 또는 서로 이격되는 방향으로 이동되고,
상기 제2 및 제4 바디부 각각은 서로를 향하는 방향 또는 서로 이격되는 방향으로 이동되는 것인 오토 프로브 검사 장치.13. The method of claim 12,
The body portion is provided in four,
The four body portions may include a first body portion provided on one side of the work table, a second body portion adjacent to the first body portion, and a second body portion adjacent to the second body portion, And a fourth body part provided adjacent to the third body part and facing the second body part,
Wherein each of the first and third body portions is moved in a direction toward or away from each other,
And each of the second and fourth body portions is moved in a direction toward or away from each other.
(a) 상기 패널이 상기 워크 테이블에 로딩되는 단계;
(b) 상기 누름 지그부가 상기 후면 테두리부에 접촉되는 단계;
(c) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계;
(d) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부로부터 접촉 해제되는 단계; 및
(d) 상기 누름 지그부가 상기 후면 테두리부로부터 접촉 해제되는 단계를 포함하는 패널 검사 방법.A method of inspecting an organic electroluminescent display type panel using an auto-probe inspection apparatus according to claim 1,
(a) loading the panel onto the work table;
(b) contacting the pressing jig with the rear edge portion;
(c) performing the inspection by contacting the probe unit with the pad unit;
(d) disengaging the probe unit from the pad unit; And
(d) the pressing jig is released from the rear edge.
상기 오토 프로브 검사 장치는 스토퍼를 더 포함하고,
상기 (a) 단계와 상기 (b) 단계 사이에,
상기 스토퍼가 상기 패널과 접촉되도록, 상기 워크 테이블에 대해 내측 방향으로 이동하는 단계를 더 포함하는 패널 검사 방법.15. The method of claim 14,
The automatic probe inspection apparatus may further include a stopper,
Between the step (a) and the step (b)
Further comprising the step of moving the stopper in an inward direction relative to the work table such that the stopper is in contact with the panel.
상기 스토퍼가 상기 패널에 대해 내측 방향으로 이동하는 단계와 상기 (b) 단계 사이에,
상기 스토퍼가 상기 패널과의 접촉이 해제되도록, 상기 워크 테이블에 대해 외측 방향으로 이동하는 단계를 더 포함하는 패널 검사 방법.16. The method of claim 15,
Between the step of moving the stopper inward relative to the panel and the step (b)
Further comprising the step of moving in an outward direction relative to the work table such that the stopper releases contact with the panel.
상기 (b) 단계와 상기 (c) 단계 사이에,
상기 스토퍼가 상기 패널과 접촉되도록, 상기 패널에 대해 내측 방향으로 이동하는 단계를 더 포함하는 패널 검사 방법.17. The method of claim 16,
Between the step (b) and the step (c)
Further comprising moving the stopper in an inward direction relative to the panel such that the stopper is in contact with the panel.
상기 오토 프로브 검사 장치는 에어 블로워를 더 포함하고,
상기 (c) 단계 이전에,
상기 에어 블로워가 상기 프로브 유닛 상의 파티클이 제거되도록, 기체를 분사하는 단계를 더 포함하는 패널 검사 방법.15. The method of claim 14,
The automatic probe inspection apparatus may further include an air blower,
Prior to step (c)
Further comprising injecting a gas such that the air blower removes particles on the probe unit.
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---|---|---|---|
KR1020150035077A KR101566919B1 (en) | 2015-03-13 | 2015-03-13 | Auto probe inspection apparatus and inspection method of organic light emmiting pannel using the same |
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KR101901394B1 (en) * | 2017-02-17 | 2018-11-07 | (주) 루켄테크놀러지스 | Auto probe inspection apparatus and inspection method of organic light emmiting pannel |
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- 2015-03-13 KR KR1020150035077A patent/KR101566919B1/en active IP Right Grant
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KR101901394B1 (en) * | 2017-02-17 | 2018-11-07 | (주) 루켄테크놀러지스 | Auto probe inspection apparatus and inspection method of organic light emmiting pannel |
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