KR101547921B1 - Auto probe inspection apparatus and inspection method of organic light emmiting pannel using the same - Google Patents

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KR101547921B1 KR1020130044145A KR20130044145A KR101547921B1 KR 101547921 B1 KR101547921 B1 KR 101547921B1 KR 1020130044145 A KR1020130044145 A KR 1020130044145A KR 20130044145 A KR20130044145 A KR 20130044145A KR 101547921 B1 KR101547921 B1 KR 101547921B1
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Abstract

오토 프로브 검사 장치가 개시되며, 상기 오토 프로브 검사 장치는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널이 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지; 상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛; 상기 프로브 유닛이 상기 패드부과와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지; 상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름지그; 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및 상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함한다.An automatic probe inspection apparatus includes a work stage on which a work table on which a panel of an organic electroluminescence display type is seated with its back surface facing upward is mounted; A plurality of probe units contacting the pads formed on the front surface of the panel housed in the work table to perform inspection of the panel; A probe stage for moving the probe unit in the Z axis direction so that the probe unit can be brought into contact with or released from the pad unit; A pushing jig contacting the upper edge of the panel corresponding to the portion where the probe unit and the pad contact with each other and restricting upward movement of the panel; A jig stage that moves the pushing jig in the Z-axis direction so that the pushing jig can be brought into or out of contact with the upper surface frame; And a base portion for mounting the workpiece stage, the probe stage, and the jig stage.

Description

오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법{AUTO PROBE INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD OF ORGANIC LIGHT EMMITING PANNEL USING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an auto-probe inspection apparatus and an inspection method of an organic light emitting display panel using the same. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002]
본원은 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an auto-probe inspection apparatus and an inspection method of an organic light emitting display panel using the same.
일반적으로 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic light emitting panel)은 유기 전계 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED)를 사용한 표시 장치로서, 유기 전계 발광 소자의 RGB화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 디스플레이 영상을 출력한다. 그런데, 유기 전계 발광 소자는 배면 발광하는바, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널은 배면이 상측을 향하고 패드부는 하측을 향하도록 뒤집어진 상태에서 점등 검사가 수행된다. 2. Description of the Related Art In general, an organic light emitting panel is a display device using organic light emitting diodes (OLED), in which RGB pixels of an organic electroluminescent device are arranged in a matrix form, Output. Meanwhile, the organic electroluminescent device emits light on the backside, and the organic electroluminescence display type panel is turned on with the backside facing upward and the pad portion facing downward.
이러한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사를 위해, 대한민국 공개특허공보 2013-0020475호에는 워크 테이블에 수납된 패널의 하측에 위치하는 프로브 블록이 상측 방향으로 구동하여 패널의 패드부에 접촉하는 오토 프로브 검사 장치가 개시되었다.For inspection of such an organic electroluminescent display type panel, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2013-0020475 discloses an inspection method of an auto-probe in which a probe block located on the lower side of a panel housed in a work table is driven upward to contact a pad portion of a panel The device has been started.
그러나 개시된 오토 프로브 검사 장치를 이용하여 패널 검사를 수행할 경우, 프로브 유닛과 패드부의 접촉 시에, 패널이 상측 방향으로 들뜨거나, 수납된 위치에서 벗어남으로써, 검사가 제대로 이루어지지 않거나, 검사 속도가 느려지는 문제점이 있었다.However, when performing the panel inspection using the disclosed auto-probe inspection apparatus, when the probe unit and the pad portion are brought into contact with each other, the panel is lifted upward or out of the accommodated position, There was a problem that it was slow.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사가 안정적으로 이루어지게 하는 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide an apparatus for inspecting an organic electro-luminescent display panel and a panel inspection method using the same, do.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널이 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지; 상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛; 상기 프로브 유닛이 상기 패드부와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지; 상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름지그; 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및 상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함할 수 있다.As a technical means for accomplishing the above technical object, an automatic probe inspection apparatus according to the first aspect of the present invention comprises: a work stage on which a work table on which an organic electroluminescence display type panel is seated so that its back surface faces upward; A plurality of probe units contacting the pads formed on the front surface of the panel housed in the work table to perform inspection of the panel; A probe stage for moving the probe unit in the Z-axis direction so that the probe unit can be brought into contact with or disengaged from the pad unit; A pushing jig contacting the upper edge of the panel corresponding to the portion where the probe unit and the pad contact with each other and restricting upward movement of the panel; A jig stage that moves the pushing jig in the Z-axis direction so that the pushing jig can be brought into or out of contact with the upper surface frame; And a base portion for mounting the workpiece stage, the probe stage, and the jig stage.
한편, 본원의 제2 측면에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은, (a) 상기 패널이 상기 워크 테이블에 로딩되는 단계; (b) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉되는 단계; (c) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계; (d) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부로부터 접촉 해제되는 단계; (e) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부로부터 접촉 해제되는 단계; 및 (f) 상기 패널이 상기 워크 테이블로부터 언로딩되는 단계를 포함할 수 있다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a panel of an organic electroluminescence display type, comprising the steps of: (a) loading the panel onto the work table; (b) contacting the pressing jig to the upper surface of the upper surface; (c) performing the inspection by contacting the probe unit with the pad unit; (d) disengaging the probe unit from the pad unit; (e) releasing the contact jig from the upper surface of the upper surface; And (f) unloading the panel from the work table.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 프로브 유닛과 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되는 누름지그를 통해 프로브 유닛과 패드부의 접촉 시에 발생하는 패널의 상향 이동을 제한할 수 있어 안정적인 패널 검사가 실현될 수 있으며, 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지가 베이스부에 실장되는 바 패널 검사에 있어 안정성이 극대화될 수 있다.According to the present invention, the upward movement of the panel, which occurs when the probe unit and the pad unit are brought into contact with each other, is restricted through the pressing jig that is in contact with the upper surface of the panel, A stable panel inspection can be realized and the stability of the bar panel inspection in which the workpiece stage, the probe stage, and the jig stage are mounted on the base can be maximized.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 5는 프로브 유닛, 누름지그, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지의 배치를 설명하기 위해 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 일부 구성을 생략 도시한 도면이다.
도 6 내지 도 8은 프로브 유닛 및 누름지그의 Z축 방향으로의 이동을 설명하기 위한 개념도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
1 is a perspective view of an automatic probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2 to 5 are views showing the arrangement of the probe unit, the pushing jig, the probe stage, and the jig stage, and a part of the configuration of the auto-probe inspection apparatus according to the embodiment of the present invention is omitted.
6 to 8 are conceptual diagrams for explaining the movement of the probe unit and the pressing jig in the Z-axis direction.
FIG. 9 is a flowchart illustrating a panel inspection method of an organic light emitting display type according to an embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. It should be understood, however, that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In the drawings, the same reference numbers are used throughout the specification to refer to the same or like parts.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it is not limited to a case where it is "directly connected" but also includes the case where it is "electrically connected" do.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout this specification, when a member is " on " another member, it includes not only when the member is in contact with the other member, but also when there is another member between the two members.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.Throughout this specification, when an element is referred to as "including " an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise. The terms "about "," substantially ", etc. used to the extent that they are used throughout the specification are intended to be taken to mean the approximation of the manufacturing and material tolerances inherent in the stated sense, Accurate or absolute numbers are used to help prevent unauthorized exploitation by unauthorized intruders of the referenced disclosure. The word " step (or step) "or" step "used to the extent that it is used throughout the specification does not mean" step for.
본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.Throughout this specification, the term " combination thereof " included in the expression of the machine form means one or more combinations or combinations selected from the group consisting of the constituents described in the expression of the machine form, And the like.
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상면, 하측, 하면, X축, Y축, Z축 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예시적으로, 도 7을 보았을 때, 12시 방향이 상측, 12시 방향을 향한 면 또는 단부가 상면, 6시 방향이 하측, 6시 방향을 향한 면 또는 단부가 하면이 될 수 있으며, 도 1을 보았을 때, X축 방향은 5시-11시 방향, Y축 방향은 2시-8시 방향, Z축 방향은 12시-6시 방향 등이 될 수 있다. 참고로, Z축 방향은 도 7을 보았을 때, 상측 및 하측 방향(높이 방향)이 될 수 있다.For reference, the terms related to directions and positions (upper side, upper side, lower side, lower side, X axis, Y axis, Z axis, etc.) among the descriptions of the embodiments of the present invention are set based on the arrangement states of the respective structures shown in the drawings It is. 7, the 12 o'clock direction may be the upper surface, the 12 o'clock direction surface or the end surface of the upper surface, the 6 o'clock direction of the lower surface, the 6 o'clock direction surface or the end surface may be the lower surface, , The X-axis direction may be 5:00 to 11:00, the Y-axis direction may be 2:00 to 8:00, and the Z-axis direction may be 12:00 to 6:00. For reference, the Z-axis direction can be upward and downward (height direction) as viewed in FIG.
다만, 본원의 실시예의 다양한 실제적인 적용에 있어서는, 상면이 수평 방향을 바라보거나, 또는 수평 방향보다 약간 위를 바라보도록 비스듬하게 배치되는 등 다양한 방향으로 배치될 수 있을 것이다. 이러한 본원 장치의 배치 높이나 각도는 검사자가 점등 상태 등을 수동 검사할 때의 편의성을 고려하여 설정함이 바람직하다.However, in various practical applications of the embodiments of the present application, it may be arranged in various directions such that the upper surface is obliquely arranged to look horizontally or slightly above the horizontal direction. It is preferable that the arrangement height or angle of the present apparatus is set in consideration of the convenience when the inspector manually inspects the lighting state or the like.
본원은 오토 프로브 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an auto-probe inspection apparatus.
우선, 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치(이하 '본 오토 프로브 검사 장치'라 함)에 대해 설명한다.First, an autoprobe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention (hereinafter referred to as " the present autoprobe inspection apparatus ") will be described.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 사시도이고, 도 2 내지 도 5는 프로브 유닛, 누름지그, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지의 배치를 설명하기 위해 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 일부 구성을 생략 도시한 도면이며, 도 6 내지 도 8은 프로브 유닛 및 누름지그의 Z축 방향으로의 이동을 설명하기 위한 개념도이다.FIG. 1 is a perspective view of an auto-probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. FIGS. 2 to 5 illustrate an arrangement of a probe unit, a pushing jig, a probe stage, and a jig stage, FIGS. 6 to 8 are conceptual diagrams for explaining the movement of the probe unit and the pressing jig in the Z-axis direction. FIG.
도 2에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 워크 스테이지(1)를 포함한다.As shown in Fig. 2, the present autocube inspection apparatus includes a workpiece stage 1. In Fig.
워크 스테이지(1)에는 워크 테이블(11)이 장착된다.A work table 11 is mounted on the workpiece stage 1.
도 5, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 워크 테이블(11)에는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic electroluminescence panel)(9)이 배면이 상측을 향하도록 안착된다.Referring to FIGS. 5 and 6 to 8, a panel (organic electroluminescence panel) 9 of the organic electroluminescence display type is seated on the work table 11 with the back side facing upward.
패널(9)은 발광 방향이 상측을 향하도록 워크 테이블(11)에 장착될 수 있다. 일반적으로, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(9)은 유기 전계 발광 소자가 배면 발광하므로 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(11)에 안착될 수 있다. 워크 테이블(11)에 안착되는 패널(9)이 전면 발광할 경우, 패널(9)은 전면이 상측을 향하도록 안착될 수 있다.The panel 9 can be mounted on the work table 11 such that the light emission direction is directed upward. In general, the panel 9 of the organic electroluminescent display type can be seated on the work table 11 with the backside facing upward since the organic electroluminescent device emits backlight. When the panel 9 seated on the work table 11 emits light, the panel 9 can be seated with its front surface facing upward.
또한, 도 1을 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수의 프로브 유닛(2)을 포함한다.1, this automatic probe inspection apparatus includes a plurality of probe units 2.
도면에 명확하게 도시되지는 않았으나, 프로브 유닛(2)은 복수의 프로브 니들을 포함할 수 있다. 프로브 유닛(2)은 프로브 니들을 통해 패널(9)의 패드부(91)에 전기적 신호를 인가함으로써 검사를 수행할 수 있다. 검사는 예시적으로, 패널의 신호 라인(데이터 라인, 게이트 라인)의 단선 검사, 점등 검사 등일 수 있다. 프로브 유닛(2)에 관한 구성 및 기능은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Although not explicitly shown in the drawings, the probe unit 2 may include a plurality of probe needles. The probe unit 2 can perform inspection by applying an electrical signal to the pad portion 91 of the panel 9 through the probe needle. The inspection may be, for example, a disconnection inspection of the signal lines (data lines, gate lines) of the panel, a lighting inspection, and the like. The configuration and function of the probe unit 2 will be apparent to those skilled in the art, and a detailed description thereof will be omitted.
도 8을 참조하면, 프로브 유닛(2)은 워크 테이블(11)에 수납된 패널(9) 전면에 형성된 패드부(91)에 접촉되어 패널(9)에 대한 검사를 수행한다.8, the probe unit 2 contacts the pad 91 formed on the front surface of the panel 9 housed in the work table 11, and performs inspection of the panel 9. As shown in FIG.
전술한 바와 같이, 패널(9)이 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(11)에 안착된 바, 도 7 및 도 8에 나타난 바와 같이, 패널(9)의 전면에 형성된 패드부(91)는 하측을 향하게 된다. 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)은 하측을 향하는 패드부(91)에 접촉될 수 있도록, 워크 테이블(11)에 안착된 패널(9)의 패드부(91)보다 하측에 위치할 수 있다.As described above, the panel 9 is placed on the work table 11 with the backside thereof facing upward. As shown in Figs. 7 and 8, the pad portion 91 formed on the front surface of the panel 9 It faces downward. 4 to 8, the probe unit 2 is arranged below the pad portion 91 of the panel 9 which is seated on the work table 11 so as to be able to contact the pad portion 91 directed to the lower side Lt; / RTI >
그리고, 프로브 유닛(2)은 패널(9)에 대한 검사가 수행될 때, 도 7 및 도 8을 함께 참조하면, Z축(높이) 방향으로 승강 이동됨으로써 패드부(91)에 접촉되어 검사를 수행할 수 있다. 검사가 수행된 후에는 패드부(91)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다.7 and 8 together, when the inspection of the panel 9 is performed, the probe unit 2 is moved up and down in the Z-axis (height) direction to contact the pad portion 91, Can be performed. And can be moved downward in the Z-axis direction so as to be released from the pad portion 91 after the inspection is performed.
도 1 및 도 4를 함께 참조하면, 복수 개의 프로브 유닛(2)과 패드부(91)의 접촉은 패널(9)의 테두리(모서리측)를 따라 이루어진다.Referring to FIG. 1 and FIG. 4 together, contact between the plurality of probe units 2 and the pad portion 91 is made along the edge (edge side) of the panel 9.
또한, 본 오토 프로브 검사 장치는 프로브 스테이지(3)를 포함한다. 참고로, 도 1에는 4개의 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 도시되어 있다.Further, the present autocube inspection apparatus includes a probe stage 3. For reference, four probe stages 3a, 3b, 3c and 3d are shown in Fig.
프로브 스테이지(3)는 프로브 유닛(2)이 패드부(91)와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 프로브 유닛(2)을 Z축 방향으로 이동시킨다.The probe stage 3 moves the probe unit 2 in the Z-axis direction so that the probe unit 2 can be brought into contact with or released from the pad portion 91. [
도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 프로브 스테이지(3)는 프로브 유닛 장착부(32)를 포함한다. 도 4를 참조하여 설명하면, 프로브 유닛(2)은 프로브 유닛 장착부(32)에 폭 방향(패널(9)의 모서리와 대략 평행한 방향)을 따라 정렬되어 장착될 수 있다. 도 1에 도시된 제4 프로브 스테이지(3d)를 참조하여 설명하면, 프로브 유닛(2)은 제4 프로브 스테이지(3d)의 폭 방향(X축 방향)을 따라 장착될 수 있다.As shown in Figs. 4 and 5, the probe stage 3 includes a probe unit mounting portion 32. Fig. 4, the probe unit 2 can be mounted on the probe unit mounting portion 32 along the width direction (direction substantially parallel to the edge of the panel 9). Referring to the fourth probe stage 3d shown in FIG. 1, the probe unit 2 can be mounted along the width direction (X-axis direction) of the fourth probe stage 3d.
또한, 도 5를 참조하면, 프로브 스테이지(3)는 연직구동부(31)를 포함할 수 있다. 도 7에 나타난 바와 같이, 연직구동부(31)는 가이드 레일(311) 및 가이드 레일(311)을 따라 이동하는 가이드 유닛(312)을 포함할 수 있다.5, the probe stage 3 may include a vertical driving unit 31. [ 7, the vertical driving unit 31 may include a guide unit 312 moving along the guide rail 311 and the guide rail 311. [
도 7에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛 장착부(32)는 가이드유닛(312)과 연결되고, 가이드 유닛(312)이 가이드 레일(311)을 따라 이동함으로써 프로브 유닛 장착부(32)는 Z축 방향으로 이동될 수 있다.7, the probe unit mounting portion 32 is connected to the guide unit 312, and the probe unit mounting portion 32 moves in the Z-axis direction as the guide unit 312 moves along the guide rails 311 .
즉, 가이드 유닛(312)이 Z축 방향으로 승강 이동하면, 프로브 유닛(2)은 Z축 방향으로 승강 이동되어 패드부(91)에 접촉될 수 있고, 가이드 유닛(312)이 Z축 방향으로 하강 이동하면, 프로브 유닛(2)은 Z축 방향으로 하강 이동되어 패드부(91)로부터 접촉 해제될 수 있다.That is, when the guide unit 312 is moved up and down in the Z-axis direction, the probe unit 2 can be moved up and down in the Z-axis direction to be brought into contact with the pad unit 91, When the probe unit 2 moves downward, the probe unit 2 can be moved downward in the Z-axis direction to be released from the pad portion 91.
한편, 도면에는 명확하게 도시되지 않지만, 가이드 유닛(312)은 모터 등에 의해 가이드 레일(311)을 따라 이동될 수 있다.On the other hand, although not clearly shown in the drawing, the guide unit 312 can be moved along the guide rail 311 by a motor or the like.
또한, 본 오토 프로브 검사 장치는 누름지그(4)를 포함한다. 도 1에는 4개의 누름지그(4a, 4b, 4c, 4d)가 도시되어 있다.The automatic probe inspection apparatus includes a pressing jig (4). In Fig. 1, four pressing jigs 4a, 4b, 4c and 4d are shown.
도 7 및 도 8을 참조하면, 누름지그(4)는 프로브 유닛(2)과 패드부(91)가 접촉되는 부분에 대응하는 패널(9)의 상면 테두리부(92)에 접촉되어 패널(9)의 상향 이동을 제한한다.7 and 8, the pressing jig 4 is brought into contact with the top edge portion 92 of the panel 9 corresponding to the portion where the probe unit 2 and the pad portion 91 are in contact with each other, ).
상면 테두리부(92)라 함은, 패널(9)에서 패드부(91)가 형성된 하면 부분의 반대면(상면) 부분을 의미할 수 있다. The upper surface frame portion 92 may refer to the opposite surface (upper surface) portion of the lower surface portion of the panel 9 where the pad portion 91 is formed.
프로브 유닛(2)이 상측 방향으로 이동되어 패드부(91)에 접촉하게 되면, 패널(9)에는 상측 방향으로 소정의 외력이 작용하게 된다. 외력에 의해 패널(9)은 상향으로 이동될 수 있는데, 예시적으로, 상향으로 들뜨게 될 수 있다. 도 7에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)는 프로브 유닛(2)과 패드부(91)가 접촉되기 전에 패널(9)의 상면 테두리부(92)에 접촉되어 있음으로써 이러한 상향 이동을 제한할 수 있다.When the probe unit 2 is moved upward and comes into contact with the pad 91, a predetermined external force acts on the panel 9 in the upward direction. The panel 9 can be moved upward by external forces, illustratively, lifted upwards. 7, the pressing jig 4 is in contact with the upper surface edge portion 92 of the panel 9 before the probe unit 2 and the pad portion 91 are brought into contact with each other, .
도 5에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)는 패널(9)의 상면 테두리부(92)에 접촉되는 누름부(41) 및 누름부(41)로부터 하측 방향으로 절곡 연장되고, 후술할 지그 스테이지(5)에 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 지지부(42)를 포함할 수 있다.5, the pressing jig 4 is bent in the downward direction from the pressing portion 41 and the pressing portion 41 which are in contact with the upper surface frame portion 92 of the panel 9, And a support portion 42 which is mounted movably in the Z-axis direction on the base 5.
도 1, 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)는 누름부(41)가 패널(9)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 그리고 누름지그(4)는 도 6 및 도 7을 함께 살펴 보면, 누름부(41)가 상면 테두리부(92)에 접촉되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다. 또한, 누름지그(4)는 누름부(41)가 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 승강 이동함으로써 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제될 수 있다.As shown in Figs. 1 and 4 to 8, the pressing jig 4 can be arranged such that the pressing portion 41 is located on the upper side of the panel 9. Fig. 6 and 7, the pushing jig 4 can be moved downward in the Z-axis direction so that the pushing portion 41 is brought into contact with the upper surface frame portion 92. [ The pushing jig 4 can be released from the upper edge portion 92 by moving up and down in the Z-axis direction so that the pushing portion 41 is released from the upper edge portion 92.
도 5 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 지지부(42)의 절곡된 부분의 내측에는, 누름부(42)에 상하 방향에 대한 완충이 이루어지도록, 지지부(42)의 폭 방향을 따라 절개된 홈부(421)가 형성될 수 있다.5 to 8, grooves (not shown) cut along the width direction of the support portion 42 are formed in the bent portion of the support portion 42 so that the press portion 42 is buffered in the vertical direction 421 may be formed.
상하 방향에 대한 완충이라 함은, 프로브 유닛(2)이 패드부(91)에 접촉하였을 때 작용하는 외력으로 인하여 누름지그(4)에 상향으로 작용하는 충격을 완화시키는 것을 의미할 수 있다. 이에 따라, 누름지그(4)는 외력으로 인한 손상이 최소화될 수 있어 수명이 연장될 수 있다. The buffering in the vertical direction may mean that the impact acting upward on the pushing jig 4 due to the external force acting when the probe unit 2 contacts the pad portion 91 may be mitigated. As a result, the pressing jig 4 can be minimized in damage due to external force, so that the life of the pressing jig 4 can be prolonged.
또한, 여기에서 폭 방향이라 함은, 도 4를 참조하면, 패널(9)의 상면 테두리부(92)가 형성된 방향(패널(9)의 모서리가 형성된 방향)과 대략 평행한 방향을 의미할 수 있다. 즉, 홈부(421)는 누름지그(4)와 상면 테두리부(92)의 접촉 시 접촉된 부분 전체에 대하여 완충이 이루어지도록 형성될 수 있다. 4, the width direction can refer to a direction substantially parallel to the direction in which the top edge portion 92 of the panel 9 is formed (the direction in which the edge of the panel 9 is formed) have. That is, the groove portion 421 may be formed so as to buffer the entire contact portion of the pressing jig 4 and the upper surface frame portion 92 when they are in contact with each other.
또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 지그 스테이지(5)를 포함한다.4 and 5, the apparatus for testing an autoclave includes a jig stage 5. [
지그 스테이지(5)는 누름지그(4)가 상면 테두리부(92)에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 누름지그(4)를 Z축 방향으로 이동시킨다.The jig stage 5 moves the pressing jig 4 in the Z-axis direction so that the pressing jig 4 can be brought into contact with or released from the upper surface frame portion 92.
도 5에 나타난 바와 같이, 지그 스테이지(5)는 연직구동부(51)를 포함할 수 있다. 연직구동부(51)는 가이드 레일(511) 및 가이드 레일을 따라 이동하는 가이드 유닛(512)를 포함할 수 있다. 가이드 유닛(512)이 Z축 방향으로 이동함으로써 누름지그(4)를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 가이드 유닛(512)이 Z축 방향으로 하강 이동하면, 누름지그(4)는 Z축 방향으로 하강 이동되어 상면 테두리부(92)에 접촉될 수 있고, 가이드 유닛(512)이 Z축 방향으로 승강 이동하면, 누름지그(4)는 Z축 방향으로 승강 이동되어 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제될 수 있다. As shown in Fig. 5, the jig stage 5 may include a vertical drive portion 51. Fig. The vertical driving part 51 may include a guide rail 511 and a guide unit 512 moving along the guide rail. The pushing jig 4 can be moved in the Z-axis direction by moving the guide unit 512 in the Z-axis direction. When the guide unit 512 moves downward in the Z-axis direction, the pushing jig 4 can be moved downward in the Z-axis direction to be brought into contact with the upper face edge portion 92 and the guide unit 512 can be moved up and down in the Z- The pushing jig 4 can be moved up and down in the Z-axis direction to be released from the top edge 92 of the top surface.
한편, 도면에는 명확하게 도시되지 않지만, 가이드 유닛(512)은 모터 등에 의해 가이드 레일(511)을 따라 이동될 수 있다.On the other hand, although not clearly shown in the drawing, the guide unit 512 can be moved along the guide rail 511 by a motor or the like.
또한, 도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 프로브 스테이지(3)는 패널(9)에 대하여 지그 스테이지(5)보다 외측에 배치될 수 있다. 그리고, 도 2 내지 도 8을 참조하면, 지지부(42)에는 패드부(91)에 접촉되는 복수의 프로브 유닛(2) 각각의 선단부가 내측 방향으로 삽입 돌출되도록 개구된 윈도우(422)가 형성될 수 있다.4 and 5, the probe stage 3 may be disposed outside the jig stage 5 with respect to the panel 9. In this case, 2 to 8, a window 422 is formed in the support portion 42, in which the distal end of each of the plurality of probe units 2 contacting the pad portion 91 is opened to be inserted and projected inwardly .
여기에서, 외측이라 함은 패널(9)로부터 멀어지는 방향을 향하는 쪽을 의미할 수 있다. 또한, 내측이라 함은 패널(9)에 가까워지는 방향을 향하는 쪽을 의미할 수 있다. 이러한 내외측은 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)가 패널(9)에 대한 위치 방향에 따라 달라질 수 있다. 예시적으로, 도 1을 참조하여 설명하면, 제1 프로브 스테이지(3a)에 있어서, 내측은 11시 방향, 외측은 5시 방향이 될 수 있다. 또 다른 예로 제2 프로브 스테이지(3b)에 있어서, 내측은 8시 방향, 외측은 2시 방향이 될 수 있다.Here, the term " outer side " may refer to a direction away from the panel 9. [ Further, the inside can refer to a direction toward a direction approaching the panel 9. [ These inner and outer sides may vary depending on the positional relationship of the probe stage 3 and the jig stage 5 with respect to the panel 9. [ Illustratively, referring to FIG. 1, in the first probe stage 3a, the inner side may be at 11 o'clock, and the outer side may be at 5 o'clock. As another example, in the second probe stage 3b, the inner side may be the 8 o'clock direction and the outer side may be the 2 o'clock direction.
도 2 에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)이 장착된 프로브 스테이지(3a, 3b)가 누름지그(4a, 4b) 및 지그 스테이지(5a, 5b)보다 패널에 대하여 외측에 배치되어 있지만, 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)은 패드부(91)에 접촉 가능하도록 윈도우(422)를 통해 내측 방향으로 돌출되어 배치될 수 있다. 또한, 프로브 유닛(2)은 윈도우(422) 내에서 Z축 방향으로 이동될 수 있다.The probe stages 3a and 3b on which the probe unit 2 is mounted are arranged on the outer side of the panel with respect to the pressing jigs 4a and 4b and the jig stages 5a and 5b as shown in Fig. 8, the probe unit 2 may protrude inwardly through the window 422 so as to be in contact with the pad portion 91. [ Further, the probe unit 2 can be moved in the Z-axis direction within the window 422. [
윈도우(422)는 복수의 프로브 유닛(2)의 Z축 방향 이동 범위 내에서 간섭 발생이 방지되는 높이를 가질 수 있다.The window 422 may have a height to prevent interference from occurring within the movement range of the plurality of probe units 2 in the Z-axis direction.
이것은, 윈도우(422)가, 전술한 누름지그(4)의 Z축 방향으로의 이동 및 프로브 유닛(2)의 Z축 방향으로의 이동이 서로에 대한 간섭 없이 수행되게 하는 높이를 갖는 다는 것을 의미한다.This means that the window 422 has a height such that the above-described movement of the pressing jig 4 in the Z-axis direction and the movement of the probe unit 2 in the Z-axis direction are performed without interference with each other do.
윈도우(422)는 복수의 프로브 유닛(2)에 대응하는 복수의 윈도우(422)로 형성될 수 있다.The window 422 may be formed of a plurality of windows 422 corresponding to the plurality of probe units 2.
도 3에는 윈도우(422) 하나에 하나의 프로브 유닛(2)이 삽입된 것과 윈도우(422) 하나에 두개의 프로브 유닛(2)이 삽입된 것이 도시되어 있다. 즉, 윈도우(422)는 프로브 유닛(2) 각각과 일대일 대응되게 형성될 수도 있겠지만, 경우에 따라서는 둘 이상의 프로브 유닛(2)이 군을 이루어 하나의 윈도우(422) 상에 배치될 수도 있다. 지지부(42)에 형성되는 윈도우(422)의 크기 및 개수, 윈도우(422) 사이마다 형성되는 기둥의 단면 크기 등에 따라 지지부(42)의 강성이 결정될 수 있기 때문에, 이러한 대응관계는 지지부(42)의 강성을 고려하여 적정히 설정됨이 바람직하다.3 shows that one probe unit 2 is inserted into one window 422 and two probe units 2 are inserted into one window 422. FIG. That is, the window 422 may be formed so as to correspond to each of the probe units 2, but in some cases, two or more probe units 2 may be arranged on one window 422 as a group. Since the rigidity of the support portion 42 can be determined according to the size and the number of the windows 422 formed in the support portions 42 and the size of the cross section of the columns formed between the windows 422, It is preferable to set it appropriately in consideration of the rigidity of the plate.
프로브 스테이지(3)는 패널(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.The probe stage 3 can be installed movably in the inward and outward directions with respect to the panel 9.
도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 프로브 스테이지(3)의 하측에는 레일(35)이 배치될 수 있다. 프로브 스테이지(3)는 배치된 레일(35)을 따라 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the rail 35 may be disposed below the probe stage 3. The probe stage 3 can move in the inward and outward directions along the arranged rails 35. Although this movement is not clearly shown in the drawing, it can be exemplarily performed by a motor or the like.
또한, 프로브 스테이지(3)의 내외측 방향으로의 이동에 의해, 프로브 유닛(2)도 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다.The probe unit 2 can also be moved in the inward and outward directions by the movement of the probe stage 3 in the inward and outward directions.
또한, 지그 스테이지(5)는 패널(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. Further, the jig stage 5 can be installed so as to be movable in the inward and outward directions with respect to the panel 9.
도 5에 나타난 바와 같이, 지그 스테이지(5)의 하측에는 레일(55)이 배치될 수 있다. 지그 스테이지(5)는 레일(5)을 따라 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.As shown in Fig. 5, a rail 55 may be disposed below the jig stage 5. [ The jig stage 5 can move in the inward and outward directions along the rail 5. [ Although this movement is not clearly shown in the drawing, it can be exemplarily performed by a motor or the like.
또한, 지그 스테이지(5)의 내외측 방향으로의 이동에 의해 누름지그(4)도 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다.The pushing jig 4 can also be moved inward and outward by the movement of the jig stage 5 in the inward and outward directions.
프로브 유닛(2) 및 누름지그(4)는 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되면, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)에 의해 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동됨으로써 도 6에 도시된 상태가 될 수 있다. 패널 검사가 수행된 후, 프로브 유닛(2)이 Z축 방향으로 하강 이동되어 패드부(91)로부터 접촉 해제되고, 누름지그(4)가 Z 축 방향으로 승강 이동되어 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되면, 프로브 유닛(2) 및 누름지그(4)는 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)에 의해 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다. The probe unit 2 and the pressing jig 4 are moved in the inward direction that is closer to the panel 9 by the probe stage 3 and the jig stage 5 when the panel 9 is placed on the work table 11 The state shown in Fig. 6 can be obtained. After the panel inspection is performed, the probe unit 2 is moved downward in the Z-axis direction to be released from the pad 91, and the pressing jig 4 is moved up and down in the Z-axis direction, The probe unit 2 and the pressing jig 4 can be moved in the outward direction away from the panel 9 by the probe stage 3 and the jig stage 5. [
또한, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)의 내외측 방향으로의 이동을 통해 패널 검사 시에, 패널(9)의 규격이 달라져도 용이하게 대처할 수 있다. 예시적으로, 패널(9)의 규격이 증가한 경우, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)는 패널(9)의 규격이 증가하기 전보다 내측으로 덜 이동할 수 있으며, 패널(9)의 규격이 감소한 경우, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)는 패널(9)의 규격이 감소하기 전보다 내측으로 더 이동할 수 있다. Further, even when the specifications of the panel 9 are changed at the time of inspection of the panel through the movement of the probe stage 3 and the jig stage 5 in the inward and outward directions, it is possible to easily cope with it. Illustratively, when the size of the panel 9 is increased, the probe stage 3 and the jig stage 5 can move less inwardly than before the size of the panel 9 increases, The probe stage 3 and the jig stage 5 can move further inward than before the size of the panel 9 is reduced.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 워크 스테이지(1), 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)를 실장하는 베이스부(6)를 포함한다.1, the autoclave inspection apparatus includes a base portion 6 for mounting a workpiece stage 1, a probe stage 3, and a jig stage 5. As shown in FIG.
워크 스테이지(1), 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)가 모두 베이스부(6)에 실장되어 있는 바, 패널 검사에 있어 안정성이 극대화될 수 있다.The work stage 1, the probe stage 3 and the jig stage 5 are both mounted on the base portion 6, so that the stability of the panel inspection can be maximized.
베이스부(6)는 Z축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 이에 따라, 베이스부(6)는 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되기 전에, 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착될 수 있도록 높이가 조절될 수 있다.The base portion 6 can be movable in the Z-axis direction. The height of the base portion 6 can be adjusted so that the panel 9 can be seated on the work table 11 before the panel 9 is seated on the work table 11. [
한편, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수 개의 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)를 포함할 수 있다. 복수 개의 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)는 제1 프로브 스테이지(3a), 제2 프로브 스테이지(3b), 제3 프로브 스테이지(3c) 및 제4 프로브 스테이지(3d)일 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 1, the present autoclave inspection apparatus may include a plurality of probe stages 3a, 3b, 3c and 3d. The plurality of probe stages 3a, 3b, 3c and 3d may be a first probe stage 3a, a second probe stage 3b, a third probe stage 3c and a fourth probe stage 3d.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수 개의 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)를 포함할 수 있다. 복수 개의 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)는 제1 지그 스테이지(5a)(제1 누름지그(4a)의 하측에 위치), 제2 지그 스테이지(5b)(제2 누름지그(4b)의 하측에 위치), 제3 지그 스테이지(5c)(제3 누름지그(3b)의 하측에 위치) 및 제4 지그 스테이지(5d)(제4 누름지그(4d)의 하측에 위치)일 수 있다. Further, as shown in Fig. 1, the present autoclave inspection apparatus may include a plurality of jig stages 5a, 5b, 5c and 5d. The plurality of jig stages 5a, 5b, 5c and 5d are arranged in the first jig stage 5a (located below the first pressing jig 4a), the second jig stage 5b (the second pressing jig 4b, The third jig stage 5c (located on the lower side of the third pressing jig 3b) and the fourth jig stage 5d (located on the lower side of the fourth pressing jig 4d) .
제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d) 및 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)는 도 1에 나타난 바와 같이, 워크 스테이지(1)의 네 측면에 각각 대응하여 배치될 수 있다.The first to fourth probe stages 3a to 3d and the first to fourth jig stages 5a to 5d are formed on four sides of the workpiece stage 1, Respectively.
이때, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 프로브 스테이지(3a)와 제3 프로브 스테이지(3c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.At this time, as shown in FIG. 1, the first probe stage 3a and the third probe stage 3c may be arranged to face each other with respect to the X-axis direction.
도 1에 나타난 바와 같이, 제2 프로브 스테이지(3b)와 제4 프로브 스테이지(3d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.As shown in FIG. 1, the second probe stage 3b and the fourth probe stage 3d may be disposed to face each other with respect to the Y-axis direction.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 지그 스테이지(5a)와 제3 지그 스테이지(5c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.Further, as shown in Fig. 1, the first jig stage 5a and the third jig stage 5c may be arranged to face each other with respect to the X-axis direction.
도 1에 나타난 바와 같이, 제2 지그 스테이지(5b)와 제4 지그 스테이지(5d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.As shown in Fig. 1, the second jig stage 5b and the fourth jig stage 5d may be arranged to face each other with respect to the Y-axis direction.
즉, 예시적으로, 도 1에서 패널(9)을 기준으로, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제1 프로브 스테이지(3a)는 5시 방향에, 제2 지그 스테이지(5b) 및 제2 프로브 스테이지(3b)는 2시 방향에, 제3 지그 스테이지(5c) 및 제3 프로브 스테이지(3c)는 11시 방향에, 제4 지그 스테이지(5d) 및 제4 프로브 스테이지(3d)는 8시 방향에 배치될 수 있다. 이때, 전술한 바와 같이, 각 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)는 패널(9)에 대하여 각 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)보다 외측에 배치(도 1 참조)될 수 있다.That is, by way of example, the first jig stage 5a and the first probe stage 3a are disposed at the 5 o'clock position, the second jig stage 5b and the second probe stage 5b, The third jig stage 5c and the third probe stage 3c are at 11 o'clock position while the fourth jig stage 5d and the fourth probe stage 3d are at the 8 o'clock position . At this time, as described above, each of the probe stages 3a, 3b, 3c, and 3d may be disposed outside the jig stages 5a, 5b, 5c, and 5d with respect to the panel 9 .
또한, 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d), 제2 지그 스테이지(5b) 및 제4 지그 스테이지(5d)는, 베이스부(6) 상에 장착될 수 있다.The first to fourth probe stages 3a, 3b, 3c, and 3d, the second jig stage 5b, and the fourth jig stage 5d may be mounted on the base portion 6.
이에 따라, 도 1을 참조하여 설명하면, 제1 및 제3 프로브 스테이지(3a, 3c)는 베이스부(6) 상에서 전술한 레일(35)을 통해 X축 방향(전술한 내외측 방향)을 따라 이동될 수 있다. 제2 및 제4 프로브 스테이지(3b, 3c)는 베이스부(6) 상에서 전술한 레일(35)을 따라 Y축 방향(전술한 내외측 방향)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 제2 및 제4 지그 스테이지(5b, 5d)는 베이스부(6) 상에서 전술한 레일(55)를 따라 Y축 방향(전술한 내외측 방향)을 따라 이동될 수 있다. 1, the first and third probe stages 3a and 3c are moved along the X-axis direction (in-and-out direction described above) via the rail 35 described above on the base portion 6 Can be moved. The second and fourth probe stages 3b and 3c can be moved along the rail 35 along the Y-axis direction (the above-described inward and outward directions) on the base portion 6 described above. Further, the second and fourth jig stages 5b and 5d can be moved along the rail 55 along the Y-axis direction (the aforementioned inward and outward directions) on the base portion 6 described above.
제2 및 제4 지그 스테이지(5b, 5d)의 레일(55)과 제2 및 제4 프로브 스테이지(3b, 3d)의 레일(35)은 도 3 내지 도 5에 나타난 바와 같이, 베이스부(6) 상, 즉, 같은 높이에 위치할 수 있다.The rails 55 of the second and fourth jig stages 5b and 5d and the rails 35 of the second and fourth probe stages 3b and 3d are fixed to the base portion 6 ), That is, at the same height.
한편, 도 2를 참조하면, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제3 지그 스테이지(5c)는 워크 스테이지(1) 상에 장착될 수 있다.On the other hand, referring to Fig. 2, the first jig stage 5a and the third jig stage 5c can be mounted on the workpiece stage 1.
도 2에 나타난 바와 같이, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제1 지그 스테이지(5a)의 하측에 배치되는 레일(55)은 워크 스테이지(1) 상에 장착될 수 있다. 이에 따라, 제1 지그 스테이지(5a)는 워크 스테이지(1) 상에서 레일(55)을 따라 X축 방향(내외측 방향)으로 이동할 수 있다. 도면에는 도시되지 않았지만, 제3 지그 스테이지(5c)도 워크 스테이지(1) 상에서 레일(55)을 따라 X축 방향(내외측 방향)으로 이동할 수 있다.The first jig stage 5a and the rails 55 disposed below the first jig stage 5a can be mounted on the workpiece stage 1 as shown in Fig. Accordingly, the first jig stage 5a can move along the rail 55 on the workpiece stage 1 in the X-axis direction (in and out direction). Although not shown in the drawings, the third jig stage 5c can also move along the rail 55 on the workpiece stage 1 in the X-axis direction (in and out direction).
제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)의 레일(55)(워크 스테이지(1) 상에 장착)과 제1 및 제3 프로브 스테이지(3a, 3c)의 레일(35)(베이스부(6) 상에 장착)은 다른 높이에 위치할 수 있다.The rails 55 of the first and third jig stages 5a and 5c (mounted on the workpiece stage 1) and the rails 35 of the first and third probe stages 3a and 3c ) May be located at different heights.
워크 스테이지(1)는 베이스부(6)에 대하여 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.The workpiece stage 1 may be adjustable in three axial directions with respect to the base portion 6.
워크 스테이지(1)가 조절되는 3축은 예시적으로, 도 1에 도시된, 베이스부(6)가 갖는 3축 즉, X축, Y축 및 Z축을 의미할 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며, 워크 스테이지(1)는 베이스부(6)가 갖는 3축과는 별개로 자체적인 3개의 축을 가질 수 있다.The three axes on which the workpiece stage 1 is adjusted can be exemplarily referred to as three axes, that is, the X axis, the Y axis, and the Z axis, of the base portion 6 shown in FIG. However, the present invention is not limited thereto, and the workpiece stage 1 may have three axes of its own independent of the three axes of the base portion 6.
워크 스테이지(1)가 3축 방향 조절이 가능함으로써, 워크 스테이지(1) 상에 장착된 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)도 워크 스테이지(1)와 연동되어 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.The first and third jig stages 5a and 5c mounted on the workpiece stage 1 are also interlocked with the workpiece stage 1 so that they can be adjusted in three axes .
이하에서는, 전술한 본 오토 프로브 검사 장치의 구성을 통한 본 오토 프로브 검사 장치의 구동에 대한 일 구현예를 설명하겠다.Hereinafter, an embodiment of driving the autoclave inspection apparatus according to the present invention will be described.
본 오토 프로브 검사 장치에 있어서, 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되기 전에 베이스부(6)는 Z축 방향으로 구동되어 패널(9)이 안착될 수 있는 높이로 설정될 수 있다.In this auto-probe inspection apparatus, the base portion 6 may be set to a height at which the base portion 6 is driven in the Z-axis direction so that the panel 9 can be seated before the panel 9 is seated on the work table 11.
워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되면, 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d) 및 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 레일(55, 35)을 통해 내측 방향으로 이동함으로써 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 도 6에 나타난 바와 같이, 패널(9)에 가까워질 수 있다. 그 후에, 도 7에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)가 Z축 방향으로 하강 이동되어 상면 테두리부(92)에 접촉될 수 있다. 그 후에, 도 8에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)이 Z축 방향으로 승강 이동되어 패드부(91)에 접촉해 검사를 수행하게 된다. 이에 따라, 프로브 유닛(2)과 패드부(91)의 접촉 시에도 패널(9)의 상향 이동이 제한될 수 있어 안정적인 패널 검사가 이루어질 수 있다.When the panel 9 is placed on the work table 11, the first to fourth jig stages 5a, 5b, 5c, 5d and the first to fourth probe stages 3a, 3b, 3c, 55 and 35, the pushing jig 4 and the probe unit 2 can be brought close to the panel 9, as shown in Fig. Thereafter, as shown in Fig. 7, the pushing jig 4 can be moved downward in the Z-axis direction to be brought into contact with the upper face edge portion 92. As shown in Fig. Thereafter, as shown in FIG. 8, the probe unit 2 is moved up and down in the Z-axis direction to contact the pad 91 to perform inspection. Accordingly, even when the probe unit 2 and the pad unit 91 are brought into contact with each other, upward movement of the panel 9 can be restricted, and stable panel inspection can be performed.
또한, 패널(9)이 안착되면, 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d) 및 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 내측 방향으로 이동하기 전에, 워크 스테이지(1) 및 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5b)는 얼라인될 수 있다. 여기에서 얼라인된다는 것은 안착된 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우, 패널(9)의 위치를 재조정하기 위해 패널(9)이 안착된 워크 테이블(11) 과 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)가 장착된 워크 스테이지(1)가 3축 구동을 하는 것을 의미할 수 있다. 패널(9)의 위치는 얼라인 카메라를 통해 파악되어 얼라인이 수행될 수 있다. When the panel 9 is seated, the first to fourth jig stages 5a, 5b, 5c and 5d and the first to fourth probe stages 3a, 3b, 3c and 3d are moved inward , The workpiece stage 1 and the first and third jig stages 5a and 5b can be aligned. The alignment here means that when the position of the mounted panel 9 is unsuitable for panel inspection, the work table 11 on which the panel 9 is seated and the first and third It may mean that the workpiece stage 1 on which the jig stages 5a and 5c are mounted performs three-axis driving. The position of the panel 9 can be grasped by the alignment camera and alignment can be performed.
또한, 워크 스테이지(1)의 3축 구동을 통해 워크 스테이지(1)와 연계되어 3축 구동되는 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)와 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)의 윈도우(422)에 삽입되어 있는 프로브 유닛(2) 사이에 간섭이 생기지 않도록 조정할 수 있다.The first and third jig stages 5a and 5c and the first and third jig stages 5a and 5c, which are driven by three axes in cooperation with the workpiece stage 1 through three-axis driving of the workpiece stage 1, It is possible to adjust so that interference does not occur between the probe units 2 inserted in the window 422 of the probe unit 2.
패널(9)이 안착된 후, 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합 할 경우, 얼라인을 통해 패널(9)의 위치는 재조정될 수 있고, 패널(9)의 위치가 재조정된 후에 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d) 및 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 내측 방향으로 이동하여 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 패널(9)에 접촉할 수 있다.If the position of the panel 9 is not suitable for panel inspection after the panel 9 is seated, the position of the panel 9 through the alignment can be readjusted, and after the position of the panel 9 is readjusted The first to fourth jig stages 5a, 5b, 5c and 5d and the first to fourth probe stages 3a, 3b, 3c and 3d are moved inwardly so that the pressing jig 4 and the probe unit 2 It is possible to contact the panel 9.
검사가 수행된 후, 프로브 유닛(2)은 Z축 방향으로 하강 이동하여 패드부(91)로부터 접촉 해제되고, 누름지그(4)가 Z축 방향으로 승강 이동됨으로써 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제된다. 그 후에 지그 스테이지(5) 및 프로브 스테이지(3)가 외측 방향으로 이동함으로써 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)은 외측 방향으로 이동될 수 있다. 그리고 패널(9)은 워크 테이블(11)로부터 언로딩될 수 있다.After the inspection is performed, the probe unit 2 moves downward in the Z-axis direction and is released from the pad portion 91. When the pressing jig 4 is moved up and down in the Z-axis direction, Is released. The jig stage 5 and the probe stage 3 are moved outwardly so that the pushing jig 4 and the probe unit 2 can be moved in the outward direction. And the panel 9 can be unloaded from the work table 11.
또한, 전술한 본 오토 프로브 검사 장치의 구성을 통한 본 오토 프로브 검사 장치의 구동에 대한 다른 구현예로서, 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되면, 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)가 내측 방향으로 이동하고 누름지그(4)가 Z축 방향으로 하강 이동되어 상면 테두리부(92)에 접촉되면, 그 후에, 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 내측 방향으로 이동되고 프로브 유닛(2)이 Z축 방향으로 승강 이동되어 패드부(91)에 접촉돼 패널 검사가 수행될 수 있다.When the panel 9 is mounted on the work table 11, the first to fourth jig stages 5a, 5b, 5c, The first to fourth probe stages 3a, 3b, 5b, 5c and 5d move inward and the pressing jig 4 moves downward in the Z-axis direction to come into contact with the upper surface edge portion 92. Thereafter, , 3c, and 3d are moved inward, and the probe unit 2 is moved up and down in the Z-axis direction to be in contact with the pad portion 91 to perform the panel inspection.
이러한 본 오토 프로브 검사 장치의 구동에 대한 다른 구현예에 있어서, 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우 일 구현예와 마찬가지로 얼라인이 동일하게 수행될 수 있고, 패널 검사가 수행된 후의 본 오토 프로브 검사 장치의 구동은 일 구현예와 같을 수 있다.In another embodiment of driving this auto-probe inspection apparatus according to the present invention, when the position of the panel 9 is inappropriate for the panel inspection, the alignment can be performed in the same manner as in the embodiment, The driving of this auto-probe inspection apparatus may be the same as one embodiment.
한편, 이하에서는 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 이용한 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법(이하 '본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법'이라 함)에 관하여 살핀다. 다만, 앞서 살핀 구성과 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.Hereinafter, an inspection method of an organic electroluminescent display type panel according to one embodiment of the present invention using an auto-probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention (hereinafter referred to as a 'panel inspection method of organic electroluminescent display type' . It should be noted, however, that the same reference numerals are used for the same or similar components as those of the foregoing embodiment, and a duplicate description will be simplified or omitted.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.FIG. 9 is a flowchart illustrating a panel inspection method of an organic light emitting display type according to an embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 패널(9)이 워크 테이블(11)에 로딩되는 단계(S100)를 포함한다.Referring to FIG. 9, the organic light emitting display type panel inspection method includes a step (S100) in which the panel 9 is loaded on the work table 11.
S100 단계는 패널(9)이 로딩된 후 워크 스테이지(1)가 얼라인(align)되는 단계를 포함할 수 있다.Step S100 may include the step of aligning the workpiece stage 1 after the panel 9 is loaded.
전술한 바와 같이, 얼라인된다는 것은, 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우 패널(9)의 위치를 재조정하기 위해 워크 스테이지(1)가 3축 구동을 하는 것을 의미할 수 있다. 구체적으로 다음과 같을 수 있다.As described above, aligning may mean that the workpiece stage 1 performs three-axis driving to readjust the position of the panel 9 when the position of the panel 9 is unsuitable for panel inspection. Specifically, it can be as follows.
전술한 바와 같이, 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치는 도 1에 나타난 바와 같이, 복수 개의 프로브 스테이지(3)를 포함할 수 있다. 복수 개의 프로브 스테이지(3)는 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)일 수 있다.As described above, the auto-probe inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may include a plurality of probe stages 3, as shown in FIG. The plurality of probe stages 3 may be the first to fourth probe stages 3a, 3b, 3c and 3d.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수 개의 지그 스테이지(5)를 포함할 수 있다. 복수 개의 지그 스테이지(5)는 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)일 수 있다.Further, as shown in FIG. 1, the present autoclave inspection apparatus may include a plurality of jig stages 5. The plurality of jig stages 5 may be the first to fourth jig stages 5a, 5b, 5c, and 5d.
제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d) 및 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)는 도 1에 나타난 바와 같이, 워크 스테이지(1)의 네 측면에 각각 대응하여 배치될 수 있다.The first to fourth probe stages 3a to 3d and the first to fourth jig stages 5a to 5d are formed on four sides of the workpiece stage 1, Respectively.
이때, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 프로브 스테이지(3a)와 제3 프로브 스테이지(3c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제2 프로브 스테이지(3b)와 제4 프로브 스테이지(3d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 지그 스테이지(5a)와 제3 지그 스테이지(5c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제2 지그 스테이지(5b)와 제4 지그 스테이지(5d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.At this time, as shown in FIG. 1, the first probe stage 3a and the third probe stage 3c may be arranged to face each other with respect to the X-axis direction. Also, as shown in FIG. 1, the second probe stage 3b and the fourth probe stage 3d may be arranged to face each other with respect to the Y-axis direction. Further, as shown in Fig. 1, the first jig stage 5a and the third jig stage 5c may be arranged to face each other with respect to the X-axis direction. Further, as shown in Fig. 1, the second jig stage 5b and the fourth jig stage 5d may be arranged to face each other with respect to the Y-axis direction.
즉, 도 1에서 패널(9)을 기준으로, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제1 프로브 스테이지(3a)는 5시 방향에, 제2 지그 스테이지(5b) 및 제2 프로브 스테이지(3b)는 2시 방향에, 제3 지그 스테이지(5c) 및 제3 프로브 스테이지(3c)는 11시 방향에, 제4 지그 스테이지(5d) 및 제4 프로브 스테이지(3d)는 8시 방향에 배치될 수 있다. 이때, 전술한 바와 같이, 각 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)는 패널(9)에 대하여 각 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)보다 외측에 배치(도 1 참조)될 수 있다.1, the first jig stage 5a and the first probe stage 3a are disposed at the 5 o'clock position, the second jig stage 5b and the second probe stage 3b are disposed at the 5 o'clock position with respect to the panel 9, The third jig stage 5c and the third probe stage 3c may be disposed at 11 o'clock and the fourth jig stage 5d and the fourth probe stage 3d may be disposed at the 8 o'clock direction . At this time, as described above, each of the probe stages 3a, 3b, 3c, and 3d may be disposed outside the jig stages 5a, 5b, 5c, and 5d with respect to the panel 9 .
또한, 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d), 제2 지그 스테이지(5b) 및 제4 지그 스테이지(5d)는, 베이스부(6) 상에 장착될 수 있다. 또한, 도 2를 참조하면, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제3 지그 스테이지(5c)는 워크 스테이지(1) 상에 장착될 수 있다.The first to fourth probe stages 3a, 3b, 3c, and 3d, the second jig stage 5b, and the fourth jig stage 5d may be mounted on the base portion 6. 2, the first jig stage 5a and the third jig stage 5c can be mounted on the workpiece stage 1. In addition,
또한, 워크 스테이지(1)는 베이스부(6)에 대하여 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.Further, the workpiece stage 1 may be adjustable in three axial directions with respect to the base portion 6.
이에 따라, 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)는 워크 스테이지(1)와 연동되어 3축 방향 조절이 가능할 수 있다. Accordingly, the first and third jig stages 5a and 5c can be interlocked with the workpiece stage 1 and adjustable in three axial directions.
즉, 안착된 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우, 패널(9)이 안착된 워크 테이블(11) 과 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)가 장착된 워크 스테이지(1)가 3축 구동함으로써 패널(9)의 위치가 재조정될 수 있다.That is, when the position of the mounted panel 9 is unsuitable for the panel inspection, the work table 11 on which the panel 9 is placed and the work stage 1 on which the first and third jig stages 5a and 5c are mounted Is driven by three axes, the position of the panel 9 can be readjusted.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 누름지그(4)가 상면 테두리부(92)에 접촉되는 단계(S200)를 포함한다.Also, the panel inspection method of the organic electroluminescent display type includes a step (S200) in which the pressing jig 4 is brought into contact with the upper surface edge portion 92.
S200 단계에서, 누름지그(4)는 상면 테두리부(92)에 접촉되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다. In step S200, the pressing jig 4 can be moved downward in the Z-axis direction so as to be in contact with the upper surface frame part 92. [
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 프로브 유닛(2)이 패드부(91)에 접촉되어 검사를 수행하는 단계(S300)를 포함한다.In addition, the panel inspection method of the organic electroluminescence display type includes a step (S300) in which the probe unit 2 is brought into contact with the pad portion 91 to perform inspection.
S300 단계에서, 프로브 유닛(2)은 패드부(91)에 접촉되도록 Z축 방향으로 승강 이동될 수 있다.In step S300, the probe unit 2 can be moved up and down in the Z-axis direction so as to be in contact with the pad part 91. [
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S100 단계 및 S200 단계 사이에, 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 도 6에 나타난 바와 같이, 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)은 패널(9)에 접촉 가능하도록 패널(9)에 가까워질 수 있다.The panel inspection method of organic electroluminescence display type may include a step in which the pressing jig 4 and the probe unit 2 are moved inward to approach the panel 9 between steps S100 and S200 have. 6, the pressing jig 4 and the probe unit 2 can be brought close to the panel 9 so as to be able to contact the panel 9. [
또는 다른 구현예로, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S100 단계 및 S200 단계 사이에, 누름지그(4)가 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함하고, S200 단계 및 S300 단계 사이에 프로브 유닛(2)이 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다.The panel inspection method of the organic electroluminescence display type includes a step in which the pressing jig 4 is moved inward toward the panel 9 between steps S100 and S200, And moving the probe unit 2 toward the inside of the panel 9 between steps S300 and S300.
누름지그(4)는 지그 스테이지(5)가 레일(55)을 따라 패널(9)에 대하여 내측 방향으로 이동함으로써 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 프로브 유닛(2)은 프로브 스테이지(3)가 레일(35)을 따라 패널(9)에 대하여 내측 방향으로 이동함으로써 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동될 수 있다.The pressing jig 4 can be moved inward to approach the panel 9 by moving the jig stage 5 inward relative to the panel 9 along the rail 55. [ The probe unit 2 can also be moved inward to approach the panel 9 by moving the probe stage 3 inward relative to the panel 9 along the rail 35.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 프로브 유닛(2)이 패드부(91)로부터 접촉 해제되는 단계(S400)를 포함한다.The panel inspection method of the organic electroluminescent display type includes a step (S400) in which the probe unit 2 is released from the pad portion 91 (S400).
검사가 수행된 후 프로브 유닛(2)은 패드부(91)로부터 접촉 해제될 수 있다.After the inspection is performed, the probe unit 2 can be released from the pad portion 91. [
S400 단계에서, 프로브 유닛(2)은 패드부(91)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다.In step S400, the probe unit 2 can be moved downward in the Z-axis direction so as to be released from the pad part 91.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 누름지그(4)가 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되는 단계(S500)를 포함한다.In addition, the panel inspection method of the organic electroluminescence display type includes a step (S500) in which the pressing jig 4 is released from the top edge portion 92 (S500).
S500 단계에서, 누름지그(4)는 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 승강 이동될 수 있다.In step S500, the pushing jig 4 can be moved up and down in the Z-axis direction so as to be released from the upper edge portion 92.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 패널(9)이 워크 테이블(11)로부터 언로딩되는 단계(S600)를 포함할 수 있다.In addition, the panel inspection method of the organic electroluminescence display type may include a step S600 in which the panel 9 is unloaded from the work table 11 (S600).
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S500 단계와 S600단계 사이에 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다. The panel inspection method of the organic electroluminescence display type may include a step in which the pressing jig 4 and the probe unit 2 are moved outwardly away from the panel 9 between steps S500 and S600.
또는 다른 구현예로, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S400 단계 및 S500 단계 사이에 프로브 유닛(2)이 패널(9) 로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계 및 S500 단계 및 S600 단계 사이에, 누름지그(4)가 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다.The panel inspection method of the present organic electroluminescence display type may include a step of moving the probe unit 2 outward from the panel 9 between steps S400 and S500 and a step of moving between the steps S500 and S600 , And the pushing jig 4 is moved in the outward direction away from the panel 9.
프로브 유닛(2)은 프로브 스테이지(3)가 레일(35)을 따라 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동됨으로써 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 누름지그(4)는 지그 스테이지(5)가 레일(55)을 따라 패널(5)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동됨으로써 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다.The probe unit 2 can be moved in the outward direction away from the panel 9 by moving the probe stage 3 in the outward direction away from the panel 9 along the rail 35. [ The pressing jig 4 can be moved in the outward direction away from the panel 9 by moving the jig stage 5 in the outward direction away from the panel 5 along the rail 55. [
한편, 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)의 내외측 방향으로의 이동에 있어서, 지그 스테이지(5) 및 프로브 스테이지(3)는 연동되어 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 여기에서, 연동된다는 것은 지그 스테이지(5) 및 프로브 스테이지(3)가 동시에 내외측 방향으로 이동하는 것을 의미할 수 있다.On the other hand, the jig stage 5 and the probe stage 3 can move in the inward and outward directions with the jig stage 5 and the probe stage 3 interlocked in the movement of the pushing jig 4 and the probe unit 2 in the inward and outward directions. Here, being interlocked can mean that the jig stage 5 and the probe stage 3 simultaneously move in the inward and outward directions.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those of ordinary skill in the art that the foregoing description of the embodiments is for illustrative purposes and that those skilled in the art can easily modify the invention without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.
1: 워크 스테이지 11: 워크 테이블
2: 프로브 유닛 3: 프로브 스테이지
31: 연직 구동부 311: 가이드 레일
312: 가이드 유닛 32: 프로브 유닛 장착부
35: 레일 4: 누름지그
41: 누름부 42: 지지부
421: 홈부 422: 윈도우
5: 지그 스테이지 51: 연직구동부
511: 가이드 레일 512: 가이드 유닛
55: 레일 6: 베이스부
9: 패널 91: 패드부
92: 상면 테두리부 3a: 제1 프로브 스테이지
3b: 제2 프로브 스테이지 3c: 제3 프로브 스테이지
3d: 제4 프로브 스테이지 4a: 제1 누름지그
4b: 제2 누름지그 4c: 제3 누름지그
4d: 제4 누름지그 5a: 제1 지그 스테이지
5b: 제2 지그 스테이지 5c: 제3 지그 스테이지
5d: 제4 지그 스테이지
1: work stage 11: work table
2: probe unit 3: probe stage
31: vertical driving part 311: guide rail
312: Guide unit 32: Probe unit mounting part
35: rail 4: pressing jig
41: pressing portion 42:
421: groove portion 422: window
5: Jig stage 51: Vertical driving part
511: Guide rail 512: Guide unit
55: rail 6: base portion
9: panel 91: pad portion
92: upper surface edge portion 3a: first probe stage
3b: second probe stage 3c: third probe stage
3d: fourth probe stage 4a: first pressing jig
4b: second pressing jig 4c: third pressing jig
4d: fourth pressing jig 5a: first jig stage
5b: second jig stage 5c: third jig stage
5d: fourth jig stage

Claims (20)

  1. 오토 프로브 검사 장치에 있어서,
    유기 전계 발광 표시 타입의 패널이 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지;
    상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛;
    상기 프로브 유닛이 상기 패드부와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지;
    상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름지그;
    상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및
    상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함하되,
    상기 누름지그는 상기 패널의 상면 테두리부에 접촉되는 누름부 및 상기 누름부로부터 하측 방향으로 절곡 연장되어 상기 지그 스테이지에 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 지지부를 포함하며,
    상기 프로브 스테이지는 상기 패널에 대하여 상기 지그 스테이지보다 외측에 배치되고,
    상기 지지부에는 상기 패드부에 접촉되는 상기 복수의 프로브 유닛 각각의 선단부가 내측 방향으로 삽입 돌출되도록 개구된 윈도우가 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    In an auto-probe inspection apparatus,
    A work stage on which a panel of an organic electroluminescence display type is mounted with a work table on which a rear surface is seated facing upward;
    A plurality of probe units contacting the pads formed on the front surface of the panel housed in the work table to perform inspection of the panel;
    A probe stage for moving the probe unit in the Z-axis direction so that the probe unit can be brought into contact with or disengaged from the pad unit;
    A pushing jig contacting the upper edge of the panel corresponding to the portion where the probe unit and the pad contact with each other and restricting upward movement of the panel;
    A jig stage that moves the pushing jig in the Z-axis direction so that the pushing jig can be brought into or out of contact with the upper surface frame; And
    And a base portion for mounting the work stage, the probe stage, and the jig stage,
    Wherein the pressing jig includes a pressing portion that is in contact with an upper edge of the panel and a supporting portion that is bent in a downward direction from the pressing portion and is mounted to the jig stage so as to be movable in the Z-
    Wherein the probe stage is disposed outside the jig stage with respect to the panel,
    Wherein the support portion is formed with a window in which the tip end of each of the plurality of probe units contacting the pad portion is inserted and projected inward.
  2. 삭제delete
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지부의 절곡된 부분의 내측에는, 상기 누름부에 상하 방향에 대한 완충이 이루어지도록, 상기 지지부의 폭 방향을 따라 절개된 홈부가 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein an inside of the bent portion of the support portion is formed with a groove portion cut along the width direction of the support portion so that the pressing portion is buffered in the up and down direction.
  4. 삭제delete
  5. 제1항에 있어서,
    상기 윈도우는 상기 복수의 프로브 유닛의 Z축 방향 이동 범위 내에서 간섭 발생이 방지되는 높이를 갖는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the window has a height that prevents interference from occurring within a movement range of the plurality of probe units in the Z-axis direction.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 윈도우는 상기 복수의 프로브 유닛에 대응하는 복수의 윈도우로 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the window is formed by a plurality of windows corresponding to the plurality of probe units.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지와 상기 지그 스테이지 각각은 상기 패널에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein each of the probe stage and the jig stage is installed to be movable in an inward and outward direction with respect to the panel.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지는 4개로로 구비되되, 상기 4개의 프로브 스테이지는 제1 내지 제4 프로브 스테이지이고,
    상기 지그 스테이지는 4개로로 구비되되, 상기 4개의 지그 스테이지는 제1 내지 제4 지그 스테이지이며,
    상기 워크 스테이지의 네 측면에 각각 대응하여 상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지 및 상기 제1 내지 제4 지그 스테이지가 배치되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the probe stage comprises four probe stages, wherein the four probe stages are first to fourth probe stages,
    Wherein the four jig stages are four, and the four jig stages are first to fourth jig stages,
    Wherein the first to fourth probe stages and the first to fourth jig stages are disposed corresponding to four sides of the work stage, respectively.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 프로브 스테이지와 제3 프로브 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 프로브 스테이지와 제4 프로브 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 지그 스테이지와 제3 지그 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 지그 스테이지와 제4 지그 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지, 제2 지그 스테이지 및 제4 지그 스테이지는, 상기 베이스부 상에 장착되고,
    상기 제1 지그 스테이지 및 제3 지그 스테이지는 상기 워크 스테이지 상에 장착되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
    9. The method of claim 8,
    The first probe stage and the third probe stage are disposed to face each other with respect to the X axis direction,
    The second probe stage and the fourth probe stage are arranged to face each other with respect to the Y axis direction,
    The first jig stage and the third jig stage are arranged to face each other with respect to the X axis direction,
    The second jig stage and the fourth jig stage are arranged to face each other with respect to the Y axis direction,
    Wherein the first to fourth probe stages, the second jig stage, and the fourth jig stage are mounted on the base portion,
    And the first jig stage and the third jig stage are mounted on the workpiece stage.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 워크 스테이지는 상기 베이스부에 대해 3축 방향 조절이 가능한 것인 오토 프로브 검사 장치.
    10. The method of claim 9,
    Wherein the workpiece stage is adjustable in three axial directions with respect to the base portion.
  11. 제1항에 따른 오토 프로브 검사 장치를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법에 있어서,
    (a) 상기 패널이 상기 워크 테이블에 로딩되는 단계;
    (b) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉되는 단계;
    (c) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계;
    (d) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부로부터 접촉 해제되는 단계;
    (e) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부로부터 접촉 해제되는 단계; 및
    (f) 상기 패널이 상기 워크 테이블로부터 언로딩되는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    A method of inspecting an organic electroluminescent display type panel using an auto-probe inspection apparatus according to claim 1,
    (a) loading the panel onto the work table;
    (b) contacting the pressing jig to the upper surface of the upper surface;
    (c) performing the inspection by contacting the probe unit with the pad unit;
    (d) disengaging the probe unit from the pad unit;
    (e) releasing the contact jig from the upper surface of the upper surface; And
    (f) unloading the panel from the work table.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 (a) 단계와 상기 (b) 단계 사이에,
    상기 누름지그가 상기 패널에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하고,
    상기 (a) 단계와 상기 (c) 단계 사이에,
    상기 프로브 유닛이 상기 패널에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    Between the step (a) and the step (b)
    Further comprising the step of moving the pushing jig in an inner direction toward the panel,
    Between the step (a) and the step (c)
    And moving the probe unit in an inward direction toward the panel.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 (d) 단계와 상기 (f) 단계 사이에,
    상기 프로브 유닛이 상기 패널로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하고,
    상기 (e) 단계와 상기 (f) 단계 사이에,
    상기 누름지그가 상기 패널로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    Between the step (d) and the step (f)
    Further comprising moving the probe unit in an outward direction away from the panel,
    Between the step (e) and the step (f)
    And moving the pushing jig in an outward direction away from the panel.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서,
    상기 누름지그는 상기 상면 테두리부에 접촉되도록 Z축 방향으로 하강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    In the step (b)
    Wherein the pressing jig is moved downward in the Z-axis direction so as to be in contact with the upper surface frame portion.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 (c) 단계에서,
    상기 프로브 유닛은 상기 패드부에 접촉되도록 Z축 방향으로 승강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    In the step (c)
    And the probe unit is moved up and down in the Z-axis direction so as to contact the pad unit.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 (d) 단계에서,
    상기 프로브 유닛은 상기 패드부로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    In the step (d)
    And the probe unit is moved downward in the Z-axis direction to be disconnected from the pad unit.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 (e) 단계에서,
    상기 누름지그는 상기 상면 테두리부로부터 접촉 해제되도록 상기 패널에 대하여 Z축 방향으로 승강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    In the step (e)
    And the pushing jig is moved up and down in the Z-axis direction with respect to the panel so as to be released from the upper edge of the panel.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 (a) 단계는, 상기 패널이 로딩된 후 상기 워크 스테이지가 얼라인(align)되는 단계를 포함하는 것인 유기전계발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    Wherein the step (a) includes the step of aligning the workpiece after the panel is loaded.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지는 4개로 구비되되, 상기 4개의 프로브 스테이지는 제1 내지 제4 프로브 스테이지이고,
    상기 지그 스테이지는 4개로 구비되되, 상기 4개의 지그 스테이지는 제1 내지 제4 지그 스테이지이며,
    상기 워크 스테이지의 네 측면에 각각 대응하여 상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지 및 상기 제1 내지 제4 지그 스테이지가 배치되되, 상기 제1 프로브 스테이지와 제3 프로브 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 프로브 스테이지와 제4 프로브 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 지그 스테이지와 제3 지그 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 지그 스테이지와 제4 지그 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지, 제2 지그 스테이지 및 제4 지그 스테이지는, 상기 베이스부 상에 장착되고,
    상기 제1 지그 스테이지 및 제3 지그 스테이지는 상기 워크 스테이지 상에 장착되는 것인 유기전계발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    12. The method of claim 11,
    Wherein the probe stage is provided with four probe stages, the four probe stages are first to fourth probe stages,
    The four jig stages are provided in four, and the four jig stages are first to fourth jig stages,
    Wherein the first to fourth probe stages and the first to fourth jig stages are disposed corresponding to four sides of the work stage, respectively, wherein the first probe stage and the third probe stage are opposed to each other with respect to the X axis direction Disposed,
    The second probe stage and the fourth probe stage are arranged to face each other with respect to the Y axis direction,
    The first jig stage and the third jig stage are arranged to face each other with respect to the X axis direction,
    The second jig stage and the fourth jig stage are arranged to face each other with respect to the Y axis direction,
    Wherein the first to fourth probe stages, the second jig stage, and the fourth jig stage are mounted on the base portion,
    Wherein the first jig stage and the third jig stage are mounted on the workpiece stage.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 워크 스테이지는 상기 베이스부에 대해 3축 방향 조절이 가능하고,
    상기 (a) 단계는 상기 패널이 로딩된 후 상기 워크 스테이지가 얼라인되는 단계를 포함하는 것인 유기전계발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
    20. The method of claim 19,
    Wherein the work stage is adjustable in three axial directions with respect to the base portion,
    Wherein the step (a) includes the step of aligning the workpiece after the panel is loaded.
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