KR101558181B1 - 기화기용 소스물질 공급장치 - Google Patents

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KR101558181B1
KR101558181B1 KR1020140051146A KR20140051146A KR101558181B1 KR 101558181 B1 KR101558181 B1 KR 101558181B1 KR 1020140051146 A KR1020140051146 A KR 1020140051146A KR 20140051146 A KR20140051146 A KR 20140051146A KR 101558181 B1 KR101558181 B1 KR 101558181B1
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송창호
박정현
조민석
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Abstract

본 개시는 기화기에 수용된 소스물질의 온도 분포를 균일하게 유지시킬 수 있는 기화기용 소스물질 공급장치에 관한 것으로서, 본 개시의 일 태양에 따르면, 소스물질이 내부에 수용되는 기화기; 상기 소스물질이 유입되는 입구와 상기 기화기와 연통되도록 출구를 가지는 용기; 상기 용기의 내부에 구비되어 상기 입구로 유입된 소스물질을 설정된 온도로 가열하는 히터유닛; 및 상기 소스물질이 설정된 온도로 가열되도록 제어하며, 상기 기화기 내부에 수용된 상기 소스물질의 양을 기준으로 상기 용기에 저장된 소스물질이 상기 기화기로 공급되도록 제어하는 제어부;를 포함하는 기화기용 소스물질 공급장치가 제공된다.

Description

기화기용 소스물질 공급장치{SOURCE SUPPLEMENT APPARATUS FOR VAPORIZER}
본 개시(Disclosure)는, 기화기용 소스물질 공급장치에 관한 것으로서, 특히 기화기에 수용된 소스물질의 온도 분포를 균일하게 유지시킬 수 있는 기화기용 소스물질 공급장치에 관한 것이다.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
물질을 박막 형태로 형성하는 방법은 물리적 충돌을 이용하는 스퍼터링 방법과, 기상의 원료가스를
공급하는 증착방법으로 구분된다. 반도체 소자의 고집적화에 따라 조성 및 두께의 균일도와 단차 피복성이 우수한, 기상증착방법을 선호한다.
기상증착방법은 박막을 형성하는 데 필요한 소스가스를 기판이 안착된 반응챔버에 공급함으로써 기판 상에 원하는 박막을 증착하는 방식이다. 그러나 박막형성에 사용되는 소스물질이 기체상태가 아닌 액체 상태로 존재하는 경우, 액체상태의 소스물질을 기화시킨 후에 반응챔버의 내부의 기판의 표면까지 이송하게 된다. 따라서 반응챔버의 소스물질 주입구 근처까지는 소스물질을 액체 상태로 공급하고, 기화기를 통하여 액체상태의 소스물질을 기화시켜 소스가스로 공급하는 방법을 사용한다.
그런데, 종래의 기화기는 액상의 소스물질이 완전하게 기화되지 않고, 액상과 기상의 소스물질이 반응챔버에 유입되는 문제가 빈번히 발생하였다. 이 경우 반응챔버에 유입된 액상의 소스물질로 인해, 증착박막의 균일성이 저하되고, 또는 증착박막에 이물질(particle)이 발생하게 된다.
이러한 문제점에 대해, 소스물질의 완전기화를 위하여 히터를 사용하지만, 기화기의 내부에서 불균일한 온도분포로 인해, 상대적으로 고온인 영역에서 소스물질이 열분해되어, 국부적으로 기화기의 내부에 원하지 않는 박막이 증착되어 기화기의 수명을 단축시키고, 기화기의 교체주기를 빠르게 하는 문제가 있다.
한편, 최근에는 대량 양상의 위하여 장비의 크기가 커지고 있는데 이 경우 요구되는 기화량이 커지므로 용량이 큰 기화기에 대한 수요 및 개발이 요구되고 있다. 특히 기화기 내부에서 소스물질의 위치에 따른 온도 불균일 및 대량의 기화 시 잠열에 의한 온도 급감으로 기화량이 순간적으로 감소되는 문제의 해결이 필요하다.
본 개시는, 기화기에 수용된 소스물질의 온도 분포를 균일하게 유지시킬 수 있는 기화기용 소스물질 공급장치의 제공을 일 목적으로 한다.
본 개시는, 장비의 대형화로 인해 요구되는 대용량 기화기의 시장요구를 충족할 수 있고, 기화기의 잦은 교체에 따른 불편함 및 공정시간 증가를 개선할 수 있는 기화기용 소스물질 공급장치의 제공을 일 목적으로 한다.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
본 개시의 일 태양에 따르면(According to one aspect of the present disclosure), 소스물질이 내부에 수용되는 기화기; 상기 소스물질이 유입되는 입구와 상기 기화기와 연통되도록 출구를 가지는 용기; 상기 용기의 내부에 구비되어 상기 입구로 유입된 소스물질을 설정된 온도로 가열하는 히터유닛; 및 상기 소스물질이 설정된 온도로 가열되도록 제어하며, 상기 기화기 내부에 수용된 상기 소스물질의 양을 기준으로 상기 용기에 저장된 소스물질이 상기 기화기로 공급되도록 제어하는 제어부;를 포함하는 기화기용 소스물질 공급장치가 제공된다.
이에 의하면, 히터 유닛에 의해 소스물질이 기화에 적합한 설정온도까지 가열된 상태로 기화기에 공급되므로, 기화기 내부의 소스물질 온도편차를 완화할 수 있으며, 또는 기화 과정의 잠열에 의해 발생되는 온도의 급감으로 인해 기화량이 급감하는 문제를 방지할 수 있게 된다. 이는 다량의 기화량이 요구되는 대형화 추세에서 더욱 유용한 이점을 가지게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치는, 상기 입구로 유입된 소스물질이 지나도록 상기 용기 내부의 상기 입구와 상기 히터 유닛 사이에 구비되며, 다공성 부재로 구비되는 유입측 필터;를 더 포함할 수 있다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치는, 상기 히터 유닛과 상기 출구 사이에 구비되며, 다공성 부재로 구비되는 배출측 필터;를 더 포함할 수 있다.
이에 의하면, 유입측 필터 또는 배출측 필터에 의해 소스물질 내에 포함된 불순물이 걸러지게 되므로, 기화기를 통과하여 기화된 소스물질이 공급되는 공정 챔버에 불순물이 공급되거나, 불순물에 의해 공정라인에 발생되는 문제를 방지할 수 있게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 히터 유닛은, 상기 소스물질의 유동방향으로 길게 배치되는 코일형상의 히터; 및 상기 히터의 온도를 감지하는 온도감지센서;를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 온도감지센서에 의해 감지된 온도와 설정된 온도를 비교하여 상기 히터의 동작을 제어하도록 구비될 수 있다.
이에 의하면, 히터가 코일 형상을 가짐으로서, 소스물질과 히터의 접촉면적이 증가하게 되어 소스물질이 전체적으로 균일한 온도로 가열될 수 있게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 용기는 원통형으로 구비되며, 그 길이방향으로 일면과 타면에 각각 상기 입구와 출구가 구비되고, 상기 히터는 상기 입구에서 상기 출구를 향하는 방향으로 구비될 수 있다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 히터는, 상기 입구에서 상기 출구를 향하여 상기 소스물질의 유동방향으로 형성되는 입구측 히터; 및 상기 출구에서 상기 입구를 향하여 상기 소스물질의 유동방향과 반대방향으로 형성되는 출구측 히터;로서, 상기 입구측 히터와 독립적인 온도제어가 가능하도록 구비되는 출구측 히터;를 포함할 수 있다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 입구측 히터와 상기 출구측 히터는 상기 소스물질의 유동방향에 직교하는 방향으로 서로 겹치지 않는 길이로 구비될 수 있다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 입구측 히터의 온도는 상기 출구측 히터의 온도보다 높게 구비될 수 있다.
이에 의하면, 입구측 히터에 의해 소스물질의 위치에 따른 온도편차를 완화하고, 출구측 히터에 의해 소스물질을 기화기에서 요구하는 온도로 가열함으로써, 전체적으로 균일하게 가열된 소스물질을 기화기에 공급할 수 있게 된다. 따라서 기화기에 수용된 소스물질의 온도편차에 의해 기화량의 변화되는 문제를 개선할 수 있게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 히터 유닛은, 상기 용기의 내부에 채워지며, 상기 히터에 발생된 열을 전달시키는 열전달 촉진 부재;로서, 금속 또는 세라믹 재질의 알갱이로 구비되는 열전달 촉진 부재;를 더 포함할 수 있다.
이에 의하면, 열전달 촉진 부재에 의해 소스물질이 전체적으로 균일한 온도분포를 갖게 되는 이점을 가진다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 소스물질의 비열과 유량을 기준으로 상기 히터 유닛을 제어하여 상기 소스물질이 설정된 온도로 가열되되 전체적으로 온도분포가 균일하도록 제어하도록 구비될 수 있다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 의하면, 히터 유닛에 의해 소스물질이 기화에 적합한 설정온도까지 가열된 상태로 기화기에 공급되므로, 기화기 내부의 소스물질 온도편차를 완화할 수 있으며, 또는 기화 과정의 잠열에 의해 발생되는 온도의 급감으로 인해 기화량이 급감하는 문제를 방지할 수 있게 된다. 이는 다량의 기화량이 요구되는 대형화 추세에서 더욱 유용한 이점을 가지게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 의하면, 유입측 필터 또는 배출측 필터에 의해 소스물질 내에 포함된 불순물이 걸러지게 되므로, 기화기를 통과하여 기화된 소스물질이 공급되는 공정 챔버에 불순물이 공급되거나, 불순물에 의해 공정라인에 발생되는 문제를 방지할 수 있게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 의하면, 입구측 히터에 의해 소스물질의 위치에 따른 온도편차를 완화하고, 출구측 히터에 의해 소스물질을 기화기에서 요구하는 온도로 가열함으로써, 전체적으로 균일하게 가열된 소스물질을 기화기에 공급할 수 있게 된다. 따라서 기화기에 수용된 소스물질의 온도편차에 의해 기화량의 변화되는 문제를 개선할 수 있게 된다.
본 개시의 일 태양에 따른 기화기용 소스물질 공급장치에 의하면, 열전달 촉진 부재에 의해 소스물질이 전체적으로 균일한 온도분포를 갖게 되는 이점을 가진다.
도 1은 본 개시의 일 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치가 적용된 개략적인 공정 흐름도,
도 2는 도 1에서 기화기용 소스물질 공급장치의 일 예를 보인 도면,
도 3은 도 2의 일 변형 예를 보인 도면,
도 4는 도 2의 또 다른 변형 예를 보인 도면 및
도 5는 도 2의 또 다른 변형 예를 보인 도면.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
다만, 이하에서 개시되는 기술적 사상의 명료한 이해를 위해 제한된 실시형태를 예로서 설명하였으나, 이에 한정되지는 아니하고, 개시되는 기술적 사상이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자가 본 개시로부터 유추할 수 있는 다양한 실시형태도 포함됨을 밝혀둔다.
또한, 본 명세서 또는 청구범위에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 개념으로, 그 의미를 파악함에 있어서 사전적 의미에 한정되지 않고 본 개시의 기술적 사상에 부합되도록 적절히 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 개시의 일 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치가 적용된 개략적인 공정 흐름도, 도 2는 도 1에서 기화기용 소스물질 공급장치의 일 예를 보인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 개시의 일 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치(100)는, 용기(110), 히터유닛(120) 및 제어부(C)를 포함한다.
기화기(10)는 기상의 소스물질을 생성하여 공정 챔버(20)에 공급하는 장치로서, 안정적인 기화량이 요구된다.
본 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치(100)는 기화기(10) 내부의 온도변화 또는 소스물질 양의 변화로 인하여 기화량이 불안정한 것을 방지하기 위한 것으로서, 기화기(10)의 내부로 균일한 온도를 가지는 소스물질을 선택적으로 공급하는 장치이다.
용기(110)는 소스물질이 유입되는 입구(111)와, 소스물질이 배출되는 출구(113)를 가진다.
입구(111)는 소스물질이 공급되는 것으로서 별도의 소스물질 저장부와 연결될 수 있고, 출구(113)는 기화기(10)와 연통 되도록 구비된다.
입구(111)와 출구(113)에는 소스물질의 선택적인 유입 및 배출을 위해 밸브가 구비될 수 있으며, 밸브의 동작은 제어부(C)에 의해 제어될 수 있다.
용기(110)는 소스물질이 유동하는 방향으로 길게 구비되는 것이 소스물질의 온도 제어에 유리하다. 따라서, 용기(110)는 원통형으로 구비되며, 그 길이방향으로 일면과 타면에 각각 입구(111)와 출구(113)가 구비되고, 후술하는 히터유닛(120)은 입구(111)에서 출구(113)를 향하는 방향으로 구비될 수 있다.
그러나, 용기(110)와 히터유닛(120)의 배치가 이에 한정되는 것은 아니다.
히터유닛(120)은 용기(110)의 내부에 구비되며, 입구(111)로 유입된 소스물질을 설정된 온도로 가열한다.
제어부(C)는 용기(110) 내의 소스물질이 설정된 온도로 가열되도록 제어하며, 기화기(10) 내부에 수용된 소스물질의 양을 기준으로 용기(110)에 저장된 소스물질이 기화기(10)로 공급되도록 제어한다.
여기서, 설정된 온도는 설계온도 및 소스물질의 종류에 따라 적절히 선택할 수 있는 것으로서, 기화기(10)에서 소스물질의 기화를 위한 예열의 정도로 이해할 수 있을 것이다.
이상과 같은 본 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치(100)에 의하면, 히터유닛(120)에 의해 소스물질이 기화에 적합한 설정온도까지 가열된 상태로 기화기(10)에 공급되므로, 기화기(10) 내부의 소스물질 온도편차를 완화할 수 있으며, 또는 기화 과정의 잠열에 의해 발생 되는 온도의 급감으로 인해 기화량이 급감하는 문제를 방지할 수 있게 된다. 이는 다량의 기화량이 요구되는 대형화 추세에서 더욱 유용한 이점을 가지게 된다.
한편, 본 실시형태에 있어서, 히터유닛(120)은 소스물질의 유동방향으로 길게 형성되는 코일 형상의 히터(121,123)와 히터(121,123)의 온도를 감지하는 온도감지센서(121a,123a)로 구비되며, 제어부(C)는 온도감지센서(121a,123a)에 의해 감지된 온도와 설정된 온도를 비교하여 히터(121,123)의 동작을 제어하게 된다.
여기서, 온도감지센서(121a,123a)는 히터(121,123)의 길이 방향으로 그 내부에 삽입되어 구비되는 써모커플(Thermocouple)로 구비될 수 있다.
이에 의하면, 히터(121,123)가 코일 형상을 가짐으로서, 소스물질과 히터(121,123)의 접촉면적이 증가하게 되어 소스물질이 전체적으로 균일한 온도로 가열될 수 있게 된다.
한편, 본 실시형태에 있어서, 용기(110) 내 소스물질 온도 제어의 효율성을 위해 입구측 히터(121)와 출구측 히터(123)로 나뉘어 구비될 수 있다.
입구측 히터(121)는, 입구(111)에서 출구(113)를 향하여 소스물질의 유동방향으로 형성되며, 출구측 히터(123)는 출구(113)에서 입구(111)를 향하여 소스물질의 유동방향과 반대방향으로 형성된다.
여기서, 입구측 히터(121)와 출구측 히터(123)는 서로 독립적인 온도제어가 가능하도록 구비된다.
또한, 입구측 히터(121)와 출구측 히터(123)는 소스물질의 유동방향에 직교하는 방향으로 서로 겹치지 않는 길이로 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 입구측 히터(121)의 온도는 출구측 히터(123)의 온도보다 높게 구비되는 것이 바람직하다.
이에 의하면, 입구측 히터(121)는 소스물질의 예열 기능을 수행하며, 출구측 히터(123)는 기화기(10)로 공급되는 소스물질의 설정온도에 일치시키는 기능을 수행하게 된다.
그 결과로, 입구측 히터(121)에 의해 소스물질의 위치에 따른 온도편차를 완화하고, 출구측 히터(123)에 의해 소스물질을 기화기(10)에서 요구하는 온도로 가열함으로써, 전체적으로 균일하게 가열된 소스물질을 기화기에 공급할 수 있게 된다. 따라서 기화기(10)에 수용된 소스물질의 온도편차에 의해 기화량의 변화되는 문제를 개선할 수 있게 된다.
한편, 제어부(C)는, 소스물질의 비열과 유량을 기준으로 히터유닛(120)을 제어하여 소스물질이 설정된 온도로 가열되되 전체적으로 온도분포가 균일하도록 제어하도록 구비되는 것이 바람직하다.
도 3은 도 2의 일 변형 예를 보인 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치(200)는 다른 구성은 앞서 설명한 실시형태와 대동소이하나, 필터(231,233)가 더 구비되는 점에서 차이가 있다.
따라서 이하에서는 필터(231,233)에 대해서 구체적으로 설명하고, 다른 구성에 대해서는 앞서 설명한 것으로 갈음하기로 한다.
본 실시형태에 있어서, 필터(231,233)는 유입측 필터(231) 또는 배출측 필터(233)가 구비된다.
필터(231,233)는 다공성 부재로 구비되며, 일 예로 와이어 매쉬를 들 수 있다.
유입측 필터(231)는 용기(110)의 입구(111)와 입구측 히터(121) 사이에 구비되고, 배출측 필터(233)는 용기(110)의 출구(113)와 출구측 히터(123) 사이에 구비되는 것이 바람직하다.
이에 의하면, 유입측 필터(231) 또는 배출측 필터(233)에 의해 소스물질 내에 포함된 불순물이 걸러지게 되므로, 기화기(10)를 통과하여 기화된 소스물질이 공급되는 공정 챔버(20)에 불순물이 공급되거나, 불순물에 의해 공정 라인에 발생 되는 문제를 방지할 수 있게 된다.
도 4는 도 2의 또 다른 변형 예를 보인 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치(300)는 다른 구성은 앞서 설명한 실시형태와 대동소이하나, 열전달 촉진 부재(340)가 더 구비되는 점에서 차이가 있다.
따라서 이하에서는 열전달 촉진 부재(340)에 대해서 구체적으로 설명하고, 다른 구성에 대해서는 앞서 설명한 것으로 갈음하기로 한다.
본 실시형태에 있어서, 열전달 촉진 부재(340)는 용기(110)의 내부에 채워져 구비되는 것으로서, 히터(121,123)에서 발생 된 열을 용기(110) 내부의 구석구석으로 효과적으로 전달하기 위한 구성이다.
열전달 촉진 부재(340)는, 금속 또는 세라믹 재질의 알갱이로 구비될 수 있다.
이에 의하면, 열전달 촉진 부재(340)에 의해 소스물질이 전체적으로 균일한 온도분포를 갖게 되는 이점을 가진다.
도 5는 도 2의 또 다른 변형 예를 보인 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 실시형태에 따른 기화기용 소스물질 공급장치(400)는 다른 구성은 앞서 설명한 실시형태와 대동소이하나, 히터(421,423)의 형태에서 차이를 가진다.
따라서 이하에서는 히터(421,423)의 형태에 대해서 구체적으로 설명하고, 다른 구성에 대해서는 앞서 설명한 것으로 갈음하기로 한다.
본 실시형태에 있어서, 히터(421,423)는 직선형태로 구비되며, 유동 방향으로 복수 개가 구비될 수 있다.
이에 의하면, 직선형의 복수 개의 히터에 의해 위치에 따른 온도의 차이를 확인하는 것이 용이하며, 상대적으로 온도의 편차가 큰 부분에 위치하는 히터(421,423)를 제어함으로써 온도의 편차를 용이하게 개선할 수 있게 된다.

Claims (10)

  1. 소스물질이 내부에 수용되는 기화기;
    상기 소스물질이 유입되는 입구와 상기 기화기와 연통되도록 출구를 가지는 용기;
    상기 용기의 내부에 구비되어 상기 입구로 유입된 소스물질을 설정된 온도로 가열하는 히터유닛;으로서, 상기 소스물질의 유동방향으로 길게 배치되는 코일형상의 히터;와 상기 히터의 온도를 감지하는 온도감지센서;를 포함하는 히터유닛; 및
    상기 소스물질이 설정된 온도로 가열되도록 제어하며, 상기 기화기 내부에 수용된 상기 소스물질의 양을 기준으로 상기 용기에 저장된 소스물질이 상기 기화기로 공급되도록 제어하는 제어부;로서, 상기 온도감지센서에 의해 감지된 온도와 설정된 온도를 비교하여 상기 히터의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하며,
    상기 히터는,
    상기 입구에서 상기 출구를 향하여 상기 소스물질의 유동방향으로 형성되는 입구측 히터;와, 상기 출구에서 상기 입구를 향하여 상기 소스물질의 유동방향과 반대방향으로 형성되는 출구측 히터;로서, 상기 입구측 히터와 독립적인 온도제어가 가능하도록 구비되는 출구측 히터;를 포함하고, 상기 입구측 히터와 상기 출구측 히터는 상기 소스물질의 유동방향에 직교하는 방향으로 서로 겹치지 않는 길이로 구비되는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 입구로 유입된 소스물질이 지나도록 상기 용기 내부의 상기 입구와 상기 히터 유닛 사이에 구비되며, 다공성 부재로 구비되는 유입측 필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 히터 유닛과 상기 출구 사이에 구비되며, 다공성 부재로 구비되는 배출측 필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 용기는 원통형으로 구비되며, 그 길이방향으로 일면과 타면에 각각 상기 입구와 출구가 구비되고, 상기 히터는 상기 입구에서 상기 출구를 향하는 방향으로 구비되는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 입구측 히터의 온도는 상기 출구측 히터의 온도보다 높게 구비되는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 히터 유닛은,
    상기 용기의 내부에 채워지며, 상기 히터에 발생된 열을 전달시키는 열전달 촉진 부재;로서, 금속 또는 세라믹 재질의 알갱이로 구비되는 열전달 촉진 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 소스물질의 비열과 유량을 기준으로 상기 히터 유닛을 제어하여 상기 소스물질이 설정된 온도로 가열되되 전체적으로 온도분포가 균일하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기화기용 소스물질 공급장치.
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