TW201627060A - 固態來源蒸氣輸送封裝及方法 - Google Patents

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Abstract

說明一種固態來源蒸氣輸送封裝，包含蒸發器容器，該蒸發器容器含有固態來源材料且經配置被加熱以揮發固態來源材料，以產生從蒸發器容器排出的蒸氣，具有設置在蒸發器容器內側中的設定點壓力調節器，用以控制從蒸發器容器排出的蒸氣。此固態來源蒸氣輸送封裝可被有效地用以避免所分配的蒸氣回流到蒸發器容器中，除此之外並用以在下游的流動線路及進一步的下游製程工具中避免不希望的流動異常和溫度及壓力波動，該下游製程工具從封裝接收所分配的蒸氣。

Description

固態來源蒸氣輸送封裝及方法 【相關申請案的交互引用】
於此根據專利法主張於2014年10月27日所提交的美國臨時專利申請案第62/069,265號之優先權的權利。美國臨時專利申請號第62/069,265的揭露書為了所有的目的而於此通過引用其全文的方式而併入本文。
本揭露書大體關於蒸氣輸送設備和方法，更特別地關於用於在蒸氣輸送製程應用中之一種固態來源蒸氣輸送封裝，並關於相關聯的使用方法。
在半導體製造和其他工業應用的領域中，蒸氣輸送設備和方法被用於產生蒸氣相化學試劑，蒸氣相化學試劑用於後續蒸氣-利用製程。在半導體製造領域中的這些製程包含離子佈植、化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)和大量其它的單元操作。
在這些應用中，多種前驅物材料被利用為從它們的初始的液態或固態形式而揮發，以產生用於隨後蒸氣-利用製程的蒸氣。通常選擇在它們的初始液態或固態形式中及蒸氣相中係穩定的前驅物材料，因為它們易於蒸氣化，它們產生的蒸氣壓力，它們的運輸性質，和它們的最 終使用性質(例如，在CVD和ALD應用中之沉積速率，覆蓋的適配性、與基板材料的相容性等)和特點(諸如在離子佈植應用中之可游離性、產生的離子化產品之原子質量單位的分離性、電子束電流等)。
在許多情況下，前驅物材料除了為了所需的蒸氣-利用製程而滿足可應用的適用性標準，且作為具有低蒸氣壓力的固態來源材料而存在。例子包含銻、銦和鎵的許多前驅物材料。作為蒸氣壓力的結果，此些材料需要有效的固態蒸發器和蒸氣輸送系統。本領域已經為了此些材料發展了許多的固態輸送蒸發器系統，包含具有用於固態前驅物材料的支撐表面在其中的蒸發器；具有多孔體的蒸發器，多孔體包含在蒸發器容器中並提供用以保留固態前驅物材料於其中的多孔性；及包含固態前驅物材料之其他蒸發器，其中在蒸發器容器中之固態前驅物材料被加熱至引起前驅物材料揮發之溫度，以提供從蒸發器容器被排出至流動線路之產生的前驅物蒸氣，用以傳送至蒸氣-利用製程工具。固態前驅物材料損失的加熱可通過各種方式的熱傳送，包含傳導式的熱傳送，對流式的熱傳送，輻射式的熱傳送，電阻式加熱，感應式加熱，微波式加熱等來進行。
此技術繼續尋求用於固態來源輸送應用之改良的蒸發器封裝。
本揭露書關於固態來源材料蒸氣化和蒸氣輸送，且具體而言關於用於蒸氣化固態來源材料，以產生在蒸氣-利用設備和製程中使用的相應的蒸氣之設備和方法。
在一個態樣中，本揭露書關於一種供應固態來源前驅物之前驅物蒸氣至製程工具的方法，製程工具係配置成利用前驅物蒸氣，該方法包括以下步驟：加熱含有固態來源前驅物之蒸發器容器，以產生前驅物蒸氣；從蒸發器容器排出前驅物蒸氣；及輸送所排出的前驅物蒸氣到製程工具，其中至少一個設定點壓力調節器係設置在蒸發器容器內側中，用以控制從蒸發器容器排出的前驅物蒸氣，設定點壓力調節器經配置以允許在設定點壓力從蒸發器容器的蒸氣排出，設定點壓力係響應在設定點壓力調節器的設定點壓力之下的下游壓力。
在另一個態樣中，本揭露書關於一種固態來源蒸氣輸送封裝，包括蒸發器容器，蒸發器容器含有固態來源材料並經配置為被加熱以揮發固態來源材料，以產生用於從蒸發器容器排出的蒸氣；及至少一個設定點壓力調節器，係設置在蒸發器容器內側中，用以控制從蒸發器容器中排出的蒸氣，設定點壓力調節器經配置以允許在設定點壓力從蒸發器容器的蒸氣排出，設定點壓力係響應在設定點壓力調節器的設定點壓力之下的下游壓力，以從而抑制氣體回流至蒸發器容器中。
本揭露書的其它態樣，特徵和實施例將從隨後的實施方式和附隨的申請專利範圍而更完全地顯而易見。
10‧‧‧製程系統
100‧‧‧固態來源蒸氣輸送封裝
102‧‧‧容器
104‧‧‧內部容積
108‧‧‧閥頭組件
118‧‧‧入口埠/入口
124‧‧‧蒸氣排出埠
126‧‧‧閥致動器
130‧‧‧閥頭本體
132‧‧‧螺紋圓柱形部分
134‧‧‧載氣流動通道
136‧‧‧排出管
138‧‧‧壓力調節器
140‧‧‧入口管
142‧‧‧延伸管
144‧‧‧顆粒過濾器
150‧‧‧壓力調節器組件
160‧‧‧載氣饋送管線
162‧‧‧載氣源
164‧‧‧連接構件
166‧‧‧蒸氣輸送管線
170‧‧‧離子佈植系統
172‧‧‧離子源腔室
174‧‧‧離子束
176‧‧‧佈植單元
180‧‧‧固態來源材料支撐板/固態來源支撐板
182‧‧‧管狀突出部
184‧‧‧固態來源材料
186‧‧‧固態來源材料支撐板/固態來源支撐板
188‧‧‧固態來源材料支撐板/固態來源支撐板
190‧‧‧固態來源材料支撐板/固態來源支撐板
第1圖係依據本揭露書之示例性的實施方式包含固態來源蒸氣輸送封裝的製程系統的概要示意圖，固態來源蒸氣輸送封裝經配置以供應前驅物蒸氣至離子佈植系統。
第2圖係顯示第1圖之實施例的固態來源蒸氣輸送封裝的部件和內部結構之部分剖面正視圖的概要表示。
本揭露書關於一種固態來源蒸氣輸送設備和方法，用於產生用於蒸氣-利用製程的蒸氣，包含從低蒸氣壓力的固體產生蒸氣。
本揭露書在一個態樣中關於一種供應固態來源前驅物的前驅物蒸氣至製程工具的方法，製程工具經配置以利用前驅物蒸氣，該方法包括以下步驟：加熱含有固態來源前驅物(如銻、銦或鎵前驅物)之蒸發器容器，以產生前驅物蒸氣；從蒸發器容器排出前驅物蒸氣；及輸送所排出的前驅物蒸氣到製程工具，其中至少一個設定點壓力調節器係設置在蒸發器容器內側中，用以控制從蒸發器容器排出的前驅物蒸氣，設定點壓力調節器經配置以允許在設定點壓力從蒸發器容器的蒸氣排出，設定點壓力係響應在設定點壓力調節器的設定點壓力之下的下游壓力。
藉由此內側設置的壓力調節器配置，蒸發器容器係免受因來自下游蒸氣傳送流動線路之蒸氣的回流之不利影響，諸如可能因在加熱下游流動線路中的熱波動而發生的不利影響，其中需要加熱下游流動線路以防止在此線路中的蒸氣凝結，或諸如可能因在製程條件中的其他變數而發生的不利影響。內側設置的壓力調節器運作以維持來自在下游流動線路的蒸發器容器中之所分配的蒸氣的設定點壓力，並從而防止可能在下游製程工具中產生流動異常或製程干擾之體積流率，壓力和溫度變化。
雖然此後之本揭露書係關於示例性地應用單一內側設置的壓力調節器之固態來源蒸發器器封裝，應將理解多個串聯配置的調節器可被設置在此些封裝的蒸發器容器的內部體積中，以可控制地調整來自蒸發器封裝之蒸氣的分配。故於此提及壓力調節器時將被理解成包含提供多個串聯配置的調節器的此些配置。
設定點壓力調節器就其設定點而言可具有用以分配從固態來源材料衍生的蒸氣之任何合適的設定點壓力。在串聯配置的調節器陣列中，串聯的調節器之個別的設定點可以被設置成將蒸氣的壓力「減少」至在串連中之最終調節器的設定點壓力，作為額外的安全措施，特別地當紙具有毒性或除此之外的有害性質。
大體而言，設定點壓力調節器可以是可有效地、可控地允許蒸氣在壓力設定點通過之任何合適的類型，壓力設定點係響應於低於(例如)在蒸發器容器之流動 線路或周遭環境中之設定點之下的下游壓力。調節器可以(例如)包括耦接有提升閥之壓力響應波紋管組件，其中波紋管組件響應於下游壓力而膨脹或收縮，以當在調節器的出口處的下游壓力係高於設定點壓力時關閉提升閥，並當在調節器的出口的下游壓力係低於此設定點壓力時打開提升閥。
調節器可具有固定設置的設定點壓力，其中設定點壓力的水平對於調節器裝置而言是固定，或調節器可具有可變的設定點壓力特質，允許選擇性地調整設定點壓力水平，以相對於分配壓力數值而適應不同的應用。
儘管是內側設置的，調節器可經配置使得其設定點壓力可從在容器外之位置遠端地重調，例如藉由調節器的無線信號傳輸配置，其中調節器響應於來自無線控制器之控制信號。
替代地，設定點調節器可相對於其設定點壓力水平，藉由穿過蒸發器容器的閥頭組件之合適的信號傳輸連結，或機械連結而可調節的，使得設定點設定可藉由容器的操作者(諸如人類操作者)，或可編程地佈置以調整調節器設定點的自動控制系統而外側地調整。
在上述的方法中，蒸發器容器係合適地藉由流動線路而與製程工具耦接，流動線路經配置用以輸送所排出的前驅物蒸氣至製程工具。此方法還可以包括加熱流動線路至防止在其中的前驅物蒸氣冷凝的溫度。
蒸發器容器可具有任何合適的類型，並且可以(例如)在容器的內側容積中包括延伸區域的熱傳送表面，諸如可藉由鰭片、托盤，舌片、突出部，凸出部，指部或其他延伸區域結構。此些延伸區域的熱傳送表面可經配置使得它們係與待被蒸發的固態來源材料接觸，例如，作為一或多個支撐構件，以支撐在其上的固態來源材料。在蒸發器容器之內側容積中的延伸區域的熱傳送表面也可包括在內部容積中之多孔體，諸如金屬泡沫、燒結基質、篩網結構或其它多孔元件或多個元件，以其多孔性支撐固態來源前驅物。
固態來源前驅物材料本身可具有任何合適的類型，並且可為任何合適的形式(例如，粉末，顆粒或微粒形式)，或可為包括硬皮之硬皮層的形式，硬皮層將在一或多個支撐構件上之下方的材料維持於定位，一或多個支撐構件作為固態來源前驅物於其上之一層。此硬皮層可在層的主體內側容積中具有微粒結塊的形態，使得硬皮和內側主體容積相對於彼此在形態上具有不同的性質。
在特定實施例中的固態來源材料可以包括同位素富集的來源材料，同位素富集的來源材料在固態來源材料之元素組成的至少一個同位素中之同位素係富集的並高於天然含量。因此，同位素富集的固態來源材料可以利用諸如同位素富集銻，銦或鎵前驅物化合物。
在上述的方法中，蒸發器容器可被配置有輔助監測和控制部件，以控制來自蒸發器容器之所排出的前驅 物蒸氣輸送至製程工具的流率。舉例來說，所排出的前驅體蒸氣的流率可藉由將從蒸發器容器所排出的前驅物蒸氣在其進入製程工具之前，流過質流控制器而控制。
上述方法可以實施成包含判定輸出所排出的前驅物蒸氣至製程工具的終點。此終點判定可包含任何合適的終點判定技術，如，包括一或多個操作以下操作之終點判定技術：監測溫度，以辨識何時所需用以達成預定的前驅物蒸氣流率之溫度係超過的，作為終點條件；監測蒸發器容器的重量，以辨識達到蒸發器容器之消耗條件作為終點條件；加總從蒸發器容器中隨時間排出的前驅物蒸氣的流量，以辨識達到蒸發器容器之消耗條件作為終點條件；當製程工具包括離子束佈植工具時，監測電子束電流，以辨識下降的電子束電流作為終點條件；及監測從蒸發器容器輸送前驅物蒸氣至製程工具的流動線路中的壓降，以辨識預定的壓降作為終點條件。
本揭露書的方法可包含提供含有任何合適的固態來源前驅物材料的蒸發器封裝的方法。此材料可包含多成分混合物的固態材料，具有緊密關聯的蒸氣化或昇華溫度，或者它們一起包括共晶的或其它的多成分組合物。本揭露書的方法和蒸發器封裝係大體可用於蒸氣化和輸送固態來源材料，但可以特別有效地使用於具有低的蒸氣壓力特質之固體，諸如固態來源銻前驅物、固態來源鎵前驅物和固態來源銦前驅物。
本揭露書在另一態樣中關於固態來源蒸氣輸送封裝，包括蒸發器容器，蒸發器容器含有固態來源材料並經配置為被加熱以揮發固態來源材料，以產生用於從蒸發器容器排出的蒸氣；及至少一個設定點壓力調節器，係設置在蒸發器容器內側中，用以控制從蒸發器容器中排出的蒸氣，此設定點壓力調節器經配置以允許在設定點壓力從蒸發器容器的蒸氣排出，設定點壓力係響應在設定點壓力調節器的設定點壓力之下的下游壓力。
如前面討論中所提到的，包含在蒸發器容器中的固態來源材料可具有任何合適的類型，並且可(例如)包括選自由以下群組所組成的材料：銻固態來源材料、銦固態來源材料及鎵固態來源材料。容器可經設置成如在前面的討論中關於本揭露書之方法學，在其內側容積中具有延伸區域的熱傳送表面，具有多孔體或其他支撐構件用以支撐並保持待被蒸氣化的固態來源材料。如所述的，包含在蒸發器容器中的固態來源材料可在其至少一個元素中之同位素係富集的並高於天然含量，諸如可受惠於此同位素富集的固態來源材料之離子佈植或其他單元操作的應用係有利的。
現在參照圖式，第1圖係依據本揭露書之示例性實施例的包含固態來源蒸氣輸送封裝100之製程系統10的概要表示，固態來源蒸氣輸送封裝100經配置以供應前驅物蒸氣至離子佈植系統170。
固態來源蒸氣輸送封裝100包含容器102及閥頭組件108，容器102含有待被蒸發的固態來源材料，閥頭組件108包含閥頭本體130，閥頭本體含有流量控制閥(圖未示)，流量控制閥係藉由耦接至閥頭本體之閥致動器126而致動，以在完全關閉和完全開啟位置之間轉換流量控制閥的閥元件。閥頭本體包含載氣入口埠118，藉由連接構件而耦接至載氣饋送管線160，載氣饋送管線160從載氣源162接收載氣。
閥頭本體130進一步包含蒸氣排出埠124，藉由連接構件164而耦接至蒸氣輸送管線166，以將從固態源衍生的蒸氣傳輸至離子佈植系統170。如圖所示，離子佈植系統170包括離子源腔室172，其中藉由蒸氣輸送管線166而供應的蒸氣被離子化以形成用於離子佈植之離子化的摻雜物種。離子源腔室包含離子束形成部件，離子束形成部件產生被傳送至佈植單元176的離子束174，用以在基板中佈植離子束的摻雜物質。基板可具有任何合適的類型，並且可以(例如)包括用於製造半導體產品、平板顯示器或太陽能面板的基板結構。
第2圖係顯示第1圖之實施例的固態來源蒸氣輸送封裝100的部件和內部結構之部分剖面正視圖的概要表示，其中所有相應的部分和部件都以相同的元件符號而相應地編號。
如第2圖中所示，固態來源蒸氣輸送封裝100包括界定封閉內部容積104的容器102。容器在其上端包 含中央開口，藉由在開口處和在閥頭本體130的相應螺紋圓柱形部分132的外表面上的互補螺紋，在中央開口中螺紋接合有閥頭組件108。如在前述討論中所指出的，閥頭組件包括閥致動器126，其可包括氣動致動器或替代地可包括手動或其他自動致動器。閥頭本體130包括載氣入口埠118和蒸氣排放埠124。
閥頭組件包括載氣流動通道134，載氣流動通道134與載氣入口埠118連通，並在內部容積104中垂直向下延伸至鄰近容器102之底部的下端。在螺紋圓柱形部分132的下端處的閥頭本體130係耦接到壓力調節器組件150的排出管136。壓力調節組件150包括壓力調節器138、在其下游端防漏接合至壓力調節器138的排出管136及在其上游端防漏接合至壓力調節器138的入口管140。入口管140在其下端係接合到具有凸緣在其下端的延伸管142，延伸管142被固定至顆粒過濾器144。顆粒過濾器144用以在其分配操作期間移除來自蒸氣的顆粒，蒸氣係由容器所排出。
當在蒸氣排出埠124的壓力係低於壓力調節器138的設定點之下時，及當在閥頭本體130中的閥係藉由致動器126的操作而開啟時，閥頭調節器組件因而提供用於排出來自固態來源容器的氣體的氣體流動路徑。
容器102在其內部容積104已安裝有一系列的固態來源材料支撐板180、186、188和190，這些固態來源材料支撐板180、186、188和190之每一者具有 等於容器102之內徑的外徑，這些固態來源材料支撐板180、186、188和190之每一者係(例如)藉由焊接、硬焊、軟焊，黏性接合，或替代地藉由合適的機械緊固件(圖未示)，以其傳導熱傳送關係而緊固至容器的內壁上，使得容器102的加熱將實現個別固態原料支撐板的對應加熱。替代地，固態來源材料支撐板可被可移除地安裝在容器中，且可(例如)包括安放在容器的壁處之周向延伸支撐環或舌片上之托盤。
在所示實施例中，每個固態來源材料支撐板係設置有通過個別的板而延伸的管狀突出部182的陣列，經由入口埠118和載氣流動通道134而引入容器之載氣通過管狀突出部182的陣列而向上流動通過管狀突出部182的個別的孔開口，並接觸藉由蒸氣化固態來源材料184而產生之蒸氣，固態來源材料184被支撐於個別的板之每一者上。固態來源材料184可具有顆粒、微粒或其他細分的性質的形式，且可形成在個別的板之支撐表面上的一層。如先前所討論的，固態來源材料可形成在個別的板之每一者上的一層，諸如具有外側硬皮之一層，以在傳輸和安裝固態來源蒸氣輸送封裝的期間保持固態來源材料於定位。
在第2圖之實施例中，在連續板上之管狀突出部182係彼此側向地錯位，以最大化向上流動通過容器之內部容積的載氣之流動路徑，以最大化來自在個別的板上之固態來源材料所產生之蒸氣的輸送。
替代地，個別的板可設置有其它流動通道，用以使載氣通過其他流動通道，以輸送來自在個別的板上之固態來源材料所產生之蒸氣。舉例來說，板可以形成有多孔或多孔性，載氣及所產生的蒸汽可以流動通過該多孔或多孔性，例如，板可以由燒結基質材料(諸如金屬或陶瓷，或有孔的篩網，或其他透氣材料)所形成。
將理解為取代載氣入口118，容器可替代地經配置以無需載氣之通道通過其中而操作，使得由固態來源物質揮發所產生的蒸氣被完全地集中在固態來源材料蒸氣中。
將進一步理解為取代在示例的實施例中所示的多個板，固態來源蒸氣輸送封裝可在容器102的內部容積104中建構有一或多個多孔體或其他支撐結構和媒體。
在第2圖中所示的固態來源蒸氣輸送封裝的操作中，在入口埠118處引入的載氣流動通過載氣流動通道134並在載氣流動通道之開口端之後的容器的下部中排出，其後徑向向外及向上流動並連續地通過個別的固態來源支撐板190、188、186和180之管狀突出部182，且在此通過期間，將來自板上之固態來源材料184所產生的蒸氣藉由同時加熱容器而輸送蒸氣，使得在封裝的分配操作中，熱藉由容器而傳輸至固態來源材料184並被蒸發。
所產生的載氣/固態來源蒸氣混合物接著流過顆粒過濾器144、延伸管142、入口管140、壓力調節器 138、排出管136、閥頭本體130(其中閥係打開的)並流至蒸氣排出埠124和下游流動線路(耦接至蒸氣排出埠124，雖然未顯示在第2圖之圖式中，參見第1圖)。
在此配置中，壓力調節器138操作以允許在由壓力調節器的設定點所決定的壓力分配從固態來源材料衍生的蒸氣。由於調節器關閉於當在其出口之壓力高於調節器的設定點時，調節器用於防止從流動線路所分配的蒸氣回流到容器中，此回流係在先前技術之許多蒸發器容器的操作中的實質問題。同時，設定點壓力調節器確保在設定點壓力的分配，進一步用於避免在下游流動線路和在接收蒸氣之進一步下游製程工具中之蒸氣壓力和溫度的非所欲的擾動和波動。故，本揭露書之固態來源輸送封裝達到本領域的重大發展，並且可執行安全、可靠及有效的固態來源材料蒸氣的分配，特別是在低蒸氣壓力固態來源材料的例子中(諸如於上所示例性地提及的那些例子)。
雖然本揭露書已在此參照特定態樣、特徵和示例性實施例而提出，將可理解本揭露書的實用性並不因此受限，而是延伸出並包含許多其它變化、修改和替代實施例，如將由那些在本揭露書之領域中具有通常知識者基於於此的實施方式而自己想到者。相應地，如在以下所要求保護的揭露書係意欲在其精神和範圍內被廣義地理解和解釋為包含所有此些變化，修改和替代實施例。
10‧‧‧製程系統
100‧‧‧固態來源蒸氣輸送封裝
102‧‧‧容器
108‧‧‧閥頭組件
118‧‧‧載氣入口埠
124‧‧‧蒸氣排出埠
126‧‧‧閥致動器
130‧‧‧閥頭本體
160‧‧‧載氣饋送管線
162‧‧‧載氣源
164‧‧‧連接構件
166‧‧‧蒸氣輸送管線
170‧‧‧離子佈植系統
172‧‧‧離子源腔室
174‧‧‧離子束
176‧‧‧佈植單元

Claims (22)

  1. 一種供應一固態來源前驅物之前驅物蒸氣至一製程工具的方法，該製程工具係配置成利用該前驅物蒸氣，該方法包括以下步驟：加熱含有該固態來源前驅物之一蒸發器容器，以產生該前驅物蒸氣；從該蒸發器容器排出該前驅物蒸氣；及輸送所排出的該前驅物蒸氣到該製程工具，其中一設定點壓力調節器係設置在該蒸發器容器內側中，用以控制從該蒸發器容器排出的前驅物蒸氣，該設定點壓力調節器經配置以允許在一設定點壓力從該蒸發器容器的蒸氣排出，該設定點壓力係響應在該設定點壓力調節器的該設定點壓力之下的一下游壓力。
  2. 如請求項1所述之方法，其中該蒸發器容器係藉由流動線路而耦接有該製程工具，該流動線路係配置用以輸送所排出的該前驅物蒸氣至該製程工具，該方法進一步包括以下步驟：加熱該流動線路至防止於其中之該前驅物蒸氣冷凝的溫度。
  3. 如請求項1所述之方法，其中該蒸發器容器在該容器之一內側容積中包括延伸區域熱傳送表面。
  4. 如請求項1所述之方法，其中該蒸發器容器在該容器之一內側容積中包括一多孔體，該多孔體以 其多孔性支撐該固態來源前驅物。
  5. 如請求項1所述之方法，其中一或多個支撐構件係設置在該蒸發器容器之一內側容積中，該一或多個支撐構件支撐該固態來源前驅物於其上。
  6. 如請求項5所述之方法，其中該固態來源前驅物係支撐於該一或多個支撐構件上，該一或多個支撐構件作為該固態來源前驅物於其上之一層。
  7. 如請求項1所述之方法，進一步包括以下步驟：藉由將從該蒸發器容器排出的該前驅物蒸氣在其進入該製程工具之前流動通過一質流控制器而控制所排出之該前驅物蒸氣從該蒸發器容器輸送至該製程工具的流率。
  8. 如請求項1所述之方法，進一步包括以下步驟：藉由一終點判定技術而判定輸出所排出的該前驅物蒸氣至該製程工具的終點，該終點判定技術包括以下之一或多者的操作：監測溫度，以辨識何時所需用以達成一預定的前驅物蒸氣流率之溫度係超過的，作為一終點條件；監測該蒸發器的重量，以辨識達到該蒸發器容器之一消耗條件作為一終點條件；加總從該蒸發器容器中隨時間排出的前驅物蒸氣的流量，以辨識達到蒸發器容器之一消耗條件作為一終 點條件；當該製程工具包括一離子束佈植工具時，監測電子束電流，以辨識下降的電子束電流作為一終點條件；及監測從該蒸發器容器輸送前驅物蒸氣至該製程工具的該流動線路中的壓降，以辨識一預定的壓降作為一終點條件。
  9. 如請求項1所述之方法，其中該固態來源前驅物包括一固態來源銻前驅物。
  10. 如請求項1所述之方法，其中該固態來源前驅物包括一固態來源鎵前驅物。
  11. 如請求項1所述之方法，其中該固態來源前驅物包括一固態來源銦前驅物。
  12. 一種固態來源蒸氣輸送封裝，包括一蒸發器容器，該蒸發器容器含有固態來源材料並經配置為被加熱以揮發該固態來源材料，以產生用於從該蒸發器容器排出的蒸氣；及一設定點壓力調節器，係設置在該蒸發器容器內側中，用以控制從該蒸發器容器中排出的蒸氣，該設定點壓力調節器經配置以允許在一設定點壓力從該蒸發器容器的蒸氣排出，該設定點壓力係響應在該設定點壓力調節器的該設定點壓力之下的一下游壓力。
  13. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中包含於該蒸發器容器中之該固態來源材料包括選自以下群組所組成的材料：銻固態來源材料、銦固態來源材料及鎵固態來源材料。
  14. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該蒸發器容器在該容器之一內側容積中包括延伸區域熱傳送表面。
  15. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該蒸發器容器在該容器之一內側容積中包括一多孔體，該多孔體以其多孔性支撐該固態來源材料。
  16. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中一或多個支撐構件係設置在該蒸發器容器之一內側容積中，該一或多個支撐構件支撐該固態來源材料於其上。
  17. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該固態來源材料係支撐於該一或多個支撐構件上，該一或多個支撐構件作為該固態來源前驅物於其上之一層。
  18. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該固態來源材料包括一銻固態來源材料。
  19. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該固態來源材料包括一銦固態來源材料。
  20. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該固態來源材料包括一鎵固態來源材料。
  21. 如請求項1所述之方法，其中該固態來源前驅物包括同位素富集的固態來源前驅物。
  22. 如請求項12所述之固態來源蒸氣輸送封裝，其中該固態來源材料包括同位素富集的固態來源材料。
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