KR101152422B1 - 웨이퍼 가열 장치 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼의 열처리 온도를 동일하고 안정적으로 유지할 수 있는 기술을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치는, 일단에 가열된 공기가 공급되고, 다른 일단이 웨이퍼 가열 챔버 내부에 연결되어 가열된 공기를 웨이퍼 가열 챔버 내부에 공급하는 공기 공급 라인; 공기 공급 라인에서 연장되어 있고, 웨이퍼를 지지하는 척의 내부에 형성되어 척을 가열된 공기를 이용하여 가열하는 웨이퍼 가열 라인; 웨이퍼 가열 라인으로부터 연장된 공기 배출 라인; 및 공기 배출 라인과 연결되어 있고 가열된 공기를 이동시키는 배출 펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 가열 장치{APPARATUS FOR HEATING WAFER}
본 발명은 웨이퍼 처리를 위하여 웨이퍼를 열처리, 증착 처리 등을 하는 웨이퍼 처리 장치에 있어서 웨이퍼의 열처리를 위하여 웨이퍼를 가열하는 가열 장치에 관한 기술이다. 더욱 자세하게는, 웨이퍼를 가열 시 복수의 웨이퍼를 고르게 가열하여 열처리의 생산성을 높이고 수율을 향상시키는 기술에 관한 것이다.
반도체 기술의 발전이 가속화되면서, 반도체 생산에 필요한 웨이퍼를 처리하는 기술에 대한 연구가 발전하고 있다. 웨이퍼는, 반도체 제조에 사용되는 재료로서, 실리콘 웨이퍼는 다양한 처리 공정을 통해 반도체 제조에 사용될 수 있는 소재로 공급되게 된다.
실리콘 웨이퍼는 실리콘 반도체의 소재의 종류 결정을 원주상에 성장시킨 주괴를 얇게 깎아낸 원 모양의 판이다. 실리콘 웨이퍼를 결정으로 육성하는 과정에서는 산소가 결합하여 실리콘 웨이퍼상에 불순물을 통해 제어된 저항값이 원하는 저항값과 어긋나는 현상이 발생할 수 있다.
따라서, 산소를 웨이퍼로부터 분리하여 양질의 웨이퍼를 생산하기 위하여 열처리 공정이 필요하다. 또한, 열처리 공정은 웨이퍼 가공응력의 완화나 웨이퍼 결정의 결함을 감소하기 위하여 필요하기도 하다.
웨이퍼를 열처리하는 공정에서 중요한 이슈는 웨이퍼를 가열하는 장치에 있어서 하나의 처리실 안에 있는 웨이퍼를 얼마나 고르게 가열하는지에 대한 것이다. 즉, 처리실 내부에서 하나의 웨이퍼씩만을 가열하여 열처리할 수 있는 경우 웨이퍼 열처리의 효율성이 매우 떨어지게 되어 있다.
이에 따라서 웨이퍼를 복수개식 처리실에 적층시키고, 실린더를 가열하여 웨이퍼를 열처리하게 된다. 종래의 웨이퍼 가열 장치는 단순히 실린더 내부에 히터를 설치하여 실린더 내부의 웨이퍼를 직접 가열하게 된다. 이 경우, 웨이퍼 별로 가열되는 온도가 달라질 수 있고, 웨이퍼 하나에 있어서도 웨이퍼의 부분마다 다른 온도로 가열될 수 있어, 웨이퍼 열처리의 수율이 저하되는 문제점이 지적되어 왔다.
이에 따라서, 이때 실린더를 고르게 가열하여 웨이퍼 역시 고르게 가열할 수 있도록 하는 기술에 대한 필요성이 증가하고 있다. 동시에, 하나의 웨이퍼에 있어서도 웨이퍼의 부분마다 다른 온도가 아닌 하나의 웨이퍼의 각 부분이 고르게 가열되고, 웨이퍼에 직접 열을 전달하여 발생할 수 있는 웨이퍼의 손실을 방지하여, 웨이퍼 열처리 수율 및 생산성을 높이는 기술에 대한 필요성이 증가하고 있다.
본 발명은 복수의 웨이퍼를 동시에 고른 가열 온도로 열처리할 수 있는 웨이퍼 가열 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. 또한, 웨이퍼 하나에 있어서도 각 부분을 고르게 가열하는 한편, 웨이퍼에 직접 열을 전달하는 데 따라 발생할 수 있는 웨이퍼의 손실율을 감소하는 기술을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 워이퍼 가열 장치는, 일단에 가열된 공기가 공급되고, 다른 일단이 웨이퍼 가열 챔버 내부에 연결되어 상기 가열된 공기를 상기 웨이퍼 가열 챔버 내부에 공급하는 공기 공급 라인; 상기 공기 공급 라인에서 연장되어 있고, 웨이퍼를 지지하는 척의 내부에 형성되어 척을 상기 가열된 공기를 이용하여 가열하는 웨이퍼 가열 라인; 상기 웨이퍼 가열 라인으로부터 연장된 공기 배출 라인; 및 상기 공기 배출 라인과 연결되어 있고 상기 가열된 공기를 순환시키는 배출 펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
웨이퍼 가열 장치는, 상기 공기 배출 라인과 상기 배출 펌프의 사이에 설치되어 있고, 상기 공기 배출 라인으로부터 배출되는 공기를 상온으로 냉각시켜 배출 펌프에 공급하는 열교환기를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 공기 공급 라인의 상기 일단에 설치되어 있고, 외부의 공기를 가열하는 히터에 의해 가열된 공기를 임시 저장하는 가열 공기 저장소를 더 포함할 수 있다.
상기 공기 공급 라인은 복수개 존재하며, 상기 웨이퍼 가열 라인은, 상기 공기 공급 라인마다 다수개씩 병렬로 연장되어 있다. 이때, 복수개의 상기 공기 공급 라인마다 외부의 공기를 가열하는 히터 및 히터에 의해 가열된 공기를 분배하기 위한 분배기가 설치되어 있을 수 있다. 웨이퍼 가열 라인은, 상기 척의 내부에 소용돌이 형상으로 형성되어 있다.
본 발명의 다른 예에서 웨이퍼 가열 라인은, 하나의 상기 공기 공급 라인에 일단이 연결되어 있고, 복수의 상기 척의 내부를 통과한 뒤 다른 일단이 상기 공기 배출 라인에 연결되어 있다. 웨이퍼 가열 라인은, 상기 척의 내부에 소용돌이 형상으로 균일하게 형성되어 있을 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시 예에서 웨이퍼 가열 장치는, 척의 온도를 측정하는 온도 센서와, 측정된 상기 척의 온도에 따라서 상기 배출 펌프의 공기 배출 속도 또는 상기 히터의 가열 온도를 제어하는 신호를 발생하는 제어부를 더 포함한다.
제어부는, 복수의 상기 척의 온도가 동일하도록 상기 공기 배출 속도 또는 상기 가열 온도를 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼를 직접 가열하지 않고 웨이퍼를 지지하는 척을 가열하면서 웨이퍼의 온도를 높이기 때문에, 웨이퍼의 온도 손실율을 줄일 수 있다. 또한 척 내부에 가열된 공기를 흐르게 하기 때문에 복수의 웨이퍼 및 웨이퍼의 각 부분을 균일하게 가열할 수 있어 복수의 웨이퍼에 대한 동일한 품질의 열처리가 가능하여, 생산성 및 수율의 향상 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치의 구성도이다.
도 3은 히터의 구성 예를 도시한 것이다.
도 4는 웨이퍼 가열 라인의 형상 예를 도시한 것이다.
도 5는 웨이퍼 가열 라인이 척에 연결된 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치의 구성도이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치에 대하여 설명하기로 한다. 이하의 설명에서 동일한 식별 번호는 동일한 구성을 의미한다. 또한 각 도면의 설명에 있어서, 설명이 중복되는 특징에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다. 또한 각 도면은 그 설명을 위해 각 구성이 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치는, 공기 공급 라인(400), 웨이퍼 가열 라인(500), 공기 배출 라인(600) 및 배출 펌프(800)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 공기 공급 라인은 가열 공기 분배기(200)를 통해 히터(100)와 연결되어 있으며, 공기 배출 라인(600)과 배출 펌프(800) 사이에는 열 교환기(700)가 설치되어 있을 수 있다.
히터(100)는 외부의 공기를 흡입하여 가열하는 기능을 수행한다. 히터(100)에는 따라서 공기를 가열하는 가열 수단이 포함되어 있을 것이다. 가열 공기 분배기(200)는 히터(100)에 의해 가열된 공기를 분배하기 위해 있는데, 배출 펌프(800)의 동작에 의해 가열 공기 분배기 (200)에서 가열된 공기가 배출 펌프(800)를 향해 이동하기 시작한다.
히터(100)와 가열 공기 분배기(200)는 별개의 구성으로 구분되고 있으나, 그 종류에 따라서 히터(100)와 가열 공기 저장소(200)가 일체의 구성을 가질 수 있을 것이다.
가열 공기 분배기(200)에는 공기 공급 라인(400)이 연결되어 있다. 공기 공급 라인(400)의 일단은 가열 공기 분배기(200)로부터 가열된 공기가 공급되며, 다른 일단은 웨이퍼 가열용 챔버(300) 내부에 연결되어 있다. 이에 따라서, 가열된 공기는 가열 공기 분배기(200)에서 공기 공급 라인(400)을 통해 챔버(300) 내부의 척으로 공급된다.
도 1에서는 하나의 가열 공기 분배기(200)에 다수의 공기 공급 라인(400)이 연결되어 있는 것으로 도시되어 있다. 그러나 각 공기 공급 라인(400)에 연장된 웨이퍼 가열 라인(500)의 온도를 다르게 조절하기 위해, 하나의 공기 공급 라인(400) 마다 복수의 가열 공기 분배기(200)가 연결되어 있을 수 있다. 역시 복수의 가열 공기 분배기(200) 각각에는 복수의 히터(100)들이 각각 연결되어 있을 수 있다.
공기 공급 라인(400)의 일단 중 챔버(300) 내부에 진입되는 일단에는, 웨이퍼 가열 라인(500)이 형성되어 있다. 본 발명의 제1 실시 예에서 웨이퍼 가열 라인(500)은 도 1에 도시된 바와 같이 공기 공급 라인(400)으로부터 병렬로 연장된 라인을 의미한다. 웨이퍼 가열 라인(500)은, 공기 공급 라인(400)이 복수개 존재하는 경우에는, 각 공기 공급 라인(400) 마다 병렬로 다수개씩 연장되어 있을 수 있다.
웨이퍼 가열 라인(500)이 공기 공급 라인(400) 마다 병렬로 연장되어 형성되어 있기 때문에, 각 척에 공급되기 까지의 공기의 흐름 거리가 동일할 것이다. 이에 따라서, 공기의 흐름에 따라 소모되는 열량이 같을 것이다. 또한, 공기 공급 라인(400)과 각 척 내부의 웨이퍼 가열 라인(500) 사이에 다른 척 내부의 웨이퍼 가열 라인(500)이 존재하지 않을 것이다. 결과적으로, 공기 공급 라인(400)마다 웨이퍼 가열 라인(500)이 다수개씩 병렬로 연장되어 형성되는 경우에, 척에 공급되는 열량이 동일할 것이며, 이에 따라서 웨이퍼의 가열 온도 역시 동일하게 될 것이다.
각 웨이퍼 가열 라인(500)들은 척의 내부를 가열하기 위해 척의 내부에 형성되어 있을 수 있다. 즉, 웨이퍼 가열 라인(500)은 공기 공급 라인(400)과 일단이 연결되고, 척의 내부에 가열된 공기를 흐르도록 형성되어 있으며, 공기 배출 라인(600)과 다른 일단이 연결된 라인을 의미할 수 있다.
공기 배출 라인(600)은 모든 웨이퍼 가열 라인(500)으로부터 연장되어 있으며, 웨이퍼 가열 라인(500)이 복수개 존재할 경우 웨이퍼 가열 라인(500)을 서로 연결하여, 웨이퍼 가열 라인(500)으로부터 배출되는 공기를 열교환기(700)를 통해 배출 펌프(800)로 배출하는 기능을 수행하는 공기 흐름 라인을 의미한다.
배출 펌프(800)는 실질적으로 히터(100), 가열 공기 분배기(200), 공기 공급 라인(400), 웨이퍼 가열 라인(500), 공기 배출 라인(600)을 통해 흐르는 가열된 공기의 이동력을 생성하는 기능을 수행한다. 즉, 배출 펌프(800)에 포함된 모터 등의 구동에 의해, 배출 펌프(800)는 공기를 빨아들여 배출하는 압력을 발생한다. 이 압력에 의해 가열 공기 분배기(200)로부터 공기가 이동되기 시작하는 것이다.
배출 펌프(800)에 의해 흡입된 공기는 외부로 방출되거나, 다시 히터(100)로 공급되어 가열되는 데 사용될 수 있다.
한편, 배출 펌프(800)에 가열된 공기가 직접 유입되면, 뜨거운 공기에 의해 배출 펌프의 부품의 손상 가능성이 높아진다. 이에 따라서, 공기 배출 라인(600)을 통해 빠져 나온 가열된 공기를 배출 펌프(800)에 유입시키기 전, 가열된 공기를 냉각시키는 열교환기(700)가 설치되어 있을 수 있다.
열 교환기는 공기 배출 라인(600)로부터 배출되는 공기를 상온 등으로 냉각시켜 배출 펌프(800)에 공급하게 된다. 이에 의해, 배출 펌프(800)의 안정적인 이용이 가능해질 것이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치의 구성도이다. 이하의 설명에서 도 1에 대한 설명과 중복되는 부분은 그 설명을 생략하기로 한다.
도 2를 참조하면, 공기 공급 라인(401), 가열 공기 분배기(200) 및 히터(100)가 단일의 구조로 하나가 존재하는 것을 확인할 수 있다. 또한, 공기 공급 라인(401)에서 연장된 웨이퍼 가열 라인(501)과 공기 배출 라인(601) 역시 하나가 존재하는 것을 확인할 수 있다.
즉, 제1 실시 예에서의 가열 구조가 병렬 구조라면, 제2 실시 예에서의 가열 구조는 직렬 구조로 이해될 것이다. 하나의 웨이퍼 가열 라인(501)이 지그 재그 형태로 각 척 내부를 연결하면서 연장됨에 의해, 공기 공급 라인(401)으로부터 가열된 공기가 복수의 척들의 내부를 순차적으로 이동하면서 척을 각각 가열하게 되는 것이다.
이 경우, 도 1에 대한 설명에서 언급한 바와 같이 각 척을 지나면서 열량을 소모하기 때문에 본 발명의 제1 실시 예에서의 구조보다 웨이퍼의 가열 균일성은 감소할 것이다. 그러나, 본 발명의 제2 실시 예는 보다 단순한 구조로, 웨이퍼의 손상을 방지하면서 웨이퍼를 가열할 수 있는 장점이 있을 것이다.
도 3은 히터의 구성 예를 도시한 것이다.
본 발명의 제1 및 제2 실시 예에서, 흡입된 공기를 가열하는 가열 수단을 포함하는 히터(100)는, 외부로부터 공기를 흡입하는 한편, 히터(100)의 내부(120)를 가열하여 흡입된 공기를 소정의 온도로 가열하는 기능을 수행한다. 히터(100)에는 따라서, 공기를 흡입하는 모터 및 흡입구(미도시)를 포함할 수 있을 것이다.
히터(100)는 원통형 또는 다각 기둥의 형상을 가질 수 있을 것이다. 히터(100)의 중앙에는 원통형의 빈 공간(140)이 존재할 수 있다. 빈 공간(140)에는 흡입된 공기를 가열하기 위한 공기 가열통(110)이 설치되어 있을 수 있다. 또한, 공기 가열통(110)에는, 공기 공급 라인(400)과의 연결을 위한 노즐(150)이 형성되어 있을 수 있다.
히터 내부(120)에는 소정의 유체가 채워져 있을 수 있다. 소정의 유체는, 외부로부터 가열되어 공급되는 것으로서, 히터 내부(120)에 공급되어 공기 가열통(110) 내부의 공기의 온도를 상승하는 기능을 수행한다. 유체가 순환되는 방식으로 공기를 가열 시에는, 온도가 감소된 유체를 배출하기 위한 인젝터(130)가 더 포함되어 있을 수 있다.
다른 방법으로는, 히터 내부(120)에 발열성 소자를 직접 설치하고, 전기를 이용하여 발열성 소자에서 열이 발생하도록 가열하여 공기 가열통(110) 내부의 공기를 가열할 수도 있을 것이다. 예를 들어 텅스텐 등의 금속을 히터 내부(120)에 코일 등의 구조로 설치하고 전기를 인가하면, 이에 따라서 금속이 가열되고, 가열된 금속의 열로 공기 가열통(110) 내부의 공기를 가열할 수 있을 것이다.
가열 노즐(150)은 공기 가열통(110)부분의 지름보다 작은 구성을 취하여, 공기 공급 라인(400)으로 가열된 공기가 공급될 시에 공기가 빠르게 공급될 수 있도록 하는 구성을 취할 수 있다. 그러나 이는 배출 펌프(800)의 작동에 의한 공기 이동 흐름을 돕기 위한 구조로서, 이 외에도 다른 구조가 사용될 수 있을 것이다.
도 4는 웨이퍼 가열 라인의 형상 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 하나의 척(310) 내부에 웨이퍼 가열 라인(500)이 소용돌이 라인(510)을 형성하고 있다. 소용돌이 라인(510)은 척(310)의 외주면을 따라 형성되면서 점차 중심과의 거리가 가까워지도록 도 4의 형상과 같이 형성된 형태의 라인을 의미한다.
도 4에서는 소용돌이 라인(510)의 형성에 있어서, 웨이퍼 가열 라인(500) 중 공기 공급 라인(400)에 연결된 부분에서 시작하여 공기 배출 라인(600)에 연결된 부분으로 갈수록 척(310)의 중심으로 라인이 형성되어 있다. 그러나, 이 외에도 공기 공급 라인(400)에 연결된 웨이퍼 가열 라인(500)이 바로 척(310)의 중심을 향하고, 공기 배출 라인(600)에 연결된 부분으로 가면서 척(310)의 외주면을 향하면서 첨자 척(310)의 중심과 멀어지는 형태를 가질 수도 있을 것이다.
도 5는 웨이퍼 가열 라인이 척에 연결된 예를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 웨이퍼 가열 라인(500)은 척(310)의 내부를 통과하면서 척(310)을 가열하게 된다. 척(310) 내부의 웨이퍼 가열 라인(500)의 구조는 도 4에 설명한 바와 같은 예가 실시될 수 있다. 하나의 챔버(300)에는, 복수의 척(310)이 서로 이격되어 적층되어 있을 수 있다. 각 척(310)에는 웨이퍼(320)가 실장되어 열처리 된다.
각각의 척(310)마다 웨이퍼 가열 라인(500)이 통과하는데, 도 5의 실시 예에서는 본 발명의 제1 실시 예에 의한 웨이퍼 가열 라인(500) 구조를 도시하고 있다. 즉, 공기 공급 라인(400)이 복수개 존재하며, 각 공기 공급 라인(400) 마다 웨이퍼 가열 라인(500)이 다수개씩 병렬로 존재하게 되는 것이다.
각 웨이퍼 가열 라인(500)은 척(310) 내부를 통과하게 되고, 공기 배출 라인(600)에서는 다시 하나로 연결되어 열교환기(700) 및 배출 펌프(800)를 통해 배출된다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치의 구성도이다. 이하의 설명에서, 도 1 내지 5에 대한 설명과 중복되는 부분은 그 설명을 생략하기로 한다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 웨이퍼 가열 장치는, 도 1에 대한 설명에서 언급한 본 발명의 제1 실시 예의 웨이퍼 가열 장치의 각 척(310)에 온도 센서(330)를 설치한 것을 특징으로 한다. 또한, 온도 센서(330)의 측정 값에 따라서, 척(310)의 가열 온도를 제어하기 위한 제어부(900)가 추가적으로 설치되어 있다.
온도 센서(330)는 챔버(300) 내부의 각 척(310)의 온도를 측정한 정보를 제어부(900)에 송신하게 된다. 온도 센서는 각 척(310)에 하나 이상씩 설치되어 있을 수 있으며, 이때는 척(310)의 각기 다른 부분의 온도를 측정하여 부분 온도에 대한 정보 역시 송신할 수 있을 것이다.
각 척(310)의 온도 정보를 수신하게 되면, 제어부(900)는 미리 설정되거나 사용자의 입력에 의해 설정된 웨이퍼 가열 온도와 측정된 온도 정보를 비교하게 된다. 웨이퍼 가열 온도와 측정된 온도 정보와 일정 비율(예를 들어 10%) 이상 차이가 발생하여 웨이퍼 열처리 시 문제가 발생될 수 있는 것으로 판단되면, 제어부(900)는 히터(100) 또는 배출 펌프(800)에 제어 신호를 송신하게 된다.
제어부(900)가 히터(100)에 제어 신호를 송신하게 되면, 히터는 제어 신호에 따라서 가열 온도를 변경하게 된다. 제어부(900)가 배출 펌프(800)에 제어 신호를 송신하게 되면, 배출 펌프(800)는 공기 배출 속도를 조절하여 공기의 흐름을 빠르게 또는 느리게 함으로써 온도의 제어를 수행하게 된다.
이를 통해, 각 척(310)의 가열 온도를 일정한 범위로 동일하게 유지시킴으로써, 웨이퍼 열처리에 대한 생산성을 더욱 향상시킬 수 있게 될 것이다.

Claims (10)

  1. 일단에 가열된 공기가 공급되고, 다른 일단이 웨이퍼 가열 챔버 내부에 연결되어 상기 가열된 공기를 상기 웨이퍼 가열 챔버 내부에 공급하는 공기 공급 라인;
    상기 공기 공급 라인에서 연장되어 있고, 웨이퍼를 지지하는 척의 내부에 형성되어 척을 상기 가열된 공기를 이용하여 가열하는 웨이퍼 가열 라인;
    상기 웨이퍼 가열 라인으로부터 연장된 공기 배출 라인; 및
    상기 공기 배출 라인과 연결되어 있고 상기 가열된 공기를 이동시키는 배출 펌프를 포함하고,
    상기 공기 배출 라인과 상기 배출 펌프의 사이에 설치되어 있고, 상기 공기 배출 라인으로부터 배출되는 공기를 상온으로 냉각시켜 배출 펌프에 공급하는 열교환기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기 공급 라인의 상기 일단에 설치되어 있고, 외부의 공기를 가열하는 히터에 의해 가열된 공기를 병렬구조로 분배하기 가열 공기 분배기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 공기 공급 라인은 복수개 존재하며, 상기 웨이퍼 가열 라인은, 상기 공기 공급 라인마다 다수개씩 병렬로 연장된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 웨이퍼 가열 라인은,
    상기 척의 내부에 소용돌이 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 웨이퍼 가열 라인은,
    하나의 상기 공기 공급 라인에 일단이 연결되어 있고, 복수의 상기 척의 내부를 통과한 뒤 다른 일단이 상기 공기 배출 라인에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 웨이퍼 가열 라인은,
    상기 척의 내부에 소용돌이 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 척의 온도를 측정하는 온도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    측정된 상기 척의 온도에 따라서 상기 배출 펌프의 공기 배출 속도 또는 외부로부터 흡입한 공기를 가열하는 히터의 가열 온도를 제어하는 신호를 발생하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제어부는,
    복수의 상기 척의 온도가 동일하도록 상기 공기 배출 속도 또는 상기 가열 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가열 장치.
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