KR101553944B1 - 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법에 관한 것으로서, 특히 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행함에 있어서 킥백 전압을 그레이 레벨별로 달리 보상한 데이터 검사 신호를 액정패널의 데이터 라인에 인가함으로써 액정패널에 구현된 검사 패턴에 플리커가 나타나지 않아 불량 검출률이 향상된 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따르면, 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행할 시에 불량 검출률을 높일 수 있는 효과가 있다.

액정표시장치, 오토 프로브 검사, 킥백 전압

Description

오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법{AUTO PROBE INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF TESTING THE SAME}

본 발명은 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법에 관한 것으로서, 특히 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행함에 있어서 킥백 전압을 그레이 레벨별로 달리 보상한 데이터 검사 신호를 액정패널의 데이터 라인에 인가함으로써 액정패널에 구현된 검사 패턴에 플리커가 나타나지 않아 불량 검출률이 향상된 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치는 경량, 박형, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있다. 이에 따라 액정표시장치는 휴대용 컴퓨터, 휴대폰, 사무 자동화 기기 등에 있어서 화면을 디스플레이하기 위한 수단으로서 널리 이용되고 있다.

통상적으로 액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 제어용 스위칭 소자에 인가되는 영상신호에 따라 광의 투과량이 조절되어 화면에 원하는 화상을 표시하게 된다.

이러한 액정표시장치는 상부기판인 컬러필터 기판과 하부기판인 박막 트랜지 스터 어레이 기판이 서로 대향하고 상기 두 기판 사이에 액정층이 형성된 액정패널과, 상기 액정패널에 주사신호 및 화상정보를 공급하여 액정패널을 동작시키는 구동부를 포함하여 구성된다.

이와 같은 구성을 가지는 액정표시장치는 컬러필터 기판과 박막 트랜지스터 어레이 기판 상에 다수의 소자 및 배선을 형성하는 공정과, 상기 컬러필터 기판과 박막 트랜지스터 어레이 기판을 합착하고 액정을 주입하여 액정패널을 형성하는 공정과, 상기 액정패널을 검사하는 오토 프로브(auto probe) 검사를 포함하는 다수의 검사를 통해 제조된다.

상기 오토 프로브 검사에는 오토 프로브 검사 장치를 통해 피검사체인 액정패널에 소정의 신호를 인가하여 구동시킨 상태에서 관찰하여 화소의 정상 구동 및 불량 유무를 판별하는데, 이와 같은 오토 프로브 검사와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1에는 종래의 일반적인 액정표시장치에 구비된 박막 트랜지스터 어레이 기판의 회로도를 개략적으로 도시하였다.

도 1에 도시한 바와 같이 종래의 일반적인 액정표시장치는, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판으로 이루어진 액정패널이 구비된다.

상기 박막 트랜지스터 어레이 기판에는 게이트 라인(1)과 데이터 라인(2)이 교차하여 다수의 화소가 정의되고, 상기 각 화소에는 게이트 라인(1)과 데이터 라인(2)이 교차하는 영역에 박막 트랜지스터(3)가 형성되며, 각 화소에는 상기 박막 트랜지스터(3)와 연결된 화소전극(4)이 형성된다. 그리고, 상기 컬러필터 기판에는 상기 화소전극(4)과 함께 전계를 형성하여 각 화소를 구동하는 공통전극(미도시)이 형성된다.

그리고, 상기 종래의 일반적인 액정표시장치는 게이트 라인(1)을 구동하기 위한 게이트 구동부(미도시)와 데이터 라인(2)을 구동하기 위한 데이터 구동부(미도시)를 구비하며, 상기 게이트 구동부 및 데이터 구동부는 필요에 따라 오토 프로브 검사가 완료된 이후에 형성될 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 종래의 일반적인 액정표시장치는 오토 프로브 검사 시에 이용하기 위한 목적으로 박막 트랜지스터 어레이 기판 상에 게이트 검사 패드(미도시), 데이터 검사 패드(미도시)가 형성될 수 있다.

상기 게이트 검사 패드는 게이트 라인(1)과 직접(또는 간접)적으로 연결되어 있으며, 이로써 게이트 검사 패드는 오토 프로브 검사 시에 오토 프로브 검사 장치의 게이트 검사 단자를 통해 게이트 검사신호를 입력받아 게이트 라인(1)이 구동되도록 한다.

그리고, 상기 데이터 검사 패드는 데이터 라인(2)과 직접(또는 간접)적으로 연결되어 있으며, 이로써 데이터 검사 패드는 오토 프로브 검사 시에 오토 프로브 검사 장치의 데이터 검사 단자를 통해 데이터 검사신호를 입력받아 데이터 라인(2)이 구동되도록 한다.

상기와 같은 구성을 가지는 액정패널에 대한 검사를 수행하는 종래의 일반적인 오토 프로브 검사 장치는, 게이트 검사 단자를 이용하여 게이트 검사 패드에 게이트 검사 신호를 입력함으로써 게이트 라인(1)이 구동되어 해당 게이트 라인(1)에 연결된 박막 트랜지스터(3)가 온되도록 하고, 데이터 검사 단자를 이용하여 데이터 검사 패드에 데이터 검사 신호를 입력하여 온되어 있는 박막 트랜지스터(3)를 통해 데이터 검사신호가 화소전극(4)에 인가되도록 함으로써 액정패널에 검사 패턴이 구현되도록 하며, 작업자는 상기 액정패널에 구현된 검사 패턴을 관찰하여 화소의 정상 구동 여부 등을 검사하게 된다.

도 2에는 종래의 일반적인 오토 프로브 검사 장치의 검사 데이터 입력창을 도시하였다.

도 2를 참조하면, 상기 검사 데이터 입력창은 그레이 레벨(gray level)을 몇 단계로 분할할 것인지를 선택하는 총 그레이 레벨 선택란(31)과, 정극성 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력하는 정극성 데이터 검사신호 입력란(32)과, 부극성 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력하는 부극성 데이터 검사신호 입력란(33)과, 그레이 레벨 각각에 따른 정극성 데이터 검사신호와 부극성 데이터 검사신호를 출력하는 데이터 검사신호 출력란(36)이 구비된다.

상기와 같은 검사 데이터 입력창이 구비된 오토 프로브 검사 장치는 정극성 데이터의 최고값에서부터 최소값까지 그레이 레벨 수로 균등하게 분할하여 데이터 검사신호 출력란(36)에 표시하고, 입력된 부극성 데이터의 최고값에서부터 최소값까지 그레이 레벨 수로 균등하게 분할하여 데이터 검사신호 출력란(36)에 표시하며, 오토 프로브 검사 시에는 상기 데이터 검사신호 출력란(36)에 표시되어 있는 그레이 레벨의 정극성 데이터 검사신호 및 부극성 데이터 검사신호가 액정패널의 데이터 라인(2)에 공급되도록 함으로써 액정패널에 검사 패턴이 구현될 수 있도록 한다.

하지만, 상기와 같은 종래의 일반적인 오토 프로브 검사 장치를 이용하여 액정패널 검사를 수행할 시에 액정패널에 표시한 검사 패턴의 화질이 좋지 못한 경우에는 불량 검출률이 낮아지게 되는데, 액정패널의 화질을 저하시키는 대표적인 요인으로서는 플리커(fliker)가 있다.

상기 플리커(fliker)의 발생 원인으로는 여러 가지가 있으나, 그 중에 하나가 그레이 레벨마다 달리 발생하는 킥백 전압(kick-back voltage)이다.

즉, 화소 내의 박막 트랜지스터가 온 상태인 경우에 액정 용량(Clc) 및 유지 용량(Cst)에 충전된 전압은 박막 트랜지스터가 오프 상태로 변환된 후에도 계속 지속되어야 하나, 게이트 전극과 드레인 전극 사이에 있는 기생 용량(Cgd)으로 인해 화소전극(4)에 인가된 전압은 왜곡의 생기게 되는데, 화소전극(4)에 인가되는 이상적인 전압과 왜곡이 생겨서 실제 화소에 인가되는 전압의 차이가 킥백 전압이며, 킥백 전압(ΔV)은 아래의 수학식 1로 표현할 수 있다.

이때, 상기 수학식1에서의 (Vgh-Vgl)은 게이트 라인(1)에 인가되는 게이트 전압의 최고값과 최저값의 차이값이다.

상기 킥백 전압은 그레이 레벨에 따라서 그 정도가 달리 발생하므로, 종래의 일반적인 오토 프로브 검사 장치의 구성을 통해서는 킥백 전압을 줄여서 플리커를 제거하는 것이 쉽지 않은 문제가 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행함에 있어서 킥백 전압을 그레이 레벨별로 달리 보상한 데이터 검사 신호를 액정패널의 데이터 라인에 인가함으로써, 액정패널에 구현된 검사 패턴에 플리커가 나타나는 문제가 발생하지 않도록 하여 불량 검출률을 높은 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 옴 벨류 분할부와 데이터 검사신호 분할부 및 가산부를 포함하여 구성될 수 있다.
옴 벨류 분할부는 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압으로서 출력할 수 있다.
데이터 검사신호 분할부는 상기 액정패널에 입력할 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력받아 상기 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호로서 출력할 수 있다.
가산부는 상기 데이터 검사신호 분할부로부터 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호를 입력받고 상기 옴 벨류 분할부로부터 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압을 입력받아, 동일 그레이 레벨의 데이터 검사신호와 킥백 보상 전압을 더하여 상기 액정패널의 데이터 라인에 공급할 수 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 방법은, 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압으로서 출력하는 단계, 상기 액정패널에 입력할 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력받아 상기 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호로서 출력하는 단계, 상기 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호와 상기 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압 중에 동일 그레이 레벨의 데이터 검사신호와 킥백 보상 전압을 더하여 상기 액정패널의 데이터 라인에 공급하는 단계 및 상기 액정패널에 구현된 패턴을 검사하여 불량을 검출하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압으로서 출력하는 단계 이전에, 상기 액정패널의 최고 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 공통전압 값과 최저 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 공통전압 값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 구하는 단계가 추가로 이루어질 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법은, 피검사체인 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행함에 있어서 킥백 전압을 그레이 레벨별로 달리 보상한 데이터 검사 신호를 액정패널의 데이터 라인에 인가함으로써, 액정패널에 구현된 검사 패턴에 플리커가 나타나는 문제가 발생하지 않는 효과가 있다.

이에 따라, 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행할 시에 불량 검출률을 높일 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로 브 검사 장치 및 오토 프로브 검사 방법에 대하여 상세히 설명한다.

먼저, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 4에 도시한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압(Vk)으로서 출력하는 옴 벨류 분할부(201); 액정패널에 입력할 데이터 검사신호의 최고값(positive Data_H, negative Data_H)과 최저값(positive Data_L, negative Data_L)을 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호(positive Data, negative Data)로서 출력하는 데이터 검사신호 분할부(202); 및 상기 데이터 검사신호 분할부(202)로부터 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호(positive Data, negative Data)를 입력받고 각 그레이 레벨에 대한 옴 벨류 분할부(201)로부터 킥백 보상 전압(Vk)을 입력받아, 동일 그레이 레벨의 데이터 검사신호(positive Data, negative Data)와 킥백 보상 전압(Vk)을 더하여 액정패널의 데이터 라인(도 3의 102 참조)에 공급하는 가산부(203); 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치에 대하여 설명하기에 앞서, 도 3을 참조하여 상기 오토 프로브 검사 장치의 피검사체인 액정패널의 구조에 대하여 먼저 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 피검사체인 액정패널은, 박막 트랜지스터 어레이 기판인 제 1 기판과 컬러필터 기판인 제 2 기판으로 구성되어 있으며, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에는 액정층이 형성되어 있다.

상기 제 1 기판 상에는 다수의 게이트 라인(101)과 다수의 데이터 라인(102)이 서로 교차하도록 형성되어 다수의 화소가 마련되며, 상기 각 화소의 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)이 교차하는 영역에는 제 1 박막 트랜지스터(103)가 형성되며, 각 화소에는 상기 제 1 박막 트랜지스터(103)와 연결된 화소전극(104)이 형성된다.

그리고, 도면에는 도시하지 않았지만, 제 2 기판(미도시)에는 공통전압(미도시)이 공급되는 공통전극이 형성되는데, 상기 공통전극에 공급되는 공통전압은 화소전극(104)에 공급되는 화소 전압과 함께 수직 전계를 형성하여 액정층을 구동함으로써 화상이 표시되도록 한다.

이때, 상기 공통전극이 제 2 기판 상에 형성된 것을 예로 한 것은 설명의 편의를 위한 것이며, 상기 공통전극은 제 1 기판 상에 형성됨으로써 공통전극에 인가된 공통전압이 화소전극(104)에 인가된 화소 전압과 함께 수평 전계를 형성함으로써 액정을 구동할 수도 있을 것이다.

그리고, 상기 제 1 기판 상에는 게이트 라인(101)을 구동하는 게이트 구동부(미도시)가 게이트 인 패널(gate in panel; GIP) 방식으로 직접 실장될 수 있으며, 데이터 라인(102)을 구동하는 데이터 구동부(미도시)가 집적회로(integrated circuit; IC) 방식으로 제조된 데이터 구동 집적회로가 실장되어 있다. 여기서, 상기 데이터 구동 집적회로는 액정패널의 제조 과정에서 오토 프로브 검사가 수행된 이후에 제 1 기판 상에 실장된다.

상기 게이트 구동부가 게이트 인 패널 방식으로 제 1 기판 상에 실장된 것은 일 예로서, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 상기 게이트 구동부는 데이터 구동 집적회로에 함께 형성되거나 또는 별도로 형성되어 제 1 기판 상에 실장되거나 부착되는 등 다양한 예가 가능할 것이다.

상기 액정패널은 오토 프로브 검사 시에 이용하기 위한 목적으로서 게이트 검사 패드(미도시), 데이터 검사 패드(미도시), 제 2 박막 트랜지스터(105)를 구비할 수 있다.

도면에 도시하지는 않았지만, 상기 게이트 검사 패드는 게이트 라인(101)과 직접 또는 간접적으로 연결되어 있으며, 이로써 게이트 검사 패드는 오토 프로브 검사 시에 오토 프로브 검사 장치의 게이트 검사 단자를 통해 게이트 검사 신호를 입력받아 게이트 라인(101)이 구동되도록 한다.

도면에 도시하지는 않았지만, 상기 데이터 검사 패드는 데이터 라인(102)과 직접(또는 간접)적으로 연결되어 있으며, 이로써 데이터 검사 패드는 오토 프로브 검사 시에 오토 프로브 검사 장치의 데이터 검사 단자를 통해 데이터 검사 신호를 입력받아 데이터 라인(102)이 구동되도록 한다.

상기 제 2 박막 트랜지스터(105)는 드레인 전극이 데이터 라인과 연결되도록 데이터 라인마다 하나씩 구비되며, 게이트 전극이 서로 연결되도록 형성되어 동시 에 온/오프(on/off)되고, 소스 전극은 데이터 검사 패드에 연결되고 드레인 전극은 데이터 라인에 연결되도록 형성되며, 이로써 상기 제 2 박막 트랜지스터(105)는 오토 프로브 검사 시에 온(on)되어 오토 프로브 검사 장치로부터의 데이터 검사 신호가 데이터 검사 패드를 통해 데이터 라인(102)에 공급될 수 있도록 하고, 오토 프로브 검사가 이루어지지 않을 시에는 오프(off)된다. 이때, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치에 대하여 설명함에 있어서 피검사체인 액정패널의 각 데이터 라인(102)마다 제 2 박막 트랜지스터(105)가 형성된 것을 그 예로 하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 경우에 따라 상기 액정패널에는 제 2 박막 트랜지스터(105)가 형성되지 않을 수도 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 액정패널을 검사하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 각 구성 요소에 대하여 도 4와 도 5를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 도 5에 도시한 바와 같은 검사 데이터 입력창(300)을 비롯하여, 도 4에 도시한 바와 같이 옴 벨류 분할부(201), 데이터 검사신호 분할부(202), 및 가산부(203)를 포함하여 구성되는데, 이러한 오토 프로브 검사 장치의 각 구성 요소에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5를 참조하면, 상기 검사 데이터 입력창(300)은 그레이 레벨(gray level)을 몇 단계로 분할할 것인지를 선택하는 총 그레이 레벨 선택란(301)과, 정극성 데 이터 검사신호의 최고값(positive Data_H)과 최저값(positive Data_L)을 입력하는 정극성 데이터 검사신호 입력란(302)과, 부극성 데이터 검사신호의 최고값(negative Data_H)과 최저값(negative Data_L)을 입력하는 부극성 데이터 검사신호 입력란(303)과, 옴 벨류(ohm value)를 입력하는 옴 벨류 입력란(304)을 포함하며, 이로써 선택된 그레이 레벨 수(total gray level)와 입력된 정극성 데이터 검사신호의 최고값(positive Data_H) 및 최저값(positive Data_L)과 입력된 부극성 데이터 검사신호의 최고값(negative Data_H)과 최저값(negative Data_L)이 데이터 검사신호 분할부(202)에 전달되도록 하고 그레이 레벨 수(total gray level)와 옴 벨류(ohm value)는 옴 벨류 분할부(201)에 전달되도록 한다.

도 4를 참조하면, 상기 옴 벨류 분할부(201)는 피검사체인 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 검사 수행자로부터 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압(Vk)으로서 가산부(203)로 출력한다.

이때, 상기 피검사체인 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)는 다양한 방법을 통해 구할 수 있지만, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치에 대하여 설명함에 있어서는 액정패널의 최고 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 최적의 공통전압 값과 최저 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 최적의 공통전압 값의 차이값을 구함으로써 옴 벨류(ohm value)을 알아낸 것을 그 예로 한다. 하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 예가 가능할 것이다.

상기 옴 벨류 분할부(201)에서 출력되어 가산부(203)에 입력되는 그레이 레벨 각각에 대한 킥백 보상 전압(Vk)은 검사 수행자가 확인할 수 있도록 도 5에 도시한 바와 같이 검사 데이터 입력창(300)의 제 1 출력란(305)을 통해 표시될 수 있을 것이다.

상기 데이터 검사신호 분할부(202)는 피검사체인 액정패널에 입력할 정극성 데이터 검사신호의 최고값(positive Data_H) 및 최저값(positive Data_L)을 검사 수행자로부터 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 정극성 데이터 검사신호(positive data)로서 가산부로 출력하고, 부극성 데이터 검사신호의 최고값(negative Data_H) 및 최저값(negative Data_L)을 검사 수행자로부터 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 부극성 데이터 검사신호(negative Data)로서 가산부로 출력한다.

상기 데이터 검사신호 분할부(202)에서 출력되어 가산부(203)에 입력되는 그레이 레벨 각각에 대한 정극성 데이터 검사신호(positive Data) 및 부극성 데이터 검사신호(negative Data)는 검사 수행자가 확인할 수 있도록 도 5에 도시한 바와 같이 검사 데이터 입력창(300)의 제 2 출력란(306)을 통해 표시될 수 있을 것이다.

상기 가산부(203)는 데이터 검사신호 분할부(202)로부터 각 그레이 레벨에 대한 정극성 데이터 검사신호(positive Data)와 부극성 데이터 검사신호(negtive Data)를 입력받고 각 그레이 레벨에 대한 옴 벨류 분할부(201)로부터 킥백 보상 전압(Vk)을 입력받아, 동일 그레이 레벨의 정극성 데이터 검사신호(positive Data)와 킥백 보상 전압(Vk)을 더하여 액정패널의 데이터 라인(102)에 공급하고, 동일 그레 이 레벨의 부극성 데이터 검사신호(negative Data)와 킥백 보상 전압(vk)을 더하여 액정패널의 데이터 라인(102)에 공급한다. 일 예로서, 그레이 레벨이 총 64개로서 제 0 내지 제 63 그레이 레벨을 이룰 시에 제 0 그레이 레벨에 대한 정극성 데이터 검사신호를 출력하고자 하면 해당 정극성 데이터 검사신호에 제 0 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압을 더한 후에 출력하고, 제 0 그레이 레벨에 대한 부극성 데이터 검사신호를 출력하고자 하면 해당 부극성 데이터 검사신호에 제 0 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압을 더한 후에 출력한다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 피검사체인 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행함에 있어서 킥백 전압을 그레이 레벨별로 달리 보상한 데이터 검사 신호를 액정패널의 데이터 라인에 인가함으로써, 액정패널에 구현된 검사 패턴에 플리커가 나타나는 문제가 발생하지 않으므로 불량 검출률을 높일 수 있는 장점이 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 피검사체인 액정패널을 준비한다. 이때, 상기 액정패널은 박막 트랜지스터 어레이 기판인 제 1 기판과 제 2 기판을 포함하고 있으며, 상기 제 1 기판에는 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)이 교차하여 다수의 화소가 정의되어 있고, 각 화소의 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)이 교차하는 영역에는 박막 트랜지스터(103)가 형성되어 있으며, 각 화소에는 상기 박막 트랜지스터(103)와 연결 된 화소전극(104)이 형성되어 있고, 상기 제 2 기판에는 공통전압이 인가되는 공통전극(미도시)이 형성되어 있다.

다음으로, 상기 피검사체인 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 구한다.

이때, 상기 옴 벨류를 구하는데는 다양한 방법이 있지만, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 방법에 대하여 설명함에 있어서는 액정패널의 그레이 레벨을 변경해가면서 각 그레이 레벨에 최적이 되는 공통전압을 찾되, 액정패널의 최고 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 최적의 공통전압 값과 최저 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 최적의 공통전압 값의 차이값을 구함으로써 옴 벨류(ohm value)를 알아내는 것을 그 예로 한다. 하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 옴 벨류(ohm value)를 알아내는 방법은 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 예가 가능할 것이다.

다음으로, 상기 옴 벨류를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압(Vk)으로서 출력한다.

다음으로, 피검사체인 상기 액정패널에 입력할 정극성 데이터 검사신호의 최고값(positive Data_H)과 최저값(positive Data_L)을 입력받아 그레이 레벨 수(total gray level)만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 정극성 데이터 검사신호(positive Data)로서 출력하고, 부극성 데이터 검사신호의 최고값(negative Data_H)과 최저값(negative Data_L)을 입력받아 그레이 레벨 수(total gray level)만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 부극성 데이터 검사신호(negative Data)로서 출력한다.

다음으로, 상기 각 그레이 레벨에 대한 정극성 데이터 검사신호(positive Data)와 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압(Vk) 중에 동일 그레이 레벨의 정극성 데이터 검사신호(positive Data)와 킥백 보상 전압(Vk)을 더하여 액정패널의 데이터 라인(102)에 공급하고, 상기 각 그레이 레벨에 대한 부극성 데이터 검사신호(negative Data)와 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압(Vk) 중에 동일 그레이 레벨의 부극성 데이터 검사신호(positive Data)와 킥백 보상 전압(Vk)을 더하여 액정패널의 데이터 라인(102)에 공급한다.

다음으로, 상기 액정패널에 구현된 검사 패턴을 관찰하여 불량을 검출한다. 상기 액정패널에 구현된 검사 패턴을 관찰하는 방법으로는 검사 수행자가 현미경을 통해 직접 관찰하는 방법 등 다양한 방법이 가능할 것이다.

상술한 바와 같은 다수의 단계를 포함하여 이루어지는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 방법은, 피검사체인 액정패널에 대한 오토 프로브 검사를 수행함에 있어서 킥백 전압을 그레이 레벨별로 달리 보상한 데이터 검사 신호를 액정패널의 데이터 라인에 인가함으로써, 액정패널에 구현된 검사 패턴에 플리커가 나타나는 문제가 발생하지 않으므로 불량 검출률을 높일 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 일반적인 액정표시장치에 구비된 박막 트랜지스터 어레이 기판의 회로도.

도 2는 종래의 일반적인 오토 프로브 검사 장치의 검사 데이터 입력창을 도시한 도면.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사의 피검사체인 액정패널의 제 1 기판의 일 예를 도시한 회로도.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 블록도.

도 5는 도 4의 오토 프로브 검사 장치에 구비된 검사 데이터 입력창의 일 예를 도시한 도면.

**도면의 주요 부분에 대한 설명**

101 : 게이트 라인 102 : 데이터 라인

103 : 제 1 박막 트랜지스터 104 : 화소전극

105 : 제 2 박막 트랜지스터

201 : 옴 벨류 분할부 202 : 데이터 검사신호 분할부

203 : 가산부

301 : 총 그레이 레벨 선택란 302 : 정극성 데이터 검사신호 입력란

303 : 부극성 데이터 검사신호 입력란 304 : 옴 벨류 입력란

305 : 제 1 출력란 306 : 제 2 출력란

Claims (6)

1. 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압으로서 출력하는 옴 벨류 분할부;

   상기 액정패널에 입력할 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력받아 상기 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호로서 출력하는 데이터 검사신호 분할부; 및

   상기 데이터 검사신호 분할부로부터 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호를 입력받고 상기 옴 벨류 분할부로부터 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압을 입력받아, 동일 그레이 레벨의 데이터 검사신호와 킥백 보상 전압을 더하여 상기 액정패널의 데이터 라인에 공급하는 가산부;

   를 포함하여 구성된 오토 프로브 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 데이터 검사신호는 정극성 데이터 검사신호와 부극성 데이터 검사신호를 포함하며,

   상기 데이터 검사신호 분할부는 상기 정극성 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 출력하고, 상기 부극성 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 출력하는 오토 프로브 검사 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 외부로부터 상기 그레이 레벨 수와 상기 데이터 검사신호의 최고값과 최저값 및 상기 옴 벨류를 입력받아, 상기 그레이 레벨 수와 상기 데이터 검사신호의 최고값 및 최저값을 상기 데이터 검사신호 분할부에 전달하고, 상기 그레이 레벨 수와 상기 옴 벨류를 상기 옴 벨류 분할부에 전달하는 검사 데이터 입력창이 추가로 구비된 오토 프로브 검사 장치.
4. 액정패널에서 발생하는 킥백 전압의 최고값과 최저값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압으로서 출력하는 단계;

   상기 액정패널에 입력할 데이터 검사신호의 최고값과 최저값을 입력받아 상기 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호로서 출력하는 단계;

   상기 각 그레이 레벨에 대한 데이터 검사신호와 상기 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압 중에 동일 그레이 레벨의 데이터 검사신호와 킥백 보상 전압을 더하여 상기 액정패널의 데이터 라인에 공급하는 단계; 및

   상기 액정패널에 구현된 패턴을 검사하여 불량을 검출하는 단계;

   를 포함하여 이루어지는 오토 프로브 검사 방법.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 데이터 검사신호는 정극성 데이터 검사신호와 부극성 데이터 검사신호를 포함하는 오토 프로브 검사 방법.
6. 제 4 항에 있어서, 상기 옴 벨류(ohm value)를 입력받아 그레이 레벨 수만큼 분할하여 각 그레이 레벨에 대한 킥백 보상 전압으로서 출력하는 단계 이전에,

   상기 액정패널의 최고 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 공통전압 값과 최저 그레이 레벨에서 플리커를 발생시키지 않는 공통전압 값의 차이인 옴 벨류(ohm value)를 구하는 단계가 추가로 이루어지는 오토 프로브 검사 방법.

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