KR101544521B1 - 필터 어셈블리를 상태조절하기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

Abstract

시스템 및 방법이 필터 어셈블리를 상태조절한다. 퍼지 액체를 필터 어셈블리를 통하여 통과시켜서, 필터 매질의 기공 및 공극으로부터 그리고 필터 매질의 상류 쪽 면 및 하류 쪽 면으로부터 오염물질을 제거한다.

Description

필터 어셈블리를 상태조절하기 위한 시스템 및 방법{Systems and methods for conditioning a filter assembly}

본 발명은 필터 어셈블리를 상태조절하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.

마이크로일렉트로닉스 산업 및 제약 산업을 포함하는 여러 산업 분야에서 사용되는 화학물질들은 극도로 순수해야 한다. 이러한 산업 분야에서는, 종종 사용 지점에서, 사용되는 공정을 손상시키거나 제조되는 제품을 망칠 우려가 있는 임의의 오염물질을 제거하기 위하여, 이들 화학물질의 매우 정밀한 여과가 요구된다. 통상적으로, 이들 화학물질을 여과하는데 사용되는 필터 어셈블리는 투과성 필터 매질을 갖는다. 화학물질은 필터 매질을 통과하게 되고, 화학물질 중의 임의의 오염물질은 필터 매질의 내부에서 또는 그 표면에서 포집된다.

화학물질을 여과하기 전에, 본 발명을 구현하는 시스템 및 방법으로 필터 어셈블리의 상태를 조절하여, 필터 어셈블리 자체에 의하여 오염물질이 화학물질 내로 도입되는 것을 방지한다. 통상적으로, 퍼지 액체를 필터 어셈블리를 통하여 플러싱(flushing)하여, 새로 제조된 필터 어셈블리라 할지라도, 필터 어셈블리 내부에 함유되어 있을 수도 있는 임의의 오염물질을 제거한다. 퍼지 액체는 여과되는 화학물질과 양립할 수 있는 임의의 액체일 수 있다. 여과되는 화학물질이 덜 유독하거나 덜 비싼 경우에는, 퍼지 액체는 화학물질 그 자체일 수 있다. 대개는, 퍼지 액체는 화학물질의 액체 성분으로서 덜 유독하거나 덜 비싼 액체 성분이거나, 화학물질용 액체 용매일 수 있다. 필터 어셈블리가 플러싱된 후에는, 퍼지 액체가 필터 어셈블리 내부의 임의의 가스를 몰아내고 그 공간을 채우게 되며, 필터 어셈블리에 함유된 임의의 다른 오염물질을 실어내 간다. 플러싱한 후에, 상태조절된 필터 어셈블리는 퍼지 액체로 채워진 상태로 창고보관 및/또는 배송될 수 있으며, 필터 어셈블리로부터 퍼지 액체를 제거한 다음 화학물질을 여과하는데 사용될 수 있다.

본 발명을 구현하는 시스템 및 방법은 필터 어셈블리를, 한 번에 하나씩 또는 동시에 여러 개씩, 상태조절하는데 사용될 수 있다. 각각의 필터 어셈블리는 필터 매질, 입구, 배출구(vent) 및 출구를 포함할 수 있다. 필터 매질은, 필터 어셈블리 내부에서, 상류 쪽 면 및 하류 쪽 면을 가질 수 있다. 입구 및 배출구는 필터 매질의 상류 쪽 면에 위치할 수 있고, 출구는 필터 매질의 하류 쪽 면에 위치할 수 있다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 필터 어셈블리의 상태 조절 방법은 필터 어셈블리의 입구 및 배출구는 개방하되 출구를 폐쇄하는 단계를 포함할 수 있다. 그 다음, 퍼지 액체를 개방된 입구를 통하여, 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 배출구를 통하여 통과시킬 수 있다. 본 방법은 입구 및 출구는 개방하되 배출구를 폐쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다. 그 다음, 먼저, 퍼지 액체를 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 개방된 출구를 통하여 제1 유속으로 통과시킬 수 있다. 이어서, 퍼지 액체를, 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여 제1 유속보다 큰 제2 유속으로 통과시킬 수 있다. 퍼지 액체는 필터 어셈블리의 임의의 공기 및 다른 오염물질을 몰아내거나 및/또는 실어내 가며 (이때, 필터 어셈블리의 오염물질에는 필터 매질의 상류 쪽 면에 있는 오염물질, 필터 매질 내부에 있는 오염물질, 필터 매질의 하류 쪽 면에 있는 오염물질이 포함됨), 그에 따라, 필터 어셈블리는 오염물질이 없는 상태에서 퍼지 액체로 채워지게 된다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 필터 어셈블리의 상태 조절 시스템은 퍼지 액체 공급소, 폐기물 저장 용기 및 압력 공급원을 포함할 수 있다. 퍼지 액체 공급소는 필터 어셈블리의 입구에 연결될 수 있고, 압력 공급원은 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소로부터 필터 어셈블리의 입구로 밀어내도록 배열될 수 있다. 폐기물 저장 용기는 필터 어셈블리의 출구 및 배출구에 연결될 수 있다. 본 시스템은 입구 밸브, 출구 밸브, 배출구 밸브 및 제어기를 더 포함할 수 있다. 입구 밸브는 필터 어셈블리의 입구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능할 수 있고; 출구 밸브는 필터 어셈블리의 출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능할 수 있으며; 배출구 밸브는 필터 어셈블리의 배출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능할 수 있다. 제어기는 적어도 압력 공급원, 입구 밸브, 출구 밸브 및 배출구 밸브에 연결될 수 있다. 제어기는 제1 과정에서 입구 밸브 및 배출구 밸브를 개방하고 출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소로부터, 필터 어셈블리의 개방된 입구를 통하여, 필터 매질의 상기 상류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 배출구를 통하여 통과하도록 이끌 수 있다. 제어기는 또한, 제2 과정의 제1 국면에서 입구 밸브 및 출구 밸브를 개방하고 배출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능할 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체를 제1 유속으로 필터 어셈블리의 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 개방된 출구를 통하여 통과하도록 이끌 수 있다. 제어기는 또한, 제2 과정의 이어지는 제2 국면에서 입구 밸브 및 출구 밸브를 개방하고 배출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능할 수 있고, 그에 따라, 퍼지 액체를, 제1 유속보다 더 큰 제2 유속으로, 필터 어셈블리의 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통과하도록 이끌 수 있다. 퍼지 액체는 필터 어셈블리의 임의의 오염물질을 몰아내거나 및/또는 실어내 가며 (이때, 필터 어셈블리의 오염물질에는 필터 매질의 상류 쪽 면에 있는 오염물질, 필터 매질 내부에 있는 오염물질, 필터 매질의 하류 쪽 면에 있는 오염물질이 포함됨), 그에 따라, 필터 어셈블리는 오염물질이 없는 상태에서 퍼지 액체로 채워지게 된다.

본 발명의 이러한 측면들을 구현하는 방법 및 시스템은, 예를 들어 필터 어셈블리로부터 오염물질을 제거하는데 매우 효과적인 특징들을 포함하는, 많은 이로운 특징들을 갖는다. 예를 들어, 1) 출구를 폐쇄한 상태에서, 퍼지 액체를 개방된 입구를 통하여, 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 배출구를 통하여 통과하도록 이끄는 조작; 및 2) 배출구를 폐쇄한 상태에서, 퍼지 액체를 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여 통과하도록 이끄는 조작; 둘 다를 수행함으로써, 본 발명의 그러한 측면들을 구현하는 방법 및 시스템은, 필터 매질의 상류 쪽 면, 필터 매질 그 자체 및 필터 매질의 하류 쪽 면 모두가 퍼지 액체에 의하여 철저하게 플러싱되는 것을 확실하게 한다. 또한, 퍼지 액체를 필터 매질을 통하여 더 낮은 제1 유속으로 그리고 이어서 더 높은 제2 유속으로 통과하도록 이끌어 냄으로써, 본 발명의 그러한 측면들을 구현하는 방법 및 시스템은, 오염물질이 훨씬 더 효과적으로 필터 매질 내부로부터 제거되는 것을 보장한다. 퍼지 액체를 필터 매질을 통하여 더 낮은 제1 유속으로 통과시키는 조작은, 퍼지 액체가 필터 매질 내부의 기공 및 공극 모두를 완전히 채워서, 임의의 작은 가스 포켓 또는 기포를 포함하는 모든 오염물질을 몰아내는 것을 가능하게 한다. 그렇게 하지 않으면, 이러한 오염물질은 필터 매질에 잡힌 상태로 남아있게 될 것이다. 이어서 퍼지 액체를 필터 매질을 통하여 더 높은 제2 유속으로 통과시키는 조작에 의하여, 필터 매질 내부로부터 제거된 오염물질 모두가, 필터 매질의 하류 쪽 면을 통하여 그리고 개방된 출구 밖으로, 효과적으로 플러싱된다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 필터 어셈블리의 상태 조절 방법은, 필터 어셈블리의 입구 및 배출구를 개방하고 출구를 폐쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다. 그 다음, 퍼지 액체는 제1 용기로부터 공급되고; 개방된 입구를 통하여, 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 배출구를 통하여 통과되며; 그리고, 개방된 배출구로부터 폐기물 저장 용기로 이끌어질 수 있다. 본 방법은 필터 어셈블리의 입구 및 출구를 개방하고 배출구를 폐쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다. 그 다음, 퍼지 액체는 제1 용기로부터 개방된 입구로 공급될 수 있다. 먼저, 퍼지 액체는 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여 통과하여 폐기물 저장 용기로 보내질 수 있다. 이어서, 퍼지 액체는 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여 통과한 후, 퍼지 액체를 담을 수 있는 제2 용기로 보내질 수 있으며, 그에 따라, 필터 어셈블리는 오염물질이 없고 퍼지 액체로 채워진 상태로 남게 된다. 또한, 퍼지 액체의 일부분은 제2 용기로 회수될 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따라, 필터 어셈블리의 상태 조절 시스템은 제1 용기, 제2 용기, 폐기물 저장 용기 및 압력 공급원을 포함할 수 있다. 제1 용기는 퍼지 액체를 담으며, 필터 어셈블리의 입구에 연결가능할 수 있다. 압력 공급원은 퍼지 액체를 제1 용기로부터 필터 어셈블리의 입구로 밀어내도록 배열될 수 있다. 폐기물 저장 용기는 필터 어셈블리의 출구 및 배출구에 연결가능할 수 있다. 제2 용기는 또한 필터 어셈블리의 출구에 연결가능할 수 있고, 또한, 퍼지 액체를 담을 수 있다. 본 시스템은 입구 밸브, 출구 밸브, 배출구 밸브 및 제어기를 더 포함할 수 있다. 입구 밸브는 필터 어셈블리의 입구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능할 수 있고; 출구 밸브는 필터 어셈블리의 출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능할 수 있으며; 배출구 밸브는 필터 어셈블리의 배출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능할 수 있다. 제어기는 적어도 압력 공급원, 입구 밸브, 출구 밸브 및 배출구 밸브에 연결될 수 있다. 제어기는, 제1 과정에서, 입구 밸브 및 배출구 밸브를 개방하고; 출구 밸브를 폐쇄하며; 퍼지 액체를 제1 용기로부터, 필터 어셈블리의 개방된 입구를 통하여, 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 배출구를 통하여, 폐기물 저장 용기로 이끌도록; 조작가능할 수 있다. 제어기는 또한, 제2 과정의 제1 국면에서, 입구 밸브 및 출구 밸브를 개방하고; 배출구 밸브를 폐쇄하며; 퍼지 액체를 제1 용기로부터 필터 어셈블리의 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여, 폐기물 저장 용기로 이끌도록; 조작가능할 수 있다. 제어기는 또한, 제2 과정의 이어지는 제2 국면에서, 입구 밸브 및 출구 밸브를 개방하고; 배출구 밸브를 폐쇄하며; 퍼지 액체를 제1 용기로부터 필터 어셈블리의 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여, 제2 용기로 이끌도록; 조작가능할 수 있으며, 그에 따라, 필터 어셈블리는 오염물이 없고, 퍼지 액체로 채워진 상태로 남게 될 수 있다. 또한, 퍼지 액체의 일부분은 제2 용기로 회수될 수 있다.

본 발명의 이러한 측면들을 구현하는 방법 및 시스템은, 예를 들어 오염물질을 제거하는데 매우 효과적인 특징들 및 폐기물을 현저히 감소시키는 특징들을 포함하는, 많은 이로운 특징들을 갖는다. 다시 예를 들면, 1) 출구를 폐쇄한 상태에서, 퍼지 액체를 개방된 입구를 통하여, 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 배출구를 통하여 통과하도록 이끄는 조작; 및 2) 배출구를 폐쇄한 상태에서, 퍼지 액체를 개방된 입구를 통하여, 필터 매질을 상류 쪽 면으로부터 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 개방된 출구를 통하여 통과하도록 이끄는 조작; 둘 다를 수행함으로써, 본 발명의 그러한 측면들을 구현하는 방법 및 시스템은, 필터 매질의 상류 쪽 면, 필터 매질 그 자체 및 필터 매질의 하류 쪽 면 모두가 퍼지 액체에 의하여 철저하게 플러싱되는 것을 보장한다. 또한, 퍼지 액체의 일부분을 폐기물 저장 용기가 아니라 제2 용기로 이끌어 냄으로써, 퍼지 액체의 이 일부분이 회수되어 재사용될 수 있으며, 그에 따라, 폐기물발생량을 현저하게 감소시킬 수 있다.

도 1은 필터 어셈블리의 상태 조절 시스템의 일 구현예를 도식적으로 보여준다.
도 2는 필터 어셈블리의 상태 조절 시스템의 다른 구현예를 도식적으로 보여준다.
도 3은 필터 어셈블리의 상태 조절 시스템의 또 다른 구현예를 도식적으로 보여준다.
도 4는 필터 어셈블리의 상태 조절 시스템의 또 다른 구현예를 도식적으로 보여준다.
도 5는 퍼지 액체를 필터 어셈블리로부터 몰아내는 시스템의 일부분의 일 구현예를 도식적으로 보여준다.

본 발명의 하나 이상의 측면에 따른 필터 어셈블리 상태 조절 시스템은 임의의 수많은 방식으로 구현될 수 있으며, 매우 다양한 필터 어셈블리를, 한 번에 필터 어셈블리 하나씩, 또는 동시에 복수의 필터 어셈블리 모두를, 상태조절하는데 사용될 수 있다.

각각의 필터 어셈블리는 다양하게 형성될 수 있다. 통상적으로, 각각의 필터 어셈블리(11)는, 산업 공정에서 사용되는 액체 화학물질로부터 오염물을 제거하기 위한 필터 매질(12)을 포함한다. 이러한 산업 분야의 많은 경우에 있어서, 예를 들어, 마이크로일렉트로닉스 산업 및 제약 산업에 있어서, 화학물질은 극도로 순수해야 한다. 그에 따라, 필터 매질은 마이크로다공성 또는 나노다공성 범위의 제거 등급을 가질 수 있다. 예를 들어, 제거 등급은 약 0.05 ㎛ 이하일 수 있다. 다른 예를 들면, 제거 등급은 약 40, 30, 20, 10, 또는 5 nm 이하일 수 있다. 필터는, 예를 들면, 투과성 금속 재료, 투과성 세라믹 재료, 또는 투과성 폴리머 재료로부터 형성될 수 있다. 투과성 폴리머 재료는, 예를 들면, 투과성 폴리머 막; 또는, 폴리머 섬유 또는 필라멘트로된 투과성 시트 또는 덩어리(mass);일 수 있다. 또한, 필터 매질은, 예를 들면, 평판형, 벌집형, 주름형, 나권형, 또는 중공사형 구조를 가질 수 있다.

필터 어셈블리(11)는 필터 매질(12)을 둘러싸는 하우징(13)을 더 포함할 수 있으며, 필터 매질(12)은 필터 어셈블리(11) 내에서 상류 쪽 면(14) 및 하류 쪽 면(15)을 한정한다. 상태조절하기 전에, 필터 매질(12) 내부에 기공 및 공극을 포함하는 필터 어셈블리(11)는 가스(예를 들어, 공기, 또는 질소와 같은 비활성 가스)로 채워지거나, 전습 액체(prewetting liquid)(예를 들어, 물 또는 알코올을 포함하는 용액)로 채워질 수 있다. 필터 어셈블리(11)는, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)에 위치하는 입구(20) 및 배출구(21), 및 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)에 위치하는 출구(22)를 더 포함할 수 있다. 입구(20) 및 배출구(21)는 서로 이격되어 있다. 입구, 배출구 및 출구는 필터 어셈블리의 다양한 위치(예를 들어, 상단, 하단 및/또는 측면들)에 배치될 수 있다. 도시된 구현예들에 있어서, 입구(20), 배출구(21) 및 출구(22) 각각은 하우징(13)의 상단에 배치될 수 있다. 하우징(13)은 필터 어셈블리(11) 내부에서 하나 이상의 흐름 경로(예를 들어, 입구(20)와 배출구(21) 사이의, 그리고 입구(20)와 출구(22) 사이의)를 한정할 수 있다. 많은 구현예들에 있어서, 필터 매질(11)은 중공이며 대략적으로 원통형인 구조를 가질 수 있고, 블라인드 단부캡(blind end cap)(23)이 필터 매질(12)의 일 단부에 결합될 수 있다. 필터 어셈블리(11)는, 필터 매질(12)의 외부에 있는 필터 어셈블리(11)의 상류 쪽 면(14)으로부터, 필터 매질(12)의 내부에 있는 필터 어셈블리(11)의 하류 쪽 면(15)에 이르는 외부유입식 흐름(outside-in flow)의 형태로 배열될 수 있다. 다른 대안으로서, 필터 어셈블리는 내부유출식 흐름(inside-out flow)의 형태로 배열될 수도 있다. 예를 들어, "EZD"라는 상품명으로 "Pall Corporation(Port Washington, New York, USA)"으로부터 입수가능한 필터 어셈블리를 포함하는 많은 다양한 필터 어셈블리가 본 발명을 구현하는 시스템 및 방법에 의하여 상태조절될 수 있다.

상태 조절 시스템(10)의 일 구현예의 많은 다양한 실시예 중의 하나를 도 1에 나타내었다. 상태 조절 시스템(10)은 퍼지 액체 공급소(24)를 포함할 수 있고, 퍼지 액체 공급소(24)는 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 다양한 방식으로 연결가능할 수 있다. 예를 들어, 입구 라인(25)은, 퍼지 액체 공급소(24)와 필터 어셈블리(11)의 입구(20) 사이에서 연장할 수 있다. 압력 공급원(26)은, 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리 입구(20) 까지, 예를 들어, 입구 라인(25)을 따라, 밀어내도록 배열될 수 있다. 상태 조절 시스템(10)은 또한 폐기물 저장 용기(30)을 포함할 수 있고, 폐기물 저장 용기(30)는 필터 어셈블리(11)의 배출구(21) 및 출구(22)에 임의의 다양한 방식으로 연결가능할 수 있다. 예를 들어, 별도의 배출구 라인(31) 및 출구 라인(32)이, 폐기물 저장 용기(30)와 필터 어셈블리(11)의 배출구(21) 사이에서, 그리고, 폐기물 저장 용기(30)와 필터 어셈블리(11)의 출구(22) 사이에서, 각각 연장할 수 있다. 상태 조절 시스템(10)은, 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35)를 더 포함할 수 있다. 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35)는, 필터 어셈블리(11)의 입구(20), 배출구(21) 및 출구(22) 각각과 연계 조작되어 입구(20), 배출구(21) 및 출구(22)를 개방하고 폐쇄할 수 있다. 비록 일부의 경우에는 공정이 수동으로 수행될 수 있지만, 대부분의 구현예의 경우에는, 상태 조절 시스템(10)은 제어기(36)를 추가로 포함한다. 제어기(36)는 하나 이상의 구성요소에 연결되어 필터 어셈블리(11)의 상태 조절을 제어하게 된다. 예를 들어, 도 1의 상태 조절 시스템(10)에 있어서, 제어기(36)는 압력 공급원(26), 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35)에 연결될 수 있다.

상태 조절 시스템(10)의 구성요소들은 임의의 수많은 방식으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 퍼지 액체 공급소는 다양하게 형성될 수 있는데, 예를 들어, 대량의 퍼지 액체를 보유할 수 있는 탱크 또는 드럼의 형태, 또는, 더 작은 양의 퍼지 액체를 담을 수 있는, 유연성 용기를 포함하는, 더 작은 용기의 형태로 형성될 수 있다. 퍼지 액체를 공급하기 위한 다양한 용기들이 적합할 수 있는데, 예를 들어, 용기(containers), 저장용기(reservoirs), 및 분배 액체(dispense liquid)를 담는 백(bags)의 많은 종류를 포함하며, 이들은 미국 특허출원공개공보 US 2005/0173458 A1에 열거되어 있다. 임의의 수많은 퍼지 액체들이 퍼지 액체 공급소에 담겨질 수 있다. 퍼지 액체는 필터 어셈블리에 의하여 여과될 화학물질과 양립할 수 있는 임의의 액체일 수 있으며, 예를 들면, 화학물질 그 자체; 화학물질의 하나 이상의 성분(예를 들어, 주성분); 또는, 화학물질 또는 그 성분(들)을 위한 용매;를 포함한다. 화학물질과 퍼지 액체는, 예를 들면, 해당 산업 분야의 원하는 공정에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어, 포토리쏘그라피 산업에서는, 여과될 화학물질은, 예를 들면, 광반응성 화학물질(예를 들어, 포토레지스트); 반사방지 코팅; 또는, 웨이퍼 기판 상에 분배되도록 의도된 임의의 다른 화학물질;일 수 있다. 많은 구현예들의 경우에, 퍼지 액체는 이들 분배가능한 화학물질을 위한 용매일 수 있다. 그러한 용매의 비제한적인 예로서는, 에틸 (S)-2-하이드록시프로파노에이트, 1-메톡시-2-프로필 아세테이트, 시클로헥사논, 부틸 아세테이트, 디하이드로퓨란-2(3H)-온, 1-메톡시프로판-2-올, 등이 있다.

압력 공급원은, 퍼지 액체를 필터 어셈블리의 입구로 밀어내기 위한 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 대부분의 구현예들의 경우, 압력 공급원은 필터 어셈블리의 입구에서 증가된 압력 또는 양압을 제공한다. 그에 따라, 압력 공급원은 펌프의 형태로 형성될 수 있으며, 퍼지 액체 공급소와 필터 어셈블리 입구 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 펌프는 입구 라인에 배치될 수 있다. 다른 대안으로서, 펌프는 배출구 및/또는 출구에 또는 그 하류에 배치될 수 있으며, 예를 들어, 배출구 라인 및/또는 출구 라인에 배치될 수 있는데, 이 경우 펌프는 필터 어셈블리의 입구에 음압을 가하게 된다. 펌프는 다양하게 형성될 수 있는데, 예를 들면, 저체적 저전단력 양변위 펌프(low volume, low shear positive displacement pump)의 형태로 형성될 수 있다. 다른 대안으로서, 압력 공급원은 중력 공급 어셈블리(gravity feed assembly); 또는, 공압식 또는 기계식 익스프레서(pneumatic or mechanical expressor)를 포함할 수 있다. 많은 구현예들의 경우, 압력 공급원(26)은 공압식 익스프레서를 포함할 수 있는데, 그 예로서는, "NOWPak"이라는 상표명으로 "ATMI"로부터 입수가능한 것들이 있다. 공압식 익스프레서에 있어서, 퍼지 액체 공급소는 유연성 용기 또는 백(bag)일 수 있는데, 이들은 퍼지 액체로 채워져서 압력 용기 내에 배치된다. 질소와 같은 비활성 가스가 유연성 용기의 외부에 포진된 압력 용기에 공급되어, 퍼지 액체를 원하는 유속으로 유연성 용기로부터 필터 어셈블리의 입구로, 예를 들어 입구 라인을 따라, 밀어낸다.

폐기물 저장 용기(30)는, 오염된 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11)로부터 받을 수 있는 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 폐기물 저장 용기는, 오염된 퍼지 액체를 받아들여서 적절하게 폐기하기 위한 드레인 라인(drain line)일 수 있다. 다른 대안으로서, 폐기물 저장 용기(30)는, 오염된 퍼지 액체의 더 많은 양을 받아들여서 저장하기 위한 탱크 또는 드럼; 또는, 오염된 퍼지 액체의 더 작은 양을 받아들여서 저장하기 위한 고정된 또는 유연한 용기;를 포함할 수 있다.

임의의 수많은 밸브들이 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35) 용으로 적합하다. 밸브들 중 하나 이상은 가변 유량 밸브일 수 있고, 필터 어셈블리에 대하여 유입 및/또는 유출되는 유체 흐름을 제어하는데 사용될 수 있다. 그러나, 많은 구현예들의 경우, 밸브들은 이진 온/오프 밸브일 수 있고, 예를 들어 고속 작동 온/오프 밸브일 수 있으며, 이 경우, 유체 흐름은 압력 공급원(26)에 의하여 제어될 수 있다. 각 밸브는, 필터 어셈블리의 입구, 배출구 또는 출구를 개방하고 폐쇄할 수 있는 다양한 위치에 배치될 수 있다. 예를 들면, 입구 밸브(33)는 입구(20)에 또는 그 근처에 배치될 수 있고, 예를 들어, 입구 라인(25)에 배치될 수 있으며; 배출구 밸브(34)는 배출구(21)에 또는 그 근처에 배치될 수 있고, 예를 들어, 배출구 라인(31)에 배치될 수 있으며; 출구 밸브(35)는 출구(22)에 또는 그 근처에 배치될 수 있고, 예를 들어, 출구 라인(32)에 배치될 수 있다.

제어기(36)는 임의의 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)는, 필터 어셈블리를 상태조절하는데 수반되는 다양한 단계들을 실행하기 위한 전자식 제어기일 수 있고, 예를 들어, 마이크로프로세서 또는 논리 배열(예를 들어, 프로그래밍가능한 로직 배열)을 포함할 수 있다. 제어기는 별도의 유닛일 수 있고, 상태 조절 시스템의 나머지 부분과 함께 또는 상태 조절 시스템의 임의의 다른 구성요소와 함께 물리적으로 배치될 수 있다. 다른 대안으로서, 제어기는, 필터 어셈블리를 상태조절하는 공정과 더불어 하나 이상의 공정들(예를 들어, 분배 공정들(dispense processes))을 제어하는 더 큰 전자 시스템과 통합될 수 있다. 제어기는, 상태 조절 시스템에 관한 정보를 수신 및/또는 전송하거나, 및/또는, 상태 조절 시스템의 하나 이상의 구성요소들의 기능을 조절하는 상태 조절 시스템의 임의의 구성요소에 연결될 수 있다. 예를 들어, 도 1에 나타난 제어기(36)는 압력 공급원(26)에 연결되어, 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 이르는 퍼지 액체의 흐름을 제어할 수 있다. 제어기(36)는 또한 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35)에 연결되어, 이 밸브들을 개방 및 폐쇄하고 필터 어셈블리(11)를 통과하는 흐름을 제어할 수 있다.

상태 조절 시스템은 하나 이상의 추가 구성요소를 포함할 수 있다. 추가 구성요소는, 예를 들면, 압력 센서, 온도 센서, 유량 센서 및 액위 센서와 같은 센서를 포함한다. 그에 따라, 시스템에 관한 추가적인 정보가 제공될 수 있다. 추가적인 구성요소는 또한, 댐프너(dampeners), 탈기장치(degassers), 버블트랩(bubble traps) 및 필터와 같은 다른 장치들을 포함할 수 있다. 그에 따라, 시스템 내부의 보조 기능들이 수행될 수 있다. 예를 들어, 압력 센서 및/또는 유량 센서는 입구 라인 및/또는 출구 라인에 배치되어, 필터 어셈블리의 입구 및/또는 출구와 결부된 압력 또는 유량 정보를 제공할 수 있고; 댐프너, 탈기장치 및/또는 필터는 입구 라인에 배치되어, 필터 어셈블리의 입구의 상류에서 보조 기능들을 수행할 수 있으며; 및/또는, 버블트랩은 출구 라인에 배치되어, 필터 어셈블리의 출구의 하류에서 보조 기능을 수행할 수 있다.

본 발명의 하나 이상의 측면들에 따른 필터 어셈블리 상태 조절 방법 또한, 임의의 수많은 방식으로 구현될 수 있다. 필터 어셈블리가 본 발명을 구현하는 상태 조절 시스템에 장착된 후에, 필터 어셈블리는 임의의 이들 방법에 따라 상태조절될 수 있으며, 시스템 제어기는, 임의의 이들 방법을 위하여 기술된 단계들, 그리고 단계들의 순서들에 따라 프로그래밍될 수 있다.

상태 조절 방법의 일 구현예의 많은 다양한 실시예들 중 하나는, 제1 과정에서, 예를 들어, 도 1에 나타난 필터 어셈블리(11)의 입구(20) 및 배출구(21)를 개방하고 출구(22)를 폐쇄하는 조작을 포함할 수 있다. 많은 구현예들에 있어서, 입구(20)를 개방하는 조작, 배출구(21)를 개방하는 조작 및 출구(22)를 폐쇄하는 조작은, 각각, 입구 밸브(33)를 개방하는 조작, 배출구 밸브(34)를 개방하는 조작 및 출구 밸브(35)를 폐쇄하는 조작을 포함할 수 있으며, 이들 조작들은 제어기(36)의 지시에 따라 이루어질 수 있다. 입구(20) 및 배출구(21)는 개방되고 출구(22)는 폐쇄된 상태에서, 퍼지 액체(예를 들어, 앞에서 기술한 바와 같은 용매)는, 예를 들어 양의 게이지 압력에서, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 어셈블리(11) 내부의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라, 그리고 개방된 배출구(21)를 통하여 통과할 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 압력 공급원(26)은, 임의의 다양한 방식으로, 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에서의 압력을 증가시킬 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11)를 통하여, 그리고 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라 밀어낼 수 있다. 많은 구현예들에 있어서, 퍼지 액체 공급소(24)는 유연성 용기일 수 있고, 압력 공급원(26)은 공압 익스프레서(pneumatic expressor)일 수 있다. 제어기(36)는 압력 공급원(26)을 제어하여, 비활성 가스(예를 들어, 질소)를 인가하여 유연성 용기(24)의 외부에 힘을 가하게 함으로써, 퍼지 액체를 유연성 용기(24)로부터, 개방된 입구(20)를 통하여, 예를 들어 입구 라인(25)를 따라, 그리고 개방된 입구 밸브(33)를 통하여 밀어낸다. 퍼지 액체는 개방된 입구(20)를 통하여, 퍼지 액체가 필터 어셈블리(11)의 하단으로 흘러가도록 할 수 있는 유속으로 통과한 다음, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라 올라가되, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)에 위치하는 필터 어셈블리(11) 내 임의의 가스 또는 임의의 전습 액체를, 개방된 배출구(21)를 통하여, 그리고 상승하는 퍼지 액체에 앞장서도록 하여, 몰아내는 방식으로 올라간다. 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라가는 흐름은, 적어도 초기에는, 난류가 아닐 수 있다. 그에 따라, 가스 또는 전습 액체와 퍼지 액체의 임의의 혼합이 감소될 수 있다. 이러한 유속은, 필터 어셈블리의 크기, 즉 예를 들어 필터 어셈블리 내부의 유로의 크기를 포함하는 많은 요인들에 따라 달라질 수 있다. 마이크로일렉트로닉스 산업용으로 의도된 필터 어셈블리에 적용되는 구현예들을 포함하는 많은 구현예들의 경우, 개방된 입구(20)을 통과하는 퍼지 액체 유속은, 예를 들어, 약 20 mL/min 이하 내지 약 100 mL/min 이상의 범위일 수 있다.

일단 퍼지 액체가 임의의 가스 또는 전습 액체를 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)으로부터 몰아내고 난 후에도, 개방된 입구(20)를 통한 퍼지 액체의 흐름은 계속될 수 있다. 이때, 그 유속은 증가되거나 증가되지 않을 수 있다. 그에 따라, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14) 또는 하우징(13)의 내부로부터 떨어져 나오거나 용출되는 입자상 물질 또는 다른 물질을 포함하는 오염물질을, 개방된 배출구(20)를 통하여, 추가적으로 제거할 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 압력 공급원(26)은 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에서의 압력을 추가적으로 증가시킬 수 있다. 마이크로일렉트로닉스 산업용으로 의도된 구현예들을 포함하는 많은 구현예들의 경우, 제1 과정에서, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라, 그리고 개방된 배출구(21)를 통하여 플러싱되는 퍼지 액체의 총 부피는, 예를 들어, 약 100 ml 이하 내지 약 300 ml 이상의 범위일 수 있다.

대부분의 구현예들의 경우, 상태 조절 방법의 제1 과정에서, 개방된 배출구(21)를 통하여 필터 어셈블리(11)를 빠져나가는 퍼지 액체 및 오염물질은 폐기물 저장 용기(30)로 보내질 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 필터 어셈블리(11) 내부의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)으로부터 나온 퍼지 액체 및 오염물질은, 압력 공급원(26)에 의하여, 개방된 배출구(21)를 통하여, 즉, 예를 들면 개방된 배출구 밸브(34) 및 배출구 라인(31)을 경유하여, 폐기물 저장 용기(30)로 보내질 수 있다. 제1 과정의 종료시에, 필터 어셈블리(11) 내부의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)은 퍼지 액체로 채워지게 되고, 오염물질은 없는 상태가 된다.

본 상태 조절 방법은, 상태 조절 방법의 제2 과정에서, 필터 어셈블리(11)의 입구(20)를 개방하는 조작, 출구(22)를 개방하는 조작 및 배출구(21)를 폐쇄하는 조작을 더 포함할 수 있다. 이번에도, 입구(20)를 개방하는 조작, 출구(22)를 개방하는 조작 및 배출구(21)를 폐쇄하는 조작은, 각각, 입구 밸브(33)를 개방하는 조작, 출구 밸브(35)를 개방하는 조작 및 배출구 밸브(34)를 폐쇄하는 조작을 포함할 수 있으며, 이들 조작들은 제어기(36)의 지시에 따라 이루어질 수 있다. 입구(20) 및 출구(22)를 개방하고 배출구(21)를 폐쇄한 상태에서, 퍼지 액체는, 예를 들어 양의 게이지 압력으로, 제2 과정의 제1 국면에서, 제1 유속으로, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 매질(12)을 상류 쪽 면(14)으로부터 하류 쪽 면(15) 방향으로 통하여, 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 따라, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여 통과할 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 압력 공급원(26)은, 임의의 다양한 방식으로, 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에서의 압력을 증가시킬 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체를 필터 매질(12)을 통하여, 개방된 출구(22)로 밀어낼 수 있다. 이번에도, 많은 구현예의 경우, 제어기(36)는 압력 공급원(26)을 제어하여, 비활성 가스를 공급하여 유연성 용기(24)의 외부에 힘을 가하게 함으로써, 퍼지 액체를 유연성 용기(24)로부터, 개방된 입구(20)를 통하여, 예를 들어 입구 라인(25)을 따라, 그리고 개방된 입구 밸브(33)를 통하여, 제1 유속으로 밀어낸다.

제2 과정의 제1 국면에서의 제1 유속은, 퍼지 액체가, 필터 매질(12)을 완벽하게 채울 수 있도록 충분히 느리게, 필터 매질(12)을 통하여 흐르도록 할 수 있다. 개방된 입구(20)에서의 압력은, 퍼지 액체가 필터 매질(12)의 모든 기공 및 공극 내로 확산하는 것을 허용하기에 충분한 시간 동안 유지될 수 있으며, 그에 따라, 이들 기공 및 공극으로부터 모든 가스 또는 전습 액체를 몰아낼 수 있다. 그러지 아니하면, 이들 기공 및 공극은 필터 매질(12) 내에 잡혀 있게 될 것이다. 퍼지 액체가 필터 매질(12)을 통과할 때, 제1 유속은 또한, 퍼지 액체가 필터 어셈블리(11) 내부의 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 그 하단으로부터 위로 채우되, 임의의 가스 또는 전습 액체를 퍼지 액체에 앞장세워 개방된 출구(22)를 통하여 밀어내는 방식으로 채우는 것을 가능하게 할 수 있다. 제1 유속은 비난류 흐름 프로파일을 가능하게 할 수 있으며, 그에 따라, 가스 또는 전습 액체와 퍼지 액체의 임의의 혼합을 감소시킬 수 있다. 또한, 제1 유속은, 필터 어셈블리의 크기 및 필터 매질의 특성들(예를 들어, 제거 등급)을 포함하는 많은 요인에 따라 달라질 수 있다. 마이크로일렉트로닉스 산업에 적용되는 구현예들을 포함하는 많은 구현예들의 경우, 필터 매질이 약 0.05 ㎛ 이하의 제거 등급을 가질 수 있는데, 이러한 경우, 제2 과정의 제1 국면에서의 퍼지 액체의 제1 유속은, 예를 들어, 약 20 mL/min 이하 내지 약 100 mL/min 이상의 범위일 수 있다.

퍼지 액체가 모든 가스 또는 전습 액체를 필터 매질(12)의 기공 및 공극으로부터 몰아내고, 가스 또는 전습 액체를 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)으로부터 몰아낸 후에는, 개방된 입구(20)를 통한, 필터 매질(12)을 통한, 그리고 개방된 출구(22)를 통한 퍼지 액체의 유속은, 제2 과정의 제2 국면에서, 제2 유속으로 증가될 수 있고, 제2 유속은 제1 유속보다 크다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 압력 공급원(26)은 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에서의 게이지 압력을 더욱 증가시킬 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소(24)로부터 개방된 입구(20)로 더 큰 유속으로 밀어낼 수 있다. 더 큰 제2 유속은, 임의의 잔류 가스 또는 전습 액체뿐만 아니라 필터 매질로부터 떨어져 나오거나 용출된 입자상 물질 또는 다른 물질을 포함하는 오염물질을, 필터 어셈블리(11)로부터, 더 작은 제1 유속보다 더 효과적으로, 플러싱한다. 제2 유속은, 제1 유속의 경우와 동일한 많은 요인들에 따라 달라질 수 있다. 마이크로일렉트로닉스 산업에 적용되는 구현예들을 포함하는 많은 구현예들의 경우, 제2 유속은, 예를 들어, 약 500 mL/min 이상에 이르는 범위일 수 있고, 다른 예를 들면, 약 50 mL/min 이하 내지 약 500 mL/min 이상의 범위일 수 있다. 또한, 제2 과정 동안, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 매질(12)을 통하여, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여 플러싱되는 퍼지 액체의 총 부피는, 예를 들어, 약 250 ml 이하 내지 약 1000 ml 이상의 범위일 수 있으며, 총 부피의 상당 부분이, 예를 들어 약 5% 내지 약 25% 이상이, 제2 과정의 제2 국면에서 필터 어셈블리(11)를 통하여 플러싱될 수 있다.

도 1의 상태 조절 방법의 제2 과정의 제1 및 제2 국면 모두에서, 개방된 출구(22)를 통하여 필터 어셈블리(11)를 빠져나오는 퍼지 액체 및 오염물질은, 폐기물 저장 용기(30)로 보내질 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 압력 공급원(26)은, 필터 매질(12)의 내부로부터 나온 그리고 필터 어셈블리(11) 내부의 필터 매질의 하류 쪽 면(15)으로부터 나온 퍼지 액체 및 오염물질을, 개방된 출구(22)를 통하여 폐기물 저장 용기(30)까지, 예를 들어 개방된 출구 밸브(35) 및 출구 라인(32)를 경유하여, 밀어낼 수 있다. 제2 과정이 종료되면, 필터 어셈블리(11) 전체는 퍼지 액체로 채워지고, 오염물질이 없는 상태가 될 수 있다. 그 다음, 필터 어셈블리는 상태 조절 시스템으로부터 제거될 수 있다. 입구, 출구 및 배출구가 밀봉되어, 필터 어셈블리는, 퍼지 액체로 채워지고 오염물질이 없는 상태로 보관 및/또는 운송될 수 있다. 이를 대신하여 또는 이에 부가하여, 퍼지 액체를 필터 어셈블리로부터, 예를 들면 여과될 화학물질에 의하여, 몰아낼 수 있고, 필터 어셈블리는 화학물질을 여과하는 작업에 배치될 수 있다.

상태 조절 시스템(10) 및 상태 조절 방법의 다른 구현예들을 도 2에 도시하였다. 도 2의 상태 조절 시스템(10)은 도 1의 상태 조절 시스템(10)과 매우 유사하며, 유사한 구성요소는 동일한 지시부호로 식별된다. 도 2의 상태 조절 시스템(10)은 퍼지 액체 공급소(24)를 유사하게 포함할 수 있고, 퍼지 액체 공급소(24)는 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에, 앞에서 기술한 다양한 방식으로, 예를 들어, 입구 라인(25)을 경유하여, 연결가능할 수 있다. 압력 공급원(26)은, 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리 입구(20) 까지, 예를 들어 압력 공급원(26)에 연결된 제어기(36)의 제어 하에, 밀어내도록 유사하게 배열될 수 있다. 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35)는, 필터 어셈블리(11)의 입구(20), 배출구(21) 및 출구(22) 각각과 유사하게 연계 조작되며, 제어기(36)에 연결될 수 있다. 상태 조절 시스템(10)은 또한 폐기물 저장 용기(30)를 포함할 수 있고, 폐기물 저장 용기(30)는 필터 어셈블리(11)의 배출구(21) 및 출구(22)에, 예를 들어, 배출구 라인(31) 및 출구 라인(32)을 경유하여, 유사하게 연결될 수 있다.

또한, 도 2의 상태 조절 시스템(10)은 진공 장치(40)를 포함할 수 있는데, 진공 장치(40)는 퍼지 액체를, 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20) 내로, 개방된 출구(22)를 통하여, 예를 들어 음의 게이지 압력으로, 흡인할 수 있다. 진공 장치는 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 진공 장치(40)는 이덕터 어셈블리(eductor assembly)를 포함할 수 있고, 퍼지 액체를 개방된 입구(20) 내로 진공으로 흡인할 수 있다. 진공 장치(40)는 제어기(36)에 연결될 수 있으며, 상태 조절 시스템(10)의 다양한 위치에 결합될 수 있다. 예를 들어, 진공 장치(40)는 필터 어셈블리(11)의 출구(22)에 결합되어, 출구(22)의 압력을 감소시킬 수 있고, 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11)를 통하여, 즉, 개방된 입구(20)로부터, 필터 매질(12)을 통하여, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여 흡인할 수 있다. 도시된 구현예에 있어서, 진공 장치(40)는 출구 라인(32)에, 예를 들어 출구 밸브(35)의 하류에, 배치될 수 있다.

도 2의 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 방법은, 도 1의 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 방법과 매우 유사할 수 있다. 예를 들어, 도 2의 상태 조절 방법의 제1 과정은, 앞에서 기술한 바와 같은 도 1의 상태 조절 방법의 제1 과정과 매우 유사할 수 있다. 많은 구현예들의 경우, 제1 과정에서, 진공 장치(40)는 기능정지될 수 있고, 입구(20) 및 배출구(21)는 개방될 수 있고, 출구(22)는 폐쇄될 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체는, 퍼지 액체 공급소(24)로부터, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라, 그리고 개방된 배출구(21)를 통하여 통과한 다음, 폐기물 저장 용기(30)로 보내질 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 입구 밸브(33) 및 배출구 밸브(34)는 개방될 수 있고, 출구 밸브(35)는 폐쇄될 수 있고, 압력 공급원(26)은 개방된 입구(20)의 압력을 증가시킬 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11) 내로 밀어낼 수 있다. 퍼지 액체 및 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)의 임의의 오염물질은 개방된 배출구(21)를 빠져나가서, 앞에서 기술한 바와 같이 폐기물 저장 용기(30)로 보내진다. 제1 과정이 종료되면, 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)은 퍼지 액체로 채워지고, 오염물질이 없는 상태가 될 수 있다.

도 2의 상태 조절 방법의 제2 과정에서, 앞에서 기술한 바와 같이, 입구(20) 및 출구(22)는 개방될 수 있고, 배출구(21)는 폐쇄될 수 있으며, 제2 과정의 제1 국면에서는, 퍼지 액체는, 앞에서 기술한 바와 같이, 필터 어셈블리를 통하여 제1 유속으로 통과할 수 있다. 그러나, 제2 과정의 제1 국면에서, 진공 장치(40) 및 압력 공급원(26)은, 필터 어셈블리(11)의 개방된 출구(22)의 압력이 대기압보다 낮게 제공되도록, 배열될 수 있다. 예를 들어, 압력 공급원(26)은 개방된 입구(20)에서의 대기압 위로의 압력 증가를 거의 또는 전혀 제공하지 않을 수 있고, 반면에, 진공 장치(40)는 개방된 출구(22)에서의 압력을 대기압 아래로, 예를 들어 약 마이너스 12 psig 이하까지, 낮출 수 있다. 많은 구현예들의 경우, 제어기(36)는, 압력 공급원(26)이 퍼지 액체를 담고 있는 유연성 용기(24)의 외부에 대기압 위로의 압력 증가를 거의 또는 전혀 가하지 않도록, 지시할 수 있고, 반면에, 진공 장치(40)는, 제어기(36)의 지시에 따라, 개방된 출구(22)의 압력을 대기압 아래로 감소시킬 수 있다.

제2 과정의 이러한 제1 국면에서, 퍼지 액체는, 퍼지 액체 공급소(24)로부터, 예를 들어 입구 라인(31)을 따라, 그리고 개방된 입구 밸브(33)를 통하여, 필터 어셈블리(11) 내로, 진공 장치(40)에 의하여, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 흡인될 수 있다. 그 다음, 퍼지 액체는, 제1 유속으로, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 매질(12)을 상류 쪽 면(14)으로부터 하류 쪽 면(15) 방향으로 통하여, 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 따라, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여, 흡인될 수 있다. 도 1과 관련하여 앞에서 기술한 바와 같이, 제1 유속은 비난류 흐름 프로파일을 가능하게 할 수 있고, 퍼지 액체가 필터 매질(12)을 통하여 충분히 느리게 흘러서 모든 기공 및 공극을 채우는 것을 가능하게 할 수 있으며, 그에 따라, 가스 또는 전습 액체를 기공 및 공극으로부터 몰아낼 수 있다. 개방된 출구(22)에 대기압보다 낮은 압력을 제공함으로써, 진공 장치(40)는 필터 매질(12)의 기공 및 공극으로부터의 가스 또는 전습 액체의 제거를 더욱 향상시킨다. 진공 장치(40)의 "당김(pull)"은 유입되는 퍼지 액체의 "밀기(push)"와 결합되어, 필터 매질(12)의 기공 및 공극으로부터 가스 또는 전습 액체를 더욱 철저하게 제거할 수 있다. 따라서, 진공 장치(40)의 "당김(pull)"은, 약 0.05 ㎛ 이하의 제거 등급을 갖는 필터 매질의 작은 기공 및 공극에 대하여 특히 효과적이다. 필터 매질(12)로부터 나와서, 퍼지 액체는 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(13)을, 예를 들어 하단에서 위로, 채울 수 있고, 그에 따라, 공기 또는 전습 액체를, 개방된 출구(22)를 통하여, 퍼지 액체에 앞장세워, 밀어낼 수 있다.

퍼지 액체가 가스 또는 전습 액체를 필터 매질(12)의 기공 및 공극으로부터 그리고 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)으로부터 몰아낸 후, 개방된 입구(20)를 통한, 필터 매질(12)을 통한, 그리고 개방된 출구(22)를 통한 퍼지 액체의 유속은, 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면에서, 더 큰 제2 유속으로 증가될 수 있다. 도 2의 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면은 진공 장치(40)를 기능정지하는 조작을 포함할 수 있으며, 그렇지 않으면, 앞에서 기술한 도 1의 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면과 거의 동일할 수 있다. 예를 들어, 진공 장치(40)는 기능정지되고, 압력 공급원(26)은 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(22)의 압력을 증가시킴으로써, 더 큰 제2 유속이 형성될 수 있으며, 이는, 예를 들면, 제어기(36)의 지시에 따라 이루어질 수 있다. 그에 따라, 더 많은 퍼지 액체를 더 큰 제2 유속으로 퍼지 액체 공급소(24)로부터 개방된 입구(20) 내로 밀어내게 되고, 이를 통하여, 오염물질을 필터 어셈블리(11)로부터 더욱 효과적으로 플러싱하게 되며, 이는 도 1과 관련하여 앞에서 기술한 바와 같다.

도 2의 상태 조절 방법의 제2 과정의 제1 및 제2 국면 모두에서, 필터 어셈블리(11)의 개방된 출구(22)를 빠져나가는 퍼지 액체 및 오염물질은, 예를 들면 앞에서 기술한 바와 같이 제어기(36)의 지시에 따라 개방된 출구 밸브(35) 및 출구 라인(32)을 경유하여, 폐기물 저장 용기(30)로 보내질 수 있다. 제2 과정이 종료되면, 필터 어셈블리 전체는 퍼지 액체로 채워지고 오염물질이 없는 상태가 될 수 있으며, 보관, 운송, 또는 앞에서 기술한 바와 같은 사용을 위하여 준비될 수 있다.

상태 조절 시스템(10) 및 상태 조절 방법의 다른 구현예들을 도 3에 도시하였다. 도 3의 상태 조절 시스템(10)은 도 1 및 2의 상태 조절 시스템(10)과 매우 유사하며, 유사한 구성요소는 동일한 지시부호로 식별된다. 도 3의 상태 조절 시스템은 퍼지 액체 공급소(24)를 유사하게 포함할 수 있으며, 퍼지 액체 공급소(24)는 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에, 앞에서 기술된 임의의 방식으로, 예를 들면 입구 라인(25)을 경유하여, 연결가능할 수 있다. 압력 공급원(26)은, 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리(11)의 입구(20)로 밀어낼 수 있도록, 유사하게 배열될 수 있으며, 이는, 예를 들어, 압력 공급원(26)에 연결된 제어기(36)의 지시에 따라 이루어질 수 있다. 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34) 및 출구 밸브(35)는, 필터 어셈블리(11)의 입구(20), 배출구(21) 및 출구(22) 각각과 유사하게 연계 조작될 수 있으며, 제어기(36)에 연결될 수 있다. 상태 조절 시스템(10)은 또한 폐기물 저장 용기(30)를 포함할 수 있고, 폐기물 저장 용기(30)는 필터 어셈블리(11)의 배출구(21) 및 출구(22)에, 예를 들어, 배출구 라인(31) 및 출구 라인(32)을 경유하여, 연결될 수 있다. 또한, 도 3의 상태 조절 시스템(10)은 또한 진공 장치(40)를 포함할 수 있는데, 진공 장치(40)는 출구(22)에, 예를 들어, 출구 라인(35)를 경유하여, 결합될 수 있고, 제어기(36)에 연결될 수 있으며, 이는 도 2에 나타난 진공 장치(40)와 유사하다.

또한, 도 3의 상태 조절 시스템(10)은, 퍼지 액체를 담을 수 있는 용기(41), 즉 제2 용기를 포함할 수 있다. 제2 용기(41)는, 예를 들어 고정된 또는 유연한 용기의 형태와 같이, 다양하게 형성될 수 있으며, 필터 어셈블리(11)의 출구(22)에 다양한 방식으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 제2 용기(41)는, 회수 라인(42) 및 출구 밸브 배열(43, 44)를 통하여, 필터 어셈블리(11)의 출구(22)에 결합될 수 있다. 이때, 출구 밸브 배열(43, 44)은 회수 라인(42)을 출구 라인(32)에 연결한다. 진공 장치(40)를 포함하는 구현예들의 경우, 회수 라인(42)은, 도 3에 나타난 바와 같이 진공 장치(40)의 상류에서, 또는, 진공 장치(40)의 하류에서, 출구 라인(32)에 연결될 수 있다. 출구 밸브 배열(43, 44)은 제어기(36)에 연결될 수 있다. 출구 밸브 배열(43, 44)은 퍼지 액체를, 필터 어셈블리(11)의 개방된 출구(22)로부터, 폐기물 저장 용기(30) 및 제2 용기(41) 중의 어느 하나로, 이끌도록 배열될 수 있다.

도 3의 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 방법은, 도 1 또는 도 2의 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 방법과 매우 유사할 수 있다. 예를 들어, 도 3의 상태 조절 방법의 제1 과정은, 앞에서 기술된 바와 같은 도 1 또는 도 2의 상태 조절 방법의 제1 과정과 거의 동일할 수 있다. 많은 구현예들의 경우, 제1 과정에서, 진공 장치(40)는 기능정지될 수 있고, 필터 어셈블리(11)의 입구(20) 및 배출구(21)는 개방될 수 있고, 출구(22)는 폐쇄될 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체는, 퍼지 액체 공급소(24)로부터, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라, 개방된 배출구(21)를 통하여, 폐기물 저장 용기(30)로 보내질 수 있다. 예들 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 입구 밸브(33) 및 배출구 밸브(34)는 개방될 수 있고, 출구 밸브(35)는 폐쇄될 수 있고, 압력 공급원(26)은 개방된 입구(20)의 압력을 증가시킬 수 있으며, 그에 따라, 퍼지 액체를 개방된 입구(20) 내로 보낼 수 있고, 퍼지 액체 및 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)에 있는 임의의 오염물질을, 개방된 배출구(21)를 통하여 폐기물 저장 용기(30)로 플러싱할 수 있으며, 이는 앞에서 기술된 바와 같다. 제1 과정이 종료되면, 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)은 퍼지 액체로 채워지고 오염물질이 없는 상태가 될 수 있다.

도 3의 상태 조절 방법의 제2 과정은, 도 2의 상태 조절 방법의 제2 과정과 거의 동일할 수 있다. 필터 어셈블리(11)의 입구(20) 및 출구(22)는 개방될 수 있고, 배출구(21)는 폐쇄될 수 있다. 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 입구 밸브(33) 및 출구 밸브(35)는 개방될 수 있고, 배출구 밸브(34)는 폐쇄될 수 있다. 또한, 압력 공급원(26) 및 진공 장치(40)는, 개방된 출구(22)에 대기압보다 낮은 압력이 제공되도록 배열될 수 있으며, 이는 앞에서 기술된 바와 같다. 그러나, 제2 과정의 제1 국면에서, 퍼지 액체가 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20)를 통과하기 전에, 출구 밸브 배열(43, 44)는, 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 회수 라인(42)을 폐쇄하고 출구 라인(32)을 개방하도록 배열될 수 있다. 이때, 출구 라인(32)은, 출구 밸브 배열(43, 44)과 폐기물 저장 용기(30)의 사이에 위치한다. 그 다음, 퍼지 액체는, 진공 장치(40)에 의하여, 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20)로 흡인될 수 있고, 추가적으로, 제1 유속으로, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 매질(12)을 상류 쪽 면(14)으로부터 하류 쪽 면(15) 방향으로 통하여, 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 따라, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여 통과할 수 있으며, 이는 도 2와 관련하여 앞에서 기술된 바와 같다. 필터 매질(12) 내의 그리고 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)에 있는 가스 또는 전습 액체를 포함하는 오염물질은, 필터 어셈블리(11)로부터, 개방된 출구(22)를 통하여, 효과적으로 몰아내지거나 및/또는 실려나갈 수 있다. 제2 과정의 제1 국면 동안, 개방된 출구(22)로부터 나온 퍼지 액체 및 오염물질은 폐기물 저장 용기(30)로 이끌어질 수 있다. 예를 들어, 출구 밸브 배열(43, 44)은, 제어기(36)의 지시에 따라, 퍼지 액체 및 오염물질을 폐기물 저장 용기(30)로 출구 라인(32)을 통하여 이끌 수 있다.

퍼지 액체가 가스 또는 전습 액체를 필터 매질(12)의 기공 및 공극 및 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)으로부터 몰아낸 후에, 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 매질(12)을 통하여, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여 통과하는 퍼지 액체의 유속이, 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면에서, 더 큰 제2 유속으로 증가될 수 있다. 도 3의 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면은 도 2의 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면과 거의 동일할 수 있다. 예를 들어, 진공 장치(40)는 기능정지될 수 있고, 압력 공급원(26)은 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(22)에서 압력을 증가시킬 수 있으며, 그에 따라 더 큰 제2 유속이 형성될 수 있는데, 이러한 과정은, 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라 이루어질 수 있다. 그 다음, 퍼지 액체는 더 큰 제2 유속으로 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20) 내로 보내지며, 그에 따라, 오염물질은 필터 어셈블리(11)로부터 더욱 효율적으로 플러싱되는데, 이는 도 1 및 2와 관련하여 앞에서 기술한 바와 같다.

또한, 도 3의 상태조절 방법은, 제2 과정의 제2 국면 동안, 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11)의 개방된 출구(22)로부터 제2 용기(41)로 이끌어서, 폐기물 저장 용기(30)로 가지 않게 하는 단계를 더 포함한다. 예를 들어, 제2 과정의 제2 국면 동안, 출구 밸브 배열(43,44)은, 예를 들어, 제어기(36)의 지시에 따라, 출구 밸브 배열(43,44)로부터 하류 쪽에 있는 출구 라인(32)을 폐쇄하고 회수 라인(42)을 개방하도록 배열될 수 있다. 그 다음, 퍼지 액체는 필터 어셈블리(11)의 개방된 출구(22)로부터 제2 용기(41)로, 예를 들어, 출구 라인(32) 및 회수 라인(42)을 통하여, 보내진다. 많은 구현예들의 경우, 충분한 부피의 퍼지 액체가 제2 유속으로 필터 어셈블리(11) 및 필터 매질(12)를 통과한 후, 거의 모든 오염물질이 필터 매질(12) 및 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)으로부터 제거되었다. 제2 유속으로 퍼지 액체의 흐름을 계속 유지하는 것은, 임의의 잔류하는 분리된 오염물질을 제거하는데 이로울 수 있으나, 통상적으로, 이 시점에서 개방된 출구(22)를 빠져나가는 퍼지 액체는 오염물질을 실질적으로 포함하지 않으며 제2 용기(41)로 회수될 수 있다. 필터 매질(12)을 포함하는 필터 어셈블리(11)가 오염물질을 실질적으로 함유하지 않는 상태가 되도록 하기 위하여, 제2 과정의 제2 국면 동안 필터 어셈블리(11)를 통과할 수 있는 퍼지 액체의 충분한 양은, 예를 들어, 필터 어셈블리(11)의 크기와 청정도 및 필터 매질(12)의 특성(예를 들어, 제거 등급)에 따라 달라질 수 있으며, 임의의 주어진 필터 어셈블리(11)에 대하여 실험적으로 결정될 수 있다. 많은 구현예들의 경우, 상태 조절 방법의 제2 과정의 제2 국면 동안 필터 어셈블리(11)를 통과하는 퍼지 액체 총 양의 약 5% 이하 내지 약 25% 이상이 제2 용기(41)에서 회수될 수 있다. 제2 과정이 종료되면, 필터 어셈블리 전체가 퍼지 액체로 채워지고 오염물질이 없는 상태가 될 수 있으며, 운송, 보관, 또는 앞에서 기술된 바와 같은 사용을 위하여 준비될 수 있다. 또한, 퍼지 액체 공급소로부터 공급된 퍼지 액체의 상당 부분이 제2 용기에서 회수될 수 있다.

도 3의 상태 조절 방법은 제2 용기(41)에서 회수된 퍼지 액체를 재사용하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 용기(41)는 도 3의 상태 조절 시스템(10) 내에 장착된 새로운 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구로 연결될 수 있다. 일부 구현예에 있어서, 회수된 퍼지 액체를 담고 있는 제2 용기(41)는, 압력 공급원(26) 내의, 예를 들어, 고갈된 제1 용기와 같은, 고갈된 퍼지 액체 공급소(24)를 대체할 수 있다. 그 다음, 제2 용기는, 예를 들어 입구 라인(25)을 통하여, 새 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 연결될 수 있고; 예를 들어 새 필터 어셈블리(11)의 필터 매질의 제거 등급과 유사한 제거 등급을 갖는 필터와 같은 필터가 입구 라인(25)에 배치될 수 있다. 또한, 텅 빈 제2 용기(41)가, 예를 들어 회수 라인(42)의 끝에서, 필터 어셈블리(11)의 출구(22)에 연결될 수 있다. 그 다음, 새 필터 어셈블리(11)를 상태조절하기 위해, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 압력 공급원(26)이, 제2 용기 내에 있는 회수된 퍼지 액체를 새 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20)로 밀어낼 수 있다. 입구 라인(25) 안에 있는 필터(미도시)는 회수된 퍼지 액체로부터 임의의 미량 오염 물질을 제거할 수 있다. 회수된 퍼지 액체의 상당 부분이 회수 라인(42)에 연결된 비어있는 제2 용기(41)에서 또다시 회수될 수 있다.

상태 조절 시스템(10) 및 상태 조절 방법의 다른 구현예들을 도 4에 도시하였다. 도 4의 상태 조절 시스템(10)은 도 1, 2 및 3의 상태 조절 시스템(10)과 매우 유사할 수 있으며, 유사한 구성요소는 동일한 지시부호로 식별된다. 도 4의 상태 조절 시스템(10)은, 예를 들어, 제1 용기와 같은 퍼지 액체 공급소(24)를 포함할 수 있고, 이것은 예를 들어, 입구 라인(25)을 통해, 앞에서 기술된 방법들 중 어느 한 방법으로, 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 연결될 수 있다. 제1 압력 공급원(26)은, 예를 들어 제1 압력 공급원(26)에 연결된 제어기(36)의 지시에 따라, 퍼지 액체를 퍼지 액체 공급소(24)로부터 필터 어셈블리(11)의 입구(20)로 밀어내도록 배열될 수 있다. 입구 밸브(33), 배출구 밸브(34), 및 출구 밸브(35)는, 각각, 필터 어셈블리(11)의 입구(20), 배출구(21) 및 출구(22)와 연계 조작될 수 있으며, 제어기(36)에 연결될 수 있다. 상태 조절 시스템(10)은 폐기물 저장용기(30), 진공 장치(40), 및 퍼지 액체를 담을 수 있는 제2 용기(41)를 더 포함할 수 있다. 폐기물 저장용기(30)는, 예를 들어, 배출구 라인(31) 및 출구 라인(32)을 통하여, 필터 어셈블리(11)의 배출구(21) 및 출구(22)에 연결될 수 있다. 진공 장치(40)는, 예를 들어 출구 라인(32)을 통하여, 필터 어셈블리(11)의 출구(22)에 연결될 수 있으며, 제어기(36)에 연결될 수 있다. 제2 용기(41)는 필터 어셈블리의 출구(22)에, 예를 들어 출구 밸브 배열(43,44) 및 회수 라인(42)을 통하여, 연결될 수 있다.

또한, 도 4의 상태 조절 시스템(10)은 제2 용기(41)로부터 퍼지 액체를 밀어내기 위한 제2 압력 공급원(45)을 포함할 수 있다. 제2 압력 공급원(45)은 제1 압력 공급원(26)과 유사한 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 압력 공급원(45)은 공압 익스프레서(pneumatic expressor)일 수 있으며 제어기(36)에 연결될 수 있다. 제2 용기(41)는 제2 압력 공급원(45) 내에 배치된 유연한 용기일 수 있으며, 제2 압력 공급원(45)은, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 제1 압력 공급원(26)과 관련하여 앞에서 기술한 바와 같이, 유연한 제2 용기의 외부에 질소와 같은 불활성 가스를 인가하도록 배열될 수 있다. 회수 밸브 배열(50,51)은 회수 라인(42)과 제1 및 제2 용기(24,41) 사이에 연결될 수 있으며, 이때, 한 번에 용기(24,41)를 하나씩 회수 라인(42)에 연결하게 되고, 다른 용기(41,24)는 회수 라인(42)으로부터 분리된다. 입구 밸브 배열(52,53)은 입구 라인(25)과 제1 및 제2 용기(24,41) 사이에 연결될 수 있으며, 이때, 한 번에 용기(24,41)를 하나씩 입구 라인(25)에 연결하게 되고, 다른 용기(41,24)는 입구 라인(25)으로부터 분리된다. 회수 밸브 배열(50,51)과 입구 밸브 배열(52,53)은 둘 다 제어기(36)에 연결될 수 있고, 1) 제1 용기(24)를 회수 라인(42)이 아니라 입구 라인(25)에 연결하되 제2 용기(41)는 입구 라인(25)이 아니라 회수 라인(42)에 연결하는 것과, 2) 제2 용기(41)를 회수 라인(42)이 아니라 입구 라인(25)에 연결하되 제1 용기(24)는 입구 라인(25)이 아니라 회수 라인(42)에 연결하는 것을 번갈아서 할 수 있도록 배열될 수 있다. 그러므로, 도 4의 상태 조절 시스템(10)은 여러 번의 사이클을 거쳐 장기간 복수의 필터 어셈블리를 개별적으로 상태 조절할 수 있게 된다. 각각의 사이클에 있어서, 제1 용기(24)가 퍼지 액체를 필터 어셈블리의 상태 조절을 위해 공급하는 반면에, 제2 용기(4)는 퍼지 액체의 일부분을 회수하고, 그 다음, 제2 용기(41)는 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11)의 상태 조절을 위해 공급하는 반면에 제1 용기(24)는 퍼지 액체의 일부분을 회수한다. 도 3에 관해 설명된 필터와 유사하게, 필터(54)는 회수된 퍼지 액체로부터 미량의 오염물질을 제거하기 위해 입구 라인(25)에 배치될 수 있다.

도 4의 상태 조절 방법은 도 1, 2 및 3의 상태 조절 방법과 매우 유사할 수 있다. 예를 들어, 도 4의 상태 조절 방법의 제1 및 제2 과정은, 앞에서 기술된 바와 같은 도 3의 상태 조절 방법의 제1 및 제2 과정과 거의 동일할 수 있는데, 다만 그에 덧붙여, 입구 라인(25)으로부터 용기들(41,24) 중 하나를 분리하는 것과 회수 라인(42)로부터 용기들(24,41) 중 다른 하나를 분리한다. 예를 들어, 제어기(36)는, 제2 용기(41)를 회수 라인(42)에 연결하고, 제2 용기(41)를 입구 라인(25)으로부터 분리하도록, 회수 밸브 배열(50,51)을 제어할 수 있다. 제어기(36)는, 또한, 제1 용기(24)를 입구 라인에 연결하고, 제1 용기를 회수 라인(42)으로부터 분리하도록, 입구 밸브 배열(52,53)을 제어할 수 있다. 그 다음, 복수의 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 것은 전반 사이클에 거쳐 계속될 수 있으며, 이때, 필터 어셈블리(11)는 연이어 하나씩 상태 조절 시스템(10)에 장착되어, 상태 조절 방법의 제1 및 제 2 과정을 겪은 다음, 상태 조절 시스템(10)으로부터 제거될 수 있다. 제1 압력 공급원(26)은 상태 조절 방법의 제1 및 제2 과정이 연속되는 동안 퍼지 액체를 제1 용기(24)로부터 각각의 필터 어셈블리(11)로 밀어낼 수 있으며, 이는 제1 용기(24)가 고갈되고 제2 용기(41)가 제1 용기(24)로부터 공급된 퍼지 액체의 상당한 부분을 회수할 때까지 계속된다.

후반 사이클 동안, 회수된 퍼지 액체를 함유하는 제2 용기(41)는 입구 라인(25)에 연결되고 회수 라인(42)으로부터 분리되는 반면, 제1 용기(24)는 회수 라인(42)에 연결되고 입구 라인(25)으로부터 분리되는데, 이는, 예를 들어 제어기(36)의 제어에 따른 회수 밸브 배열(50,51) 및 입구 밸브 배열(52,53)의 작동에 의하여 이루어질 수 있다. 그 다음, 복수의 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 것은, 제2 용기(41)에 회수된 퍼지 액체가 고갈되고, 제1 용기(24)가, 제2 용기(41)로부터 공급된 회수된 퍼지 액체의 상당한 부분을 재회수할 때까지, 후반 사이클에 걸쳐 유사하게 계속될 수 있다. 그 다음, 도 4의 상태 조절 방법은 사이클을 반복하여 필터 어셈블리(11)를 상태조절하는 것을 계속할 수 있는데, 이는 회수된 퍼지 액체가 너무 오염되어 신뢰성있게 사용하기 어려울 때까지 또는 회수되는 퍼지 액체의 양이 불충분할 때까지이다.

본 발명을 구현하는 상태 조절 시스템 및 방법은 화학물질 여과용 상태조절된 필터 어셈블리의 준비 방법을 더 포함할 수 있다. 준비 시스템은 독립된 시스템으로 분리되거나 또는 다른 시스템들과 통합될 수 있는데, 이것은 앞에서 설명한 상태 조절 시스템 또는 분배 시스템을 포함할 수 있다. 준비 시스템(60)의 많은 다양한 실시예들 중의 하나를 도 5에 나타내었다. 통상적으로, 준비 시스템(60)은, 퍼지 액체로 채워진 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 연결된, 예를 들어 질소 가스 공급원과 같은, 불활성 가스 공급원(61)을 포함할 수 있다. 불활성 가스 공급원(61)은 다양하게 형성될 수 있는데, 예를 들어, 탱크 또는 캐니스터 형태로 형성될 수 있다. 도시된 구현예에서, 불활성 가스 공급원(61)은, 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 직접적으로 또는 간접적으로 연결된 불활성 가스 라인을 포함할 수 있는데, 예를 들어, 입구 밸브(33)의 상류에 있는 입구 라인(25)를 통해서 연결될 수 있다. 가스 라인 밸브(62)는 상태 조절 시스템의 제어기(36)와 같은 제어기에 연결될 수 있다. 또한, 가스 라인 밸브(62)는, 불활성 가스 공급원(61)이, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 입구 라인(25)과 연결 또는 분리되도록, 배열될 수 있다.

준비 시스템(60)은 화학물질 공급원(63)을 더 포함할 수 있다. 화학물질 공급원(63) 또한 다양하게 형성될 수 있으며, 예를 들어, 탱크 또는 라인의 형태, 또는, 도 5에 나타난 바와 같이, 용기(예를 들어, 유연한 용기)의 형태로 형성될 수 있다. 화학물질 공급원(63)은 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 입구(20)에 직접적으로 또는 간접적으로 연결될 수 있는데, 예를 들어, 입구 밸브(33)의 상류에 있는 입구 라인(25)에 연결된 화학물질 라인(64)을 통해 연결될 수 있다. 화학물질 라인(64)에 있는 밸브(65)는 제어기(36)에 연결될 수 있으며, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 화학물질 공급원(63)을 입구 라인(25)과 연결 또는 분리하도록 배열될 수 있다. 앞에서 기술된 압력 공급원(26)과 유사하게, 압력 공급원(66)이 제어기(36)에 연결되어, 화학물질을 필터 어셈블리 입구(20)로 밀어내도록 배열될 수 있다. 예를 들어, 압력 공급원(66)은 공압 익스프레서를 포함할 수 있다. 공압 익스프레서는 화학물질 공급원(63)를 둘러싸고, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 화학물질 공급원의 외부에 가스 압력을 가하며, 그에 따라, 화학물질을 필터 어셈블리 입구(20)로 밀어낼 수 있다.

준비 시스템(60)은 앞에서 설명한 폐기물 저장용기와 유사한 폐기물 저장용기(30)를 더 포함할 수 있다. 폐기물 저장용기(30)는 다양한 방식으로, 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 배출구(21) 및 출구(22)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 배출구(21)는 배출구 라인(31) 및 배출구 밸브(34)를 통해 폐기물 저장용기(30)에 연결될 수 있다. 배출구 밸브(34)는 제어기(36)에 연결될 수 있다. 출구(22)는 폐기물 저장용기(30)에 출구 라인(32) 및 출구 밸브(35)를 통해 연결될 수 있다. 출구 밸브(35)는 제어기(36)에 연결될 수 있다.

상태조절된 필터 어셈블리(11)를 준비하는 방법은 수많은 방법으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 준비 방법은, 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)으로부터 퍼지 액체를 몰아내는 단계를 먼저 포함할 수 있다. 필터 매질의 상류 쪽 면에 있는 퍼지 액체는 화학물질 그 자체에 의해 밀려날 수 있다. 그러나, 도 5에 예시된 구현예에 있어서, 퍼지 액체는 불활성 가스에 의해 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)으로부터 밀려날 수 있다. 예를 들어, 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 입구(20) 및 배출구(21)는 개방될 수 있고 출구(22)는 폐쇄될 수 있다. 많은 구현예들의 경우, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 입구(20) 및 배출구(21)는, 입구 밸브(33) 및 배출구 밸브(34)의 개방에 의하여, 개방될 수 있고, 출구(22)는, 출구 밸브(35)의 폐쇄에 의하여, 폐쇄될 수 있다. 또한, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 가스 라인 밸브(62)가 개방될 수 있고, 화학물질 라인 밸브(65)는 폐쇄될 수 있다. 그 다음, 가압된 불활성 가스는, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 불활성 가스 공급원(61)으로부터, 상태조절된 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20)로 공급될 수 있는데, 이때, 불활성 가스는 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라, 그리고 개방된 배출구(21)를 통하여 통과한다.

불활성 가스는, 퍼지 액체를 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)으로부터 몰아내, 개방된 배출구(21)를 통해 퍼지 액체를 밀어 낸다. 불활성 가스의 압력은 퍼지 액체를 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라 개방된 배출구(21)를 통과하도록 하는데 충분할 만큼 크지만, 가스가 필터 매질(12)의 기공 및 공극으로 들어가려 하는 것을 방지할 만큼 충분히 낮다. 적합한 압력은 주어진 필터 매질에 대해 실험적으로 결정될 수 있는데, 예를 들어, 기공 및 공극의 크기와 같은 제거 등급에 따라 결정될 수 있다. 개방된 배출구(21)로부터 나온 불활성 가스는, 밀려난 퍼지 액체를 폐기물 저장용기(30)로, 예를 들어 개방된 배출구 밸브(34) 및 배출구 라인(31)을 통하여, 밀어낼 수 있으며, 이는, 예를 들어 제어기의 지시에 따라 이루어질 수 있다. 다른 구현예에 있어서, 밀려난 퍼지 액체는 용기에서 회수될 수 있는데, 예를 들어, 앞에서 기술된 바와 같이 회수 라인 및 제2 용기를 통해서 회수될 수 있다.

많은 구현예들의 경우, 퍼지 액체가 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)으로부터 밀려난 후에, 준비 방법은 필터 어셈블리 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 화학물질로 채우는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 입구(20) 및 배출구(21), 예를 들어, 입구 밸브(33) 및 배출구 밸브(34)는 개방된 상태로 유지될 수 있고, 출구(22), 예를 들어, 출구 밸브(35)는 폐쇄된 상태로 유지될 수 있다. 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 가스 라인 밸브(62)는 폐쇄될 수 있고 화학물질 라인 밸브(65)는 개방될 수 있다. 그 다음, 화학물질 공급원(63)의 화학물질은, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20)로 보내질 수 있다. 압력 공급원(66)은 화학물질을 화학물질 공급원(63)으로부터 필터 어셈블리(11)의 개방된 입구(20)로 밀어낼 수 있다. 그 다음, 화학물질은 개방된 입구(20)를 통하여, 필터 어셈블리(11) 내의 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라, 그리고 개방된 배출구(21)를 통하여 통과함으로써, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라 필터 어셈블리(11)를 화학물질로 채우게 되고, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 따라 개방된 배출구(21)를 통하여 불활성 가스를 밀어내게 된다. 개방된 배출구(21)로부터 나온 화학물질 및 불활성 가스는 폐기물 저장용기(30)로 보내질 수 있다.

준비 방법은 퍼지 액체를 필터 매질(12) 및 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)으로부터 몰아내는 단계와 필터 매질(12) 및 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 화학물질로 채우는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 필터 매질(12)의 상류 쪽 면(14)을 화학물질로 채운 후에, 예를 들어 제어기(36)의 지시에 따라, 입구 밸브(33) 및 출구 밸브(35)를 개방하고, 배출구 밸브(34)를 폐쇄함으로써, 입구(20) 및 출구(22)는 개방될 수 있고 배출구(21)는 폐쇄될 수 있다. 그 다음, 화학물질은 화학물질 공급원(63)으로부터 개방된 입구(20)까지, 개방된 입구(20)를 통하여, 상류 쪽 면(14)으로부터 하류 쪽 면(15) 방향으로 필터 매질(12)을 통하여, 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 따라, 그리고 개방된 출구(22)를 통하여, 공급될 수 있고, 그에 따라, 필터 매질(12)의 기공 및 공극 그리고 필터 매질(12)의 하류 쪽 면(15)을 화학물질로 채우고, 개방된 출구(22)를 통해 퍼지 액체를 몰아낼 수 있다. 개방된 출구(22)로부터 나온 화학물질 및 퍼지 액체는, 예를 들어 개방된 출구 밸브(35) 및 출구 라인(32)을 통하여, 폐기물 저장용기(30)로 보내질 수 있다. 준비 방법이 종료되면, 필터 어셈블리는 화학물질로 채워지고, 오염물질은 제거되어, 사용 준비가 완료된다.

본 발명은 앞서 설명되고 예시된 구현예에서 개시되었지만, 본 발명은 그 구현예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 구현예의 하나 이상의 특징이 생략되거나 수정될 수 있거나, 일 구현예의 하나 이상의 특징이 다른 구현예의 하나 이상의 특징과 결합될 수 있고, 또는 매우 다른 특징을 갖는 구현예가 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 생각될 수 있다. 예를 들어, 일부 구현예는 퍼지 액체를 회수하기 위한 제2 용기를 포함할 수 있지만, 제1 유속으로 필터 매질을 통해 퍼지 액체를 이끌어 내기 위한 진공 공급원을 포함하지 않을 수 있다. 이들 구현예들은 제1 유속으로 필터 매질을 통해 퍼지 액체를 밀어내기 위해 압력 공급원을 사용할 수 있다. 일부 구현예에 있어서, 상태 조절 시스템은 필터 어셈블리를 제조하거나 사용하기 위한 임의의 시스템으로부터 분리된 독립 유닛(stand-alone unit)일 수 있다. 다른 구현예에 있어서, 상태 조절 시스템은 생산 시스템과 통합된 서브시스템이거나 또는 분배 시스템과 같은, 최종 사용자용 시스템일 수 있다. 일부 구현예에 있어서, 상태 조절 시스템 및 방법은 보관 또는 운송을 위한 필터 어셈블리를 준비할 수 있다. 다른 구현예에 있어서, 상태 조절 시스템 및 방법은 최종 사용자에 의해 즉시 사용하기 위한 필터 어셈블리를 준비할 수 있다. 그러므로, 본 발명은 청구항의 범위에 있을 수 있는 수많은 구현예 및 변형예를 포괄한다.

본 명세서에서 인용된, 간행물, 특허출원 및 특허를 포함하는 모든 인용문헌은 인용에 의하여 본 명세서에 통합되는데, 이는, 각 인용문헌이 인용에 의하여 통합되는 것으로 개별적으로 그리고 구체적으로 표시되고 그 전체가 본 명세서에 기재되어 있는 것과 마찬가지의 효과를 갖는다.

본 발명을 기술하는 문맥에서(특히, 하기 청구항의 문맥에서), "하나의", "일", "상기", "적어도 하나의" 등의 용어 및 이와 유사한 지시어의 사용은, 본 명세서에서 달리 표시되거나 문맥상 명백한 모순이 발생하지 않는 한, 단수 및 복수를 모두 포괄하는 것으로 해석되어야 한다. 열거된 하나 이상의 항목의 앞에 나오는 "적어도 하나의"라는 용어의 사용(예를 들어, "적어도 하나의 A 및 B")은, 본 명세서에서 달리 표시되거나 문맥상 명백한 모순이 발생하지 않는 한, 열거된 항목들 중에서 선택된 하나의 항목(A 또는 B)을 의미하거나, 또는, 열거된 항목들의 둘 이상의 임의의 조합(A 및 B)을 의미하는 것으로 해석되어야 한다. "포함하는(comprising 또는 including)", "갖는", "함유하는" 등의 용어는 말단 개방형 용어(즉, "포함하되 이에 제한되지 않는"의 의미)인 것으로 해석되어야 한다. 다만, 달리 표시된 경우에는 그러하지 아니하다. 본 명세서에서의 수치 범위의 언급은, 달리 표시되어 있지 않은 한, 그 범위 내에 들어오는 각각의 수치들을 개별적으로 일일이 언급하는 것의 축약법의 역할을 하고자 하는 것으로 단순히 의도되며, 각각의 개별적인 수치는, 마치 그것이 본 명세서에 개별적으로 언급된 것인양, 본 명세서에 통합된다. 본 명세서에서 기술된 모든 방법은 임의의 적합한 순서로 수행될 수 있다. 다만, 달리 표시되거나 문맥상 명백히 모순되는 경우에는 그러하지 아니하다. 본 명세서에 제공된 임의의 모든 예들 또는 예시적인 표현(예를 들어, "와 같은")의 사용은 단지 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 하는 것으로 의도되며, 달리 청구되지 않는 한, 본 발명의 범위에 제한을 부과하지 않는다. 본 명세서의 어떠한 표현도, 임의의 청구되지 않은 요소를, 본 발명의 실시에 필수적인 것으로 표시하는 것으로 해석되어서는 안 된다.

Claims (42)

1. 상류 쪽 면 및 하류 쪽 면을 갖는 투과성 필터 매질, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면에 위치하는 입구 및 배출구, 및 상기 필터 매질의 하류 쪽 면에 위치하는 출구를 포함하는 필터 어셈블리의 상태 조절(conditioning) 방법으로서,
   상기 입구 및 상기 배출구는 개방하되 상기 출구는 폐쇄하고, 퍼지 액체(purging liquid)를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 배출구를 통하여 통과시키는 단계; 및
   상기 입구 및 상기 출구는 개방하되 상기 배출구는 폐쇄하고, 먼저, 퍼지 액체를 제1 유속으로 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 출구를 통하여 통과시킨 다음, 퍼지 액체를, 상기 제1 유속보다 큰 제2 유속으로, 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 출구를 통하여 통과시킴으로써, 상기 필터 어셈블리를 상기 퍼지 액체로 채우는 단계;를 포함하는
   상태 조절 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 퍼지 액체를 통과시키는 조작은 용매를 통과시키는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 배출구를 통하여 통과시키는 단계는 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에서의 압력을 증가시키는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 제1 유속으로 통과시키는 조작은 상기 필터 어셈블리의 상기 출구에서의 압력을 감소시키는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구에서의 압력을 감소시키는 조작은 상기 필터 어셈블리의 상기 출구로부터 상기 퍼지 액체를 진공으로 흡인하는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 퍼지 액체를 상기 제2 유속으로 통과시키는 조작은 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에서의 상기 퍼지 액체의 압력을 증가시키는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 배출구를 통하여 통과시키는 단계는, 퍼지 액체를 상기 개방된 배출구로부터, 상기 필터 어셈블리의 상기 배출구와 유체 연결된 폐기물 저장 용기로 이끄는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 퍼지 액체를 제1 유속으로 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 출구를 통하여 통과시키는 조작은, 퍼지 액체를 상기 출구로부터, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구와 연결된 폐기물 저장 용기로 이끄는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
9. 제 3 항에 있어서, 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에서의 상기 퍼지 액체의 압력을 증가시키는 조작은, 상기 퍼지 액체를 담고 있으며 상기 필터 어셈블리의 상기 입구와 유체 연결된 용기에 압력을 가하여, 상기 퍼지 액체를 상기 용기로부터 상기 필터 어셈블리의 상기 입구로 밀어내는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 필터 어셈블리의 상기 입구와 유체 연결된 제1 용기로부터 퍼지 액체를 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
11. 제 10 항에 있어서, 퍼지 액체를, 제2 유속으로, 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 출구를 통하여 통과시키는 조작은 퍼지 액체를 상기 출구로부터, 퍼지 액체를 담을 수 있는 제2 용기로 이끄는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 제2 용기를 제2 필터 어셈블리의 입구에 연결하여, 상기 제2 필터 어셈블리를 상기 제2 용기의 퍼지 액체로 상태조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 제2 필터 어셈블리를 상태조절하는 단계는, 퍼지 액체를, 상기 제2 용기와 상기 제2 필터 어셈블리의 상기 입구 사이의 필터를 통하여 통과시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
14. 제 11 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 필터 어셈블리의 상기 출구로부터 상기 제2 용기로 이끄는 조작은 퍼지 액체를 상기 출구와 상기 제2 용기 사이의 필터를 통하여 통과시키는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
15. 상류 쪽 면 및 하류 쪽 면을 갖는 투과성 필터 매질, 상기 필터 어셈블리의 상류 쪽 면에 위치하는 입구 및 배출구, 및 상기 필터 어셈블리의 하류 쪽 면에 위치하는 출구를 포함하는 필터 어셈블리의 상태 조절(conditioning) 방법으로서,
    상기 입구 및 상기 배출구는 개방하되 상기 출구를 폐쇄하고:
    퍼지 액체를, 상기 필터 어셈블리의 상기 입구와 유체 연결된 제1 용기로부터 공급하는 단계;
    퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 배출구를 통하여 통과시키는 단계; 및
    상기 퍼지 액체를 상기 개방된 배출구로부터 폐기물 저장 용기로 이끄는 단계;
    그리고, 이어서,
    상기 입구 및 상기 출구는 개방하되 상기 배출구를 폐쇄하고:
    퍼지 액체를, 상기 필터 어셈블리의 상기 입구와 유체 연결된 상기 제1 용기로부터 공급하는 단계;
    먼저, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여 통과시켜서 상기 폐기물 저장 용기로 보내는 단계; 및
    그 다음, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여 통과시켜서, 퍼지 액체를 담을 수 있는 제2 용기로 보냄으로써, 상기 필터 어셈블리를 퍼지 액체로 채우고 상기 퍼지 액체의 일부분을 회수하는 단계;를 포함하는
    상태 조절 방법.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 제2 용기를 제2 필터 어셈블리의 입구에 연결하고, 상기 제2 필터 어셈블리를 상기 제2 용기의 퍼지 액체로 상태조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 퍼지 액체를, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구와 상기 제2 용기 사이에 연결된 필터를 통과하도록 이끄는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
18. 제 16 항에 있어서, 상기 퍼지 액체를, 상기 제2 용기와 상기 제2 필터 어셈블리 사이에 연결된 필터를 통과하도록 이끄는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
19. 제 15 항, 제 16 항 및 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,
    퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여 통과시켜서 상기 폐기물 저장 용기로 보내는 단계는 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여 제1 유속으로 통과시키는 단계를 포함하고,
    퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여 통과시켜서, 퍼지 액체를 담을 수 있는 제2 용기로 보내는 단계는 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 제1 유속보다 큰 제2 유속으로 통과시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
20. 제 15 항, 제 16 항 및 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 액체를 통과시키는 조작은 용매를 통과시키는 조작을 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
21. 제 15 항, 제 16 항 및 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 배출구를 통하여 통과시켜서 상기 폐기물 저장 용기로 보내는 단계는 상기 필터 어셈블리의 상기 입구의 압력을 증가시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
22. 제 15 항, 제 16 항 및 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여 통과시켜서 상기 폐기물 저장 용기로 보내는 단계는 상기 필터 어셈블리의 상기 출구의 압력을 감소시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
23. 제 22 항에 있어서, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구의 압력을 감소시키는 단계는 상기 필터 어셈블리의 상기 출구로부터 상기 퍼지 액체를 진공으로 흡인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
24. 제 15 항, 제 16 항 및 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 퍼지 액체를 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여 통과시켜서 상기 제2 용기로 보내는 단계는 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에서의 압력을 증가시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상태 조절 방법.
25. 상류 쪽 면 및 하류 쪽 면을 포함하는 필터 매질, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면에 위치하는 입구 및 배출구, 및 상기 필터 매질의 하류 쪽 면에 위치하는 출구를 갖는 필터 어셈블리의 상태를 조절하는 시스템으로서,
    필터 어셈블리의 입구와 연결가능한 퍼지 액체 공급소;
    상기 필터 어셈블리의 출구 및 배출구와 연결가능한 폐기물 저장 용기;
    퍼지 액체를 상기 퍼지 액체 공급소로부터 상기 필터 어셈블리의 상기 입구로 보내도록 배치된 압력 공급원;
    상기 필터 어셈블리의 상기 입구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능한 입구 밸브;
    상기 필터 어셈블리의 상기 출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능한 출구 밸브;
    상기 필터 어셈블리의 상기 배출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능한 배출구 밸브; 및
    상기 압력 공급원, 상기 입구 밸브, 상기 출구 밸브 및 상기 배출구 밸브에 연결된 제어기로서, 상기 제어기는 제1 과정에서 상기 입구 밸브 및 상기 배출구 밸브를 개방하고 상기 출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 액체를 상기 퍼지 액체 공급소로부터, 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상기 상류쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 배출구를 통하여, 상기 폐기물 저장 용기로 이끌게 되며, 상기 제어기는 이어지는 제2 과정의 제1 국면에서 상기 입구 밸브 및 상기 출구 밸브를 개방하고 상기 배출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 액체를 상기 퍼지 액체 공급소로부터 제1 유속으로 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 상기 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여, 상기 폐기물 저장 용기로 이끌게 되며, 상기 제어기는 상기 제2 과정의 이어지는 제2 국면에서 상기 입구 밸브 및 상기 출구 밸브를 개방하고 상기 배출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 액체를 상기 퍼지 액체 공급소로부터 더 큰 제2 유속으로 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 상기 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 출구를 통과하도록 이끌게 되며, 그에 따라, 상기 필터 어셈블리가 퍼지 액체로 채워지게 하는 제어기;를 포함하는
    상태 조절 시스템.
26. 제 25 항에 있어서, 상기 상태 조절 시스템은 상기 필터 어셈블리의 상기 출구에 연결가능한 진공 장치를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 진공 장치에 연결되며, 상기 제어기는, 상기 제2 과정의 상기 제1 국면 동안, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구의 압력이 감소하도록, 상기 진공 공급원을 제어하도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
27. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서, 상기 제어기는, 상기 제1 과정 동안, 상기 필터 어셈블리의 상기 입구의 압력이 증가하도록, 상기 압력 공급원을 제어하도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
28. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서, 상기 제어기는, 상기 제2 과정의 상기 제2 국면 동안, 상기 필터 어셈블리의 상기 입구의 압력이 증가하도록, 상기 압력 공급원을 제어하도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
29. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서, 상기 퍼지 액체 공급소는 용기를 포함하고, 상기 압력 공급원은 상기 제어기에 의하여 제어되어 상기 용기의 외부에 압력을 가하며, 그에 따라, 퍼지 액체를 상기 용기로부터 상기 필터 어셈블리의 상기 입구로 밀어내는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
30. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서, 상기 퍼지 액체 공급소는 퍼지 액체를 담기 위한 제1 용기를 포함하고, 상기 상태 조절 시스템은 퍼지 액체를 담기 위한 제2 용기, 및 상기 필터 어셈블리의 상기 출구, 상기 폐기물 저장 용기 및 상기 제2 용기 사이에 연결된 제1 밸브 배열을 더 포함하며, 상기 제어기는 상기 제1 밸브 배열에 연결되어, 상기 제2 과정의 상기 제1 국면 동안 퍼지 액체를 상기 개방된 출구로부터 상기 폐기물 저장 용기로 이끌고, 상기 제2 과정의 상기 제2 국면 동안 퍼지 액체를 상기 개방된 출구로부터 상기 제2 용기로 이끄는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
31. 제 30 항에 있어서, 상기 제2 용기는 제2 필터 어셈블리의 입구에 연결가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
32. 제 30 항에 있어서, 상기 상태 조절 시스템은 상기 제1 용기, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구 및 상기 필터 어셈블리의 상기 입구 사이에 연결된 제2 밸브 배열, 및 상기 제2 용기, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구 및 상기 필터 어셈블리의 상기 입구 사이에 연결된 제3 밸브 배열을 더 포함하고, 이때, 상기 퍼지 액체 공급소는 상기 제1 용기 및 상기 제2 용기를 포함하며, 상기 제어기는 상기 제2 및 제3 밸브 배열에 연결되어, 번갈아서, 퍼지 액체를 상기 제1 용기로부터 제1 필터 어셈블리의 개방된 입구 및 개방된 출구를 통하여 상기 제2 용기로 밀어내고, 퍼지 액체를 상기 제2 용기로부터 제2 필터 어셈블리의 개방된 입구 및 개방된 출구를 통하여 상기 제1 용기로 밀어내는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
33. 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서, 상기 필터 매질이 0.05 ㎛ 이하의 제거 등급을 갖는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
34. 상류 쪽 면 및 하류 쪽 면을 포함하는 필터 매질, 상기 필터 매질의 상류 쪽 면에 위치하는 입구 및 배출구, 및 상기 필터 매질의 하류 쪽 면에 위치하는 출구를 갖는 필터 어셈블리의 상태를 조절하는 시스템으로서,
    퍼지 액체를 담는 제1 용기로서 상기 필터 어셈블리의 입구에 연결가능한 제1 용기;
    퍼지 액체를 담는 제2 용기로서 상기 필터 어셈블리의 출구에 연결가능한 제2 용기;
    상기 필터 어셈블리의 상기 출구 및 상기 배출구에 연결가능한 폐기물 저장 용기;
    퍼지 액체를 상기 제1 용기로부터 상기 필터 어셈블리의 상기 입구로 밀어내도록 배열된 압력 공급원;
    상기 필터 어셈블리의 상기 입구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능한 입구 밸브;
    상기 필터 어셈블리의 상기 출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능한 출구 밸브;
    상기 필터 어셈블리의 상기 배출구를 개방하고 폐쇄하도록 조작가능한 배출구 밸브; 및
    상기 압력 공급원, 상기 입구 밸브, 상기 출구 밸브 및 상기 배출구 밸브에 연결된 제어기로서, 상기 제어기는 제1 과정에서 상기 입구 밸브 및 상기 배출구 밸브를 개방하고 상기 출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 액체를 상기 제1 용기로부터, 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질의 상기 상류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 배출구를 통하여, 상기 폐기물 저장 용기로 이끌게 되며, 상기 제어기는 제2 과정의 제1 국면에서 상기 입구 밸브 및 상기 출구 밸브를 개방하고 상기 배출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 유체를 상기 제1 용기로부터 상기 필터 어셈블리의 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 상기 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여, 상기 폐기물 저장 용기로 이끌게 되며, 상기 제어기는 상기 제2 과정의 이어지는 제2 국면에서 상기 입구 밸브 및 상기 출구 밸브를 개방하고 상기 배출구 밸브를 폐쇄하도록 조작가능하고, 그에 따라, 퍼지 액체를 상기 제1 용기로부터 상기 개방된 입구를 통하여, 상기 필터 매질을 상기 상류 쪽 면으로부터 상기 하류 쪽 면 방향으로 통하여, 상기 필터 매질의 상기 하류 쪽 면을 따라, 그리고 상기 개방된 출구를 통하여, 상기 제2 용기로 이끌게 되며, 그에 따라, 상기 필터 어셈블리가 퍼지 액체로 채워지게 하고 상기 퍼지 액체의 일부분이 회수되도록 하는 제어기;를 포함하는
    상태 조절 시스템.
35. 제 34 항에 있어서, 상기 상태 조절 시스템은 상기 필터 어셈블리의 상기 출구, 상기 폐기물 저장 용기 및 상기 제2 용기 사이에 연결된 제1 밸브 배열을 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 제1 밸브 배열에 연결되며, 또한, 상기 제어기는 상기 제2 과정의 상기 제1 국면 동안에는 퍼지 액체를 상기 폐기물 저장 용기로 이끌고 상기 제2 과정의 상기 제2 국면 동안에는 퍼지 액체를 상기 제2 용기로 이끌도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
36. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 상태 조절 시스템은 상기 필터 어셈블리의 상기 출구에 연결가능한 진공 장치를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 진공 장치에 연결되며, 또한, 상기 제어기는, 상기 제2 과정의 상기 제1 국면 동안 상기 필터 어셈블리의 상기 출구에서의 압력을 감소시키기 위하여, 상기 진공 공급원을 제어하도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
37. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 압력 공급원이 상기 제어기에 의하여 제어되어, 상기 제1 용기의 외부에 압력을 가함으로써, 퍼지 액체를 상기 제1 용기로부터 상기 필터 어셈블리의 상기 입구로 밀어내는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
38. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 제어기가, 상기 제1 과정 동안 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에서의 압력을 증가시키기 위하여, 상기 압력 공급원을 제어하도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
39. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 제어기가, 상기 제2 과정의 상기 제2 국면 동안 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에서의 압력을 증가시키기 위하여, 상기 압력 공급원을 제어하도록 조작가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
40. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 제2 용기가 상기 필터 어셈블리의 상기 입구에 연결가능한 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
41. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 상태 조절 시스템은 상기 제1 용기, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구 및 상기 필터 어셈블리의 상기 입구 사이에 연결된 제2 밸브 배열, 및 상기 제2 용기, 상기 필터 어셈블리의 상기 출구 및 상기 필터 어셈블리의 상기 입구 사이에 연결된 제3 밸브 배열을 더 포함하고, 이때, 상기 압력 공급원은 퍼지 액체를 상기 제2 용기로부터 밀어내도록 배열되며, 상기 제어기는 상기 제2 및 제3 밸브 배열에 연결되어, 번갈아서, 퍼지 액체를 상기 제1 용기로부터 제1 필터 어셈블리의 개방된 입구 및 개방된 출구를 통하여 상기 제2 용기로 밀어내고, 퍼지 액체를 상기 제2 용기로부터 제2 필터 어셈블리의 개방된 입구 및 개방된 출구를 통하여 상기 제1 용기로 밀어내는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.
42. 제 34 항 또는 제 35 항에 있어서, 상기 필터 매질이 0.05 ㎛ 이하의 제거 등급을 갖는 것을 특징으로 하는 상태 조절 시스템.

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