KR101544252B1 - Robot, mothod of installing the same, and manufacturing apparatus including the same - Google Patents

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다다타카 노구치
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

챔버 내의 설치를 용이하게 실행하기 위하여, 실시형태에 따른 로봇은, 동체부와 아암 유닛을 구비한다. 동체부는, 진공 챔버의 상방으로부터 진공 챔버 내로 반입되는 동시에, 진공 챔버에 고정된다. 또한, 아암 유닛은, 진공 챔버의 상방으로부터 진공 챔버 내로 반입되는 동시에, 진공 챔버 내에 고정된 동체부에 대하여 연결된다. To facilitate the installation in the chamber, the robot according to the embodiment has a body part and an arm unit. The trunk portion is brought into the vacuum chamber from above the vacuum chamber, and is fixed to the vacuum chamber. Further, the arm unit is brought into the vacuum chamber from above the vacuum chamber, and is connected to the body portion fixed in the vacuum chamber.

Description

로봇, 로봇의 설치 방법 및 제조 장치{ROBOT, MOTHOD OF INSTALLING THE SAME, AND MANUFACTURING APPARATUS INCLUDING THE SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to a robot, a method of installing the robot,

명시된 실시형태는 로봇, 로봇의 설치 방법 및 제조 장치에 관한 것이다. The specified embodiment relates to a robot, a method of installing the robot, and a manufacturing apparatus.

종래, 워크를 반송하는 반송 로봇이 알려져 있다. 반송 로봇으로서는, 예를 들어, 수평 방향으로 신축하는 아암부를 이용하여 워크를 반송하는 수평 다관절 로봇이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).BACKGROUND ART [0002] Conventionally, a carrier robot for carrying workpieces is known. BACKGROUND ART [0002] As a carrying robot, for example, there is known a horizontal articulated robot in which a work is transported using an arm portion extending and contracted in a horizontal direction (see Patent Document 1).

반송 로봇은, 예를 들어, 반도체 제조 장치나 액정 제조 장치 등에 있어서 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 워크를 반송하기 위해서 이용된다. 이와 같은 장치에 있어서의 워크에 대한 처리는, 감압된 진공 챔버 내에서 실행되는 일이 많다. 이 때문에, 반송 로봇도 진공 챔버 내에 배치되는 일이 많다.The transport robot is used for transporting a work such as a semiconductor wafer or a glass substrate, for example, in a semiconductor manufacturing apparatus, a liquid crystal manufacturing apparatus, or the like. The processing for the work in such an apparatus is often carried out in a vacuum chamber which is depressurized. For this reason, the carrying robot is also frequently disposed in the vacuum chamber.

반송 로봇을 진공 챔버에 조립하는 경우는, 예를 들어, 천정 크레인 등의 크레인 장치를 이용하여 반송 로봇을 들어 올려, 진공 챔버의 상방까지 이동시킨 후, 크레인 장치를 강하시켜 반송 로봇을 진공 챔버 내로 반입한다. When the conveying robot is assembled into a vacuum chamber, for example, a conveying robot is lifted by using a crane device such as a ceiling crane, moved to above the vacuum chamber, and then the crane device is lowered to bring the conveying robot into the vacuum chamber Import it.

일본 특허 제 3881579 호 공보Japanese Patent No. 3881579

그렇지만, 최근, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 워크가 대형화되고 있어, 이들 워크의 대형화에 따라, 반송 로봇 및 진공 챔버도 대형화되고 있다. 이 때문에, 반송 로봇의 진공 챔버 내에의 설치가 곤란하게 될 가능성이 있다.However, in recent years, workpieces such as glass substrates and semiconductor wafers have become larger, and as these workpieces become larger, the carrying robots and the vacuum chambers have also become larger. For this reason, there is a possibility that the mounting of the carrying robot in the vacuum chamber becomes difficult.

예를 들어, 반송 로봇은, 대형화될 수록 높이 치수가 커지기 쉽다. 이 때문에, 대형화된 반송 로봇을 진공 챔버의 상방에 위치시키기 위해서는, 반송 로봇의 반입 공간, 즉, 진공 챔버 상면보다 상방의 공간을 보다 넓게 확보하는 것이 바람직하다. 그렇지만, 반송 로봇의 높이 치수가 커지면, 반송 로봇을 수용하는 진공 챔버의 높이 치수도 커지기 때문에, 반송 로봇의 반입 공간을 넓게 확보하는 것이 곤란하게 된다.For example, the height of the carrying robot tends to increase as the size of the carrying robot increases. For this reason, in order to position the enlarged transfer robot above the vacuum chamber, it is desirable to secure a larger space for carrying the transfer robot, that is, above the upper surface of the vacuum chamber. However, if the height dimension of the conveying robot becomes large, the height dimension of the vacuum chamber for accommodating the conveying robot also becomes large, and it becomes difficult to secure a large carry-in space for the conveying robot.

이와 같이, 반송 로봇이 대형화될수록, 반송 로봇의 진공 챔버 내에의 설치가 곤란하게 될 가능성이 있다.Thus, the greater the size of the transfer robot, the more difficult it is to install the transfer robot in the vacuum chamber.

실시형태의 일 태양은, 챔버 내의 설치를 용이하게 실행할 수 있는 로봇, 로봇의 설치 방법 및 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An aspect of an embodiment is to provide a robot, a method of installing a robot, and a manufacturing apparatus that can easily perform installation in a chamber.

실시형태의 일 태양에 따른 로봇은, 제 1 유닛과, 제 2 유닛을 구비한다. 제 1 유닛은, 챔버 내로 반입되는 동시에, 챔버에 고정된다. 제 2 유닛은, 챔버 내로 반입되는 동시에, 챔버 내에 고정된 제 1 유닛에 대하여 연결된다.A robot according to an aspect of the embodiment includes a first unit and a second unit. The first unit is brought into the chamber and fixed to the chamber. The second unit is connected to the first unit which is brought into the chamber and fixed in the chamber.

또한, 실시형태의 일 태양에 따른 로봇의 설치 방법은, 고정 공정과, 연결 공정을 포함한다. 고정 공정에서는, 로봇의 제 1 유닛을, 챔버의 상방으로부터 챔버 내로 반입하고, 챔버에 고정한다. 연결 공정에서는, 로봇의 제 2 유닛을, 챔버의 상방으로부터 챔버 내로 반입하고, 챔버 내에 고정된 제 1 유닛에 대하여 연결시킨다.Further, a method of installing a robot according to an aspect of the embodiment includes a fixing step and a connecting step. In the fixing process, the first unit of the robot is brought into the chamber from above the chamber and fixed to the chamber. In the coupling process, the second unit of the robot is brought into the chamber from above the chamber and connected to the fixed first unit in the chamber.

또한, 실시형태의 일 태양에 따른 제조 장치는, 챔버와, 챔버에 설치되는 로봇을 구비한다. 또한, 로봇은, 제 1 유닛과, 제 2 유닛을 구비한다. 제 1 유닛은, 챔버의 상방으로부터 챔버 내로 반입되는 동시에, 챔버에 고정된다. 제 2 유닛은, 챔버의 상방으로부터 챔버 내로 반입되는 동시에, 챔버 내에 고정된 제 1 유닛에 대하여 연결된다.Further, a manufacturing apparatus according to an aspect of the embodiment includes a chamber and a robot provided in the chamber. Further, the robot includes a first unit and a second unit. The first unit is brought into the chamber from above the chamber and is fixed to the chamber. The second unit is brought into the chamber from above the chamber and connected to the first unit fixed in the chamber.

실시형태의 일 태양에 의하면, 챔버 내의 설치를 용이하게 실행하는 것이 가능한 로봇, 로봇의 설치 방법 및 제조 장치를 제공할 수 있다According to one aspect of the embodiment, it is possible to provide a robot, a method of installing a robot, and a manufacturing apparatus that can easily perform installation in a chamber

도 1은 본 실시형태에 따른 로봇의 모식 사시도,
도 2는 로봇을 진공 챔버에 설치한 상태를 도시하는 모식 측면도,
도 3은 동체부 및 베이스부의 구성을 도시하는 모식 단면도,
도 4는 진공 챔버 상방의 반입 공간의 높이 치수와 로봇의 높이 치수의 비교도,
도 5a는 동체부의 진공 챔버에의 설치 방법을 도시하는 설명도,
도 5b는 아암 유닛의 진공 챔버에의 설치 방법을 도시하는 설명도,
도 6은 동체부에 대한 아암 유닛의 대략의 위치 결정 방법을 도시하는 설명도.1 is a schematic perspective view of a robot according to the present embodiment,
2 is a schematic side view showing a state in which a robot is installed in a vacuum chamber,
3 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a body part and a base part,
Figure 4 is a comparison of the height dimension of the carry-in space above the vacuum chamber and the height dimension of the robot,
Fig. 5A is an explanatory view showing a method of installing the body part in the vacuum chamber,
5B is an explanatory view showing a method of installing the arm unit in the vacuum chamber,
6 is an explanatory view showing a rough positioning method of the arm unit with respect to the body part;

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원의 개시하는 로봇, 로봇의 설치 방법 및 제조 장치의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 도시하는 실시형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of a robot, a method of installing a robot, and a manufacturing apparatus of the present invention will be described in detail. The present invention is not limited to the embodiments shown below.

우선, 본 실시형태에 따른 로봇의 구성에 대해 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 로봇의 모식 사시도이다.First, the configuration of the robot according to the present embodiment will be described with reference to Fig. 1 is a schematic perspective view of a robot according to an embodiment.

도 1에 도시하는 바와 같이, 로봇(1)은, 수평 방향으로 신축하는 2개의 신축 아암을 구비하는 수평 다관절 로봇이다. 구체적으로는, 로봇(1)은 동체부(10)와, 아암 유닛(20)을 구비한다.As shown in Fig. 1, the robot 1 is a horizontal articulated robot having two telescopic arms that extend and contract in the horizontal direction. Specifically, the robot 1 has a body 10 and an arm unit 20.

동체부(10)는 아암 유닛(20)의 하부에 마련되는 유닛이다. 이러한 동체부(10)는, 통 형상의 하우징(11) 내에 승강 장치를 구비하고 있으며, 이러한 승강 장치를 이용하여 아암 유닛(20)을 연직 방향을 따라서 승강시킨다. 승강 장치의 구성에 대해서는, 도 3을 이용하여 설명한다.The body 10 is a unit provided under the arm unit 20. The body 10 includes a lifting device in a cylindrical housing 11. The arm unit 20 is lifted and lowered along the vertical direction using the lifting device. The configuration of the elevating apparatus will be described with reference to Fig.

하우징(11)의 상부에는, 플랜지부(12)가 형성된다. 이러한 플랜지부(12)가 진공 챔버에 형성된 개구부의 가장자리부에 의해 지지되는 것에 의해서, 로봇(1)은 진공 챔버에 마련된 상태가 된다. 이러한 점에 대해서는, 도 2를 이용하여 설명한다.On the upper portion of the housing 11, a flange portion 12 is formed. The flange portion 12 is supported by the edge portion of the opening portion formed in the vacuum chamber so that the robot 1 is placed in the vacuum chamber. This point will be described with reference to FIG.

아암 유닛(20)은, 승강 플랜지부(15)를 거쳐서 동체부(10)와 연결하는 유닛이다. 구체적으로는, 아암 유닛(20)은, 고정 베이스부(21)와, 제 1 아암부(22)와, 제 2 아암부(23)와, 가동 베이스부(24)와, 보조 아암부(25)를 구비한다. 또한, 본 실시형태에 있어서, 고정 베이스부(21), 제 1 아암부(22), 제 2 아암부(23) 및 가동 베이스부(24)는, 각각 제 1 부재, 제 2 부재, 제 3 부재 및 제 4 부재에 대응한다.The arm unit 20 is a unit that connects with the body 10 via the lifting and lowering flange portion 15. [ More specifically, the arm unit 20 includes a fixed base portion 21, a first arm portion 22, a second arm portion 23, a movable base portion 24, an auxiliary arm portion 25 . In the present embodiment, the fixed base portion 21, the first arm portion 22, the second arm portion 23, and the movable base portion 24 are constituted by a first member, a second member, Member and the fourth member.

고정 베이스부(21)는, 승강 플랜지부(15)에 대하여 회전 가능하게 지지된다. 고정 베이스부(21)는, 모터나 감속기, 샤프트 등으로 이루어지는 선회 장치를 구비하고, 이러한 선회 장치를 이용하여 회전한다. 선회 장치의 구성에 대해서는, 도 3을 이용하여 설명한다.The fixed base portion (21) is rotatably supported by the lifting flange portion (15). The fixed base portion 21 is provided with a swivel device composed of a motor, a speed reducer, a shaft, and the like, and rotates using this swivel device. The configuration of the pivoting device will be described with reference to Fig.

고정 베이스부(21)의 상부에는, 제 1 아암부(22)의 기단부가 감속기를 거쳐서 회전 가능하게 연결된다. 또한, 제 1 아암부(22)의 선단 상부에는, 제 2 아암부(23)의 기단부가 감속기를 거쳐서 회전 가능하게 연결된다.At the upper portion of the fixed base portion 21, the base end portion of the first arm portion 22 is rotatably connected via a speed reducer. The base end portion of the second arm portion 23 is rotatably connected to the upper end of the first arm portion 22 via a speed reducer.

그리고, 제 2 아암부(23)의 선단부에는, 가동 베이스부(24)가 회전 가능하게 연결된다. 가동 베이스부(24)는, 워크를 보지하기 위한 엔드 이펙터(24a)를 상부에 구비하고, 제 1 아암부(22) 및 제 2 아암부(23)의 회전 동작을 따라 이동한다.The movable base portion 24 is rotatably connected to the distal end portion of the second arm portion 23. The movable base portion 24 is provided with an end effector 24a for holding a workpiece thereon and moves along the rotational motion of the first arm portion 22 and the second arm portion 23. [

로봇(1)은, 제 1 아암부(22)의 기단부에 마련된 감속기 및 제 1 아암부(22)의 선단부에 마련된 감속기를 1개의 모터를 이용하여 동기적으로 동작시킴으로써, 엔드 이펙터(24a)를 직선적으로 이동시킨다.The robot 1 operates the reducer provided at the proximal end portion of the first arm portion 22 and the speed reducer provided at the distal end portion of the first arm portion 22 synchronously using one motor so that the end effector 24a Move it linearly.

구체적으로는, 로봇(1)은, 제 1 아암부(22)에 대한 제 2 아암부(23)의 회전량이 고정 베이스부(21)에 대한 제 1 아암부(22)의 회전량의 2배가 되도록, 제 1 아암부(22) 및 제 2 아암부(23)를 회전시킨다. 예를 들어, 로봇(1)은, 제 1 아암부(22)가 고정 베이스부(21)에 대하여 α도 회전했을 경우에, 제 2 아암부(23)가 제 1 아암부(22)에 대하여 2α도 회전하도록 제 1 아암부(22) 및 제 2 아암부(23)를 회전시킨다. 이것에 의해, 엔드 이펙터(24a)는 직선적으로 이동한다.The amount of rotation of the second arm portion 23 with respect to the first arm portion 22 is twice the amount of rotation of the first arm portion 22 with respect to the fixed base portion 21 The first arm portion 22 and the second arm portion 23 are rotated. For example, when the first arm portion 22 rotates with respect to the fixed base portion 21, the second arm portion 23 contacts the first arm portion 22 with respect to the fixed base portion 21, The first arm portion 22 and the second arm portion 23 are rotated to rotate the first arm portion 22 and the second arm portion 23 as well. Thereby, the end effector 24a moves linearly.

또한, 진공 챔버 내의 오염 방지 등의 관점으로부터, 감속기나 모터와 같은 구동 기구는, 대기압으로 유지된 제 1 아암부(22)의 내부에 수납된다. 이것에 의해, 로봇(1)을 감압 환경하에 두는 경우라도, 그리스 등의 윤활유의 건조를 방지할 수 있는 것 이외, 발진에 의한 진공 챔버 내의 오염을 방지할 수 있다.From the viewpoint of prevention of contamination in the vacuum chamber, the driving mechanism such as the reducer and the motor is accommodated in the first arm portion 22 maintained at the atmospheric pressure. This makes it possible to prevent drying of the lubricating oil such as grease even when the robot 1 is placed under a reduced-pressure environment, and to prevent contamination of the vacuum chamber due to oscillation.

보조 아암부(25)는, 이동 중의 엔드 이펙터(24a)가 항상 일정한 방향을 향하도록, 제 1 아암부(22) 및 제 2 아암부(23)의 회전 동작과 연동하여 가동 베이스부(24)의 회전을 규제하는 링크 기구이다.The auxiliary arm portion 25 is configured to move the movable base portion 24 in cooperation with the rotation operation of the first arm portion 22 and the second arm portion 23 so that the end effector 24a during the movement always faces a certain direction, As shown in Fig.

구체적으로는, 보조 아암부(25)는, 제 1 링크부(25a)와, 중간 링크부(25b)와, 제 2 링크부(25c)를 구비한다.Specifically, the auxiliary arm portion 25 includes a first link portion 25a, an intermediate link portion 25b, and a second link portion 25c.

제 1 링크부(25a)는, 기단부가 고정 베이스부(21)에 대하여 회전 가능하게 연결되고, 선단부에 있어서 중간 링크부(25b)의 선단부와 회전 가능하게 연결된다. 또한, 중간 링크부(25b)는, 기단부가 제 1 아암부(22)와 제 2 아암부(23)의 연결축과 동축 상에 축지되며, 선단부가 제 1 링크부(25a)의 선단부와 회전 가능하게 연결된다.The base portion of the first link portion 25a is rotatably connected to the fixed base portion 21 and is rotatably connected to the distal end portion of the intermediate link portion 25b at the distal end portion. The intermediate link portion 25b is configured such that the proximal end portion of the intermediate link portion 25b is axially coaxial with the connecting shaft of the first arm portion 22 and the second arm portion 23, .

제 2 링크부(25c)는, 기단부에 있어서 중간 링크부(25b)와 회전 가능하게 연결되고, 선단부에 있어서 가동 베이스부(24)의 기단부와 회전 가능하게 연결된다. 또한, 가동 베이스부(24)는, 선단부에 있어서 제 2 아암부(23)의 선단부와 회전 가능하게 연결되고, 기단부에 있어서 제 2 링크부(25c)와 회전 가능하게 연결된다.The second link portion 25c is rotatably connected to the intermediate link portion 25b at the base end portion and is rotatably connected to the base end portion of the movable base portion 24 at the tip end portion. The movable base portion 24 is rotatably connected to the distal end portion of the second arm portion 23 at the distal end portion and rotatably connected to the second link portion 25c at the proximal end portion.

제 1 링크부(25a)는, 고정 베이스부(21), 제 1 아암부(22) 및 중간 링크부(25b)와 함께 제 1 평행 링크 기구를 형성한다. 즉, 제 1 아암부(22)가 기단부를 중심으로 회전하면, 제 1 링크부(25a) 및 중간 링크부(25b)가, 각각 제 1 아암부(22) 및 고정 베이스부(21)와 평행한 상태를 유지하면서 회전한다.The first link portion 25a forms a first parallel link mechanism together with the fixed base portion 21, the first arm portion 22 and the intermediate link portion 25b. That is, when the first arm portion 22 rotates about the proximal end portion, the first link portion 25a and the intermediate link portion 25b are parallel to the first arm portion 22 and the fixed base portion 21, respectively And rotates while maintaining one state.

또한, 제 2 링크부(25c)는, 제 2 아암부(23), 가동 베이스부(24) 및 중간 링크부(25b)와 함께 제 2 평행 링크 기구를 형성한다. 즉, 제 2 아암부(23)가 기단부를 중심으로 하여 회전하면, 제 2 링크부(25c) 및 가동 베이스부(24)가, 각각 제 2 아암부(23) 및 중간 링크부(25b)와 평행한 상태를 유지하면서 회전한다.The second link portion 25c forms a second parallel link mechanism together with the second arm portion 23, the movable base portion 24 and the intermediate link portion 25b. That is, when the second arm portion 23 rotates about the proximal end portion, the second link portion 25c and the movable base portion 24 are engaged with the second arm portion 23 and the intermediate link portion 25b While rotating in a parallel state.

중간 링크부(25b)는, 제 1 평행 링크 기구에 의해서 고정 베이스부(21)와 평행한 상태를 유지하면서 회전한다. 이 때문에, 제 2 평행 링크 기구의 가동 베이스부(24)도 고정 베이스부(21)와 평행한 상태를 유지하면서 회전한다. 이 결과, 가동 베이스부(24)의 상부에 장착되는 엔드 이펙터(24a)는, 고정 베이스부(21)와 평행한 상태를 유지하면서 직선적으로 이동하게 된다.The intermediate link portion 25b rotates while maintaining a state parallel to the fixed base portion 21 by the first parallel link mechanism. Therefore, the movable base portion 24 of the second parallel link mechanism also rotates while maintaining a state parallel to the fixed base portion 21. [ As a result, the end effector 24a mounted on the upper portion of the movable base portion 24 moves linearly while maintaining a state parallel to the fixed base portion 21. [

이와 같이, 로봇(1)은, 제 1 평행 링크 기구 및 제 2 평행 링크 기구의 2개의 평행 링크 기구를 이용하여, 엔드 이펙터(24a)의 방향을 일정하게 유지하는 것으로 했다. 따라서, 예를 들어 제 2 아암부 내에 풀리나 전달 벨트를 마련하고, 이들 풀리나 전달 벨트를 이용하여 엔드 이펙터의 방향을 일정 방향으로 유지하는 경우와 비교하여, 풀리나 전달 벨트에 기인하는 발진을 억제할 수 있다.As described above, the robot 1 uses the two parallel link mechanisms of the first parallel link mechanism and the second parallel link mechanism to maintain the direction of the end effector 24a constant. Therefore, compared to a case in which a pulley or a transfer belt is provided in the second arm portion and the direction of the end effector is maintained in a certain direction by using these pulleys or transfer belts, oscillation caused by the pulley or the transfer belt can be suppressed have.

또한, 보조 아암부(25)에 의해서 아암 전체의 강성을 높일 수 있기 때문에, 엔드 이펙터(24a)의 동작시의 진동을 저감할 수 있다. 이 때문에, 풀리나 전달 벨트를 이용하여 엔드 이펙터의 방향을 일정 방향으로 유지하는 경우와 비교하여, 엔드 이펙터(24a)의 동작시의 진동에 기인하는 발진도 억제할 수 있다.Further, since the rigidity of the entire arm can be increased by the auxiliary arm portion 25, the vibration during operation of the end effector 24a can be reduced. Therefore, as compared with the case where the direction of the end effector is maintained in a constant direction by using a pulley or a transmission belt, oscillation due to vibration during operation of the end effector 24a can be suppressed.

또한, 본 실시형태에 따른 로봇(1)은, 제 1 아암부(22), 제 2 아암부(23), 가동 베이스부(24) 및 보조 아암부(25)로 구성되는 신축 아암을 2조 구비한다. 이 때문에, 로봇(1)은, 예를 들어, 한쪽의 신축 아암을 이용하여 어느 반송 위치로부터 워크를 취출하면서, 다른쪽의 신축 아암을 이용하여 이러한 반송 위치에 새로운 워크를 반입하는 등, 2개의 작업을 동시 평행으로 실행할 수 있다.The robot 1 according to the present embodiment is configured such that the pair of elastic arms composed of the first arm portion 22, the second arm portion 23, the movable base portion 24, Respectively. For this reason, for example, the robot 1 takes a work from a certain transport position by using one stretching arm and carries a new work to the transport position by using the other stretching arm, You can run tasks in parallel.

다음에, 본 실시형태에 따른 로봇(1) 및 진공 챔버를 구비하는 제조 장치의 구성에 대하여 설명한 후에, 도킹 플랜지 주변의 구성 및 로봇(1)의 진공 챔버에의 설치 방법에 대하여 구체적으로 설명한다.Next, the configuration of the robot 1 and the manufacturing apparatus having the vacuum chamber according to the present embodiment will be described, and then the configuration around the docking flange and the method of installing the robot 1 in the vacuum chamber will be described in detail .

도 2는 제조 장치의 구성을 도시하는 모식 측면도이다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 제조 장치(100)는, 로봇(1)과, 로봇(1)을 수용하는 진공 챔버(30)를 구비한다.2 is a schematic side view showing a configuration of a manufacturing apparatus. As shown in Fig. 2, the manufacturing apparatus 100 includes a robot 1 and a vacuum chamber 30 for accommodating the robot 1. As shown in Fig.

로봇(1)은, 동체부(10)에 형성된 플랜지부(12)가 진공 챔버(30)의 저부에 형성된 개구부(31)의 가장자리부에 대하여 시일 부재를 거쳐서 고정된다. 이것에 의해, 진공 챔버(30)는 밀폐된 상태가 되고, 진공 펌프 등의 감압 장치에 의해서 내부가 감압 상태로 유지된다. 또한, 동체부(10)의 하우징(11)은, 진공 챔버(30)의 하부로부터 돌출되어 있으며, 진공 챔버(30)를 지지하는 지지부(35) 내의 공간에 위치한다.The robot 1 has the flange portion 12 formed on the body 10 fixed to the edge portion of the opening 31 formed in the bottom of the vacuum chamber 30 via the seal member. As a result, the vacuum chamber 30 is in a hermetically closed state, and the interior of the vacuum chamber 30 is maintained in a reduced pressure state by a vacuum device such as a vacuum pump. The housing 11 of the trunk section 10 protrudes from the lower portion of the vacuum chamber 30 and is located in a space in the support section 35 that supports the vacuum chamber 30.

로봇(1)은, 이러한 진공 챔버(30) 내에 있어서 워크의 반송 작업을 실행한다. 예를 들어, 로봇(1)은, 제 1 아암부(22) 및 제 2 아암부(23)를 이용하여 엔드 이펙터(24a)를 직선적으로 이동시킴으로써, 도시하지 않는 게이트 밸브를 거쳐서 진공 챔버(30)와 접속되는 다른 진공 챔버로부터 워크를 취출한다.The robot (1) carries out the work of carrying the work in the vacuum chamber (30). For example, the robot 1 linearly moves the end effector 24a using the first arm portion 22 and the second arm portion 23, thereby moving the vacuum chamber 30 The workpiece is taken out from another vacuum chamber connected to the vacuum chamber.

이어서, 로봇(1)은, 엔드 이펙터(24a)를 되돌린 후, 선회축(O)을 중심으로 고정 베이스부(21)를 수평 방향으로 회전시킴으로써, 워크의 반송처가 되는 다른 진공 챔버에 대하여 아암 유닛(20)을 정대시킨다. 그리고, 로봇(1)은, 제 1 아암부(22) 및 제 2 아암부(23)를 이용하여 엔드 이펙터(24a)를 직선적으로 이동시킴으로써, 워크의 반송처가 되는 다른 진공 챔버에 워크를 반입한다.The robot 1 then rotates the fixed base portion 21 in the horizontal direction about the pivotal axis O after returning the end effector 24a to the other vacuum chamber, Thereby uniting the unit 20. The robot 1 linearly moves the end effector 24a using the first arm portion 22 and the second arm portion 23 to carry the workpiece into another vacuum chamber to which the workpiece is to be transferred .

진공 챔버(30)는 로봇(1)의 형상에 맞추어 형성된다. 예를 들어, 도 2에 도시하는 바와 같이, 진공 챔버(30)에는, 저면에 오목부가 형성되어 있으며, 이러한 오목부에 대하여, 고정 베이스부(21)나 승강 플랜지부(15)와 같은 하방으로 돌출하는 로봇(1)의 부위가 들어간다. 이와 같이, 진공 챔버(30)를 로봇(1)의 형상에 맞추어 형성함으로써, 챔버 내의 용적을 작게 할 수 있으며, 진공 챔버(30)의 감압 상태를 용이하게 유지하는 것이 가능하게 된다.The vacuum chamber 30 is formed in conformity with the shape of the robot 1. 2, the vacuum chamber 30 is provided with a concave portion on the bottom surface thereof. The concave portion is formed in such a manner that the lower surface of the concave portion of the vacuum chamber 30 faces downward as the fixed base portion 21 or the elevating flange portion 15 The protruding portion of the robot 1 enters. By thus forming the vacuum chamber 30 in conformity with the shape of the robot 1, the volume in the chamber can be made small, and it is possible to easily maintain the reduced pressure state of the vacuum chamber 30.

진공 챔버(30)의 상부에는, 진공 챔버(30)를 외부와 연통 가능하게 폐색하는 덮개부(32)가 마련된다. 로봇(1)은, 덮개부(32)가 분리된 진공 챔버(30)의 상방으로부터 진공 챔버(30) 내로 반입된다.An upper portion of the vacuum chamber 30 is provided with a lid portion 32 for closing the vacuum chamber 30 so as to communicate with the outside. The robot 1 is carried into the vacuum chamber 30 from above the vacuum chamber 30 in which the lid part 32 is separated.

본 실시형태에 따른 로봇(1)은, 동체부(10)와 아암 유닛(20)이 승강 플랜지부(15)에 있어서 분할 가능하게 구성된다.The robot 1 according to the present embodiment is configured such that the trunk portion 10 and the arm unit 20 can be divided by the elevating flange portion 15. [

구체적으로는, 본 실시형태에 따른 로봇(1)은, 승강 플랜지부(15)가, 제 1 도킹 플랜지(15a) 및 제 2 도킹 플랜지(15b)의 2개의 플랜지로 구성된다. 제 1 도킹 플랜지(15a)는, 동체부(10)측에 고정되는 플랜지이며, 제 2 도킹 플랜지(15b)는, 아암 유닛(20) 측에 고정되는 플랜지이다. 본 실시형태에 따른 로봇(1)은, 이들 제 1 도킹 플랜지(15a) 및 제 2 도킹 플랜지(15b)를 볼트 등을 이용하여 일체화시킴으로써, 동체부(10)와 아암 유닛(20)이 일체화된 상태가 된다.Specifically, in the robot 1 according to the present embodiment, the lifting and lowering flange portion 15 is composed of two flanges of a first docking flange 15a and a second docking flange 15b. The first docking flange 15a is a flange fixed to the body 10 side and the second docking flange 15b is a flange fixed to the arm unit 20 side. The robot 1 according to the present embodiment is constructed by integrating the first docking flange 15a and the second docking flange 15b with bolts or the like so that the body 10 and the arm unit 20 are integrated State.

그리고, 본 실시형태에서는, 로봇(1)을 동체부(10)와 아암 유닛(20)으로 분할한 상태로 진공 챔버(30) 내로 반입한다. 이것에 의해, 로봇(1)의 진공 챔버(30)에의 설치를 용이하게 실행할 수 있도록 했다.In this embodiment, the robot 1 is carried into the vacuum chamber 30 in a state in which the robot 1 is divided into the body 10 and the arm unit 20. This makes it possible to easily mount the robot 1 in the vacuum chamber 30.

다음에, 제 1 도킹 플랜지(15a)를 구비하는 동체부(10) 및 제 2 도킹 플랜지(15b)를 구비하는 고정 베이스부(21)의 구성에 대하여 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3은 동체부(10) 및 고정 베이스부(21)의 구성을 도시하는 모식 단면도이다.Next, the configuration of the fixed base portion 21 having the body portion 10 having the first docking flange 15a and the second docking flange 15b will be described with reference to Fig. 3. Fig. 3 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the moving body 10 and the fixed base portion 21. As shown in Fig.

도 3에 도시하는 바와 같이, 동체부(10)는 승강 장치(40)를 구비한다. 승강 장치(40)는, 도시하지 않는 모터 및 변환 기구(42)를 이용하여 샤프트부(43)를 연직 방향으로 이동시키는 장치이다. 제 1 도킹 플랜지(15a)는, 플랜지부(12)에 형성된 개구부(121)로부터 돌출하는 샤프트부(43)의 상단부에 고정된다.As shown in Fig. 3, the body 10 includes a lifting device 40. As shown in Fig. The elevating device 40 is a device for moving the shaft portion 43 in the vertical direction by using a motor and a conversion mechanism 42 (not shown). The first docking flange 15a is fixed to the upper end of the shaft portion 43 projecting from the opening portion 121 formed in the flange portion 12. [

또한, 아암 유닛(20)은 선회 장치(60)를 구비한다. 선회 장치(60)는, 예를 들어, 모터(61a)와 감속기(61b)가 일체화된 감속기를 갖는 모터(61)의 회전을 풀리(64, 65) 및 전달 벨트(63)를 거쳐서 샤프트부(62)에 전달하는 것에 의해서, 샤프트부(62)를 회전시킨다. 샤프트부(62)는, 베어링(211)을 거쳐서 고정 베이스부(21)에 회전 가능하게 지지되어 있지만 회전 방향에는 고정되어 있기 때문에, 결과적으로 고정 베이스부(21)가 샤프트부(62)의 중심축을 선회축(O)으로 하여 고정 베이스부(21)가 수평 방향으로 회전하게 된다.Further, the arm unit 20 is provided with the swing device 60. [ The swivel device 60 is configured to swivel the rotation of the motor 61 having the speed reducer integrated with the motor 61a and the speed reducer 61b through the pulleys 64 and 65 and the transmission belt 63, 62 to rotate the shaft portion 62. The shaft portion 62 is rotatably supported by the fixed base portion 21 via the bearing 211 but is fixed in the rotating direction so that the fixed base portion 21 is moved to the center of the shaft portion 62 The fixed base portion 21 rotates in the horizontal direction with the shaft as the pivot axis O. [

제 2 도킹 플랜지(15b)는, 고정 베이스부(21)의 하부로부터 연직 하향으로 돌출하는 샤프트부(62)의 선단부에 고정된다.The second docking flange 15b is fixed to the distal end portion of the shaft portion 62 projecting vertically downward from the lower portion of the fixed base portion 21. [

그리고, 동체부(10) 및 아암 유닛(20)은, 제 1 도킹 플랜지(15a) 및 제 2 도킹 플랜지(15b)를 볼트 등으로 고정하는 것에 의해서 일체화되며, 로봇(1)이 된다.The trunk unit 10 and the arm unit 20 are integrated into a robot 1 by fixing the first docking flange 15a and the second docking flange 15b with bolts or the like.

여기서, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제 1 도킹 플랜지(15a)의 상면에는, 위치 결정 핀(151)이 마련되며, 제 2 도킹 플랜지(15b)에는, 위치 결정 핀(151)과 결합하는 결합 구멍(153)이 형성된다. 아암 유닛(20)은, 위치 결정 핀(151)과 결합 구멍(153)을 결합시킨 상태로 제 1 도킹 플랜지(15a)와 제 2 도킹 플랜지(15b)를 고정함으로써, 동체부(10)에 대하여 적절한 위치에서 연결된다.3, a positioning pin 151 is provided on the upper surface of the first docking flange 15a, and a coupling pin 151 is provided on the second docking flange 15b. A hole 153 is formed. The arm unit 20 is fixed to the body 10 by fixing the first docking flange 15a and the second docking flange 15b with the positioning pin 151 and the engagement hole 153 engaged with each other It is connected at the proper position.

이와 같이, 본 실시형태에 따른 로봇(1)에서는, 제 1 유닛인 동체부(10)가, 수평 방향으로 연장되는 제 1 도킹 플랜지(15a)를 상부에 구비하고, 제 2 유닛인 아암 유닛(20)이, 수평 방향으로 연장되는 제 2 도킹 플랜지(15b)를 하부에 구비한다. 그리고, 본 실시형태에 따른 로봇(1)에서는, 제 1 도킹 플랜지(15a)와 제 2 도킹 플랜지(15b)를 고정하는 것에 의해서 동체부(10)와 아암 유닛(20)을 연결하는 것으로 했다. 따라서, 동체부(10)와 아암 유닛(20)의 연결 작업을 용이하게 실행할 수 있다.As described above, in the robot 1 according to the present embodiment, the body 10, which is the first unit, has the first docking flange 15a extending in the horizontal direction and the arm unit 20 has a second docking flange 15b extending in the horizontal direction at a lower portion thereof. In the robot 1 according to the present embodiment, the body 10 and the arm unit 20 are connected by fixing the first docking flange 15a and the second docking flange 15b. Therefore, the connecting operation between the trunk section 10 and the arm unit 20 can be easily performed.

또한, 본 실시형태에 따른 로봇(1)에서는, 제 1 도킹 플랜지(15a)에 대하여 위치 결정용의 볼록부인 위치 결정 핀(151)을 마련하고, 이러한 위치 결정 핀(151)과 결합하는 결합 구멍(153)을 제 2 도킹 플랜지(15b)에 형성했다. 따라서, 동체부(10)에 대하여 아암 유닛(20)을 정확한 위치에서 연결할 수 있다.In the robot 1 according to the present embodiment, the positioning pin 151, which is a positioning convex portion, is provided to the first docking flange 15a, (153) was formed in the second docking flange (15b). Therefore, the arm unit 20 can be connected to the trunk part 10 at an accurate position.

또한, 여기에서는, 제 1 도킹 플랜지(15a)에 위치 결정 핀(151)을 마련하고, 제 2 도킹 플랜지(15b)에 결합 구멍(153)을 형성했지만, 제 1 도킹 플랜지(15a)에 관통 삽입 구멍을 형성하고, 제 2 도킹 플랜지(15b)에 위치 결정 핀을 마련해도 좋다. 또한, 여기에서는, 위치 결정용의 볼록부 및 위치 결정용의 오목부의 일예로서, 위치 결정 핀(151) 및 결합 구멍(153)을 이용하여 설명했지만, 위치 결정용의 볼록부 및 오목부는, 핀 및 관통 삽입 구멍에 한정되는 것은 아니다.Although the positioning pin 151 is provided in the first docking flange 15a and the engagement hole 153 is formed in the second docking flange 15b in this embodiment, And a positioning pin may be provided on the second docking flange 15b. Although the positioning pin 151 and the engaging hole 153 are used as an example of the positioning convex portion and the positioning concave portion in this embodiment, the convex portion and the concave portion for positioning are not limited to the pin And the through-hole.

또한, 여기에서는, 선회 장치(60)가 감속기를 갖는 모터(61)를 구비하는 경우의 예에 대하여 설명했지만, 모터와 감속기는, 반드시 일체화되어 있지 않아도 좋다.Here, the example in which the pivoting device 60 includes the motor 61 having the speed reducer has been described, but the motor and the speed reducer may not necessarily be integrated.

이어서, 선회 장치(60) 및 승강 장치(40)의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 선회 장치(60)의 샤프트부(62)에는, 샤프트부(62)의 상단으로부터 하단까지 관통하는 관통 구멍(622)이 선회축(O)을 따라서 형성되며, 제 2 도킹 플랜지(15b)에도 동일한 관통 구멍(154)이 형성된다. 그리고, 이들 관통 구멍(622, 154)에는, 아암 유닛(20)의 배선(300)이 관통 삽입된다. 이러한 배선(300)은, 샤프트부(62)의 상방으로부터 관통 구멍(622, 154)을 통과하여 고정 베이스부(21)의 하부로부터 늘어진 상태가 된다.Next, specific configurations of the swing device 60 and the elevating device 40 will be described. 3, a through hole 622 penetrating from the upper end to the lower end of the shaft portion 62 is formed along the pivot axis O in the shaft portion 62 of the swing device 60, The same through hole 154 is also formed in the second docking flange 15b. The wirings 300 of the arm unit 20 are inserted into these through holes 622 and 154, respectively. These wirings 300 pass through the through holes 622 and 154 from above the shaft portion 62 and are in a state of being stretched from the lower portion of the fixed base portion 21. [

승강 장치(40)는 변환 기구(42)와, 샤프트부(43)와, 리니어 가이드(44)를 구비한다. 변환 기구(42)는, 도시하지 않는 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 기구부이다. 구체적으로는, 변환 기구(42)는 볼 나사(421) 및 볼 너트(422)를 구비한다. 볼 나사(421)는, 베어링(112)을 거쳐서 하우징(11)에 회전 가능하게 지지되며, 볼 너트(422)는 볼 나사(421)에 관장(貫裝)된다.The elevating device 40 includes a conversion mechanism 42, a shaft portion 43, and a linear guide 44. The converting mechanism 42 is a mechanical unit that converts a rotational motion of a motor (not shown) into a linear motion. Specifically, the converting mechanism 42 includes a ball screw 421 and a ball nut 422. [ The ball screw 421 is rotatably supported by the housing 11 via the bearing 112 and the ball nut 422 is inserted into the ball screw 421.

샤프트부(43)는 연직 방향을 따라서 연장되는 통 형상의 부재이다. 이러한 샤프트부(43)의 통 내에는, 변환 기구(42)가 배설되어 있으며, 변환 기구(42)의 볼 너트(422)가 샤프트부(43)의 내주면에 고정된다. 또한, 샤프트부(43)는 외주면에 있어서 리니어 가이드(44)에 고정된다.The shaft portion 43 is a tubular member extending along the vertical direction. A conversion mechanism 42 is disposed in the cylinder of the shaft portion 43 and the ball nut 422 of the conversion mechanism 42 is fixed to the inner circumferential surface of the shaft portion 43. Further, the shaft portion 43 is fixed to the linear guide 44 on the outer peripheral surface.

도시하지 않는 모터를 작동시키면, 모터의 회전은, 도시하지 않는 전달 벨트나 풀리를 거쳐서 변환 기구(42)의 볼 나사(421)에 전달된다. 그리고, 볼 나사(421) 및 볼 너트(422)에 의해서 모터의 회전 운동이 직선 운동으로 변환되어, 볼 너트(422)에 고정된 샤프트부(43)가 리니어 가이드(44)를 따라서 승강한다.When a motor (not shown) is operated, the rotation of the motor is transmitted to the ball screw 421 of the conversion mechanism 42 via a transmission belt or a pulley (not shown). The rotation of the motor is converted into linear motion by the ball screw 421 and the ball nut 422 so that the shaft portion 43 fixed to the ball nut 422 moves up and down along the linear guide 44.

제 1 도킹 플랜지(15a)에는, 관통 구멍(152)이 선회축(O)을 따라서 형성되어 있으며, 이러한 관통 구멍(152)을 거쳐서 아암 유닛(20)의 배선(300)이 샤프트부(43) 내로 삽입된다. 샤프트부(43) 내로 삽입된 배선(300)은 샤프트부(43)의 하부에 형성된 절결부(431)로부터 샤프트부(43) 외부로 인출되고, 샤프트부(43) 외부에 마련된 연결기 패널에 접속된다.A through hole 152 is formed along the pivot axis O in the first docking flange 15a and the wiring 300 of the arm unit 20 is connected to the shaft portion 43 via the through hole 152. [ Lt; / RTI > The wiring 300 inserted into the shaft portion 43 is drawn out of the shaft portion 43 from the cutout portion 431 formed in the lower portion of the shaft portion 43 and is connected to a connector panel provided outside the shaft portion 43 do.

여기서, 변환 기구(42)는, 샤프트부(43)의 내주면에 가까이 댄 상태로 배설된다. 구체적으로는, 변환 기구(42)는, 볼 나사(421)의 중심축을 샤프트부(43)의 중심축[즉, 선회축(O)]으로부터 어긋나게 한 상태로 배설된다. 이것에 의해, 변환 기구(42)와 샤프트부(43)의 내주면 사이에는, 배선(300)의 배선 공간(S)이 형성된다.Here, the conversion mechanism 42 is disposed so as to be close to the inner circumferential surface of the shaft portion 43. Specifically, the conversion mechanism 42 is disposed so that the central axis of the ball screw 421 is shifted from the central axis of the shaft portion 43 (i.e., the pivot axis O). The wiring space S of the wiring 300 is formed between the conversion mechanism 42 and the inner peripheral surface of the shaft portion 43. [

그리고, 샤프트부(43)에는, 상방으로부터 삽입되는 배선(300)을 배선 공간(S)으로 안내하는 가이드체(450)가 마련된다. 가이드체(450)는, 배선 공간(S)과 변환 기구(42) 사이에 있어서 볼 나사(421)의 상부 및 측면을 덮도록 마련된 부재이며, 배선 공간(S)을 향하여 경사가 형성되어 있다.The shaft portion 43 is provided with a guide body 450 for guiding the wiring 300 inserted from above into the wiring space S. The guide member 450 is a member provided to cover the top and side surfaces of the ball screw 421 between the wiring space S and the conversion mechanism 42 and is inclined toward the wiring space S.

이와 같이, 샤프트부(43)의 통 내에 가이드체(450)를 마련함으로써, 볼 나사(421)나 볼 너트(422)에 저해되는 일 없이, 배선(300)을 배선 공간(S)에 용이하게 인도할 수 있다. 또한, 로봇(1)의 동작 중에 있어서 배선(300)과 변환 기구(42)가 접촉하는 것을 방지할 수도 있다.By providing the guide body 450 in the cylinder of the shaft portion 43 as described above, the wiring 300 can be easily inserted into the wiring space S without being hampered by the ball screw 421 or the ball nut 422 I can deliver it. It is also possible to prevent the wiring 300 and the conversion mechanism 42 from coming into contact with each other during the operation of the robot 1. [

다음에, 로봇(1)의 진공 챔버(30)에의 설치 방법에 대해 설명한다. 우선, 진공 챔버(30) 상방의 반입 공간의 높이 치수와 로봇(1)의 높이 치수의 비교에 대해 도 4를 이용하여 설명한다. 도 4는 진공 챔버(30) 상방의 반입 공간의 높이 치수와 로봇(1)의 높이 치수의 비교도이다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이, 로봇(1)의 반입 작업은 진공 챔버(30) 상부의 덮개부(32)(도 2 참조)가 분리된 상태에서 실행된다.Next, a method of installing the robot 1 in the vacuum chamber 30 will be described. First, a comparison between the height dimension of the carry-in space above the vacuum chamber 30 and the height dimension of the robot 1 will be described with reference to FIG. 4 is a comparative view of the height dimension of the carry-in space above the vacuum chamber 30 and the height dimension of the robot 1. Fig. 4, the carrying-in operation of the robot 1 is performed in a state in which the lid portion 32 (see Fig. 2) on the upper portion of the vacuum chamber 30 is detached.

로봇(1)은, 예를 들어, 천정 크레인(700)을 이용하여 진공 챔버(30)의 상방으로부터 진공 챔버(30) 내로 반입된다. 천정 크레인(700)은, 후크(701)를 이용하여 대상물을 소정의 높이까지 들어 올려, 천정(750)에 마련된 주행 레인(751)을 따라서 주행한 후, 들어 올린 대상물을 소정 위치에 내리는 크레인 장치이다.The robot 1 is carried into the vacuum chamber 30 from above the vacuum chamber 30 by using the overhead crane 700, for example. The overhead crane 700 is a crane unit that lifts an object up to a predetermined height using a hook 701 and travels along a running lane 751 provided on the ceiling 750 and then raises the lifted object to a predetermined position, to be.

천정 크레인(700)을 이용하여 들어 올린 대상물을 진공 챔버(30) 내로 반입하기 위해서는, 대상물의 높이 치수가, 진공 챔버(30) 상방의 반입 공간의 높이 치수(X) 보다 작을 필요가 있다. 여기서, 반입 공간이란, 진공 챔버(30)의 상방에 위치시킨 로봇(1)을 진공 챔버(30) 내로 반입하기 위한 공간이며, 구체적으로는, 최고 위치까지 끌어올린 후크(701)의 하부로부터 진공 챔버(30)의 상단부까지의 공간이다.It is necessary that the height dimension of the object is smaller than the height dimension X of the carry-in space above the vacuum chamber 30 in order to bring the object lifted by using the overhead crane 700 into the vacuum chamber 30. [ Here, the carry-in space is a space for bringing the robot 1 placed above the vacuum chamber 30 into the vacuum chamber 30. Specifically, the carry space is a space for bringing a vacuum from the lower portion of the hook 701, Is a space up to the upper end of the chamber (30).

본 실시형태에 따른 로봇(1)의 높이 치수(H)는, 이 반입 공간의 높이 치수(X)보다 크다. 이와 같은 경우에는, 천정 크레인(700)을 이용하여 로봇(1)을 반입 공간까지 이동시키려고 해도, 로봇(1)이 진공 챔버(30)의 측벽에 부딪혀 버리기 때문에, 로봇(1)을 반입 공간까지 이동시키는 것이 어렵다.The height H of the robot 1 according to the present embodiment is larger than the height dimension X of the carry-in space. In such a case, even if an attempt is made to move the robot 1 to the carry-in space by using the ceiling crane 700, since the robot 1 hits the side wall of the vacuum chamber 30, It is difficult to move.

그래서, 본 실시형태에 따른 로봇(1)은, 로봇(1)을 동체부(10)와 아암 유닛(20)으로 분할 가능하게 구성하고, 동체부(10) 및 아암 유닛(20)마다 진공 챔버(30)에 반입하는 것으로 했다.The robot 1 according to the present embodiment is constructed so that the robot 1 can be divided into the body 10 and the arm unit 20 and the body 1 and the arm unit 20 are provided with a vacuum chamber (30).

이하에서는, 본 실시형태에 따른 로봇(1)의 진공 챔버(30)에의 설치 방법을 도 5a 및 도 5b를 이용하여 설명한다. 도 5a는 동체부(10)의 진공 챔버(30)에의 설치 방법을 도시하는 설명도이며, 도 5b는 아암 유닛(20)의 진공 챔버(30)에의 설치 방법을 도시하는 설명도이다.Hereinafter, a method of mounting the robot 1 to the vacuum chamber 30 according to the present embodiment will be described with reference to Figs. 5A and 5B. 5A is an explanatory diagram showing a method of installing the trunk part 10 in the vacuum chamber 30 and FIG. 5B is an explanatory view showing a method of installing the arm unit 20 in the vacuum chamber 30. FIG.

도 5a에 도시하는 바와 같이, 작업자 등은, 천정 크레인(700)을 이용하여 동체부(10)의 진공 챔버(30)에의 설치를 실행한다. 우선, 작업자 등은, 링(810)을 구비한 매달림 지그(800)를 동체부(10)에 장착시킨 후, 매달림 지그(800)의 링(810)에 천정 크레인(700)의 후크(701)를 걸어 동체부(10)를 들어 올린다.As shown in Fig. 5A, the worker or the like installs the body 10 in the vacuum chamber 30 by using the ceiling crane 700. Fig. The worker or the like attaches the hanging jig 800 having the ring 810 to the body 10 and then attaches the hook 701 of the overhead crane 700 to the ring 810 of the hanging jig 800, So that the body 10 is lifted.

이어서, 작업자 등은, 주행 레인(751)을 따라서 천정 크레인(700)을 주행시키는 것에 의해, 동체부(10)를 진공 챔버(30) 상방의 반입 공간까지 이동시킨다. 여기서, 도 5a에 도시하는 바와 같이, 매달림 지그(800)를 포함하는 동체부(10)의 높이 치수(h1)는, 반입 공간의 높이 치수(X)보다 작다. 이 때문에, 동체부(10)는, 진공 챔버(30)에 부딪히는 일 없이 반입 공간까지 이동할 수 있다.Subsequently, the worker or the like moves the ceiling crane 700 along the travel lane 751 to move the body 10 to the carry-in space above the vacuum chamber 30. Here, as shown in Fig. 5A, the height dimension h1 of the trunk section 10 including the hanging jig 800 is smaller than the height dimension X of the carry-in space. Therefore, the trunk section 10 can move to the carry-in space without colliding with the vacuum chamber 30.

이어서, 작업자 등은, 천정 크레인(700)을 조작하여, 동체부(10)의 하우징(11)을 진공 챔버(30)의 개구부(31)에 통과하도록 하고 동체부(10)를 진공 챔버(30) 내에 탑재한다. 이것에 의해, 동체부(10)는, 플랜지부(12)에 있어서 진공 챔버(30)의 개구부(31)의 가장자리부에 지지된 상태가 된다.Subsequently, the operator or the like operates the ceiling crane 700 to allow the housing 11 of the body 10 to pass through the opening 31 of the vacuum chamber 30 and to move the body 10 to the vacuum chamber 30 ). As a result, the trunk section 10 is held in the flange section 12 at the edge of the opening 31 of the vacuum chamber 30. As shown in Fig.

그리고, 작업자 등은, 동체부(10)의 플랜지부(12)와 개구부(31)의 가장자리를 볼트 등을 이용하여 고정한다. 이것에 의해, 동체부(10)의 진공 챔버(30)에의 설치가 완료된다. 또한, 진공 챔버(30)에 설치된 동체부(10)에는, 아암 유닛(20)의 위치 결정을 위한 가이드 부재가 장착되지만, 이러한 점에 대해서는, 도 6을 이용하여 설명한다.The worker fixes the edges of the flange portion 12 and the opening portion 31 of the trunk portion 10 with bolts or the like. Thus, the installation of the trunk part 10 in the vacuum chamber 30 is completed. A guide member for positioning the arm unit 20 is attached to the body 10 provided in the vacuum chamber 30. This point will be described with reference to Fig.

동체부(10)의 진공 챔버(30)에의 설치가 완료되면, 작업자 등은, 도 5b에 도시하는 바와 같이 아암 유닛(20)의 진공 챔버(30)에의 설치를 실행한다. 우선, 작업자 등은, 링(610)을 구비한 매달림 지그(600)를 아암 유닛(20)에 장착시킨 후, 매달림 지그(600)의 링(610)에 천정 크레인(700)의 후크(701)를 걸어 동체부(10)를 들어 올린다. 이 때, 아암 유닛(20)의 배선(300)은 아암 유닛(20)의 하부로부터 늘어진 상태로 되어 있다.When the installation of the trunk section 10 in the vacuum chamber 30 is completed, the operator or the like installs the arm unit 20 in the vacuum chamber 30 as shown in Fig. 5B. The worker or the like attaches the hanging jig 600 having the ring 610 to the arm unit 20 and then attaches the hook 701 of the overhead crane 700 to the ring 610 of the hanging jig 600, So that the body 10 is lifted. At this time, the wiring 300 of the arm unit 20 is stretched from the lower portion of the arm unit 20.

작업자 등은, 주행 레인(751)을 따라서 천정 크레인(700)을 주행시키는 것에 의해, 아암 유닛(20)을 진공 챔버(30) 상방의 반입 공간까지 이동시킨다. 여기서, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 매달림 지그(600)를 포함하는 아암 유닛(20)의 높이 치수(h2)는 반입 공간의 높이 치수(X)보다 작다. 이 때문에, 아암 유닛(20)은, 진공 챔버(30)에 부딪치는 일 없이 반입 공간까지 이동할 수 있다.The operator or the like moves the arm unit 20 to the carry-in space above the vacuum chamber 30 by running the overhead crane 700 along the travel lane 751. Here, as shown in Fig. 5B, the height dimension h2 of the arm unit 20 including the hanging jig 600 is smaller than the height dimension X of the carry-in space. Therefore, the arm unit 20 can move to the carrying-in space without bumping against the vacuum chamber 30. [

이어서, 작업자 등은, 천정 크레인(700)을 조작하고, 진공 챔버(30)에 설치된 동체부(10)를 향하여 아암 유닛(20)을 강하시킨다. 이것에 의해, 아암 유닛(20)의 하부로부터 늘어진 배선(300)은, 동체부(10)가 구비하는 승강 장치(40)의 샤프트부(43) 내로 삽입된다(도 3 참조). 상술한 바와 같이, 샤프트부(43) 내에는, 배선(300)의 배선 공간(S)과 변환 기구(42) 사이에 가이드체(450)가 마련되어 있다. 이 때문에, 작업자 등은, 변환 기구(42)에 저해되는 일 없이 배선(300)을 배선 공간(S)에 통과시킬 수 있다. 또한, 배선 공간(S)까지 통과된 배선(300)은, 절결부(431)로부터 샤프트부(43) 외부로 인출되어, 연결기 패널에 접속된다.Subsequently, the worker or the like operates the ceiling crane 700 to lower the arm unit 20 toward the body 10 installed in the vacuum chamber 30. Then, The wiring 300 extending from the lower portion of the arm unit 20 is inserted into the shaft portion 43 of the elevating device 40 provided in the body 10 (see Fig. 3). A guide member 450 is provided in the shaft portion 43 between the wiring space S of the wiring 300 and the conversion mechanism 42. As shown in Fig. Therefore, the operator or the like can pass the wiring 300 to the wiring space S without being hindered by the converting mechanism 42. [ The wiring 300 passed to the wiring space S is drawn out of the shaft portion 43 from the cutout portion 431 and connected to the connector panel.

이어서, 작업자 등은, 아암 유닛(20)을 더욱 강하시켜, 아암 유닛(20)의 하부에 마련된 제 2 도킹 플랜지(15b)를, 동체부(10)의 상부에 마련된 제 1 도킹 플랜지(15a)에 접근시킨다.The operator or the like further lowers the arm unit 20 so that the second docking flange 15b provided at the lower portion of the arm unit 20 is inserted into the first docking flange 15a provided at the upper portion of the body 10, Lt; / RTI >

여기서, 아암 유닛(20)의 매달림 지그(600)에는, 동체부(10)에 마련된 가이드 부재와 쌍을 이루는 위치 결정용의 표시가 형성되어 있어, 작업자 등은, 이들 가이드 부재 및 위치 결정용의 표시를 이용하여, 아암 유닛(20)의 대략의 위치 결정을 실행한다. 도 6은 동체부(10)에 대한 아암 유닛(20)의 대략의 위치 결정 방법을 도시하는 설명도이다.Here, the hanging jig 600 of the arm unit 20 is provided with a positioning mark that is paired with a guide member provided on the body 10, And the approximate positioning of the arm unit 20 is carried out using the display. 6 is an explanatory diagram showing a rough positioning method of the arm unit 20 with respect to the moving body 10;

도 6에 도시하는 바와 같이, 동체부(10)의 플랜지부(12) 상의 소정 위치에는, 원주 형상의 가이드 부재(125, 126)가 장착된다. 또한, 아암 유닛(20)의 매달림 지그(600)에는, 위치 결정용의 표시로서 관통 구멍(602a, 603a)이 가이드 부재(125, 126) 사이의 간격과 동일한 간격으로 형성된다.6, cylindrical guide members 125, 126 are mounted at predetermined positions on the flange portion 12 of the trunk portion 10. As shown in Fig. In the hanging jig 600 of the arm unit 20, the through holes 602a and 603a are formed at the same interval as the distance between the guide members 125 and 126 as positioning marks.

작업자 등은, 이들 가이드 부재(125, 126) 및 관통 구멍(602a, 603a)을 표시로 하여 아암 유닛(20)의 위치 결정을 실행한다. 구체적으로는, 작업자 등은, 관통 구멍(602a, 603a)을 상방으로부터 보았을 경우에, 가이드 부재(125, 126)가 각각 관통 구멍(602a, 603a) 내에 들어가도록 아암 유닛(20)의 위치를 조정하면서, 아암 유닛(20)을 동체부(10)를 향하여 강하시킨다.The operator or the like performs positioning of the arm unit 20 by using these guide members 125 and 126 and the through holes 602a and 603a as a display. More specifically, the operator or the like adjusts the position of the arm unit 20 such that the guide members 125 and 126 enter the through holes 602a and 603a, respectively, when the through holes 602a and 603a are viewed from above The arm unit 20 is lowered toward the body 10.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 동체부(10)의 플랜지부(12)에 대하여 착탈 가능한 위치 결정용의 가이드 부재(125, 126)를 마련하고, 매달림 지그(600)에 대하여 가이드 부재(125, 126)에 대응하는 관통 구멍(602a, 603a)을 형성하는 것으로 했다. 그리고, 본 실시형태에서는, 이들 가이드 부재(125, 126) 및 관통 구멍(602a, 603a)을 이용하여 아암 유닛(20)의 동체부(10)에 대한 위치 결정을 실행하는 것으로 했다. 따라서, 작업자 등은, 아암 유닛(20)의 동체부(10)를 향하여 강하시키면서, 동체부(10)에 대한 아암 유닛(20)의 대략의 장착 위치를 용이하게 파악할 수 있다.As described above, in the present embodiment, the positioning guide members 125 and 126 for detachably attaching to the flange portion 12 of the trunk unit 10 are provided, and the guide members 125, The through holes 602a and 603a corresponding to the through-holes 126 and 126 are formed. In the present embodiment, the positioning of the arm unit 20 with respect to the moving body 10 is performed by using the guide members 125, 126 and the through holes 602a, 603a. Therefore, the worker or the like can easily grasp the approximate mounting position of the arm unit 20 with respect to the body 10, while lowering the body unit 10 of the arm unit 20 toward the body 10.

또한, 상술한 바와 같이, 동체부(10)의 제 1 도킹 플랜지(15a)에는, 위치 결정용의 볼록부인 위치 결정 핀(151)이 마련되어 있으며, 아암 유닛(20)의 제 2 도킹 플랜지(15b)에는, 위치 결정 핀(151)과 결합하는 결합 구멍(153)이 형성된다. 이것에 의해, 작업자 등은, 제 1 도킹 플랜지(15a)에 대하여 제 2 도킹 플랜지(15b)를 정확하게 설치할 수 있다.As described above, the first docking flange 15a of the moving body 10 is provided with the positioning pin 151, which is a positioning convex portion, and the second docking flange 15b of the arm unit 20 The engaging hole 153 engaging with the positioning pin 151 is formed. As a result, the operator or the like can accurately mount the second docking flange 15b with respect to the first docking flange 15a.

제 1 도킹 플랜지(15a) 상에 제 2 도킹 플랜지(15b)를 탑재한 후, 작업자 등은, 제 1 도킹 플랜지(15a)와 제 2 도킹 플랜지(15b)를 볼트 등으로 고정한다. 이것에 의해, 동체부(10) 및 아암 유닛(20)은, 일체화되며, 로봇(1)이 된다.After mounting the second docking flange 15b on the first docking flange 15a, the operator or the like fixes the first docking flange 15a and the second docking flange 15b with bolts or the like. As a result, the trunk unit 10 and the arm unit 20 are integrated and become the robot 1.

또한, 도 6에 도시하는 바와 같이, 아암 유닛(20)의 매달림 지그(600)는 상측 지지 부재(601)와, 하측 지지 부재(602, 603)와, 연결 샤프트(604 내지 606)를 구비한다. 작업자 등은, 우선, 하측 지지 부재(602, 603)를 고정 베이스부(21)의 하부에 장착한다. 고정 베이스부(21)에 장착된 하측 지지 부재(602, 603)는, 그 일부가 고정 베이스부(21)로부터 Y축 마이너스 방향을 향하여 돌출한 상태가 된다. 이러한 하측 지지 부재(602, 603)의 고정 베이스부(21)로부터 돌출한 부분에, 관통 구멍(602a, 603a)이 각각 형성된다.6, the hanging jig 600 of the arm unit 20 includes an upper support member 601, lower support members 602 and 603, and connection shafts 604 to 606 . The worker or the like first mounts the lower side support members 602 and 603 on the lower portion of the fixed base portion 21. The lower support members 602 and 603 mounted on the fixed base portion 21 are partly protruded from the fixed base portion 21 toward the Y axis negative direction. Through holes 602a and 603a are formed in portions of the lower support members 602 and 603 protruding from the fixed base portion 21, respectively.

이어서, 작업자 등은, 연결 샤프트(604, 605)를 각각 하측 지지 부재(602, 603)에 장착하고, 연결 샤프트(606)를 고정 베이스부(21)에 장착한다. 그리고, 작업자 등은, 상측 지지 부재(601)를 연결 샤프트(604 내지 606)에 장착하고, 볼트 등으로 이들을 체결한다. 이것에 의해, 매달림 지그(600)는, 아암 유닛(20)에 장착된 상태가 된다.Subsequently, the operator or the like mounts the connecting shafts 604 and 605 to the lower supporting members 602 and 603, respectively, and attaches the connecting shaft 606 to the fixed base portion 21. Then, the worker or the like mounts the upper support member 601 to the connection shafts 604 to 606, and tightens them with bolts or the like. As a result, the hanging jig 600 is mounted on the arm unit 20.

상술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 로봇을, 동체부 및 아암 유닛의 2개의 유닛으로 분할 가능하게 구성했다. 구체적으로는, 동체부가, 진공 챔버의 상방으로부터 진공 챔버 내로 반입되는 동시에 진공 챔버에 고정되고, 아암 유닛이, 진공 챔버 내에 고정된 동체부에 대하여 연결되도록 구성했다. 따라서, 진공 챔버 내에의 로봇의 설치를 용이하게 실행할 수 있다.As described above, in the present embodiment, the robot is configured to be divisible into two units, a body part and an arm unit. Specifically, the body part is set in the vacuum chamber while being carried into the vacuum chamber from above the vacuum chamber, and the arm unit is configured to be connected to the body part fixed in the vacuum chamber. Therefore, the installation of the robot in the vacuum chamber can be easily carried out.

또한, 본 실시형태에서는, 동체부의 높이 치수 및 아암 유닛의 높이 치수의 합계가, 진공 챔버 상방의 반입 공간의 높이 치수보다 크고, 동체부 및 아암 유닛 각각의 높이 치수가, 반입 공간의 높이 치수보다 작은 것으로 했다.In this embodiment, the sum of the height dimension of the trunk section and the height dimension of the arm unit is larger than the height dimension of the carry-in space above the vacuum chamber, and the height dimension of each of the body section and the arm unit is larger than the height dimension of the carry- I made it small.

따라서, 예를 들어, 로봇 및 진공 챔버가 대형화하는 것에 의해서 반입 공간을 확보하는 것이 곤란해졌을 경우라도, 로봇을 분할함으로써, 로봇의 진공 챔버에의 설치를 용이하게 실행할 수 있다.Therefore, even when it is difficult to secure the carry-in space by, for example, the robot and the vacuum chamber becoming larger, the robot can be easily installed in the vacuum chamber by dividing the robot.

게다가, 본 실시형태에서는, 아암 유닛을 연직 방향으로 승강시키는 승강 장치를 동체부에 마련하고, 선회축을 중심으로 하여 신축 아암을 회전시키는 선회 장치를 아암 유닛에 마련하는 것으로 했다. 이것에 의해, 동체부가 승강 장치 및 선회 장치의 쌍방을 구비하는 경우와 비교하여, 동체부의 높이 치수와 아암 유닛의 높이 치수를 균등하게 나란하게 할 수 있다.In addition, in the present embodiment, the arm unit is provided with a lifting device for lifting and lowering the arm unit in the vertical direction and a swing device for rotating the expansion and contraction arm about the pivot axis. This makes it possible to make the height of the body part equal to the height of the arm unit, as compared with the case where the body part includes both the lifting device and the swivel device.

따라서, 동체부의 높이 치수와 아암 유닛의 높이 치수의 차이가 큰 경우와 비교하여, 진공 챔버상의 반입 공간이 보다 작은 경우라도, 동체부 및 아암 유닛을 반입 공간까지 이동시킬 수 있다.Therefore, the body and arm unit can be moved to the carry-in space even when the carry-in space on the vacuum chamber is smaller than in the case where the difference between the height dimension of the body part and the height dimension of the arm unit is large.

또한, 상술한 실시형태에서는, 로봇이, 워크를 반송하는 반송 로봇인 경우의 예에 대해 설명했지만, 로봇은, 워크의 반송 이외의 작업을 실행하는 로봇라도 좋다. 또한, 상술한 실시형태에서는, 로봇이, 진공 챔버 내에 설치되는 경우의 예에 대하여 설명했지만, 로봇이 설치되는 챔버는 진공 챔버 이외의 챔버라도 좋다.In the above-described embodiment, an example of the case where the robot is a transport robot that transports a workpiece has been described. However, the robot may be a robot that carries out operations other than transporting the workpiece. In the above-described embodiment, an example in which the robot is installed in the vacuum chamber has been described. However, the chamber in which the robot is installed may be a chamber other than the vacuum chamber.

또한, 상술한 실시형태에서는, 로봇의 높이 치수가 반송 공간의 높이 치수보다 큰 경우인 예에 대하여 설명했지만, 로봇의 높이 치수는, 반송 공간의 높이 치수보다 작아도 좋다. 이와 같은 경우라도, 로봇을 분할하여 챔버 내로 반입함으로써, 1회의 반입 동작으로 반입시키는 대상물의 중량 및 크기를 줄일 수 있어서, 로봇의 챔버 내의 반입을 용이하게 실행할 수 있다.In the above-described embodiment, the height dimension of the robot is larger than the height dimension of the transporting space. However, the height dimension of the robot may be smaller than the height dimension of the transporting space. Even in such a case, by dividing the robot and bringing it into the chamber, it is possible to reduce the weight and the size of the object to be carried in one carrying-in operation, so that the carrying-in of the robot into the chamber can be easily performed.

또한, 상술한 실시형태에서는, 건물에 마련된 천정 크레인을 이용하여 동체부나 아암 유닛의 반입 작업을 실행하는 경우의 예에 대하여 설명했지만, 동체부나 아암 유닛의 반입 작업에 이용하는 크레인은, 천정 크레인 이외의 크레인 장치라도 좋다.In the above-described embodiment, an example is described in which a carrying operation of a moving body or an arm unit is carried out by using an overhead crane provided in a building. However, a crane used for carrying- Crane equipment may also be used.

새로운 효과나 변형예는, 당업자에 의해서 용이하게 도출할 수 있다. 이 때문에, 본 발명보다 광범위한 태양은, 이상과 같이 나타내며 또한 기술한 특정의 상세 및 대표적인 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부의 특허 청구의 범위 및 그 균등물에 의해서 정의되는 총괄적인 발명의 개념의 정신 또는 범위로부터 일탈하는 일 없이, 여러가지 변경이 가능하다.New effects and modifications can be readily derived by those skilled in the art. Therefore, the broader aspect of the present invention is not limited to the specific details and the representative embodiments described above. Accordingly, various changes may be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

1 : 로봇 10 : 동체부
11 : 하우징 12 : 플랜지부
125, 126 : 가이드 부재 15 : 승강 플랜지부
15a : 제 1 도킹 플랜지 15b : 제 2 도킹 플랜지
151 : 위치 결정 핀 152, 154 : 관통 구멍
153 : 결합 구멍 20 : 아암 유닛
21 : 고정 베이스부 22 : 제 1 아암부
23 : 제 2 아암부 24 : 가동 베이스부
25 : 보조 아암부 30 : 진공 챔버
31 : 개구부 32 : 덮개부
40 : 승강 장치 42 : 변환 기구
43 : 샤프트부 60 : 선회 장치
61 : 감속기를 갖는 모터 61a : 모터
61b : 감속기 62 : 샤프트부
622 : 관통 구멍 300 : 배선
450 : 가이드체 600 : 매달림 지그
602a, 603a : 관통 구멍 610 : 링
700 : 천정 크레인 701 : 후크
751 : 주행 레인 800 : 매달림 지그
810 : 링1: robot 10: body part
11: housing 12: flange portion
125, 126: guide member 15:
15a: first docking flange 15b: second docking flange
151: positioning pins 152, 154: through hole
153: engaging hole 20: arm unit
21: fixed base portion 22: first arm portion
23: second arm portion 24: movable base portion
25: auxiliary arm portion 30: vacuum chamber
31: opening 32: lid
40: lifting device 42: converting device
43: shaft portion 60: pivoting device
61: Motor with reducer 61a: Motor
61b: reducer 62: shaft portion
622: through hole 300: wiring
450: guide body 600: hanging jig
602a, 603a: Through hole 610: Ring
700: Overhead crane 701: Hook
751: Driving lane 800: Hanging jig
810: Ring

Claims (9)

챔버 내로 반입되는 동시에, 상기 챔버에 고정되는 제 1 유닛과,
상기 챔버 내로 반입되는 동시에, 상기 챔버 내에 고정된 상기 제 1 유닛에 대하여 연결되는 제 2 유닛을 구비하며,
상기 제 1 유닛은 상기 제 2 유닛을 연직 방향을 따라서 승강시키는 승강부를 구비하고,
상기 승강부는,
모터와,
통 형상의 샤프트부와,
상기 샤프트부의 통 내에 배설되어, 상기 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 상기 샤프트부를 승강시키는 변환 기구를 구비하고,
상기 샤프트부는,
상기 샤프트부의 상방으로부터 삽입되는 상기 제 1 유닛의 배선을, 상기 샤프트부의 내주면과 상기 변환 기구 사이에 형성되는 배선 공간으로 안내하는 가이드체를 구비하는 것을 특징으로 하는
로봇.A first unit to be introduced into the chamber and fixed to the chamber,
And a second unit that is brought into the chamber and connected to the first unit fixed in the chamber,
The first unit includes a lift portion for lifting and lowering the second unit along the vertical direction,
The elevating unit includes:
A motor,
A cylindrical shaft portion,
And a converting mechanism that is disposed in the cylinder of the shaft portion and converts the rotational motion of the motor into a linear motion to thereby raise and lower the shaft portion,
The shaft portion
And a guide body for guiding the wiring of the first unit inserted from above the shaft portion into a wiring space formed between the inner peripheral surface of the shaft portion and the conversion mechanism
robot. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 유닛의 높이 치수 및 상기 제 2 유닛의 높이 치수의 합계는, 상기 챔버 상방의 반입 공간의 높이 치수보다 크고,
상기 제 1 유닛 및 상기 제 2 유닛 각각의 높이 치수는, 상기 반입 공간의 높이 치수보다 작은 것을 특징으로 하는
로봇.The method according to claim 1,
The sum of the height dimension of the first unit and the height dimension of the second unit is larger than the height dimension of the carry-in space above the chamber,
Wherein a height dimension of each of the first unit and the second unit is smaller than a height dimension of the carry-in space
robot. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 유닛은,
수평 방향으로 신축하는 아암부와,
연직 방향과 평행한 선회축을 중심으로 상기 아암부를 회전시키는 선회부를 구비하는 것을 특징으로 하는
로봇.The method according to claim 1,
The second unit comprising:
An arm portion extending and contracted in the horizontal direction,
And a pivot portion for rotating the arm portion about a pivot axis parallel to the vertical direction
robot. 삭제delete 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 유닛은,
수평 방향으로 연장되는 제 1 플랜지부를 상부에 구비하고,
상기 제 2 유닛은,
수평 방향으로 연장되는 제 2 플랜지부를 하부에 구비하며,
상기 제 1 플랜지부와 상기 제 2 플랜지부가 고정되는 것에 의해서 상기 제 1 유닛과 연결되는 것을 특징으로 하는
로봇.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The first unit includes:
A first flange portion extending in the horizontal direction is provided on the upper portion,
The second unit comprising:
And a second flange portion extending in the horizontal direction at a lower portion,
And the first flange portion and the second flange portion are connected to the first unit by being fixed.
robot. 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 플랜지부 및 상기 제 2 플랜지부 중 한쪽은,
위치 결정용의 볼록부를 구비하고,
상기 제 1 플랜지부 및 상기 제 2 플랜지부 중 다른쪽은,
상기 볼록부와 결합하는 위치 결정용의 오목부를 구비하며,
상기 제 2 유닛이 상기 제 1 유닛의 상방으로부터 하강하여, 상기 위치 결정용 볼록부와 오목부가 계합됨으로써 상기 제 1 유닛과 상기 제 2 유닛이 결합되는 것을 특징으로 하는
로봇.6. The method of claim 5,
Wherein one of the first flange portion and the second flange portion includes:
And a convex portion for positioning,
And the other of the first flange portion and the second flange portion includes:
And a positioning recess for engaging with the convex portion,
The second unit is lowered from above the first unit, and the first unit and the second unit are engaged by engaging the recessed portion with the positioning projection.
robot. 로봇의 제 1 유닛을, 챔버의 상방으로부터 상기 챔버 내로 반입하여, 상기 챔버에 고정하는 고정 공정과,
상기 로봇의 제 2 유닛을, 상기 챔버의 상방으로부터 상기 챔버 내로 반입하고, 상기 챔버 내에 고정된 상기 제 1 유닛에 대하여 연결시키는 연결 공정을 포함하며,
상기 연결 공정은,
상기 제 1 유닛의 소정 위치에 위치 결정용 부재를 설치하는 설치 공정과,
소정의 지그가 장착된 상기 제 2 유닛을 상기 챔버의 상방으로부터 상기 챔버 내로 반입하는 경우에, 상기 제 1 유닛에 설치된 위치 결정용 부재 및 상기 지그에 형성된 위치 결정용 표시를 이용하여 상기 제 1 유닛에 대한 상기 제 2 유닛의 위치 결정을 실행하는 위치 결정 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는
로봇의 설치 방법.A fixing step of bringing the first unit of the robot into the chamber from above the chamber and fixing the first unit to the chamber;
And a coupling step of bringing a second unit of the robot into the chamber from above the chamber and connecting the second unit to the first unit fixed in the chamber,
Wherein the connecting step comprises:
An installation step of installing a positioning member at a predetermined position of the first unit,
Wherein when the second unit to which the predetermined jig is mounted is brought into the chamber from above the chamber, the position determining member provided on the first unit and the positioning mark formed on the jig are used, And a positioning step of performing positioning of the second unit with respect to the first unit
How to install the robot. 삭제delete 챔버와, 상기 챔버에 설치되는 로봇을 구비하고,
상기 로봇은 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 로봇인 것을 특징으로 하는
제조 장치.A chamber, and a robot provided in the chamber,
Wherein the robot is the robot according to any one of claims 1 to 3
Manufacturing apparatus.
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