KR101540508B1

KR101540508B1 - 압연 구리박

Info

Publication number: KR101540508B1
Application number: KR1020130022007A
Authority: KR
Inventors: 가즈타카 아오시마; 가즈키 감무리
Original assignee: 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2012-02-28
Filing date: 2013-02-28
Publication date: 2015-07-29
Also published as: CN103290345B; KR20130098937A; CN103290345A

Abstract

(과제) 에칭성과 굴곡성이 함께 우수하고, FPC (플랙시블 프린트 기판) 등에 바람직하게 사용할 수 있는 압연 구리박을 제공한다.
(해결 수단) 질량률로 99.9 ％ 이상의 구리를 함유하는 압연 구리박으로서, 압연면에 있어서의 {112} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {112} 로 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {110} 으로 했을 때, 2.5≤I {110}/I {112}≤6.0 을 만족한다.

Description

압연 구리박{ROLLED COPPER FOIL}

본 발명은 FPC (플랙시블 프린트 기판) 등에 바람직하게 사용되는 압연 구리박에 관한 것이다.

FPC (플랙시블 프린트 기판) 로는 구리박과 수지층을 적층하여 이루어지는 구리박 복합체가 사용되고, 이 구리박에는 회로를 형성할 때의 에칭성, 및 FPC 의 사용을 고려한 굴곡성이 요구되고 있다.

그런데, FPC 는 구리박이 재결정된 상태에서 사용되는 것이 일반적이다. 구리박을 압연 가공하면 결정이 회전되어 압연 집합 조직이 형성되고, 순구리의 압연 집합 조직은 Copper 방위라고 하는 {112} <111> 이 주방위로 되는 것으로 이야기되고 있다. 그리고, 압연 구리박을 압연 후에 어닐링하거나, 최종 제품으로 가공되기까지의 공정, 요컨대 FPC 로 될 때까지의 공정에서 열이 가해지면 재결정된다. 이 압연 구리박으로 된 후의 재결정 조직을, 이하에서는 간단히 「재결정 조직」이라고 칭하고, 열이 가해지기 전의 압연 조직을 간단히 「압연 조직」이라고 칭한다. 또한, 재결정 조직은 압연 조직에 의해서 크게 좌우되고, 압연 조직을 제어함으로써 재결정 조직도 제어할 수 있다.

이와 같은 점에서, 압연 구리박의 재결정 후에 {001} <100> 의 Cube 방위를 발달시켜 굴곡성을 향상시키는 기술이 제안되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 2).

일본 특허공보 제3856616호 일본 특허공보 제4716520호

그러나, 구리박의 Cube 방위가 지나치게 발달되면 에칭성이 저하된다는 문제가 있다. 이것은 Cube 집합 조직이 발달되었다고 해도 단결정이 아니고, Cube 방위의 큰 결정립 중에 다른 방위의 작은 결정립이 존재하는 혼립 상태로 되어 있고, 각 방위의 입자로 에칭 속도가 변화되기 때문으로 생각된다. 특히, 회로의 L/S 폭이 좁아질 (파인 피치) 수록 에칭성이 문제가 된다. 또, Cube 방위가 지나치게 발달하면, 구리박이 지나치게 유연해져 핸들링성이 열등한 경우가 있다.

또한, Cube 방위의 발달도를 조정하기 위해, 최종 압연에서 재결정 후에 압연 조직을 제어하는 방법이 있으나, Cube 방위가 발달되지 않거나, 지나치게 발달되거나 하여 Cube 방위의 발달도를 충분히 조정할 수 없다는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 에칭성과 굴곡성이 함께 우수한 압연 구리박을 제공하는 것에 있다.

본 발명자들은, 압연 조직에 있어서의 압연면에서, {112} 면이 존재하는 비율보다 {110} 면이 존재하는 비율이 많을수록, 구리박의 압연 집합 조직이 발달되어 있고, 재결정 어닐링시에 Cuhe 방위가 발달되는 것을 알아내었다. 이로써, 굴곡성을 향상시키지만 에칭성을 저하시키는 Cube 방위의 발달도를 적절히 조정하기 위해, 구리박의 압연면에 {112} 면과 {110} 면이 발달되는 비율을 제어하여, 압연 구리박의 에칭성과 굴곡성을 함께 향상시키는 것에 성공하였다.

즉, 본 발명의 압연 구리박은, 질량률로 99.9 ％ 이상의 구리를 함유하고, 압연면에 있어서의 {112} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {112} 로 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {110} 으로 했을 때, 2.5≤I {110}/I {112}≤6.0 을 만족한다.

본 발명의 압연 구리박은, Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr 및 Au 의 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 10 ∼ 300 질량ppm 함유하고, 잔부 Cu 및 불가피적 불순물로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명의 압연 구리박은, 산소를 2 ∼ 50 질량ppm 함유하는 것이 바람직하다.

본 발명의 압연 구리박은, 200 ℃ 에서 30 분 가열 후에, 압연면에 있어서 I {112}≤1.0 을 만족하는 것이 바람직하다.

본 발명의 압연 구리박은, 350 ℃ 에서 1 초 가열후에 있어서, 상기 압연 구리박의 압연면의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I {200} 으로 하고, 순구리 분말 시료의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I_o {200} 으로 했을 때, 5.0≤I {200}/I_o {200}≤27.0 을 만족하는 것이 바람직하고, 13.0≤I {200}/I_o {200}≤27.0 을 만족하는 것이 바람직하다.

본 발명의 압연 구리박은 두께가 4 ∼ 70 ㎛ 인 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 에칭성과 굴곡성 모두가 우수하고, FPC (플랙시블 프린트 기판) 등에 바람직하게 사용할 수 있는 압연 구리박을 얻을 수 있다.

도 1 은 구리박의 압연면에 {112} 면을 증가시키기 위한, 최종 재결정 어닐링에서 구리박에 걸리는 장력과 구리박 중의 Ag 량의 관계를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2 는 각각 실시예 5, 비교예 2 의 에칭면의 광학 현미경 이미지를 나타내는 도면이다.
도 3 은 기준 화상과 에칭성의 평가 대응을 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 관련된 압연 구리박에 대해서 설명한다. 또한, 본 발명에 있어서의 ％ 는 특별히 언급하지 않는 한 질량％ 를 나타내는 것으로 한다.

<조성>

압연 구리박 질량률로 99.9 ％ 이상의 구리를 함유한다. 이와 같은 조성으로는, JIS-H3510(C1011) 또는 JIS-H3100(C1020) 로 규격되는 무산소 구리, 또는, JIS-H3100(C1100) 로 규격되는 터프 피치 구리를 들 수 있다. 또, 압연 구리박의 산소 함유량을 2 ∼ 50 질량ppm 으로 하는 것이 바람직하다. 압연 구리박 중의 산소 함유량이 2 ∼ 50 질량ppm 으로 적은 경우, 압연 구리박 중에 아산화구리가 거의 존재하지 않는다. 그 때문에, 압연 구리박을 굴곡시켰을 때, 아산화구리가 원인이 되는 변형의 축적이 거의 없기 때문에, 크랙이 잘 발생되지 않아 굴곡성이 향상된다. 또한, 구리에 함유되는 산소 함유량의 상한은 특별히 한정되지 않으나, 일반적으로는 500 질량ppm 이하, 더욱 일반적으로는 320 질량ppm 이하이다.

또 Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr 및 Au 의 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 10 ∼ 300 질량ppm 함유해도 된다. 이들 원소를 첨가하면, 압연면에 {110} 면이 많아지는 경향에 있기 때문에, 후술하는 I {110}/I {112} 의 값을 조정하기 쉬워진다. 상기 원소의 합계량이 10 질량ppm 미만이면, 압연면에 {110} 면을 발달시키는 효과가 적고, 300 질량ppm 을 초과하면 도전율이 저하됨과 함께 재결정 온도가 상승되어, 최종 압연 후의 어닐링에 있어서 구리박의 표면 산화를 억제하면서 재결정시키는 것이 곤란해지는 경우가 있다.

<두께>

구리박의 두께는 4 ∼ 100 ㎛ 인 것이 바람직하고, 5 ∼ 70 ㎛ 인 것이 더욱 바람직하다. 두께가 4 ㎛ 미만이면 구리박의 핸들링성이 열등한 경우가 있고, 두께가 100 ㎛ 를 초과하면 구리박의 굴곡성이 열등한 경우가 있다.

<구리박 압연면의 {112} 면 및 {110} 면>

{200}, {220}, {111} 면의 X 선 회절 강도로부터 산출한 구리박 압연면에 있어서의 각 면의 존재 강도를 산출 X 선 회절 강도로 정의한다. 그리고, {112} 면의 산출 X 선 회절 강도를 I {112} 로 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {110} 으로 했을 때, 2.5≤I {110}/I {112}≤6.0 을 만족한다. 보다 바람직한 구리박은 4.0≤I {110}/I {112}≤5.6 이다.

또한, X 선 회절은 그 파장이 길기 때문에, 구리박의 {200}, {220}, {111} 면의 회절 강도는 측정할 수 있으나, {422} 면 (요컨대, {112} 면) 의 회절 피크가 얻어지지 않는다. 그래서, 정극점 측정법에 의한 {200}, {220}, {111} 의 X 선 회절 결과로부터, 결정 방위의 기하학적 관계를 이용하여 {110} 면 및 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도를 구한다. 또한, {110} 면의 회절 강도는 {220} 면의 회절 강도와 동등한 것으로 하여 직접 측정할 수도 있으나, 본 발명에서는 {200}, {220}, {111} 면의 회절 강도로부터 산출된 산출 X 선 회절 강도를 적용한다.

구체적으로는, {110} 면 및 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도의 값을 다음과 같이 하여 얻었다.

먼저, 구리박의 {200}, {220}, {111} 면의 정극점도를 측정한다. 정극점도 측정법은, 시료를 세트하는 고니오미터에 2 축 (α,β) 의 회전 기구가 장착되어 있고, 이들 각도를 변경하면서 X 선 회절을 측정하는 방법이다. 그리고, X 선 회절 정극점 측정 결과 (구리박의 {200}, {220}, {111} 면의 정극점도) 로부터, 기하학 관계를 이용하여 {110} 면 및 {112} 면의 집합도를 계산으로 구할 수 있다. 이 계산은, 시판되는 소프트웨어 (예를 들어, Standard ODF (주식회사 노름 공학 제조) 를 이용하여 역극점 표현으로 변환하여 행할 수 있다.

또한, {110} 면 및 {112} 면의 집합도는, 먼저 {200}, {220}, {111} 면의 정극점을 측정하고, 다음으로 동일하게 하여 순구리 분말 표준 시료의 {200}, {220}, {111} 면의 정극점을 측정한다. 그리고, {200}, {220}, {111} 면의 집합도를, 각각 순구리 분말 표준 시료의 {200}, {220}, {111} 면의 집합도로 규격화한다. 그리고, 이와 같이 규격화된 {200}, {220}, {111} 면의 정극점도로부터, 상기 소프트웨어에 의해서 역극점으로 변환하여 {110} 면 및 {112} 면의 집합도 (산출 X 선 회절 강도) 를 계산한다.

본 발명의 압연 구리박은, 통상적으로 열간 압연 및 면삭 후, 냉간 압연과 어닐링을 수 차례 (통상적으로 2 회 정도) 반복하고, 이어서 최종 재결정 어닐링한 후, 최종 냉간 압연하여 제조할 수 있다.

여기서, 「최종 재결정 어닐링」이란, 최종 냉간 압연 전의 어닐링 중에서 최후의 것을 말한다. 또 최종 재결정 어닐링 후의 재결정 조직을, 상기 서술한 「재결정 조직」(압연 구리박으로 된 후의 재결정 조직) 과 구별하기 위해 「중간 재결정 조직」이라고 칭한다. 먼저, 중간 재결정 조직을 간단히 조정하는 방법으로는 어닐링 온도를 변경하는 것을 들 수 있다. 그러나, 단순히 「최종 재결정 어닐링 온도를 높였을 경우, 랜덤한 방위의 재결정립이 성장하고, 재결정립이 혼립 (결정립경의 크기 분포의 폭이 커진다) 이 되면 최종 압연 후의 줄무늬 등의 표면 결함의 원인이 되어 바람직하지 않기 때문에, I {110}/I {112} 의 값을 적절히 제어하기가 어렵다

한편, 최종 재결정 어닐링에서 구리박에 걸리는 장력을 높이면, 이 장력이 구동력이 되어 중간 재결정 조직에 있어서의 결정립경이 커지고, 압연면인 {112} 면을 많이 존재시킬 수 있다. 단, 장력이 지나치게 높아지면 최종 압연 후의 압연면에 {110} 면이 감소되기 때문에, I {110}/I {112} 의 값이 상기 범위 내로 되도록 장력의 범위를 조정하면 된다. 또, 장력의 값은, 최종 재결정 어닐링 온도, 및 상기 서술한 첨가 원소의 양에 의해서도 변화되기 때문에, 이에 따라서 장력의 값을 조정하면 된다. 또한, 장력이란, 최종 재결정 어닐링을 실시하는 분위기 중에 구리 스트립을 장입 (裝入) 했을 때의, 최종 재결정 어닐링 분위기의 입측과 출측의 각 롤 간의 장력이다. 장력의 적절한 값 (절대값) 은 어닐링 온도와 구리 스트립의 성분에 의해서 변화되는 점에서, 장력을 어닐링 온도에 있어서의 재료의 내력으로 나눈 무차원의 값을 관리하는 것이 바람직하다.

또한, 종래에는, 반송롤의 열화 방지 등의 목적을 위해서, 연속 어닐링로에 있어서의 장력의 값은 통상 0.1 ∼ 0.15 의 범위에 한정된다.

도 1 은, 구리박의 압연면에 {112} 면을 증가시키기 위한, 최종 재결정 어닐링에 의해서 구리박에 걸린 장력을 조정하는 일례를 나타낸다. 상기 서술한 바와 같이, 장력을 높이면 압연면에 {112} 면이 많아지나, 첨가 원소 (상기 서술한 Ag 등) 의 양이 증가되면 압연면에 {110} 면이 많아지기 때문에, 보다 높은 장력을 걸지 않으면 압연면에 {112} 면의 비율이 많아지지 않는다. 따라서, 도 1 의 2 개의 선으로 둘러싸인 영역이 바람직한 범위가 된다.

압연 구리박을 200 ℃ 에서 30 분 가열 후에, 압연면에 있어서 I {112}/I {100}≤1.0 을 만족하면 바람직하다. 200 ℃ 에서 30 분의 가열은, 이른바 캐스트법으로 FPC 를 제조할 때의 구리박의 가열 조건을 모의한 것이다. 그리고, 이 가열에 의해서 구리박이 완전히 재결정되어 미재결정 영역이 잔존하지 않는 상태이면 I {112}≤1.0 이 된다. I {112}/I {100}>1.0 인 경우, 미재결정이 잔존하고, FPC 의 굴곡성이 열등한 경우가 있다.

압연 구리박을 350 ℃ 에서 1 초 가열 후에 있어서, 5.0≤I {200}/I_o {200}≤27.0 을 만족하면 바람직하다. 재결정 후에 {001} <100> 방위 (Cube 방위) 이 발달되면 양호한 굴곡성이 얻어지기 때문에, I {200}/I_o {200} 이면 굴곡성이 저하되는 경우가 있다. 5.0>I {200}/I_o {200} 이면, 굴곡성이 저하되는 경우가 있다. 특히, 13.0≤I {200}/I_o {200}≤27.0 이면 보다 바람직하다. 또한, 다른 특성과의 밸런스에서, I [200]/I_o {200}>27.0 을 실현하는 것은 공업적으로는 곤란하기 때문에 상한을 27.0 으로 하였다.

[실시예]

<압연 구리박의 제조>

표 1 에 나타내는 조성의 원소를 첨가한 터프 피치 구리 또는 무산소 구리를 원료로 하여 두께 100 ㎜ 의 잉곳을 주조하고, 800 ℃ 이상에서 두께 10 ㎜ 까지 열간 압연을 실시하여, 표면의 산화 스케일을 면삭하였다. 그 후, 냉간 압연과 어닐링을 반복하여 0.5 ㎜ 두께의 압연판 코일을 얻었다. 그 최후의 냉간 압연 후에, 이 구리 스트립을 700 ℃ 에서 그리고 표 1 에 나타내는 장력 하에서 연속 어닐링로에 통판하여 최종 재결정 어닐링을 실시하였다. 또한, 장력의 값은, 그 시료의 재결정 어닐링 온도 하에서의 내력으로 나누어 규격화한 ([장력(N/㎜²)/재결정 어닐링 온도 하에서의 내력 (N/㎜²)]). 또, 재결정 어닐링에 있어서의 구리 스트립의 가열 시간은 100 ∼ 200 초로 하였다. 마지막으로 최종 냉간 압연에 의해서 표 1 에 기재된 두께로 마무리하였다. 최종 냉간 압연에서의 압연 가공도를 86 ∼ 99 ％ 로 하였다.

또한, 표 1 의 조성란의 「Ag 190 ppm OFC」는, JIS-H3510 (C1011) (실시예 10) 또는 JIS-H3100 (C1020) (실시예 10 이외) 의 무산소 구리 0FC 에 190 질량ppm 의 Ag 를 첨가한 것을 의미한다. 또, 「Ag 190 ppm TPC」는, JIS-H3100 (C1100) 의 터프 피치 구리 (TPC) 에 190 질량ppm 의 Ag 를 첨가한 것을 의미한다. 다른 첨가량의 경우도 동일하다.

<결정 방위>

최종 냉간 압연 후의 구리박의 표면 (압연면) 에 대해서, X 선 회절 장치 (RINT-2500 : 리가쿠 전기 제조) 를 이용하여 각각 {200}, {220}, {111} 면의 정극점 측정 (X 선 반사 평균 강도) 을 실시하였다. 얻어진 측정 결과로부터, Standard ODF (주식회사 노름 공학 제조) 를 이용하여 역극점으로 변환하고, {110} 면 및 {112} 면의 산출 X 선 회절 강도를 계산하였다.

X 선 회절의 측정 조건은, 입사 X 선원 : Cu, 가속 전압 : 30 ㎸, 관 전류 : 100 ㎃, 발산 슬릿 : 0.5 ㎜, 산란 슬릿 : 4 ㎜, 수광 슬릿 : 4 ㎜, 발산 세로 제한 슬릿 : 12 ㎜ 로 하였다. 또, 동일 조건에서 각 면에 대해서 X 선 회절을 실시한 순구리 분말의 값 (X 선 반사 평균 강도) 을 이용하여 {200}, {220}, {111} 면의 집합도를 규격화한 후, 역극점으로 변환하였다. 순구리 분말은 미세 분말 구리 (325 mesh) 를 사용하였다.

<결정립경>

최종 재결정 어닐링 직후 (최종 냉간 압연 전) 의 구리박의 결정립경을 JIS-H0501 의 절단법에 준하여 압연면에 대해서 측정하였다.

최종 냉간 압연 후의 구리박을, 각각 200 ℃ 에서 0.5 시간 어닐링 후, 및 350 ℃ 에서 1 초 어닐링 후에, 그 표면에 대해서 {200} 면의 X 선 회절 강도를 측정하였다. 그리고, 동일 조건에서 X 선 회절을 실시한 순구리 분말의 값 (I_o {200}「X 선 반사 평균 강도) 을 이용하여 규격화하였다.

X 선 회절의 측정 조건은 입사 X 선원 : Cu, 가속 전압 : 25 ㎸, 관 전류 : 20 ㎃, 발산 슬릿 : 1 ㎜, 산란 슬릿 : 1 ㎜, 수광 슬릿 : 0.3 ㎜, 발산 세로 제한 슬릿 : 10 ㎜, 모노크로 수광 슬릿 0.8 ㎜ 로 하였다. 순구리 분말은 미세 분말 구리 (325 mesh) 를 사용하였다.

<굴곡성>

먼저, 두께 12.5 ㎛ 의 열경화성 폴리이미드 필름에 열가소성 폴리이미드 접착제를 도공하여 건조시켰다. 다음으로, 이 필름의 양 면에 최종 냉간 압연 후의 구리박을 각각 적층한 후, 열압착하여 양 면 CCL 을 제작하였다. 이 양 면 CCL 에 대해서, 양 면의 구리박에 에칭에 의해서 라인/스페이스의 폭이 각각 100 ㎛/100 ㎛ 인 회로 패턴을 형성한 후, 두께 25 ㎛ 의 커버레이 필름을 피복하여 FPC 로 가공하였다.

이 FPC 인 대해 슬라이드 굴곡 시험을 실시하여 굴곡성을 평가하였다. 구체적으로는, 슬라이딩 시험기 (응용 기술 연구소 산업 주식회사 제조, TK-107 형) 를 이용하여 슬라이드 반경 r (㎜) 은 실시예 9 에 대해서는 r = 4 ㎜, 그 밖의 실시예 및 비교예에 대해서는 r = 0.72 ㎜ 로 하고, 어느 경우나 슬라이드 속도 120 회/분으로 FPC 를 굴곡시켰다.

시험 전에 비해 구리박 회로의 룡기 저항이 10 ％ 증가했을 때의 굴곡 횟수가, 15 만회 미만을 평가 × 로 하고, 10 만 회 ∼ 15 만 회 미만인 것을 평가 △ 로 하고, 15 만회 ∼ 30 만 회의 것을 평가 ○ 로 하고, 30 만 회를 초과한 것을 평가 ◎ 로 하였다. 굴곡성이 ◎ ∼ △ 이면 굴곡성이 양호하다고 할 수 있다.

<에칭성>

상기한 양면 CCL 을, 교반한 액온 30 ℃ 의 에칭액 (ADEKA 사 제조의 제품명 : 테크 CL-8 의 20 질량％ 용액) 에 1 분간 침지시켜 에칭하고, 에칭면을 광학 현미경으로 촬영하였다.

상기 화상 중에서, 암부 (暗部) 는 에칭이 균일하게 되어 있는 영역을 나타내기 때문에, 에칭성은 촬영된 화상과 기준 화상을 비교하여 평가하였다. 도 3 에, 기준 화상과 에칭성의 평가 대응을 나타낸다. 암부의 면적률이 높을수록, 에칭성이 양호해지고, ◎ 가 가장 에칭성이 양호해진다. 에칭성이 ◎ ∼ △ 이면 에칭성이 양호하다고 할 수 있다.

얻어진 결과를 표 1, 표 2 에 나타낸다.

표 1, 표 2 로부터 분명한 바와 같이, 2.5≤I {110}/I {112}≤6.0 을 만족하는 각 실시예의 경우, 압연 구리박의 에칭성과 굴곡성이 우수한 것이 되었다.

또한, 두께, 및 최종 재결정 어닐링 조건이 동일한 실시예 1, 2 를 비교하면, Ag 의 첨가량이 많은 실시예 1 쪽이 {110} 방위가 많아지고, I {110}/I {112} 의 값도 높아지는 것을 알 수 있다. 또, 13.0>I {200}/I_o {200} 인 실시예 20 ∼ 23 의 경우, 다른 실시예에 비하면 굴곡성이 조금 저하되었으나, 실용상은 문제 없다.

한편, 구리박의 조성이 동일한 실시예 6 에 비해, 최종 재결정 어닐링시의 장력을 낮춘 비교예 1, 4 의 경우, {112} 방위가 적어지고, I {110}/I {112} 의 값이 6.0 을 초과하여 에칭성이 열화되었다.

구리박의 조성이 동일한 실시예 5 에 비해 최종 재결정 어닐링시의 장력을 높인 비교예 2 의 경우, 및 구리박의 조성이 동일한 실시예 7 에 비해 최종 재결정 어닐링시의 장력을 높인 비교예 3 의 경우, 모두 {110} 방위가 감소되고, I {110}/I {112} 의 값이 2.5 미만으로 되어 굴곡성이 열화되었다.

제조 방법이 동일한 실시예 1, 6 의 경우, 구리박의 산소 농도가 낮은 실시예 1 쪽이 굴곡성이 우수하다.

또한, 도 2(a), 2(b) 는, 각각 실시예 5, 비교예 1 의 에칭면의 광학 현미경 이미지이다. 에칭성이 우수한 실시예 5 의 경우, 암부의 비율이 많은 것을 알 수 있다.

Claims

질량률로 99.9 ％ 이상의 구리를 함유하는 압연 구리박으로서,
압연면에 있어서의 {112} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {112} 로 하고, {110} 면으로부터의 산출 X 선 회절 강도를 I {110} 으로 했을 때,
2.5≤I {110}/I {112}≤6.0 을 만족하는 압연 구리박.
제 1 항에 있어서,
Ag, Sn, Mg, In, B, Ti, Zr 및 Au 의 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 10 ∼ 300 질량ppm 함유하고, 잔부 Cu 및 불가피적 불순물로 이루어지는 압연 구리박.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
산소를 2 ∼ 50 질량ppm 함유하는 압연 구리박.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
200 ℃ 에서 30 분 가열 후에, 압연면에 있어서, I {112}≤1.0 을 만족하는 압연 구리박.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
350 ℃ 에서 1 초 가열 후에 있어서, 상기 압연 구리박의 압연면의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I {200} 으로 하고, 순구리 분말 시료의 {200} 면의 X 선 회절 강도를 I₀ {200} 으로 했을 때,
5.0≤I {200}/I₀ {200}≤27.0 을 만족하는 압연 구리박.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
두께가 4 ∼ 70 ㎛ 인 압연 구리박.