JP6497881B2 - 圧延銅箔、それを用いた銅張積層板、プリント配線板、電子機器、回路接続部材の製造方法及び回路接続部材 - Google Patents
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Description
ところで、FPCは銅箔が再結晶した状態で使用されるのが一般的である。銅箔を圧延加工すると結晶が回転し、圧延集合組織が形成され、純銅の圧延集合組織はCopper方位と呼ばれる{112}〈111〉が主方位になるといわれている。そして、圧延銅箔を圧延後に焼鈍したり、最終製品に加工されるまでの工程、つまりFPCになるまでの工程で熱が加えられると再結晶する。この圧延銅箔となった後の再結晶組織を、以下では単に「再結晶組織」と称し、熱がかかる前の圧延組織を単に「圧延組織」と称する。なお、再結晶組織は圧延組織によって大きく左右され、圧延組織を制御することで再結晶組織も制御することができる。
このようなことから、圧延銅箔の再結晶後に{001}〈100〉のCube方位を発達させて屈曲性を向上させる技術が提案されている(例えば、特許文献1、2)。
樹脂絶縁層の視認性を改善する技術として、例えば、特許文献3には、銅箔粗度を低くし、銅箔エッチング後のポリイミドフィルムの波長600nmでの光透過率が40%以上、曇価(HAZE)が30%以下であって、接着強度が500N/m以上である銅張積層板が開示されている。
また、特許文献4には、電解銅箔をエッチング後の絶縁層の光透過性が50%以上であり、電解銅箔の絶縁層に接着される接着面に所定の粗度と光沢度を持つニッケル−亜鉛合金による防錆処理層を備えたチップオンフレキ(COF)用フレキシブルプリント配線板が開示されている。
また、特許文献5には、銅箔の表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化処理後、コバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に亜鉛−ニッケル合金めっき層を形成する印刷回路用銅箔が開示されている。
さらに、特許文献6には、樹脂層側の銅箔の表面に平坦化銅めっきを行い、その表面の粗さとしてスキューネスRskを0以下に規定したプリント配線板用銅箔が開示されている。
なお、Cube方位の発達度を調整するため、最終圧延で再結晶後に圧延組織を制御する方法があるが、Cube方位が発達しなかったり、発達し過ぎたりしてCube方位の発達度を調整が十分に行えないという問題がある。
又、特許文献3に記載された低粗度銅箔は、黒化処理又はめっき処理後の有機処理剤により形成されるため、銅張積層板に屈曲性が要求される用途では、疲労によって断線することがあり、樹脂透視性に劣る場合がある。
また、特許文献4記載の銅箔は粗化処理がなされておらず、COF用フレキシブルプリント配線板以外の用途においては銅箔と樹脂との密着強度が低い。
さらに、特許文献5に記載の技術は、銅箔をエッチングで除去後の樹脂の透視性に劣る。
また、特許文献6記載の銅箔の場合、Rskを規定するだけではエッチング後の樹脂絶縁層の視認性が劣る場合があることが判明した。これは、Rskが表面の尖りの高さと数を反映するものの、尖りの間隔や平面方向への分布を反映していないためと考えられる。特に、近年、上述のように樹脂層が厚くなってきており、Rskを規定するだけでは樹脂の透明性を向上できなくなってくる。さらに、特許文献6記載の銅箔の場合、エッチング性、屈曲性が十分でない場合がある。
又、銅箔を樹脂と積層した銅張積層板から銅箔をエッチング除去した後の樹脂の透明性を向上させるには、従来から知られている表面のスキューネスRskの値だけでは足りず、表面の尖りの分布状態を制御する必要があることを見出した。
本発明の圧延銅箔は、Ag、Sn、Mg、In、B、Ti、Zr及びAuの群から選ばれる1種又は2種以上を合計で10〜300質量ppm含有し、残部Cuおよび不可避的不純物からなることが好ましい。
本発明の圧延銅箔は、酸素を2〜50質量ppm含有することが好ましい。
本発明の圧延銅箔は、200℃で30分の加熱後に、圧延面において、I{112}≦1.0を満たすことが好ましい。
本発明の圧延銅箔は、350℃で1秒加熱後において、前記圧延銅箔の圧延面の{200}面のX線回折強度をI{200}とし、純銅粉末試料の{200}面のX線回折強度をI0{200}としたとき、5.0≦I{200}/I0{200}≦27.0を満たすことが好ましく、13.0≦I{200}/I0{200}≦27.0を満たすことが好ましい。
本発明のプリント配線板は、前記銅張積層板を用いてなる。
本発明の電子機器は、前記プリント配線板を用いてなる。
前記接続対象体が前記プリント配線板であることが好ましい。
圧延銅箔は質量率で99.9%以上の銅を含む。このような組成としては、JIS-H3510(C1011)またはJIS- H3100 (C1020)に規格される無酸素銅、又は、JIS-H3100(C1100)に規格されるタフピッチ銅が挙げられる。又、圧延銅箔の酸素含有量を2〜50質量ppmとすることが好ましい。圧延銅箔中の酸素含有量が2〜50質量ppmと少ない場合、圧延銅箔中に亜酸化銅がほとんど存在しない。そのため、圧延銅箔を屈曲した際、亜酸化銅が原因となるひずみの蓄積がほとんど無いため、クラックが入り難く、屈曲性が向上する。なお、銅に含まれる酸素含有量の上限は特に限定はされないが、一般的には500質量ppm以下、さらに一般的には320質量ppm以下である。
さらに、Ag、Sn、Mg、In、B、Ti、Zr及びAuの群から選ばれる1種又は2種以上を合計で10〜300質量ppm含有してもよい。これらの元素を添加すると、圧延面に{110}面が多くなる傾向にあるので、後述するI{110}/I{112}の値を調整し易くなる。上記元素の合計量が10質量ppm未満であると、圧延面に{110}面を発達させる効果が少なく、300質量ppmを超えると導電率が低下するとともに再結晶温度が上昇し、最終圧延後の焼鈍において銅箔の表面酸化を抑えつつ再結晶させることが困難になる場合がある。
銅箔の厚みは、4〜100μmであることが好ましく、5〜70μmであることがさらに好ましい。厚みが4μm未満であると銅箔のハンドリング性が劣る場合があり、厚みが100μmを超えると銅箔の屈曲性が劣る場合がある。
{200}、{220}、{111}面のX線回折強度から算出した圧延銅箔の圧延面における各面の存在強度を算出X線回折強度と定義する。そして、{112}面の算出X線回折強度をI{112}とし、{110}面からの算出X線回折強度をI{110}としたとき、2.5≦I{110}/I{112}≦6.0を満たす。より好ましい範囲は4.0≦I{110}/I{112}≦5.6である。
ここで、圧延面は、後述するめっき層が圧延銅箔の片面にのみ形成されている場合は、めっき層側の圧延面でもよく、めっき層と反対側の圧延面でもよい。めっき層側の圧延面についてX線回折を行う場合は、めっき前に測定を行うか、めっき層をエッチング除去して測定する。めっき層が圧延銅箔の両面に形成されている場合は、いずれかのめっき層側の圧延面につき、上記と同様に測定する。
まず、銅箔の{200}、{220}、{111}面の正極点図測定を行う。正極点図測定法は、試料をセットするゴニオメーターに2軸(α、β)の回転機構が付いており、これら角度を変えながらX線回折を測定する方法である。そして、X線回折正極点測定結果(銅箔の{200}、{220}、{111}面の正極点図)から、幾何学関係を利用し、{110}面及び{112}面の集合度を計算で求めることができる。この計算は、市販のソフトウェア(例えば、StandardODF(株式会社ノルム工学製)を用いて逆極点表現に変換して行うことができる。
なお、{110}面及び{112}面の集合度は、まず{200}、{220}、{111}面の正極点測定を行い、次に同様にして純銅粉末標準試料の{200}、{220}、{111}面の正極点測定を行う。そして、{200}、{220}、{111}面の集合度を、それぞれ純銅粉末標準試料の{200}、{220}、{111}面の集合度で規格化する。そして、このように規格化した{200}、{220}、{111}面の正極点図から、上記ソフトウェアにより逆極点に変換して{110}面及び{112}面の集合度(算出X線回折強度)を計算する。
ここで、「最終再結晶焼鈍」とは、最終冷間圧延の前の焼鈍のうち、最後のものをいう。又、最終再結晶焼鈍後の再結晶組織を、上述の「再結晶組織」(圧延銅箔となった後の再結晶組織)と区別するために「中間再結晶組織」と称する。まず、中間再結晶組織を簡単に調整する方法としては焼鈍温度を変えることが挙げられる。しかしながら、単に最終再結晶焼鈍温度を高くした場合、ランダムな方位の再結晶粒が成長し、再結晶粒が混粒(結晶粒径の大きさの分布の幅が大きくなる)となると最終圧延後のスジなどの表面欠陥の原因となり好ましくないので、I{110}/I{112}の値を適切に制御することが難しい。
一方、最終再結晶焼鈍にて銅箔に掛かる張力を高くすると、この張力が駆動力となって中間再結晶組織における結晶粒径が大きくなり、圧延面に{112}面を多く存在させることができる。但し張力が高くなり過ぎると最終圧延後の圧延面に{110}面が減少するので、I{110}/I{112}の値が上記範囲内になるよう、張力の範囲を調整すればよい。又、張力の値は、最終再結晶焼鈍温度、及び上述の添加元素の量によっても変化するので、これらに応じて張力の値を調整すればよい。なお、張力とは、最終再結晶焼鈍を行う雰囲気中に銅ストリップを装入した際の、最終再結晶焼鈍雰囲気の入側と出側の各ロール間の張力である。張力の適切な値(絶対値)は焼鈍温度と銅ストリップの成分によって変化することから、張力を焼鈍温度における材料の耐力で除した無次元の値を管理することが好ましい。
なお、従来は、搬送ロールの劣化防止等の目的のため、連続焼鈍炉における張力の値は通常0.1〜0.15の範囲に設定される。
圧延銅箔を200℃で30分の加熱後に、圧延面において、I{112}≦1.0を満たすと好ましい。200℃で30分の加熱は、いわゆるキャスト法でFPCを製造する際の銅箔の加熱条件を模擬したものである。そして、この加熱で銅箔が完全に再結晶し未再結晶領域が残存しない状態であるとI{112}≦1.0となる。I{112}>1.0である場合、未再結晶が残存し,FPCの屈曲性が劣ることがある。
圧延銅箔を350℃で1秒加熱後において、5.0≦I{200}/I0{200}≦27.0を満たすと好ましい。再結晶後に{001}〈100〉方位(Cube方位)が発達すると良い屈曲性が得られるので、I{200}/I0{200}が高いほどよい。5.0>I{200}/I0{200}であると、屈曲性が低下することがある。特に、13.0≦I{200}/I0{200}≦27.0であるとより好ましい。なお、他の特性とのバランスで、I{200}/I0{200}>27.0を実現するのは工業的には困難であるので、上限を27.0とした。
圧延銅箔のうち、樹脂と積層される表面(片面又は両面)に、金属又は合金のめっき層が形成されている。このめっき層は、めっき種や電解めっき条件を調整することにより、後述するスキューネスRsk及びSvの値を制御すると共に、圧延銅箔表面に耐食性、耐熱性、耐候性または防錆性を付与するためのものである。めっき層の種類は特に制限されないが、銅合金めっき;純Niめっき;Ni−Pめっき、Ni−Wめっき等のNi合金めっき、が例示される。特に、銅合金めっきとしては、銅と、コバルト、ニッケル、砒素、タングステン、クロム、亜鉛、リン、マンガン及びモリブデンの群から選択されたいずれか1種以上との合金めっきが好ましく、具体的には銅−コバルト−ニッケル合金めっき、銅−ニッケル−りん合金めっきが挙げられる。なお、上記めっき層の表面に、当該金属または合金の酸化物および/または水酸化物が形成されていてもよい。
そして、より密着性を向上させたい用途の場合は、粗めっき(焼けめっき;限界電流密度を超えるめっき条件)を行い、より樹脂の透明性を向上させたい用途の場合は、平滑めっきを行うことで、用途に合った特性を圧延銅箔に付与できる。又、めっき前の圧延銅箔の表面形態に応じて、粗めっきと平滑めっき(正常めっき;限界電流密度よりも小さい電流密度のめっき条件)を使い分けることで、Rsk及びSvの値を所定範囲に管理しやすくなる。
平滑めっきは、粗めっき処理で無い通常のめっき(平滑めっき)条件よりも電流密度を高くし、めっき時間を短縮する。これにより、従来の通常めっきよりも電着粒が微細となり、凹凸の少なくRskが−0.35〜0.53の表面が得られる。
めっき浴組成:Cu:10〜20g/L、Co:1〜10g/L、Ni:1〜10g/L
pH:1〜4
めっき温度:30〜50℃
電流密度Dk:30〜45A/dm2
電解時間:0.3〜1.5秒
めっき浴組成:Co:1〜20g/L、Ni:1〜20g/L
pH:1.5〜3.5
温度:30〜80℃
電流密度Dk:5.0〜20.0A/dm2
電解時間:0.5〜1.2秒
なお、本発明において「めっき層の表面」とは、めっき層の上に上述の他層を形成した場合には、最表面である上記他層の表面を意味する。従って、最表面に上記他層が存在する場合、例えば「めっき層表面のスキューネスRsk」とは、上記他層表面のスキューネスRskになる。
めっき浴組成:Zn:100〜300g/L
pH:3〜4
温度:50〜60℃
電流密度Dk:0.1〜0.5A/dm2
電解時間:1〜3秒
スキューネスRskは、二乗平均平方根高さRqの三乗によって無次元化した基準長さにおけるZ(x)三乗平均を表したものである。
二乗平均平方根高さRqは、JIS B 0601(2001)に準拠した非接触式粗さ計による表面粗さ測定における、凹凸の程度を示す指標であり、下記(A)式で表され、表面粗さのZ軸方向の凹凸(山の)高さであって、基準長さlrにおける山の高さZ(x)の二乗平均平方根である。
基準長さlrにおける山の高さの二乗平均平方根高さRq:
スキューネスRskが−0.35未満であると、銅箔表面の高さ分布が平均面に対して上側に偏りすぎとなり、銅箔をポリイミド(PI)等の樹脂と積層した後に銅箔をエッチング除去した場合、樹脂層表面の凹形態が強くなる。このため、光源から光を照射すると樹脂層内部での乱反射が大きくなり、樹脂の透明性が低下する。一方、スキューネスRskが0.53を超えると、高さ分布が平均面に対して下側への偏りすぎとなり、銅箔を樹脂と積層した後にエッチング除去した場合、樹脂層表面の凸形態が強くなる。このため、光源から光を照射すると樹脂層表面での乱反射が大きくなりすぎ、その結果、樹脂の透明性が低下する。
なお、めっき層中のめっき粒子の大きさのバラつきは、圧延銅箔の圧延平行方向(MD)よりも、MDと直交する圧延直角方向(TD)の方が大きく、TDのRskを制御することが重要である。このため、RskはTDに沿って測定する。
また、表面処理をされた銅箔表面のスキューネスRskは−0.30〜0.50が好ましく、−0.30〜0.39がより好ましい。
表面処理をされた銅箔表面のスキューネスRskが負の値の場合には、Rskは−0.30〜−0.10がさらに好ましく、−0.20〜−0.10がさらにより好ましい。一方で、表面処理をされた銅箔表面のスキューネスRskが正の値の場合には、0.15〜0.50がさらに好ましく、0.20〜0.50がさらに好ましく、0.20〜0.45がさらに好ましく、0.20〜0.40がさらに好ましく、0.20〜0.35がさらに好ましい。
上記したRskは、表面の尖りの高さと数を反映するものの、尖りの間隔や平面方向への分布を反映しない。このため、Rskの値だけでは視認性の指標として不十分である。
そこで、尖りの分布状態を反映した指標として、Sv値を3.0以上に規定する。
Sv値は、CCDカメラで樹脂直下のライン状のマークを撮影し、マークが付されていない部分では高い明度となるが、マーク端部に到達すると明度が低下する現象を利用している。樹脂の視認性が良好であれば明度の低下が急激になり、視認性が不良であれば明度が緩やかに低下するので、これを数値化してSv値を得ることができる。Sv値は、樹脂を透過したマークの画像により、マクロな樹脂の形態が光を透過する度合を反映し、めっき層表面の尖りの間隔や平面方向への分布を反映したことになる。従って、Sv値を規定することにより、銅箔をエッチングで除去後の樹脂の透明性の良否を的確に表すことができる。Sv値の測定方法は後述する。
Sv値を3.0以上に規定することで、マーク部分と非マーク部分との境界がより明確になり、位置決め精度が向上して、マーク画像認識による誤差が少なくなり、樹脂の透明性が高くなってより正確に位置合わせができるようになる。このため、本発明の実施の形態に係る銅箔を複数のプリント配線板に用いて、2つ以上のプリント配線板を互いに接続する際に、接続不良が低減し、歩留まりが向上する。
油膜当量={(圧延油粘度[cSt])×(通板速度[mpm]+ロール周速度[mpm])}/{(ロールの噛み込み角[rad])×(材料の降伏応力[kg/mm2])}
圧延油粘度[cSt]は40℃での動粘度である。
油膜当量を12000〜25000とするためには、低粘度の圧延油を用いたり、通板速度を遅くしたりする等、公知の方法を用いればよい。
化学研磨は硫酸−過酸化水素−水系またはアンモニア−過酸化水素−水系等のエッチング液を用い、通常のエッチングを行う場合よりも液の濃度を低くして、長時間行う。具体的には、例えば、エッチング液にH2SO4が含まれている場合には、H2SO4濃度を1〜3質量%とし、H2O2が含まれている場合にはH2O2濃度を0.05〜0.15質量%とすることができる。又、研磨時間を1〜2時間とすることができる。
「電解研磨」は、例えばリン酸67%+硫酸10%+水23%の条件で、電圧10V/cm2、10秒〜120秒の時間(10秒間の電解研磨を行うと、研磨量は1〜2μmとなる。)で行うことができる。
Sv値は、厚み50μmのポリイミド樹脂の両面に、それぞれ圧延銅箔のめっき層側を貼り合わせた後、エッチングで両面の銅箔を除去し、ライン状のマークを印刷した印刷物を、露出したポリイミド樹脂の下に敷いて、印刷物をポリイミド樹脂越しにCCDカメラで撮影したとき、撮影によって得られた画像について、観察されたライン状のマークが伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、マークの端部からマークが描かれていない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、ライン状マークに最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、ライン状マークに最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、上記(1)式で定義される。
図7は、撮影装置の構成を示す。又、「明度曲線のトップ平均値Bt」、「明度曲線のボトム平均値Bb」、及び、後述の「t1」、「t2」、「Sv」について、図を用いて説明する。
なお、マークの幅は、1.3mm、0.2mm、0.16mm、0.1mm程度としてもよい。さらに、「明度曲線のトップ平均値Bt」は、マークの両側の端部位置から100μm、300μm又は、500μm離れた位置から上述のように測定したときの明度の平均値としてもよい。なお、図5において、マークの幅を約1.3mmとした場合には、マークの両側の端部位置から500μm離れた位置から、それぞれ30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定し、「明度曲線のトップ平均値Bt」を求めればよい。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
なお、横軸の1ピクセルは10μm長さに相当する。また、Svは、マークの両側を測定し、小さい値を採用する。さらに、明度曲線の形状が不安定で上記「明度曲線とBtとの交点」が複数存在する場合は、最もマークに近い交点を採用する。
そこで、明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、上記(1)式でこのΔBの傾きをSv値として定義することで、樹脂の透明性を評価する。
このようなことから、上記めっき層の表面、及び/又は、上記めっき層を非形成の圧延銅箔の表面を、波長405nmのレーザー光を用いたレーザー顕微鏡で測定したとき、圧延直角方向(TD)の表面性状(十点平均粗さRz、算術平均粗さRa、又は二乗平均平方根高さRq)を以下のように規定すると、圧延銅箔の表面が適度に粗くなって相手(ヒートロール、対向ロール又は保護フィルム)との間の接触面積が低下し、ヒートロールとの密着や保護フィルムへの貼付きといった上述の不具合を抑制できる。
従って、Rzは0.35〜4.0μmが好ましく、0.40〜3.0μmがより好ましく、0.50〜2.5μmがさらに好ましく、0.60〜2.0μmが最も好ましい。
又、Rzは、JIS-B0601(1994)に規定する方法に準拠して測定する。
従って、Raは0.05〜0.80μmが好ましく、0.08〜0.65μmがより好ましく、0.10〜0.50μmがさらに好ましく、0.20〜0.40μmがさらに好ましく、0.30〜0.40μmが最も好ましい。
又、Raは、銅箔表面の凹凸プロファイルからJIS B0601-1994に準じて算出される算術平均粗さである。
従って、Rqは0.08〜0.80μmが好ましく、0.10〜0.60μmがより好ましく、0.15〜0.50μmがさらに好ましく、0.20〜0.40μmがさらに好ましく、0.30〜0.40μmが最も好ましい。
又、Rqは、上述のように規定される。
なお、表面処理がめっき処理である場合、「表面処理しためっき層」は、スキューネスRskが−0.35未満、Rskが0.53を超えるか、又はSvが3.0未満であり、この点で、Rskが−0.35〜0.53でかつSvが3.0以上となる上述の「めっき層」と異なる。
また、上記の粗めっき処理以外の粗めっき処理を用いてもよい。表面処理が粗めっき処理でない場合としては、上記の耐熱層、防錆層等の平滑めっき処理による表面処理や公知の平滑めっき処理を用いてもよい。
表面に凹凸を形成するための表面処理としては、電解研磨による表面処理を行ってもよい。例えば、硫酸銅と硫酸水溶液から成る溶液中で、銅箔表面を電解研磨することにより表面に凹凸を形成させることができる。電解研磨により凹凸を形成する方法は公知の技術で行っても良い。凹凸を形成するための電解研磨の公知の技術の例としては特開2005−240132号、特開2010−059547号、特開2010−047842号に記載の方法が挙げられる。
・処理溶液:Cu:5〜40g/L、H2SO4:50〜150g/L、温度:30〜70℃
・電解研磨電流:10〜50A/dm2
・電解研磨時間:5〜20秒
などが挙げられ、より具体的には例えば、
・処理溶液:Cu:20g/L、H2SO4:100g/L、温度:50℃
・電解研磨電流:15A/dm2
・電解研磨時間:15秒
などが挙げられる。
凹凸を形成するための表面処理として、例えば、銅箔表面を機械研磨することで凹凸を形成しても良い。機械研磨は公知の技術で行ってもよい。
なお、銅箔表面の表面処理後に、耐熱層や防錆層や耐候性層を設けても良い。耐熱層や防錆層および耐候性層は、上記記載や実験例記載の方法でもよいし、公知の技術による方法でもよい。
樹脂(層)の厚みは特に制限を受けるものではないが、一般的に10〜50μm程度のものが用いられる。又、樹脂の厚みが50μm以上の厚いものも使用される場合があるが、このように、樹脂の厚みが50μm以上の場合に本発明が特に有効である。樹脂の厚みの上限は特に制限されないが、例えば150μmである。
なお、プリント配線板は、銅張積層板の銅箔の一部をエッチング除去して回路部分を形成したものである。
次に、図9を参照し、本発明のプリント配線板を用いて回路接続部材を製造する方法について説明する。まず、図9に示すように、プリント配線板10及びプリント配線板10が接続される接続対象体20を用意する。なお、本例では、プリント配線板10はアーム機構50に取り付けられて移動可能であり、接続対象体20はコンベア52上に載置されて移動可能である。
プリント配線板10は、樹脂4と、樹脂4の少なくとも片面(本例では両面)に配置される回路部分2及び位置決めパターン6とを有する。回路部分2及び位置決めパターン6は、樹脂4と積層された銅箔の一部をエッチングして形成されたものである。
接続対象体20は、基材24と、基材24に配置される回路22及び位置決めパターン26とを有する。接続対象体20としては、電子部品、回路基板、プリント基板、プリント配線板、プリント回路板、銅張積層板が例示され、これらに電子部品が実装されたものも含む。接続対象体20の具体例としては、回路基板を有する液晶ディスプレイが挙げられる。又、後述するように、接続対象体20もプリント配線板10であってもよい。
そして、これらの位置情報に基づき、適宜アーム機構50やコンベア52を移動させ、接続対象体20の所定の回路22にプリント配線板10の所定の回路部分2が重なるよう、接続対象体20に対してプリント配線板10を位置決めした後、回路部分2と回路22とを電気的に接続する。このように互いに電気的に接続された接続対象体20とプリント配線板10とが特許請求の範囲の「回路接続部材」を構成する。
ここで、上述のように、本発明のプリント配線板10は、銅箔表面のスキューネスRsk及びSvを規定しているために銅箔をエッチング除去した後の樹脂の透明性に優れている。このため、位置決めパターン6を樹脂4越しに検出しても、、位置決めパターン6を鮮明に認識することができ、位置決めパターン6の位置を精度良く検出することができる。その結果、検出された位置決めパターン6の位置に基づき、接続対象体20に対してプリント配線板10の位置決めを精度よく行うことができ、両者を確実に電気的に接続することができる。
又、本製造方法において、「プリント配線板」には部品が実装されたプリント配線板も含まれることとする。
また、接続対象体20とプリント配線板10の個数は限定されず、例えば2つ以上のプリント配線板10を1つの接続対象体20に接続してもよく、1つのプリント配線板10に2つ以上の接続対象体20を接続してもよい。
さらに、接続対象体20としてプリント配線板10を用いる場合は、2つ以上のプリント配線板10が相互に接続されることとなる。
又、例えば、コンベア52としては、ベルトコンベヤーやチェーンコンベヤーが挙げられる。
さらに、本発明の実施の形態に係る回路接続部材の製造方法を表面実装機やチップマウンターに用いてもよい。
又、位置決めパターン6または位置決めパターン26が、それぞれ回路部分2または回路22を構成してもよい。
表1、表2に示す組成の元素を添加したタフピッチ銅又は無酸素銅を原料として厚さ100mmのインゴットを鋳造し、800℃以上で厚さ10mmまで熱間圧延を行い、表面の酸化スケールを面削した。その後、冷間圧延と焼鈍とを繰り返して0.5mmの厚みの圧延板コイルを得た。その最後の冷間圧延の後に、この銅ストリップを700℃でかつ表1、表2に示す張力下で連続焼鈍炉に通板して最終再結晶焼鈍を行った。なお、表1、表2の張力の値は、その試料の再結晶焼鈍温度下での耐力で除して規格化した({張力(N/mm2)/ 再結晶焼鈍温度下での耐力(N/mm2)})。また、再結晶焼鈍における銅ストリップの加熱時間は100〜200秒とした。最後に最終冷間圧延で表1、表2に記載の厚みに仕上げた。最終冷間圧延での圧延加工度を86〜99%とした。
なお、表1、表2の組成の欄の「Ag190ppm OFC」は、JIS-H3510(C1011)(実施例10)またはJIS- H3100 (C1020)(実施例10以外)の無酸素銅OFC)に190質量ppmのAgを添加したことを意味する。又、「Ag190ppm TPC」は、JIS-H3100(C1100)のタフピッチ銅(TPC)に190質量ppmのAgを添加したことを意味する。他の添加量の場合も同様である。
上記した圧延銅箔の片面に、表3、表4に示すめっき条件でめっき層を形成した。なお、表5のCu−Co−Ni合金めっきは、pH 2.5のめっき浴(Cu:15g/L、Co:8.5g/L、Ni:8.6g/L)を用いて浴温38℃でめっきした。Cu−Ni−P合金めっきは、pH 2.5のめっき浴(Cu:10g/L、Ni:20g/L、P:1g/L)を用いて浴温40℃でめっきした。Ni−W合金めっきは、pH 4.0のめっき浴(Ni:25g/L、W:20mg/L)を用いて浴温40℃でめっきした。Cuめっきは、まず、第1めっき浴(Cu 15g/L、 H2SO4 50g/L)を用い、浴温25℃で電流密度50A/dm2、電解時間1.5secでめっきした後、第2めっき浴(Cu 20g/L、H2SO4 100g/L)を用い、浴温50℃で電流密度2A/dm2、電解時間15secでめっきした。なお、Cu−Co−Ni合金めっき、Cu−Ni−P合金めっき及びCuめっきは粗めっき(焼けめっき)に相当する。また、Ni−W合金めっきは平滑めっきに相当する。
実施例1、4〜6、10〜13、25及び26で得られた銅箔について、圧延銅箔の反対面(めっき層の非形成面)に対して表5に記載の表面処理を行った銅箔も製造した。ここで、表5の実施例の「−」の後の数字、は、表1の所定の実施例で得られた銅箔の反対面に表5に記載の表面処理を行ったことを意味する。例えば、表5において、「実施例1−1」は、実施例1の反対面に表5に記載の表面処理を行ったものであり、「実施例2−1」は、実施例2の反対面に表5に記載の表面処理を行ったものである。
最終冷間圧延後でめっき層形成前の銅箔の表面(圧延面)について、X線回折装置(RINT-2500:理学電機製)を用い、それぞれ{200}、{220}、{111}面の正極点測定(X線反射平均強度)を行った。得られた測定結果から、StandardODF(株式会社ノルム工学製)を用いて逆極点に変換し、{110}面及び{112}面の算出X線回折強度を計算した。
X線回折の測定条件は、入射X線源:Cu、加速電圧:30kV、管電流:100mA、発散スリット:0.5度、散乱スリット:4mm、受光スリット:4mm、発散縦制限スリット:1.2mmとした。又、同一条件で各面につきX線回折を行った純銅粉末の値(X線反射平均強度)を用いて{200}、{220}、{111}面の集合度を規格化した後、逆極点に変換した。純銅粉末は、微粉末銅(325mesh)を用いた。なお、上述の結晶方位は、圧延銅箔のめっき層と反対側の表面を測定しても同様な値となることを確認した。
最終再結晶焼鈍の直後(最終冷間圧延前)の銅箔の結晶粒径をJIS-H0501の切断法に準じ、圧延面について測定した。
<I{200}/I0{200}>
最終冷間圧延後でめっき層形成前の銅箔を、それぞれ200℃で0.5時間焼鈍後、及び350℃で1秒焼鈍後に、その表面について{200}面のX線回折強度(積分強度)を測定した。そして、同一条件でX線回折を行った純銅粉末の値(I0{200}:X線反射平均強度)、すなわち純銅粉末の{200}面のX線回折強度(積分強度)を用いて規格化した。
X線回折の測定条件は、入射X線源:Cu、加速電圧:25kV、管電流:20mA、発散スリット:1度、散乱スリット:1度、受光スリット:0.3mm、発散縦制限スリット:10mm,モノクロ受光スリット0.8mmとした。純銅粉末は、微粉末銅(325mesh)を用いた。
なお、上述のI{200}/I0{200}は、圧延銅箔のめっき層と反対側の表面について{200}面のX線回折強度を測定しても同様な値となることを確認した。
まず、厚み12.5μmの熱硬化性ポリイミドフィルムに熱可塑性ポリイミド接着剤を塗工し乾燥させた。次に、このフィルムの両面に最終冷間圧延後でめっき層形成後の銅箔のそれぞれめっき層側を積層した後、熱圧着して両面CCLを作製した。この両面CCLにつき、両面の銅箔にエッチングによりライン/スペースの幅がそれぞれ100μm/100μmの回路パターンを形成した後、厚み25μmのカバーレイフィルムを被覆してFPCに加工した。
このFPCにつき、スライド屈曲試験を行って屈曲性を評価した。具体的には、摺動試験機(応用技研産業株式会社製,TK-107型)を用い、スライド半径r(mm)は実施例9についてはr=4mm 、その他の実施例及び比較例についてはr=0.72mmとし、いずれの場合もスライド速度120回/分でFPCを屈曲させた。
試験前に比べて銅箔の回路の電気抵抗が10%増加したときの屈曲回数が、15万回未満を評価×とし、10万回〜15万回未満のものを評価△とし、15万回〜30万回のものを評価○とし、30万回を越えたものを評価◎とした。屈曲性が◎〜△であれば、屈曲性が良好といえる。
上記した両面CCLを、撹拌した液温30℃のエッチング液(ADEKA社製の製品名:テックCL−8の20質量%溶液)に1分間浸漬してエッチングし、エッチング面を光学顕微鏡で撮影した。
上記画像のうち、暗部はエッチングが均一にされている領域を示すので、エッチング性は撮影した画像と、基準画像とを比較して評価した。図3に、基準画像と、エッチング性の評価の対応を示す。暗部の面積率が高いほど、エッチング性が良好となり、◎が最もエッチング性が良好となる。エッチング性が◎〜△であれば、エッチング性が良好といえる。
まず、オリンパス社製の非接触式レーザー顕微鏡(LEXT OLS4000)にて、銅箔のめっき層表面の二乗平均平方根高さRq及びスキューネスRskを測定した。対物レンズの倍率を20倍に設定し、評価長さ647μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延直角方向(TD)に沿って測定した。なお、測定温度は23〜25℃とした。また、上記レーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
ポリイミドフィルム(カネカ製の商品名:PIXEO(ポリイミドタイプ:FRS)、銅張積層板用接着層付ポリイミドフィルム、厚み50μm、PMDA(ピロメリット酸無水物)−ODA(4、4'-ジアミノジフェニルエーテル)系のポリイミドフィルム)の両面に、それぞれ圧延銅箔のめっき層側を貼り合わせ、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)で除去してサンプルフィルムを作製した。続いて、ライン状の黒色マークを印刷した印刷物を、サンプルフィルムの下に敷いて、印刷物をサンプルフィルム越しにCCDカメラで撮影し、撮影によって得られた画像について、観察されたライン状のマークが伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、マークの端部からマークが描かれていない部分にかけて生じる明度曲線からΔB及びt1、t2、Svを測定した(図5〜図7参照)。
なお、横軸の1ピクセルは10μm長さに相当する。また、Svは、マークの両側を測定し、小さい値を採用する。
上記「ライン状の黒色マークを印刷した印刷物」は、光沢度43.0±2の白色の光沢紙上に、図8(a)に示すように透明フィルムにライン状の黒色マークが印刷されたきょう雑物(夾雑物)(株式会社朝陽会製 品名:「きょう雑物測定図表-フルサイズ判」 品番:JQA160−20151−1(独立行政法人国立印刷局で製造された))を載せたものを使用した。図8(a)の夾雑物(印刷物)は、それぞれ単一のラインLx(図8(a)では、最右側のラインに符号Lxを付した)が左右方向に離間して複数並んで黒色マークを構成し、各ラインLxの面積がいずれも0.7mm2になっている。一方、各ラインLxの形状(上下方向の長さや幅)はそれぞれ異なっており、そのうち最右側のラインLxから左に4つ目の幅0.3mmのラインLx4を用いて明度曲線を測定した。なお、上記きょう雑物は、JIS P8208(1998)(図1 きょう雑物計測図表のコピー)及びJIS P8145(2011)(附属書JA(規定)目視法異物比較チャート 図JA.1−目視法異物比較チャートのコピー)のいずれにも採用されているものとした
上記光沢紙の光沢度は、JIS Z8741に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターPG−1を使用し、入射角60度で測定した。
・撮影装置:株式会社ニレコ製シート検査装置Mujiken
・CCDカメラ:8192画素(160MHz)、1024階調ディジタル(10ビット)
・照明用電源:高周波点灯電源(電源ユニット×2)
・照明:蛍光灯(30W、形名:FPL27EX−D、ツイン蛍光灯)
また、CCDカメラは一次元のラインCCDであり、その視野Viは図8の点線の位置(各ラインLxを横断する位置)となるよう設定した。
ラインCCDカメラによる撮影では、フルスケール256階調にて信号を確認し、測定対象のポリイミドフィルム(ポリイミド基板)を置かない状態で、印刷物の黒色マークが存在しない箇所(上記光沢紙の上に上記透明フィルムを載せ、透明フィルム側から各ラインLxが印刷されていない箇所をCCDカメラで測定した場合)のピーク階調信号が230±5に収まるようにレンズ絞りを調整した。カメラスキャンタイム(カメラのシャッターが開いている時間、光を取り込む時間)は250μ秒固定とし、上記階調以内に収まるようにレンズ絞りを調整した。
なお、図7に示された明度について、0は「黒」を意味し、明度255は「白」を意味し、「黒」から「白」までの灰色の程度(白黒の濃淡、グレースケール)を256階調に分割して表示している。
Sv値の測定の場合と同様にして銅箔を上記ポリイミドフィルム(カネカ製、PIXEO(ポリイミドタイプ:FRS))の両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)で除去してサンプルフィルムを作成した。得られたサンプルフィルムの一面に印刷物(直径6cmの黒色の円)を貼り付け、反対面からサンプルフィルム越しに印刷物の視認性を目視で判定した。印刷物の黒色の円の輪郭が円周の90%以上の長さにおいてはっきりしたものを「◎」、黒色の円の輪郭が円周の85%以上90%未満の長さにおいてはっきりしたものを「○」(以上合格)、黒色の円の輪郭が円周の80%以上85%未満の長さにおいてはっきりしたものを「△」(不合格)、黒色の円の輪郭が円周の80%未満の長さにおいてはっきりしたもの及び輪郭が崩れたものを「×」(不合格)と評価した。
上記ポリイミドフィルム(カネカ製、PIXEO(ポリイミドタイプ:FRS)厚み50μm)の片面に、圧延銅箔のめっき層側を貼り合わせ、IPC−TM−650に準拠し、引張り試験機オートグラフ100で常態ピール強度を測定した。常態ピール強度が0.7N/mm以上を積層基板用途に使用できるものとした。
なお、ピール強度の測定は銅箔厚みを18μmに合わせて測定を行った。従って、厚みが18μmに満たない銅箔については、めっき層側と反対面に銅めっきを行って銅箔厚みを18μmに調整した。また、銅箔厚みが18μmよりも大きい場合には、めっき層側と反対面をエッチングして銅箔厚みを18μmに調整した。なお、測定の際に、ポリイミドフィルムをステンレスの板に両面テープで貼り付けて固定し、圧延銅箔側を引きはがした。
めっき前の圧延銅箔の表面について、JIS B0601−1994に規定する粗さ曲線の十点平均粗さRzを測定した。小坂研究所社製SE500表面粗さ測定機を用い、走査距離4mm、カットオフ0.8mmとした。
又、めっき前の圧延銅箔の表面について、JIS Z8741に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターPG−1を使用し、入射角60度での光沢度を測定した。
Rz及び光沢度は、圧延直角方向(TD)について測定した。
Sv値の測定の場合と同様にして銅箔を上記ポリイミドフィルム(カネカ製、PIXEO(ポリイミドタイプ:FRS)厚み50μm)の両面に貼り合わせた。次に、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)して、L/Sが30μm/30μmの回路幅の回路と、20μm×20μm角のマークとを有するFPCを作成した。その後、このマークをポリイミドフィルム越しにCCDカメラで検出した。10回中9回以上検出できた場合には「◎」、7〜8回検出できた場合には「○」、6回検出できた場合には「△」、5回以下検出できた場合には「×」とした。
評価が△又は×の場合、実際にCCDカメラでマークを検出することが難しく、電子基板製造工程等で、回路形成後のポリイミドフィルムに所定の処理を行う場合のマーキングによる位置決め精度が低下し、歩留が低下する。
各実施例、比較例の圧延銅箔のうち、めっき層側の面の反対面に表5の表面処理を行ったサンプルの当該反対面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡LEXT OLS4000にて、表面粗さ(十点平均粗さ)RzをJIS B0601 1994に準拠して測定した。対物レンズ50倍を使用して、評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延方向と垂直な方向(TD)で、それぞれ測定した。なお、測定環境温度は23〜25℃とした。Rzを任意に10箇所測定し、その10箇所の平均値を表面粗さ(十点平均粗さ)Rzの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
上記レーザー顕微鏡により同一の測定条件下で、同様に反対面の二乗平均平方根高さRqをJIS B0601 2001に準拠して測定した。
上記レーザー顕微鏡により同一の測定条件下で、同様に反対面の算術平均粗さRaを、JIS B0601−1994に準拠して測定した。
また、上記と同様の方法で、圧延銅箔のめっき層側の表面の十点平均粗さRz、二乗平均平方根高さRq、算術平均粗さRaを測定した。
厚さ25μmのポリイミド樹脂の両面に、それぞれ表5に示す実施例の圧延銅箔を、めっき層側から積層し、さらに、各圧延銅箔の表面処理された側の表面(上記反対面)に厚さ125μmの保護フィルム(ポリイミド製)を積層させた状態、すなわち、保護フィルム/圧延銅箔/ポリイミド樹脂/圧延銅箔/保護フィルムの5層とした状態で、両方の保護フィルムの外側からラミネートロールを用いて熱と圧力をかけながら貼り合わせ加工(ラミネート加工)を行い、ポリイミド樹脂の両面に圧延銅箔を貼り合わせた。続いて、両表面の保護フィルムを剥がした後、圧延銅箔の表面処理面のシワ又はスジの有無を目視で確認した。シワ又はスジが全く発生しないときを◎、銅箔長さ5mあたりにシワ又はスジが1箇所だけ観察されるときを○、銅箔5mあたりシワ又はスジが2箇所以上観察されるときを×として評価した。
得られた結果を表1〜表5に示す。
表1〜表5から明らかなように、2.5≦I{110}/I{112}≦6.0を満たす各実施例の場合、圧延銅箔のエッチング性と屈曲性が共に優れたものとなった。
なお、厚み、及び最終再結晶焼鈍条件が同一の実施例1,2を比べると、Agの添加量が多い実施例1の方が(110)方位が多くなり、I{110}/I{112}の値も高くなることがわかる。又、13.0>I{200}/I0{200}である実施例20〜23の場合、他の実施例に比べると屈曲性が少し低下したが実用上は問題ない。
銅箔の組成が同一である実施例5に比べて最終再結晶焼鈍時の張力を高くした比較例2の場合、及び銅箔の組成が同一である実施例7に比べて最終再結晶焼鈍時の張力を高くした比較例3の場合、いずれも(110)方位が減少し、I{110}/I{112}の値が2.5未満となり、屈曲性が劣化した。
製造方法が同一である実施例1、6の場合、銅箔の酸素濃度が低い実施例1の方が屈曲性が優れている。
なお、図2(a)、(b)は、それぞれ実施例5、比較例1のエッチング面の光学顕微鏡像である。エッチング性に優れる実施例5の場合、暗部の割合が多いことがわかる。
Rskが−0.35〜0.53、かつSvが3.0以上である各実施例の場合、上述のようにエッチング性と屈曲性が共に優れたのに加え、密着性、樹脂の透明性、及び歩留が良好であった。
スキューネスRskが−0.35未満である比較例5の場合、樹脂の透明性、及び歩留が劣った。
スキューネスRskが0.53を超えた比較例6の場合も、樹脂の透明性、及び歩留が劣った。
Svが3.0未満である比較例7、8の場合、樹脂の透明性、及び歩留が劣った。
なお、比較例7と同一の圧延銅箔試料を、ポリイミドフィルム(カネカ製厚み12.5μm)の両面に貼り合わせて、同様に樹脂の透明性及び歩留を評価したところ、良好であった(参考例1)。参考例1は特許文献6に相当すると考えられ、このことより、樹脂の厚みが厚くなると、Rskだけでなく、Sv値を管理する必要があることがわかる。
さらに、上記実施例1〜26において、夾雑物の印刷物を図8(c)に示すもの(各ラインの面積が3.0mm2、)に変え、そのうち最右側のラインLxから左に6つ目の幅1.3mmのラインLx6を用いて同様にSvの測定を行ったが、いずれもSvは図8(a)の場合(ライン幅0.3mm)と同じ値となった。
さらに、上記実施例1〜26において、「明度曲線のトップ平均値Bt」について、マークの両側の端部位置からそれぞれ、100μm、300μm、500μm離れた位置から測定したが、いずれもSvは、マークの両側の端部位置から50μm離れた位置から測定したときと同じ値となった。
銅箔の両面にめっき層を形成する場合、両面に同時にめっき層を形成してもよく、一方の面と、他方の面とに、それぞれ別々にめっき層を形成してもよい。なお、両面に同時にめっき層を形成する場合には、銅箔の両面側にアノードを設けためっき装置を用いてめっき層を形成すると良い。なお、本実施例では、同時に両面にめっき層の形成を行った。
Claims (16)
- 質量率で99.9%以上の銅を含む圧延銅箔であって、
該圧延銅箔の片面に金属又は合金のめっき層が形成されており、
前記圧延銅箔の圧延面における{112}面からの算出X線回折強度をI{112}とし、{110}面からの算出X線回折強度をI{110}としたとき、2.5≦I{110}/I{112}≦6.0を満たし、
前記圧延銅箔の圧延直角方向に沿い、前記めっき層表面のJIS B0601−2001に基づくスキューネスRskが−0.35〜0.53であり、
厚み50μmのポリイミド樹脂フィルムの両面に、それぞれ前記圧延銅箔の前記めっき層側を貼り合わせた後、エッチングで前記圧延銅箔を除去し、
ライン状のマークを印刷した印刷物を、露出した前記ポリイミド樹脂フィルムの下に敷いて、前記印刷物を前記ポリイミド樹脂フィルム越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状のマークが伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記マークの端部から前記マークが描かれていない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状のマークに最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状のマークに最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上、
前記めっき層とは反対面の前記圧延銅箔の表面を、波長405nmのレーザー光を用いたレーザー顕微鏡で測定したとき、前記反対面の表面は以下の(1)〜(3)のいずれか一つ以上を満たす圧延銅箔。
(1)圧延直角方向(TD)の十点平均粗さRzが、0.35μm以上、
(2)圧延直角方向(TD)の算術平均粗さRaが、0.05μm以上、
(3)圧延直角方向(TD)の二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1) - 前記反対面には表面処理が施されている請求項1に記載の圧延銅箔。
- Ag、Sn、Mg、In、B、Ti、Zr及びAuの群から選ばれる1種又は2種以上を合計で10〜300質量ppm含有し、残部Cuおよび不可避的不純物からなる請求項1又は2に記載の圧延銅箔。
- 酸素を2〜50質量ppm含有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
- 200℃で30分の加熱後に、圧延面において、算出X線回折強度I{112}≦1.0を満たす請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
但し、前記算出X線回折強度I{112}は、{200}、{220}、{111}面及び純銅粉末標準試料の{200}、{220}、{111}面の正極点測定を行って得た、{200}、{220}、{111}面の集合度を、それぞれ前記純銅粉末標準試料の{200}、{220}、{111}面の集合度で規格化し、当該規格化した{200}、{220}、{111}面の正極点図から、逆極点に変換して求めた{112}面の集合度である。 - 350℃で1秒加熱後において、前記圧延銅箔の圧延面の{200}面のX線回折強度をI{200}とし、純銅粉末試料の{200}面のX線回折強度をI 0 {200}としたとき、
5.0≦I{200}/I 0 {200}≦27.0を満たす請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧延銅箔。 - 厚みが4〜70μmである請求項1〜6のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
- 前記めっき層の表面、及び/又は、前記反対面の表面を、波長405nmのレーザー光を用いたレーザー顕微鏡で測定したとき、圧延直角方向の十点平均粗さRzが0.35μm以上である請求項1〜7のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
- 前記めっき層の表面、及び/又は、前記反対面の表面を、波長405nmのレーザー光を用いたレーザー顕微鏡で測定したとき、圧延直角方向の算術平均粗さRaが0.05μm以上である請求項1〜8のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
- 前記めっき層の表面、及び/又は、前記反対面の表面を、波長405nmのレーザー光を用いたレーザー顕微鏡で測定したとき、圧延直角方向の二乗平均平方根高さRqが0.08μm以上である請求項1〜9のいずれか一項に記載の圧延銅箔。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の圧延銅箔と、該圧延銅箔の前記めっき層側に積層される樹脂とを有する銅張積層板。
- 請求項11に記載の銅張積層板を用いたプリント配線板。
- 請求項12に記載のプリント配線板を用いた電子機器。
- 請求項12に記載のプリント配線板の回路部分と、接続対象体の回路とを電気的に接続する回路接続部材の製造方法であって、
前記プリント配線板に設けられた位置決めパターンの位置を、前記樹脂を透過して検出する工程と、
前記検出した位置に基づき、前記接続対象体に対して前記プリント配線板を位置決めした後、前記回路部分と前記回路とを電気的に接続する工程と、を有する回路接続部材の製造方法。 - 前記接続対象体が前記プリント配線板である請求項14に記載の回路接続部材の製造方法。
- 請求項14又は15に記載の回路接続部材の製造方法で作製された回路接続部材。
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