KR101540264B1 - 웨이퍼링 그립퍼 장치 - Google Patents

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KR101540264B1
KR101540264B1 KR1020140046949A KR20140046949A KR101540264B1 KR 101540264 B1 KR101540264 B1 KR 101540264B1 KR 1020140046949 A KR1020140046949 A KR 1020140046949A KR 20140046949 A KR20140046949 A KR 20140046949A KR 101540264 B1 KR101540264 B1 KR 101540264B1
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rotary
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박태오
김형수
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팸텍주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 자동화 고정에서 웨이퍼링을 그립하여 이동시키기 위한 웨이퍼링 그립퍼 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치는, 이동레일에 연결되어 이동레일을 따라 이동되는 베이스; 베이스 상에 체결 고정되고, 외부로부터 전원을 공급받아 회전력을 제공하는 구동부; 구동부의 일측과 연결되고, 구동부로부터 회전동력을 전달받아 회전하는 회전부; 회전부의 회전을 감지하고, 회전부의 회전 범위를 제한하는 센서부; 베이스의 하부에 위치하고, 회전부의 일측에 연결되며, 회전부의 회전에 의해 작동되는 링크부; 및 링크부와 체결 고정되고, 링크부의 작동에 의해 전,후 방향으로 이동되며, 웨이퍼링을 고정 지지하는 그립부;를 포함할 수 있다.

Description

웨이퍼링 그립퍼 장치{WAFER RING GRIPPER DEVICE}
본 발명은 반도체 자동화 공정에서 웨이퍼링을 그립하여 이동시키기 위한 웨이퍼링 그립퍼 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 구동부에서 회전력을 전달받아 회전시키는 회전부에 링크부를 설치하여 사용함으로써, 웨이퍼링을 이송하기 위한 그립할 때 미세조절로 인한 작업오류나 웨이퍼링 이송과정에서 웨이퍼링이 낙상하는 것을 방지하는 웨이퍼링 그립퍼 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자 후공정은 크게 웨이퍼(Wafer)에 형성된 반도체칩들의 양부를 검사하는 웨이퍼 검사공정, 웨이퍼를 절단하여 낱개로 분리한 반도체칩(이하, '다이(Die)'라고 한다)들을 리드프레임(Lead frame) 또는 인쇄회로기판에 부착시키는 다이 본딩(Die bonding) 공정, 다이에 구비된 접촉 패드와 리드프레임의 리드 또는 인쇄회로기판의 패턴을 와이어로 연결시켜주는 와이어본딩(Wire bonding) 공정, 다이의 내부회로와 그 외의 구성 부품을 보호하기 위하여 봉지재로 외부를 감싸는 몰딩(Molding) 공정, 리드와 리드를 연결하고 있는 댐바를 커팅하는 트림공정 및 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍(Foaming) 공정 및 상기 공정을 거쳐 완성된 반도체 소자의 양부를 검사하는 테스트 공정으로 이루어진다.
그리고, 반도체 장치의 제조 공정에서 다이싱 공정은 목적하는 집적 회로들이 형성된 웨이퍼를 다수의 다이로 분할하기 위하여 상기 웨이퍼의 이면에 다이싱 테이프가 부착된 상태에서 수행될 수 있다. 다이 본딩 공정은 상기 다이싱 테이프로부터 다이들을 분리시키고 픽업하는 픽업 단계와 상기 픽업된 다이를 회로 기판 또는 리드 프레임과 같은 마운팅 베이스에 본딩하는 다이 본딩 단계를 포함할 수 있다.
상기한 제조 공정에서 다이 본딩 공정은 상기 웨이퍼의 둘레에서 상기 접착 시트를 팽팽한 상태로 그립하는 웨이퍼링을 스테이지의 상부에서 그립한 다음, 상기 웨이퍼의 다이들 각각을 픽업하여 인접한 위치에서 이송되는 기판에 본딩하는 과정을 거쳐 수행된다.
하지만, 상기 웨이퍼링은 상기 스테이지의 상부로 수평 방향으로 이송하는 제1 이송 기구와 상기 수평 이송한 상태에서 다시 수직 방향으로 이송하는 제2 이송 기구를 통해 상기 스테이지에 놓여짐에 따라, 이를 이송하기 위한 장치가 흡착 패드를 이용한 구조로 웨이퍼링 이송시 흡착력이 떨어지면 웨이퍼링이 반도체 공정장치에 낙상하게 되어 반도체 공정 과정에서 오류가 생기는 문제가 있다.
또한, 종래에는 단순한 실린더 구조의 장치를 사용함으로써, 웨이퍼링 이송 시 미세조절할 수 없어 웨이퍼링을 그립할 때 정확히 그립하여 이송하지 못하는 문제점이 있었다.
한국등록특허 제10-0667718호 (2007년01월05일 등록) 한국공개특허 제10-2011-0100095호 (2011년09월09일 공개)
본 발명은 구동부에서 회전력을 전달받아 회전시키는 회전부에 링크부를 설치하여 사용함으로써, 웨이퍼링을 이송하기 위한 그립할 때 미세조절로 인한 작업오류나 웨이퍼링 이송과정에서 웨이퍼링이 낙상하는 것을 방지하는 웨이퍼링 그립퍼 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명은 링크부에 의해 전,후방으로 이동되는 그립부를 사용함으로써, 다양한 직경의 웨이퍼링 사용시 그 직경에 맞게 그립부를 교체하여 사용할 수 있는 웨이퍼링 그립퍼 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다양한 과제들은 이상에서 언급한 과제들에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치는, 이동레일에 연결되어 이동레일을 따라 이동되는 베이스; 베이스 상에 체결 고정되고, 외부로부터 전원을 공급받아 회전력을 제공하는 구동부; 구동부의 일측과 연결되고, 구동부로부터 회전동력을 전달받아 회전하는 회전부; 회전부의 회전을 감지하고, 회전부의 회전 범위를 제한하는 센서부; 베이스의 하부에 위치하고, 회전부의 일측에 연결되며, 회전부의 회전에 의해 작동되는 링크부; 및 링크부와 체결 고정되고, 링크부의 작동에 의해 전,후 방향으로 이동되며, 웨이퍼링을 고정 지지하는 그립부;를 포함하고, 센서부는, 회전부의 외주면에 끼움 고정되고, 회전부에 의해 축 회전되며, 외주면에 일정각도로 절개된 홈이 형성된 회전판; 및 회전판에 형성된 홈의 일측 또는 타측을 감지하는 센서;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구동부는, 일측에 구비된 회전축과 회전부 사이에 체결 고정되고, 회전부를 회전시키는 커플링;을 포함할 수 있다.
삭제
링크부는, 일측이 회전부의 하단에 체결 고정되고, 회전부의 회전운동을 직선운동으로 변화시키는 링크블록; 및 링크블록의 타측에 연결되고, 그립부를 고정 지지하기 위해 체결 고정되는 지지대;를 포함할 수 있다.
그립부는, 웨이퍼링 공급부에서 공급되는 웨이퍼링의 내주면에 밀착되어 웨이퍼링을 그립할 수 있도록 적어도 하나 이상의 제1 그립블록;을 포함할 수 있다.
그립부는, 웨이퍼링 공급부에서 공급되는 웨이퍼링을 그립할 수 있도록 웨이퍼링의 외주면에 밀착 고정되는 안착홈이 형성된 적어도 하나 이상의 제2 그립블록;을 포함할 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치는 구동부에서 회전력을 전달받아 회전시키는 회전부에 링크부를 설치하여 사용함으로써, 웨이퍼링을 이송하기 위한 그립할 때 미세조절로 인한 작업오류나 웨이퍼링 이송과정에서 웨이퍼링이 낙상하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치는 링크부에 의해 전,후방으로 이동되는 그립부를 사용함으로써, 다양한 직경의 웨이퍼링 사용시 그 직경에 맞게 그립부를 교체하여 사용할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 다양한 실시예들은, 구체적으로 언급되지 않은 다양한 효과를 제공할 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치가 이동되는 것을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치에 아우터링 그립부가 부착된 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치의 도 6의 작동 상태를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
상단, 하단, 상면, 하면, 또는 상부, 하부 등의 용어는 구성요소에 있어 상대적인 위치를 구별하기 위해 사용되는 것이다. 예를 들어, 편의상 도면상의 위쪽을 상부, 도면상의 아래쪽을 하부로 명명하는 경우, 실제에 있어서는 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 상부는 하부로 명명될 수 있고, 하부는 상부로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치에 대한 바람직한 실시예를 더욱 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치가 이동되는 것을 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치에 아우터링 그립부가 부착된 상태를 나타낸 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치의 도 6의 작동 상태를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)는 다이들이 부착된 접착시트를 고정 지지하기 위해 사용되는 웨이퍼링(1)을 그립하기 위한 장치이다. 참고로, 웨이퍼링(1)은 인너링(21)과 아우터링(23)으로 구성되고, 인너링(21)과 아우터링(23) 사이에 접착시트가 고정될 수 있다. 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)는 베이스(100), 구동부(200), 회전부(300), 센서부(400), 링크부(500) 및 그립부(600)를 포함할 수 있다.
베이스(100)는 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)의 구성들을 고정 지지하기 위하여 구비될 수 있다. 베이스(100)는 일측에 이동레일(30)과 연결되고, 이동레일(30)이 작동되면 이동레일(30)을 따라 웨이퍼 확장장치로 이송될 수 있다. 베이스(100)는 원판 형상으로 형성되고, 일측에 "ㄱ" 형상의 브래킷(110)이 구비될 수 있다. 또한, 베이스(100)에 체결 고정되는 브래킷(110)은 볼트 및 너트를 이용하여 체결하는 것이 바람직하다.
구동부(200)는 베이스(100)의 중앙에 위치하도록 브래킷(110)에 체결 고정되고, 외부로부터 전원을 공급받아 회전부(300)를 회전시키기 위해 회전력을 제공할 수 있다. 구동부(200)는 회전속도를 제어할 수 있는 스텝핑 모터로 사용하는 것이 바람직하다. 구동부(200)는 커플링(210)을 더 포함할 수 있다.
커플링(210)은 구동부(200)의 일측에 구비된 회전축(220)과 회전부(300) 사이에 연결되어 회전축(220)에서 회전되는 동력을 회전부(300)로 전달하기 위해 구비될 수 있다. 커플링(210)은 회전축(220)과 회전부(300)를 연결하여 구동부(200)에서 제공하는 회전을 회전부(300)로 정밀하게 전달될 수 있도록 하는 효과가 있다.
회전부(300)는 구동부(200)에서 제공하는 회전력을 커플링(210)을 통해 전달받아 축 회전될 수 있다. 회전부(300)는 베이스(100)의 중앙에 수직으로 위치하고, 커플링(210)과 연결되어 링크부(500)를 작동시키기 위해 구비될 수 있다.
센서부(400)는 회전부(300)의 회전을 감지하고, 회전부(300)의 회전 범위를 제한하기 위해 구비될 수 있다. 센서부(400)는 회전판(410) 및 센서(420)를 포함할 수 있다.
회전판(410)은 회전부(300) 외주면에 끼움 고정되고, 회전부(300)가 회전되면 동시에 회전될 수 있다. 회전판(410)은 커플링(210)과 베이스(100) 사이에 위치하고, 회전부(300) 외주면에 볼트로 체결 고정될 수 있다. 회전판(410)은 얇은 판 형상의 링으로 형성되고, 외주면에 일정각도로 절개된 홈이 형성될 수 있다. 회전판(410)은 다양한 크기로 형성된 웨이퍼링(1)에 따라 교체하여 사용될 수 있다.
즉, 웨이퍼 확장장치로 이송되는 웨이퍼링(1)의 직경에 따라 회전판(410)에 형성된 홈(411)의 각도가 다양하게 형성될 수 있다. 또한, 홈(411)에 형성된 각도가 커질수록 큰 직경의 웨이퍼링(1)을 그립할 수 있고, 홈(411)에 형성된 각도가 작을수록 작은 직경의 웨이퍼링(1)을 그립할 수 있다. 한편, 작업자는 웨이퍼링(1)의 직경에 맞게 회전판(410)을 선택적으로 교체하여 사용할 수 있다.
센서(420)는 회전판(410)에 형성된 홈(411)의 회전각도를 측정하기 위해 구비될 수 있다. 센서(420)는 베이스(100) 상에 체결 고정되고, 일측에 회전판(410)에 형성된 홈(411)의 일측 또는 타측이 근접하게 되면 감지하도록 개구부(421)가 형성될 수 있다. 센서(420)는 회전판(410)이 회전되면서 개구부(421)가 근접하게 되면 작동되는 근접센서로 형성될 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 센서(420)는 제어부와 연결되고, 제어부는 구동부(200)와 연결되며, 센서(420)가 회전판(410)을 감지하면 센서(420)의 감지신호가 제어부로 보내지고 다시 제어부에서는 구동부(200)로 전기적인 신호를 보내 구동부(200)의 작동을 멈추게 할 수 있다.
링크부(500)는 베이스(100)의 하부에 위치하고, 회전부(300)의 일측에 연결되며, 회전부의 회전에 의해 작동될 수 있다. 링크부(500)는 회전부(300)와 그립부(600) 사이에 연결되어 회전부(300)의 회전운동을 그립부(600)가 직선운동할 수 있도록 변경하기 위해 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 링크부(500)는 링크블록(510) 및 지지대(520)를 포함할 수 있다.
링크블록(510)은 일측이 회전부(300)의 하단 중심축에서 일정거리 이격되게 축 고정되고, 타측은 지지대(520)와 축 고정되며, 회전부(300)의 회전 방향에 따라 지지대(520)를 전방 또는 후방으로 이동시킬 수 있다. 링크블록(510)은 회전부(300)의 중심축을 기준으로 일정간격 이격되게 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 링크블록(510)은 회전부(300)가 정방향으로 회전되면 웨이퍼링(1)의 내측 방향인 후방으로 이동되고, 회전부(300)가 역방향으로 회전되면 웨이퍼링(1)의 외측 방향인 전방으로 이동될 수 있다.
지지대(520)는 링크블록(510)의 타측에 연결되고, 그립부(600)를 고정 지지하기 위해 구비될 수 있다. 지지대(520)는 일측이 회동가능하도록 링크블록(510)과 축 고정되고, 타측에는 그립부(600)가 체결 고정될 수 있다. 또한, 지지대(520)는 각각 다른 직경의 웨이퍼링(1)을 그립하여 이동시키기 위해 웨이퍼링(1)의 직경에 맞는 링크블록(510)이 사용될 수 있는데 이때, 링크블록(510)을 용이하게 탈부착할 수 있도록 사용될 수 있다.
그립부(600)는 일측은 지지대(520)에 체결 고정되고, 타측은 웨이퍼링(1)을 고정 지지하기 위해 구비될 수 있다. 그립부(600)는 링크부(500)와 체결 고정되고, 링크부(500)의 작동에 의해 지지대(520)가 이동되는 방향 즉, 전방 또는 후방 방향으로 이동될 수 있다. 여기서, 전방은 웨이퍼링(1)을 중심을 기준으로 외측방향으로 이동되는 것을 말하고, 후방은 웨이퍼링(1)의 중심방향으로 이동되는 것을 말한다. 그립부(600)는 제1 그립블록(610) 및 제2 그립블록(620)을 포함할 수 있다.
제1 그립블록(610)은 인너링(21)을 그립하기 위해 구비될 수 있다. 제1 그립블록(610)은 인너링(21)의 내경에 밀착되도록 외주면이 인너링(21)의 내경과 동일한 형상으로 형성될 수 있다. 제1 그립블록(610)은 최초 인너링(21)의 내경과 근접하게 위치한 상태에서 회전부(300)의 회전에 의해 전방으로 이동되어 인너링(21)의 내경에 밀착되어 고정 지지될 수 있다.
제2 그립블록(620)은 아우터링(23)을 그립하기 위해 구비될 수 있다. 제2 그립블록(620)은 아우터링(23)의 외경에 밀착되도록 내주에 안착홈(621)이 형성될 수 있다. 제2 그립블록(620)은 최초 아우터링(23)의 외경과 근접하게 위치한 상태에서 회전부(300)의 회전에 의해 후방으로 이동되면서 안착홈(621)이 아우터링(23)의 외경에 밀착되어 고정 지지될 수 있다.
한편, 제1 그립블록(610) 및 제2 그립블록(620)은 링크부(500)에 설치 고정되는 것으로 작업자가 선택적으로 제1 그립블록(610) 또는 제2 그립블록(620)을 각각 교체하여 사용할 수 있고, 회전부(300)에 설치된 다수개의 링크부(500)에 각각 체결 고정될 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)의 작동방법을 더욱 상세하게 설명한다.
참고로, 웨이퍼링(1)은 인너링(21)과 아우터링(23)으로 구성되는 것으로 본 발명의 작동 방법에서는 인너링(21)으로 설명을 한다.
먼저, 웨이퍼링 공급부(20)에 수납된 인너링(21)이 리프트에 의해 상측 방향으로 이동되고, 상측으로 이동된 인너링(21)을 그립하기 위해 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)가 인너링(21)과 근접하게 하강한다. 이때, 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)는 이동레일(30)에 설치된 실린더(31)에 의해 승강 또는 하강할 수 있다.
다음으로, 인너링(21) 내측으로 이동된 상태에서 구동부(200)가 정방향으로 회전되도록 작동되고, 구동부(200)의 회전동력은 커플링(210)을 통해 회전부(300)로 전달된다. 회전동력을 전달받은 회전부(300)는 정방향으로 회전되어 링크부(500)를 작동시킨다. 이때, 회전부(300)가 회전함과 동시에 회전판(410)이 회전하게 되고, 회전판(410)에 형성된 홈(411)의 일측을 센서(420)가 감지하게 되면 센서 작동에 의해 구동부(200)가 멈추게 된다.
그 다음으로, 링크부(500)가 작동되면 제1 그립블록(610)이 전방으로 이동되면서 제1 그립블록(610)의 외주면이 인너링(21)의 내경에 밀착된 상태가 되어 인너링(21)을 고정 지지한다.
이러한 상태에서 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)는 인너링(21)을 웨이퍼 확장장치 공정으로 이송시키기 위해 이동레일(30)을 따라 웨이퍼 확장장치 공정으로 이송되고, 웨이퍼 확장장치 공정으로 이동된 웨이퍼링 그립퍼 장치(10)는 그립하고 있는 인너링(21)을 웨이퍼 확장장치에 안착시키기 위해 구동부(200)를 역방향으로 작동시킨다.
이어서, 구동부(200)가 역방향으로 회전되면 동시에 회전부(300)에 설치된 회전판(410)이 회전되어 회전판(410)에 형성된 홈(411)의 타측이 센서(420)에 의해 검출되어 구동부(200)의 작동을 멈추게 한다.
그리고, 인너링(21)이 제1 그립블록(610)에서 이탈된 상태에서 다시 이동레일을 따라 최초 자리로 이동된다.
한편, 상기의 공정에서 아우터링(23)을 사용 시 제2 그립블록(620)을 사용하게 되는데 이때, 제2 그립블록(620)이 아우터링(23)을 그립할 시에는 구동부(200)의 회전동력이 정방향으로 회전되고, 제2 그립블록(620)에서 아우터링(23)을 이탈시킬 때에는 구동부(200)의 회전동력이 역방향으로 회전된다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1; 웨이퍼링 10; 웨이퍼링 그립퍼 장치
20; 웨이퍼링 공급부 21; 인너링
23; 아우터링 30; 이동레일
31; 실린더 100; 베이스
110; 브래킷 200; 구동부
210; 커플링 220; 회전축
300; 회전부 400; 센서부
410; 회전판 411; 홈
420; 센서 421; 개구부
500; 링크부 510; 링크블록
520; 지지대 600; 그립부
610; 제1 그립블록 620; 제2 그립블록
621; 안착홈

Claims (6)

  1. 이동레일에 연결되어 이동레일을 따라 이동되는 베이스;
    베이스 상에 체결 고정되고, 외부로부터 전원을 공급받아 회전력을 제공하는 구동부;
    구동부의 일측과 연결되고, 구동부로부터 회전동력을 전달받아 회전하는 회전부;
    회전부의 회전을 감지하고, 회전부의 회전 범위를 제한하는 센서부;
    베이스의 하부에 위치하고, 회전부의 일측에 연결되며, 회전부의 회전에 의해 작동되는 링크부; 및
    링크부와 체결 고정되고, 링크부의 작동에 의해 전,후 방향으로 이동되며, 웨이퍼링을 고정 지지하는 그립부;를 포함하고,
    센서부는,
    회전부의 외주면에 끼움 고정되고, 회전부에 의해 축 회전되며, 외주면에 일정각도로 절개된 홈이 형성된 회전판; 및
    회전판에 형성된 홈의 일측 또는 타측을 감지하는 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 그립퍼 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    구동부는,
    일측에 구비된 회전축과 회전부 사이에 체결 고정되고, 회전부를 회전시키는 커플링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 그립퍼 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    링크부는,
    일측이 회전부의 하단에 체결 고정되고, 회전부의 회전운동을 직선운동으로 변화시키는 링크블록; 및
    링크블록의 타측에 연결되고, 그립부를 고정 지지하기 위해 체결 고정되는 지지대;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 그립퍼 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    그립부는,
    웨이퍼링 공급부에서 공급되는 웨이퍼링의 내주면에 밀착되어 웨이퍼링을 그립할 수 있도록 적어도 하나 이상의 제1 그립블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 그립퍼 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    그립부는,
    웨이퍼링 공급부에서 공급되는 웨이퍼링을 그립할 수 있도록 웨이퍼링의 외주면에 밀착 고정되는 안착홈이 형성된 적어도 하나 이상의 제2 그립블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링 그립퍼 장치.
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