KR101540179B1

KR101540179B1 - 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법

Info

Publication number: KR101540179B1
Application number: KR1020140053640A
Authority: KR
Inventors: 박도경
Original assignee: 주식회사 에이치비테크놀러지
Priority date: 2014-05-02
Filing date: 2014-05-02
Publication date: 2015-07-28

Abstract

본 발명은 경로 알고리즘을 이용한 리뷰 측정장치에 관한 것으로, X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 겐트리 시스템으로 적용되는 비젼 시스템을 구성하여 측정 대상물을 촬영하여 획득한 이미지를 통해 리뷰(Review)하는 측정방법에 있어서, 검사 포인트 사이의 간격을 기준으로 구간을 결정하는 제 1단계, 검사 구간 내 기본 경로 데이터를 생성하기 위해 오름차순으로 정렬하는 제 2단계, 복수의 카메라에 대한 각각의 검사 구간에서 인접한 영역에 대한 구간 포인트를 주거나 받아 기존 경로와 비교하여 구간 정보를 업데이트 하는 제 3단계, 상기 제 3단계에서 업데이트된 정보를 이용하여 검사 포인트 간 순서를 바꿔 단축 경로를 확정하는 제 4단계 및 상기 제 4단계에서 확정된 경로를 이용하여 검사하는 제 5단계를 포함하여 구성된다.

Description

경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법{Review measurement path algorithm}

본 발명은 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 최적화 경로 알고리즘을 적용하여 이동시간을 단축시켜 정확하고 신속한 측정장치의 구동 시스템을 구성할 수 있는 리뷰 측정방법에 관한 것이다.

종래의 Review검사장비는 Linear Gantry System으로 구성되어 구동되고 있다. 종래의 Review검사장비는 측정 Point를 늘릴 수 있는 한계가 있고, Linear Motor용량을 키움으로써 제작비용이 상승 한다는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 알고리즘은 비효율적인 포인트 이동으로 인해 Tact Time대비 측정 수량이 많지 않으며, 전체 포인트에 대한 경로 계획을 할 경우 카메라간의 충돌이 발생할 수 있고, 이를 해결하기 위해서 충돌이 일어날 구간은 순차적으로 진행하는 방법이 있지만 효율이 떨어지며, 그런 구간을 찾기 위해 후 처리를 한 번 더 해야 하는 단점이 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 측정 리뷰 시스템에서 구동 방법을 도시화한 것이다. 종래의 리뷰 검사장치는,

1. Tact Time대비 측정 Point의 수량이 많지 않다.

2. Linear Motor용량을 키움으로써 장비 Size가 커지고, 용량의 한계 및 제작비용 상승이 있다.

3. Linear Motor용량을 키움으로써 장비에 진동 및 기구적인 풀림, 비틀림 현상이 발생 될 수 있다.

KR 10-1024319호 KR 10-1225805호

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 최적화 경로 알고리즘과 작은 X 축 스테이지를 사용하여 Linear Motor용량을 키우지 않고도 이동시간을 단축시켜 Tact Time대비 측정 Point를 늘릴 수 있는 검사 방법을 제공하고자 하는데 목적이 있다.

또한, 본 발명은 최적화 경로 알고리즘에 병행하여 최적화 성능을 극대화하기 위해 자리 교환 알고리즘을 구성함으로써 결과적으로 측정 성능을 향상시킬 수 있는 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(300)와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(100)를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 구간으로 구동하는 작은X축 스테이지(200)를 상기 Y 정상구동축에 구비되며, 상기 작은 X축 스테이지에 카메라가 부착된 측정프로브(20)를 갖춘 비젼 시스템을 구성하고 상기 카메라를 적용하여 측정 대상물(10)을 촬영함으로써 획득한 이미지를 통해 리뷰(Review)하는 측정방법에 있어서,

검사 포인트 사이의 간격을 기준으로 구간을 결정하는 제 1단계, 검사 구간 내 기본 경로 데이터를 생성하기 위해 오름차순으로 정렬하는 제 2단계, 복수의 카메라에 대한 각각의 검사 구간에서 인접한 영역에 대한 구간 포인트를 주거나 받아 기존 경로와 비교하여 구간 정보를 업데이트 하는 제 3단계, 상기 제 3단계에서 업데이트된 정보를 이용하여 검사 포인트 간 순서를 바꿔 단축 경로를 확정하는 제 4단계 및 상기 제 4단계에서 확정된 경로를 이용하여 검사하는 제 5단계를 포함하여 구성된다.

또한, 상기 제 1단계는, 검사 구간 내에 같은 포인트 수를 결정하는 단계, 구간별 같은 간격을 결정하는 단계 및 구간별 유동적인 간격을 결정하는 단계를 포함하여 구성된다.

또한, 상기 제 3단계는, 인접한 포인트 네 개를 선택하는 단계, 상기 인접 포인트 네 개 중에서 중간의 두 포인트를 교환하는 단계, 자리 교 환 전 후의 소요시간을 비교하는 단계 및 상기 단계에서 비교 시 시간이 단축된 것이 확인되면 경로를 업데이트하는 단계를 포함하여 구성된다.

또한, X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 포함하는 측정장치에 있어서, 상기 겐트리 시스템은, 상기 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 스케일로 구동하는 작은 X축 스테이지를 더 포함하며, 상기 작은 X축 스테이지는 상기 X 정상구동축 스테이지와, Y 정상구동축 스테이지는, 검사 포인트 사이의 간격을 기준으로 구간을 결정하는 제 1단계와, 검사 구간 내 기본 경로 데이터를 생성하기 위해 오름차순으로 정렬하는 제 2단계와, 복수의 카메라에 대한 각각의 검사 구간에서 인접한 영역에 대한 구간 포인트를 주거나 받아 기존 경로와 비교하여 구간 정보를 업데이트 하는 제 3단계와, 상기 제 3단계에서 업데이트된 정보를 이용하여 검사 포인트 간 순서를 바꿔 단축 경로를 확정하는 제 4단계 및 상기 제 4단계에서 확정된 경로를 이용하여 검사하는 제 5단계를 포함하는 단계로 구동되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 Review검사 장비는 최적화 경로 알고리즘과 Small X Axis을 장착함으로써, 검사 측정 시간 내에 더 많은 Point를 검사할 수 있는 이점이 있다. 특히, 본 발명은 개선한 알고리즘과 두 대의 카메라가 동시에 작업이 끝나도록 하여 기존방식의 문제점을 개선할 수 있는 장점이 있다.

또한, 계산된 결과는 기존의 알고리즘과 비교하여 패턴에 영향을 덜 받고 기존 알고리즘이 대처하지 못하는 패턴에 대하여 성능이 20%이상 개선시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래기술에 따른 리뷰 측정장치의 비효율적인 이동 메커니즘의 순서도,
도 2는 본 발명에 따른 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법을 적용하기 위한 측정장치의 개략적인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 최적화 경로 알고리즘 산출을 위한 순서도,
도 4는 본 발명에 따른 최적화 경로 알고리즘을 위한 인접 포인트 간의 자리 교환 알고리즘을 나타낸 순서도,
도 5는 도 3과 도 4에 따른 경로 알고리즘과 자리 교환 알고리즘을 병합한 최적의 경로 채택을 위한 순서도,
도 6은 본 발명에 따른 최적의 경로 알고리즘을 통한 검출 카메라의 소유 시간을 비교한 그래프.
도7은 본 발명에 따른 시스템 구성도
도8은 본 발명에 따른 측정알고리즘의 궤적위치

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 경로 알고리즘을 이용한 리뷰 측정방법은, X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(300)와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(100)를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 구간으로 구동하는 작은X축 스테이지(200)를 상기 Y 정상구동축에 구비되며, 상기 작은 X축 스테이지에 카메라가 부착된 측정프로브(20)를 갖춘 비젼 시스템을 구성하고 상기 카메라를 적용하여 측정 대상물(10)을 촬영함으로써 획득한 이미지를 통해 리뷰(Review)하는 측정방법에 있어서,

본 발명에 따른 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법은, X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 겐트리 시스템으로 적용되는 비젼 시스템을 구성하여 측정 대상물을 촬영하여 획득한 이미지를 통해 리뷰(Review)하는 측정방법에 있어서, 검사 포인트 사이의 간격을 기준으로 구간을 결정하는 제 1단계, 검사 구간 내 기본 경로 데이터를 생성하기 위해 오름차순으로 정렬하는 제 2단계, 복수의 카메라에 대한 각각의 검사 구간에서 인접한 영역에 대한 구간 포인트를 주거나 받아 기존 경로와 비교하여 구간 정보를 업데이트 하는 제 3단계, 상기 제 3단계에서 업데이트된 정보를 이용하여 검사 포인트 간 순서를 바꿔 단축 경로를 확정하는 제 4단계 및 상기 제 4단계에서 확정된 경로를 이용하여 검사하는 제 5단계를 포함하여 구성된다.

또한 본 발명은 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(300)와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(100)를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 구간으로 구동하는 작은X축 스테이지(200)를 상기 Y 정상구동축에 구비되며, 상기 작은 X축 스테이지에 카메라가 부착된 측정프로브(20)를 갖춘 비젼 시스템을 구성하고 상기 카메라를 적용하여 측정 대상물(10)을 촬영함으로써 획득한 이미지를 통해 리뷰(Review)하는 측정방법에 있어서, 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격을 결정하되, 상기 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격은 상기 X 정상구동축과 상기 Y 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)의 이동 범위내에서 이송간격을 결정하는 제1단계와 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격을 결정하되, 상기 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격은 상기 X 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상이동축의 이동범위 내에서 Y축이송간격을 결정하는 제2단계와 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격을 결정하되, 상기 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격은 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상이동축의 이동구간과 상기 X 축 정상이동축의 이동범위 내에서 X축이송간격을 결정하는 제3단계를 포함한여 구성된다.

또한 본 발명에서 상기 Y축이송간격을 결정하는 제2단계는 상기 Y축이송간격은 측정대상물(10)의 Y방향 크기의 범위내에서 결정하는 Y축이송간격(110)을 결정하는 제2단계이다.

또한 본 발명에서 상기 X축이송간격을 결정하는 제3단계는 상기 X축 이송간격은 상기 작은 X축 전체 이송범위와 동일하거나 큰 것을 특징으로 하는 X축이송간격(210)을 결정하는 제3단계이다.

또한 본 발명은 상기 X 정상구동축과 상기 Y 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)만을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제4단계와 상기 X 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상구동축을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제5단계와 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상구동축과 상기 X 정상구동축을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제6단계로 구성된다.

또한 본 발명은 상기 X 정상구동축을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제6단계 이후에는 상기 제4단계와 상기 제5단계와 상기 제6단계를 연속적으로 진행시키되 측정대상물(10)의 X방향 크기 범위 전체를 진행하여 측정대상물(10) 전체면적을 리뷰하게 된다.

도 2는 본 발명에 따른 경로 알고리즘을 이용한 리뷰 측정장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다. 본 발명은 AOI(Automated Optical Inspection)장비에 Review 검사 장비로써 Linear Gantry System의 Linear Small X Axis과 최적화 경로 알고리즘을 사용 하여 주어진 Tact Time 내에 더 많은 Defect를 측정 할 수 있는 검사 시스템에 관한 것이다.

이때, 본 발명에서는 익스펙션 시스템에 채용되는 측정용 카메라(ex. 비젼시스템)의 구동 경로를 제어하는 것으로, 특히 복수의 카메라를 통해 측정 경로를 제어할 때 최적의 경로를 획득하여 최소 구동으로 빠르게 검사할 수 있는 시스템을 제공하는 것이다. 이때, 본 발명에서는 겐트리 시스템을 포함하여 X정상구동축 스테이지와 Y정상구동축 스테이지를 포함하고, 어느 하나의 스테이지(바람직하게는 Y축 스테이지) 추가적으로 작은 스케일 구동이 가능한 X축 스테이지를 추가적으로 구성하고 최적의 경로 검출 알고리즘을 적용하여 최적 경로 산출 및 구동을 실현하는 것을 주요 기술적 요지로 한다.

본 발명의 목적은 Review 검사 시스템에 있어 최적화 경로 알고리즘과 작은 X 축을 이용하여 측정 Point를 늘려 주는 시스템을 제공하는 것이다. 최적화 경로 알고리즘을 적용하여 전체 포인트를 구간으로 나눠 구간에서의 최적화 경로를 찾고, 카메라는 순차적으로 구간을 검사하여 충돌을 방지 한다.

알고리즘의 정의는 아래와 같다.

1. 포인트 사이 간격의 기준으로 구간을 나눈다.

2. 구간 내 기본 경로 데이터를 생성하기 위해 오름차순으로 정렬한다.

3. 인접한 다른 구간에 포인트를 주거나 받아 기존경로와 비교하여 업데이트를 한다.

4. 포인트 간의 순서를 바꿔 기존 경로보다 단축된 경로로 업데이트를 한다.

5. 가장 좋은 성능의 경로를 채택한다.

따라서, 본 발명의 최적화 경로는 Linear Stage가 진행 방향으로 이동하며 측정하는 방식에서 최적화 경로 알고리즘과 작은 X 축을 장착하여 측정 하는 방식으로써, Linear Stage의 이동 시간 대비 같은 방향으로 진행되는 작은 X 축의 이동시간이 더 단축됨으로써 결함측정의 이동시간을 단축 시켜 측정 Point를 확장시킬 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 최적화 경로 알고리즘 산출을 위한 순서도이다. 최적 경로 산출을 위한 방법으로는 각 단계별로 구성된다.

검사 포인트 사이의 간격을 기준으로 구간을 결정하는 제 1단계와, 검사 구간 내 기본 경로 데이터를 생성하기 위해 오름차순으로 정렬하는 제 2단계, 각각의 검사 구간에서 인접한 영역에 대한 구간 포인트를 주거나 받아 기존 경로와 비교하여 구간 정보를 업데이트 하는 제 3단계, 상기 제 3단계에서 업데이트된 정보를 이용하여 검사 포인트 간 순서를 바꿔 단축 경로를 확정하는 제 4단계 및 상기 제 4단계에서 확정된 경로를 이용하여 검사하는 제 5단계를 통해 기본적으로 최적화 경로를 산출한다.

Small X Axis을 적용하여 종래의 전체 시스템이 이동하는 방식과 달리 Small X Axis이 Linear Stage진행방향으로 진행함으로써 Stage이동 시간을 단축 시켜 측정 Point를 늘릴 수 있는 방식인 것이다.

또한, 본 발명에서는 최적화 알고리즘에 추가적인 알고리즘을 적용하여 보다 경로 단축을 실현할 수 있도록 인접 포인트 간의 자리 교환 알고리즘을 추가 구성한다.

또한, 구간을 결정하는 제 1단계는, 검사 구간 내에 같은 포인트 수를 결정하는 단계와, 구간별 같은 간격을 결정하는 단계, 그리고 구간별 유동적인 간격을 결정하는 단계를 포함하여 특정 포인트 간의 위치를 교환한다.

도 4는 본 발명에 따른 최적화 경로 알고리즘을 위한 인접 포인트 간의 자리 교환 알고리즘을 나타낸 순서도이다. 상기 인접 포인트 간의 자리 교환은 앞서 설명한 최적 경로 검출 알고리즘에 추가적으로 구성함으로써 최적화 알고리즘으로 검출된 경로 외에 인지되지 못한 측정 경로 구간(인접 구간에 대한 최적화 경로)을 반영하여 검출하는 것이다. 우선, 인접한 포인트 네 개를 선택한다. 여기서 상기 인접 포인트 네 개 중에서 중간의 두 포인트를 교환한 후, 자리 교 환 전 후의 소요시간을 비교하고 상기 단계에서 비교 시 시간이 단축된 것이 확인되면 경로를 업데이트하여 경로를 새로 추가한다.

도 5는 도 3과 도 4에 따른 경로 알고리즘과 자리 교환 알고리즘을 병합한 최적의 경로 채택을 위한 순서도이다. 최적화 알고리즘과 인접 포인트의 자리 교환 알고리즘을 적용하여 가장 이상적인 경로를 산출 및 업데이트하여 구동값을 결정한다. 인접 포인트 간 자리 교환을 통해 복수의 카메라간 촬영 포인트를 결정하되, 보다 경로 단축을 목적으로 하여 인접 포인트 촬영 포인트를 교환한다.

앞서 설명한 바와 같이 최적화 경로 알고리즘과 자리 교환 알고리즘을 적용하여 검사 대상체의 리뷰 검사를 위한 가장 효과적인 구동값을 산출하게 된다. 도시된 바와 같이 최적화 알고리즘과 인접 포인트 교환 알고리즘을 통해 얻어진 연산 결과를 취합한 후 검출된 경로의 시간을 대비 판단하고 최종적인 경로를 산출하여 업데이트한다.

여기서 결정된 값은 겐트리 시스템 구동값으로 결정한다.

도 6은 본 발명에 따른 최적의 경로 알고리즘을 통한 검출 카메라의 소유 시간을 비교한 그래프이다. 패턴샘플은 앞에 4개를 포함한 140개이고 녹색선은 기존의 알고리즘으로 연산한 결과이며. 검정색 선은 개선된 알고리즘을 연산한 결과이다. 기존 결과와 비교하면 성능 저하여부가 크게 발생하지 않고 일정 범위 안에 수렴하는 것을 볼 수 있다.

도 7은 본 발명에 적용할 시스템을 나타낸다.

도 7에서 볼 수 있는 바와 같이 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(300)와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(100)를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 구간으로 구동하는 작은X축 스테이지(200)를 상기 Y 정상구동축에 구비되며, 상기 작은 X축 스테이지에 카메라가 부착된 측정프로브(P)를 갖춘 비젼 시스템을 구성하고 상기 카메라를 적용하여 측정 대상물(10)을 촬영함으로써 획득한 이미지를 획득한다.

도 8은 본발명에서 결정된 측정포인트를 통해 측정할 수 있는 측정과정을 보여준다.

측정대상물(10)은 전체 X 축 거리(310)과 전체 Y 축거리(110)라 할 때 측정방법은 작은 X 축 이송거리로 인해 전체 X 축거리는 동일 간격(210)으로 분할된다.

즉 먼저 작은 X 축과 Y 정상구동축을 이동되면서 측정대상물의 동일간격(210) 만큼 분할된 구간을 측정한다. 다음으로 X 정상구동축을 작은 X 축의 이송가능거리만큼 이송시킨후 다시 작은 X 축과 Y 정상구동축을 이동되면서 측정대상물의 동일간격(210) 만큼 분할된 구간을 측정한다.

위 과정을 계속진행하면 측정대상물(10) 전체를 측정할 수 있다.

또한, 종래와 같이 Linear Motor 용량을 높이지 않아도, 측정 Point를 늘릴 수 있어 제작비용의 상승도 없다.

이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.

10 : 측정물
100 : Y 정상구동축 리니어 스테이지
200 : 작은 X축 스테이지
300 : X 정상구동축 리니어 스테이지

Claims

X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(300)와 Y 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(100)를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 구비하고, 상기 X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 구간으로 구동하는 작은X축 스테이지(200)를 상기 Y 정상구동축에 부착하며,
상기 작은 X축 스테이지에 카메라가 부착된 측정프로브(20)를 갖춘 비젼 시스템을 구성하고 상기 카메라를 적용하여 측정 대상물(10)을 촬영함으로써 획득한 이미지를 통해 리뷰(Review)하는 측정방법에 있어서,
연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격을 결정하되, 상기 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격은 상기 X 정상구동축과 상기 Y 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)의 이동 범위내에서 이송간격을 결정하는 제1단계;
연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격을 결정하되, 상기 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격은 상기 X 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상이동축의 이동범위 내에서 Y축이송간격을 결정하는 제2단계;
연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격을 결정하되, 상기 연속적으로 검사할 검사포인트 사이의 간격은 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상이동축의 이동구간과 상기 X 축 정상이동축의 이동범위 내에서 X축이송간격을 결정하는 제3단계;를 포함하여 구성되는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법.
제1항에 있어서
상기 Y축이송간격을 결정하는 제2단계에서
상기 Y축이송간격은 측정대상물(10)의 Y방향 크기의 범위내에서 결정하는 Y축이송간격(110)을 결정하는 제2단계;를 포함하여 구성되는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법.
제1항에 있어서,
상기 X축이송간격을 결정하는 제3단계에서
상기 X축 이송간격은 상기 작은 X축 전체 이송범위와 동일하거나 큰 것을 특징으로 하는 X축이송간격(210)을 결정하는 제3단계; 를 포함하여 구성되는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 X 정상구동축과 상기 Y 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)만을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제4단계;
상기 X 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상구동축을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제5단계;
상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상구동축과 상기 X 정상구동축을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제6단계; 를 포함하여 구성되는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법.
제4항에 있어서
상기 X 정상구동축을 이동시켜 검사포인트의 이미지를 획득하는 제6단계; 이후에는 상기 제4단계와 상기 제5단계와 상기 제6단계를 연속적으로 진행시키되 측정대상물(10)의 X방향 크기 범위 전체를 진행하여 측정대상물(10) 전체면적을 리뷰하는 것을 특징으로 하는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰(Review) 측정방법.
X 정상구동축을 위한 리니어 스테이지(300)와 Y정상구동축을 위한 리니어 스테이지(100)를 포함하여 구성되는 겐트리 시스템(Gantry System)을 포함하는 측정장치에 있어서,
상기 겐트리 시스템은, 상기 X정상구동축을 위한 리니어 스테이지보다 작은 스테일로 구동하는 작은 X축 스테이지(200)를 더 포함하며,
상기 작은 X축 스테이지와 상기 X 정상구동축 스테이지와, Y 정상구동축 스테이지는,
상기 X 정상구동축과 상기 Y 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)의 이동 범위내에서 이송간격을 결정하는 제1단계와, 상기 X 정상구동축을 고정시킨 상태에서 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상이동축의 이동범위 내에서 Y축이송간격을 결정하는 제2단계와 상기 작은X축 스테이지(200)와 상기 Y 정상이동축의 이동구간과 상기 X 축 정상이동축의 이동범위 내에서 X축이송간격을 결정하는 제3단계로 구동되는 것을 특징으로 하는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰 측정장치.
제 6항에 있어서, 상기 제 1단계는,
상기 Y축이송간격을 결정하는 제2단계에서
상기 Y축이송간격은 측정대상물(10)의 Y 방향 크기의 범위내에서 결정하는 것을 포함하여 구성되는 경로 알고리즘을 이용한 리뷰 측정장치.