KR101532132B1 - 압전 액추에이터 및 이를 포함하는 진동발생장치 - Google Patents

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KR101532132B1
KR101532132B1 KR1020130052318A KR20130052318A KR101532132B1 KR 101532132 B1 KR101532132 B1 KR 101532132B1 KR 1020130052318 A KR1020130052318 A KR 1020130052318A KR 20130052318 A KR20130052318 A KR 20130052318A KR 101532132 B1 KR101532132 B1 KR 101532132B1
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Abstract

본 발명은 압전 액추에이터에서 외부 전극과 기판의 접합부분이 파손되는 것을 최소화할 수 있는 압전 액추에이터 및 이를 포함하는 진동발생장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 실시예에 따른 압전 액추에이터는 세라믹 시트; 및 상기 세라믹 시트 상에 형성되는 다수의 외부 전극;을 포함하며, 상기 외부 전극은 금속 분말을 함유하는 도전성 수지에 의해 형성되며, 상기 도전성 수지는 수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30%로 형성될 수 있다.

Description

압전 액추에이터 및 이를 포함하는 진동발생장치 {PIEZO ACTUATOR AND VIBRATOR INCLUDING THE SAME}
본 발명은 압전 액추에이터 및 이를 포함하는 진동발생장치에 관한 것이다.
진동발생장치는 전자기적 힘의 발생원리를 이용하여 전기적 에너지를 기계적 진동으로 변환하는 부품으로서, 휴대전화에 탑재되어 무음 착신 알림용으로 사용되고 있다.
또한, 휴대전화 시장이 급속도로 팽창되면서 여러 가지 기능이 휴대전화에 부가되는 추세에 있다. 이러한 추세에 따라 휴대전화 부품의 소형화, 고품질화가 요구되어지는 상황에서 진동발생장치 또한 기존제품의 단점을 개선하고 품질을 획기적으로 개선시킬 수 있는 새로운 구조의 제품개발이 요구되고 있다.
최근 몇 년간 LCD 화면이 큰 휴대전화의 출시가 급증하면서, 터치스크린 방식이 채택됨에 따라 터치 시 진동을 발생시키는 용도로도 진동발생장치가 채용되고 있다.
그리고, 터치스크린이 채용된 휴대전화에 사용되는 진동발생장치는 첫째, 착신시 진동발생에 비하여 사용횟수가 많으므로 동작수명시간이 증가되어야 하며, 둘째 터치스크린을 터치하는 속도에 맞추어 빠른 응답속도를 필요로 한다.
이러한 수명 및 응답성의 요구에 맞추어 현재 터치스크린을 채용하는 휴대전화에는 리니어 진동자가 사용되고 있다.
리니어 진동자는 모터의 회전원리를 이용한 것이 아니라, 진동자 내부에 설치되는 탄성부재에 연결된 중량체를 이용하여 코일과 마그넷의 전자기력으로 스프링에 매달린 가동자를 직선공진운동시켜 진동을 발생시킬 수 있다.
또는, 압전소자를 액추에이터로 하여 압전소자의 수축과 팽창에 따라 가동자를 직선공진운동시켜 진동을 발생시킬 수 있다.
이와 같이 압전소자를 이용한 압전 액추에이터를 진동발생장치에 사용하는 경우에는 통상 상기 압전 액추에이터의 중심 부분을 기준으로 길이방향 양측으로 길이가 변형되는 원리를 이용하고 있다.
종래의 압전 액추에이터는 외부 전극을 구비하며, 이러한 외부 전극에는 유연성 기판 등이 연결되어 압전 엑추에이터를 외부와 전기적으로 연결한다.
그런데 이러한 종래의 압전 액추에이터는 진동이 반복됨에 따라 유연성 기판과 접합된 외부 전극에 반복적으로 힘이 작용하게 되며, 이로 인해 외부 전극과 유연성 기판의 접합 부분이 떨어져버리거나 외부 전극이 세라믹 계면에서 박리되는 문제가 있다.
일본특허공개공보 특개평7-58373호
본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 압전 액추에이터에서 외부 전극과 유연성 기판의 접합부분이 파손되는 것을 최소화할 수 있는 구조를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 압전 액추에이터에서 외부 전극이 세라믹 본체로부터 박리되는 것을 최소화할 수 있는 구조를 제공하고자 하고자 한다.
본 발명의 실시예에 따른 압전 액추에이터는, 세라믹 시트; 및 상기 세라믹 시트 상에 형성되는 다수의 외부 전극;을 포함하며, 상기 외부 전극은 금속 분말을 함유하는 도전성 수지에 의해 형성되며, 상기 도전성 수지는 수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30%로 형성될 수 있다.
삭제
본 실시예에 있어서 상기 도전성 수지는, 에폭시 수지와 상기 금속 분말을 혼합하여 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서 상기 외부 전극은, 상기 도전성 수지 상에 형성되는 적어도 하나의 도금층을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서 상기 도금층은, 니켈(Ni) 또는 주석(Sn)으로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서 상기 도금층은, 상기 도전성 수지 상에 형성되는 니켈(Ni) 도금층; 및 상기 니켈 도금층 상에 형성되는 주석(Sn) 도금층;을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서 상기 금속 분말은, 은(Ag), 구리가 코팅된 은(Ag coated Cu), 구리(Cu), 주석(Sn) 중 어느 하나로 형성되거나, 적어도 두 개가 서로 혼합되어 형성될 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 진동발생장치는, 세라믹 시트와, 세라믹 시트 상에 형성되며 금속 분말을 함유하며, 수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30% 인 도전성 수지로 형성되는 다수의 외부 전극을 포함하는 압전 액추에이터; 및 상기 압전 액추에이터의 상기 외부 전극에 접합되어 전기적으로 연결되는 기판;을 포함할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 진동발생장치는, 내부 공간을 구비하는 하우징; 상기 내부 공간에 배치되도록 상기 하우징에 장착되는 진동 부재; 상기 진동 부재에 부착되고, 세라믹 시트와 상기 세라믹 시트 상에 형성되며 금속 분말을 함유하는 도전성 수지에 의해 형성되는 다수의 외부 전극을 포함하며 압전 액추에이터; 및 상기 진동 부재에 고정되고 상기 압전 액추에이터의 변형에 의해 수직방향 변위가 발생하는 진동자;를 포함하며,
상기 압전 액추에이터의 상기 외부 전극은 수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30%로 형성할 수 있다.
본 실시예에 있어서 일단이 상기 압전 액추에이터의 상기 외부 전극에 접합되며, 타단은 상기 하우징의 외부로 배치되어 외부와 전기적으로 연결되는 기판을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서 상기 압전 액추에이터는, 상기 도전성 수지 상에 적어도 하나의 도금층이 형성될 수 있다.
삭제
본 발명에 따른 압전 액추에이터와 이를 포함하는 진동발생장치는 종래와 같이 은(Ag)으로만 외부 전극을 형성하지 않고, 금속 분말이 함유된 도전성 에폭시를 이용하여 외부 전극을 형성한다.
에폭시는 세라믹 시트와의 접착력이 높기 때문에, 이처럼 도전성 에폭시(epoxy)로 외부 단자를 형성하게 되면, 외부 전극이 세라믹 시트로부터 쉽게 박리되는 문제를 해소할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 압전 액추에이터는 외부 전극의 표면에 적어도 하나의 도금층을 형성한다. 따라서 외부 전극을 도전성 수지로 형성하더라도 기판과 외부 전극과의 접합력을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진동발생장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 진동발생장치의 A-A'에 따른 단면 사시도.
도 3은 도 1에 도시된 진동발생장치의 분해 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 진동발생장치에서 압전 액추에이터와 기판만을 도시한 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 압전 액추에이터의 단면을 B-B'에 따라 절단하여 도시한 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진동발생장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진동발생장치의 A-A'에 따른 단면 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 진동발생장치의 분해 사시도이다.
또한 도 4는 도 3에 도시된 진동발생장치에서 압전 액추에이터와 기판만을 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진동발생장치(100)는 진동발생장치(100)의 외관을 형성하는 하우징(110), 전원을 공급하기 위한 기판(120), 전원 공급에 의해 수평방향으로 수축 및 팽창하는 압전 액추에이터(130), 하우징(110)에 고정되고 상기 압전 액추에이터(130)가 장착되는 진동 부재(140) 및 진동 부재(140)에 고정되어 압전 액추에이터(130)의 수평방향 변형에 의해 수직방향 변위가 발생하는 진동자(150)를 포함할 수 있다.
먼저, 방향에 대한 용어를 정의하면, 수평방향은 도 3에서 볼 때, 압전 액추에이터(130) 또는 진동자(150)의 일단에서부터 타단을 향하는 방향(즉, 길이 방향)을 의미하고, 수직방향은 도 2에서 볼 때, 상, 하 방향, 즉, 압전 액추에이터(130) 또는 진동자(150)의 저면에서부터 상면을 향하는 방향(즉, 높이 방향)을 의미할 수 있다. 다만, 수평방향은 특정 방향을 의미하는 것은 아니고 수평으로 향하는 방향이라면 어느 방향이라도 포함될 수 있으며, 수직 방향은 수평방향에 수직한 방향이라면 어느 방향이라도 포함될 수 있다.
한편, 폭 방향은 가로와 세로 중 어느 하나가 더 긴 부재에 대해 짧은 길이를 가지는 방향을 의미할 수 있다. 가령, 가로가 세로보다 긴 경우에 세로 방향이 폭 방향일 수 있다. 여기서, 가로 방향은 상술한 수평방향(즉, 길이 방향)일 수 있다.
또한, 주면은 소정 부재, 가령 압전 액추에이터(130) 또는 진동자(150)에서 가장 넓은 면을 의미할 수 있다.
또한, 소정 부재의 외측은 진동자(150)의 대략 중심을 기준으로 수평 방향으로 좌, 우 방향을 의미하고, 소정 부재의 내측은 반대로 수평 방향으로 좌,우에서 상기 진동자(150)의 대략 중심 방향을 의미할 수 있다.
하우징(110)은 내부 공간을 가지며, 진동발생장치(100)의 외형을 형성한다. 하우징(110)은 브라켓(112)과 케이스(114)을 구비할 수 있다. 브라켓(112)에는 진동 부재(140)가 장착될 수 있다. 또한, 브라켓(112)에는 기판(120)이 장착될 수 있다.
또한, 케이스(114)는 브라켓(112)을 덮어주고 브라켓(112)과 합체하여 내부 공간을 제공할 수 있다.
여기서, 본 발명의 실시예에서는 브라켓(112)에 기판(120) 또는 진동 부재(140)가 장착되는 형상으로 도시하였으나, 기판(120) 또는 진동 부재(140)는 케이스(114)에 장착될 수도 있다.
브라켓(112)은 내부에 부재의 장착이 용이하도록 판 형상으로 구비될 수 있다. 또한, 케이스(114)는 브라켓(112)을 전체적으로 덮을 수 있도록 하면이 오픈된 박스 형상, 즉, 육면체 형상으로 구비될 수 있다.
물론, 브라켓(112) 또는 케이스(114)의 형상은 이에 한정하는 것은 아니며 다양한 형상으로 구비될 수 있다. 가령, 브라켓은 원형의 판으로 구비되고, 케이스는 원형의 판을 덮어 내부 공간을 제공하는 원기둥 형상으로 구비될 수 있다.
하우징(110)에는 진동 부재(140)가 내부공간에 위치하도록 장착될 수 있다. 진동 부재(140)는 상부에 후술되는 진동자(150, weight)가 장착된다. 진동 부재(140)는 하부에 장착되는 압전 액추에이터(130)의 수평방향 변형 - 팽창 또는 수축 - 에 따라 상부에 장착되는 진동자(150)의 수직방향 변위를 발생시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진동 부재(140)는 대략 진동발생장치(100)의 중심을 기준으로 수평방향 외측으로 연장되는 판 형태의 탄성부재(142)를 구비하여, 압전 액추에이터(130)의 수평방향 변형에 의해 탄성부재(142)가 수직방향으로 변형하도록 구비될 수 있다.
진동 부재(140)의 상부에는 진동자(150)가 배치될 수 있다. 진동자(150)는 고비중 재질의 웨이트(Weight)일 수 있다. 예를 들어 진동자(150)는 황동 등의 동계나 텅스텐 재질일 수 있다.
진동자(150)는 수평방향으로 길게 배치될 수 있다. 즉, 진동자(150)는 수평방향으로 압전 액추에이터(130)보다 길게 배치되어, 압전 액추에이터(130)의 외측단 바깥으로 돌출되는 부분을 구비할 수 있다.
한편, 진동 부재(140)는 진동자(150)가 배치되는 공간을 형성하기 위해 측면판재(145)을 포함할 수 있다. 측면판재(145)는 진동자(150)를 감싸는 형상으로 구비될 수 있다.
진동 부재(140)의 하부면에는 압전 액추에이터(130)가 장착될 수 있다. 압전 액추에이터(130)는 복수의 압전소자들이 적층된 구조를 갖는 부재이다. 여기서 압전소자들은 예를 들어, 티탄산지르콘산연(pzt)과 같은 압전 세라믹 시트로 구성될 수 있으며 전원이 인가됨에 따라 일정한 방향으로 신축될 수 있다.
즉, 본 실시예에 따른 압전 액추에이터(130)는 전극과 압전소자가 수직방향으로 반복 적층된 구조일 수 있다. 또한 압전 액추에이터(130)는 전극에 전원의 인가됨에 따라 압전소자가 수평방향으로 팽창과 수축을 반복할 수 있으며, 이를 위해 수평방향으로 길게 장착될 수 있다.
압전 액추에이터(130)는 도 4에 도시된 바와 같이 다수의 내부 전극들(도시되지 않음)과 다수의 외부 전극들(135)을 포함할 수 있다. 내부 전극들은 압전소자들 내부 즉, 세라믹 시트의 사이에 개재될 수 있으며, 외부 전극들(135)은 적층된 압전소자의 외부면에 배치될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 압전 액추에이터는 일면에 외부 전극이 형성되며, 기판(120)은 외부 전극에 접합되어 압전 액추에이터(130)와 전기적으로 연결된다. 이에 압전 액추에이터(130)는 외부의 전원선과 연결된 기판(120)으로부터 전원을 공급받을 수 있다.
한편, 종래의 경우, 외부 전극은 일반적으로 은(Ag) 페이스트를 소성하여 형성하고 있으나, 은(Ag)의 경우 세라믹과의 접착력이 매우 약하여 외부 전극이 압전소자 즉 세라믹 시트로부터 박리되기 쉽다는 문제가 있다.
따라서 이를 해소하기 위해 본 실시예에 따른 압전 액추에이터(130)는 도전성을 갖는 수지 페이스트(resin paste)를 이용하여 외부 전극(135)을 형성한다.
도 5는 도 4에 도시된 압전 액추에이터의 단면을 B-B'에 따라 절단하여 도시한 부분 단면도이다. 도 5를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 압전 액추에이터(130)의 외부 전극(135)은 금속 분말(138)이 함유된 수지(137)로 형성될 수 있다. 여기서 수지(resin)로는 에폭시(epoxy) 수지가 이용될 수 있으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
에폭시 수지(137)에 함유되는 금속 분말(138)로는 은(Ag), 구리가 코팅된 은(Ag coated Cu), 구리(Cu), 주석(Sn) 등이 단독으로 사용되거나 적어도 두 개가 서로 혼합되어 사용될 수 있다.
하기의 표 1은 금속 분말(138)과 수지(137)의 함량 비에 따른 페이스트의 물성과 도포 상태를 나타내는 것으로 실측에 따른 결과를 표시하였다.
Metal 함량 수지(137)함량
(Metal 대비)		 페이스트 물성 평가 인쇄평가
충진율 조도 전도도 도포형상
50.0% 4.0% ○ ○ Ⅹ Ⅹ
5.0% ○ ○ Ⅹ Ⅹ
10.0% ○ ○ Ⅹ Ⅹ
20.0% ○ ○ Ⅹ Ⅹ
30.0% ○ ○ Ⅹ Ⅹ
40.0% ○ ○ Ⅹ Ⅹ
60.0% 4.0% Ⅹ Ⅹ ○ ○
5.0% ○ ○ ○ ○
10.0% ○ ○ ○ ○
20.0% ○ ○ ○ ○
30.0% ○ ○ ○ ○
40.0% ○ ○ Ⅹ ○
70.0% 4.0% Ⅹ Ⅹ ○ ○
5.0% ○ ○ ○ ○
10.0% ○ ○ ○ ○
20.0% ○ ○ ○ ○
30.0% ○ ○ ○ ○
40.0% Ⅹ Ⅹ ○ Ⅹ
80.0% 4.0% Ⅹ Ⅹ ○ ○
5.0% ○ ○ ○ ○
10.0% ○ ○ ○ ○
20.0% ○ ○ ○ ○
90.0% 4.0% Ⅹ Ⅹ Ⅹ Ⅹ
5.0% Ⅹ Ⅹ Ⅹ Ⅹ
10.0% Ⅹ Ⅹ Ⅹ Ⅹ
표 1을 참조하면, 금속 분말(138)의 함량을 60% 이하로 하여 세라믹 시트(132) 상에 외부 전극(135)를 인쇄한 경우, 페이스트의 점도가 너무 낮아 패턴 번짐이 심하게 나타났으며, 금속 분말(138)의 함량 부족으로 도전성도 저하되는 것으로 나타났다.
반면에, 금속 분말(138)의 함량을 80% 이상으로 하는 경우에는 함량 과다 및 수지(137) 부족으로 페이스트의 물성 자체가 나오지 않음을 알 수 있다
또한 금속 분말(138) 대비 수지(137) 함량을 5% 미만으로 하는 경우, 수지(137)량이 너무 적기 때문에 분산성이 악화되어 조도 및 충진율이 저하되는 것으로 나타났으며, 수지(137) 함량이 30% 초과되는 경우에는 전기적 특성이 얻을 수 없는 것으로 나타났다.
따라서, 본 실시예에 따른 압전 액추에이터(130)는 외부 전극(135)를 형성하기 위해 도전성 수지를 이용하며, 이때 이용되는 도전성 수지의 금속 분말(138)의 함량은 60~80% 범위이고, 수지(137)의 함량은 금속 분말(138) 대비 5~30%가 첨가될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 외부 전극(135)은 도전성 에폭시만으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 않는다. 도전성 수지만으로 외부 전극(135)를 형성하는 경우, 기판(120)과의 접합력이 약해질 수 있다. 이에 본 실시예에 따른 압전 액추에이터(130)는 기판(120)과의 접합력을 확보하기 위해 적어도 하나의 도금층(139)을 포함할 수 있다.
여기서 도금층(139)은 니켈(Ni) 도금층(139a)과 주석(Sn) 도금층(139b)을 포함할 수 있다. 본 실시예의 경우, 도전성 수지 상에 니켈 도금층(139a)이 도금되고, 니켈 도금층(139a) 상에 주석 도금층(139b)이 형성되는 경우를 예로 들고 있다. 그러나 본 발명의 구성이 이에 한정되는 것은 아니며, 니켈(Ni) 도금층(139a)과 주석(Sn) 도금층(139b) 중 어느 하나의 도금층만으로 형성되는 것도 가능하며, 기판(120)과의 접합력을 확보할 수만 있다면 다른 재질로도 도금층(139)을 형성할 수도 있다.
다시 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판(120)은 인쇄회로기판, 더욱 상세하게는 유연성 기판(Flexible PCB)일 수 있다. 기판(120)은 일단이 압전 액추에이터(130)의 외부 전극(135)에 접합되며, 타단은 하우징(110)의 외부로 노출되어 외부와 전기적으로 연결될 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 진동발생장치(100)는 진동 시 발생되는 충격을 완화시키기 위한 완충 부재들(160, 170, 180)을 포함할 수 있다. 완충 부재들은 고무 재질로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
이상과 같이 구성되는 본 실시예에 따른 압전 액추에이터와 이를 포함하는 진동발생장치는 종래와 같이 은(Ag)으로만 외부 전극을 형성하지 않고, 금속 분말이 함유된 도전성 에폭시를 이용하여 외부 전극을 형성한다.
에폭시는 세라믹 시트와의 접착력이 높기 때문에, 이처럼 도전성 에폭시(epoxy)로 외부 단자를 형성하게 되면, 외부 전극이 세라믹 시트로부터 쉽게 박리되는 문제를 해소할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 압전 액추에이터는 외부 전극의 표면에 적어도 하나의 도금층을 형성한다. 따라서 외부 전극을 도전성 수지로 형성하더라도 기판과 외부 전극과의 접합력을 확보할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
100: 진동발생장치
110: 하우징
112: 브라켓
114: 케이스
120: 기판
130: 압전 액추에이터
135: 외부 전극:
137: 수지
138: 금속 분말
139: 도금층
139a: 니켈 도금층
139b: 주석 도금층
140: 진동 부재
150: 진동자
160, 170, 180: 완충 부재

Claims (12)

  1. 세라믹 시트; 및
    상기 세라믹 시트 상에 형성되는 다수의 외부 전극;
    을 포함하며,
    상기 외부 전극은 금속 분말을 함유하는 도전성 수지에 의해 형성되며,
    상기 도전성 수지는 수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30%로 형성되는 압전 액추에이터.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 도전성 수지는
    에폭시 수지와 상기 금속 분말을 혼합하여 형성되는 압전 액추에이터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 외부 전극은,
    상기 도전성 수지 상에 형성되는 적어도 하나의 도금층을 포함하는 압전 액추에이터.
  5. 제4항에 있어서, 상기 도금층은,
    니켈(Ni) 또는 주석(Sn)으로 형성되는 압전 액추에이터.
  6. 제5항에 있어서, 상기 도금층은,
    상기 도전성 수지 상에 형성되는 니켈(Ni) 도금층; 및
    상기 니켈 도금층 상에 형성되는 주석(Sn) 도금층;
    을 포함하는 압전 액추에이터.
  7. 제1항에 있어서, 상기 금속 분말은,
    은(Ag), 구리가 코팅된 은(Ag coated Cu), 구리(Cu), 주석(Sn) 중 어느 하나로 형성되거나, 적어도 두 개가 서로 혼합되어 형성되는 압전 액추에이터.
  8. 세라믹 시트와, 세라믹 시트 상에 형성되며 금속 분말을 함유하며, 수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30% 인 도전성 수지로 형성되는 다수의 외부 전극을 포함하는 압전 액추에이터; 및
    상기 압전 액추에이터의 상기 외부 전극에 접합되어 전기적으로 연결되는 기판;
    을 포함하는 진동발생장치.
  9. 내부 공간을 구비하는 하우징;
    상기 내부 공간에 배치되도록 상기 하우징에 장착되는 진동 부재;
    상기 진동 부재에 부착되고, 세라믹 시트와 상기 세라믹 시트 상에 형성되며 금속 분말을 함유하는 도전성 수지에 의해 형성되는 다수의 외부 전극을 포함하며 압전 액추에이터; 및
    상기 진동 부재에 고정되고 상기 압전 액추에이터의 변형에 의해 수직방향 변위가 발생하는 진동자;를 포함하며,
    상기 압전 액추에이터의 상기 외부 전극은,
    수지의 함량이 상기 금속 분말 함량의 5~30%로 형성되는 진동발생장치.
  10. 제9항에 있어서,
    일단이 상기 압전 액추에이터의 상기 외부 전극에 접합되며, 타단은 상기 하우징의 외부로 배치되어 외부와 전기적으로 연결되는 기판을 더 포함하는 진동발생장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 압전 액추에이터는,
    상기 도전성 수지 상에 적어도 하나의 도금층이 형성되는 진동발생장치.
  12. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0576166B2 (ko) * 1989-11-28 1993-10-22 Hirakawa Electric Wire Mfg Co
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JP2012182298A (ja) * 2011-03-01 2012-09-20 Murata Mfg Co Ltd 電子部品実装基板およびその製造方法

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