KR101531389B1 - Film feeding and attaching apparatus, semiconductor chip package fabricating apparatus with the same, and method for fabricating semiconductor chip package - Google Patents

Film feeding and attaching apparatus, semiconductor chip package fabricating apparatus with the same, and method for fabricating semiconductor chip package Download PDF

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Abstract

본 발명은, 형광 필름 스트립(strip)을 형광 필름 조각으로 절단하여 공급하고, 이 형광 필름 조각을 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 부착하는 필름 공급 및 부착 장치와, 이를 구비한 반도체 칩 패키지 제조 장치와, 반도체 칩 패키지 제조 방법을 제공한다. 개시된 필름 공급 및 부착 장치는, 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit), 및 리드프레임과, 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit)을 구비한다. The present invention relates to a film feeding and attaching device for cutting a fluorescent film strip into a piece of fluorescent film and attaching the piece of fluorescent film to the upper side of the semi-finished product of the semiconductor chip package, and a semiconductor chip package manufacturing apparatus And a method of manufacturing a semiconductor chip package. The disclosed film supply and adhering apparatus includes a film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film, A film attaching unit for attracting and attaching a piece of fluorescent film onto an upper surface of a semiconductor chip package semi-finished product including a semiconductor chip mounted on a lead frame and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip do.

Description

필름 공급 및 부착 장치, 이를 구비한 반도체 칩 패키지 제조 장치, 및 반도체 칩 패키지 제조 방법{Film feeding and attaching apparatus, semiconductor chip package fabricating apparatus with the same, and method for fabricating semiconductor chip package}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film feeding and attaching apparatus, a semiconductor chip package manufacturing apparatus having the same, and a semiconductor chip package fabricating apparatus with the same,

본 발명은 예컨대 형광 필름 조각이 부착된 LED 패키지와 같은 반도체 칩 패키지를 연속적으로 제조하는 반도체 칩 패키지 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a semiconductor chip package manufacturing apparatus and a manufacturing method for continuously manufacturing a semiconductor chip package such as an LED package to which a piece of fluorescent film is attached.

전자기기의 인디케이터(indicator), LCD 패널의 백라이트 유닛, 조명장치 등으로 사용되는 LED 패키지는 통상적으로, 반도체 칩의 일종인 LED(light emitting diode)를 리드프레임(lead frame)에 실장하고, LED와 전극 연결 부분을 보호하기 위해 투광성 수지로 밀봉하여 형성된다. 밀봉 수지로는 예컨대, 실리콘 수지(silicone)가 사용되며, 발광(發光)시 휘도 향상을 위해 일반적으로 형광체 분말(phosphor powder)이 밀봉 수지에 혼합될 수 있다. BACKGROUND ART An LED package used as an indicator of an electronic device, a backlight unit of an LCD panel, a lighting device, or the like, typically mounts a light emitting diode (LED), which is a kind of semiconductor chip, on a lead frame, And is sealed with a light-transmitting resin to protect the electrode connection portion. As the sealing resin, for example, silicone resin is used, and in order to improve brightness upon light emission, a phosphor powder may generally be mixed with the sealing resin.

그러나, 이러한 종래의 LED 패키지는 형광체와 혼합된 밀봉 수지층의 두께 조절 및 형광체의 혼합 비율의 정밀한 조절이 어려워 LED 패키지의 발광 품질 관리가 어려워 양품 수율이 낮고, 발열량이 크고 발광 효율이 낮다. However, in such a conventional LED package, it is difficult to control the thickness of the sealing resin layer mixed with the phosphor and precisely control the blending ratio of the phosphor, so that it is difficult to control the light emitting quality of the LED package, resulting in low yields of good products, high heating value and low luminous efficiency.

또한, 장기간 보관시 밀봉 수지의 굳음으로 인하여 사용하지 못하는 경우가 발생하여 비용이 증가한다는 문제점이 있다. In addition, there is a problem that the sealing resin may not be used due to solidification of the sealing resin during long-term storage, resulting in an increase in cost.

대한민국 등록특허공보 10-1102237호Korean Patent Publication No. 10-1102237 대한민국 공개특허공보 10-2011-0074098호Korean Patent Publication No. 10-2011-0074098

본 발명은, 예컨대 형광 필름 조각이 부착된 LED 패키지와 같은, 반도체 칩 패키지의 제조 장치 및 제조 방법, 및 상기 반도체 칩 패키지 제조 장치에 구비된 필름 공급 및 부착 장치를 제공한다. The present invention provides a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a semiconductor chip package, such as an LED package having a piece of fluorescent film, and a film supply and adhering apparatus provided in the semiconductor chip package manufacturing apparatus.

또한 본 발명은, 형광 필름 스트립(strip)을 형광 필름 조각으로 절단하여 공급하고, 이 형광 필름 조각을 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 부착하는 필름 공급 및 부착 장치와, 이를 구비한 반도체 칩 패키지 제조 장치와, 반도체 칩 패키지 제조 방법을 제공한다. The present invention also provides a film feeding and attaching device for cutting a fluorescent film strip into a piece of fluorescent film and attaching the piece of fluorescent film to the upper side of the semi-finished product of the semiconductor chip package, and a semiconductor chip package manufacture And a method of manufacturing a semiconductor chip package.

본 발명은, 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit), 및 리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit)을 구비하는 필름 공급 및 부착 장치를 제공한다.The present invention relates to a film feeding unit for supplying a non-broken extended phosphor film strip, cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film, and a lead frame, A film attaching unit for adsorbing and attaching a piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package having a semiconductor chip mounted on a frame and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip Film supply and attachment apparatus.

또한 본 발명은, 리드프레임에 반도체 칩을 실장(mount)하는 반도체 칩 실장 유닛, 상기 반도체 칩이 밀봉(sealing)되도록 밀봉용 수지를 주입하는 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(sealing resin dispensing unit), 상기 밀봉용 수지를 경화시켜 밀봉용 수지층을 형성하는 큐어링 유닛(curing unit), 및 상기 필름 공급 및 부착 장치를 구비하는 반도체 칩 패키지 제조 장치를 제공한다.The present invention also relates to a semiconductor device comprising a semiconductor chip mounting unit for mounting a semiconductor chip on a lead frame, a sealing resin dispensing unit for injecting a sealing resin to seal the semiconductor chip, A curing unit for curing the sealing resin to form a sealing resin layer, and a semiconductor chip package manufacturing apparatus including the film supplying and adhering apparatus.

상기 필름 피딩 유닛은, 상기 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립에서 상기 형광 필름 스트립을 분리하는 필름 분리 다이(die), 상기 지지 테이프 스트립과 분리된 상기 형광 필름 스트립을 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 커터(cutter), 상기 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립이 감긴 롤(roll)을 풀어 상기 필름 분리 다이로 공급하는 형광 필름 언와인딩 롤러(unwinding roller), 및 상기 형광 필름 스트립이 분리되고 남은 상기 지지 테이프 스트립을 회수하여 되감는 지지 테이프 리와인딩 롤러(rewinding roller)를 구비할 수 있다.The film feeding unit may include a film separating die for separating the fluorescent film strip from the fluorescent film strip and a supporting tape strip for supporting the fluorescent film strip, a separator for separating the fluorescent film strip separated from the supporting tape strip, An unwinding roller for unwinding a roll wound on the fluorescent film strip and a supporting tape strip supporting the fluorescent film strip to supply the film to the film separating die, and a separator for separating the fluorescent film strip And a supporting tape rewinding roller for recovering and rewinding the remaining support tape strip.

상기 필름 분리 다이는, 상기 지지 테이프 스트립의 진행 방향을 전환시키는, 예각(acute angle)으로 돌출된 엣지(edge)를 구비하고, 상기 지지 테이프 스트립이 상기 엣지를 통과할 때 상기 형광 필름 스트립이 상기 지지 테이프 스트립에서 분리되도록 구성될 수 있다.Wherein the film separating die has an edge protruding at an acute angle for changing a traveling direction of the supporting tape strip, and when the supporting tape strip passes the edge, May be configured to separate from the support tape strip.

상기 필름 피딩 유닛은, 절단되어 형성된 형광 필름 조각을 상기 필름 부착 유닛에 의해 흡착될 때까지 지지하는 필름 지지 로드(rod)를 더 구비할 수 있다.The film feeding unit may further include a film supporting rod which supports the piece of fluorescent film formed by cutting until the piece of fluorescent film is sucked by the film attaching unit.

상기 필름 피딩 유닛은, 상기 형광 필름 스트립을 복수 개 구비하고, 상기 복수의 형광 필름 스트립은 그 폭 방향으로 연이어 배치되며, 상기 복수의 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 필름이 감긴 롤(roll)을 풀어 공급하는 형광 필름 언와인딩 롤러, 상기 형광 필름 언와인딩 롤러에서 공급된 상기 복수의 형광 필름 스트립을 상기 지지 필름과 분리하는 필름 분리 다이(die), 상기 지지 필름과 분리된 상기 복수의 형광 필름 스트립을 상기 형광 필름 스트립의 개수와 같은 개수의 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 커터(cutter), 및 상기 복수의 형광 필름 스트립이 분리되고 남은 상기 지지 필름을 회수하여 되감는 지지 필름 리와인딩 롤러를 구비할 수 있다. The film feeding unit may include a plurality of the fluorescent film strips, the plurality of fluorescent film strips being arranged in the width direction thereof, and the plurality of fluorescent film strips and the support film supporting the plurality of fluorescent film strips may be rolled A film separating die for separating the plurality of fluorescent film strips supplied from the fluorescent film unwinding roller from the supporting film, a plurality of fluorescent film strips separated from the supporting film, And a support film rewinding roller for recovering and rewinding the remaining support film after the plurality of fluorescent film strips are separated from the support film rewinding roller .

상기 필름 분리 다이는, 상기 지지 필름의 진행 방향을 전환시키는, 예각(acute angle)으로 돌출된 엣지(edge)를 구비하고, 상기 지지 필름이 상기 엣지를 통과할 때 상기 복수의 형광 필름 스트립이 상기 지지 필름에서 분리되도록 구성될 수 있다. Wherein the film separating die has an edge protruding at an acute angle for changing a traveling direction of the supporting film, and when the supporting film passes the edge, the plurality of fluorescent film strips Can be configured to separate from the support film.

상기 필름 피딩 유닛은, 상기 커터에 의해 절단되어 형성된 상기 복수의 형광 필름 조각을 상기 필름 부착 유닛에 의해 흡착될 때까지 지지하는 필름 조각 지지부를 더 구비할 수 있다. The film feeding unit may further include a film piece supporting portion for supporting the plurality of pieces of fluorescent film formed by cutting with the cutter until the film is attached by the film attaching unit.

상기 형광 필름 스트립의 폭은 상기 형광 필름 조각의 일 측면의 길이와 같을 수 있다.The width of the fluorescent film strip may be the same as the length of one side of the fluorescent film piece.

상기 필름 부착 유닛은, 상기 형광 필름 조각을 흡착하고 운반하여 상기 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 내려놓는 콜렛(collet)을 구비할 수 있다.The film attaching unit may include a collet that sucks and transports the piece of fluorescent film and places it on the upper side of the semi-finished product of the semiconductor chip package.

상기 필름 부착 유닛은, 상기 콜렛에 흡착된 형광 필름 조각의 흡착된 자세와 흡착 지점을 감지하는 픽업 정렬 감지 센서를 더 구비할 수 있다.The film attaching unit may further include a pick-up alignment sensor for sensing an adsorption attitude and an adsorption point of the piece of fluorescent film adsorbed on the collet.

상기 필름 부착 유닛은, 상기 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 놓여진 형광 필름 조각을 상기 상측면 측으로 가압하는 가압 푸셔(pressing pusher)를 더 구비할 수 있다.The film attaching unit may further include a pressing pusher for pressing the piece of fluorescent film placed on the upper side of the semi-finished product of the semiconductor chip package toward the upper side.

본 발명의 필름 공급 및 부착 장치는, 상기 반도체 칩 패키지 반제품이 상기 필름 부착 유닛에 공급되도록 로딩(loading)하는 로딩 유닛(loading unit), 상기 형광 필름 조각이 상기 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 접착 고정되도록 상기 상측면에 접착용 수지를 도포하는 접착용 수지 디스펜싱 유닛(adhesive resin dispensing unit), 및 상기 형광 필름 조각이 부착된 상기 반도체 칩 패키지 반제품을 언로딩(unloading)하여 수거하는 언로딩 유닛(unloading unit)을 더 구비할 수 있다.The film supply and adhering apparatus of the present invention is characterized by comprising a loading unit for loading the semi-finished product of the semiconductor chip package to be supplied to the film adhering unit, An adhesive resin dispensing unit for applying an adhesive resin to the upper surface of the semiconductor chip package to fix the semiconductor chip package, and an unloading unit for unloading and collecting the semi- (unloading unit).

또한 본 발명은, 리드프레임에 반도체 칩을 실장(mount)하는 반도체 칩 실장 단계, 밀봉용 수지를 주입하여 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지 주입 단계, 상기 주입된 밀봉용 수지를 경화시켜 밀봉용 수지층을 형성하는 밀봉용 수지 경화 단계, 및 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 형광 필름 조각을 부착하는 형광 필름 조각 부착 단계를 구비하고, 상기 형광 필름 조각 부착 단계는, 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립을 공급하는 형광 필름 스트립 공급 단계, 상기 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 형광 필름 조각 형성 단계, 상기 형광 필름 조각을 흡착하는 형광 필름 조각 픽업(pick-up) 단계, 및 상기 흡착된 형광 필름 조각을 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 올려 놓는 형광 필름 조각 탑재 단계를 구비하는 반도체 칩 패키지 제조 방법을 제공한다.The present invention also provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: a semiconductor chip mounting step of mounting a semiconductor chip on a lead frame; a sealing resin injecting step of sealing the semiconductor chip by injecting a sealing resin; A sealing resin curing step of forming a resin layer, and a fluorescent film piece attaching step of attaching a fluorescent film piece to an upper side of the sealing resin layer, wherein the fluorescent film piece attaching step comprises: A fluorescent film strip supplying step of supplying a film strip, a fluorescent film strip forming step of cutting the fluorescent film strip to form a fluorescent film strip, a pick-up step of picking up a fluorescent film strip to absorb the fluorescent film strip, And a fluorescent film piece mounting step of placing a piece of fluorescent film adsorbed on the upper side of the sealing resin layer The present invention provides a method for manufacturing a paper.

상기 형광 필름 스트립 공급 단계는, 상기 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립을 필름 분리 다이(die)로 공급하는 단계를 포함하고, 상기 형광 필름 조각 형성 단계는, 상기 필름 분리 다이에서 상기 형광 필름 스트립을 상기 지지 테이프 스트립과 분리하는 단계와, 상기 지지 테이프 스트립에서 분리된 형광 필름 스트립을 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 단계를 포함할 수 있다.Wherein the step of supplying the fluorescent film strip includes supplying the fluorescent film strip and a supporting tape strip for supporting the fluorescent film strip to a film separating die, Separating the strip from the support tape strip, and cutting the fluorescent film strip separated from the support tape strip into a piece of fluorescent film.

상기 형광 필름 스트립은 복수 개 구비되고, 상기 복수의 형광 필름 스트립은 그 폭 방향으로 연이어 배치되며, 상기 형광 필름 스트립 공급 단계는, 상기 복수의 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 필름을 필름 분리 다이(die)로 공급하는 단계를 포함하고, 상기 형광 필름 조각 형성 단계는, 상기 필름 분리 다이에서 상기 복수의 형광 필름 스트립을 상기 지지 필름과 분리하는 단계와, 상기 지지 필름에서 분리된 복수의 형광 필름 스트립을 상기 형광 필름 스트립의 개수와 같은 개수의 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 단계를 포함할 수 있다. Wherein the plurality of fluorescent film strips are arranged successively in a width direction of the fluorescent film strips, wherein the plurality of fluorescent film strips and the supporting film for supporting the plurality of fluorescent film strips are disposed on a film separating die the method comprising: separating the plurality of fluorescent film strips from the supporting film in the film separating die; and separating the plurality of fluorescent film strips separated from the supporting film, The number of the fluorescent film strips may be the same as the number of the fluorescent film strips.

상기 형광 필름 조각 부착 단계는, 상기 형광 필름 조각 탑재 단계에 앞서서 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 접착용 수지를 도포하는 접착용 수지 도포 단계를 더 구비할 수 있다.The step of attaching the fluorescent film piece may further comprise a step of applying a resin for bonding to apply an adhesive resin to the upper surface of the sealing resin layer prior to the step of mounting the fluorescent film piece.

상기 형광 필름 조각 부착 단계는, 상기 형광 필름 조각이 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 고정되도록 가압하는 형광 필름 조각 가압 단계를 더 구비할 수 있다.The step of attaching the fluorescent film piece may further include a step of pressing the fluorescent film piece to press the fluorescent film piece to be fixed on the upper side of the sealing resin layer.

본 발명에 의하면, 상측면에 형광 필름 조각이 부착된 반도체 칩 패키지를 연속적으로 자동 생산할 수 있다. 따라서, 제품 수율 및 생산성이 향상되고, 생산 비용을 절감할 수 있다. According to the present invention, it is possible to continuously and automatically produce a semiconductor chip package to which a piece of fluorescent film is attached on the upper side. Therefore, product yield and productivity are improved, and the production cost can be reduced.

또한 본 발명에 의해 생산되는 반도체 칩 패키지의 일종인 LED 패키지는 발열량이 낮아 발광 효율이 향상되고, 밀봉용 수지층에 형광체 분말 또는 형광 잉크를 혼합하는 LED 패키지에 비해 형광체 분말 또는 형광 잉크 사용량을 줄일 수 있어 생산 비용도 절감할 수 있다. Further, the LED package, which is a kind of semiconductor chip package produced by the present invention, has a low calorific value to improve the luminous efficiency and reduce the amount of phosphor powder or fluorescent ink used compared with an LED package in which a phosphor powder or a fluorescent ink is mixed with a sealing resin layer And the production cost can be reduced.

또한 본 발명의 실시예에 의하면 실시간으로 형광 필름 조각을 절단 형성하여 부착할 수 있으므로 형광 필름 조각 준비를 위한 비용과 시간이 절감될 수 있다. In addition, according to the embodiment of the present invention, since the fluorescent film piece can be cut and formed in real time, the cost and time for preparation of the fluorescent film can be reduced.

도 1은 형광 필름 조각이 부착된 LED 패키지를 도시한 단면도이다.
도 2는 LED 패키지 제조에 사용되는 리드프레임(lead frame)이 캐리어(carrier)에 탑재된 형태를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 장치를 도시한 블록도이다.
도 4는 도 3의 필름 공급 및 부착 장치의 일 실시예를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5는 도 4의 피딩 유닛(feeding unit)의 일 예를 도시한 사시도이다.
도 6은 도 4의 접착용 수지 디스펜싱 유닛(adhesive resin dispensing unit)의 일 예를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 4의 필름 피딩 유닛(film feeding unit)의 일 예를 도시한 정면도이다.
도 8은 도 7의 형광 필름 언와인딩 롤러(phosphor film unwinding roller)에 장착되는 형광 필름 스트립 롤(phosphor film strip roll)을 도시한 사시도이다.
도 9는 도 4의 필름 부착 유닛의 일 예를 도시한 사시도이다.
도 10은 도 7의 필름 피딩 유닛(film feeding unit)을 대체할 수 있는 다른 필름 피딩 유닛의 다른 일 예를 도시한 정면도이다.
도 11은 도 10의 필름 피딩 유닛이 실행하는 작업을 설명하기 위한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 방법을 나타낸 플로우 차트이다.
1 is a sectional view showing an LED package to which a piece of fluorescent film is attached.
2 is a perspective view showing a form in which a lead frame used for manufacturing an LED package is mounted on a carrier.
3 is a block diagram illustrating a semiconductor chip package manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a plan view schematically showing one embodiment of the film supply and adhering apparatus of Fig. 3;
5 is a perspective view showing an example of a feeding unit of FIG.
FIG. 6 is a perspective view showing an example of an adhesive resin dispensing unit for bonding in FIG. 4; FIG.
7 is a front view showing an example of the film feeding unit of Fig.
FIG. 8 is a perspective view showing a phosphor film strip roll mounted on a phosphor film unwinding roller of FIG. 7; FIG.
Fig. 9 is a perspective view showing an example of the film attaching unit of Fig. 4;
Fig. 10 is a front view showing another example of another film feeding unit that can replace the film feeding unit of Fig. 7; Fig.
Fig. 11 is a perspective view for explaining the operation performed by the film feeding unit of Fig. 10; Fig.
12 is a flowchart showing a method of manufacturing a semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 필름 공급 및 부착 장치, 반도체 칩 패키지 제조 장치 및 제조 방법을 상세하게 설명한다. 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자 또는 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, a film supply and adhering apparatus, a semiconductor chip package manufacturing apparatus, and a manufacturing method according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The terminology used herein is a term used to properly express the preferred embodiment of the present invention, which may vary depending on the intention of the user or operator or the custom in the field to which the present invention belongs. Therefore, the definitions of these terms should be based on the contents throughout this specification.

먼저, 본 발명의 반도체 칩 패키지 제조 장치를 이용하여 제조 가능한 반도체 칩의 일 예를 설명한다. 도 1은 형광 필름 조각이 부착된 LED 패키지를 도시한 단면도이고, 도 2는 LED 패키지 제조에 사용되는 리드프레임(lead frame)이 캐리어(carrier)에 탑재된 형태를 도시한 사시도이다. 도 1을 참조하면, 도시된 반도체 칩 패키지는 LED 패키지(light emitting diode package)(1)로서, 리드프레임(14)은 측벽에 의해 상측으로 개방된 홈(16)(도 2 참조)이 형성된다. 상기 홈(16)의 바닥에 LED(2)가 실장(mount)되고, LED(2)는 리드프레임(14)의 단자(미도시)와 본딩 와이어(bonding wire)(4)에 의해 결선된다. 상기 홈(16)은 투명한 밀봉용 수지로 채워지고 큐어링(curing) 과정을 통해 경화되어 밀봉용 수지층(6)이 형성된다. 상기 밀봉용 수지는 예컨대, 투명한 실리콘 수지(silicone)일 수 있다. 밀봉용 수지층(6)의 상측면에는 접착용 수지가 도포되어 접착용 수지층(7)이 형성되고, 그 위에 형광 필름 조각(8)이 부착된다. 상기 형광 필름 조각(8)에는 LED 패키지(1)에서 투사되는 광(光)의 휘도가 향상되도록 형광 물질(phosphor material)이 포함된다. 상기 접착제용 수지는 예컨대, OCA(optical clean adhesive)일 수 있다. First, an example of a semiconductor chip that can be manufactured using the semiconductor chip package manufacturing apparatus of the present invention will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view showing an LED package with a piece of fluorescent film attached thereto, and FIG. 2 is a perspective view showing a form in which a lead frame used for manufacturing an LED package is mounted on a carrier. Referring to Fig. 1, the semiconductor chip package shown is an LED package (light emitting diode package) 1, and the lead frame 14 is formed with a groove 16 (see Fig. 2) . The LED 2 is mounted on the bottom of the groove 16 and the LED 2 is connected by a bonding wire 4 and a terminal (not shown) of the lead frame 14. The grooves 16 are filled with a transparent sealing resin and cured through a curing process to form a sealing resin layer 6. The sealing resin may be, for example, a transparent silicone resin. On the upper side of the sealing resin layer 6, an adhesive resin is applied to form a bonding resin layer 7, and the fluorescent film pieces 8 are attached thereon. A phosphor material is included in the fluorescent film piece 8 so that the luminance of light projected from the LED package 1 is improved. The adhesive resin may be, for example, OCA (optical clean adhesive).

도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 반도체 칩 패키지(1)로 제조되는 과정에서 리드프레임(14)이 반도체 칩 패키지 제조 장치의 각 유닛들(110, 120, 130, 40, 80, 160)(도 3 참조)을 통과할 때, 복수의 리드프레임(14)이 캐리어(11)에 탑재된 상태로 이송된다. 특히, 필름 공급 및 부착 장치(150)에 공급될 때에는 리드프레임(14)과, 리드프레임(14)에 실장되고 본딩 와이어(4)에 의해 결선된 반도체 칩(2)과, 반도체 칩(2)을 밀봉하는 밀봉용 수지층(6)을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품(18)이 캐리어(11)에 탑재된 상태로 이송된다. 한편, 캐리어(11)에는 인접한 한 쌍의 리드프레임(14) 사이의 간격과 같은 간격으로 이격된 이송 통공(12)이 캐리어(11)의 길이 방향으로 일렬로 형성된다. 1 and 2, in the process of manufacturing the semiconductor chip package 1, the lead frame 14 is mounted on each of the units 110, 120, 130, 40, 80, 160 ( 3), a plurality of lead frames 14 are carried on the carrier 11. The semiconductor chip 2 mounted on the lead frame 14 and connected by the bonding wire 4 and the semiconductor chip 2 mounted on the lead frame 14, A semiconductor chip package semi-finished product 18 having a sealing resin layer 6 for sealing the semiconductor chip package is mounted on the carrier 11. On the other hand, the carrier 11 is formed with the transfer holes 12 spaced apart by an interval equal to the distance between the adjacent pair of the lead frames 14 in a line in the longitudinal direction of the carrier 11. [

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 장치를 도시한 블록도이다. 도 1 및 도 3을 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 장치는, 반도체 칩 실장 유닛(110), 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(sealing resin dispensing unit)(120), 제1 큐어링 유닛(curing unit)(130), 필름 공급 및 부착 장치(150), 및 제2 큐어링 유닛(160)을 구비한다. 3 is a block diagram illustrating a semiconductor chip package manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. 1 and 3, an apparatus for manufacturing a semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention includes a semiconductor chip mounting unit 110, a sealing resin dispensing unit 120, A curing unit 130, a film supply and adhering apparatus 150, and a second curing unit 160. [

반도체 칩 실장 유닛(110)은 리드프레임(14)에 반도체 칩(2)을 실장하고 본딩 와이어(4)로 리드프레임(14)과 반도체 칩(2)을 결선한다. 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(120)은 반도체 칩(2)이 밀봉(sealing)되도록 리드프레임 홈(16)(도 2 참조)에 밀봉용 수지를 주입한다. 제1 큐어링 유닛(130)은 상기 주입된 밀봉용 수지를 경화하여 밀봉용 수지층(6)을 형성한다. The semiconductor chip mounting unit 110 mounts the semiconductor chip 2 on the lead frame 14 and connects the lead frame 14 and the semiconductor chip 2 with the bonding wire 4. The resin dispensing unit 120 for sealing injects the sealing resin into the lead frame groove 16 (see FIG. 2) so that the semiconductor chip 2 is sealed. The first curing unit 130 hardens the injected sealing resin to form the sealing resin layer 6. [

필름 공급 및 부착 장치(150)는 접착용 수지 디스펜싱 유닛(adhesive resin dispensing unit)(40), 필름 피딩 유닛(50), 및 필름 부착 유닛(80)을 구비한다. 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)은 상기 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 접착용 수지(adhesive resin)를 도포하여 접착용 수지층(7)을 형성한다. 필름 피딩 유닛(film feeding unit)(50)은 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)(9)(도 8 참조)을 절단하여 형광 필름 조각(8)을 형성한다. 필름 부착 유닛(80)은 접착용 수지층(7)이 형성된 밀봉용 수지층(7)의 상측면에 형광 필름 조각(8)을 흡착하여 부착한다. 상기 제2 큐어링 유닛(160)은 상기 접착용 수지를 경화하여 형광 필름 조각(8)을 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 고정하고, 밀봉용 수지층(6)을 더욱 견고하게 경화하여 반도체 칩 패키지(1)를 완성한다. The film supply and adhering apparatus 150 includes an adhesive resin dispensing unit 40 for adhering, a film feeding unit 50, and a film attaching unit 80. The adhesive resin dispensing unit 40 forms an adhesive resin layer 7 by applying an adhesive resin to the upper surface of the sealing resin layer 6. A film feeding unit 50 cuts the unbroken and stretched phosphor film strip 9 (see FIG. 8) to form a piece of fluorescent film 8. The film attaching unit 80 adsorbs and attaches the fluorescent film pieces 8 to the upper surface of the sealing resin layer 7 on which the adhesive resin layer 7 is formed. The second curing unit 160 hardens the adhesive resin to fix the fluorescent film piece 8 on the upper surface of the sealing resin layer 6 and further hardens the sealing resin layer 6 So that the semiconductor chip package 1 is completed.

도 4는 도 3의 필름 공급 및 부착 장치의 일 실시예를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 5는 도 4의 피딩 유닛(feeding unit)의 일 예를 도시한 사시도이며, 도 6은 도 4의 접착용 수지 디스펜싱 유닛(adhesive resin dispensing unit)의 일 예를 도시한 사시도이다. 도 4를 참조하여 필름 공급 및 부착 장치(150)를 보다 상세히 설명하면, 필름 공급 및 부착 장치(150)는 캐리어(11)(도 2 참조)에 탑재된 반도체 칩 패키지 반제품(18)(도 1 참조)에 형광 필름 조각(8)(도 1 참조)을 부착하는 작업을 자동적 및 연속적으로 수행하는 장치이다. Fig. 4 is a plan view schematically showing one embodiment of the film supply and adhering apparatus of Fig. 3, Fig. 5 is a perspective view showing an example of a feeding unit of Fig. 4, FIG. 2 is a perspective view showing an example of an adhesive resin dispensing unit for adhering; FIG. 4, the film supply and adhering apparatus 150 includes a semiconductor chip package semi-finished product 18 (see FIG. 1) mounted on the carrier 11 (see FIG. 2) (See Fig. 1) to the fluorescent film piece 8 (see Fig. 1).

필름 공급 및 부착 장치(150)는 로딩 유닛(loading unit)(21), 피딩 유닛(feeding unit)(30), 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40), 필름 피딩 유닛(50), 필름 부착 유닛(80), 언로딩 유닛(unloading unit)(93), 및 콘트롤러(99)를 구비한다. 도 2, 도 4, 및 도 5를 함께 참조하면, 피딩 유닛(30)은 복수의 반도체 칩 패키지 반제품(18)(도 1 참조)이 탑재된 캐리어(11)를 Y축과 평행한 방향으로 이동시킨다. 상기 캐리어(11)는 Y축과 평행하게 연장된 이송 레일(31)에 올려져 이송 레일(31)을 따라 이송된다. 이송 레일(31)의 일 측에는 로딩 유닛(21)이 배치되고, 이송 레일(31)의 타 측에는 언로딩 유닛(93)이 배치된다. 로딩 유닛(21)은 반도체 칩 패키지 반제품(18)(도 1 참조)이 탑재된 캐리어(11)를 이송 레일(31)의 일 측에 순차적으로 로딩(loading)한다. 이렇게 로딩(loading)된 상기 반제품(18)은 이송 레일(31)을 따라 이동하며 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)과, 필름 부착 유닛(80)에 순차적으로 공급된다. The film supply and adhering apparatus 150 includes a loading unit 21, a feeding unit 30, a resin dispensing unit 40 for adhering, a film feeding unit 50, a film attaching unit 80, an unloading unit 93, and a controller 99. [0034] 2, 4 and 5, the feeding unit 30 moves the carrier 11 on which a plurality of semiconductor chip package semi-finished products 18 (see FIG. 1) are mounted in a direction parallel to the Y axis . The carrier 11 is loaded on a conveying rail 31 extending parallel to the Y-axis and is conveyed along the conveying rail 31. A loading unit 21 is disposed on one side of the conveying rail 31 and an unloading unit 93 is disposed on the other side of the conveying rail 31. The loading unit 21 sequentially loads the carrier 11 on which the semiconductor chip package semi-finished product 18 (see FIG. 1) is mounted on one side of the transfer rail 31. The semi-finished product 18 thus loaded moves along the feed rail 31 and is sequentially supplied to the resin dispenser unit 40 for adhering and the film attaching unit 80.

피딩 유닛(30)은 이송 레일(31)의 옆에 이송 레일(31)과 평행하게 연장된 왕복 바(bar)(33)와, 왕복 바(33)에서 이송 레일(31)을 향해 돌출된 복수의 이송 로드(rod)(35)와, 각 이송 로드(35)의 말단에서 아래로 돌출 연장된 이송 핀(pin)(36)을 구비한다. 왕복 바(33)는, 캐리어(11)에 탑재된 인접한 한 쌍의 리드프레임(14)의 간격만큼 왕복하고, 자신의 길이 방향 축선(軸線)을 중심으로 일정 각도만큼 시계 방향 및 반시계 방향으로 교번 회전한다. 이러한 구성에 따라, 왕복 바(33)가 반시계 방향으로 일정 각도만큼 회전하면 이송 핀(36)이 하강하여 그 하측 말단이 캐리어(11)의 이송 통공(12)에 삽입 체결되고, 왕복 바(33)가 Y축 양(+)의 방향과 평행하게 이동하여 캐리어(11) 및 이에 탑재된 복수의 리드프레임(14)이 일 피치(pitch)만큼 이동된다. 그리고, 왕복 바(33)가 시계 방향으로 일정 각도만큼 회전하면 이송 핀(36)이 상승하여 그 하측 말단이 상기 이송 통공(12)에서 이탈되고, 왕복 바(33)가 Y축 음(-)의 방향과 평행하게 원위치로 이동한다. 상기한 메커니즘의 반복으로 복수의 리드프레임(14) 및 이를 탑재한 캐리어(11)가 이송 레일(31)을 따라 한 피치씩 이동한다. 콘트롤러(99)는 다른 유닛들(21, 40, 50, 80, 93)의 동작과 타이밍(timing)을 맞춰 피딩 유닛(30)의 동작을 제어한다. The feeding unit 30 is provided with a reciprocating bar 33 extending parallel to the feed rail 31 on the side of the feed rail 31 and a plurality of bars 33 projecting toward the feed rail 31 from the reciprocating bar 33 And a transfer pin (pin) 36 protruding downward from the end of each transfer rod 35. The transfer rods 35, The reciprocating bar 33 reciprocates by a distance between a pair of adjacent lead frames 14 mounted on the carrier 11 and reciprocates in a clockwise and counterclockwise direction by a certain angle about its own longitudinal axis Alternate rotation. With this configuration, when the reciprocating bar 33 rotates counterclockwise by a predetermined angle, the feed pin 36 descends and its lower end is inserted into the feed through hole 12 of the carrier 11, 33 are moved in parallel to the positive (+) direction of the Y axis so that the carrier 11 and the plurality of lead frames 14 mounted thereon are shifted by one pitch. When the reciprocating bar 33 is rotated by a predetermined angle in the clockwise direction, the conveying pin 36 rises and the lower end of the conveying pin 33 is disengaged from the conveying through hole 12. When the reciprocating bar 33 is rotated in the Y- In parallel with the direction of the arrow. By the repetition of the above-described mechanism, the plurality of lead frames 14 and the carrier 11 on which the plurality of lead frames 14 are mounted move along the feed rail 31 at a pitch. The controller 99 controls the operation of the feeding unit 30 by aligning the timing with the operation of the other units 21, 40, 50, 80 and 93.

도 2, 도 4, 및 도 6을 함께 참조하면, 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)은 로딩 유닛(21)과 필름 부착 유닛(80) 사이에 배치된다. 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)의 동작 수행에 필요한 소요 시간이 필름 부착 유닛(80)의 동작 수행에 필요한 소요 시간보다 더 오래 소요되는 경향이 있으므로, 필름 공급 및 부착 장치(150)는 수율을 높이기 위해 하나의 필름 부착 유닛(80)과, 한 쌍의 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)을 구비할 수 있다. 2, 4, and 6, the resin dispenser unit 40 for adhering is disposed between the loading unit 21 and the film attaching unit 80. The time required for performing the operation of the resin dispensing unit 40 for bonding tends to be longer than the time required for performing the operation of the film attaching unit 80 so that the film supplying and attaching apparatus 150 A single film attaching unit 80 and a pair of adhesive resin dispensing units 40 may be provided.

접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)은 예컨대, OCA와 같은 유동성의 접착용 수지가 채워지는 시린지(syringe)(42)와, 시린지(42)를 수평 방향, 즉 X축 및 Y축에 각각 평행한 방향으로 이동시키는 시린지 구동기(44)를 구비한다. 시린지(42) 하단부에는 유동성의 수지가 배출되는 노즐(nozzle)(43)이 형성된다. 캐리어(11)에 탑재되어 이송 레일(31)을 따라 Y축 양(+)의 방향과 평행하게 이송되는 반도체 칩 패키지 반제품(18)(도 1 참조)이 시린지(42) 아래에 위치하면, 노즐(43)과 리드프레임(14)이 정렬되도록 시린지 구동기(44)가 시린지(42)를 평행 이동시키고, 노즐(43)을 통해 접착용 수지가 밀봉용 수지층(6)(도 1 참조)에 배출된다. 수지의 배출 방식은 예컨대, 작은 분량씩 간격(interval)을 두고 배출하는 도트(dot) 방식과, 끊어지지 않게 연속적으로 배출하는 라이트(write) 방식이 있다. 수지의 배출 도중에도 시린지 구동기(44)가 시린지(42)를 미세하게 이동시켜 수지를 적절하게 배분할 수 있다. 이때 콘트롤러(99)는 다른 유닛들(21, 30, 50, 80, 93)의 동작과 타이밍(timing)을 맞춰 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)의 동작을 제어한다.The resin dispenser unit 40 for adhering includes a syringe 42 filled with a fluid resin for adhesion such as OCA and a syringe 42 for holding the syringe 42 in a horizontal direction, And a syringe driver (44) for moving the syringe in the direction of the syringe. At the lower end of the syringe 42, there is formed a nozzle 43 through which a fluid resin is discharged. When the semiconductor chip package semi-finished product 18 (see Fig. 1), which is mounted on the carrier 11 and is transported along the transport rail 31 in parallel with the positive (+) direction of the Y axis is positioned below the syringe 42, The syringe 42 is moved in parallel by the syringe driver 44 so that the lead frame 43 and the lead frame 14 are aligned with each other and the adhesive resin is fed to the sealing resin layer 6 . The discharge method of the resin is, for example, a dot method in which discharge is performed with a small interval by intervals, and a write method in which the discharge is continuously performed without interruption. The syringe driver 44 can move the syringe 42 finely during the discharge of the resin to appropriately distribute the resin. At this time, the controller 99 controls the operation of the resin dispensing unit 40 for bonding according to the timing and timing of the operation of the other units 21, 30, 50, 80 and 93.

한편, 시린지(42)에 접착용 수지 대신 밀봉용 수지를 채우면, 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)을 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(120)(도 3 참조)으로 사용할 수도 있다. 이 경우, 로딩 유닛(21)에는 본딩 와이어(4)(도 1 참조)에 의해 결선된 반도체 칩(2)(도 1 참조)이 실장된, 복수의 리드프레임(14)이 탑재된 캐리어(11)가 장착된다. 상기 리드프레임(14)이 탑재된 캐리어(11)가 이송 레일(31)로 로딩(loading)되어 시린지(42) 아래에서 정지하면 시린지(42)에 수용된 밀봉용 수지가 리드프레임(14)의 홈(18) 내로 주입된다. 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)이 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(120)으로 사용될 때에는 리드프레임(14)이 탑재된 캐리어(11)가 로딩 유닛(21)에서 배출되어 언로딩 유닛(93)에 의해 수거될 때까지 필름 피딩 유닛(50)과, 필름 부착 유닛(90)이 동작 정지된다. On the other hand, if the syringe 42 is filled with the sealing resin instead of the adhesive resin, the resin dispenser unit 40 for bonding may be used as the sealing resin dispenser unit 120 (see Fig. 3). In this case, the loading unit 21 is provided with a plurality of lead frames 14 mounted with a semiconductor chip 2 (see Fig. 1) wired by a bonding wire 4 (see Fig. 1) Is mounted. When the carrier 11 on which the lead frame 14 is mounted is loaded on the conveying rail 31 and stops below the syringe 42, the sealing resin accommodated in the syringe 42 contacts the groove of the lead frame 14 (18). When the resin dispenser unit 40 for bonding is used as the resin dispenser unit 120 for sealing, the carrier 11 on which the lead frame 14 is mounted is discharged from the loading unit 21 to the unloading unit 93 The film feeding unit 50 and the film attaching unit 90 are stopped until they are collected.

도 7은 도 4의 필름 피딩 유닛(film feeding unit)의 일 예를 도시한 정면도이고, 도 8은 도 7의 형광 필름 언와인딩 롤러(phosphor film unwinding roller)에 장착되는 형광 필름 스트립 롤(phosphor film strip roll)을 도시한 사시도이며, 도 9는 도 4의 필름 부착 유닛의 일 예를 도시한 사시도이다. 도 4, 도 7, 및 도 8을 참조하면, 필름 피딩 유닛(50)은 필름 분리 다이(die)(62), 커터(cutter)(75), 필름 지지 로드(rod)(71), 형광 필름 언와인딩 롤러(unwinding roller)(52), 및 지지 테이프 리와인딩 롤러(rewinding roller)(54)를 구비한다. FIG. 7 is a front view showing an example of the film feeding unit of FIG. 4, and FIG. 8 is a cross-sectional view of a fluorescent film strip roll mounted on a phosphor film unwinding roller of FIG. FIG. 9 is a perspective view showing an example of the film attaching unit of FIG. 4; FIG. 4, 7, and 8, the film feeding unit 50 includes a film separating die 62, a cutter 75, a film supporting rod 71, An unwinding roller 52, and a rewinding roller 54 for supporting tape.

형광 필름 언와인딩 롤러(52)는 끊김 없이 길게 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)(9)과, 상기 형광 필름 스트립(9)을 밀착 지지하는 지지 테이프 스트립(19)이 함께 감겨져 형성된 형광 필름 스트립 롤(roll)(R1)이 장착되며, 상기 형광 필름 스트립 롤(R1)을 풀어 필름 분리 다이(62)로 공급한다. 상기 형광 필름 스트립 롤(R1)은, 형광 필름 언와이딩 롤러(52)에 장착되기에 앞서서, 형광 필름과 이를 밀착 지지하는 지지 테이프가 함께 감겨져 형성된 광폭(廣幅)의 롤(roll)을 일정 폭(WF) 간격으로 슬라이스(slice)하여 준비된다. 상기 형광 필름 스트립(9)의 폭(WF)은, 4각형으로 형성되는 형광 필름 조각(8)의 일 측면의 길이와 같다. The fluorescent film unwinding roller 52 includes a fluorescent film strip 9 extending continuously and a fluorescent film strip 9 formed by winding together a supporting tape strip 19 for supporting the fluorescent film strip 9 in close contact with the fluorescent film strip 9, A strip roll R1 is mounted and the fluorescent film strip roll R1 is unwound and fed to the film separating die 62. [ Before the fluorescent film strip roll R1 is mounted on the fluorescent film unwinding roller 52, a wide roll formed by winding a fluorescent film and a supporting tape closely supporting the fluorescent film is fixed And are sliced at a width (WF) interval. The width WF of the fluorescent film strip 9 is equal to the length of one side of the fluorescent film piece 8 formed in a tetragon.

지지 테이프 리와인딩 롤러(54)는 필름 분리 다이(62)에서 형광 필름 스트립(9)이 분리되고 남은 지지 테이프 스트립(19)을 회수하여 되감아 지지 테이프 스트립 롤(R2)을 형성한다. 지지 테이프 리와인딩 롤러(54)는 형광 필름 언와인딩 롤러(52)보다 아래에 배치된다. 형광 필름 언와인딩 롤러(52)에서 배출된 형광 필름 스트립(9)과 지지 테이프 스트립(19)은 제1 및 제2 가이드 롤러(56, 57)에 의해 필름 분리 다이(62)까지 안내되고, 필름 분리 다이(62)에서 지지 테이프 리와인딩 롤러(54)까지 형광 필름 스트립(9)이 제거된 지지 테이프 스트립(19)의 경로는 제3 내지 제5 가이드 롤러(58, 59, 60)에 의해 안내된다. The supporting tape rewinding roller 54 separates the fluorescent film strip 9 from the film separating die 62 and recovers the remaining supporting tape strip 19 to form the supporting tape strip roll R2. The support tape rewinding roller 54 is disposed below the fluorescent film unwinding roller 52. The fluorescent film strip 9 and the support tape strip 19 discharged from the fluorescent film unwinding roller 52 are guided to the film separating die 62 by the first and second guide rollers 56 and 57, The path of the support tape strip 19 from which the fluorescent film strip 9 is removed from the separation die 62 to the support tape rewinding roller 54 is guided by the third to fifth guide rollers 58, 59, do.

필름 분리 다이(62)는 형광 필름 스트립(9)과, 이를 밀착 지지하는 지지 테이프 스트립(19)에서 형광 필름 스트립(9)을 분리한다. 필름 분리 다이(62)는 단면이 쐐기 형상인 엣지(64)가 구비된 부재로서, 형광 필름 스트립(9)과 이를 밀착 지지하는 지지 테이프 스트립(19)이 진입하여 지지된 채 미끄러져 이동하는 상측면(66)과, 상측면(66) 말단과 예각(AA)을 형성하도록 경사진 경사면(67)을 구비한다. 지지 테이프 스트립(19)은 상기 경사면(67)을 따라 미끄러져 지지 테이프 리와인딩 롤러(54)를 향해 이동한다. The film separating die 62 separates the fluorescent film strip 9 from the fluorescent film strip 9 in the supporting tape strip 19 which closely supports the fluorescent film strip 9. The film separating die 62 is a member provided with a wedge-shaped edge 64. The film separating die 62 is provided with a fluorescent film strip 9 and a supporting tape strip 19 for supporting and supporting the fluorescent film strip 9, Side surface 66 and an inclined surface 67 that is inclined to form an acute angle AA with the upper surface 66 end. The support tape strip 19 slides along the inclined surface 67 and moves toward the supporting tape rewinding roller 54. [

상측면(66)과 경사면(67)이 만나는 일 측 단부에는 예각(acute angle)(AA)으로 돌출된 엣지(edge)(64)가 구비된다. 엣지(64)에서 지지 테이프 스트립(19)의 진행 방향이 급격하게 전환되며, 지지 테이프 스트립(19)이 엣지(64)를 통과할 때 형광 필름 스트립(9)이 지지 테이프 스트립(19)에서 이격되어 분리된다. An edge 64 protruding at an acute angle AA is provided at one side end where the upper side surface 66 and the inclined surface 67 meet. The advancing direction of the support tape strip 19 at the edge 64 is abruptly changed and the fluorescent film strip 9 is separated from the support tape strip 19 when the support tape strip 19 passes the edge 64 .

커터(75)는 블레이드(blade)가 상하로 승강하도록 구성되며, 지지 테이프 스트립(19)과 분리되어 엣지(64)를 벗어난 형광 필름 스트립(9)을 절단하여 형광 필름 조각(8)을 형성한다. 엣지(64)를 벗어난 형광 필름 스트립(9)의 길이가 하나의 형광 필름 조각(8)의 길이만큼 되도록 돌출된 때 커터(75)가 하강하여 절단하게 된다. 한편, 필름 지지 로드(71)는 커터(75)에 의해 절단되어 형성된 형광 필름 조각(8)을 바닥으로 낙하하지 않게 지지한다. The cutter 75 is configured such that a blade is vertically raised and lowered and separated from the supporting tape strip 19 to cut the fluorescent film strip 9 which is off the edge 64 to form the fluorescent film piece 8 . The cutter 75 is lowered and cut when the length of the fluorescent film strip 9 out of the edge 64 is protruded by the length of one piece of fluorescent film 8. On the other hand, the film support rod 71 supports the piece of fluorescent film 8 formed by cutting with the cutter 75 so as not to fall to the floor.

도 4, 도 7, 및 도 9를 함께 참조하면, 필름 부착 유닛(80)은 필름 지지 로드(71)에 지지된 형광 필름 조각(8)을 흡착하여 이송 레일(31)을 따라 이송되는 반도체 칩 패키지 반제품(18)(도 1 참조)에 부착한다. 형광 필름 조각(8)은 접착용 수지가 도포된 밀봉용 수지층(6)(도 1 참조)의 상측면에 부착된다. 필름 부착 유닛(80)은 필름 지지 로드(71)에 지지된 형광 필름 조각(8)을 진공 흡입에 의해 흡착하는 콜렛(collet)(82)과, 상기 콜렛(82)을 지지하며, 수평 및 수직 방향, 즉, X축, Y축, 및 Z축과 각각 평행한 방향으로 이동시키는 콜렛 구동기(84)를 구비한다. 콜렛(82)은 필름 지지 로드(71)의 연장선(VL) 상의 상부에 정렬되도록 이동하고 하강하여 필름 지지 로드(71)에 지지된 형광 필름 조각(8)을 흡착 픽업할 수 있다. 4, 7, and 9, the film attaching unit 80 is configured to attach the film piece 8 of the fluorescent film held by the film supporting rod 71 to the semiconductor chip To the package semi-finished product 18 (see Fig. 1). The fluorescent film piece 8 is attached to the upper side of the sealing resin layer 6 (see Fig. 1) coated with the adhesive resin. The film attaching unit 80 includes a collet 82 for sucking the piece of fluorescent film 8 supported by the film support rod 71 by vacuum suction and a collet 82 for supporting the collet 82, And a collet driver 84 that moves in directions parallel to the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis, respectively. The collet 82 moves and descends to align on the extension line VL of the film support rod 71 to pick up and pick up the piece of fluorescent film 8 supported by the film support rod 71. [

필름 부착 유닛(80)은 콜렛(82)에 흡착된 형광 필름 조각(8)의 흡착된 자세와 흡착된 지점을 감지하는 픽업 정렬 감지 센서(sensor)(89)를 더 구비한다. 상기 픽업 정렬 감지 센서(89)는 예컨대, 이미지 센서(미도시)를 구비한 카메라 모듈(camera module)일 수 있다. 콜렛(82)은 형광 필름 조각(8)의 정중앙 지점을 흡착하도록 설정되지만 실제로 흡착할 때에는 정중앙 지점에서 약간 벗어난 지점을 흡착할 수 있고, 필름 조각(8)이 흡착된 자세도 설정된 각도에서 약간 벗어날 수도 있다. 따라서, 형광 필름 조각(8)을 흡착한 콜렛(82)은 픽업 정렬 감지 센서(89)의 상측으로 이동하고, 픽업 정렬 감지 센서(89)가 흡착된 형광 필름 조각(8)을 촬상(撮像)한다. 콘트롤러(99)는 상기 촬상된 픽업 자세 및 픽업 지점에 관한 정보를 디폴트 값(default value)과 비교하여 오차를 산출하고, 콜렛(82)이 픽업 정렬 감지 센서(89)의 상측에서 이송 레일(31) 상측으로 이동하여 상기 반제품(18)의 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 형광 필름 조각(8)을 내려놓을 때 상기 오차를 감안하여 콜렛(82)의 이동 위치 및 자세, 즉 회전 각도를 미세하게 제어한다. 상기 반제품(18)의 상측에서 콜렛(82)이 진공 흡기(吸氣)를 멈추면 형광 필름 조각(8)이 중력에 의해 낙하하여 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 올려진다. The film attaching unit 80 further includes a pickup alignment sensor 89 that senses the adsorbed posture of the piece of fluorescent film 8 adsorbed on the collet 82 and the point of adsorption. The pickup alignment detection sensor 89 may be, for example, a camera module having an image sensor (not shown). The collet 82 is set so as to adsorb the center point of the fluorescent film piece 8 but when it is actually adsorbed, a point slightly off the center point can be adsorbed, and the posture in which the film piece 8 is attracted also slightly deviates from the set angle It is possible. The collet 82 that has adsorbed the fluorescent film piece 8 moves to the upper side of the pickup alignment detection sensor 89 and the pickup alignment detection sensor 89 picks up the fluorescent film piece 8 on which the fluorescent film piece 8 is adsorbed, do. The controller 99 compares the picked up posture and information about the picked up point with a default value to calculate an error and the collet 82 picks up the picked up alignment sensor 89 from the feed rail 31 To move the collet 82 to a position and a posture of the collet 82 in consideration of the error when the fluorescent film piece 8 is placed on the upper side of the sealing resin layer 6 of the semi-finished product 18, . When the collet 82 stops the vacuum suction at the upper side of the semi-finished product 18, the fluorescent film piece 8 is dropped by the gravity and is put on the upper side of the sealing resin layer 6. [

필름 부착 유닛(80)은 콜렛(82)에서 분리되어 상기 반제품(18)에 올려진 형광 필름 조각(8)이 접착용 수지층(7)(도 1 참조)에 밀착되도록 상기 형광 필름 조각(8)을 아래로 가압하는 가압 푸셔(pressing pusher)(87)를 더 구비한다. 가압 푸셔(87)는 상기 반제품(18)의 이송 레일(31) 상의 진행 방향을 따라 콜렛(82) 다음에 구비된다.The film attaching unit 80 is separated from the collet 82 and the fluorescent film pieces 8 are attached to the adhesive resin layer 7 (see FIG. 1) so that the fluorescent film pieces 8 loaded on the semi-finished product 18 are brought into close contact with the adhesive resin layer 7 And a pressing pusher 87 which presses downward the pressing plate 87. As shown in Fig. The pressing pusher 87 is provided after the collet 82 along the traveling direction of the semi-finished product 18 on the conveying rail 31.

언로딩 유닛(103)은 이송 레일(31)을 따라 이송 레일(31)의 타 측까지 진행한, 반도체 칩 패키지 반제품(18)이 복수의 리드프레임(14)이 탑재된 캐리어(11)(도 2 참조)를 언로딩(unloading)하여 수거한다. The unloading unit 103 is configured such that the semiconductor chip package semi-finished product 18 which has advanced to the other side of the conveyance rail 31 along the conveyance rail 31 is supported by the carrier 11 2) is unloaded and collected.

도 10은 도 7의 필름 피딩 유닛(film feeding unit)을 대체할 수 있는 다른 필름 피딩 유닛의 다른 일 예를 도시한 정면도이고, 도 11은 도 10의 필름 피딩 유닛이 실행하는 작업을 설명하기 위한 사시도이다. 도 10 및 도 11을 참조하면, 필름 피딩 유닛(250)은 형광 필름 언와인딩 롤러(252), 필름 분리 다이(die)(262), 커터(cutter)(275), 필름 조각 지지부(271), 지지 필름 리와인딩 롤러(rewinding roller)(254)를 구비한다. Fig. 10 is a front view showing another example of another film feeding unit which can replace the film feeding unit of Fig. 7, Fig. 11 is a front view showing the operation of the film feeding unit of Fig. It is a perspective view. 10 and 11, the film feeding unit 250 includes a fluorescent film unwinding roller 252, a film separating die 262, a cutter 275, a film piece supporting portion 271, And a support film rewinding roller 254.

형광 필름 언와인딩 롤러(252)는 끊김 없이 길게 연장된 복수의 형광 필름 스트립(phosphor film strip)(9)과, 상기 형광 필름 스트립(9)을 밀착 지지하는 지지 필름(20)이 함께 감겨져 형성된 형광 필름 롤(roll)(R3)이 장착되며, 상기 형광 필름 롤(R3)을 풀어 필름 분리 다이(262)로 공급한다. 복수의 형광 필름 스트립(9)은 그 폭(WF2) 방향으로 연이어 배치되고, 복수의 형광 필름 스트립(9)의 폭(WF2)을 합한 것과 같은 폭을 가진 지지 필름(20)에 의해 지지된다. 지지 필름(20)에 복수의 형광 필름 스트립(9)을 부착하고 이들을 함께 말아 형광 필름 롤(R3)을 형성할 수 있다. 한편, 형광 필름과 이를 밀착 지지하는 지지 필름이 함께 감겨져 형성된 광폭(廣幅)의 롤(roll)을 일정 폭(WF2) 간격으로 슬라이스(slice)하고 슬라이스된 복수의 롤을 함께 형광 필름 언와인딩 롤러(252)에 장착하여 형광 필름 롤(R3)을 형성할 수 있다. 상기 형광 필름 스트립(9)의 폭(WF2)은, 4각형으로 형성되는 형광 필름 조각(8)의 일 측면의 길이와 같다. The fluorescent film unwinding roller 252 includes a plurality of long fluorescent film strips 9 extended continuously and a support film 20 for supporting the fluorescent film strip 9 in close contact with each other, A film roll (R3) is mounted, and the fluorescent film roll (R3) is unwound and fed to the film separating die (262). The plurality of fluorescent film strips 9 are arranged in the direction of the width WF2 and are supported by the supporting film 20 having the same width as the sum of the widths WF2 of the plurality of fluorescent film strips 9. [ A plurality of fluorescent film strips 9 may be attached to the support film 20 and rolled together to form a fluorescent film roll R3. Meanwhile, a wide roll formed by winding a fluorescent film and a supporting film closely supporting it is sliced at a predetermined width (WF2), and a plurality of sliced rolls are wound together with a fluorescent film unwinding roller The fluorescent film roll R 3 can be formed. The width WF2 of the fluorescent film strip 9 is the same as the length of one side of the fluorescent film piece 8 formed in a tetragon.

지지 필름 리와인딩 롤러(254)는 필름 분리 다이(262)에서 복수의 형광 필름 스트립(9)이 분리되고 남은 지지 필름(20)을 회수하여 되감아 지지 필름 롤(R4)을 형성한다. 지지 필름 리와인딩 롤러(254)는 형광 필름 언와인딩 롤러(252)보다 아래에 배치된다. 형광 필름 언와인딩 롤러(252)에서 배출된 복수의 형광 필름 스트립(9)과 지지 필름(20)은 제1 및 제2 가이드 롤러(256, 257)에 의해 필름 분리 다이(262)까지 안내되고, 필름 분리 다이(262)에서 지지 필름 리와인딩 롤러(254)까지 복수의 형광 필름 스트립(9)이 제거된 지지 필름(20)의 경로는 제3 내지 제5 가이드 롤러(258, 259, 260)에 의해 안내된다. The support film rewinding roller 254 separates the plurality of fluorescent film strips 9 from the film separating die 262 and recovers the remaining support film 20 to form the supporting film roll R4. The support film rewinding roller 254 is disposed below the fluorescent film unwinding roller 252. The plurality of fluorescent film strips 9 and the supporting film 20 discharged from the fluorescent film unwinding roller 252 are guided to the film separating die 262 by the first and second guide rollers 256 and 257, The path of the support film 20 from which the plurality of fluorescent film strips 9 are removed from the film separating die 262 to the support film rewinding roller 254 passes through the third to fifth guide rollers 258, 259 and 260 .

필름 분리 다이(262)는 형광 필름 언와인딩 롤러(252)에서 공급된 복수의 형광 필름 스트립(9)을 지지 필름(20)과 분리한다. 필름 분리 다이(262)는 단면이 쐐기 형상인 엣지(264)가 구비된 부재로서, 복수의 형광 필름 스트립(9)과 이를 밀착 지지하는 지지 필름(20)이 진입하여 지지된 채 미끄러져 이동하는 상측면(266)과, 상측면(266) 말단과 예각(AA2)을 형성하도록 경사진 경사면(267)을 구비한다. 지지 필름(20)은 상기 경사면(267)을 따라 미끄러져 지지 필름 리와인딩 롤러(254)를 향해 이동한다. The film separating die 262 separates the plurality of fluorescent film strips 9 supplied from the fluorescent film unwinding roller 252 from the supporting film 20. The film separating die 262 is a member provided with an edge 264 having a wedge-shaped cross section. The plurality of fluorescent film strips 9 and the supporting film 20 which closely supports the film strips 9 are slid and moved An upper surface 266 and an inclined surface 267 inclined to form an acute angle AA2 with the distal end of the upper surface 266. The support film 20 slides along the slope 267 and moves toward the supporting film rewinding roller 254. [

상측면(266)과 경사면(267)이 만나는 일 측 단부에는 예각(acute angle)(AA2)으로 돌출된 엣지(edge)(264)가 구비된다. 엣지(264)에서 지지 필름(20)의 진행 방향이 급격하게 전환되며, 지지 필름(20)이 엣지(264)를 통과할 때 복수의 형광 필름 스트립(9)이 지지 필름(20)에서 이격되어 분리된다. An edge 264 protruding at an acute angle AA2 is provided at one side end where the upper side 266 and the inclined surface 267 meet. The advancing direction of the support film 20 at the edge 264 is abruptly changed and a plurality of fluorescent film strips 9 are spaced apart from the support film 20 when the support film 20 passes the edge 264 Separated.

커터(275)는 블레이드(blade)가 상하로 승강하도록 구성되며, 지지 필름(20)과 분리되어 엣지(264)를 벗어난 복수의 형광 필름 스트립(9)을 절단하여 형광 필름 스트립(9)의 개수와 같은 개수의 형광 필름 조각(8)을 형성한다. 엣지(264)를 벗어난 복수의 형광 필름 스트립(9)의 길이가 하나의 형광 필름 조각(8)의 길이만큼 되도록 돌출된 때 커터(275)가 하강하여 절단하게 된다. 한편, 필름 조각 지지부(271)는 커터(275)에 의해 절단되어 형성된 복수의 형광 필름 조각(8)을 필름 부착 유닛(80)(도 9 참조)에 흡착될 때까지 바닥으로 낙하하지 않게 지지한다. 필름 조각 지지부(271)는 도 11에 도시된 바와 같은 블록 형태에 한정되는 것은 아니며, 도 7에 도시된 필름 지지 로드(71)를 커팅 형성되는 형광 필름 조각(8)의 개수와 같은 수로 구비하여 구성될 수도 있다.The cutter 275 is configured such that a blade is vertically raised and lowered to cut a plurality of fluorescent film strips 9 separated from the edge film 264 and separated from the support film 20 to form a number of fluorescent film strips 9 The number of the fluorescent film pieces 8 is equal to the number of the fluorescent film pieces 8. The cutter 275 is lowered and cut when the length of the plurality of fluorescent film strips 9 that are out of the edge 264 is protruded by the length of one piece of fluorescent film 8. On the other hand, the film piece supporting portion 271 supports the plurality of fluorescent film pieces 8 formed by cutting by the cutter 275 so as not to fall to the bottom until they are adsorbed by the film attaching unit 80 (see Fig. 9) . The film support part 271 is not limited to the block shape shown in FIG. 11, but may be provided in the same number as the number of pieces of the fluorescent film 8 to be cut by the film support rod 71 shown in FIG. 7 .

도 9에 도시된 필름 부착 유닛(80)의 콜렛(82)은 커팅 형성된 복수의 형광 필름 조각(8)을 순차적으로 하나씩 픽업(pick-up)하여 반도체 칩 패키지 반제품(18)의 상측면에 올려 놓는다. 필름 조각 지지부(271)에 지지된 복수의 형광 필름 조각(8)이 모두 콜렛(82)에 의해 픽업될 때까지는 복수의 형광 필름 스트립(9)은 전진하지 않고 잠시 멈춰 대기하며, 필름 조각 지지부(271)에서 모든 형광 필름 조각(8)이 없어지면 복수의 형광 필름 스트립(9)이 다시 전진하고 커팅(cutting)이 진행된다. The collet 82 of the film attaching unit 80 shown in Fig. 9 picks up a plurality of cut pieces of fluorescent film pieces 8 one by one and places them on the upper side of the semiconductor chip package semi-finished product 18 Leave. The plurality of fluorescent film strips 9 are not pushed forward until they are all picked up by the collet 82 while the plurality of fluorescent film pieces 8 supported by the film piece supporting portion 271 are picked up by the collet 82, 271, the plurality of fluorescent film strips 9 are advanced again and cutting proceeds when all the fluorescent film pieces 8 are removed.

도 12는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 방법을 나타낸 플로우 차트이다. 이하에서, 도 1 내지 도 4, 및 도 10을 함께 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 방법을 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칩 패키지 제조 방법은, LED 패키지(1)를 제조하는 방법으로서, 반도체 칩 실장 단계(S10), 밀봉용 수지 주입 단계(S20), 밀봉용 수지 경화 단계(S30), 및 형광 필름 조각 부착 단계(S40)를 구비한다. 복수의 리드프레임(14)이 캐리어(11)에 탑재된 채로 상기한 과정이 순차적으로 진행된다. 반도체 칩 실장 단계(S10)는 리드프레임(14)의 홈(18)에 반도체 칩(2), 즉 LED를 실장하고, 리드프레임(14)의 단자와 반도체 칩(2)의 단자를 와이어(4) 본딩(bonding)하는 단계로서, 반도체 칩 실장 유닛(110)에서 진행될 수 있다. 12 is a flowchart showing a method of manufacturing a semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a method of manufacturing a semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4 and FIG. A method for manufacturing an LED package 1 according to an embodiment of the present invention includes a semiconductor chip mounting step S10, a sealing resin injecting step S20, a sealing resin curing step S30, , And a fluorescent film piece attaching step (S40). The above process is sequentially performed while a plurality of lead frames 14 are mounted on the carrier 11. [ In the semiconductor chip mounting step S10, the semiconductor chip 2, that is, the LED is mounted on the groove 18 of the lead frame 14, and the terminals of the lead frame 14 and the terminals of the semiconductor chip 2 are connected to the wires 4 ) Bonding, which may be performed in the semiconductor chip mounting unit 110. [

밀봉용 수지 주입 단계(S20)는 반도체 칩(2)이 탑재된 리드프레임(14)의 홈(18)에 밀봉용 수지를 주입하여 반도체 칩(2)을 밀봉하는 단계로서, 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(120)에서 진행될 수 있다. 밀봉용 수지 경화 단계(S30)는 상기 홈(18)에 주입된 밀봉용 수지를 경화시켜 밀봉용 수지층(6)을 형성하는 단계로서, 제1 큐어링 유닛(curing unit)에서 진행될 수 있다. 밀봉용 수지의 종류에 따라 열을 가하거나, 자외선(UV)을 조사(照射)하여 밀봉용 수지를 경화시킬 수 있다.The sealing resin injecting step S20 is a step of sealing the semiconductor chip 2 by injecting a sealing resin into the groove 18 of the lead frame 14 on which the semiconductor chip 2 is mounted, Unit 120. < / RTI > The sealing resin curing step S30 is a step of curing the sealing resin injected into the groove 18 to form the sealing resin layer 6, and may proceed in a first curing unit. Depending on the type of the sealing resin, heat can be applied or the sealing resin can be cured by irradiating ultraviolet rays (UV).

형광 필름 조각 부착 단계(S40)는 접착용 수지 도포 단계(S41)와, 형광 필름 스트립 공급 단계(S42)와, 형광 필름 조각 형성 단계(S43)와, 형광 필름 조각 픽업(pick-up) 단계(S44)와, 형광 필름 조각 탑재 단계(S45)와, 형광 필름 조각 가압 단계(S46)를 구비한다. 형광 필름 조각 부착 단계(S40)는 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 형광 필름 조각(8)을 부착하는 단계로서, 수지 디스펜싱 유닛(40)의 시린지(42)에 접착용 수지(7)를 채우고, 반도체 칩 패키지 반제품(18)을 로딩(loading)하고, 필름 공급 및 부착 장치(150)를 작동시켜 구현할 수 있다. The fluorescent film piece attaching step S40 includes a resin application step S41 for bonding, a fluorescent film strip supplying step S42, a fluorescent film piece forming step S43, a fluorescent film piece pick- S44), a fluorescent film piece mounting step (S45), and a fluorescent film piece pressing step (S46). The fluorescent film piece attaching step S40 is a step of attaching the fluorescent film piece 8 to the upper surface of the sealing resin layer 6 and attaching the resin resin 7 (7) to the syringe 42 of the resin dispensing unit 40 ), Loading the semiconductor chip package semi-finished product 18, and operating the film supply and adhering apparatus 150 to implement.

접착용 수지 도포 단계(S41)는 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 접착용 수지를 도포하는 단계로서 접착용 수지 디스펜싱 유닛(40)의 동작으로 구현된다. 형광 필름 스트립 공급 단계(S42)는 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(9)(도 7 또는 도 10 참조)을 공급하는 단계이다. 이 단계(S42)에서 하나의 형광 필름 스트립(9)과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립(19)(도 7 참조)이 필름 분리 다이(62)(도 7 참조)로 공급되거나, 복수의 형광 필름 스트립(9)(도 11 참조)과 이를 지지하는 지지 필름(20)(도 10 참조)이 필름 분리 다이(262)(도 11 참조)로 공급될 수 있다. The adhesive resin application step S41 is implemented by the operation of the resin dispensing unit 40 for bonding as a step of applying an adhesive resin to the upper side of the sealing resin layer 6. The fluorescent film strip feeding step S42 is a step of supplying the fluorescent film strip 9 (see FIG. 7 or 10) which is not cut off. In this step S42, one fluorescent film strip 9 and a supporting tape strip 19 (see Fig. 7) supporting it are supplied to the film separating die 62 (see Fig. 7), or a plurality of fluorescent film strips (See Fig. 11) and the support film 20 (see Fig. 10) for supporting the same can be supplied to the film separating die 262 (see Fig. 11).

형광 필름 조각 형성 단계(S43)는 상기 형광 필름 스트립(9)을 절단하여 형광 필름 조각(8)을 형성하는 단계이다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 형광 필름 조각 형성 단계(S43)는, 필름 분리 다이(62)에서 형광 필름 스트립(9)을 지지 테이프 스트립(19)과 분리하는 단계와, 상기 지지 테이프 스트립(19)에서 분리된 형광 필름 스트립(9)을 형광 필름 조각(8)이 되도록 커터(75)로 절단하는 단계를 포함할 수 있다. 또는 도 10 및 도 11을 참조하면, 형광 필름 조각 형성 단계(S43)는, 필름 분리 다이(262)에서 복수의 형광 필름 스트립(9)을 지지 필름(20)과 분리하는 단계와, 상기 지지 필름(20)에서 분리된 복수의 형광 필름 스트립(9)을 형광 필름 스트립(9)의 개수와 같은 개수의 형광 필름 조각(8)이 되도록 커터(275)로 절단하는 단계를 포함할 수 있다. The fluorescent film piece forming step S43 is a step of cutting the fluorescent film strip 9 to form a fluorescent film piece 8. 7 and 8, the fluorescent film piece forming step S43 includes the steps of separating the fluorescent film strip 9 from the supporting tape strip 19 in the film separating die 62, And cutting the fluorescent film strip 9 separated by the cutter 75 into the fluorescent film piece 8. 10 or 11, the fluorescent film piece forming step S43 includes a step of separating the plurality of fluorescent film strips 9 from the supporting film 20 in the film separating die 262, Cutting the plurality of fluorescent film strips 9 separated from the fluorescent film strip 20 into cutter pieces 275 to be the same number of fluorescent film pieces 8 as the number of fluorescent film strips 9.

형광 필름 조각 픽업 단계(S44)는 상기 형광 필름 조각(8)을 흡착하는 단계이다. 형광 필름 조각 탑재 단계(S45)는 상기 흡착된 형광 필름 조각(8)을 접착용 수지가 도포된 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 올려 놓는 단계이다. 형광 필름 조각 가압 단계(S46)는 상기 형광 필름 조각(8)이 상기 밀봉용 수지층(6)의 상측면에 고정되도록 가압하는 단계이다. 상기 형광 필름 조각(9)과 분리된 지지 테이프 스트립(19)은 지지 테이프 리와인딩 롤러(54)(도 7 참조)에 의해 회수된다. 더욱 구체적인 형광 필름 조각 부착 단계(S40)에 대한 설명은 앞서 도 7 내지 도 9를 참조하여 이미 설명한 바 있으므로 중복된 설명은 생략한다. The fluorescent film piece pick-up step (S44) is a step of adsorbing the fluorescent film piece (8). The step of mounting the fluorescent film pieces S45 is a step of placing the adsorbed fluorescent film pieces 8 on the upper side of the sealing resin layer 6 to which the adhesive resin is applied. The fluorescent film piece pressing step S46 is a step of pressing the fluorescent film piece 8 so as to be fixed to the upper surface of the sealing resin layer 6. [ The support tape strip 19 separated from the fluorescent film piece 9 is recovered by the support tape rewinding roller 54 (see Fig. 7). A more specific description of the fluorescent film piece attaching step (S40) has already been described with reference to Figs. 7 to 9, and thus a duplicated description will be omitted.

형광 필름 조각 부착 단계(S40) 후 필름 공급 및 부착 장치(150) 외부로 배출된 리드프레임(14)은 추가적인 제2 큐어링 유닛(160)에서 큐어링(curing) 과정을 통해 LED 패키지(1)로 완성될 수 있다. The lead frame 14 discharged outside the film feeding and attaching device 150 after the fluorescent film piece attaching step S40 is cured by the additional second curing unit 160 to form the LED package 1, . ≪ / RTI >

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

1: LED 패키지 8: 형광 필름 조각
21: 로딩 유닛 30: 피딩 유닛
31: 이송 레일 40: 접착용 수지 디스펜싱 유닛
50: 필름 피딩 유닛 62: 필름 분리 다이
75: 커터 80: 필름 부착 유닛
93: 언로딩 유닛 150: 필름 공급 및 부착 장치
1: LED package 8: fluorescent film piece
21: loading unit 30: feeding unit
31: feed rail 40: resin dispensing unit for bonding
50: Film feeding unit 62: Film separation die
75: Cutter 80: Film attaching unit
93: Unloading unit 150: Film feeding and attaching device

Claims (18)

삭제delete 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit); 및,
리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit);을 구비하고,
상기 필름 피딩 유닛은:
상기 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립에서 상기 형광 필름 스트립을 분리하는 필름 분리 다이(die);
상기 지지 테이프 스트립과 분리된 상기 형광 필름 스트립을 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 커터(cutter);
상기 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립이 감긴 롤(roll)을 풀어 상기 필름 분리 다이로 공급하는 형광 필름 언와인딩 롤러(unwinding roller); 및,
상기 형광 필름 스트립이 분리되고 남은 상기 지지 테이프 스트립을 회수하여 되감는 지지 테이프 리와인딩 롤러(rewinding roller);를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
A film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film; And
A film attaching unit for adhering and attaching the piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package including a lead frame, a semiconductor chip mounted on the lead frame, and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip, an attaching unit,
Said film feeding unit comprising:
A film separating die for separating the fluorescent film strip from the fluorescent film strip and a supporting tape strip for supporting the fluorescent film strip;
A cutter for cutting the fluorescent film strip separated from the support tape strip into a piece of fluorescent film;
A fluorescent film unwinding roller for releasing a roll wound on the fluorescent film strip and a supporting tape strip for supporting the fluorescent film strip to supply the film to the film separating die; And
And a support tape rewinding roller for recovering and rewinding the remaining support tape strips after separating the fluorescent film strip.
제2 항에 있어서,
상기 필름 분리 다이는, 상기 지지 테이프 스트립의 진행 방향을 전환시키는, 예각(acute angle)으로 돌출된 엣지(edge)를 구비하고, 상기 지지 테이프 스트립이 상기 엣지를 통과할 때 상기 형광 필름 스트립이 상기 지지 테이프 스트립에서 분리되도록 구성된 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the film separating die has an edge protruding at an acute angle for changing a traveling direction of the supporting tape strip, and when the supporting tape strip passes the edge, And is configured to separate from the support tape strip.
제2 항에 있어서,
상기 필름 피딩 유닛은, 절단되어 형성된 형광 필름 조각을 상기 필름 부착 유닛에 의해 흡착될 때까지 지지하는 필름 지지 로드(rod)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the film feeding unit further comprises a film supporting rod for supporting the piece of fluorescent film formed by cutting until the piece of fluorescent film is sucked by the film attaching unit.
끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit); 및,
리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit);을 구비하고,
상기 필름 피딩 유닛은:
상기 형광 필름 스트립을 복수 개 구비하고, 상기 복수의 형광 필름 스트립은 상기 형광 필름 스트립의 폭 방향으로 연이어 배치되며,
상기 복수의 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 필름이 감긴 롤(roll)을 풀어 공급하는 형광 필름 언와인딩 롤러;
상기 형광 필름 언와인딩 롤러에서 공급된 상기 복수의 형광 필름 스트립을 상기 지지 필름과 분리하는 필름 분리 다이(die);
상기 지지 필름과 분리된 상기 복수의 형광 필름 스트립을 상기 형광 필름 스트립의 개수와 같은 개수의 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 커터(cutter); 및,
상기 복수의 형광 필름 스트립이 분리되고 남은 상기 지지 필름을 회수하여 되감는 지지 필름 리와인딩 롤러;를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
A film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film; And
A film attaching unit for adhering and attaching the piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package including a lead frame, a semiconductor chip mounted on the lead frame, and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip, an attaching unit,
Said film feeding unit comprising:
Wherein the plurality of fluorescent film strips are arranged in the width direction of the fluorescent film strip,
A plurality of fluorescent film strips and a supporting film for supporting the plurality of fluorescent film strips;
A film separating die for separating the plurality of fluorescent film strips supplied from the fluorescent film unwinding roller from the supporting film;
A cutter for cutting the plurality of fluorescent film strips separated from the support film into a number of fluorescent film pieces equal in number to the number of fluorescent film strips; And
And a support film rewinding roller for recovering and rewinding the remaining support film separated from the plurality of fluorescent film strips.
제5 항에 있어서,
상기 필름 분리 다이는, 상기 지지 필름의 진행 방향을 전환시키는, 예각(acute angle)으로 돌출된 엣지(edge)를 구비하고, 상기 지지 필름이 상기 엣지를 통과할 때 상기 복수의 형광 필름 스트립이 상기 지지 필름에서 분리되도록 구성된 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the film separating die has an edge protruding at an acute angle for changing a traveling direction of the supporting film, and when the supporting film passes the edge, the plurality of fluorescent film strips And is configured to separate from the support film.
제5 항에 있어서,
상기 필름 피딩 유닛은, 상기 커터에 의해 절단되어 형성된 상기 복수의 형광 필름 조각을 상기 필름 부착 유닛에 의해 흡착될 때까지 지지하는 필름 조각 지지부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the film feeding unit further comprises a film piece supporting portion for supporting the plurality of pieces of fluorescent film formed by cutting by the cutter until the film is attached by the film attaching unit.
끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit); 및,
리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit);을 구비하고,
상기 형광 필름 스트립의 폭은 상기 형광 필름 조각의 일 측면의 길이와 같은 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
A film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film; And
A film attaching unit for adhering and attaching the piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package including a lead frame, a semiconductor chip mounted on the lead frame, and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip, an attaching unit,
Wherein the width of the fluorescent film strip is equal to the length of one side of the fluorescent film piece.
삭제delete 끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit); 및,
리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit);을 구비하고,
상기 필름 부착 유닛은, 상기 형광 필름 조각을 흡착하고 운반하여 상기 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 내려놓는 콜렛(collet)을 구비하며,
상기 필름 부착 유닛은, 상기 콜렛에 흡착된 형광 필름 조각의 흡착된 자세와 흡착 지점을 감지하는 픽업 정렬 감지 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
A film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film; And
A film attaching unit for adhering and attaching the piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package including a lead frame, a semiconductor chip mounted on the lead frame, and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip, an attaching unit,
Wherein the film attaching unit has a collet for sucking and transporting the piece of fluorescent film and placing it on the upper side of the semi-finished product of the semiconductor chip package,
Wherein the film attaching unit further comprises a pickup alignment detection sensor for detecting an adsorption attitude and an adsorption point of a piece of fluorescent film adsorbed on the collet.
끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit); 및,
리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit);을 구비하며,
상기 필름 부착 유닛은, 상기 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 놓여진 형광 필름 조각을 상기 상측면 측으로 가압하는 가압 푸셔(pressing pusher)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
A film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film; And
A film attaching unit for adhering and attaching the piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package including a lead frame, a semiconductor chip mounted on the lead frame, and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip, an attaching unit,
Wherein the film attaching unit further comprises a pressing pusher for pressing the piece of fluorescent film placed on the upper side of the semi-finished product of the semiconductor chip package to the upper side.
끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립(phosphor film strip)을 공급하고, 그 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 필름 피딩 유닛(film feeding unit);
리드프레임과, 상기 리드프레임에 실장된 반도체 칩과, 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지층을 구비한 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에, 상기 형광 필름 조각을 흡착하여 부착하는 필름 부착 유닛(film attaching unit);
상기 반도체 칩 패키지 반제품이 상기 필름 부착 유닛에 공급되도록 로딩(loading)하는 로딩 유닛(loading unit);
상기 형광 필름 조각이 상기 반도체 칩 패키지 반제품의 상측면에 접착 고정되도록 상기 상측면에 접착용 수지를 도포하는 접착용 수지 디스펜싱 유닛(adhesive resin dispensing unit); 및,
상기 형광 필름 조각이 부착된 상기 반도체 칩 패키지 반제품을 언로딩(unloading)하여 수거하는 언로딩 유닛(unloading unit);을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 공급 및 부착 장치.
A film feeding unit for supplying an unbroken stretched phosphor film strip and cutting the fluorescent film strip to form a piece of fluorescent film;
A film attaching unit for adhering and attaching the piece of fluorescent film onto an upper surface of a semi-finished product of a semiconductor chip package including a lead frame, a semiconductor chip mounted on the lead frame, and a sealing resin layer for sealing the semiconductor chip, attaching unit);
A loading unit for loading the semiconductor chip package semi-finished product to be supplied to the film attaching unit;
An adhesive resin dispensing unit for applying an adhesive resin to the upper surface of the semiconductor chip package so that the piece of fluorescent film is adhered to the upper surface of the semi-finished product of the semiconductor chip package; And
And an unloading unit for unloading and collecting the semi-finished product of the semiconductor chip package with the piece of fluorescent film attached thereto.
리드프레임에 반도체 칩을 실장(mount)하는 반도체 칩 실장 유닛;
상기 반도체 칩이 밀봉(sealing)되도록 밀봉용 수지를 주입하는 밀봉용 수지 디스펜싱 유닛(sealing resin dispensing unit);
상기 밀봉용 수지를 경화시켜 밀봉용 수지층을 형성하는 큐어링 유닛(curing unit); 및,
제2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 10, 11, 12 항 중 어느 한 항의 필름 공급 및 부착 장치;를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 제조 장치.
A semiconductor chip mounting unit for mounting a semiconductor chip on a lead frame;
A sealing resin dispensing unit for injecting a sealing resin so that the semiconductor chip is sealed;
A curing unit for curing the sealing resin to form a sealing resin layer; And
The apparatus for manufacturing a semiconductor chip package according to any one of claims 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 10, 11 and 12.
리드프레임에 반도체 칩을 실장(mount)하는 반도체 칩 실장 단계;
밀봉용 수지를 주입하여 상기 반도체 칩을 밀봉하는 밀봉용 수지 주입 단계;
상기 주입된 밀봉용 수지를 경화시켜 밀봉용 수지층을 형성하는 밀봉용 수지 경화 단계; 및,
상기 밀봉용 수지층의 상측면에 형광 필름 조각을 부착하는 형광 필름 조각 부착 단계;를 구비하고, 상기 형광 필름 조각 부착 단계는:
끊어지지 않고 연장된 형광 필름 스트립을 공급하는 형광 필름 스트립 공급 단계;
상기 형광 필름 스트립을 절단하여 형광 필름 조각을 형성하는 형광 필름 조각 형성 단계;
상기 형광 필름 조각을 흡착하는 형광 필름 조각 픽업(pick-up) 단계; 및,
상기 흡착된 형광 필름 조각을 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 올려 놓는 형광 필름 조각 탑재 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 제조 방법.
A semiconductor chip mounting step of mounting a semiconductor chip on a lead frame;
A sealing resin injecting step of injecting a sealing resin to seal the semiconductor chip;
A sealing resin curing step of curing the injected sealing resin to form a sealing resin layer; And
And attaching a fluorescent film piece to an upper side of the sealing resin layer, wherein the fluorescent film piece attaching step comprises:
A fluorescent film strip supplying step of supplying an unbroken extended fluorescent film strip;
A fluorescent film strip forming step of cutting the fluorescent film strip to form a fluorescent film strip;
A pick-up step of picking up the fluorescent film piece to absorb the fluorescent film piece; And
And placing a piece of the fluorescent film on the upper side of the sealing resin layer.
제14 항에 있어서,
상기 형광 필름 스트립 공급 단계는, 상기 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 테이프 스트립을 필름 분리 다이(die)로 공급하는 단계를 포함하고,
상기 형광 필름 조각 형성 단계는, 상기 필름 분리 다이에서 상기 형광 필름 스트립을 상기 지지 테이프 스트립과 분리하는 단계와, 상기 지지 테이프 스트립에서 분리된 형광 필름 스트립을 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein the step of supplying the fluorescent film strip comprises supplying the fluorescent film strip and a supporting tape strip supporting the fluorescent film strip to a film separating die,
The step of forming the fluorescent film piece includes the steps of separating the fluorescent film strip from the supporting tape strip in the film separating die and cutting the fluorescent film strip separated from the supporting tape strip into a piece of fluorescent film Wherein the semiconductor chip package is a semiconductor package.
제14 항에 있어서,
상기 형광 필름 스트립은 복수 개 구비되고, 상기 복수의 형광 필름 스트립은 그 폭 방향으로 연이어 배치되며,
상기 형광 필름 스트립 공급 단계는, 상기 복수의 형광 필름 스트립과 이를 지지하는 지지 필름을 필름 분리 다이(die)로 공급하는 단계를 포함하고,
상기 형광 필름 조각 형성 단계는, 상기 필름 분리 다이에서 상기 복수의 형광 필름 스트립을 상기 지지 필름과 분리하는 단계와, 상기 지지 필름에서 분리된 복수의 형광 필름 스트립을 상기 형광 필름 스트립의 개수와 같은 개수의 형광 필름 조각이 되도록 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein a plurality of the fluorescent film strips are provided, and the plurality of fluorescent film strips are arranged successively in the width direction thereof,
Wherein the step of supplying the fluorescent film strips includes supplying the plurality of fluorescent film strips and a supporting film for supporting the plurality of fluorescent film strips to a film separating die,
Wherein the step of forming the fluorescent film piece comprises the steps of: separating the plurality of fluorescent film strips from the supporting film in the film separating die; separating the plurality of fluorescent film strips separated from the supporting film into a number Of the fluorescent film of the semiconductor chip package.
제14 항에 있어서,
상기 형광 필름 조각 부착 단계는, 상기 형광 필름 조각 탑재 단계에 앞서서 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 접착용 수지를 도포하는 접착용 수지 도포 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein the step of attaching the fluorescent film piece further comprises a step of applying a resin for bonding to apply an adhesive resin to the upper surface of the sealing resin layer prior to the step of mounting the fluorescent film piece.
제14 항에 있어서,
상기 형광 필름 조각 부착 단계는, 상기 형광 필름 조각이 상기 밀봉용 수지층의 상측면에 고정되도록 가압하는 형광 필름 조각 가압 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein the step of attaching the fluorescent film piece further comprises a step of pressing the fluorescent film piece so that the piece of fluorescent film is fixed on the upper side of the sealing resin layer.
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