KR101530388B1 - 전기 광학 장치 및 전자 기기 - Google Patents

Abstract

[과제]

절단된 단락용 배선에 의한, 의도하지 않은 용량성 커플링의 발생을 억제한다.

[해결 수단]

전기 광학 장치는, 기판 (10) 상에, 서로 교차하는 복수의 주사선 (11a) 및 복수의 데이터선 (6a) 과, 복수의 주사선 및 복수의 데이터선의 교차에 대응하여 형성된 복수의 화소 전극 (9a) 과, 복수의 화소 전극이 형성된 화소 영역 (10a) 의 주변에 위치하는 주변 영역에 형성되고, 제조 공정에 있어서 복수의 주사선을 서로 단락시키는 본선부 및 그 본선부로부터 복수의 데이터선과 교차하도록 연장되는 연장부를 갖는 단락용 배선 (700) 과, 소정 전위가 공급됨과 함께 연장부에 전기적으로 접속된 정전위 배선 (605) 을 구비한다. 정전위 배선이 단락용 배선의 연장부에 전기적으로 접속됨으로써, 연장부의 전위가 확정되어, 의도하지 않는 용량성 커플링의 발생을 억제할 수 있다.

전기 광학 장치, 화소 전극, 주사선, 데이터선, 용량성 커플링

Description

전기 광학 장치 및 전자 기기{ELECTRO-OPTICAL DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS}

본 발명은, 예를 들어 액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치 및 그 전기 광학 장치를 구비하는, 예를 들어 액정 프로젝터 등의 전자 기기의 기술 분야에 관한 것 이다.

이런 종류의 전기 광학 장치로서 예를 들어, 제조 공정 중에 발생하는 정전기에 의한 TFT (Thin Film Transistor) 의 파괴를 방지하기 위한 단락용 배선이 형성된 후에, 단락용 배선의 절단 및 데이터선의 형성을 일괄적으로 실시함으로써 제조된 전기 광학 장치가 제안되어 있다 (특허 문헌 1 참조).

또한, 특허 문헌 2 에는 화상 신호 배선의 과전압을 억제하는 정전 보호 회로가 기판의 판면에 수직인 방향으로 보아, 정전위 배선 및 화상 신호 배선과 서로 겹치는 영역에 배치되어 있는 전기 광학 장치가 기재되어 있다. 여기에서는 특히, 정전 보호 회로에서의 스위칭 소자의 제 1 단자에 화상 신호 배선을 전기적으로 접속함과 함께, 스위칭 소자의 제 2 단자에 정전위 배선을 전기적으로 접속하는 기술이 기재되어 있다 (특허 문헌 2 참조).

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2001-339065호

특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 2005-309003호

그러나, 특허 문헌 1 에 기재된 기술에 의하면, 절단된 단락용 배선의 일부는, 다른 배선에 전기적으로 접속되어 있지 않기 (소위, 플로팅 상태이다) 때문에, 의도하지 않는 용량성 커플링이 발생할 가능성이 있다는 기술적 문제점이 있다. 특히, 이와 같은 의도하지 않는 용량성 커플링이, 플로팅 상태인 단락용 배선의 일부와 화상 신호를 공급하는 데이터선 사이에 발생하면, 표시 불량이 발생될 우려가 있다. 또, 특허 문헌 2 에 기재된 기술에 의하면, 전기 광학 장치의 제조 공정 중의 정전기에 의한 TFT 의 파괴를 방지하는 것은 곤란하다는 기술적 문제점이 있다.

본 발명은, 예를 들어 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 절단된 단락용 배선에 의한, 의도하지 않은 용량성 커플링의 발생을 억제할 수 있는 전기 광학 장치 및 이것을 구비한 전자 기기를 제안하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 전기 광학 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서, 기판 상에, 서로 교차하는 복수의 주사선 및 복수의 데이터선과, 상기 복수의 주사선 및 상기 복수의 데이터선의 교차에 대응하여 형성된 복수의 화소 전극과, 상기 복수의 화소 전극이 형성된 화소 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에 형성되고, 제조 공정에 있어서 상기 복수의 주사선을 서로 단락시키는 본선부 및 그 본선부로부터 상기 복수의 데이터선과 교차하도록 연장하는 연장부를 갖는 단락용 배선과, 소정 전위가 공 급됨과 함께 상기 연장부에 전기적으로 접속된 정전위 배선을 구비한다.

본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 예를 들어 석영 기판 등의 기판 상에 있어서, 복수의 주사선 및 복수의 데이터선이 서로 교차하고 있고, 그 교차의 각각에 대응하여 복수의 화소 전극이 형성되어 있다. 단락용 배선은, 복수의 화소 전극이 형성된 화소 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에 형성되고, 당해 전기 광학 장치의 제조 공정에 있어서, 복수의 주사선을 서로 단락시키는 본선부 및 그 본선부로부터 복수의 데이터선과 교차하도록 연장하는 연장부를 갖는다.

여기에서,「화소 영역」이란, 개개의 화소의 영역을 의미하는 것이 아니라, 복수의 화소가 평면 배열된 영역 전체를 의미하고, 전형적으로는, 「화소 표시 영역」혹은「표시 영역」에 상당한다. 화소 영역에는, 예를 들어 복수의 화소 전극이 매트릭스상으로 배치되어 구성되어 있다.

또한, 단락용 배선은, 제조 공정에 있어서 전형적으로는, 복수의 주사선과 동일한 층에 형성된다. 그리고, 제조 공정에 있어서 예를 들어 복수의 데이터선이 형성될 때에, 단락용 배선과 각 주사선 사이의 전기적인 접속이 절단됨과 함께, 단락용 배선의 본선부와 연장부 사이의 전기적인 접속도 절단된다. 따라서,「제조 공정에 있어서 상기 복수의 주사선을 서로 단락시킨다」란, 제조 공정의 일 기간에 있어서 복수의 주사선을 서로 전기적으로 접속하고, 제조된 당해 전기 광학 장치에서는, 단락용 배선과 각 주사선 사이의 전기적인 접속은 절단되어 있는 것을 의미한다.

정전위 배선은, 소정 전위가 공급됨과 함께, 단락용 배선의 연장부에 전기적 으로 접속되어 있다. 여기에, 본 발명에 관련된 「소정 전위」란, 데이터선 상에 공급되는 화상 신호의 내용에 관계없이 적어도 소정 기간씩 고정된 전위를 의미한다. 예를 들어, 접지 전위 혹은 그라운드 전위와 같이, 시간축에 대하여 완전히 일정 전위에 고정된 고정 전위이어도 된다. 혹은, 공통 전위 혹은 대향 전극 전위와 같이, 예를 들어 화상 신호에 관련된 홀수 필드 기간에서 제 1 고정 전위에 고정됨과 함께 짝수 필드 기간에 제 2 고정 전위에 고정되는 바와 같이, 시간축에 대해 일정 기간씩 일정 전위에 고정된 고정 전위이어도 된다.

본원 발명자의 연구에 의하면, 절단된 단락용 배선의 일부는, 다른 배선에 전기적으로 접속되어 있지 않기 때문에, 의도하지 않는 용량성 커플링이 발생할 가능성이 있다. 특히, 절단된 단락용 배선과 데이터선이 교차하고 있는 경우에는, 예를 들어 계열 불균일 등이 발생하여, 화상 품질이 열화될 가능성이 있는 것이 판명되어 있다.

그런데 본 발명에서는, 단락용 배선의 연장부와 정전위 배선이 전기적으로 접속되어 있다. 이로써, 연장부의 전위가 확정되고, 의도하지 않는 용량성 커플링의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 의도하지 않는 용량성 커플링에 의한, 예를 들어 데이터선 상에 공급되는 화상 신호에 대한 영향을 억제할 수 있어, 화상 품질의 열화를 억제할 수 있다.

본 발명의 전기 광학 장치의 일 양태로는, 상기 정전위 배선은, 상기 기판 상에서 평면적으로 보아 상기 연장부에 적어도 부분적으로 겹쳐지도록 형성되어 있다.

이 양태에 의하면, 정전위 배선 및 연장부를 서로 전기적으로 접속하기 위해서, 예를 들어 별도 접속용의 배선을 형성할 필요가 없다. 따라서, 당해 전기 광학 장치의 소형화를 도모함과 함께, 비교적 용이하게 하여 정전위 배선 및 연장부를 서로 전기적으로 접속할 수 있어, 실용상 매우 유리하다.

본 발명의 전기 광학 장치의 다른 양태에서는, 상기 주변 영역에서의 상기 복수의 데이터선 중 서로 이웃하는 데이터선 사이에, 상기 복수의 데이터선과 동일 막으로 이루어지는 더미 배선을 추가로 구비하고, 상기 정전위 배선은, 상기 복수의 데이터선으로부터 제 1 절연막을 개재하여 상층 측에 형성됨과 함께, 상기 더미 배선과 상기 제 1 절연막에 개공된 제 1 컨택트홀을 통하여 전기적으로 접속되고, 상기 연장부는, 상기 복수의 데이터선으로부터 제 2 절연막을 개재하여 하층 측에 형성됨과 함께, 상기 더미 배선과 상기 제 2 절연막에 개공된 제 2 컨택트홀을 통하여 전기적으로 접속된다.

이 양태에 의하면, 더미 배선은, 주변 영역에서의 복수의 데이터선 중 서로 이웃하는 데이터선 사이에 배치되어 있다. 이 더미 배선은, 복수의 데이터선과 동일 막으로 이루어진다 (즉, 복수의 데이터선이 형성되어 있는 층에 배치되어 있다). 이로써, 각 데이터선 사이에서의 광 누출을 억제할 수 있어, 화상 품질의 열화를 억제할 수 있다. 여기서,「동일 막」이란, 동일한 도전 재료로부터 동시에 패터닝되어 형성된 막을 의미한다.

본 발명의 전자 기기는, 상기 과제를 해결하기 위해서 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치 (단, 그 각종 양태를 포함한다) 를 구비한다.

본 발명의 전자 기기에 의하면, 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지므로, 의도하지 않는 용량성 커플링의 발생을 억제할 수 있다. 이 결과, 고품위의 화상을 표시할 수 있는 투사형 표시 장치, 휴대 전화, 전자 수첩, 워드프로세서, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형 비디오 테이프 레코더, 워크스테이션, 화상 전화, POS 단말, 터치 패널 등의 각종 전자 기기를 실현할 수 있다.

본 발명의 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시하기 위한 최선의 형태로부터 분명해진다.

이하 도 1 내지 도 6 을 참조하면서, 본 발명에 관련된 전기 광학 장치 및 전자 기기의 각 실시형태를 설명한다. 또한, 이하의 도면에서는, 각 층·각 부재를 도면 상에서 인식할 수 있는 정도의 크기로 하기 위해, 그 각 층·각 부재마다 축척을 다르게 하고 있다. 또, 본 실시형태에서는, 전기 광학 장치의 일례로서 구동 회로 내장형의 액티브 매트릭스 구동 방식의 액정 장치를 예로 든다.

＜전기 광학 장치＞

먼저, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전체 구성에 대해, 도 1 및 도 2 를 참조하여 설명한다. 여기에 도 1 은, 소자 기판을 그 위에 형성된 각 구성 요소와 함께 대향 기판측에서 본 평면도이고, 도 2 는, 도 1 의 H-H′선 단면도이다.

도 1 및 도 2 에 있어서, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 액정 패널 (100) 에서는, 소자 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 이 대향 배치되어 있다. 소 자 기판 (10) 은, 예를 들어, 석영 기판, 유리 기판, 실리콘 기판 등의 기판으로 이루어지고, 대향 기판 (20) 은, 예를 들어, 석영 기판, 유리 기판 등의 기판으로 이루어진다. 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 사이에 액정층 (50) 이 봉입되어 있고, 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 은 화상 표시 영역 (10a) 의 주위에 위치하는 시일 영역에 형성된 시일재 (52) 에 의해 서로 접착되어 있다.

시일재 (52) 는, 양 기판을 부착시키기 위한, 예를 들어 자외선 경화 수지나 열경화 수지, 또는 자외선·열병용형 경화 수지 등으로 이루어지고, 제조 프로세스 에 있어서 소자 기판 (10) 상에 도포된 후, 자외선 조사, 가열 등에 의해 경화한 것이다. 시일재 (52) 중에는, 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 의 간격 (즉, 갭) 을 소정치로 하기 위한 글래스 파이버 혹은 유리 비드 등의 갭재가 살포되어 있다. 또한, 갭재를, 시일재 (52) 에 혼입되는 것에 추가로 혹은 대신에, 화상 표시 영역 (10a) 또는 화상 표시 영역 (10a) 의 주변에 위치하는 주변 영역에 배치하도록 해도 된다.

도 1 에 있어서, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역의 내측에 병행하여, 화상 표시 영역 (10a) 을 규정하는 차광성 프레임 차광막 (53) 이 대향 기판 (20) 측에 형성되어 있다. 단, 이와 같은 프레임 차광막 (53) 의 일부 또는 전부는, 소자 기판 (10) 측에 내장 차광막으로서 형성되어 있어도 된다.

주변 영역 중, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역의 외측에 위치하는 영역에는, 데이터선 구동 회로 (101) 및 외부 회로 접속 단자 (102) 가 소자 기판 (10) 의 1 변을 따라 형성되어 있다. 이 1 변을 따른 시일 영역보다 내측에 샘플링 회로 (7) 가 프레임 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다. 주사선 구동 회로 (104) 는, 이 1 변에 인접하는 2 변을 따른 시일 영역 (52a) 의 내측의 프레임 영역에, 프레임 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다.

소자 기판 (10) 상에는, 대향 기판 (20) 의 4 개의 코너부에 대향하는 영역에, 양 기판간을 상하 도통재 (107) 로 접속하기 위한 상하 도통 단자 (106) 가 배치되어 있다. 이들에 의해, 소자 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 사이에 전기적인 도통을 취할 수 있다. 또한, 외부 회로 접속 단자 (102) 와, 데이터선 구동 회로 (101), 주사선 구동 회로 (104), 상하 도통 단자 (106) 등을 전기적으로 접속하기 위한 선회 배선 (90) 이 형성되어 있다.

도 2 에 있어서, 소자 기판 (10) 상에는, 구동 소자인 화소 스위칭용 트랜지스터나 주사선, 데이터선 등의 배선이 설치된 적층 구조가 형성된다. 이 적층 구조의 상세한 구성에 대해서는 도 2 에서는 도시를 생략하고 있는데, 이 적층 구조 상에, ITO (Indium Tin Oxide) 등의 투명 재료로 이루어지는 화소 전극 (9a) 이 화소마다 소정의 패턴으로 섬 형상으로 형성되어 있다.

화소 전극 (9a) 은, 후술하는 대향 전극 (21) 에 대향하도록, 소자 기판 (10) 상의 화상 표시 영역 (10a) 에 형성되어 있다. 소자 기판 (10) 에서의 액정층 (50) 이 면하는 측의 표면, 즉 화소 전극 (9a) 상에는, 배향막 (16) 이 화소 전극 (9a) 을 덮도록 형성되어 있다.

대향 기판 (20) 에서의 소자 기판 (10) 과의 대향면 상에, 차광막 (23) 이 형성되어 있다. 차광막 (23) 은, 예를 들어 대향 기판 (20) 에서의 대향면 상 에 평면적으로 보아, 격자 형상으로 형성되어 있다. 대향 기판 (20) 에 있어서, 차광막 (23) 에 의해 비개구 영역이 규정되고, 차광막 (23) 에 의해 구획된 영역이, 예를 들어 프로젝터용 램프나 직시용의 백라이트로부터 출사된 광을 투과시키는 개구 영역이 된다. 또한, 차광막 (23) 을 스트라이프 형상으로 형성하고, 그 차광막 (23) 과 소자 기판 (10) 측에 형성된 데이터선 등의 각종 구성 요소에 의해, 비개구 영역을 규정하도록 해도 된다.

차광막 (23) 상에, ITO 등의 투명 재료로 이루어지는 대향 전극 (21) 이 복수의 화소 전극 (9a) 과 대향하여 형성되어 있다. 차광막 (23) 상에, 화상 표시 영역 (10a) 에 있어서 컬러 표시를 실시하기 위해서, 개구 영역 및 비개구 영역의 일부를 포함하는 영역에, 도 2 에는 도시되지 않은 컬러 필터가 형성되도록 해도 된다. 대향 기판 (20) 의 대향면 상에서의 대향 전극 (21) 상에는 배향막 (22) 이 형성되어 있다.

또한, 도 1 및 도 2 에 나타낸 소자 기판 (10) 상에는, 이들 데이터선 구동 회로 (101), 주사선 구동 회로 (104), 샘플링 회로 (7) 등에 추가로, 복수의 데이터선에 소정 전압 레벨의 프리 차지 신호를 화상 신호에 선행하여 각각 공급하는 프리 차지 회로, 제조 도중이나 출하시의 당해 액정 장치의 품질, 결함 등을 검사하기 위한 검사 회로 등을 형성해도 된다.

다음으로, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전기적인 구성에 대해, 도 3 을 참조하여 설명한다. 여기에 도 3 은, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전기적인 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.

도 3 에 있어서, 소자 기판 (10) 상에서의 화상 표시 영역 (10a) 에는, 복수의 주사선 (11a) 및 복수의 데이터선 (6a) 이 서로 교차하여 배선되고, 이들 교차에 대응하여 화소에 대응하는 화소부 (9) 가 매트릭스 형상으로 형성되어 있다. 화소부 (9) 는, 주사선 (11a) 및 데이터선 (6a) 의 각각에 전기적으로 접속되어 있다. 화소부 (9) 는, 기본적으로 데이터선 (6a) 에 의해 공급되는 화상 신호를 선택적으로 인가하기 위한 화소 스위칭용의 트랜지스터와, 입력된 화상 신호를 액정층 (50) (도 2 참조) 에 인가하여 유지하기 위한, 즉 대향 전극 (21) (도 2 참조) 과 함께 액정 유지 용량을 이루는 화소 전극 (9a) (도 2 참조) 을 포함하여 구성되어 있다. 또한, 화소부 (9) 에는, 액정 유지 용량에 유지된 화상 신호가 리크되는 것을 방지하기 위해서, 그 액정 유지 용량과 병렬로 부가된 축적 용량을 형성해도 된다.

도 3 에 있어서, 소자 기판 (10) 상에서의 주변 영역에는, 데이터선 구동 회로 (101), 샘플링 회로 (7) 및 주사선 구동 회로 (104) 가 형성되어 있다. 또, 주변 영역에는, 액정 패널 (100) 의 제조 공정에 있어서, 복수의 주사선 (11a) 을 서로 단락하고 있던 단락용 배선 (700) 이 형성되어 있다. 그 단락용 배선 (700) 은 제조 공정에 있어서, 예를 들어 복수의 데이터선 (6a) 이 형성될 때에, 예를 들어 절단해야 할 부분 (C) 이 절단됨으로써, 단락용 배선 (700) 과 각 주사선 (11a) 사이의 전기적인 접속이 절단된다.

또한, 본 실시형태에 관련된 단락용 배선 (700) 중, 소자 기판 (10) 의 도면 중의 좌우의 변을 각각 따라 (즉, Y 축 방향을 따라) 형성된 단락용 배선이 본 발 명에 관련된 「본선부」의 일례이고, 소자 기판 (10) 의 도면 중의 하측의 변을 따라 형성된 단락용 배선 (700) 이 본 발명에 관련된 「연장부」의 일례이다.

주사선 구동 회로 (104) 에는, 도시되지 않은, 예를 들어 외부 회로로부터 외부 회로 접속 단자 (102) (도 1 참조) 를 통하여, Y 클록 신호 (CLY) (및 그 반전 신호인 반전 Y 클록 신호 (CLYinv)), Y 스타트 펄스 (DY) 가 공급된다. 주사선 구동 회로 (104) 는, Y 스타트 펄스 (DY) 가 입력되면, Y 클록 신호 (CLY) 및 반전 Y 클록 신호 (CLYinv) 에 기초하는 타이밍으로 주사 신호를 순차 생성하여 주사선 (11a) 으로 출력한다.

데이터선 구동 회로 (101) 에는, 외부 회로로부터 외부 회로 접속 단자 (102) 를 통하여, X 클록 신호 (CLX) (및 그 반전 신호인 반전 X 클록 신호 (CLXinv)), X 스타트 펄스 (DX) 가 공급된다. 그리고, 데이터선 구동 회로 (101) 는, X 스타트 펄스 (DX) 가 입력되면, X 클록 신호 (CLX) 및 반전 X 클록 신호 (CLXinv) 에 기초하는 타이밍으로, 샘플링 신호 (S1, …, Sn) 를 순차 생성하여 샘플링 신호선 (114) 으로 출력한다.

샘플링 회로 (7) 는, 화상 신호선 (6) 으로부터 화상 신호가 공급되는 데이터선 (6a) 을 선택하기 위해서 데이터선 (6a) 마다 형성된 스위칭 소자 (즉, 샘플링 스위치) 로 이루어지고, 그 스위칭 동작은, 데이터선 구동 회로 (101) 로부터의 샘플링 신호 (S1, …, Sn) 에 의해 타이밍 제어되도록 구성되어 있다.

샘플링 회로 (7) 에는, 외부 회로에 의해 6 상으로 시리얼-패러렐 변환, 즉, 상전개된 화상 신호 (VID1 ∼ VID6) 가, 6 개의 화상 신호선 (6) 을 통하여 공급된 다. 6 개의 화상 신호선 (6) 은 각각, 외부 회로 접속 단자 (102) 로부터, 데이터선 구동 회로 (101) 의 주위를 우회하여 돌려져 데이터선 (6a) 의 배열 방향 (즉, X 방향) 을 따라 배선되어 있다.

또한, 화상 신호의 상전개수 (즉, 시리얼-패러렐 전개되는 화상 신호의 계열수) 에 관해서는, 6 상에 한정되는 것이 아니고, 예를 들어 9 상, 12 상, 24 상, 48 상, 96 상 … 등으로 할 수 있다.

또한, 클록 신호 (CLX 나 CLY) 등의 각종 타이밍 신호는, 예를 들어 도시되지 않은 외부 회로에 형성된 타이밍 제너레이터에서 생성되고, 소자 기판 (10) 상의 각 회로에 외부 회로 접속 단자 (102) 를 통하여 공급된다. 또, 각 구동 회로의 구동에 필요한 전원 등도 또한 예를 들어 외부 회로로부터 공급된다.

소자 기판 (10) 상에서의 주변 영역에는, 예를 들어 외부 회로로부터 대향 전극 전위 (LCC) 를 공급하는, 본 발명에 관련된 「정전위 배선」의 일례로서의 대향 전극 전위선 (605) 이, 외부 회로 접속 단자 (102) 로부터 상하 도통 단자 (106) 까지 배선됨과 함께, 데이터선 (6a) 의 배선 방향 (즉, X 방향) 을 따라 배선되어 있다.

이로써, 대향 전극 전위 (LCC) 는, 상하 도통 단자 (106) 및 상하 도통재 (107) (도 1 참조) 를 통하여 대향 전극 (21) 에 공급된다. 대향 전극 전위 (LCC) 는, 화소 전극 (9a) 과의 전위차를 적정하게 유지하여 액정 유지 용량을 형성하기 위한 대향 전극 (21) 의 기준 전위가 된다. 본 실시형태에서는, 1H 반전 구동 방식이 채용되어 있고, 화상 신호 (VID1 ∼ VID6) 는, 소정 주기로 전위가 대향 전극 전위 (LCC) 에 대해 고위측의 정극성과 저위측의 부극성으로 극성 반전된다. 보다 구체적으로는, 화상 신호 (VID1 ∼ VID6) 는, 하나의 프레임에 대응하는 표시를 실시하는 동안, 홀수행에 배열된 화소부 (9) 에는 대향 전극 전위 (LCC) 에 대해 정극성 전위로 공급됨과 함께 짝수행에 배열된 화소부 (9) 에는 대향 전극 전위 (LCC) 에 대해 부극성 전위로 공급되도록, 또한, 이것에 계속되는 다음의 프레임에 대응하는 표시를 실시하는 동안에는, 역으로 짝수행에 배열된 화소부 (9) 에는 정극성 전위로 공급됨과 함께 홀수행에 배열된 화소부 (9) 에는 부극성 전위로 공급되도록 전위가 극성 반전된다. 즉, 화상 신호 (VID1 ∼ VID6) 는, 동일 행의 화소부 (9) 에는 동일 극성 전위로 공급됨과 동시에 서로 이웃하는 행의 화소부 (9) 에는 상이한 극성 전위로 공급되도록, 또한 관련되는 전위극성을 행마다 프레임 주기로 반전하도록 전위가 극성 반전된다.

본 실시형태에서는 특히, 소자 기판 (10) 의 도면 중의 하측의 변을 따라 형성된 단락용 배선 (700) 과, 대향 전극 전위선 (605) 이 예를 들어 컨택트홀 (710) 을 통하여 전기적으로 접속되어 있다. 이로써, 단락용 배선 (700) 의 전위가 확정되어, 의도하지 않는 용량성 커플링의 발생을 억제할 수 있다. 이 결과, 계열 불균일의 발생을 억제할 수 있어, 화상 품질의 열화를 억제할 수 있다.

다음으로, 데이터선 (6a), 단락용 배선 (700) 및 대향 전극 전위선 (605) 각각의 위치 관계에 대해, 도 4 및 도 5 를 참조하여 구체적으로 설명한다. 여기에 도 4 는, 데이터선, 단락용 배선 및 대향 전극 전위선을 대향 기판측에서 본 평면도이고, 도 5 는, 도 4 의 A-A′선 단면도이다. 또한, 도 5 에서는, 대향 전 극 전위선 (605) 보다 상층 측의 구성 요소 및 단락용 배선 (700) 보다 하층 측의 구성 요소에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 평면적으로 보아, 대향 전극 전위선 (605) 은, 단락용 배선 (700) 을 덮도록 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 대향 전극 전위선 (605) 이 형성된 영역 내에 단락용 배선 (700) 이 배치되어 있다.

각 데이터선 (6a) 은, 단락용 배선 (700) 과 교차하도록 배치되어 있다. 각 데이터선 (6a) 은, 도면 중의 하측에 있어서 샘플링 회로 (7) (도 3 참조) 와 전기적으로 접속되어 있음과 함께, 상측에 있어서 화소부 (9) (도 3 참조) 와 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 데이터선 (6a) 간에는, 더미 배선 (201 또는 202) 이 배치되어 있다. 이 더미 배선 (201 및 202) 에 의해, 각 데이터선 (6a) 사이에서의 광 누출을 억제할 수 있어, 화상 품질의 열화를 억제할 수 있다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 단락용 배선 (700) 이 형성되어 있는 층과, 대향 전극 전위선 (605) 이 형성되어 있는 층 사이에, 데이터선 (6a), 그리고 더미 배선 (201 및 202) 이 각각 형성된 층이 배치되어 있다.

또한, 단락용 배선 (700) 은, 예를 들어, 화상 표시 영역 (10a) 내의 주사선 (11a) 또는 게이트 전극과 동시에 패터닝되어 형성된 도전성의 폴리 실리콘막으로 이루어진다. 또, 더미 배선 (201 및 202) 은, 화상 표시 영역 (10a) 내의 데이터선 (6a) 과 동시에 패터닝되어 형성된 알루미늄막 등의 금속막 혹은 합금막 또는 그 밖의 차광성 도전막으로 이루어진다. 또, 대향 전극 전위선 (605) 은, 화상 표시 영역 (10a) 내의 데이터선 (6a) 과 화소 전극 (9a) 사이에 형성되어 소정 전 위가 인가되는 실드층과 동시에 패터닝되어 형성된 알루미늄막 등의 금속막 혹은 합금막 또는 그 밖의 차광성 도전막으로 이루어진다.

단락용 배선 (700) 이 형성되어 있는 층 및 데이터선 (6a) 등이 형성되어 있는 층의 층간에는 층간 절연막 (41) 이, 데이터선 (6a) 등이 형성되어 있는 층 및 대향 전극 전위선 (605) 이 형성되어 있는 층의 층간에는 층간 절연막 (42) 이 각각 형성되어 있어, 각 요소간이 단락되는 것을 방지하고 있다. 또한, 본 실시형태에 관련된 「층간 절연막 (41) 」및 「층간 절연막 (42) 」은, 각각 본 발명에 관련된 「제 2 절연막」및 「제 1 절연막」의 일례이다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 대향 전극 전위선 (605) 은, 층간 절연막 (42) 에 형성된 컨택트홀 (710b), 더미 배선 (201 또는 202), 및 층간 절연막 (41) 에 형성된 컨택트홀 (710a) 를 통하여, 단락용 배선 (700) 에 전기적으로 접속되어 있다.

＜전자 기기＞

다음으로, 도 6 을 참조하면서, 상기 서술한 액정 장치를 전자 기기의 일례인 프로젝터에 적용한 경우를 설명한다. 상기 서술한 액정 장치에서의 액정 패널 (100) 은, 프로젝터의 라이트 밸브로서 이용되고 있다. 도 6 은, 프로젝터의 구성예를 나타내는 평면도이다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 프로젝터 (1100) 내부에는, 할로겐 램프 등의 백색 광원으로 이루어지는 램프 유닛 (1102) 이 형성되어 있다. 이 램프 유닛 (1102) 으로부터 사출된 투사광은, 라이트 가이드 (1104) 내에 배치된 4 장의 미러 (1106) 및 2 장의 다이크로익 미러 (1108) 에 의해 RGB 의 3 원색으로 분리되어, 각 원색에 대응하는 라이트 밸브로서의 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에 입사된다.

액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 의 구성은, 상기 서술한 액정 장치와 동등한 구성을 갖고 있고, 화상 신호 처리 회로로부터 공급되는 R, G, B 의 원색 신호로 각각 구동되는 것이다. 그리고, 이들 액정 패널에 의해 변조된 광은, 다이크로익 프리즘 (1112) 에 3 방향으로부터 입사된다. 이 다이크로익 프리즘 (1112) 에 있어서는, R 및 B 의 광이 90 도로 굴절하는 한편, G 의 광이 직진한다. 따라서, 각 색의 화상이 합성되는 결과, 투사 렌즈 (1114) 를 통하여, 스크린 등에 컬러 화상이 투사되게 된다.

여기에서, 각 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에 의한 표시 이미지에 대해 주목하면, 액정 패널 (1110R, 1110B) 에 의한 표시 이미지는, 액정 패널 (1110G) 에 의한 표시 이미지에 대해 좌우 반전하는 것이 필요해진다.

또한, 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에는, 다이크로익 미러 (1108) 에 의해, R, G, B 의 각 원색에 대응하는 광이 입사되므로, 컬러 필터를 형성할 필요는 없다.

또한, 도 6 을 참조하여 설명한 전자 기기 외에도, 모바일형 퍼스널 컴퓨터나, 휴대 전화, 액정 텔레비젼, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형 비디오 테이프 레코더, 카 내비게이션 장치, 페이저, 전자 수첩, 전자식 탁상 계산기, 워드프로세서, 워크스테이션, 화상 전화, POS 단말, 터치 패널을 구비한 장치 등을 들 수 있 다. 그리고, 이들 각종 전자 기기에 적용 가능한 것은 말할 필요도 없다.

본 발명은, 상기 서술한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 청구의 범위 및 명세서 전체로부터 판독되는 발명의 요지 혹은 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경할 수 있고, 그러한 변경을 수반하는 전기 광학 장치 및 그 전기 광학 장치를 구비한 전자 기기도 또 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.

도 1 은, 본 발명의 실시형태에 관련된 액정 장치를, 소자 기판을 그 위에 형성된 각 구성 요소와 함께 대향 기판측에서 본 평면도.

도 2 는 도 1 의 H-H′선 단면도.

도 3 은 본 발명의 실시형태에 관련된 액정 장치의 전기적인 구성을 개략적으로 나타내는 블록도.

도 4 는 본 발명의 실시형태에 관련된 데이터선, 단락용 배선 및 대향 전극 전위선을 대향 기판측에서 본 평면도.

도 5 는 도 4 의 A-A′선 단면도.

도 6 은 전기 광학 장치를 적용한 전자 기기의 일례인 프로젝터의 구성을 나타내는 평면도.

[부호의 설명]

6a…데이터선, 7…샘플링 회로, 11a…주사선, 9a…화소 전극, 10…소자 기판, 10a…화상 표시 영역, 20…대향 기판, 21…대향 전극, 23…차광막, 41, 42…층간 절연막, 50…액정층, 52…시일재, 53…프레임 차광막, 100…액정 패널, 101…데이터선 구동 회로, 102…외부 회로 접속 단자, 104…주사선 구동 회로, 201, 202…더미 배선, 605…대향 전극 전위선, 700…단락용 배선, 710, 710a, 710b…컨택트홀, C…절단해야 하는 부분

Claims (4)

1. 서로 교차하는 복수의 주사선 및 복수의 데이터선과,

   화소 영역의 외측에, 제조 공정에 있어서 상기 복수의 주사선을 서로 단락시키는 본선부 및 그 본선부로부터 상기 복수의 데이터선과 교차하도록 연장하는 연장부를 갖는 단락용 배선과,

   소정 전위가 공급됨과 함께 상기 연장부에 전기적으로 접속된 정전위 배선을 구비하며,

   상기 화소 영역의 외측에 있어서, 상기 복수의 데이터선 중 서로 이웃하는 데이터선 사이에, 상기 복수의 데이터선과 동일 막으로 이루어지는 더미 배선을 추가로 구비하고,

   상기 정전위 배선은, 상기 복수의 데이터선으로부터 제 1 절연막을 개재하여 상층 측에 형성됨과 함께, 상기 더미 배선과 상기 제 1 절연막에 개공된 제 1 컨택트홀을 통하여 전기적으로 접속되고,

   상기 연장부는, 상기 복수의 데이터선으로부터 제 2 절연막을 개재하여 하층 측에 형성됨과 함께, 상기 더미 배선과 상기 제 2 절연막에 개공된 제 2 컨택트홀을 통하여 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 정전위 배선은, 기판 상에서 평면적으로 보아, 상기 연장부에 적어도 부분적으로 겹쳐지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
3. 삭제
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.

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