KR101530265B1 - Method for manufacturing printed circuit board using PSR - Google Patents
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Abstract
본 발명의 목적은 PSR의 경화 시간이 단축되는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공하는 것이다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판 위에 PSR을 인쇄하는 인쇄회로기판의 제조 방법에 있어서, 전자빔을 이용하여 상기 PSR을 프리큐어 및/또는 포스트큐어를 실행한다.It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a printed circuit board in which the curing time of the PSR is shortened. In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a printed circuit board for printing a PSR on a substrate, wherein the PSR is pre-cured and / or post-cured using an electron beam.
Description
본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것으로서, 특히 PSR(Photo Solder Resist 혹은 Photo imageable Solder Resist}이 사용되는 인쇄회로기판의 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board, and more particularly, to a method of manufacturing a printed circuit board using PSR (Photo Solder Resist or Photo Imageable Solder Resist).
인쇄회로기판 특히 BOC(Board On Chip) 패키지를 제조할 때 PSR이 많이 사용된다. PSR의 사용 목적은 크게 패턴(pattern)간 쇼트(short) 방지와 솔더볼(solder ball)을 지지하기 위한 것이다. 리드프레임(lead frame) 타입의 PSR은 솔더 페이스트(solder paste)로 리드프레임을 기판에 부착할 경우에 패턴간 쇼트를 방지하기 위한 절연 역할을 하고, BGA(Ball Grid Array) 타입의 PSR은 솔더볼(solder ball)이 기판의 제 위치에 부착이 가능하도록 하는 역할과 리플로우(reflow)시에 인접한 볼(ball)과 솔더 페이스트에 의한 쇼트를 방지하기 위해 사용되고 있다.PSR is often used when manufacturing printed circuit boards, especially BOC (Board On Chip) packages. The purpose of PSR is to prevent short between patterns and to support solder ball. The lead frame type PSR is a solder paste, and when the lead frame is attached to a substrate, it serves as an insulation for preventing a short circuit between patterns. The BGA (Ball Grid Array) type PSR is a solder paste solder balls to be attached to the substrate in place and to prevent shorting by ball and solder paste adjacent to each other during reflow.
BOC(Board on Chip) 패키지의 제작 과정으로써 프리큐어(pre-cure)를 실시한다. 먼저, 기판의 볼 어태치(ball attach)면에 PSR을 프린팅한 후 프리큐어(Pre-cure)를 실시하며, 이 때 온도는 상온 (23℃)에서부터 점차 가열하여 75℃까지 가 열 후 서서히 냉각한다. 이어서, 기판의 칩 어태치(chip attach)면에 PSR을 프린팅한 후, 프리큐어를 실시하며, 이때는 상온(23℃)에서 80℃까지 가열한 후, 서서히 냉각한다. 프리큐어를 실시한 제품을 노광 및 박리한 후에, 포스트큐어(post-cure)를 실시한다. 여기서 프리큐어하는데 걸리는 시간은 160분 정도이고, 포스트큐어하는데 걸리는 시간은 215분 정도 소요된다. BOC (Board on Chip) package is manufactured as a pre-cure. First, the PSR is printed on the ball attach surface of the substrate and then pre-cured. The temperature is gradually increased from room temperature (23 ° C) to 75 ° C, and then gradually cooled . Subsequently, PSR is printed on the chip attach side of the substrate, and then precure is performed. In this case, the substrate is heated from room temperature (23 ° C) to 80 ° C, and then slowly cooled. After the precured product is exposed and peeled, a post-cure is performed. The time required for precure here is about 160 minutes, and the time required for post cure takes about 215 minutes.
이와 같이, 종래에는 인쇄회로기판에 인쇄된 PSR을 경화시키기 위하여 열 경화 방법을 사용하기 때문에 경화 시간이 많이 걸린다.Thus, conventionally, since the PSR printed on the printed circuit board is hardened by the heat curing method, the curing time is long.
본 발명의 목적은 PSR의 경화 시간이 단축되는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a printed circuit board in which the curing time of the PSR is shortened.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, According to an aspect of the present invention,
기판 위에 PSR을 인쇄하는 인쇄회로기판의 제조 방법에 있어서, 전자빔을 이용하여 상기 PSR을 프리큐어하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공한다.There is provided a method of manufacturing a printed circuit board on which a PSR is printed on a substrate, wherein the PSR is pre-cured using an electron beam.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 또한, In order to achieve the above object,
기판 위에 PSR을 인쇄한 후에 상기 PSR을 프리큐어하는 인쇄회로기판의 제조 방법에 있어서, 전자빔을 이용하여 상기 PSR을 포스트큐어하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공한다.There is provided a method of manufacturing a printed circuit board in which a PSR is printed on a substrate and then the PSR is pre-cured, wherein the PSR is post-cured using an electron beam.
본 발명에 따르면, 기판 위에 인쇄된 PSR을 프리큐어 및 포스트큐어할 때 전자빔을 이용한다.According to the present invention, an electron beam is used to precure and post-cure a PSR printed on a substrate.
따라서, 프리큐어 및 포스트큐어 시간이 대폭적으로 단축되어 생산 비용이 절감되고, 생산 시간이 단축된다. Accordingly, the pre-cure and post-cure time are greatly shortened, and the production cost is reduced, and the production time is shortened.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.
도 1은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법을 순차적으로 보여주는 흐름도이고, 도 2 내지 도 7은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 제조 공정을 순차적으로 보여주는 도면들이다. 도 2 내지 도 7을 참조하여 도 1에 도시된 인쇄회로기판의 제조 방법을 상세히 설명하기로 한다.FIG. 1 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to the present invention, and FIGS. 2 to 7 sequentially illustrate a manufacturing process of a printed circuit board according to the present invention. The method of manufacturing the printed circuit board shown in FIG. 1 will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 7. FIG.
도 1을 참조하면 인쇄회로기판의 제조 방법은 제1 내지 제7 단계들(111∼171)을 포함한다. Referring to FIG. 1, a method of manufacturing a printed circuit board includes first through
제1 단계(111)로써, 기판(도 2의 201)의 표면처리를 실행한다. 도 2를 참조하면, 기판(201)의 표면처리를 하기 전에 기판(201)에는 회로, 예컨대 솔더볼(solder ball)들이 형성될 볼 패턴(205)이 형성되어 있다. 볼 패턴(205)을 형성하기 위해서는 기판(201) 위에 구리와 같은 도전층을 형성하고, 상기 도전층 위에 포토 레지스트(photo resist)를 코팅한 다음, 마스킹(masking), 노광(exposure) 및 현상(development) 공정을 순차적으로 진행한다. 이러한 공정은 통상적인 방법에 해당함으로 구체적인 설명은 생략한다. In the
상기 볼 패턴(205)에 표면처리를 실행한다. 즉, 식각액을 이용하여 볼 패턴(205)의 표면을 소정 두께, 예컨대 5∼10[um] 만큼 제거한 후에 OSP(Organic Solderability Preservative) 방식을 사용하여 표면처리를 하여 도금층(211)을 형성한다. 여기서, OSP 방식이란 볼 패턴(205)의 표면에 도금층(211) 대신에 OSP 레지스트(resist) 예컨대, OSP 약품이나 OSP 유기물을 도포하여 공기가 볼 패턴(205)의 표면에 접촉하는 것을 차단하여 볼 패턴(205)의 산화를 방지하는 것을 지칭한다. 볼 패턴(205)의 표면에 도포된 OSP 레지스트는 플럭스(flux)와 거의 비슷한 물질이므로 프리플럭스(pre-flux) 처리법이라고도 한다. 상기 OSP 방식에서 볼 패턴(205)의 표면에 OSP 레지스트를 도포할 때 상기 레지스트가 볼 패턴(205)의 표면에 골고루 도포되지 않을 경우에 볼 패턴(205)이 산화되어 기판(201)의 신뢰성을 저하시킬 수 있으므로, 표면 처리가 끝난 후에 다음 공정을 바로 진행하는 것이 바람직하다. The
제2 단계(121)로써, 기판(도 3의 201)의 전면에 제1 PSR(Photo Solder Resist 혹은 Photo imageable Solder Resist}을 인쇄한다. 도 3을 참조하면, 볼 패턴(205)이 형성된 기판(201) 위에 제1 PSR(221)을 인쇄한다. 제1 PSR(221)은 겔(gel) 형태 즉, 비가교수지로 되어있다. 비가교수지란 가용 가융성의 물엿의 상태 즉, 페놀수지에서 레졸의 상태에 상당한다. 3, a first PSR (Photo Solder Resist or Photo Imageable Solder Resist) is printed on the entire surface of the substrate 201 (see FIG. 3) as a
제3 단계(131)로써, 전자빔(도 4의 421)을 이용하여 제1 PSR(도 4의 221)을 프리큐어(pre-cure)한다. 도 4를 참조하면, 기판(201)과 격리된 전자빔 장치(401)를 기판(201)의 상측에 기판(201)과 수직이 되도록 정렬한다. 전자빔 장치(401)에는 복수개의 마이크로팁들(411)이 장착되어 있으며, 복수개의 마이크로팁들(411)로부터 전자빔(421)이 발사된다. 전자빔 장치(401)로부터 발사된 전자빔(421)이 기판(201)을 통과함으로써 기판(201) 위에 형성된 제1 PSR(221)은 반경화 상태로 된다. 즉, 제1 PSR(221)은 부분가교 상태로서 용융하지 않고, 용제에 팽윤하여 용해되지 않는 상태로 된다. 즉, 페놀수지에서의 레지톨의 상태에 해당한다. In the
제4 단계(141)로써, 기판(도 5의 201)의 전면에 제2 PSR(도 5의 231)을 인쇄한다. 도 5를 참조하면, 반경화된 제1 PSR(도 4의 221) 위에 제2 PSR(231)을 인쇄한다.In the
제5 단계(151)로써, 전자빔(도 6의 421)을 이용하여 제1 및 제2 PSR(도 6의 221,231)을 프리큐어한다. 도 6을 참조하면, 기판(201)과 격리된 전자빔 장치(401)를 기판(201)의 상측에 기판(201)과 수직이 되도록 정렬한 후에 전자빔 장치(401)를 작동시켜서 전자빔 장치(401)로부터 전자빔(421)이 발사되도록 한다. 전자빔(421)이 기판(201)을 통과함으로써 기판(201) 위에 형성된 제2 PSR(231)은 반경화 상태로 되고, 제1 PSR(221)은 완전경화되어 완전가교 상태로 된다. 즉, 제1 PSR(221)은 불용불융성의 3차원 구조의 수지로 된다. 이것은 페놀수지에서의 레지트의 상태에 해당한다. In the
상기와 같이 전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 이용하여 프리큐어를 실행할 경우에 종래의 열 경화 방법에 비해 3배 이상 시간이 단축된다. 예컨대, 종래의 열 경화 방법을 사용할 경우에 프리큐어 시간이 160분 걸리는데 반해, 본 발명에 따라 전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 이용할 경우에 프리큐어 시간은 50분 이하 걸린다. As described above, when precure is performed using the electron beam (421 in FIG. 4 and FIG. 6), the time is shortened by three times or more as compared with the conventional thermal curing method. For example, when the conventional thermal curing method is used, the precure time takes 160 minutes, whereas when the electron beam (421 of FIGS. 4 and 6) is used according to the present invention, the precure time takes less than 50 minutes.
이와 같이, 본 발명에 따라 전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 이용하여 PSR(도 6의 221,231)을 프리큐어시킴으로써 공정 진행 시간이 대폭적으로 단축된다.As described above, according to the present invention, the PSR (221 and 231 in FIG. 6) is precured by using the electron beam (421 in FIG. 4 and FIG. 6), thereby greatly shortening the process progress time.
제6 단계(161)로써, 제1 및 제2 PSR(도 6의 221,231)을 패터닝(patterning)하여 볼 패턴(도 7의 205) 위에 홀들(도 7의 611)을 형성한다. 도 7을 참조하면, 제2 PSR(231)이 인쇄된 기판(201)을 마스킹, 노광 및 현상하여 패터닝을 한다. 따라서, 볼 패턴(205) 위에 홀들(611)이 형성된다. 이 후에, 반도체 패키징 공정을 통해서 기판(201)을 외부 장치와 전기적으로 연결시켜주는 솔더볼들이 홀들(611)에 형성된다. In the
제1 및 제2 PSR(도 6의 221,231)은 각각 주제, 열경화제 및 개시제가 필요하다. 주제와 열경화제의 혼합 비율은 7:3으로 한다. 예컨대, 주제 0.7[kg]과 열경화제 0.3[kg]을 혼합하여 사용한다. 상기 개시제로는 양이온 개시제 및 라디칼(radical) 개시제가 사용될 수 있다. 개시제의 혼합 기준은 PSR의 주제가 0.7[kg]일 경우에 수 그램에서 수십 그램 사이의 무게를 갖는 개시제를 사용한다.The first and second PSRs (221 and 231 in Fig. 6) each require a base, a thermosetting agent and an initiator. The mixing ratio of the base and the thermosetting agent is 7: 3. For example, a mixture of 0.7 [kg] of a subject and 0.3 [kg] of a thermosetting agent is used. As the initiator, a cationic initiator and a radical initiator may be used. Initiator mixing standards use an initiator that weighs from a few grams to a few tens of grams when the subject of the PSR is 0.7 [kg].
PSR의 구성은 다음과 같이 구성될 수 있다.The configuration of the PSR can be configured as follows.
1. 주제 1. Topic
2. 주제 + 열경화제2. Topic + Thermal curing agent
3. 주제 + 열경화제 + 개시제3. Topic + Thermal curing agent + Initiator
전자빔 장치(도 4 및 도 6의 401)에 구비되는 전자빔 소스(E-beam source)는 베타선(β-Ray)을 이용한다. 전자빔(도 4 및 도 6의 421)의 침투 깊이는 에너지량에 비례하여 증가하게 된다. 예컨대, 100[keV]는 1[mm], 200[keV]는 10[mm] 침투 깊이로 비례적으로 증가한다. 이 때, 전자빔(도 4 및 도 6의 421)의 조사 에너지는 50[eV]~1[MeV]를 갖는 전자가속기를 이용하여 공기 또는 질소 분위기에서 조사한다. 프리큐어시에는 1~5[kGy] 범위에서 조사하며. 포스트큐어시에는 60~100[kGy] 사이에서 전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 조사한다. 이 때, 전류는 0.5~20[mA]이다.An electron beam source (E-beam source) provided in the electron beam apparatus (401 in FIG. 4 and FIG. 6) uses a beta ray. The depth of penetration of the electron beam (421 in FIGS. 4 and 6) increases in proportion to the amount of energy. For example, 100 [keV] is proportional to 1 [mm] and 200 [keV] is proportional to penetration depth of 10 [mm]. At this time, the irradiation energy of the electron beam (421 in FIG. 4 and FIG. 6) is irradiated in an air or nitrogen atmosphere using an electron accelerator having a voltage of 50 [eV] to 1 [MeV]. In the case of precure, it is investigated in the range of 1 ~ 5 [kGy]. And electron beams (421 in FIG. 4 and FIG. 6) are irradiated at a post-cure time of 60 to 100 [kGy]. At this time, the current is 0.5 to 20 [mA].
전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 기판(도 1 내지 도 7의 201)에 1~5[kGy]의 도스(dose)량으로 조사한 후, 마스크(mask)를 이용하여 자외선 노광을 실시한다. 자외선 노광을 한 기판(도 1 내지 도 7의 201)을 PSR 현상(developing)하여 홀(도 7의 611)의 현상된 지름(open diameter)을 측정하여 PSR 현상 정도를 확인한다. 아래 표 1은 전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 이용하여 PSR 프리큐어 테스트를 진행한 결과이다. After the electron beam (421 in FIG. 4 and FIG. 6) is irradiated to the substrate (201 in FIG. 1 to FIG. 7) in a dosage of 1 to 5 [kGy], ultraviolet exposure is performed using a mask . The PSR development is checked by measuring the open diameter of the hole (611 in FIG. 7) by developing the substrate (201 in FIGS. 1 to 7) exposed to ultraviolet rays. Table 1 below shows the results of the PSR pre-cure test using the electron beams (421 in FIG. 4 and FIG. 6).
PSR
PSR
표 1에서 O는 포함을 의미하고, X는 미포함을 의미한다. 또한,A1,A2,A3는 도 9에 도시된 그림의 A1,A2,A3과 서로 일치한다. In Table 1, O means inclusion and X means no inclusion. In addition, A1, A2, and A3 coincide with A1, A2, and A3 shown in FIG.
도 9는 PSR의 구성에 따른 홀 직경의 상태를 비교하기 위한 것이다. 도 9에서 A1는 PSR이 주제만으로 구성된 경우이고, A2는 PSR이 주제와 열경화제로 구성된 경우이며, A3은 PSR이 주제와 열경화제와 개시제로 구성된 경우를 보여준다.9 is for comparing the state of the hole diameter according to the configuration of the PSR. In FIG. 9, A1 is a case where the PSR is composed of only a subject, A2 is a case where the PSR is composed of a subject and a heat curing agent, and A3 shows a case where the PSR is composed of a subject and a heat curing agent and an initiator.
홀(도 7의 611) 직경의 스펙(Spec)은 0.400ㅁ 0.024[mm]이며, 도 9 및 표 1을 참조하면, 전자빔(도 4 및 도 6의 421)을 이용하여 형성된 홀(도 7의 611) 직경의 평균값은 모두 규정 스펙 범위 내에 있음을 알 수 있다.7 and 6, the spec of the diameter (611 in FIG. 7) is 0.400 mm-0.024 mm. Referring to FIG. 9 and Table 1, 611) It can be seen that the average value of the diameters is all within the specified specification range.
홀(도 7의 611) 직경의 크기는 자외선 노광시 자외선의 세기에 따라 달라진다.The diameter of the hole (611 in FIG. 7) varies depending on the intensity of the ultraviolet rays upon ultraviolet exposure.
제7 단계(171)로써, 전자빔(도 8의 421)을 이용한 포스트큐어 공정을 진행한다. 도 8을 참조하면, 볼 패턴(205) 위에 복수개의 홀들(611)이 형성된 상태에서 기판(201) 위에 전자빔 장치(401)를 정렬시키고, 전자빔 장치(401)로부터 전자빔(421)이 발사되어 기판(201)에 조사됨으로써, 기판(201)에 형성된 제1 및 제2 PSR(221,231)을 경화시킨다. 이 때, 1 패쓰(pass) 기준으로 4[m/min]의 속도로 전자빔 포스트큐어를 진행할 수 있다. 이에 따라 110[M] BOC(Board On Chip) 제품을 기준으로 할 때, 대략 28분만에 포스트큐어를 완료할 수 있다. In a
이와 같이, 전자빔(도 8의 421)을 이용하여 포스트큐어를 진행함으로써, 종래의 열경화 방법에 비해 경화 시간이 대폭적으로 단축된다. 즉, 종래의 열경화 방법으로 포스트큐어를 진행할 경우에 215분 정도 걸리지만, 본 발명에 따라 전자빔(도 8의 421)을 이용하여 포스트큐어를 진행할 경우에는 28분밖에 걸리지 않기 때문에 종래에 비해 대략 7배 정도 경화시간을 단축할 수 있다. As described above, by advancing the post cure using the electron beam (421 in Fig. 8), the curing time is significantly shortened as compared with the conventional thermal curing method. That is, it takes about 215 minutes to carry out the post cure by the conventional thermal curing method. However, according to the present invention, only 28 minutes are required to carry out the post cure using the electron beam (421 of FIG. 8) The curing time can be shortened by about 7 times.
뿐만 아니라 전자빔(도 8의 421)을 이용할 경우에는 PSR(도 8의 221,231)의 완전 경화가 가능하기 때문에 자외선(ultraviolet) 큐어를 별도로 진행할 필요가 없다. 따라서, 공정이 단축되고, 공정 시간도 단축된다.In addition, when the electron beam (421 in FIG. 8) is used, the ultraviolet cure does not need to be performed separately because the PSR (221, 231 in FIG. 8) can be completely cured. Therefore, the process is shortened and the process time is shortened.
도 10은 본 발명에 따라 전자빔을 이용하여 포스트큐어를 실행한 경우와 종래의 열경화 방법으로 포스트큐어를 실행한 결과를 비교하기 위한 것으로, 홀의 직경과 PSR의 표면 및 납내열성을 비교하기 위한 사진들이다. 도 10에서 B1은 종래의 열경화 방법을 사용한 포스트큐어의 결과이고, B2-B5는 본 발명의 전자빔을 이용한 포스트큐어의 결과이다. 이 때 B1은 PSR에 주제와 열경화제가 포함된 경우이고, B2는 PSR에 주제만을, B3은 PSR에 주제와 양이온 개시제를, B4는 PSR에 주제와 열경화제를, B5는 PSR에 주제와 열경화제 및 양이온 개시제를 모두 포함한 경우이다. 10 is a graph for comparing the results of executing Post Cure using an electron beam according to the present invention and the results of executing Post Cure using a conventional thermal curing method, admit. In Fig. 10, B1 is a result of Post Cure using a conventional thermal curing method, and B2-B5 is a result of Post Cure using an electron beam of the present invention. In this case, B1 is the case when the PSR contains the subject and the heat curing agent, B2 is the subject only to the PSR, B3 is the subject and the cation initiator to the PSR, B4 is the subject and the heat curing agent to the PSR, A curing agent and a cationic initiator.
도 10에 나타난 바와 같이, 종래의 열경화 방법으로 포스트큐어를 실행한 경우와 본 발명에 따라 전자빔(도 8의 421)을 이용하여 포스트큐어를 실행한 경우에 홀(도 8의 611)의 직경과 PSR(도 8의 221,231)의 표면 및 PSR(도 8의 221,231)의 납내열성에 있어서 큰 차이가 없음을 알 수 있다. 즉, 전자빔(도 8의 421)을 이용하여 포스트큐어를 실행하더라도 그 효과는 종래의 열경화 방법을 사용하는 것과 거의 동일하게 나타나지만, 경화 시간은 종래에 비해 월등하게 단축된다. As shown in Fig. 10, when the post cure is performed using the conventional thermal curing method and the post cure is performed using the electron beam (421 in Fig. 8) according to the present invention, the diameter of the hole (611 in Fig. 8) And the PSR (221 and 231 in FIG. 8) of the surface of the PSR (221 and 231 in FIG. 8) and the lead heat resistance of the PSR. That is, even if the post cure is performed using the electron beam (421 in FIG. 8), the effect is almost the same as that using the conventional thermal curing method, but the curing time is significantly shortened compared with the conventional case.
본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이들로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, it is to be understood that various modifications and equivalent embodiments may be made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
도 1은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법을 순차적으로 보여주는 흐름도이다.1 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to the present invention.
도 2 내지 도 7은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 제조 공정을 순차적으로 보여주는 도면들이다.FIGS. 2 to 7 are views sequentially illustrating the manufacturing process of the printed circuit board according to the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art
201: 기판, 205: 볼 패턴201: substrate, 205: ball pattern
211: 도금층, 221/231: 제1 및 제2 PSR211: plating layer, 221/231: first and second PSR
401; 전자빔 장치, 411; 마이크로팁들401; Electron beam device, 411; Microtips
421; 전자빔, 611; 홀들421; Electron beam, 611; Holes
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