KR101511241B1 - 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents

기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 스테이지 상부에 고정 설치되며, 기판 상에 형성된 얼라인 마크를 촬영하는 카메라 유닛; 상기 기판을 지지하며, 상기 기판을 x축 방향과 y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 스테이지; 상기 기판 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 저장하며, 스테이지 속도 설정 유닛에서 설정된 스테이지의 속도를 저장하는 데이터 저장 유닛; 상기 얼라인 마크의 촬영 지점에서 스테이지의 정지없이, 상기 스테이지의 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하는 스테이지 속도 설정 유닛; 상기 스테이지의 위치를 측정하고, 측정된 결과를 제어 유닛에 전송하는 스테이지 위치 측정 유닛; 및 상기 카메라 유닛, 스테이지, 데이터 저장 유닛, 스테이지 속도 설정 유닛, 스테이지 위치 측정 유닛 및 데이터 전송 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛을 포함하는 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법이 제공된다.

Description

기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법 {System and method for recognizing substrate alignment}
본 발명은 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 상에 표시된 복수의 얼라인 마크 촬영 시, 얼라인 마크 촬영 지점에서 스테이지를 멈추지 않고 이동시키면서 얼라인 마크를 촬영하여 얼라인 마크 촬영 시간을 단축시키고 정확성을 개선시키기 위한 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 개략적인 구성도이다.
이하, 종래기술에 의한 기판 정렬에 관하여 관련 도면을 참조하여 설명하도록 한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 먼저 기판(1)을 테이블(2) 위에 올려 둔 후, 진공 방식 등에 의하여 기판(1)을 테이블(2)에 고정시킨 다음, 이를 ⓐ 방향으로 이동시켜 정렬(alignment)을 확인하게 된다.
이와 같이 정렬을 측정한 후 패터닝 또는 커팅을 진행하게 되며, 패터닝 또는 커팅 후 ⓑ 방향으로 다시 테이블(2)이 이동되어 진 다음, 패터닝 또는 커팅된 기판(1)을 수취하는 것으로 작업 공정을 마치게 된다. 한편, 현재 사용되고 있는 레이저 패터닝 장치 또는 커팅 장치의 경우 테이블(2)에 투입/수취기가 없이 수작업의 형태로 기판을 테이블에 올려 놓고 있다. 즉, 도 1에서 확인되는 바와 같이, 테이블(2) 상에 기판(1)을 올려 놓을 때 통상적으로 테이블(2) 상에 임시로 형성된 가이드 라인(3)에 따라 수작업으로 진행하기 때문에, 기판(1)이 틀어지는 것을 임시적으로는 방지할 수도 있겠으나 근본적으로 미세하게 틀어지는 현상을 방지하기는 힘들다. 이와 같은 기판의 틀어짐에 대한 정렬 인식의 보정 수단이 존재하지 않을 경우에는 앞서 설명한 공정 중 정렬 확인 단계에서 다음과 같은 문제점을 야기한다. 즉, 정렬을 확인하는 방법으로서 도 1에 도시된 바와 같은 한 쌍의 카메라(C1, C2)로 정렬 마크(M, M1 내지 M4) 4개를 읽는 방법을 들 수 있다. 이러한 한 쌍의 카메라는 테이블 상부에 위치도록 배치된다. 도 1에서와 같이, 테이블이 ⓐ 방향으로 이동함에 따라 먼저 카메라 C1에서 정렬 마크 M1을 인식하게 되고, 정상적으로 인식될 경우, 나란하게 배치된 카메라 C2에서 정렬 마크 M2를 인식하게 된다. 그 다음, 테이블이 ⓐ 방향으로 더 이동하여, 카메라 C1, C2는 또다른 정렬 마크 M3와 M4를 인식한다.
종래 기술에 따른 기판 얼라인 인식 시스템을 이용하는 경우, 카메라를 이용하여 얼라인 마크를 촬영하기 위하여 스테이지가 촬영 지점에 도달한 경우 스테이지를 완전히 정지시킨 후 스테이지 안정화를 위한 일정 시간 대기 후 카메라를 이용하여 얼라인 마크를 촬영한 후, 다음 얼라인 마크를 촬영하기 위하여 스테이지를 재가동시켜시 스테이지를 이동시킨 후 얼라인 마크를 촬영한다. 그 결과, 종래 기술에 따르면, 스테이지를 이동시킨 후, 스테이지를 안정화시키기 위하여 일정 시간 대기해야 하므로 기판 얼라인 인식 시간 및 기판 얼라인 시간이 현저히 증가하는 문제점이 발생한다.
그리고, 기판 상에 다수의 단위 셀 패턴을 마킹하거나 절단하는 경우, 각 단위 셀 패턴 마다 얼라인 마크가 존재하고, 기판 상에는 많은 수의 얼라인 마크가 표시된다. 이러한 경우, 종래 기술에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 방식대로 얼라인 마크를 촬영할 경우 스테이지의 정지 및 이동 회수가 증가하게 되고, 이는 스테이지 구동부에 무리를 주게되며, 스테이지의 이동 시간이 현저하게 증가되어 기판 얼라인 인식 시간 및 얼라인 시간이 증가하는 문제점도 발생하게 된다.
공개특허 10-2010-0067716
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 상에 다수의 단위 셀 패턴을 마킹하거나 절단 시, 각 단위 셀 패턴 마다 얼라인 마크가 존재하며 이를 얼라인 하는 경우, 각 얼라인 마크의 촬영 지점에서 스테이지를 멈추지 않고, 스테이지의 속도를 스테이지 이동 경로의 구간별로 가변시키면서 카메라 유닛을 통하여 얼라인 마크를 촬영하여 얼라인 인식 시간 및 얼라인 시간을 단축시킬 수 있는 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예에 따르면, 스테이지 상부에 고정 설치되며, 기판 상에 형성된 얼라인 마크를 촬영하는 카메라 유닛; 상기 기판을 지지하며, 상기 기판을 x축 방향과 y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 스테이지; 상기 기판 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 저장하며, 스테이지 속도 설정 유닛에서 설정된 스테이지의 속도를 저장하는 데이터 저장 유닛; 상기 얼라인 마크의 촬영 지점에서 스테이지의 정지없이, 상기 스테이지의 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하는 스테이지 속도 설정 유닛; 상기 스테이지의 위치를 측정하고, 측정된 결과를 제어 유닛에 전송하는 스테이지 위치 측정 유닛; 및 상기 카메라 유닛, 스테이지, 데이터 저장 유닛, 스테이지 속도 설정 유닛, 스테이지 위치 측정 유닛 및 데이터 전송 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛;을 포함하는 기판 얼라인 인식 시스템이 제공된다.
상기 제어 유닛은 상기 스테이지 위치 측정 유닛에서 전송된 결과와 스테이지 속도 설정 유닛에 의해서 설정된 각 구간별 스테이지 이동 속도 설정값을 비교하여, 스테이지가 해당 지점에서 설정된 속도로 이동되도록 스테이지의 이동 속도를 제어한다.
상기 스테이지 속도 설정 유닛은 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 얼라인 마크 촬영 구간과 스테이지 이동 구간으로 구분하고, 각 구간별로 스테이지의 이동 속도를 조절한다.
상기 얼라인 마크 촬영 구간에서는 스테이지의 속도를 일정하게 유지하되, 상기 스테이지 이동 구간에 비하여 이동 속도를 낮추어 설정한다.
상기 스테이지 이동 구간은 스테이지 가속 구간과 스테이지 감속구간으로 구분하여, 스테이지의 이동 속도를 설정한다.
상기 카메라 유닛에서 촬영한 얼라인 마크 촬영 데이터를 상기 데이터 저장 유닛으로 전송하는 데이터 전송 유닛을 더 포함한다.
상기 기판 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 설정하는 스테이지 경로 설정 유닛을 더 포함한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 마킹 예정 또는 절단 예정인 복수개의 단위 셀 패턴 각각에 대한 얼라인 마크를 기판 상에 표시하는 단계; 상기 기판을 스테이지에 로딩 시키는 단계; 얼라인 마크 위치 정보에 기초하여 스테이지의 이동 경로를 설정하는 단계; 상기 스테이지의 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하되, 상기 얼라인 마크의 촬영 지점에서 상기 스테이지를 정지시키지 않도록 스테이지 이동 속도를 설정하는 단계; 상기 스테이지를 설정된 이동 속도로 이동시키며, 스테이지의 위치를 측정하는 단계; 및 상기 스테이지가 얼라인 마크 촬영 지점 도달시, 카메라 유닛을 통하여 얼라인 마크를 촬영하는 단계를 포함하는 기판 얼라인 인식 시스템의 제어 방법이 제공된다.
본 발명에서와 같이, 기판 상에 다수의 단위 셀 패턴을 마킹하거나 절단 시, 각 단위 셀 패턴 마다 얼라인 마크가 존재하며 이를 얼라인 하는 경우, 각 얼라인 마크의 촬영 지점에서 스테이지를 멈추지 않고, 스테이지의 속도를 스테이지 이동 경로의 구간별로 가변시키면서 카메라 유닛을 통하여 얼라인 마크를 촬영함으로써, 얼라인 인식 시간 및 얼라인 시간을 단축시킬 수 있게 된다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 기능 블록도이다.
도 4는 스테이지의 이동 경로를 나타낸 도이다.
도 5는 스테이지의 구간별 이동 속도를 나타낸 도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 기능 블록도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 제어 방법에 대한 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 개략적인 구성도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 기능 블록도이고, 도 4는 스테이지의 이동 경로를 나타낸 도이고, 도 5는 스테이지의 구간별 이동 속도를 나타낸 도이다.
도 2 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 얼라인 인식 시스템은 카메라 유닛(100), 스테이지(200), 데이터 저장 유닛(300), 스테이지 속도 설정 유닛(400), 스테이지 위치 측정 유닛(500), 데이터 전송 유닛(600) 및 제어 유닛(800)을 포함한다.
카메라 유닛(100)는 스테이지(200) 상부에 고정 설치되며, 기판(10) 상에 형성된 얼라인 마크(AM)를 촬영하는 기능을 수행한다.
스테이지(200)는 기판(10)을 지지하며, 기판(10)을 2축 방향 즉, x축 방향과 y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된다. 스테이지(200)를 이동시켜서 기판(10) 상에 형성된 얼라인 마크가 카메라 유닛(100)의 촬영 지점에 배치되도록 한다.
데이터 저장 유닛(300)은 기판(10) 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 저장하며, 스테이지 속도 설정 유닛(400)에서 설정된 스테이지의 속도를 저장하는 기능을 수행한다.
스테이지 속도 설정 유닛(400)은 스테이지 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하는 기능을 수행한다. 스테이지 속도 설정 유닛(400)은 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 얼라인 마크 촬영 구간과 스테이지 이동 구간으로 구분하고, 각 구간별로 스테이지의 이동 속도를 조절한다.
얼라인 마크 촬영 구간에서는 스테이지의 속도를 일정하게 유지하되, 스테이지 이동 구간에 비하여 이동 속도를 낮추어 설정한다. 이때, 얼라인 마크 촬영 구간은 얼라인 마크가 존재하는 지점을 포함하되, 얼라인 마크가 존재하는 지점 전후로 오차 영역을 설정한다.
한편, 스테이지 이동 구간은 얼라인 마크 촬영 구간과 다음 얼라인 마크 촬영 구간 사이의 구간이며, 이러한 스테이지 이동 구간은 스테이지 가속 구간과 스테이지 감속구간으로 구분하여, 스테이지의 이동 속도를 설정한다. 즉, 스테이지 가속 구간(즉, 얼라인 마크 촬영이 완료된 시점에서 다음 얼라인 마크 촬영을 개시되기 이전의 임의의 구간)에서는 스테이지의 속도를 증가시키며, 스테이지 감속 구간(즉, 다음 얼라인 마크 촬영을 개시되기 이전의 임의의 구간에서 다음 얼라인 마크 촬영이 개시되는 구간)에서는 스테이지의 속도를 감소시키도록 스테이지의 이동 속도를 설정한다.
스테이지 위치 측정 유닛(500)은 스테이지의 위치를 측정하고, 측정된 결과를 제어 유닛(800)에 전송한다. 제어 유닛(800)은 스테이지 위치 측정 유닛(500)에서 전송된 결과와 스테이지 속도 설정 유닛(400)에 의해서 설정된 각 구간별 스테이지 이동 속도 설정값을 비교하여, 스테이지가 해당 지점에서 설정된 속도로 이동되도록 스테이지(200)의 이동 속도를 제어하는 기능을 수행한다.
데이터 전송 유닛(600)은 카메라 유닛(100)에서 촬영한 얼라인 마크 촬영 데이터를 데이터 저장 유닛(300)으로 전송하는 기능을 수행한다.
제어 유닛(900)은 카메라 유닛(100), 스테이지(200), 데이터 저장 유닛(300), 스테이지 속도 설정 유닛(400), 스테이지 위치 측정 유닛(500) 및 데이터 전송 유닛(600)의 동작을 제어한다.
본 실시예에 따르면, 각 얼라인 마크의 촬영 지점에서 스테이지를 멈추지 않고, 스테이지의 속도를 스테이지 이동 경로의 구간별로 가변시키면서 카메라 유닛을 통하여 얼라인 마크를 촬영함으로써, 얼라인 인식 시간을 단축시킬 수 있게 된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 실시예의 경우 기판(10) 상에 다수의 단위 셀 패턴이 존재하며, 각 단위 셀 패턴 마다 얼라인 마크가 존재한다. 본 실시예의 경우 얼라인 마크 AM1, AM2, AM3, AM4, AM5, AM6, AM7의 순서대로 카메라 유닛이 얼라인 마크를 촬영할 수 있도록 스테이지가 이동된다.
얼라인 마크 AM1, AM2, AM3 및 AM4 의 얼라인 마크 촬영 구간(A1, A2, A3, A4)에서는 스테이지가 등속 이동하며, 스테이지 이동 구간 중 스테이지 가속 구간(B1, B2, B3)에서는 스테이지의 속도가 증가되며, 스테이지 이동 구간 중 스테이지 감속구간(C1, C2, C3)에서는 스테이지의 속도가 감소된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 기능 블록도이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 얼라인 인식 시스템은 카메라 유닛(100), 스테이지(200), 데이터 저장 유닛(300), 스테이지 속도 설정 유닛(400), 스테이지 위치 측정 유닛(500), 데이터 전송 유닛(600), 스테이지 경로 설정 유닛(700) 및 제어 유닛(800)을 포함한다.
카메라 유닛(100)는 스테이지(200) 상부에 고정 설치되며, 기판(10) 상에 형성된 얼라인 마크(AM)를 촬영하는 기능을 수행한다. 스테이지(200)는 기판(10)을 지지하며, 기판(10)을 2축 방향 즉, x축 방향과 y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된다.
데이터 저장 유닛(300)은 기판(10) 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 저장하며, 스테이지 속도 설정 유닛(400)에서 설정된 스테이지의 속도를 저장하는 기능을 수행한다. 또한, 스테이지 경로 설정 유닛(700)에서 설정된 스테이지 이동 경로에 관한 데이터가 저장된다.
스테이지 속도 설정 유닛(400)은 스테이지 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하는 기능을 수행한다. 스테이지 속도 설정 유닛(400)은 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 얼라인 마크 촬영 구간과 스테이지 이동 구간으로 구분하고, 각 구간별로 스테이지의 이동 속도를 조절한다.
스테이지 위치 측정 유닛(500)은 스테이지의 위치를 측정하고, 측정된 결과를 제어 유닛(800)에 전송한다.
스테이지 경로 설정 유닛(700)은 기판 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 설정한다. 본 실시예의 경우, 스테이지의 이동 거리가 최단 거리가 되도록 스테이지 이동 경로를 설정한다.
제어 유닛(900)은 카메라 유닛(100), 스테이지(200), 데이터 저장 유닛(300), 스테이지 속도 설정 유닛(400), 스테이지 위치 측정 유닛(500) 및 데이터 전송 유닛(600)의 동작을 제어한다.
제어 유닛(800)은 스테이지 위치 측정 유닛(500)에서 전송된 결과와 스테이지 속도 설정 유닛(400)에 의해서 설정된 각 구간별 스테이지 이동 속도 설정값을 비교하여, 스테이지가 해당 지점에서 설정된 속도로 이동되도록 스테이지(200)의 이동 속도를 제어하는 기능을 수행한다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 제어 방법에 대한 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 우선 마킹 예정 또는 절단 예정인 복수개의 단위 셀 패턴 각각에 대한 얼라인 마크를 기판 상에 표시하는 과정을 수행한다(S100).
기판을 스테이지에 로딩 시키는 과정을 수행한다(S200).
그 다음 얼라인 마크 위치 정보에 기초하여 스테이지의 이동 경로를 설정하는 과정을 수행한다(S300).
스테이지 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정한다(S400). 이때, 얼라인 마크 촬영 구간에서는 스테이지의 속도를 일정하게 유지하되, 스테이지 이동 구간에 비하여 이동 속도를 낮추어 설정한다. 한편, 스테이지 이동 구간은 얼라인 마크 촬영 구간과 다음 얼라인 마크 촬영 구간 사이의 구간이며, 이러한 스테이지 이동 구간은 스테이지 가속 구간과 스테이지 감속구간으로 구분하여, 스테이지의 이동 속도를 설정한다.
스테이지를 설정된 이동 속도로 이동시키며, 스테이지의 위치를 측정하는 과정을 수행한다(S500).
스테이지가 얼라인 마크 촬영 지점에 도달하면, 카메라 유닛을 통하여 얼라인 마크를 촬영하는 과정을 수행한다(S600).
얼라인 마크 촬영 데이터를 데이터 저장 유닛으로 전송하고, 얼라인 마크 촬영 데이터를 기초로 기판의 앵글 또는 셀 패턴의 스케일을 조절한다(S700).
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 기판 얼라인 인식 시스템 및 그 제어 방법의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
100 : 카메라 유닛
200 : 스테이지
300 : 데이터 저장 유닛
400 : 스테이지 속도 설정 유닛
500 : 스테이지 위치 측정 유닛
600 : 데이터 전송 유닛
700 : 스테이지 경로 설정 유닛
800 : 제어 유닛

Claims (8)

  1. 기판 얼라인 인식 시스템에 있어서,
    스테이지 상부에 고정 설치되며, 기판 상에 형성된 얼라인 마크를 촬영하는 카메라 유닛;
    상기 기판을 지지하며, 상기 기판을 x축 방향과 y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 스테이지;
    상기 기판 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 저장하며, 스테이지 속도 설정 유닛에서 설정된 스테이지의 속도를 저장하는 데이터 저장 유닛;
    상기 얼라인 마크의 촬영 지점에서 스테이지의 정지없이, 상기 스테이지의 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하는 스테이지 속도 설정 유닛;
    상기 스테이지의 위치를 측정하고, 측정된 결과를 제어 유닛에 전송하는 스테이지 위치 측정 유닛; 및
    상기 카메라 유닛, 스테이지, 데이터 저장 유닛, 스테이지 속도 설정 유닛, 스테이지 위치 측정 유닛 및 데이터 전송 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛;을 포함하며,
    상기 제어 유닛은 상기 스테이지 위치 측정 유닛에서 전송된 결과와 스테이지 속도 설정 유닛에 의해서 설정된 각 구간별 스테이지 이동 속도 설정값을 비교하여, 스테이지가 해당 지점에서 설정된 속도로 이동되도록 스테이지의 이동 속도를 제어하며,
    상기 스테이지 속도 설정 유닛은 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 얼라인 마크 촬영 구간과 스테이지 이동 구간으로 구분하고, 상기 얼라인 마크 촬영 구간에서는 스테이지의 속도를 일정하게 유지하되, 상기 스테이지 이동 구간에 비하여 이동 속도를 낮추어 설정하고, 상기 얼라인 마크 촬영 구간은 얼라인 마크가 존재하는 지점을 포함하되, 얼라인 마크가 존재하는 지점 전후로 오차 영역을 설정하고,
    상기 스테이지 이동 구간은 스테이지 가속 구간과 스테이지 감속구간으로 구분하며, 상기 스테이지 가속 구간에서는 스테이지의 속도를 증가시키고, 상기 스테이지 감속 구간에서는 스테이지의 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 인식 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 상에 형성된 얼라인 마크의 위치 정보를 기초로 스테이지의 이동 경로를 설정하는 스테이지 경로 설정 유닛을 더 포함하며, 상기 스테이지 경로 설정 유닛은 스테이지의 이동거리가 최단 거리가 되도록 스테이지 이동 경로를 설정하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 인식 시스템.
  8. 제1항 또는 제7항 중 어느 한 항에 따른 기판 얼라인 인식 시스템의 제어 방법으로서,
    마킹 예정 또는 절단 예정인 복수개의 단위 셀 패턴 각각에 대한 얼라인 마크를 기판 상에 표시하는 단계;
    상기 기판을 스테이지에 로딩 시키는 단계;
    얼라인 마크 위치 정보에 기초하여 스테이지의 이동 경로를 설정하는 단계;
    상기 스테이지의 이동 경로를 구간별로 구분하여, 각 구간별로 스테이지 이동 속도를 설정하되, 상기 얼라인 마크의 촬영 지점에서 상기 스테이지를 정지시키지 않도록 스테이지 이동 속도를 설정하는 단계;
    상기 스테이지를 설정된 이동 속도로 이동시키며, 스테이지의 위치를 측정하는 단계; 및
    상기 스테이지가 얼라인 마크 촬영 지점 도달시, 카메라 유닛을 통하여 얼라인 마크를 촬영하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 얼라인 인식 시스템의 제어 방법.
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