KR101503587B1 - 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법에 관한 것으로, 플렉시블 기판을 로딩하는 로딩부와, 트레이에 장착된 플렉시블 기판을 이송하여 공정이 진행되도록 하는 공정이송부와, 이송가이드를 따라 상기 로딩부와 공정이송부 사이를 수평이동하는 이송로봇과, 상기 이송로봇을 따라 상하 이동하며, 상기 플렉시블 기판을 잡아 상기 이송로봇의 변위에 따라 이동시키되, 상기 플렉시블 기판에 장력을 부가하여 처짐을 방지하는 텐션장치부를 포함한다. 본 발명은 로딩부를 통해 연속으로 공급되는 플렉시블 기판에 텐션을 부가하여 완전히 펼쳐진 상태가 되도록 하여, 공정이송부로 이송하고, 공정이송부에 대기하는 트레이에 장착함으로써, 트레이에 장착되어 공정이 진행되는 플렉시블 기판이 처짐이 발생하지 않은 완전히 펼쳐진 상태가 되도록 하여, 공정의 신뢰성을 향상시키고 수율의 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

플렉시블 기판의 이송장치 및 방법{Transferring apparatus for flexible substrate and method thereof}
본 발명은 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플렉시블 기판의 처짐을 방지할 수 있는 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 휴대가 용이한 디스플레이 장치에 대한 수요가 증가하면서, 유기 전계 발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display)와 같은 플렉시블(flexibe) 디스플레이에 대한 수요가 증가하고 있다.
또한 휘어지는 디스플레이에 대한 연구 개발이 가속화되고 있는데 이때 필수적으로 필요한 것인 플렉시블 기판이다. 플렉시블 기판은 통상 박형의 유리, 메탈호일, 플라스틱을 재료로 할 수 있으며, 이러한 소재의 플렉시블 기판을 이용하여 플렉시블 디스플레이를 제조하기 위해서는 저온 공정용 무기 또는 유기 소재의 플렉시블 일렉트로닉스, 봉지 및 패키징 기술이 필요하다.
상기 플렉시블 기판을 이용하여 디스플레이를 제조하기 위해서, 플렉시블 기판을 이송하며 세정, 건조, 노광 등 다양한 공정이 선택적으로 이루어져야 하며, 이때 플렉시블 기판이 처지거나, 휘어진 상태가 되면 정확한 공정이 이루어질 수 없기 때문에 플렉시블 기판은 평탄한 상태가 유지되어야 한다.
이처럼 플렉시블 기판을 공정 중 평탄하게 유지하기 위하여, 디스플레이 제조장치에서 공정이 진행되는 플렉시블 기판은 트레이에 고정되어 처짐이 발생하지 않은 상태에서 디스플레이 제조공정이 진행된다.
대표적인 트레이의 구조로서 등록특허 10-0658267호에는 지지판의 가장자리에 서로 대칭되도록 설치되어 플렉시블 기판 또는 플렉시블 필름을 고정시키는 두 개 이상의 클램프를 포함하는 트레이가 개시되어 있다.
이와 같은 트레이를 사용하여 플렉시블 기판을 처리하는 공정이 연속으로 이루어지기 위해서는, 트레이와 플렉시블 기판이 각각 로딩된 상태에서 로봇으로 플렉시블 기판을 집어 트레이에 장착하는 과정이 필요하다.
이때 로봇이 플렉시블 기판이 처지거나 휘어진 상태의 플렉시블 기판을 트레이에 장착하게 되는 경우, 클램프를 가지는 트레이는 단순히 안착된 플렉시블 기판의 상태 그대로를 고정하기 때문에 플렉시블 기판이 완전히 펼쳐지지 않은 상태로 고정될 수 있다.
이처럼 플렉시블 기판이 완전히 펼쳐지지 않은 상태에서 공정이 진행될 경우, 공정불량이 발생하며 수율이 저하되는 문제점이 발생한다.
따라서 플렉시블 기판의 처짐을 방지한 상태로 트레이에 장착하기 위한 이송장치의 개발에 대한 시장의 요구가 커지고 있다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 플렉시블 기판을 트레이에 장착할 때, 처짐 없이 완전히 펼쳐진 상태로 장착할 수 있는 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법을 제공함에 있다.
또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 플렉시블 기판을 펼쳐진 상태로 트레이에 장착할 때, 플렉시블 기판에 가해지는 압력을 고려하여 플렉시블 기판의 손상을 방지할 수 있는 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법을 제공함에 있다.
그리고 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 플렉시블 기판의 크기에 무관하게 적용할 수 있는 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 플렉시블 기판의 이송장치는, 플렉시블 기판을 로딩하는 로딩부와, 트레이에 장착된 플렉시블 기판을 이송하여 공정이 진행되도록 하는 공정이송부와, 이송가이드를 따라 상기 로딩부와 공정이송부 사이를 수평이동하는 이송로봇과, 상기 이송로봇을 따라 상하 이동하며, 상기 플렉시블 기판을 잡아 상기 이송로봇의 변위에 따라 이동시키되, 상기 플렉시블 기판에 장력을 부가하여 처짐을 방지하는 텐션장치부를 포함한다.
또한 본 발명 플렉시블 기판의 이송방법은, a) 플렉시블 기판의 마주하는 양측 가장자리를 집어 이송하는 단계와, b) 이송되는 상기 플렉시블 기판에 장력을 부가하여, 처짐을 방지하는 단계와, c) 이송된 상기 플렉시블 기판을 트레이에 장착하는 단계와, d) 상기 플렉시블 기판이 장착된 상기 트레이를 수평이송하여, 상기 플렉시블 기판을 처리하는 단계를 포함한다.
본 발명 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법은, 로딩부를 통해 연속으로 공급되는 플렉시블 기판에 텐션을 부가하여 완전히 펼쳐진 상태가 되도록 하여, 공정이송부로 이송하고, 공정이송부에 대기하는 트레이에 장착함으로써, 트레이에 장착되어 공정이 진행되는 플렉시블 기판이 처짐이 발생하지 않은 완전히 펼쳐진 상태가 되도록 하여, 공정의 신뢰성을 향상시키고 수율의 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 플렉시블 기판에 장력을 부가하여 처짐을 방지한 상태로 이송하되, 플렉시블 기판에 가해지는 장력을 검출하는 수단을 부가하여 플렉시블 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
그리고 본 발명은, 플렉시블 기판의 가장자리를 잡아 고정된 상태로 이동시킬 수 있는 그리퍼의 위치를 조절할 수 있어, 플렉시블 기판의 크기에 무관하게 이송할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판 이송장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판의 이송장치에 적용되는 텐션장치부의 사시도이다.
도 3은 도 2의 평면 구성도이다.
도 4는 도 2의 측면 구성도이다.
도 5는 텐션장치부의 동작을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
도 6은 텐션장치부의 다른 실시 구성도이다.
이하, 본 발명 플렉시블 기판의 이송장치 및 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시에에 따른 플렉시블 기판 이송장치의 구성도이고, 도 2는 텐션장치부의 사시도이며, 도 3과 도 4는 각각 텐션장치부의 평면과 측면 구성도이다.
도 1 내지 도 4를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판 이송장치는, 플렉시블 기판(1)을 로딩하는 로딩부(100)와; 이송가이드(400)를 따라 수평이동하는 이송로봇(200)과, 이송로봇(200)의 상하이동블록(210)에 고정되어 상기 플렉시블 기판(1)을 잡아 상기 이송로봇(200)의 변위에 따라 이동시키되, 플렉시블 기판(1)에 장력을 부가하여 처짐을 방지하는 텐션장치부(300)와, 상기 텐션장치부(300)로부터 이송된 플렉시블 기판(1)이 장착되는 트레이(510)를 이송하여 공정이 진행되도록 하는 공정이송부(500)를 포함하여 구성된다.
상기 텐션장치부(300)는 각각 다수인 제1통공(302)과 제2통공(303)이 각기 다른 가장자리에 마련된 베이스판(301)과, 상기 베이스판(301)의 제1통공(302)이 마련된 일측 가장자리에 위치하여 상기 베이스판(301)의 하부측에서 상기 플렉시블 기판(1)의 일측 가장자리를 잡는 제1그립부(310)와, 상기 제2통공(303)이 마련된 타측 가장자리에 위치하여 상기 베이스판(301)의 하부측에서 상기 플렉시블 기판(1)의 타측 가장자리를 잡는 제2그립부(320)와, 상기 제2그립부(320)를 직선운동시켜 상기 제1그립부(310)와 제2그립부(320)에 양측 가장자리가 그립된 플렉시블 기판(1)에 장력을 주어 처짐을 방지하는 텐션구동부(330)와, 상기 제1그립부(310)를 상기 베이스판(301)에 고정시켜, 조정된 위치의 변동을 방지하는 위치조정부(350)와, 상기 텐션구동부(330)의 압력을 검출하는 압력감지부(340)를 포함하여 구성된다.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 플렉시블 기판의 이송장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
먼저, 로딩부(100)는 다수의 롤러를 구비하여, 그 롤러들의 회전에 의해 공정이 진행될 플렉시블 기판(1)을 소정의 주기로 연속하여 로딩하는 구성일 수 있다.
상기 로딩부(100)에 로딩된 플렉시블 기판(1)은 공정이송부(500)를 통해 이송되면서 필요한 공정이 진행된다. 이때 플렉시블 기판(1)만이 공정이송부(500)를 통해 이송되는 경우에는 플렉시블 기판(1)이 처진 경우 공정 불량이 발생할 수 있기 때문에 플렉시블 기판(1)을 트레이(510)에 장착하여 이송하게 된다.
상기 이송로봇(200)과 텐션장치부(300)는 로딩부(100)에 로딩된 플렉시블 기판(1)을 상기 공정이송부(500)에 주기적으로 로딩되는 트레이(510)에 장착하기 위한 것이며, 특히 텐션장치부(300)를 사용하여 처짐 없이 완전히 펼쳐진 상태로 트레이(510)에 장착하게 된다.
상기 이송로봇(200)은 이송가이드(400)를 따라 상기 로딩부(100)와 공정이송부(500) 사이를 직선 왕복운동할 수 있으며, 상하이동블록(210)이 그 이송로봇(200)을 따라 상하로 이동할 수 있는 구조이다.
상기 상하이동블록(210)은 로딩부(100)의 플렉시블 기판(1)을 들어올리고, 이송로봇(200)이 공정이송부(500)로 이동한 후, 플렉시블 기판(1)을 하향으로 이동시켜 트레이(510)에 장착할 수 있도록 한다.
상기 상하이동블록(210)에 고정설치된 텐션장치부(300)는 플렉시블 기판(1)의 마주하는 양측 가장자리를 그립하여 이동시키게 되며, 그 이동되는 플렉시블 기판(1)의 일측을 당겨 장력을 주어 처짐이 발생하는 것을 방지하게 된다.
상기 텐션장치부(300)의 제1그립부(310)와 제2그립부(320)는 다음과 같이 상호 동일하게 구성될 수 있다.
각각 다수의 제1가이드(315)와 제2가이드(325)와, 상기 제1가이드(315)와 제2가이드(325)를 따라 이동하는 제1이동블록(316) 및 제2이동블록(326)과, 상기 제1이동블록(316)과 제2이동블록(326)의 상부에 결합되는 바(bar)형상의 제1플레이트(317) 및 제2플레이트(327)와, 상기 제1플레이트(317)와 제2플레이트(327) 각각의 상부에 다수로 마련된 제1실린더(311) 및 제2실린더(321)와, 상기 제1실린더(311)와 제2실린더(321) 각각의 구동에 따라 상하로 변위되는 제1연결블록(312) 및 제2연결블록(322)과, 상기 제1연결블록(312) 및 제2연결블록(322)에 결합되어 상하로 변위되며, 상기 베이스판(301)의 마주하는 양측 가장자리에 상하로 마련된 제1통공(302)과 제2통공(303)을 통해 각각 상기 베이스판(301)의 하부로 연장되어 위치하는 제1이동그리퍼(313) 및 제2이동그리퍼(323)와, 상부가 상기 제1플레이트(317)와 제2플레이트(327)에 고정되며 하부가 상기 제1통공(302)과 제2통공(303) 각각을 통해 상기 베이스판(301)의 하부로 연장되어 위치하여, 상기 제1 및 제2이동그리퍼(313,323)의 상하 이동에 따라 상기 플렉시블 기판(1)의 양측 가장자리를 각각 그립하는 제1고정그리퍼(314) 및 제2고정그리퍼(324)를 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성되는 제1그립부(310)와 제2그립부(320)의 작용은 상기 이송로봇(200)이 로딩부(100)에 인접한 상태에서 상기 상하이동블록(210)에 결합된 텐션장치부(300)가 하향 이동을 한다. 이때 상기 제1이동그리퍼(313)와 제2이동그리퍼(323)는 제1 및 제2실린더(311,321)의 작용에 의해 각각 하향으로 이동된 상태이며, 플렉시블 기판(1)이 로딩부에 로딩되면 그 제1이동그리퍼(313)와 제2이동그리퍼(323)를 상향 이동시켜 플렉시블 기판(1)의 양측 가장자리를 잡게 된다.
상기 제1 및 제2이동그리퍼(313,323)와 제1 및 제2고정그리퍼(314,324)의 플렉시블 기판(1)과 접촉되는 부분은 탄성체가 마련되어 플렉시블 기판(1)의 손상을 방지하고, 플렉시블 기판(1)이 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같은 상태에서 상기 상하이동블록(210)이 상향으로 이동하며, 상기 상하이동블록(210)에 고정된 텐션장치부(300)가 플렉시블 기판(1)을 그립한 상태로 상향 이동하게 된다.
그 다음, 상기 이송로봇(200)이 이송가이드(400)를 따라 상기 공정이송부(500)를 따라 이동하게 된다.
이와 동시에 상기 텐션구동부(330)는 제2그립부(320)를 제1그립부(310)로부터 먼 방향으로 이동시켜, 상기 제1그립부(310)와 제2그립부(320)에 양측 가장자리가 고정된 플렉시블 기판(1)에 장력을 주게 된다. 이와 같은 장력에 의해 플렉시블 기판(1)은 처짐 없이 완전히 펼쳐진 상태가 된다. 이때 제1그립부(310)는 위치조정부(350)에 의하여 베이스판(301)에 고정된 상태이다.
상기 텐션구동부(330)의 구성은, 회전구동부(336)와, 상기 회전구동부(336)의 회전축과 스크류(333)를 연결하는 커플러(331)와, 상기 스크류(333)를 지지하는 회전가이드(332)와, 상기 제2플레이트(327)에 결합되며, 스크류(333)의 회전에 따라 직선왕복운동을 하는 텐션이동부(334)와, 상기 텐션이동부(334)의 이동을 가이드하는 텐션이동가이드(335)를 포함하여 구성될 수 있다.
즉, 회전구동부(336)의 회전력을 텐션이동부(334)의 직선운동으로 변환하여, 상기 제2그립부(320)를 이동시키는 구성이다.
이때 상기 텐션구동부(330)에 의해 발생된 장력은 플렉시블 기판(1)에 전달되며, 장력이 과도하게 작용할 경우 플렉시블 기판(1)이 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위하여 상기 텐션구동부(330)의 텐션이동부(334)의 이동에 따른 압력의 변화를 압력감지부(340)를 통해 감지하여, 설정압력 이상의 장력이 작용하지 않도록 제어한다.
도 5는 압력감지부(340)의 압력 검출에 따른 제어동작을 구현하기 위한 회로의 블록구성도이다.
도 5를 참조하면, 상기 압력감지부(340)에서 검출된 압력은 제어부(610)에서 인식되고, 제어부(610)는 검출된 압력이 설정압력 이하인지 판단한다.
상기 제어부(610)의 판단결과 검출압력이 설정압력이 되면, 구동부(620)를 제어하여 회전구동부(336)를 정지시킨다. 상기 압력감지부(340)는 1 내지 200N/m2의 압력을 검출할 수 있는 것으로 한다. 상기 압력감지부(340)의 검출압력은 1N/m2의 미만에서는 플렉시블 기판(1)에 충분한 장력을 부가하지 못하며, 200N/m2를 초과하는 경우 플렉시블 기판(1)이 파손되기 때문이다. 이처럼 적정한 압력검출범위의 압력감지부(340)를 사용하여 정확한 압력의 검출이 가능하도록 함으로써, 플렉시블 기판(1)의 손상을 방지할 수 있게 된다.
이와 같은 작용에 의하여 플렉시블 기판(1)을 처짐 없이 펼쳐진 상태로 이송하되, 플렉시블 기판(1)이 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.
이처럼 텐션구동부(330)의 작용에 의해 처짐이 없는 상태로 플렉시블 기판(1)이 이송되고, 상기 이송로봇(200)이 공정이송부(500)로 이동한 상태에서 상기 상하이동블록(210) 및 텐션장치부(300)가 하향 이동을 한 후, 상기 제1그립부(310)와 제2그립부(320) 각각의 제1이동그리퍼(313)와 제2이동그리퍼(323)가 하향 이동하여 플렉시블 기판(1)을 트레이(510)에 장착한다.
이후에는 위의 동작과는 역순으로 텐션장치부(300)가 상향으로 이동하고, 이송로봇(200)이 로딩부(100)로 이동되어, 차순의 플렉시블 기판이 로딩되면 위의 동작을 반복하게 된다.
상기 베이스판(301)에 마련된 제1통공(302)과 제2통공(303)은 상기 텐션구동부(330)의 구동방향과 동일한 방향으로 긴 장공이며, 따라서 제1통공(301)과 제2통공(302)를 통해 위치하는 제1 및 제2이동그리퍼(313,323)와 제1 및 제3고정그리퍼(314,324)의 위치 조정이 가능하게 된다.
앞서 설명한 바와 같이 텐션구동부(330)의 구동에 의해 제2그립부(320)가 이동되어 플렉시블 기판(1)에 장력을 줄 수 있으며, 이송할 플렉시블 기판(1)의 크기에 따라 제1그립부(320)의 위치를 조정한 상태에서 상기 위치조정부(350)로 고정시킬 수 있게 된다.
따라서 플렉시블 기판(1)의 크기에 무관하게 이송할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 텐션장치부(300)의 평면 구성도이다.
도 6을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 텐션장치부(300)는 앞서 설명한 실시예들에서 위치조정부(350)를 생략하고, 상기 제1그립부(310)를 이동시키는 제1텐션구동부(360)를 포함할 수 있다.
상기 제1텐션구동부(360)는 앞서 설명한 텐션구동부(330)와 동일한 구성일 수 있으며, 앞선 실시예와는 다르게 플렉시블 기판(1)의 양측 가장자리를 각각 잡는 제1그립부(310)와 제2그립부(320) 모두를 이동시켜 플렉시블 기판(1)에 장력을 줄 수 있다.
다른 구성은 앞선 실시예의 구성과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
1:플렉시블 기판 100:로딩부
200:이송로봇 210:상하이동블록
300:텐션장치부 301:베이스판
302:제1통공 303:제2통공
310:제1그립부 311:제1실린더
312:제1연결블록 313:제1이동그리퍼
314:제1고정그리퍼 315:제1가이드
316:제1이동블록 317:제1플레이트
320:제2그립부 321:제2실린더
322:제2연결블록 323:제2이동그리퍼
324:제2고정그리퍼 325:제2가이드
326:제2이동블록 327:제2플레이트
330:텐션구동부 331:커플러
332:회전가이드 333:스크류
334:텐션이동부 335:텐션이동가이드
336:회전구동부 340:압력감지부
350:위치조정부 360:제1텐션구동부
400:이송가이드 500:공정이송부
510:트레이 610:제어부
620:구동부

Claims (10)

  1. 플렉시블 기판을 로딩하는 로딩부;
    트레이에 장착된 플렉시블 기판을 이송하여 공정이 진행되도록 하는 공정이송부;
    이송가이드를 따라 상기 로딩부와 공정이송부 사이를 수평이동하는 이송로봇;
    상기 이송로봇을 따라 상하 이동하며, 상기 플렉시블 기판을 잡아 상기 이송로봇의 변위에 따라 이동시키되, 텐션구동부에 의해 상기 플렉시블 기판에 장력을 부가하여 처짐을 방지하는 텐션장치부;
    상기 텐션구동부에 의해 발생되는 압력을 검출하는 압력검출부; 및
    상기 압력검출부의 검출압력을 설정압력과 비교하여, 상기 텐션구동부의 구동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 플렉시블 기판의 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 텐션장치부는,
    상기 플렉시블 기판의 마주하는 양측 가장자리를 각각 그립하는 제1그립부 및 제2그립부;
    상기 제1그립부 또는 제2그립부를 이동시켜 상기 제1그립부 및 제2그립부에 그립된 플렉시블 기판에 장력을 부가하는 텐션구동부; 및
    상기 제1그립부 또는 제2그립부 중 이동하지 않는 하나를 고정하되, 그 위치를 조정할 수 있는 위치조정부를 포함하는 플렉시블 기판의 이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 텐션장치부는,
    상기 플렉시블 기판의 마주하는 양측 가장자리를 각각 그립하는 제1그립부 및 제2그립부; 및
    상기 제1그립부 및 제2그립부를 이동시켜 상기 제1그립부 및 제2그립부에 그립된 플렉시블 기판에 장력을 부가하는 한 쌍의 텐션구동부를 포함하는 플렉시블 기판의 이송장치.
  4. 삭제
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제1그립부와 상기 제2그립부 각각은,
    다수의 가이드를 따라 이동하는 다수의 이동블록;
    상기 이동블록들의 상부에 결합 되는 하나의 플레이트;
    상기 플레이트의 상부에 다수로 마련된 실린더;
    상기 실린더에 의해 상하 구동되는 이동그리퍼; 및
    상기 플레이트에 상부가 고정되고, 하부가 상기 이동그리퍼와 짝을 이루어 상기 플렉시블 기판을 고정하는 고정그리퍼를 포함하는 플렉시블 기판의 이송장치.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 텐션구동부는,
    회전구동부의 회전축과 스크류를 연결하는 커플러;
    상기 회전축을 지지하는 회전가이드;
    상기 스크류의 회전력을 전달받아 텐션이동가이드를 따라 직선운동하는 텐션이동부를 포함하는 플렉시블 기판의 이송장치.
  7. a) 플렉시블 기판의 마주하는 양측 가장자리를 집어 이송하는 단계;
    b) 이송되는 상기 플렉시블 기판에 장력을 부가하여, 처짐을 방지하는 단계;
    c) 이송된 상기 플렉시블 기판을 트레이에 장착하는 단계;
    d) 상기 플렉시블 기판이 장착된 상기 트레이를 수평이송하여, 상기 플렉시블 기판을 처리하는 단계;
    e) 상기 b) 단계의 장력을 압력으로 검출하는 단계; 및
    f) 상기 e) 단계에서 검출된 상기 압력을 설정압력과 비교하여 검출된 압력이 설정압력과 동일하면 장력의 부가를 중단하는 단계를 포함하는 플렉시블 기판의 이송방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 b) 단계는,
    상기 플렉시블 기판을 일측 또는 마주하는 양측으로 당겨 장력을 부가하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판의 이송방법.
  9. 삭제
  10. 제7항에 있어서,
    상기 검출압력의 범위는 1 내지 200N/m2인 것을 특징으로 하는 플렉시블 기판의 이송방법.
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