KR101503176B1 - 기판 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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KR101503176B1
KR101503176B1 KR1020130145373A KR20130145373A KR101503176B1 KR 101503176 B1 KR101503176 B1 KR 101503176B1 KR 1020130145373 A KR1020130145373 A KR 1020130145373A KR 20130145373 A KR20130145373 A KR 20130145373A KR 101503176 B1 KR101503176 B1 KR 101503176B1
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박종협
윤상군
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주식회사 휘닉스 디지탈테크
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Abstract

기판 검사 장치는 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 챔버와, 상기 챔버의 외부 일측에서 상기 챔버 내부를 지나 상기 챔버의 외부 타측까지 연장하여 구비되며, 상기 광학적 검사를 위해 상기 챔버 외부 일측의 기판을 상기 챔버 내부로 이송하며, 상기 광학적 검사가 완료된 기판을 상기 챔버 외부 타측으로 이송하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛 상에 구비되어 상기 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 동안 상기 기판을 고정하며, 상기 기판의 길이가 달라짐에 따라 상기 기판이 고정되는 위치를 조절하는 스토퍼를 포함할 수 있다. 따라서, 기판 검사 장치는 서로 다른 길이의 기판들을 안정적으로 고정하여 검사를 수행할 수 있다.

Description

기판 검사 장치 및 방법{Apparatus and method of inspecting a substrate}
본 발명은 기판 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 형성된 패턴의 이상 여부를 광학적 검사를 통해 확인하는 기판 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 다양한 분야에 사용되는 인쇄회로기판과 같은 기판은 집적도를 높이기 위해 회로 패턴이 다양하고 복잡하게 형성되고, 선폭이 매우 가늘게 형성된다. 그러므로, 상기 기판에 불량이 발생할 가능성이 높다. 그러므로, 상기 기판에 부품 소자를 장착하기 전에 상기 기판에 형성된 패턴의 이상 여부를 확인할 필요가 있다. 또한, 상기 기판에 상기 부품 소자가 장착된 후에도 상기 부품 소자의 장착 상태를 확인할 필요가 있다.
상기 기판의 이상 여부를 확인하기 위하여 광학적으로 상기 기판을 검사하는 기판 검사 장치가 사용된다. 상기 기판 검사 장치는 상기 기판을 챔버 내부로 공급하여 스토퍼로 고정하고, 상기 스토퍼에 고정된 기판의 위치를 기준으로 상기 기판에 대한 광학적 검사를 수행한다. 이때, 상기 스토퍼의 위치는 상기 기판의 길이를 고려하여 결정된다.
상기 기판의 길이가 변화되는 경우, 상기 스토퍼의 위치가 고정되어 있어 상기 기판 검사 장치는 상기 기판에 대한 검사 공정을 수행하기 어렵다. 즉, 상기 기판 검사 장치는 기 설정된 길이의 기판에 대해서만 검사를 수행할 수 있다. 따라서, 상기 기판 검사 장치의 효율성이 저하될 수 있다.
본 발명은 서로 다른 길이를 갖는 기판들을 검사할 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다.
본 발명은 상기 기판 검사 장치를 이용한 기판 검사 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 기판 검사 장치는 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 챔버와, 상기 챔버의 외부 일측에서 상기 챔버 내부를 지나 상기 챔버의 외부 타측까지 연장하여 구비되며, 상기 광학적 검사를 위해 상기 챔버 외부 일측의 기판을 상기 챔버 내부로 이송하며, 상기 광학적 검사가 완료된 기판을 상기 챔버 외부 타측으로 이송하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛 상에 구비되어 상기 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 동안 상기 기판을 고정하며, 상기 기판의 길이가 달라짐에 따라 상기 기판이 고정되는 위치를 조절하는 스토퍼를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토퍼는 상기 이송 유닛 상에 다수 개가 고정되도록 구비되며, 상기 기판의 길이에 따라 선택적으로 동작하여 상기 기판이 고정되는 위치를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토퍼는 상기 이송 유닛을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 기판의 길이에 따라 상기 이송 유닛 상을 이동하면서 상기 기판이 고정되는 위치를 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송 유닛은 상기 기판을 지지하여 이송하며, 상기 기판의 폭에 따라 간격이 조절 가능하도록 구비되는 한 쌍의 이송 레일들을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 검사 방법은 기판을 광학적 검사를 수행하기 위한 챔버 내부로 이송하는 단계와, 상기 기판에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 상기 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 기판을 고정하는 단계와, 상기 기판의 일부분에 대한 광학적 검사를 수행하는 단계와, 상기 기판의 고정을 해제하여 상기 챔버 내부에서 상기 기판을 이송하는 단계와, 상기 기판에서 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 기판을 고정하는 단계와, 상기 기판의 나머지 부분에 대한 광학적 검사를 수행하는 단계 및 상기 기판의 고정을 해제하고 상기 광학적 검사가 완료된 기판을 상기 챔버 외부로 이송하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기판을 고정하는 단계들은 상기 기판을 이송하는 이송 유닛 상에 고정된 다수 개의 스토퍼를 선택적으로 동작하여 상기 기판을 고정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기판을 고정하는 단계들은 상기 기판을 이송하는 이송 유닛을 따라 이동하는 스토퍼를 이용하여 상기 기판을 고정할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법은 스토퍼를 이용하여 다양한 길이를 갖는 기판을 고정하여 상기 기판에 대한 광학적 검사를 수행할 수 있다. 또한, 이송 레일 사이의 간격을 조절할 수 있는 이송 유닛을 이용하여 다양한 폭을 갖는 기판들에 대해서도 상기 광학적 검사를 수행할 수 있다.
따라서, 상기 기판 검사 장치 및 방법은 다양한 크기의 기판에 대해서 상기 광학적 검사를 수행할 수 있으므로, 상기 기판에 대한 광학적 검사 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 측면 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 검사 장치를 설명하기 위한 평면 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 검사 장치에서 서로 다른 크기의 기판이 스토퍼에 의해 고정된 상태를 설명하기 위한 평면 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 스토퍼의 다른 예를 설명하기 위한 평면 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 기판 검사 장치를 이용한 기판 검사 방법을 설명하기 위한 평면 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치 및 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치를 설명하기 위한 측면 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 검사 장치를 설명하기 위한 평면 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 기판 검사 장치에서 서로 다른 크기의 기판이 스토퍼에 의해 고정된 상태를 설명하기 위한 평면 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 검사 장치(100)는 인쇄회로기판 등과 같은 기판을 광학적으로 검사하기 위한 것으로, 챔버(110), 광학 유닛(120), 이송 유닛(130) 및 스토퍼(140)를 포함한다.
챔버(110)는 기판(10)에 대한 광학적 검사를 수행하기 위한 공간을 제공한다. 챔버(110)는 대략 중공의 육면체 형태를 가질 수 있다. 챔버(110)는 일측 측면에 투입구(112) 및 상기 일측 측면과 반대되는 타측 측면에 배출구(114)를 갖는다. 투입구(112)를 통해 검사를 진행할 기판(10)이 챔버(110) 내부로 투입된다. 배출구(114)를 통해 검사가 완료된 기판(10)이 외부로 배출된다.
광학 유닛(120)은 챔버(110)의 내부 상방에 수평 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 광학 유닛(120)은 기판(10) 상에 형성된 회로 패턴, 기판(10) 상에 부착된 부품의 높이 등을 확인하여 기 설정된 기준과 비교하여 기판(10)의 이상 여부를 확인한다.
광학 유닛(120)은 마킹부를 포함할 수 있다. 상기 마킹부는 기판(10)에서 회로 패턴의 이상 부위 또는 상기 부착이 불량한 부품에 마킹을 수행한다. 따라서, 기판(10)의 이상 부위를 용이하게 확인할 수 있다.
한편, 광학 유닛(120)은 자체의 부피로 인해 챔버(110)의 가장자리에서는 기판(10)의 검사가 어렵다. 따라서, 광학 유닛(120)의 검사 범위는 챔버(110)의 길이보다 짧을 수 있다.
이송 유닛(130)은 챔버(110)의 외부 일측에서 챔버(110) 내부를 지나 챔버(110)의 외부 타측까지 연장하여 구비된다. 예를 들면, 이송 유닛(130)은 챔버(110)의 외부 일측에서 투입구(112)와 배출구(114)를 지나 챔버(110)의 외부 타측까지 연장할 수 있다.
이송 유닛(130)은 한 쌍의 이송 레일(132) 및 구동부(134)를 포함할 수 있다.
한 쌍의 이송 레일(132)은 기판(10)의 폭에 대응하여 서로 일정간격 이격되며 기판(10)을 지지하여 이송한다. 구체적으로, 챔버(110)의 외부 일측에 위치한 이송 레일(132)에 검사할 기판(10)이 로딩되면, 이송 레일(132)에 의해 기판(10)이 투입구(112)를 통해 챔버(110) 내부로 이송된다. 이후, 기판(10)에 대한 검사가 완료되면, 이송 레일(132)에 의해 기판(10)이 배출구(114)를 통해 챔버(110)의 외부 타측으로 이송된다.
한 쌍의 이송 레일(132)은 서로 간의 간격이 조절 가능하도록 구비된다. 기판(10)의 폭에 따라 이송 레일(132) 사이의 간격을 조절할 수 있으므로, 이송 레일(132)은 서로 다른 폭을 갖는 여러 종류의 기판(10)을 지지할 수 있다.
구동부(134)는 이송 레일(132)과 연결되며, 이송 레일(132)을 직선 왕복 이동시키기 위한 구동력을 제공한다. 구동부(134)의 구동력에 의해 이송 레일(132)의 간격을 용이하게 조절할 수 있다. 구동부(134)의 예로는 실린더, 볼 스크류, 리니어 모터 등을 들 수 있다.
한편, 이송 유닛(130)은 이송 레일 대신에 컨베이어 또는 수평 이동이 가능한 스테이지가 사용될 수도 있다.
스토퍼(140)는 이송 유닛(130), 구체적으로 이송 레일(132) 상에 구비되며, 기판(10)에 대한 광학적 검사를 수행하는 동안 기판(10)을 고정한다. 스토퍼(140)는 한 쌍의 이송 레일(132)에 각각 구비되어 기판(10)을 고정하거나, 하나의 이송 레일(132)에만 구비되어 기판(10)을 고정할 수 있다.
구체적으로, 스토퍼(140)는 기판(10)의 길이에 따라 다수개가 이송 레일(132)에 서로 이격되도록 배치되어 고정된다. 검사할 기판(10)들의 길이에 따라 스토퍼(140)의 고정 위치를 조절할 수 있다. 스토퍼(140)는 이송 레일(132)로부터 기판(10)이 이송되는 경로 상으로 돌출되면서 기판(10)의 측면과 접촉함으로써 기판(10)을 고정하거나, 이송 레일(132)을 따라 이송되는 기판(10)의 상면을 가압하여 기판(10)을 고정할 수 있다.
도 3과 같이 스토퍼(140)가 하나의 이송 레일(132)에 세 개 구비되는 경우에 대해 설명한다. 스토퍼(140)는 제1 스토퍼(142a), 제2 스토퍼(142b) 및 제3 스토퍼(142c)를 포함할 수 있다. 스토퍼(140)는 챔버(110)에서 광학 유닛(120)의 검사 범위 내에 위치할 수 있다.
기판(10)의 길이가 제1 스토퍼(142a)와 제2 스토퍼(142b) 사이의 간격보다 짧은 경우, 스토퍼(140)는 제1 스토퍼(142a)와 제2 스토퍼(142b)만을 작동하여 기판(10)을 고정할 수 있다. 이때, 제3 스토퍼(142c)는 작동하지 않는다.
기판(10)의 길이가 제1 스토퍼(142a)와 제2 스토퍼(142b) 사이의 간격보다 길고 제1 스토퍼(142a)와 제3 스토퍼(142c) 사이의 간격보다 짧은 경우, 스토퍼(140)는 제1 스토퍼(142a)와 제3 스토퍼(142c)만을 작동하여 기판(10)을 고정할 수 있다. 이때, 제2 스토퍼(142b)는 작동하지 않는다.
기판(10)의 길이가 제1 스토퍼(142a)와 제3 스토퍼(142c) 사이의 간격보다 긴 경우, 스토퍼(140)는 제3 스토퍼(142c)만을 작동하여 기판(10)에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 챔버(110) 내부에 수용된 상태에서 기판(10)을 고정한 후, 제1 스토퍼(142a)만을 작동하여 기판(10)에서 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 챔버(110) 내부에 수용된 상태에서 기판(10)을 고정할 수 있다.
상기와 같이 스토퍼(140)는 기판(10)의 길이에 따라 선택적으로 동작하여 기판(10)에 대한 광학적 검사가 이루어지는 동안 기판(10)을 안정적으로 고정할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 스토퍼의 다른 예를 설명하기 위한 평면 단면도이다.
도 4를 참조하면, 스토퍼(140)는 이송 레일(132)을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 검사할 기판(10)들의 길이에 따라 스토퍼(140)의 고정 위치가 조절될 수 있다. 이때, 스토퍼(140)의 고정 위치는 검사할 기판(10)의 길이 정보에 따라 자동으로 조절될 수도 있다.
스토퍼(140)는 이송 레일(132)로부터 기판(10)이 이송되는 경로 상으로 돌출되면서 기판(10)의 측면과 접촉함으로써 기판(10)을 고정하거나, 이송 레일(132)을 따라 이송되는 기판(10)의 상면을 가압하여 기판(10)을 고정할 수 있다.
구체적으로, 스토퍼(140)가 하나의 이송 레일(132)에 두 개 구비되는 경우에 대해 설명한다. 스토퍼(140)는 제4 스토퍼(144a) 및 제5 스토퍼(144b)를 포함할 수 있다.
기판(10)의 길이가 광학 유닛(120)의 검사 범위보다 짧은 경우, 제4 스토퍼(144a) 및 제5 스토퍼(144b)는 챔버(110)의 내부에 배치되어 기판(10)을 고정할 수 있다.
기판(10)의 길이가 광학 유닛(120)의 검사 범위보다 긴 경우, 제4 스토퍼(144a)는 챔버(110)의 일측 외부에, 제5 스토퍼(144b)는 챔버(110)의 내부에 각각 배치되어 기판(10)에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 챔버(110) 내부에 수용된 상태에서 기판(10)을 고정한 후, 제4 스토퍼(144a)는 챔버(110)의 내부에, 제5 스토퍼(144b)는 챔버(110)의 타측 외부에 각각 배치되어 기판(10)에서 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 챔버(110) 내부에 수용된 상태에서 기판(10)을 고정할 수 있다.
상기와 같이 스토퍼(140)는 기판(10)의 길이에 따라 이송 레일(132)을 따라 이동하면서 기판(10)에 대한 광학적 검사가 이루어지는 동안 기판(10)을 안정적으로 고정할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 기판 검사 장치를 이용한 기판 검사 방법을 설명하기 위한 평면 단면도들이다.
기판(10)의 길이가 광학 유닛(120)의 검사 범위보다 긴 경우, 기판(10)을 검사하기 위한 기판 검사 방법은 다음과 같다.
도 5a를 참조하면, 챔버(110)의 외부 일측에 위치한 이송 레일(132)에 검사할 기판(10)을 로딩한다. 이후, 이송 레일(132)을 이용하여 기판(10)을 투입구(112)를 통해 광학적 검사를 수행하기 위한 챔버(110) 내부로 이송한다.
이송 레일(132)에 의해 기판(10)이 챔버(110)의 내부로 이송되면, 기판(10)에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 챔버(110) 내부에 수용된 상태에서 기판(10)을 고정한다.
이때, 기판(10)의 상기 일부분은 이송 유닛(130), 구체적으로 이송 레일(132) 상에 고정된 다수 개의 스토퍼(140)를 선택적으로 동작하여 고정할 수 있다. 예를 들면, 기판(10)의 상기 일부분은 스토퍼(140) 중 제3 스토퍼(142c)에 의해 고정될 수 있다.
한편, 기판(10)의 상기 일부분은 이송 유닛(130), 구체적으로 이송 레일(132)을 따라 이동하는 스토퍼(140)를 이용하여 고정될 수 있다. 예를 들면, 기판(10)의 상기 일부분은 제4 스토퍼(144a) 및 제5 스토퍼(144b)에 의해 고정될 수 있다. (도 4 참조)
이후, 광학 유닛(120)을 이용하여 기판(10)의 상기 일부분에 대한 광학적 검사를 수행한다. 구체적으로, 광학 유닛(120)이 챔버(110)의 내부를 이동하면서 기판(10) 상에 형성된 회로 패턴, 기판(10) 상에 부착된 부품의 높이 등을 확인하여 기 설정된 기준과 비교하여 기판(10)의 이상 여부를 확인한다. 광학 유닛(120)은 마킹부를 이용하여 기판(10)에서 회로 패턴의 이상 부위 또는 상기 부착이 불량한 부품에 마킹을 수행할 수도 있다.
도 5b를 참조하면, 기판(10)의 상기 일부분에 대한 광학적 검사가 완료되면, 기판(10)의 고정을 해제하여 챔버(110) 내부에서 기판(10)을 이송한다.
구체적으로, 제3 스토퍼(142c)를 작동하여 기판(10)의 고정을 해제할 수 있다. 이송 레일(132)에 의해 챔버(110) 내부에서 기판(10)이 이송됨에 따라 기판(10)의 상기 일부분이 배출구(114)를 통해 챔버(110)의 외부로 배출되며, 기판(10)에서 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 챔버(110) 내부에 수용된다.
다음으로, 기판(10)에서 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 챔버(110) 내부에 수용된 상태에서 기판(10)을 고정한다.
이때, 기판(10)의 상기 일부분은 이송 유닛(130), 구체적으로 이송 레일(132) 상에 고정된 다수 개의 스토퍼(140)를 선택적으로 동작하여 고정할 수 있다. 예를 들면, 기판(10)의 상기 일부분은 스토퍼(140) 중 제1 스토퍼(142a)에 의해 고정될 수 있다.
한편, 기판(10)의 상기 일부분은 이송 유닛(130), 구체적으로 이송 레일(132)을 따라 이동하는 스토퍼(140)를 이용하여 고정될 수 있다. 예를 들면, 기판(10)의 상기 일부분은 제4 스토퍼(144a) 및 제5 스토퍼(144b)에 의해 고정될 수 있다. (도 4 참조)
이후, 광학 유닛(120)을 이용하여 기판(10)의 상기 나머지 부분에 대한 광학적 검사를 수행한다.
기판(10)의 상기 나머지 부분에 대한 광학적 검사가 완료되면, 기판(10)의 고정을 해제하고 상기 광학적 검사가 완료된 기판(10)을 챔버(110)의 외부로 이송한다.
구체적으로, 제1 스토퍼(142a)를 작동하여 기판(10)의 고정을 해제할 수 있다. 이송 레일(132)에 의해 기판(10)이 이송됨에 따라 기판(10)의 상기 나머지 부분이 배출구(114)를 통해 챔버(110)의 외부로 배출된다.
상기와 같은 기판 검사 방법을 통해 기판(10)의 길이가 광학 유닛(120)의 검사 범위보다 길더라도 기판 검사 장치(100)를 이용하여 기판(10)에 대한 광학적 검사를 용이하게 수행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법은 스토퍼를 이용하여 다양한 길이를 갖는 기판을 고정할 수 있고, 이송 유닛을 이용하여 다양한 폭을 갖는 기판들을 이송할 수 있다. 그러므로, 다양한 크기의 기판에 대해서 상기 광학적 검사를 수행할 수 있으므로, 상기 기판에 대한 광학적 검사 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 기판 검사 장치 110 ; 챔버
120 : 광학 유닛 130 : 이송 유닛
140 : 스토퍼 10 : 기판

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 챔버;
    상기 챔버의 외부 일측에서 상기 챔버 내부를 지나 상기 챔버의 외부 타측까지 연장하여 구비되며, 상기 광학적 검사를 위해 상기 챔버 외부 일측의 기판을 상기 챔버 내부로 이송하며, 상기 광학적 검사가 완료된 기판을 상기 챔버 외부 타측으로 이송하는 이송 유닛; 및
    상기 이송 유닛 상에 구비되어 상기 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 동안 상기 기판을 고정하는 스토퍼를 포함하고,
    상기 스토퍼는 다수개가 구비되며, 상기 이송 유닛에 의해 이송될 상기 기판의 길이 정보에 따라 고정 위치가 조절되며, 상기 고정 위치가 조절된 상기 스토퍼들은 상기 기판의 길이에 따라 선택적으로 동작하여 상기 기판이 고정되는 위치를 조절하고,
    상기 기판의 길이가 최외각에 위치한 상기 스토퍼들 사이의 간격보다 짧은 경우, 상기 스토퍼들 중 상기 기판의 길이에 대응하는 스토퍼들이 선택적으로 동작하여 상기 기판을 고정하고,
    상기 기판의 길이가 최외각에 위치한 상기 스토퍼들 사이의 간격보다 긴 경우, 상기 기판에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 상기 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 스토퍼들 중 최후단의 스토퍼만을 작동하여 상기 기판을 고정하거나, 상기 기판에서 상기 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 상기 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 스토퍼들 중 최전단의 스토퍼만을 작동하여 상기 기판을 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  3. 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 챔버;
    상기 챔버의 외부 일측에서 상기 챔버 내부를 지나 상기 챔버의 외부 타측까지 연장하여 구비되며, 상기 광학적 검사를 위해 상기 챔버 외부 일측의 기판을 상기 챔버 내부로 이송하며, 상기 광학적 검사가 완료된 기판을 상기 챔버 외부 타측으로 이송하는 이송 유닛; 및
    상기 이송 유닛 상에 구비되어 상기 기판에 대한 광학적 검사가 이루어지는 동안 상기 기판을 고정하는 스토퍼를 포함하고,
    상기 스토퍼는 상기 이송 유닛을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 기판의 길이 정보에 따라 상기 이송 유닛 상을 이동하면서 상기 기판이 고정되는 위치를 조절하며,
    상기 기판의 길이가 상기 챔버에서 이루어지는 광학적 검사의 범위보다 짧은 경우, 상기 스토퍼는 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 고정하고,
    상기 기판의 길이가 상기 챔버에서 이루어지는 광학적 검사의 범위보다 긴 경우, 상기 기판에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 상기 챔버 내부에 수용된 상태에서 하나의 스토퍼는 상기 챔버의 일측 외부에 배치되고 다른 하나의 스토퍼는 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 고정하거나, 상기 기판에서 상기 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 상기 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 하나의 스토퍼는 상기 챔버 내부에 배치되고 상기 다른 하나의 스토퍼는 상기 챔버의 타측 외부에 배치되어 상기 기판을 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  4. 제2항 및 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이송 유닛은 상기 기판을 지지하여 이송하며 상기 기판의 폭에 따라 간격이 조절 가능하도록 구비되는 한 쌍의 이송 레일들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 기판을 광학적 검사를 수행하기 위한 챔버 내부로 이송하는 단계;
    상기 기판에서 이송 방향 전단에 위치하는 일부분이 상기 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 기판을 고정하는 단계;
    상기 기판의 일부분에 대한 광학적 검사를 수행하는 단계;
    상기 기판의 고정을 해제하여 상기 챔버 내부에서 상기 기판을 이송하는 단계;
    상기 기판에서 이송 방향 후단에 위치하는 나머지 부분이 챔버 내부에 수용된 상태에서 상기 기판을 고정하는 단계;
    상기 기판의 나머지 부분에 대한 광학적 검사를 수행하는 단계; 및
    상기 기판의 고정을 해제하고 상기 광학적 검사가 완료된 기판을 상기 챔버 외부로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기판을 고정하는 단계들은 상기 기판을 이송하는 이송 유닛 상에 고정된 다수 개의 스토퍼를 선택적으로 동작하여 상기 기판을 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 기판을 고정하는 단계들은 상기 기판을 이송하는 이송 유닛을 따라 이동하는 스토퍼를 이용하여 상기 기판을 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
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