KR101496444B1 - Transportation Method of Glass Substrate and Heat Treatment Apparatus using the Same - Google Patents

Transportation Method of Glass Substrate and Heat Treatment Apparatus using the Same Download PDF

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Abstract

본 발명은 열처리 세터와 열처리 하우징을 포함하는 열처리 모듈과, 얼라인 세터와 얼라인 바 및 얼라인 하우징을 포함하는 얼라인 모듈 및 인덱스 센서를 구비하는 로봇 핸드를 포함하는 이송 로봇을 포함하는 열처리 장치를 이용한 유리 기판 이송 방법으로서, 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 열처리 하우징의 내부로 유리 기판이 반입되어 열처리 세터에 안착되는 열처리 모듈 반입 단계와, 유리 기판이 열처리되는 열처리 단계와, 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 유리 기판이 지지되어 열처리 하우징으로부터 반출되는 열처리 모듈 반출 단계와, 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 얼라인 하우징의 내부로 유리 기판이 반입되어 얼라인 세터의 상면에 안착되는 얼라인 모듈 반입 단계와, 유리 기판이 얼라인 바에 의하여 얼라인되는 얼라인 단계 및 인덱스 센서의 작동 상태에서 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 유리 기판이 지지되어 상기 얼라인 하우징으로부터 반출되는 열처리 모듈 반출 단계를 포함하는 유리 기판 이송 방법과 이를 이용하는 열처리 장치를 개시한다. The present invention relates to a heat treatment apparatus comprising a heat treatment module including a heat treatment setter and a heat treatment housing, and a transfer robot including a robot hand having an alignment module and an index sensor including an aligning setter, an aligning bar and an aligning housing, A step of bringing a glass substrate into a heat treatment housing by a robot hand of a transfer robot and placing the glass substrate on a heat treatment setter; a heat treatment step of heat treating the glass substrate; A step of carrying out a heat treatment module in which the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot and is taken out of the heat treatment housing in a state where the glass substrate is transferred into the interior of the aligning housing by the robot hand of the transfer robot, Arranging the alignment module on the top of the alignment setter The glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot in the aligning step in which the glass substrate is aligned by the aligning bar and the index sensor is operated and the glass substrate is taken out from the aligning housing, A substrate transfer method and a heat treatment apparatus using the same are disclosed.

Description

유리 기판 이송 방법 및 이를 이용하는 열처리 장치{Transportation Method of Glass Substrate and Heat Treatment Apparatus using the Same}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a glass substrate transfer method and a heat treatment apparatus using the same,

본 발명은 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판을 이송하는 유리 기판 이송 방법 및 이를 이용하는 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate transfer method for transferring a glass substrate used in a flat panel display panel and a heat treatment apparatus using the same.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판은 먼저 이송 로봇이 로봇핸드에 의하여 지지되어 열처리 챔버로 이송되고 이젝터에 의하여 지지된 상태에서 하강하여 캐리어 또는 세터에 안착된 후에 열처리된다. 다음으로 상기 유리 기판은 이젝터에 의하여 상승되고 이송 로봇의 로봇핸드에 의하여 지지되어 열처리 챔버 외부로 이송된다. Generally, a glass substrate used in a flat panel display panel is first transferred to a heat treatment chamber by a robot hand supported by a robot hand, and is lowered while being supported by an ejector, and is then heat-treated after being placed on a carrier or setter. Next, the glass substrate is lifted by the ejector, supported by the robot hand of the transfer robot, and transferred to the outside of the heat treatment chamber.

상기 평판 디스플레이 패널의 크기가 커짐에 따라 사용되는 유리 기판도 면적도 증가되고 있다. 도 1은 두 대의 디스플레이 패널에 사용되는 두 장의 유리 기판으로 분할되는 유리 기판을 나타낸다. 상기 유리 기판(10)은 회로 소자가 형성되어 영상이 표시되는 표시 영역(10a) 및 표시 영역(10a)을 감싸도록 표시 영역(10a)의 주변에 형성되는 주변 영역(10b)으로 구분되어 형성된다. 상기 유리 기판(10)은 면적과 자중이 증가되므로, 열처리 공정에서 열처리 된 후에 이젝터에 의하여 상승될 때 자중에 의한 변형과 함께 스크래치가 더 많이 발생된다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 열처리 공정에서 표시 영역(10a)의 주변 영역(10b)에서만 이젝터에 의하여 지지되도록 하여, 표시 영역(10a)에 스크래치가 형성되는 것을 방지한다. As the size of the flat panel display panel increases, the area of the glass substrate used also increases. Fig. 1 shows a glass substrate divided into two glass substrates used in two display panels. The glass substrate 10 is divided into a display region 10a in which a circuit element is formed and an image is displayed and a peripheral region 10b formed in the periphery of the display region 10a so as to surround the display region 10a . Since the area and the weight of the glass substrate 10 are increased, when the glass substrate 10 is heated by the ejector after the heat treatment in the heat treatment process, deformation due to its own weight and more scratches are generated. Therefore, the glass substrate 10 is supported by the ejector only in the peripheral region 10b of the display region 10a in the heat treatment process, thereby preventing scratches from being formed in the display region 10a.

한편, 상기 유리 기판(10)은 면적이 증가되는 반면 지지하는 이젝터의 수가 감소됨에 따라, 열처리 초기에 이젝터에 의하여 지지되어 하강하면서 세터에 안착되는 과정에서 얼라인(align)이 틀어지는 현상이 발생되는 문제가 있다. 상기 유리 기판(10)은 열처리 공정이 끝나고 이젝터에 의하여 상승되더라도 여전히 얼라인이 틀어진 상태를 유지하게 된다. 따라서, 상기 이송 로봇은 유리 기판(10)을 들어 올리기 위하여 유리 기판(10)의 하부로 이동할 때, 유리 기판(10)의 틀어진 정도에 따라 로봇핸드를 회전시키게 된다. 이때, 상기 이송 로봇은 로봇 핸드의 양측에 장착되어 있는 인덱스 센서(index sensor)로 유리 기판(10)의 전측면을 감지하여 유리 기판(10)의 틀어진 정도를 감지한다. 따라서, 상기 이송 로봇은 로봇 핸드가 유리 기판(10)의 양측면과 평행하게 유리 기판(10)을 지지하게 되지만, 한편으로는 유리 기판(10)의 이송 방향을 기준으로 유리 기판(10)이 틀어진 상태로 유리 기판(10)을 이송하게 된다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 후속 공정에서 틀어진 상태로 안착될 수 있으며, 카세트에 장착되는 과정에서 정확한 위치에서 카세트에 안착되지 못하는 문제가 있다. On the other hand, as the number of ejectors to be supported is increased while the area of the glass substrate 10 is increased, there is a phenomenon that the align is broken during the process of being supported by the ejector at the initial stage of the heat treatment, there is a problem. Even after the heat treatment process is finished and the glass substrate 10 is raised by the ejector, the glass substrate 10 is still in an erroneous state. Accordingly, when the transfer robot moves to the lower portion of the glass substrate 10 to lift the glass substrate 10, the transfer robot rotates the robot hand according to the degree of the rotation of the glass substrate 10. At this time, the transfer robot senses the front side of the glass substrate 10 with an index sensor mounted on both sides of the robot hand, and senses the degree of misalignment of the glass substrate 10. Accordingly, the transfer robot supports the glass substrate 10 in parallel with both side surfaces of the glass substrate 10, but on the other hand, the glass substrate 10 is misaligned with respect to the transfer direction of the glass substrate 10 The glass substrate 10 is transferred. Therefore, the glass substrate 10 can be seated in a state of being inverted in a subsequent process, and there is a problem that the glass substrate 10 can not be seated in the cassette at an accurate position in the process of being mounted on the cassette.

본 발명은 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판의 열처리 공정에서 유리 기판이 이송 방향을 기준으로 틀어지지 않은 상태로 이송될 수 있도록 하는 유리 기판 이송 방법 및 이를 이용하는 열처리 장치를 제공한다. The present invention provides a glass substrate transporting method and a thermal processing apparatus using the glass substrate transporting method in which a glass substrate can be transported in a non-rotated state with respect to a transport direction in a heat treatment process of a glass substrate used in a flat panel display panel.

본 발명의 유리 기판 이송 방법은 상기 유리 기판이 내부에 수용되어 열처리되는 열처리 하우징을 포함하는 열처리 모듈과, 상기 열처리 모듈로부터 열처리되어 이송되는 상기 유리 기판이 안착되는 얼라인 세터와 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 얼라인 이젝터와 상기 얼라인 세터의 양측부에 형성되는 얼라인 바 및 상기 얼라인 세터가 내부에 설치되며 상기 유리 기판이 정렬되는 얼라인 하우징을 포함하는 얼라인 모듈 및 상기 유리 기판의 정렬 상태를 인식하는 인덱스 센서를 구비하는 로봇 핸드를 포함하며, 상기 열처리 모듈과 상기 얼라인 모듈로 상기 유리 기판을 반입 및 반출하는 이송 로봇을 포함하는 열처리 장치를 이용한 유리 기판 이송 방법으로서, 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 열처리 하우징의 내부로 유리 기판이 반입되는 열처리 모듈 반입 단계와, 상기 유리 기판이 열처리되는 열처리 단계와, 상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 열처리 하우징으로부터 반출되는 열처리 모듈 반출 단계와, 상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 얼라인 하우징의 내부로 유리 기판이 반입되어 상기 얼라인 세터의 상면에 안착되는 얼라인 모듈 반입 단계와, 상기 유리 기판이 상기 얼라인 바에 의하여 얼라인되는 얼라인 단계 및 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 얼라인 하우징으로부터 반출되는 얼라인 모듈 반출 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 열처리 모듈 반입 단계는 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 유리 기판을 지지하여 이송하도록 이루어질 수 있다.The glass substrate transferring method of the present invention comprises a heat treatment module including a heat treatment housing in which the glass substrate is accommodated and heat treated, an alignment setter on which the glass substrate transferred by heat treatment from the heat treatment module is seated, And an aligning module including an aligning bar formed on both sides of the aligning setter and an aligning housing in which the aligning setter is arranged and the glass substrate is aligned, A glass substrate transfer method using a thermal processing apparatus including a robot hand having an index sensor for recognizing an alignment state and including a transfer robot for transferring the glass substrate into and out of the thermal processing module and the alignment module, The glass substrate is transferred into the interior of the heat treatment housing by the robot hand of the robot A step of carrying out the heat treatment module in which the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot in the operation stop state of the index sensor and is taken out of the heat treatment housing while the operation of the index sensor is stopped, An aligning module loading step in which the glass substrate is loaded into the aligning housing by the robot hand of the transfer robot in the operation stop state of the index sensor and is seated on the upper surface of the aligning setter; And an aligning module removing step in which the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot and is taken out from the aligning housing in an aligning step of aligning by the aligning bar and in an operating state of the index sensor do. At this time, the step of carrying in the heat treatment module may be carried out while supporting the glass substrate in the operation state of the index sensor.

또한, 상기 열처리 모듈은 상기 유리 기판이 안착되며 상기 열처리 하우징 내부에 설치되는 열처리 세터 및 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 열처리 이젝터를 더 포함하며, 상기 열처리 모듈 반입 단계는 상기 열처리 이젝터가 상기 열처리 세터의 상부로 상승하고, 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 로봇 핸드에 의하여 이송되는 상기 유리 기판이 상기 열처리 이젝터의 상부에 지지되고, 상기 로봇 핸드가 열처리 하우징의 외부로 나온 후에 상기 열처리 이젝터가 하강하여 열처리 세터의 상면에 상기 유리 기판이 안착되도록 이루어질 수 있다. 이때, 상기 열처리 모듈 반출 단계는 상기 열처리 이젝터가 상기 유리 기판을 지지하면서 상기 열처리 세터의 상부로 상승하고, 상기 로봇 핸드가 상기 유리 기판의 하부로 이동한 후에 상기 유리 기판을 지지하여 상기 열처리 하우징의 외부로 반출하도록 이루어질 수 있다.The heat treatment module may further include a heat treatment setter on which the glass substrate is mounted and installed in the heat treatment housing, and a heat treatment ejector for vertically transferring the glass substrate. In the heat treatment module taking-in step, The glass substrate conveyed by the robot hand is supported on the upper part of the heat treatment ejector in the operation state of the index sensor and the heat treatment ejector is lowered after the robot hand comes out of the heat treatment housing And the glass substrate is placed on the upper surface of the heat treatment setter. At this time, in the step of carrying out the heat treatment module, the heat treatment ejector rises to the upper part of the heat treatment setter while supporting the glass substrate, and after the robot hand moves to the lower part of the glass substrate, It can be made to go outside.

또한, 상기 얼라인 모듈 반입 단계는 상기 얼라인 이젝터가 상기 얼라인 세터의 상부로 상승하고, 상기 로봇 핸드에 의하여 이송되는 상기 유리 기판이 상기 얼라인 이젝터의 상부에 지지되고, 상기 로봇 핸드가 얼라인 하우징의 외부로 나온 후에 상기 얼라인 이젝터가 하강하여 얼라인 세터의 상면에 상기 유리 기판이 안착되도록 이루어질 수 있다.Further, in the aligning module taking-in step, the aligning ejector is raised to the upper part of the aligning setter, the glass substrate conveyed by the robot hand is supported on the upper part of the aligning ejector, The aligner ejector may be lowered so that the glass substrate is seated on the upper surface of the alignment plate.

또한, 상기 유리 기판은 회로 소자가 형성되어 영상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역을 감싸는 주변 영역을 포함하며, 상기 열처리 이젝터는 상기 유리 기판이 상기 열처리 이젝터에 안착될 때, 상기 주변 영역에 대응되는 위치에만 형성되며, 상기 얼라인 이젝터는 상기 유리 기판이 상기 얼라인 이젝터에 안착될 때, 상기 표시 영역과 주변 영역에 형성될 수 있다.Further, the glass substrate may include a display area where a circuit element is formed to display an image and a peripheral area surrounding the display area, and the heat processing ejector may correspond to the peripheral area when the glass substrate is seated on the heat processing ejector And the aligning ejector may be formed in the display area and the peripheral area when the glass substrate is seated on the aligner ejector.

또한, 상기 로봇 핸드는 로봇 암에 회동 가능하게 결합되는 리스트 플레이트와 바 형상으로 형성되며 복수 개가 상기 리스트 플레이에 소정 간격으로 이격되어 결합되는 엔드 이펙터 및 상기 엔드 이펙터의 상부에 소정 간격으로 형성되어 상기 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 패드를 더 포함하며, 상기 인덱스 센서는 상기 리스트 플레이트의 양측에 위치하는 상기 엔드 이펙터의 상면에서 상기 리스트 플레이트에 인접한 위치에 형성되어 상기 유리 기판의 전측면의 위치를 감지하도록 형성될 수 있다.The robot hand may include a wrist plate rotatably coupled to the robot arm, an end effector formed in a bar shape, a plurality of end effectors coupled to the wrist play at predetermined intervals, Wherein the index sensor is formed at a position adjacent to the list plate on the upper surface of the end effector located on both sides of the list plate to detect the position of the front surface of the glass substrate As shown in FIG.

상기 상기 열처리 하우징은 상기 유리 기판의 열처리에 필요한 온도로 내부가 유지되며, 상기 얼라인 하우징은 상온 상태로 유지될 수 있다.The interior of the heat treatment housing is maintained at a temperature required for heat treatment of the glass substrate, and the alignment housing can be maintained at a normal temperature.

유리 기판이 안착되는 열처리 세터와 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 열처리 이젝터 및 내부에 상기 열처리 세터가 설치되며 상기 유리 기판이 열처리되는 열처리 하우징을 포함하는 열처리 모듈 및 상기 유리 기판의 정렬 상태를 인식하는 인덱스 센서를 구비하는 로봇 핸드를 포함하며, 상기 열처리 모듈로 상기 유리 기판을 반입 및 반출하는 이송 로봇을 포함하는 열처리 장치를 이용한 유리 기판 이송 방법으로서, 상기 유리 기판의 열처리가 종료된 후에 상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 열처리 하우징으로부터 반출되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.A heat treatment module including a heat treatment setter on which the glass substrate is placed, a heat treatment ejector for vertically transferring the glass substrate, and a heat treatment housing in which the heat treatment setter is installed and the glass substrate is heat treated, A method for transferring a glass substrate using a thermal processing apparatus including a robot hand including an index sensor and a transfer robot for transferring the glass substrate into and out of the thermal processing module, Wherein the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot and is carried out from the heat treatment housing in an operation stop state of the glass substrate.

또한, 본 발명의 유리 기판 이송 방법은 상기 열처리 장치는 상기 열처리 모듈로부터 열처리되어 이송되는 상기 유리 기판이 안착되는 얼라인 세터와 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 얼라인 이젝터와 상기 얼라인 세터의 양측부에 형성되는 얼라인 바 및 상기 얼라인 세터가 내부에 설치되며 상기 유리 기판이 정렬되는 얼라인 하우징을 포함하는 얼라인 모듈을 더 포함하며, 상기 열처리 모듈로부터 반출되는 상기 유리 기판이 상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 얼라인 하우징의 내부로 반입되어 상기 얼라인 세터의 상면에 안착되어 정렬되도록 이루어질 수 있다. 이때, 상기 얼라인 모듈에서 정렬된 상기 유리 기판이 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 얼라인 하우징으로부터 반출되도록 이루어질 수 있다. The glass substrate transferring method of the present invention is characterized in that the heat treatment apparatus comprises an alignment setter on which the glass substrate to be transferred after being heat-treated and transferred from the heat treatment module, an aligning ejector for transferring the glass substrate up and down, Further comprising an alignment module including an alignment bar formed on the substrate and an alignment housing on which the alignment substrate is aligned, wherein the glass substrate taken out from the thermal processing module is aligned with the index sensor The robot hand of the transfer robot may be brought into the interior of the aligning housing to be seated on the upper surface of the aligning setter and aligned. At this time, the glass substrate aligned in the alignment module may be supported by the robot hand of the transfer robot in the operation state of the index sensor to be carried out from the alignment housing.

또한, 본 발명의 열처리 장치는 상기와 같은 방법에 의하여 유리 기판을 이송할 수 있다.Further, the heat treatment apparatus of the present invention can transfer the glass substrate by the above-described method.

본 발명에 따른 유리 기판 이송 방법 및 이를 이용하는 열처리 장치는 열처리 모듈에서 유리 기판이 이송 방향과 틀어진 상태로 이송되어 나오더라도 얼라인 모듈에서 유리 기판을 정렬하게 되므로 유리 기판이 이송 방향을 기준으로 틀어지지 않도록 하는 효과가 있다. The glass substrate transporting method and the heat treatment apparatus using the same according to the present invention align the glass substrate in the alignment module even if the glass substrate is transported in a state where the glass substrate is misaligned with the transport direction in the heat treatment module, .

또한, 본 발명에 따른 유리 기판 이송 방법 및 이를 이용하는 열처리 장치는 열처리 모듈보다 내부 온도가 낮고 상온에 가까운 온도를 유지하는 얼라인 모듈에서 복수개의 이젝터에 유리 기판을 안착시키고 정열을 진행하게 되므로 유리 기판에 스크래치가 발생되는 것을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.The glass substrate transferring method and the thermal processing apparatus using the same according to the present invention allow a glass substrate to be placed on a plurality of ejectors in an aligning module having an internal temperature lower than that of the heat processing module and maintaining a temperature close to room temperature, It is possible to reduce the occurrence of scratches on the substrate.

도 1은 두 대의 디스플레이 패널에 사용되는 두 장의 유리 기판으로 분할되는 유리 기판의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법이 적용되는 열처리 장비의 수직 단면도이다.
도 3은 도 2의 A-A 수평 단면도이다.
도 4는 도 2의 B-B 수평 단면도이다.
도 5는 도 2의 이송 로봇의 로봇 핸드의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법의 순서도이다.1 is a plan view of a glass substrate divided into two glass substrates used in two display panels.
2 is a vertical sectional view of a heat treatment apparatus to which a glass substrate transfer method according to an embodiment of the present invention is applied.
3 is a horizontal cross-sectional view taken along the line AA in Fig.
4 is a horizontal sectional view of BB in Fig.
Fig. 5 is a plan view of the robot hand of the transfer robot of Fig. 2;
6 is a flowchart of a glass substrate transfer method according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법 및 이를 이용하는 열처리 장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, a glass substrate transfer method and a thermal processing apparatus using the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법을 이용하는 열처리 장비에 대하여 설명한다. First, a heat treatment apparatus using a glass substrate transfer method according to an embodiment of the present invention will be described.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법이 적용되는 열처리 장비의 수직 단면도이다. 도 3은 도 2의 A-A 수평 단면도이다. 도 4는 도 2의 B-B 수평 단면도이다. 도 5는 도 2의 이송 로봇의 로봇 핸드의 평면도이다. 2 is a vertical sectional view of a heat treatment apparatus to which a glass substrate transfer method according to an embodiment of the present invention is applied. 3 is a horizontal sectional view taken along the line A-A in Fig. 4 is a horizontal sectional view taken along the line B-B in Fig. Fig. 5 is a plan view of the robot hand of the transfer robot of Fig. 2;

본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법이 적용되는 열처리 장비는, 도 2 내지 도 5를 참조하면, 열처리 모듈(100)과 얼라인 모듈(200) 및 이송 로봇(300)을 포함하여 형성된다. 2 to 5, a heat treatment apparatus to which a glass substrate transferring method according to an embodiment of the present invention is applied includes a heat processing module 100, an aligning module 200, and a transfer robot 300 do.

상기 열처리 장비는 평판 디스플레이 패널에 사용되는 유리 기판(10)의 열처리 공정 또는 프리 컴팩션 공정에 사용될 수 있다. 상기 열처리 장비는 유리 기판(10)의 증착 공정, 세정 공정 또는 카세트 보관 공정의 전단계에 설치될 수 있다. 상기 유리 기판(10)은 별도의 카세트 또는 로딩 모듈에서 공급되며, 이송 로봇(300)에 의하여 열처리 장비의 열처리 모듈(100)로 이송된다. 또한, 상기 유리 기판(10)은 열처리 모듈(100)에서 열처리된 후에 얼라인 모듈(200)에서 냉각 및 정열이 되어 후공정으로 이송된다. 한편, 상기 열처리 모듈(100)과 얼라인 모듈(200) 및 이송 로봇(300)은 유리 기판(10)의 열처리 공정에 사용되는 일반적인 구성으로 형성될 있다. 따라서, 이하에서 설명하는 열처리 모듈(100)과 얼라인 모듈(200) 및 이송 로봇(300)의 구성은 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법을 설명하는데 필요한 정도로 설명한다. The thermal processing equipment may be used in a heat treatment process or a precompaction process of the glass substrate 10 used in a flat panel display panel. The thermal processing equipment may be installed before the deposition, cleaning, or cassette storage process of the glass substrate 10. The glass substrate 10 is supplied from a separate cassette or loading module and is transferred to the heat treatment module 100 of the thermal processing equipment by the transfer robot 300. In addition, the glass substrate 10 is heat-treated in the heat treatment module 100, cooled and aligned in the aligning module 200, and transferred to a post-process. The heat treatment module 100, the alignment module 200, and the transfer robot 300 may have a general structure used in a heat treatment process of the glass substrate 10. Therefore, the construction of the heat treatment module 100, the alignment module 200, and the transfer robot 300 described below will be described to the extent necessary for explaining the glass substrate transfer method according to the embodiment of the present invention.

한편, 상기 열처리 장치는 이하에서 설명하는 본원발명의 유리 기판 이송 방법을 사용하도록 형성되는 다양한 장치를 포함할 수 있다. Meanwhile, the thermal processing apparatus may include various apparatuses formed using the glass substrate transfer method of the present invention described below.

상기 열처리 모듈(100)은 열처리 하우징(110)과 열처리 세터(120)와 열처리 이젝터(130)를 포함하여 형성된다. 상기 열처리 모듈(100)은 한 장 또는 복수 장의 유리 기판(10)이 한번에 열처리될 수 있도록 형성된다.The heat treatment module 100 includes a heat treatment housing 110, a heat treatment setter 120, and a heat treatment ejector 130. The heat treatment module 100 is formed so that one or a plurality of glass substrates 10 can be heat-treated at one time.

상기 열처리 모듈(100)은 열처리 이젝터(130)가 열처리 세터(120)의 상부로 상승한 상태에서 이송 로봇(300)에 의하여 공급되는 유리 기판(10)이 열처리 이젝터(130)의 상부에 안착되도록 한다. 이때, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)에 평행하도록 정렬되어 안착된다. 여기서 상기 유리 기판(10)의 양측면은 유리 기판(10)이 이송될 때 이송 방향(T)과 평행을 이루는 측면을 의미하며, 양측면의 길이 방향(L)은 양측면에서 이송 방향(T)과 동일한 방향을 의미한다. 또한, 상기 유리 기판(10)의 전측면은 양측면과 수직을 이루며, 유리 기판(10)이 열처리 모듈(100)에 반입될 때 열처리 모듈(100)에 마지막으로 유입되는 측면, 즉, 열처리 하우징(110)의 개구(110a)와 대향하는 면을 의미한다. The heat treatment module 100 causes the glass substrate 10 supplied by the transfer robot 300 to be seated on the heat treatment ejector 130 in a state where the heat treatment ejector 130 is lifted up to the upper portion of the heat treatment setter 120 . At this time, the glass substrate 10 is aligned and aligned so that the longitudinal direction L of both side surfaces thereof is parallel to the conveying direction T. Here, both side surfaces of the glass substrate 10 mean side surfaces parallel to the transport direction T when the glass substrate 10 is transported, and the longitudinal direction L of both side surfaces is the same as the transport direction T on both sides Direction. The front side of the glass substrate 10 is perpendicular to both sides of the glass substrate 10. The front side of the glass substrate 10 that is finally introduced into the heat processing module 100 when the glass substrate 10 is brought into the heat processing module 100, 110 ").

다음으로, 상기 열처리 이젝터(130)는 별도의 이송 수단(도면에 미도시)에 의하여 하강하면서 유리 기판(10)이 열처리 세터(120)의 상면에 안착되도록 한다. 이때, 상기 유리 기판(10)은 표시 영역(10a)의 주변 영역(10b)에서만 열처리 이젝터(130)에 의하여 지지되며, 표시 영역(10a)이 상대적으로 하방으로 많이 쳐지는 현상이 발생하게 된다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 열처리 세터(120)에 안착될 때 세터 표면과 유리 기판(10) 하면 사이에 존재하는 공기층에 의하여 미끄러지면서 정렬이 틀어지게 된다. 또한, 상기 유리 기판(10)은 열처리 과정에서 가열된 공기의 대류에 의하여 일부 정렬이 틀어지게 된다. 즉, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)을 기준으로 틀어진 상태가 된다. 상기 열처리 모듈(100)은 열처리가 종료되면, 열처리 이젝터(130)가 유리 기판(10)의 하부를 지지하면서 상승하여 유리 기판(10)이 상승되도록 한다.
Next, the heat treatment ejector 130 is lowered by a separate conveying means (not shown) so that the glass substrate 10 is placed on the upper surface of the heat treatment setter 120. At this time, the glass substrate 10 is supported by the heat treatment ejector 130 only in the peripheral region 10b of the display region 10a, and the display region 10a relatively hits downward relatively. Therefore, when the glass substrate 10 is placed on the heat treatment setter 120, the air layer existing between the surface of the setter and the bottom surface of the glass substrate 10 slips and is misaligned. In addition, the glass substrate 10 is partially aligned due to the convection of the heated air during the heat treatment process. That is, the glass substrate 10 is in a state in which the longitudinal direction L of both side surfaces thereof is changed with respect to the conveying direction T. When the heat treatment is completed, the heat treatment module 100 lifts the glass substrate 10 while the heat treatment ejector 130 supports the lower portion of the glass substrate 10.

상기 열처리 하우징(110)은 박스 형상으로 형성되며, 일측에 유리 기판(10)이 유입 및 유출되는 열처리 개구(110a)가 형성된다. 상기 열처리 하우징(110)은 열처리 되는 유리 기판(10)의 면적보다 내부 수평 단면적을 가지도록 형성된다. 또한, 상기 열처리 하우징(110)은 한번에 열처리되는 유리 기판(10)의 수에 따라 적정한 높이로 형성된다. 상기 열처리 하우징(110)은 내부에 열처리 세터(120)가 설치된다. 또한, 상기 열처리 하우징(110)은 내부에 별도의 가열 수단(미도시)을 구비하며, 열처리 세터(120)의 상면에 안착되는 유리 기판(10)을 열처리한다. 따라서, 상기 열처리 하우징(110)은 유리 기판(10)의 열처리에 필요한 온도로 내부가 유지될 수 있다.
The heat treatment housing 110 is formed in a box shape, and a heat treatment opening 110a through which the glass substrate 10 flows in and out is formed on one side. The heat treatment housing 110 is formed to have an inner horizontal cross-sectional area that is larger than an area of the glass substrate 10 to be heat-treated. In addition, the heat treatment housing 110 is formed at an appropriate height according to the number of the glass substrates 10 to be heat-treated at one time. In the heat treatment housing 110, a heat treatment setter 120 is installed. In addition, the heat treatment housing 110 has a separate heating means (not shown) therein and heat-treats the glass substrate 10 placed on the upper surface of the heat treatment setter 120. Therefore, the interior of the heat treatment housing 110 can be maintained at a temperature required for heat treatment of the glass substrate 10.

상기 열처리 세터(120)는 판상으로 형성되며, 열처리되는 유리 기판(10)보다 큰 면적을 가지도록 형성된다. 상기 열처리 세터(120)는 열처리 되는 유리 기판(10)의 주변 영역(10b)에 대응되는 영역에 형성되는 복수 개의 열처리 이젝터 홀(122)을 포함한다. 상기 열처리 세터(120)의 열처리 이젝터 홀(122)은 열처리 과정에서 유리 기판(10)의 하면에 무라(mura) 현상을 유발하게 된다. 따라서, 상기 열처리 이젝터 홀(122)은 유리 기판(10)의 주변 영역(10b)에 대응되는 영역에만 형성된다. 상기 유기 기판은 열처리 세터(120)에 안착된 상태에서 열처리된다.
The heat treatment setter 120 is formed in a plate shape and has a larger area than the glass substrate 10 to be heat-treated. The heat treatment setter 120 includes a plurality of heat treatment ejector holes 122 formed in a region corresponding to the peripheral region 10b of the glass substrate 10 to be heat-treated. The heat treatment ejector holes 122 of the heat treatment setter 120 cause a mura phenomenon on the lower surface of the glass substrate 10 during the heat treatment process. Therefore, the heat treatment ejector holes 122 are formed only in the region corresponding to the peripheral region 10b of the glass substrate 10. [ The organic substrate is heat-treated in a state of being placed on the heat treatment setter 120.

상기 열처리 이젝터(130)는 핀 형상으로 형성되며, 열처리 이젝터 홀(122)에 결합된다. 상기 열처리 이젝터(130)는 별도의 이송 수단에 의하여 상하 이동하면서 유리 기판(10)을 상하로 이동시키게 된다. 상기 열처리 이젝터(130)는 유리 기판(10)의 주변 영역(10b)만을 지지하게 된다. 상기 열처리 이젝터(130)는 열처리되어 가열된 유리 기판(10)을 지지하여 상승시키는 경우에 표시 영역(10a)에서의 처짐 현상을 유발한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 열처리 이젝터(130)에 의하여 지지되며 상승될 때 정렬이 틀어질 수 있다. 또한, 상기 유리 기판(10)은 로봇 핸드(320)에 의하여 지지될 때 로봇 핸드에 전체적으로 균일하게 지지되지 않으므로 정렬이 틀어질 수 있다.
The heat treatment ejector 130 is formed in a fin shape and is coupled to the heat treatment ejector hole 122. The heat treatment ejector 130 moves the glass substrate 10 up and down while moving up and down by a separate transporting means. The heat treatment ejector 130 supports only the peripheral region 10b of the glass substrate 10. [ The heat treatment ejector 130 causes a sagging phenomenon in the display area 10a when the heated glass substrate 10 is heated and lifted to support it. Thus, the glass substrate 10 is supported by the heat treatment ejector 130 and can be misaligned when raised. In addition, when the glass substrate 10 is supported by the robot hand 320, the alignment can be interrupted because the glass substrate 10 is not uniformly supported on the robot hand as a whole.

상기 얼라인 모듈(200)은 얼라인 하우징(210)과 얼라인 세터(220)와 얼라인 이젝터(230) 및 얼라인 바(240)를 포함하여 형성된다. 상기 얼라인 모듈(200)은 열처리 모듈(100)에 인접한 위치에 설치되며, 바람직하게는 열처리 모듈(100)의 상부에 적층되어 형성된다. The alignment module 200 includes an alignment housing 210, an alignment setter 220, an aligning ejector 230, and an alignment bar 240. The alignment module 200 is disposed at a position adjacent to the heat treatment module 100, and is preferably formed on the heat treatment module 100.

상기 얼라인 모듈(200)은 열처리 모듈(100)에서 이송되는 유리 기판(10)을 냉각하면서, 양측면의 길이 방향(L)이 진행방향과 평행하게 되도록 정렬시킨다. 보다 구체적으로는 상기 얼라인 모듈(200)은 얼라인 이젝터(230)가 얼라인 세터(220)의 상부로 상승한 상태에서 이송 로봇(300)에 의하여 공급되는 유리 기판(10)이 얼라인 이젝터(230)의 상부에 안착되도록 한다. 이때, 상기 유리 기판(10)은 주변 영역(10b)뿐만 아니라 표시 영역(10a)도 얼라인 이젝터(230)에 의하여 지지된다. 또한, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)을 기준으로 틀어져 있는 상태로 안착된다. 다음으로, 상기 얼라인 이젝터(230)는 별도의 이송 수단(도면에 미도시)에 의하여 하강하면서 유리 기판(10)이 얼라인 세터(220)의 상면에 안착되도록 한다. 상기 유리 기판(10)은 표시 영역(10a)과 주변 영역(10b)이 동시에 얼라인 이젝터(230)에 의하여 지지되므로 보다 안정적으로 지지되며, 열처리 공정에서 처진 상태에 있는 표시 영역(10a)의 쳐진 정도가 감소된다. 상기 얼라인 바(240)는 유리 기판(10)의 양측면에 접촉되면서 유리 기판(10)의 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)과 일치되도록 유리 기판(10)을 정렬한다. 한편, 상기 얼라인 모듈(200)은 유리 기판(10)을 얼라인 세터(220)에 안착시키지 않고 유리 기판(10)이 얼라인 이젝터(230)에 지지된 상태에서 정렬할 수 있다. 상기 얼라인 모듈(200)은 얼라인이 종료되면, 얼라인 이젝터(230)가 유리 기판(10)의 하부를 지지하면서 상승하여 유리 기판(10)이 상승되도록 한다.
The aligning module 200 aligns the glass substrate 10 transferred from the heat processing module 100 so that the longitudinal direction L of both sides of the glass substrate 10 is parallel to the traveling direction. More specifically, the aligning module 200 may be configured such that the glass substrate 10 supplied by the transfer robot 300 is transferred to the aligner ejector 230 while the aligning ejector 230 is raised to the upper portion of the aligner 220 230). At this time, not only the peripheral region 10b but also the display region 10a of the glass substrate 10 is supported by the aligning ejector 230. [ In addition, the glass substrate 10 is seated in a state in which the longitudinal direction L of both side faces is shifted with respect to the conveying direction T. Next, the aligning ejector 230 is lowered by a separate conveying means (not shown) so that the glass substrate 10 is seated on the upper surface of the aligning setter 220. The glass substrate 10 is more stably supported since the display area 10a and the peripheral area 10b are supported by the aligning ejector 230 at the same time and the glass substrate 10 is stably held in the display area 10a, . The alignment bar 240 aligns the glass substrate 10 such that the longitudinal direction L of both side surfaces of the glass substrate 10 coincides with the transport direction T while being contacted with both side surfaces of the glass substrate 10. The alignment module 200 can align the glass substrate 10 while the glass substrate 10 is supported on the aligner ejector 230 without seating the glass substrate 10 on the alignment plate 220. When the alignment is completed, the aligning module 200 moves upward while supporting the lower portion of the glass substrate 10 so that the glass substrate 10 is elevated.

상기 얼라인 하우징(210)은 박스 형상으로 형성되며, 일측에 유리 기판(10)이 유입 및 유출되는 얼라인 개구(210a)가 형성된다. 상기 얼라인 하우징(210)은 유입되는 유리 기판(10)의 면적보다 내부 수평 단면적을 가지도록 형성된다. 또한, 상기 얼라인 하우징(210)은 한번에 유입되어 얼라인되는 유리 기판(10)의 수에 따라 적정한 높이로 형성된다. 상기 얼라인 하우징(210)은 내부로 반입되는 유리 기판(10)이 얼라인 되도록 형성된다. 따라서, 상기 얼라인 하우징(210)은 바람직하게는 내부가 상온 상태로 유지된다.
The alignment housing 210 is formed in a box shape, and an alignment opening 210a through which the glass substrate 10 flows in and out is formed on one side. The alignment housing 210 is formed to have an internal horizontal cross-sectional area that is larger than an area of the glass substrate 10 to be introduced. In addition, the alignment housing 210 is formed at an appropriate height according to the number of the glass substrates 10 which are introduced and aligned at one time. The alignment housing 210 is formed to align the glass substrate 10 to be transferred into the inside. Accordingly, the alignment housing 210 is preferably maintained at a normal temperature inside thereof.

상기 얼라인 세터(220)는 판상으로 형성되며, 얼라인되는 유리 기판(10)보다 큰 면적을 가지도록 형성된다. 상기 얼라인 세터(220)는 유리 기판(10)의 표시 영역(10a)과 주변 영역(10b)에 대응되는 영역에 형성되는 복수 개의 얼라인 이젝터 홀(222)을 포함한다. 상기 얼라인 하우징(210)이 상온으로 유지되므로, 얼라인 세터(220)는 온도가 상대적으로 낮은 상태의 유리 기판(10)이 안착되므로 얼라인 이젝터 홀(222)에 의한 무라(mura) 현상과 무관하게 된다. 따라서, 상기 얼라인 세터(220)는 유리 기판(10)의 처짐이 없는 조건으로 얼라인 이젝터(230)가 형성되도록 얼라인 이젝터 홀(222)이 형성될 수 있다. 상기 유리 기판(10)은 얼라인 세터(220)에 안착된 상태에서 정렬된다.
The alignment setter 220 is formed in a plate shape and has a larger area than the glass substrate 10 to be aligned. The alignment setter 220 includes a plurality of alignment injector holes 222 formed in regions corresponding to the display region 10a and the peripheral region 10b of the glass substrate 10. [ Since the alignment housing 210 is maintained at a normal temperature, the glass substrate 10 with a relatively low temperature is placed on the alignment setter 220, so that mura phenomenon caused by the aligner ejector holes 222 It becomes irrelevant. Accordingly, the aligner 220 may be formed with the aligner 220 so that the aligner ejector 230 is formed under the condition that the glass substrate 10 does not sag. The glass substrate 10 is aligned with the alignment plate 220.

상기 얼라인 이젝터(230)는 핀 형상으로 형성되며, 얼라인 이젝터 홀(222)에 결합된다. 상기 얼라인 이젝터(230)는 별도의 이송 수단에 의하여 상하 이동하면서 유리 기판(10)을 상하로 이동시키게 된다. 상기 얼라인 이젝터(230)는 유리 기판(10)의 표시 영역(10a)과 주변 영역(10b)을 지지하게 되므로 열처리되어 가열된 유리 기판(10)의 처짐 정도를 감소시킬 수 있다. 특히, 상기 얼라인 이젝터(230)는 처짐이 심한 표시 영역(10a)도 함께 지지하므로 표시 영역(10a)의 처짐 정도를 감소시킬 수 있다.
The aligning ejector 230 is formed in a pin shape and is coupled to the aligning ejector hole 222. The aligning ejector 230 moves the glass substrate 10 up and down while moving up and down by a separate conveying means. Since the aligning ejector 230 supports the display area 10a and the peripheral area 10b of the glass substrate 10, the degree of deflection of the heated glass substrate 10 can be reduced. Particularly, since the aligning ejector 230 also supports the display area 10a which is severely deflected, the degree of deflection of the display area 10a can be reduced.

상기 얼라인 바(240)는 바 형상 또는 핀 형상으로 형성되며, 얼라인 세터(220)의 양측부에서 상면 또는 상부에 형성된다. 상기 얼라인 바(240)는 유리 기판(10)의 양측면의 길이에 따라 적정한 개수로 형성된다. 상기 얼라인 바(240)는 별도의 이송 수단(미도시)에 의하여 전후진되며, 유리 기판(10)의 양측면과 접촉하면서 유리 기판(10)을 이동시켜 유리 기판(10)이 정렬되도록 한다.
The alignment bar 240 is formed in a bar shape or a pin shape, and is formed on the upper surface or the upper side of both sides of the alignment plate 220. The alignment bars 240 are formed in an appropriate number according to the length of both side surfaces of the glass substrate 10. The alignment bar 240 is moved forward and backward by a separate transporting means (not shown), and moves the glass substrate 10 in contact with both sides of the glass substrate 10 to align the glass substrate 10.

상기 이송 로봇(300)은 로봇암(310)에 결합되어 이동 및 회동하는 로봇 핸드(320)를 포함하여 형성된다. 상기 이송 로봇(300)은 유리 기판(10)의 하면을 로봇 핸드(320)로 지지하여 열처리 모듈(100)과 얼라인 모듈(200)로 이송한다.The transfer robot 300 includes a robot hand 320 coupled to the robot arm 310 to move and rotate. The transfer robot 300 supports the lower surface of the glass substrate 10 by the robot hand 320 and transfers the transferred substrates to the thermal processing module 100 and the alignment module 200.

상기 이송 로봇(300)은 유리 기판(10)의 열처리 공정에 사용되는 일반적인 이송 로봇으로 형성되며, 로봇 핸드(320)가 결합되는 로봇암(310)과 로봇암(310)이 회동 가능하게 결합되는 로봇 몸체에 대한 구체적인 도시는 생략한다.
The transfer robot 300 is a general transfer robot used in the heat treatment process of the glass substrate 10 and is connected to the robot arm 310 to which the robot hand 320 is coupled and the robot arm 310 so as to be rotatable A specific illustration of the robot body is omitted.

상기 로봇 핸드(320)는 리스트 플레이트(wrist plate)(321)와 엔드 이펙터(end effecter)(323)와 지지 패드(325) 및 인덱스 센서(327)를 포함하여 형성된다. 상기 로봇 핸드(320)는 유리 기판(10)의 이송에 사용되는 일반적인 로봇 핸드(320)로 형성된다. The robot hand 320 includes a wrist plate 321, an end effector 323, a support pad 325, and an index sensor 327. The robot hand 320 is formed of a general robot hand 320 used for transferring the glass substrate 10.

상기 리스트 플레이트(321)는 판상 또는 블록 형상으로 형성되며, 로봇암(310)에 회동 가능하게 결합된다. The list plate 321 is formed in a plate or block shape and is rotatably coupled to the robot arm 310.

상기 엔드 이펙터(323)는 바 형상으로 형성되며, 이송하는 유리 기판(10)의 길이보다 긴 길이를 가지도록 형성된다. 상기 엔드 이펙터(323)는 복수개가 리스트 플레이트(321)에 소정 간격으로 이격되어 결합된다. 상기 엔드 이펙터(323)는 유리 기판(10)의 하면을 지지한다. The end effector 323 is formed in a bar shape and has a length longer than the length of the glass substrate 10 to be transferred. A plurality of end effectors 323 are coupled to the wrist plate 321 at predetermined intervals. The end effector 323 supports the lower surface of the glass substrate 10.

상기 지지 패드(325)는 고무 또는 플라스틱 재질로 형성되며, 엔드 이펙터(323)의 상부에 소정 간격으로 이격되어 설치된다. 상기 지지 패드(325)는 유리 기판(10)의 하면과 접촉하여 지지하며, 이송 중에 유리 기판(10)의 하면에 스크래치가 발생되거나 유리 기판(10)이 슬라이딩되는 것을 방지한다. The support pads 325 are formed of rubber or plastic and are spaced apart from the upper end of the end effector 323 at predetermined intervals. The support pad 325 is held in contact with the lower surface of the glass substrate 10 to prevent scratches on the lower surface of the glass substrate 10 during transportation or to prevent the glass substrate 10 from sliding.

상기 인덱스 센서(327)는 광 센서와 물체를 검출할 수 있는 센서로 형성된다. 상기 인덱스 센서(327)는 리스트 플레이트(321)의 양측에 위치하는 엔드 이펙터(323)의 상면에서 리스트 플레이트(321)에 인접한 위치에 형성된다. 또한, 상기 인덱스 센서(327)는 각 엔드 이펙터(323)의 상면에서 리스트 플레이트(321)에 인접한 위치에 추가로 형성될 수 있다. 상기 인덱스 센서(327)는 로봇 핸드(320)가 유리 기판(10)의 하부로 이동할 때 유리 기판(10)의 전측면의 위치를 감지하여 별도의 제어부(미도시)에 전송한다. 상기 제어부는 로봇 핸드(320)의 양측에 위치하는 인덱스 센서(327)가 동일하게 유리 기판(10)의 전측면을 감지하도록 로봇 핸드(320)를 회전시키게 된다. 따라서, 상기 인덱스 센서(327)는 엔드 이펙터(323)의 길이 방향(L)이 항상 유리 기판(10)의 전측면과 수직인 방향이 되도록 한다.
The index sensor 327 is formed of a light sensor and a sensor capable of detecting an object. The index sensor 327 is formed at a position adjacent to the list plate 321 on the upper surface of the end effector 323 located on both sides of the list plate 321. Further, the index sensor 327 may be additionally formed at a position adjacent to the list plate 321 on the upper surface of each end effector 323. The index sensor 327 detects the position of the front surface of the glass substrate 10 when the robot hand 320 moves to the lower portion of the glass substrate 10 and transmits the sensed position to a separate controller (not shown). The controller rotates the robot hand 320 so that the index sensor 327 located on both sides of the robot hand 320 senses the front surface of the glass substrate 10. Accordingly, the index sensor 327 is arranged such that the longitudinal direction L of the end effector 323 is always perpendicular to the front surface of the glass substrate 10.

다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법에 대하여 설명한다.Next, a glass substrate transferring method according to an embodiment of the present invention will be described.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법의 순서도이다.
6 is a flowchart of a glass substrate transfer method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 이송 방법은, 도 6을 참조하면, 열처리 모듈 반입 단계(S10)와 유리 기판 열처리 단계(S20)와 열처리 모듈 반출 단계(S30)와 얼라인 모듈 반입 단계(S40)와 유리 기판 얼라인 단계(S50) 및 얼라인 모듈 반출 단계(S60)를 포함하여 이루어진다. 6, a glass substrate transferring method according to an embodiment of the present invention includes the steps of loading a heat treatment module (S10), a glass substrate heat treatment step (S20), a heat treatment module take-out step (S30) S40), a glass substrate aligning step (S50), and an aligning module taking-out step (S60).

상기 유리 기판 이송 방법은 열처리 모듈 반출 단계와 얼라인 모듈 반입 단계에서 로봇 핸드(320)에 장착되어 있는 인덱스 센서(327)의 작동을 중지시킨 상태에서 유리 기판(10)의 하부로 이동하여 유리 기판(10)을 지지하도록 한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 로봇 핸드(320)의 엔드 이펙터(323)의 길이 방향(L)과 틀어진 상태에서 로봇 핸드(320)에 의하여 지지되어 열처리 모듈(100)로부터 반출되고, 얼라인 모듈(200)에 반입된다. 또한, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)과 틀어진 상태로 이송된다. The glass substrate transferring method moves the lower portion of the glass substrate 10 in a state where the operation of the index sensor 327 mounted on the robot hand 320 is stopped in the carrying out of the heat treatment module and the transferring of the aligning module, (10). The glass substrate 10 is supported by the robot hand 320 in a state where the longitudinal direction L of both sides of the glass substrate 10 is different from the longitudinal direction L of the end effector 323 of the robot hand 320, 100, and is carried into the alignment module 200. Further, the glass substrate 10 is transported in such a manner that the longitudinal direction L of both side surfaces thereof is different from the transport direction T.

상기 유리 기판 이송 방법은 얼라인 모듈 반출 단계에서 로봇 핸드(320)에 장착되어 있는 인덱스 센서(327)를 작동시킨 상태에서 유리 기판(10)을 지지하여 반출한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)과 평행하게 된 상태로 이송된다.
In the glass substrate transferring method, the glass substrate 10 is supported while the index sensor 327 mounted on the robot hand 320 is operated. Therefore, the glass substrate 10 is transported in a state in which the longitudinal direction L of both side surfaces is parallel to the transport direction T.

상기 열처리 모듈 반입 단계(S10)는 이송 로봇(300)에 의하여 유리 기판(10)이 열처리 하우징(110)의 내부로 반입되는 단계이다. 상기 이송 로봇(300)은 열처리 공정의 전공정 또는 이송 카세트에 적층되어 있는 유리 기판(10)의 하부를 지지하여 열처리 하우징(110)의 내부로 반입한다. 이때, 상기 이송 로봇(300)은 인덱스 센서(327)가 작동하는 상태에서 유리 기판(10)을 지지하여 이송한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 엔드 이펙터(323)의 길이 방향(L) 및 이송 방향(T)과 평행한 상태를 유지하며 이송된다. The heat treatment module loading step S10 is a step in which the glass substrate 10 is carried into the heat treatment housing 110 by the transfer robot 300. [ The transfer robot 300 supports the lower portion of the glass substrate 10 stacked on the transfer cassette or the entire process of the heat treatment process, and transfers the glass substrate 10 into the heat treatment housing 110. At this time, the transfer robot 300 supports and transfers the glass substrate 10 in a state in which the index sensor 327 is operated. The glass substrate 10 is transported while maintaining the longitudinal direction L of both side surfaces thereof parallel to the longitudinal direction L and the transport direction T of the end effector 323.

상기 열처리 모듈(100)의 열처리 이젝터(130)는 열처리 세터(120)의 상부로 상승하며, 이송 로봇(300)에 의하여 이송되는 유리 기판(10)이 열처리 이젝터(130)의 상부에 지지되도록 한다. 상기 이송 로봇(300)은 다시 열처리 하우징(110)의 외부로 나오게 되며, 열처리 이젝터(130)는 하강하여 유리 기판(10)이 열처리 세터(120)의 상면에 안착되도록 한다. 이때, 상기 유리 기판(10)은 유리 기판(10)의 하면과 열처리 세터(120) 사이의 공기층에 의하여 정렬이 틀어진 상태로 열처리 세터(120)의 상면에 안착될 수 있다.
The heat treatment ejector 130 of the heat treatment module 100 rises to the top of the heat treatment setter 120 and the glass substrate 10 transferred by the transfer robot 300 is supported on the upper portion of the heat treatment ejector 130 . The transfer robot 300 is returned to the outside of the heat treatment housing 110 and the heat treatment ejector 130 is lowered so that the glass substrate 10 is placed on the upper surface of the heat treatment setter 120. At this time, the glass substrate 10 can be seated on the upper surface of the heat treatment setter 120 in a state where the alignment is broken by the air layer between the lower surface of the glass substrate 10 and the heat treatment setter 120.

상기 유리 기판 열처리 단계(S20)는 유리 기판(10)이 열처리 세터(120)의 상면에 안착된 상태에서 열처리 되는 단계이다. 상기 열처리는 유리 기판(10)의 용도와 필요한 특성에 따라 다양한 조건에서 진행될 수 있다. 이때, 상기 유리 기판(10)은 열처리 과정에서 유리 기판(10)의 하면과 열처리 세터(120) 사이 존재하는 가열된 공기층의 대류에 의하여 정렬이 틀어진 상태로 열처리 세터(120)의 상면에 위치할 수 있다.
The glass substrate heat treatment step S20 is a step in which the glass substrate 10 is heat-treated in a state that the glass substrate 10 is placed on the upper surface of the heat treatment setter 120. The heat treatment may be performed under various conditions depending on the use of the glass substrate 10 and the required characteristics. At this time, in the heat treatment process, the glass substrate 10 is positioned on the upper surface of the heat treatment setter 120 in a misaligned state by the convection of the heated air layer existing between the lower surface of the glass substrate 10 and the heat treatment setter 120 .

상기 열처리 모듈 반출 단계(S30)는 이송 로봇(300)에 의하여 유리 기판(10)이 열처리 하우징(110)의 외부로 반출되는 단계이다. 상기 유리 기판(10)의 열처리가 종료되면, 열처리 이젝터(130)가 유리 기판(10)의 하면을 지지한 상태에서 상승하게 된다. 상기 유리 기판(10)은 열처리 세터(120)의 상면으로부터 이격되어 열처리 세터(120)의 상부로 이동된다. 상기 이송 로봇(300)은 인덱스 센서(327)의 작동을 중지한 상태에서 유리 기판(10)의 하부로 이동하여 유리 기판(10)의 하면을 지지하면서 열처리 이젝터(130)의 상부로 유리 기판(10)을 상승시킨다. 상기 이송 로봇(300)은 유리 기판(10)을 열처리 하우징(110)의 상부로 이송한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 로봇(300)의 엔드 이펙터(323)의 길이 방향(L)과 틀어진 상태로 지지된다. In the step S30 of carrying out the heat treatment module, the glass substrate 10 is transported to the outside of the heat treatment housing 110 by the transfer robot 300. When the heat treatment of the glass substrate 10 is completed, the heat treatment ejector 130 is lifted while supporting the lower surface of the glass substrate 10. The glass substrate 10 is separated from the upper surface of the heat treatment setter 120 and moved to the upper portion of the heat treatment setter 120. The transfer robot 300 moves to the lower portion of the glass substrate 10 in a state where the operation of the index sensor 327 is stopped so that the transfer robot 300 supports the lower surface of the glass substrate 10, 10). The transfer robot 300 transfers the glass substrate 10 to the upper portion of the heat treatment housing 110. The glass substrate 10 is supported in such a manner that the longitudinal direction L of both sides of the glass substrate 10 is different from the longitudinal direction L of the end effector 323 of the transfer robot 300.

또한, 상기 열처리 이젝터(130)는 열처리되어 가열된 유리 기판(10)의 주변 영역(10b)만을 지지하여 상승시키게 되므로 표시 영역(10a)에서의 처짐 현상을 유발한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 열처리 이젝터(130)에 의하여 지지되며 상승될 때 정렬이 틀어질 수 있다. 또한, 상기 유리 기판(10)은 로봇 핸드(320)에 의하여 지지될 때 로봇 핸드(320)에 전체적으로 균일하게 지지되지 않으므로 정렬이 틀어질 수 있다.
In addition, the heat treatment ejector 130 supports the peripheral region 10b of the heated glass substrate 10 to be heated, thereby causing a sagging phenomenon in the display region 10a. Thus, the glass substrate 10 is supported by the heat treatment ejector 130 and can be misaligned when raised. Also, when the glass substrate 10 is supported by the robot hand 320, the alignment can be interrupted because the glass substrate 10 is not uniformly supported on the robot hand 320 as a whole.

상기 얼라인 모듈 반입 단계(S40)는 이송 로봇(300)에 의하여 유리 기판(10)이 얼라인 하우징(210)의 내부로 반입되는 단계이다. 상기 이송 로봇(300)은 열처리 하우징(110)으로부터 반출한 유리 기판(10)을 얼라인 하우징(210)의 내부로 반입한다. 이때, 상기 이송 로봇(300)은 열처리 모듈 반출 단계(S30)와 마찬가지로 인덱스 센서(327)가 작동하지 않는 상태를 유지한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 로봇(300)의 엔드 이펙터(323)의 길이 방향(L)과 틀어진 상태로 지지되어 반입된다.The aligning module loading step S40 is a step in which the glass substrate 10 is carried into the aligning housing 210 by the transfer robot 300. The transfer robot 300 transfers the glass substrate 10 taken out of the heat treatment housing 110 into the interior of the alignment housing 210. At this time, the transfer robot 300 maintains the state in which the index sensor 327 is not operated as in the heat-up module take-out step S30. Therefore, the glass substrate 10 is supported while being supported in a state in which the longitudinal direction L of both side faces is different from the longitudinal direction L of the end effector 323 of the transfer robot 300.

한편, 상기 얼라인 모듈(200)의 얼라인 이젝터(230)는 얼라인 세터(220)의 상부로 상승하며, 이송 로봇(300)에 의하여 이송되는 유리 기판(10)이 상부에 지지되도록 한다. 상기 이송 로봇(300)은 다시 얼라인 하우징(210)의 외부로 나오게 되며, 얼라인 이젝터(230)는 하강하여 유리 기판(10)이 얼라인 세터(220)의 상면에 안착되도록 한다The aligning ejector 230 of the aligning module 200 ascends to the upper side of the aligning setter 220 and the glass substrate 10 conveyed by the conveying robot 300 is supported on the upper side. The transfer robot 300 is returned to the outside of the aligning housing 210 and the aligning ejector 230 is lowered so that the glass substrate 10 is seated on the upper surface of the aligning setter 220

이때, 상기 유리 기판(10)은 유리 기판(10)의 하면과 열처리 세터(120) 사이의 공기층에 의하여 정렬이 틀어진 상태로 열처리 세터(120)의 상면에 안착될 수 있다.
At this time, the glass substrate 10 can be seated on the upper surface of the heat treatment setter 120 in a state where the alignment is broken by the air layer between the lower surface of the glass substrate 10 and the heat treatment setter 120.

상기 유리 기판 얼라인 단계(S50)는 얼라인 바(240)가 유리 기판(10)을 정렬시키는 단계이다. 상기 얼라인 바(240)는 유리 기판(10)의 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)과 평행하게 되도록 정렬한다. 상기 얼라인 모듈(200)의 얼라인 바(240)는 유리 기판(10)의 양측면에 접촉하면서 유리 기판(10)이 정렬되도록 한다. 이때, 상기 얼라인 바(240)는 유리 기판(10)의 양측에 길이 방향(L)으로 서로 이격되도록 복수 개로 위치된다. 상기 얼라인 바(240)는 타측에 위치하는 대향하는 얼라인 바(240)와 유리 기판(10)의 폭보다 큰 거리로 이격된 상태를 유지한다. 상기 얼라인 바(240)는 유리 기판(10)이 얼라인 세터(220)에 안착되면 전진하여 유리 기판(10)의 양측면에 접촉하면서 유리 기판(10)을 양측면의 길이 방향(L)이 이송 방향(T)에 평행하게 되도록 정렬시킨다.
The glass substrate aligning step S50 is a step in which the aligning bar 240 aligns the glass substrate 10. [ The alignment bar 240 aligns the longitudinal direction L of both side surfaces of the glass substrate 10 so as to be parallel to the transport direction T. [ The alignment bar 240 of the alignment module 200 contacts both sides of the glass substrate 10 to align the glass substrate 10. At this time, the alignment bars 240 are located on the both sides of the glass substrate 10 so as to be spaced from each other in the longitudinal direction (L). The alignment bar 240 maintains a distance larger than the width of the opposing alignment bar 240 located on the other side of the glass substrate 10. The alignment bar 240 advances when the glass substrate 10 is placed on the alignment setter 220 and contacts the both side surfaces of the glass substrate 10 to transfer the glass substrate 10 in the longitudinal direction L of both sides And aligned parallel to the direction T.

상기 얼라인 모듈 반출 단계(S60)는 이송 로봇(300)이 유리 기판(10)을 얼라인 모듈(200)의 얼라인 하우징(210)의 외부로 반출하는 단계이다. 상기 유리 기판(10)의 얼라인이 종료되면, 얼라인 이젝터(230)가 유리 기판(10)의 하면을 지지한 상태에서 상승하게 된다. 상기 유리 기판(10)은 얼라인 세터(220)의 상면으로부터 이격되어 얼라인 세터(220)의 상부로 이동된다. 상기 이송 로봇(300)은 인덱스 센서(327)가 작동되는 상태에서 유리 기판(10)의 하부로 이동하며, 유리 기판(10)의 하면을 지지하면서 얼라인 이젝터(230)의 상부로 유리 기판(10)을 상승시킨다. 이때, 상기 유리 기판(10)은 얼라인 바(240)에 의하여 정렬된 상태이므로 인덱스 센서(327)가 작동하더라도 로봇 핸드(320)의 회전이 거의 없게 된다. 상기 이송 로봇(300)은 유리 기판(10)을 얼라인 하우징(210)의 외부로 반출한다. 따라서, 상기 유리 기판(10)은 양측면의 길이 방향(L)이 이송 로봇(300)의 엔드 이펙터(323)의 길이 방향(L)과 평행한 상태에서 지지되어 이송된다. 상기 유리 기판(10)은 열처리 공정의 후 공정에 이송되는 과정에서 다른 공정 장비와 간섭되지 않으며, 간섭없이 이송용 카세트에 반입될 수 있다.
The aligning module taking-out step S60 is a step in which the transfer robot 300 takes the glass substrate 10 out of the aligning housing 210 of the aligning module 200. [ When the alignment of the glass substrate 10 is completed, the aligner ejector 230 is lifted while supporting the lower surface of the glass substrate 10. [ The glass substrate 10 is moved away from the upper surface of the aligner 220 and moved to the upper portion of the aligner 220. The transfer robot 300 moves to the lower portion of the glass substrate 10 in a state in which the index sensor 327 is operated and moves the glass substrate 10 to the upper portion of the aligner ejector 230 while supporting the lower surface of the glass substrate 10. [ 10). At this time, since the glass substrate 10 is aligned by the alignment bar 240, even if the index sensor 327 operates, the rotation of the robot hand 320 hardly occurs. The transfer robot 300 takes out the glass substrate 10 to the outside of the aligning housing 210. The glass substrate 10 is transported while being supported while the longitudinal direction L of both sides of the glass substrate 10 is parallel to the longitudinal direction L of the end effector 323 of the transfer robot 300. The glass substrate 10 is not interfered with other process equipment in the process of being transferred to the post-process of the heat treatment process, and can be carried into the transfer cassette without interference.

본 명세서에 개시된 실시예는 여러 가지 실시 가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 실시예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예에만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 부가 및 변경이 가능함 물론, 균등한 다른 실시예의 구현이 가능하다. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims.

10: 유리 기판 100: 열처리 모듈
200: 얼라인 모듈 300: 이송 로봇10: glass substrate 100: heat treatment module
200: Align module 300: Transfer robot

Claims (12)

유리 기판이 내부에 수용되어 열처리되는 열처리 하우징을 포함하는 열처리 모듈과,
상기 열처리 모듈로부터 열처리되어 이송되는 상기 유리 기판이 안착되는 얼라인 세터와 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 얼라인 이젝터와 상기 얼라인 세터의 양측부에 형성되는 얼라인 바 및 상기 얼라인 세터가 내부에 설치되며 상기 유리 기판이 정렬되는 얼라인 하우징을 포함하는 얼라인 모듈 및
상기 유리 기판의 정렬 상태를 인식하는 인덱스 센서를 구비하는 로봇 핸드를 포함하며, 상기 열처리 모듈과 상기 얼라인 모듈로 상기 유리 기판을 반입 및 반출하는 이송 로봇을 포함하는 열처리 장치를 이용한 유리 기판 이송 방법으로서,
상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 열처리 하우징의 내부로 유리 기판이 반입되는 열처리 모듈 반입 단계와,
상기 유리 기판이 열처리되는 열처리 단계와,
상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 열처리 하우징으로부터 반출되는 열처리 모듈 반출 단계와,
상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 얼라인 하우징의 내부로 유리 기판이 반입되어 상기 얼라인 세터의 상면에 안착되는 얼라인 모듈 반입 단계와,
상기 유리 기판이 상기 얼라인 바에 의하여 얼라인되는 얼라인 단계 및
상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 얼라인 하우징으로부터 반출되는 얼라인 모듈 반출 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.A heat treatment module including a heat treatment housing in which a glass substrate is accommodated and heat treated;
An aligner ejector for transferring the glass substrate up and down, an aligning bar formed on both sides of the aligning setter, and an aligning bar formed on both sides of the aligning setter, An alignment module including an alignment housing installed in the glass substrate and aligned with the glass substrate,
A glass substrate transfer method using a thermal processing apparatus including a robot hand having an index sensor for recognizing an alignment state of the glass substrate and a transfer robot for transferring the glass substrate into and out of the thermal processing module and the alignment module As a result,
A transfer step of transferring the glass substrate into the heat treatment housing by the robot hand of the transfer robot,
A heat treatment step of heat treating the glass substrate;
A step of carrying out the heat treatment module in which the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot in the operation stop state of the index sensor and taken out from the heat treatment housing,
An aligning module loading step in which the glass substrate is loaded into the aligning housing by the robot hand of the transfer robot in an operation stop state of the index sensor and is seated on the upper surface of the aligning setter;
An aligning step in which the glass substrate is aligned by the aligning bar and
And an aligning module removing step in which the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot in the operating state of the index sensor and is taken out from the aligning housing. 제 1 항에 있어서,
상기 열처리 모듈 반입 단계는 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 유리 기판을 지지하여 이송하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 이송 방법.The method according to claim 1,
Wherein the step of carrying in the heat treatment module carries the glass substrate while supporting the glass substrate in the operating state of the index sensor. 제 1 항에 있어서,
상기 열처리 모듈은 상기 유리 기판이 안착되며 상기 열처리 하우징 내부에 설치되는 열처리 세터 및 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 열처리 이젝터를 더 포함하며,
상기 열처리 모듈 반입 단계는 상기 열처리 이젝터가 상기 열처리 세터의 상부로 상승하고, 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 로봇 핸드에 의하여 이송되는 상기 유리 기판이 상기 열처리 이젝터의 상부에 지지되고, 상기 로봇 핸드가 열처리 하우징의 외부로 나온 후에 상기 열처리 이젝터가 하강하여 열처리 세터의 상면에 상기 유리 기판이 안착되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.The method according to claim 1,
Wherein the heat treatment module further comprises a heat treatment setter on which the glass substrate is mounted and installed inside the heat treatment housing and a heat treatment ejector for vertically transferring the glass substrate,
Wherein the heat treatment module is carried on the upper part of the heat treatment ejector and the glass substrate conveyed by the robot hand in the operation state of the index sensor is supported on the upper part of the heat treatment ejector, Wherein the heat treatment ejector is lowered after coming out of the heat treatment housing and the glass substrate is placed on the upper surface of the heat treatment setter. 제 3 항에 있어서,
상기 열처리 모듈 반출 단계는 상기 열처리 이젝터가 상기 유리 기판을 지지하면서 상기 열처리 세터의 상부로 상승하고, 상기 로봇 핸드가 상기 유리 기판의 하부로 이동한 후에 상기 유리 기판을 지지하여 상기 열처리 하우징의 외부로 반출하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.The method of claim 3,
The heat treatment module is moved up to the upper portion of the heat treatment setter while the heat treatment ejector supports the glass substrate and the robot hand moves to the lower portion of the glass substrate and then supports the glass substrate to the outside of the heat treatment housing And transferring the glass substrate. 제 3 항에 있어서,
상기 유리 기판은 회로 소자가 형성되어 영상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역을 감싸는 주변 영역을 포함하며,
상기 열처리 이젝터는 상기 유리 기판이 상기 열처리 이젝터에 안착될 때, 상기 주변 영역에 대응되는 위치에만 형성되며,
상기 얼라인 이젝터는 상기 유리 기판이 상기 얼라인 이젝터에 안착될 때, 상기 표시 영역과 주변 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.The method of claim 3,
Wherein the glass substrate includes a display region where a circuit element is formed and an image is displayed, and a peripheral region surrounding the display region,
Wherein the heat treatment ejector is formed only at a position corresponding to the peripheral region when the glass substrate is seated on the heat treatment ejector,
Wherein the aligning ejector is formed in the display area and the peripheral area when the glass substrate is mounted on the aligner ejector. 제 1 항에 있어서,
상기 얼라인 모듈 반입 단계는 상기 얼라인 이젝터가 상기 얼라인 세터의 상부로 상승하고, 상기 로봇 핸드에 의하여 이송되는 상기 유리 기판이 상기 얼라인 이젝터의 상부에 지지되고, 상기 로봇 핸드가 얼라인 하우징의 외부로 나온 후에 상기 얼라인 이젝터가 하강하여 얼라인 세터의 상면에 상기 유리 기판이 안착되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.The method according to claim 1,
Wherein the aligning module loading step is carried out such that the aligning ejector is raised to the upper portion of the alignment setter and the glass substrate to be transferred by the robot hand is supported on the upper portion of the aligning ejector, Wherein the aligner ejector is lowered so that the glass substrate is placed on the upper surface of the aligner. 제 1 항에 있어서,
상기 로봇 핸드는
로봇 암에 회동 가능하게 결합되는 리스트 플레이트와
바 형상으로 형성되며 복수 개가 상기 리스트 플레이에 소정 간격으로 이격되어 결합되는 엔드 이펙터 및
상기 엔드 이펙터의 상부에 소정 간격으로 형성되어 상기 유리 기판의 하면을 지지하는 지지 패드를 더 포함하며,
상기 인덱스 센서는 상기 리스트 플레이트의 양측에 위치하는 상기 엔드 이펙터의 상면에서 상기 리스트 플레이트에 인접한 위치에 형성되어 상기 유리 기판의 전측면의 위치를 감지하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.The method according to claim 1,
The robot hand
A wrist plate rotatably coupled to the robot arm,
An end effector which is formed in a bar shape and in which a plurality of the end effectors are spaced apart from each other at a predetermined interval,
And a support pad formed on the end effector at predetermined intervals to support a lower surface of the glass substrate,
Wherein the index sensor is formed at a position adjacent to the list plate on the upper surface of the end effector located on both sides of the list plate and is configured to detect the position of the front surface of the glass substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 열처리 하우징은 상기 유리 기판의 열처리에 필요한 온도로 내부가 유지되며,
상기 얼라인 하우징은 상온 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.The method according to claim 1,
The heat treatment housing is internally maintained at a temperature required for heat treatment of the glass substrate,
Wherein the alignment housing is maintained at a normal temperature. 유리 기판이 안착되는 열처리 세터와 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 열처리 이젝터 및 내부에 상기 열처리 세터가 설치되며 상기 유리 기판이 열처리되는 열처리 하우징을 포함하는 열처리 모듈 및
상기 유리 기판의 정렬 상태를 인식하는 인덱스 센서를 구비하는 로봇 핸드를 포함하며, 상기 열처리 모듈로 상기 유리 기판을 반입 및 반출하는 이송 로봇을 포함하는 열처리 장치를 이용한 유리 기판 이송 방법으로서,
상기 유리 기판의 열처리가 종료된 후에 상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 열처리 하우징으로부터 반출되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.A heat treatment module including a heat treatment setter on which the glass substrate is placed, a heat treatment ejector for vertically transferring the glass substrate, and a heat treatment housing in which the heat treatment setter is installed and the glass substrate is heat treated,
And a transfer robot for transferring the glass substrate into and out of the glass substrate by using the thermal processing module, the method comprising:
Wherein the glass substrate is supported by the robot hand of the transfer robot in the operation stop state of the index sensor after the heat treatment of the glass substrate is completed and is taken out of the thermal processing housing. 제 9항에 있어서,
상기 열처리 장치는 상기 열처리 모듈로부터 열처리되어 이송되는 상기 유리 기판이 안착되는 얼라인 세터와 상기 유리 기판을 상하로 이송하는 얼라인 이젝터와 상기 얼라인 세터의 양측부에 형성되는 얼라인 바 및 상기 얼라인 세터가 내부에 설치되며 상기 유리 기판이 정렬되는 얼라인 하우징을 포함하는 얼라인 모듈을 더 포함하며,
상기 열처리 모듈로부터 반출되는 상기 유리 기판이 상기 인덱스 센서의 작동 중지 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 얼라인 하우징의 내부로 반입되어 상기 얼라인 세터의 상면에 안착되어 정렬되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.10. The method of claim 9,
The heat treatment apparatus includes an alignment setter on which the glass substrate to be heat-treated and transferred from the heat treatment module is placed, an aligning ejector for vertically feeding the glass substrate, an alignment bar formed on both sides of the alignment plate, Further comprising an aligning module including an aligning housing in which an inserter is installed and the glass substrate is aligned,
The glass substrate taken out from the heat treatment module is brought into the interior of the aligning housing by the robot hand of the transfer robot in the state of stopping the index sensor and is seated and aligned on the upper surface of the aligning setter. Wherein the glass substrate is a glass substrate. 제 10항에 있어서,
상기 얼라인 모듈에서 정렬된 상기 유리 기판이 상기 인덱스 센서의 작동 상태에서 상기 이송 로봇의 로봇 핸드에 의하여 상기 유리 기판이 지지되어 상기 얼라인 하우징으로부터 반출되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송 방법.11. The method of claim 10,
Wherein the glass substrate aligned in the alignment module is supported by the robot hand of the transfer robot in an operating state of the index sensor so as to be carried out from the alignment housing. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 항에 따른 유리 기판 이송 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.A heat treatment apparatus using the glass substrate transfer method according to any one of claims 1 to 11.
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