KR101479667B1 - 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법 - Google Patents

압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101479667B1
KR101479667B1 KR1020140047592A KR20140047592A KR101479667B1 KR 101479667 B1 KR101479667 B1 KR 101479667B1 KR 1020140047592 A KR1020140047592 A KR 1020140047592A KR 20140047592 A KR20140047592 A KR 20140047592A KR 101479667 B1 KR101479667 B1 KR 101479667B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
processed
unit
pressure
suction force
transfer
Prior art date
Application number
KR1020140047592A
Other languages
English (en)
Inventor
최항병
Original Assignee
주식회사 디앤씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디앤씨 filed Critical 주식회사 디앤씨
Priority to KR1020140047592A priority Critical patent/KR101479667B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101479667B1 publication Critical patent/KR101479667B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 피처리물을 전달하는 구성간의 흡입력을 제어하기 위한 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 처리 방법으로서, 피처리물을 전달하는 구성들 각각에 연결되고 압력조절밸브가 설치된 진공형성라인과, 구성들 중 피처리물을 전달하는 전달부와 피처리물을 전달받는 수령부를 판단하는 판단부, 판단부로부터 판단된 전달부 및 수령부에 연결된 각각의 진공 형성라인의 흡입력을 조절하기 위한 제어부 및 제어부로부터 전달된 신호에 따라 전달부 및 수령부의 진공형성라인에 흡입력을 제공하는 압력발생부를 이용하여, 수직상태 또는 수평방향으로 이송되는 피처리물을 마련하여 흡입한 상태로 정렬하는 과정, 흡입 상태의 피처리물을 전달하는 전달부와 피처리물을 전달받는 수령부를 판단하는 과정, 판단에 따라 전달부 및 수령부로 공급되는 흡입력의 압력을 조절하며 피처리물을 전달하는 과정 및 조절된 압력을 유지하며 피처리물을 이송시키는 과정을 수행함으로써, 피처리물을 수직상태 또는 수평상태로 픽업하여 이송시킬 때, 피처리물의 상호 전달시에 순간적으로 흡입력을 발생 및 파기되지 않아 피처리물이 낙하하여 파손되는 문제를 해결할 수 있으며, 흡입력의 순간적 발생에 의한 피처리물의 정렬 틀어짐 문제를 해결할 수 있다.
따라서, 피처리물 파손에 의한 공정 설비의 유지보수 및 정렬 틀어짐에 의한 재정렬 시간이 요구되지 않아 공정의 효율성 및 생산성을 증가시킬 수 있다.

Description

압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법 {Pressure control apparatus and method for transferring object using the same}
본 발명은 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 피처리물을 안정적으로 이동시킬 수 있으며, 피처리물의 정렬이 틀어지지 않아 공정의 안정성 및 효율성을 증가시킬 수 있는 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법을 제공한다.
일반적으로 반도체 생산 설비에서 생산되는 기판(예컨대, 글래스와 같은 피처리물)은 공정을 위해 1차 정렬된 후, 공정 진행 과정에 따라서 다른 위치로 이송되거나 공정 위치가 변경되어 공정이 수행된다.
즉, 디스플레이 소자(LCD, OLED)의 생산 장비에서 특정의 스테이지 및 진공 척에서 1차 정렬된 피처리물을 다른 스테이지나, 다른 스테이지로 이송하기 위해 사용되는 이송수단에 의해 피처리물이 이송된다. 이러한 이송수단은 피처리물을 픽업하여 이송시킬 수 있으며, 구체적으로 피처리물을 진공 흡착하여 픽업하는 흡착패드를 구비하고, 흡착 패드가 피처리물의 중앙부를 흡착하여 이송시킨다.
일례로, 1차 정렬 후 피처리물을 주는 특정 스테이지와 피처리물을 받는 이송수단 간의 피처리물 이송방법은 피처리물을 받는 이송수단이 피처리물에 접촉할 때에 특정 스테이지 상에서 피처리물을 지지하기 위한 흡입력을 파기하고, 이송수단의 흡착패드에 흡입력을 제공하는 방법으로 압력을 조절하여 피처리물을 이송한다. 즉, 피처리물을 주는 곳의 진공은 파기하고 받는 곳이 진공은 형성시키는 방법으로 피처리물을 주고 받는다.
그러나 이와 같은 방법은 피처리물을 순간적으로 잡아주지 못하는 시간이 발생될 수 있어, 피처리물을 안정적으로 주고 받는 것이 용이하지 않다. 즉, 수직으로 피처리물을 주고받는 과정에서 순간적으로 받는 부분의 진공 형성 시간이 늦춰지거나 설비의 오작동하게 되면 피처리물이 낙하되어 훼손되며, 유지보수로 인한 설비의 생산 가동이 중단되어 설비의 효율성 및 생산성을 저하시킨다.
또한, 1차적으로 정련된 피처리물이 주는 곳에서 진공이 파기되고 받는 곳에서 진공이 형성될 때 정렬이 틀어지는 현상이 발생하여 피처리물이 이송되는 위치에서 피처리물을 재정렬해야한다. 이에, 총 공정 시간이 길어져 수율이 감소되는 문제가 야기된다.
KR 2000-0018780 A1
본 발명은 피처리물을 안정적으로 이송시켜, 피처리물의 파손에 의한 유지보수 소요 시간을 단축시킬 수 있는 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법을 제공한다.
본 발명은 피처리물의 정렬을 유지한 상태로 이송시켜, 피처리물의 처리시간을 단축시킬 수 있는 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법을 제공한다.
본 발명은 공정설비의 효율성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법을 제공한다.
본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치는 피처리물을 전달하는 구성간의 흡입력을 제어하기 위한 장치로서, 상기 피처리물을 전달하는 구성들 각각에 연결되고, 압력조절밸브가 설치된 진공형성라인과, 상기 구성들 중 상기 피처리물을 전달하는 전달부와 상기 피처리물을 전달받는 수령부를 판단하는 판단부, 상기 판단부로부터 판단된 상기 전달부 및 상기 수령부에 연결된 각각의 진공 형성라인의 흡입력을 조절하기 위한 제어부 및 상기 제어부로부터 전달된 신호에 따라 상기 전달부 및 상기 수령부의 진공형성라인에 흡입력을 제공하는 압력발생부를 포함한다.
상기 압력발생부는 소정의 흡입력인 제1 압력을 발생시키는 제1 압력발생부와, 상기 제1 압력보다 큰 흡입력을 갖는 제2 압력을 발생시키는 제2 압력발생부를 포함할 수 있다.
상기 전달부에는 상기 제1 압력의 흡입력이 형성되고, 상기 수령부에는 상기 제2 압력의 흡입력이 형성될 수 있다.
상기 수령부에는 제1 압력의 흡입력의 압력이 추가로 형성될 수 있다.
상기 진공형성라인은 상기 전달부와 상기 수령부에 각각 연결되며, 상기 제1 압력발생부와 연결되는 제1 진공형성라인과, 상기 전달부와 상기 수령부에 각각 연결되며, 상기 제2 압력발생부와 연결되는 제2 진공형성라인을 포함할 수 있다.
상기 판단부는 위치 감지 센서 및 운동력 감지센서를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 피처리물 처리 방법은 수직상태 또는 수평방향으로 이송되는 피처리물을 마련하고, 상기 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하는 과정, 상기 흡입 상태의 피처리물을 전달하는 전달부와, 상기 피처리물을 전달받는 수령부를 판단하는 과정, 상기 판단에 따라 상기 피처리물을 흡입하기 위한 상기 전달부 및 상기 수령부로 공급되는 흡입력의 압력을 조절하며, 상기 피처리물을 전달하는 과정 및 상기 조절된 압력을 유지하며 상기 피처리물을 이송시키는 과정을 포함한다.
상기 피처리물을 전달하는 과정은 상기 전달부와 상기 수령부를 상호 가까워지도록 하며, 상기 피처리물을 사이에 두고 상호 접촉시키는 과정, 상기 전달부에 형성된 흡입력을 기존의 흡입력보다 감소시키고 상기 수령부에 상기 전달부의 흡입력보다 큰 흡입력을 갖도록 형성하는 과정을 포함할 수 있다.
상기 수령부에 형성된 흡입력을 상기 전달부의 흡입력보다 더 큰 흡입력을 갖도록 형성하는 것과 동시에, 상기 전달부의 흡입력과 동일한 흡입력을 상기 수령부에 추가로 형성할 수 있다.
상기 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하는 과정은 정렬 전 피처리물을 흡입한 상태로 지지시키는 단계, 상기 피처리물의 외측에서 상기 피처리물의 일측방향으로 밀어내는 힘을 가하는 단계, 상기 밀어내는 힘에 의해 상기 피처리물을 수평방향 또는 상하방향으로의 축을 기준으로 상기 피처리물을 틸팅시키는 단계로 수행될 수 있다.
상기 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하는 과정은 정렬 전 피처리물을 흡입한 상태로 지지시키는 단계, 상기 피처리물의 외측에서 상기 피처리물의 일측방향 및 상기 일측방향과 교차하는 방향으로 밀어내는 힘을 가하는 단계, 상기 밀어내는 힘에 의해 상기 피처리물을 수평방향 또는 상하방향으로의 축을 기준으로 상기 피처리물을 틸팅시키는 단계로 수행될 수 있다.
본 발명의 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법에 의하면, 피처리물을 전달하는 과정에서 전달부와 수령부 구성의 피처리물 흡입력을 조절함으로써 피처리물을 안정적으로 이송할 수 있다.
즉, 피처리물을 수직상태 또는 수평상태로 픽업하여 전달부와 수령부 구성간에 이송시킬 때, 피처리물을 전달하는 전달부와 전달받는 수령부 사이에서 수령부가 전달부보다 상대적으로 큰 흡입력을 발생시켜 전달부로부터 피처리물을 흡입한 상태로 피처리물을 이송시킨다. 이에, 피처리물의 상호 전달시에 순간적으로 흡입력을 발생 및 파기되지 않아 피처리물이 낙하하여 파손되는 문제를 해결할 수 있다.
또한, 전달부와 수령부가 피처리물에 각각 흡입력을 가하는 상태에서 전달부로부터 수령부로 피처리물이 전달됨으로써, 순간적으로 흡입력이 발생하는 시점이 발생하지 않는다. 이에, 종래에 피처리물을 받아가는 구성에서 순간적으로 발생하는 흡입력에 의해 피처리물의 정렬이 틀어짐으로써, 이송 후 피처리물을 재정렬하는 것이 요구되지 않아 정렬과정에 있어 소모된 시간을 절약할 수 있다.
따라서, 상기의 문제점을 해결할 수 있어 공정 설비의 효율성 및 생산성을 증가시킬 수 있고, 피처리물을 안정적으로 이송시킴으로써 최종 제품의 피처리물의 품질을 증가시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 압력조절 장치를 구비한 도포 설비를 블록화하여 도시한 도면 및 피처리물과, 피처리물에 접합제를 도포하여 접합시키는 과정을 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치가 구비되는 도포 설비의 일부 구성을 도시한 입체도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치가 연결되는 투입장치 및 이동모듈의 구성을 도시한 입체도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치를 이용한 피처리물 처리 방법을 차례대로 나타내는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 피처리물 정렬 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 피처리물 정렬 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 4의 압력 조절 장치가 적용된 본 발명의 실시 예에 따른 피처리물의 수평 이송 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 4의 압력 조절 장치가 적용된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 피처리물의 수직 이송 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명의 실시 예를 첨부도면에 의거하여 상세하게 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있으며, 다양한 방법으로 수행될 수 있다.
여기서, 장치 또는 구성 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
그리고, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 압력조절 장치를 구비한 도포 설비를 블록화하여 도시한 도면 및 피처리물과, 피처리물에 접합제를 도포하여 접합시키는 과정을 설명하는 도면이다. 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치가 구비되는 도포 설비의 일부 구성을 도시한 입체도이다. 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치가 연결되는 투입장치 및 이동모듈의 구성을 도시한 입체도이다. 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치를 이용한 피처리물 처리 방법을 차례대로 나타내는 순서도이다. 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 피처리물 정렬 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 피처리물 정렬 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 8은 도 4의 압력 조절 장치가 적용된 본 발명의 실시 예에 따른 피처리물의 수평 이송 상태를 나타내는 도면이다. 도 9는 도 4의 압력 조절 장치가 적용된 본 발명의 다른 실시 예에 따른 피처리물의 수직 이송 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치(50)는 피처리물(U)을 수직상태 및 수평상태로 이송시키며 전달하는 구성에 연결되어 사용되는 것으로서, 본 발명의 실시 예에서는 피처리물(U)을 수평상태로 이송 및 전달하며 피처리물(U)의 측면에 도포제를 도포하는 도포 설비(1)에 사용될 수 있다. 즉, 실시예에서 피처리물은 도포 공정이 실시되는 피처리물은 대형 유기발광 다이오드를 구성하는 패널일 수 있다.
여기서, 패널은 트랜지스터(TFT)와, 유기발광층들을 포함하는 제1 기판(S1)과, 제1 기판(S1)을 커버하도록 형성된 제2 기판(S2)을 포함하는 구성일 수 있다. 그리고, 제1 기판(S1) 일면의 가장자리를 따라 접합제(D1)가 도포되어 상호 접합되어 있으며, 상기 접합제는 예컨대 프릿(frit)일 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 도포 설비는 상기의 패널의 측면의 상하방향 폭을 기준으로 그 중심 위치에 도포제(D2)가 도포되도록 한다. 즉, 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)의 측면이 형성하는 갭(gap)에 도포제(D2)를 도포하여 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2) 간의 접합을 보강한다. 즉, 도 1에 도시된 것처럼, 제1 기판(S1) 일면의 가장자리와, 제1 기판(S1)의 일면과 마주보는 제2 기판(S2)의 일면의 가장자리를 따라 도포된 접합제(D1)에 의해 1차 접합된 제1 및 제2 기판 측면에 추가로 도포제(D2)를 도포함으로써 제1 기판과 제2 기판 사이의 접합이 강화된다. 즉, 도포제(D2)는 갭 사이에 분사되어 갭 사이를 접합시키기 위한 접합제이다. 이때, 제1 및 제2 기판 측면에 도포되는 접합제(D2)는 삼투압 현상에 의해 갭으로 침투되며, 제1 및 제2 기판 사이의 접합을 강화시킨다. 따라서, 유기발광다이오드 내측으로 수분 및 산소가 침투하는 것을 보다 효과적으로 차단할 수 있다. 여기서, 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2) 사이의 갭에 분사되는 도포제(D2)는 접합제(D2)와 같은 의미를 나타내므로 혼용 사용하여도 무방하다.
그러나, 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치(50)가 구비되는 설비는 이에 한정되지 않고, 피처리물을 처리하는 과정에 있어서, 피처리물을 일 구성에서 타 구성으로 이송하며 처리가 이루어지는 다양한 피처리물 이송 장치에 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 압력 조절 장치(50)는 도 2에 도시된 바와 같이, 피처리물(U)에 접합제를 도포하는 도포장치(20)와, 도포장치(20)의 일측에 위치하여 도포장치(20)로 피처리물(U)을 투입시키는 투입장치(10), 도포장치(20)의 타측에 배치되어, 도포가 완료된 피처리물(U)을 외부로 반출하는 반출 장치(60), 도포장치(20)와 반출 장치(60) 사이에 위치하여, 피처리물(U)에 도포된 접합제를 경화시키는 경화기(30)의 외측에 배치 및 적어도 일부와 연결된다. 여기서, 접합제는 UV에 의해 경화되는 재료일 수 있으며, 경화기(30)는 UV를 방사하는 장치리 수 있다. 이하에서는, 압력 조절 장치(50)가 구비되는 도포 설비(1)에 대해 간략하게 설명하기로 한다. 이때, 이송 및 전달하고자 하는 대상인 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)이 접합된 패널을 '피처리물(U)' 이라 명명한다. 그리고, 피처리물(U)이 연속적으로 이송 및 전달되는 진행 방향을 Y축 방향, Y축 방향과 교차 또는 직교하는 방향을 X축 방향, 그리고 상하 방향을 Z축 방향이라 명명한다. 또한, Y축 방향에서, 어느 한 지점의 위치에서, 피처리물(U)이 이송되는 방향을 전방, 그 반대를 후방이라 정의한다.
투입 장치(10)는 피처리물(U)을 수평 상태로 이송시켜 도포 장치(20)로 투입하며, 실시예에 따른 투입 장치(10)는 트레이에 안치된 피처리물(U)을 도포 장치(20)로 투입시키는 수단일 수 있다. 또한, 반출 장치(40) 역시 피처리물(U)을 수평 상태로 이송시켜 외부로 반출시키며, 실시예에 따른 반출 장치(40)는 도포 완료된 피처리물(U)을 트레이에 안치시켜, 외부로 반출시키는 수단일 수 있다.
물론, 투입 장치(10) 및 반출 장치(40)는 상술한 예에 한정되지 않고, 피처리물(U)을 도포 장치(20)로 투입시킬 수 있고, 도포 완료된 도포 장치(20)의 피처리물(U)을 외부로 반출할 수 있는 다양한 수단 예컨대, 카셋 형태의 수단이 적용될 수 있다.
도포장치(20)의 도포 모듈(3000)은 제1 내지 제3 도포모듈(3000a, 3000b, 3000c)은 제2 테이블(70b) 상에서 정렬유닛(1200) 및 전달유닛(1300)의 전방에 구비되며, X축 방향으로 이동모듈(2000)의 측면 중 어느 한 측면 및 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 소정거리 이격되어 배치된다. 이에, 제1 내지 제 3 도포모듈(3000a, 3000b, 3000c)은 이동모듈(2000)에 의해 이송되는 피처리물(U)의 마주보는 도포 측면에 도포제를 도포할 수 있는 수단이다. 여기서, 제1 도포모듈(3000a)은 피처리물(U)의 제1 측면에 도포제를 도포할 수 있고, 제2 도포모듈(3000b)은 피처리물의 제2 측면에 도포제를 도포할 수 있으며, 제3 도포모듈(3000c)은 피처리물(U)의 제3 측면에 도포제를 도포할 수 있다. 또한, 제1 도포모듈(3000a)은 후술하는 전후진 이동유닛(2100)의 전후진 이동하지 않았을 경우, 제1 공정 스테이지(2120a)와 제2 공정 스테이지(2120b) 사이에 배치되며, 제2 도포모듈(3000b)은 제2 공정 스테이지(2120b)와 제3 공정 스테이지(2120c) 사이에 배치되며, 제3 도포모듈(3000c)은 제3 공정 스테이지(2120c)와 제4 공정 스테이지(2120d) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제1 내지 제3 도포모듈(3000a, 3000b, 3000c) 각각은 피처리물의 도포 측면에 도포제를 토출하여 도포하는 도포부를 구비하는 도포유닛(3300a, 3300b, 3300c)과, 피처리물(U)의 도포 측면 이미지를 획득하는 촬상유닛(3510)을 구비하여, 이미지 판별 결과에 따라 도포유닛(3300a, 3300b, 3300c)의 이동을 제어하는 도포 제어 유닛(3500a, 3500b, 3500c) 및 도포유닛(3300a, 3300b, 3300c) 및 도포제어유닛(3500a, 3500b, 3500c)을 X축 방향으로의 수평이동 및 Z축 방향으로 상하이동시키는 이동부(이하, 도포 이동부; 3700a, 3700b, 3700c)를 포함한다. 추가로, 전술한 도포유닛(3300a, 3300b, 3300c), 도포제어유닛(3500a, 3500b, 3500c) 및 도포이동부(3700a, 3700b, 3700c)를 지지하도록 테이블부(70) 상에 설치된 안착패드(3100a, 3100b, 3100c)를 포함할 수 있다. 도포 모듈(3000)은 일반적인 도포 설비에서 사용하는 모듈이 사용될 수 있으므로, 자세한 설명은 생략하도록 한다.
투입 장치(10)로 투입된 피처리물(U)을 정렬하기 위한 정렬유닛(1200)은 도포장치(20)로 피처리물(U)을 투입하기 이전에, 피처리물(U)을 1차 정렬하기 위한 수단으로서, 피처리물(U)가 도포장치(20)의 인입되기 전의 최전방에 위치한다. 정렬유닛(1200)은 로딩유닛(1150)에 의해 제1 또는 제2 트레이 투입부(1110, 1120)의 피처리물이 이송되어 안착하는 정렬 스테이지(1210)와, 정렬 스테이지(1210)에 적어도 일부가 내설되거나 외측에 배치되어, 정렬 스테이지(1210) 상의 피처리물(U)을 정렬하기 위한 정렬부(1230)을 포함한다.
정렬 스테이지(1210)는 제1 또는 제2 트레이 투입부(1110, 1120)의 전방에 배치되어, 로딩유닛(1150)에 의해 트레이(T)로부터 이송된 피처리물(U)이 안착되는 것으로서, 일정 두께를 갖는 플레이트(plate)로 제작되어 피처리물(U)이 상부에 안착될 수 있도록 평면 형상이 피처리물(U)보다 큰 사각의 형상을 가질 수 있다. 본 발명의 실시 예에서 정렬 스테이지(1210)는 피처리물(U)의 평면 형상에 따른 사각의 평면 형상을 갖는 정렬 스테이지(1210)가 구비되나, 정렬 스테이지(1210)는 이에 한정되지 않고 피처리물(U)의 크기에 따라서 다양한 평면 형상을 갖도록 변경될 수 있다.
한편, 정렬 스테이지(1210)는 정렬부(1230)의 적어도 일부 구성이 내설되어 돌출 배치되도록 일부 영역이 상하부가 관통되는 관통홀(1212)이 형성될 수 있다. 또한, 상부에 안착된 피처리물(U)을 진공 흡착력으로 지지하기 위한 진공형성라인(51)이 연결되는 흡입라인(1214)이 형성될 수 있다. 이때, 흡입라인(1214)은 복수개 형성될 수 있으며, 후술하는 압력 조절 장치(50)로부터 연결된 압력발생부(55)에서 소정의 제1 압력(P1)을 전달받는 제1 흡입라인(1214a)과, 제1 흡입라인(1214a)으로부터 이격되어 형성되며 제1 압력(P1)과 상이한 압력인 제2 압력(P2)을 전달받는 제2 흡입라인(1214b)으로 구성될 수 있다. 이에 제1 흡입라인(1214a) 및 제2 흡입라인(1214b) 각각은 후술하는 압력 조절 장치(50)에 구비된 진공형성라인(51)과 각각 연결되어 정렬 스테이지(1210)에 흡입력을 제공할 수 있다.
정렬부(1230)는 정렬 스테이지(1210) 상에 안착된 피처리물(U)의 측면에 접촉하여 피처리물(U)을 정렬하기 위한 것으로서, 적어도 일부가 정렬 스테이지(1210)의 상측으로 돌출되도록 설치되어, 수평 이동 가능한 정렬핀(1231)과, 정렬핀(1231)을 이동시키기 위한 정렬핀 구동기(1232), 정렬핀(1231)의 이동 방향과 교차하는 방향으로 수평 이동 가능한 정렬부재(1233) 및 정렬부재(1233)를 이동가능하게 하는 정렬부재 이송기(1235)를 포함할 수 있다.
정렬핀(1231)은 정렬 스테이지(1210) 상에 돌출 형성되어, 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 수평이동할 수 있다. 정렬핀(1231)은 복수개 구비되어 복수의 정렬핀(1231)이 X축 방향으로 이격되어 나열 배치될 수 있다. 이때, 정렬핀(1231)을 수평 이동시키기 위해 정렬 스테이지(1210)의 외측에는 정렬핀 구동기(1232)가 구비될 수 있다.
정렬핀 구동기(1232)는 정렬 스테이지(1210) 상에 돌출 배치된 정렬핀(1231)을 수평방향으로 이동시키기 위해 구비되는 것으로서, 정렬핀(1231)을 일정속도로 이동시킬 수 있는 장치가 사용될 수 있다. 이때, 정렬핀 구동기(1232)는 정렬 스테이지(1210) 하부에 형성된 공간에 배치될 수 있다.
정렬부재(1233)는 정렬핀(1231)이 배치되는 피처리물(U)의 측면에 교차하는 측면과 마주보는 위치에 배치되며, 공정 진행 방향과 교차하는 방향(X축 방향)으로 수평이동할 수 있다. 정렬부재(1233)는 피처리물(U)과 마주보는 일측은 피처리물(U)의 적어도 모든 측면과 접촉할 수 있도록 단부가 넓어지는 형상으로 형성될 수 있다.
정렬부재 이송기(1235)는 정렬부재(1233)를 X축방향으로 수평 이동하기 위한 것으로서, 정렬 스테이지(1210)측(X축 방향)으로 소정길이 연장 형성되는 제3 가이드부재(1235a)와, 제3 가이드부재(1235a)와 정렬부재(1233)를 연결하여 제3 가이드부재(1235a)의 연장 방향을 따라 X축 방향으로 수평 이동하는 제3 수평이동블록(1235b)로 구성될 수 있다.
본 발명에서는 정렬부재(1233)가 레일을 따라 움직이도록 구성되었으나 정렬부재(1233)를 움직이기 위한 구성은 이에 한정되지 않고, 정렬부재(1233)는 푸쉬어(Pusher)에 연결되어, 피스톤·실린더 왕복 운동에 의해 정렬 스테이지(1210)와 가까워지거나 멀어지도록 이동할 수 있다.
이와 같은 정렬유닛(1200)은 로딩부재(1152)에 의해 지지되어 정렬 스테이지(1210) 상부에 안착된, 정렬 상태가 비정상(즉, 정렬이 틀어진 상태 또는 삐뚤어진 상태)인 피처리물(U)을 정상(즉, 정렬이 틀어지지 않은 상태 또는 삐뚤어지지 않은 상태)으로 교정할 수 있다. 보다 구체적으로 본 발명에서는 정렬 스테이지(1210) 상에 피처리물(U)이 안치되면, 복수의 정렬핀(1231)을 피처리물(U)측으로 이동시킨다. 이때, 피처리물(U)이 삐뚤어진 상태인 경우, 일렬로 배치되어 피처리물 방향으로 수평 이동 중인 복수의 정렬핀(1231) 중 일부 정렬핀이 먼저 피처리물(U)과 접촉하고, 접촉된 정렬핀은 피처리물(U)의 일부 측면에 미는 힘이 가하여 피처리물(U)을 틸팅(tilting)시킨다. 따라서, 복수의 정렬핀(1231)과 마주보는 피처리물(U)의 일 측면이 복수의 정렬핀(1231)과 모두 접촉되어 피처리물(U)이 일측면이 복수의 정렬핀(1231)과 평행하게 되어 피처리물(U)의 정렬이 완료된다. 이때, 정렬 스테이지(1210)의 상면에 앞서 설명한 흡입라인(1214)을 통해 피처리물(U)과의 밀착력을 증가시키기 위한 흡입력이 가해짐으로써, 정렬핀(1231)과 정렬부재(1233)에 의해 피처리물(U)이 틸팅되며 정렬될 때, 정렬 스테이지(1210)와 피처리물(U)간의 밀착력에 의해 피처리물(U)이 밀려나거나 튕겨나가는 것을 방지할 수 있어, 안정적으로 피처리물(U)을 정렬할 수 있다. 이와 같은 정렬 스테이지(1210)로 공급되는 흡입구성 및 흡입압력에 대해서는 이하에서 다시 한번 설명하기로 한다.
전달유닛(1300)은 정렬유닛(1200)에서 정렬된 피처리물(U)을 도포장치(20)로 투입하기 위한 수단으로서, 정렬 스테이지(1210) 상에 정렬 완료되어 안치된 피처리물(U)을 이송시켜 도포장치(20)로 투입한다. 전달유닛(1300)은 정렬 스테이지(1210) 상에 안치된 피처리물(U)을 픽업 지지하는 전달부재(1310)와, 전달부재(1310)를 X축 및 Y축 방향으로의 수평 이동과, Z축 방향으로의 상하 이동시키는 이송부(이하, 전달 이송부; 1330)를 포함한다.
전달부재(1310)는 상하방향으로 연장 형성되며, 하부에 피처리물이 지지 고정될 수 있는 수단이 마련된다. 예컨대, 전달부재(1310)는 피처리물(U)과 마주보는 측면에 진공 흡입력이 형성되어 피처리물(U)을 지지하는 수단이 사용될 수 있다. 이에, 전달부재(1310)에는 진공 흡입력을 피처리물(U)로 제공할 수 있도록 후술하는 압력 조절 장치(50)의 진공형성라인(51)의 적어도 일부가 내설되어 형성될 수 있다.
한편, 전달부재(1310)에는 정렬 스테이지(1210)의 상의 피처리물(U)을 픽업하여 지지하기 위해 소정의 진공 흡입력이 발생된다. 이때, 전달부재(1310)에 형성되는 진공흡입 압력은 정렬 스테이지(1210)로부터 피처리물(U)을 들어올릴 수 있을 정도의 압력이 발생될 수 있으며, 보다 구체적으로 정렬 스테이지(1210)가 피처리물(U)을 흡입하고 있는 흡입력보다 큰 값의 흡입력이 발생되어 정렬 스테이지(1210)로부터 피처리물(U)을 전달받을 수 있다. 이처럼, 피처리물(U)을 정렬 스테이지(1210)로부터 가져감으로써 정렬 스테이지(1210)에서 1차 정렬된 피처리물(U)은 정렬이 틀어지지 않은 상태로 전달부재(1310)에 의해 도포장치(20)로 이송될 수 있다. 이에 대해서는 하기에서 다시 한번 설명하기로 한다.
도포장치(20)는 제2 테이블(70b) 상부에서 정렬유닛(1200)의 전방에 설치되고, 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 연장 형성되어 피처리물(U)이 경유하는 이동경로를 형성한다. 도포장치(20)는 정렬유닛(1200)에서 정렬된 피처리물(U)의 정렬을 유지한 상태로 피처리물(U)의 위치를 변경 및 이동시키는 이동모듈(2000)과, 제2 테이블(70b) 상부에서 이동모듈(2000)을 기준으로 이동모듈(2000)의 연장 방향과 교차하는 방향으로 이동모듈(2000)로부터 이격되어 배치되는 적어도 하나 이상의 도포모듈(3000)을 포함한다. 또한, 도포장치(20)는 이동모듈(2000)을 사이에 두고 도포모듈(3000)과 마주보는 위치에 배치되며, 도포 공정이 실시되는 피처리물(U)의 상측에 가스 커튼을 형성하여 피처리물(U)의 상부에 도포제 또는 불순물이 부착되는 것을 억제하거나 방지하는 적어도 하나 이상의 차단 모듈(4000)을 포함할 수도 있다.
이동모듈(2000)은 정렬유닛(1200)에 의해 정렬된 피처리물(U)의 정렬상태를 유지한 상태로 피처리물(U)의 도포 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 이송시키기 위한 수단이다. 이동모듈(2000)은 정렬 스테이지(1210)의 전방에서 Y축 방향으로 연장 형성되며, 전후진 이동에 의해 피처리물(U)을 도포장치(20) 내로 인입 또는 반출하는 복수의 공정 스테이지(2120)를 포함하는 전후진 이동유닛(2100)과, 전후진 이동유닛(2100)의 상부에 이격되어 배치되고, 복수의 공정 스테이지(2120) 간에 피처리물(U)을 픽업 이동시키기 위한 픽업 이동유닛(2200)을 포함한다. 여기서, 이동모듈(2000)에는 압력 조절 장치(50)가 연결되는데, 배치된 위치 및 도포 공정을 진행함에 있어 전달부(C)와 수령부(R)로 구분될 수 있다. 즉, 복수의 공정 스테이지(2120)와 픽업유닛(2210, 2230, 2250, 2270)은 도포 공정의 흐름에 따라서 전달부(C)로 판단될 수도 있으며 수령부(R)로도 판단될 수 있고, 판단에 따라서 피처리물(U)을 흡입하는 흡입 압력이 조절될 수 있다.
전후진 이동유닛(2100)은 제2 테이블(70b) 상에서 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 연장 형성되며, 정렬 스테이지(1210)로부터 이송된 피처리물(U)을 정렬을 유지한 상태에서 소정 거리씩 이송시키는 수단으로, 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 이격되어 나열되는 복수의 공정 스테이지(2120)와, 복수의 공정 스테이지(2120)의 하부에 배치되어 Y축 방향으로 연장 형성되며, 복수의 공정 스테이지(2120)가 전후진 될 수 있는 이동 경로를 형성하는 공정스테이지 가이드부재(2140) 및 공정스테이지 가이드부재(2140)와 복수의 공정 스테이지(2120)를 각각 연결하여 복수의 공정 스테이지(2120)가 공정스테이지 가이드부재(2140)를 따라 활주 가능하도록 하는 복수의 공정스테이지 수평이동블록(2160)을 포함한다. 이때, 본 발명에서는 복수의 공정 스테이지(2120)로 총 5개의 공정 스테이지를 구비하여, 피처리물(U)을 연속적으로 도포장치(20)에 투입하여 공정을 진행할 수 있다. 이하에서는 복수의 공정 스테이지(2120)는 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)로 명명할 수 있다.
제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 각각 소정거리 이격되어 배치되며, 상부에 피처리물(U)이 안착된다. 여기서, 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 각각의 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e) 상부에 안착되는 피처리물(U)을 소정의 압력으로 흡입하기 위한 압력발생부(55)로부터 연결되는 진공형성라인(51)이 배치되는 공간을 제공하기 위해 하부에 중공형의 공간이 마련될 수 있다. 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 상호 이격된 상태에서 공정스테이지 가이드부재(2140)를 따라 Y축 방향으로 함께 움직일 수 있다. 즉, 복수의 공정 스테이지(2120)는 동일한 이격거리(W)로 배치된 상태에서 전진 및 후진 동작을 동일한 시점에 수행하며, 전진 및 후진시 상기 이격거리(W) 만큼 전후진 동작함으로써, 복수의 공정 스테이지(2120)가 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)로 구분될 경우, 전진시에는 제1 공정 스테이지(2120a)가 기존 제2 공정 스테이지(2120b)의 위치에 배치될 수 있으며, 후진시에는 기존의 위치로 복귀할 수 있다. 한편, 앞서 설명한 정렬 스테이지(1210)와 마찬가지로 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e) 상에는 복수개의 흡입라인(2125)이 형성될 수 있으며, 상기 흡입라인(2125)은 제1 흡입라인(2125a) 및 제2 흡입라인(2125b)으로 상호 이격되어 형성되어 각각의 라인에 상이한 흡입력을 제공받을 수 있다.
픽업 이동유닛(2200)은 공정 진행 방향(Y축 방향)으로 소정거리 이격되어 배치되어 전후진 이동유닛(2100)의 이동에 따라 피처리물(U)을 픽업 지지하며, 피처리물(U)을 복수의 공정 스테이지(2120) 중 하나의 공정 스테이지에서 다른 하나의 공정 스테이지로 전달하기 위한 수단이다. 예컨대, 제1 공정 스테이지(2120a) 상의 피처리물(U)을 제2 공정 스테이지(2120b)로 이동시키거나, 제2 공정 스테이지(2120b) 상의 피처리물(U)을 제3 공정 스테이지(2120c)로 이동시키는 수단이다. 이와 같은 픽업 이동유닛(2200)은 공정 진행 방향(Y축 방향)을 기준으로 상호 이격되어 배치되고, 복수의 공정 스테이지(2120) 적어도 일부의 공정 스테이지 직상부에 이격되어 배치되는 제1 픽업 이동유닛(2200a) 및 제2 픽업 이동유닛(2200b)을 포함한다.
제1 픽업 이동유닛(2200a)은 제2 테이블(70b) 상에서 공정 진행 방향으로 전달유닛(1300)의 전방에 배치되어, 피처리물(U)을 전달하며 공정 스테이지 상 피처리물(U)의 안착 위치를 변경하기 위한 수단이다. 제1 픽업 이동유닛(2200a)은 공정 진행 방향(Y축 방향)과 교차하는 방향으로 피처리물(U)을 이동시켜 위치를 변경할 수 있는 제1 픽업유닛(2210)과, 제1 픽업유닛(2210)의 전방에 배치되어 피처리물(U)을 회전시키며 공정 진행 방향과 교차하는 방향으로 위치를 변경할 수 있는 제2 픽업유닛(2230) 및 제1 픽업유닛(2210)과 제2 픽업유닛(2230)을 전후진 이동유닛(2100) 상에 이격되어 설치하기 위한 겐트리(이하, 제2 겐트리; G2)를 포함한다.
제1 픽업유닛(2210)은 제1 측면으로의 도포가 완료된 피처리물(U)을 픽업 지지하며 복수의 공정 스테이지(2120) 중 도포장치(20)의 전방에 배치되는 공정 스테이지 사이에서 피처리물(U)의 위치를 변경하며 전달하기 위한 수단이다. 즉, 본 발명과 같이 복수의 공정 스테이지(2120)가 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120e)로 구분되고, 후술하는 도포모듈(3000)이 제1 내지 제3 도포모듈(3000a, 3000b, 3000c)로 구분될 때, 제1 픽업유닛(2210)은 제2 도포모듈(3000b)의 후방에 배치되는 제1 공정 스테이지(2120a)에서 제2 공정 스테이지(2120b)로 피처리물(U)의 위치를 변경하며 전달할 수 있다. 이때, 제1 픽업유닛(2210)은 전후진 이동유닛(2100)의 상부에 이격되어 배치되며 X축 방향으로 수평이동 가능하며, 상하방향으로 연장 형성되어 제1 공정 스테이지(2120a) 상의 피처리물(U)을 픽업 지지하는 제1 픽업부재(2211)와, 제1 픽업부재(2211)를 X축 방향으로 수평이동 및 Z축 방향으로 상하 이동시키기 위한 제1 픽업 이송부(2213)를 포함한다.
제1 픽업부재(2211)는 상하방향(Z축 방향)으로 연장 형성되며, 피처리물(U)과 마주보는 하부에는 피처리물(U)을 픽업하여 지지할 수 있는 지지수단이 마련된다. 이때, 피처리물(U)을 지지하는 제1 픽업부재(2211)의 지지수단은 진공 흡착력으로 피처리물(U)을 지지하는 수단이 사용될 수 있다.
제2 픽업유닛(2230)은 제1 픽업유닛(2210)의 전방에 배치되어 피처리물(U)을 전달하며 공정 스테이지 상 피처리물(U)의 안착위치 및 도포 측면을 변경하기 위해 회전시키는 수단이다. 즉, 본 발명과 같이 복수의 공정 스테이지(2120)가 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120e)로 구분되고, 후술하는 도포모듈(3000a, 3000b, 3000c)이 제1 내지 제3 도포모듈(3000c)로 구분될 때, 제2 픽업유닛(2230)은 제3 도포모듈(3000c)의 후방에 배치되고, 제2 도포모듈(3000b)의 전방에 배치되어 제2 공정 스테이지(2120b)에서 제3 공정 스테이지(2120c)로 피처리물(U)을 회전시키며 위치를 변경하며 전달할 수 있다. 이때, 제2 픽업유닛(2230)은 전후진 이동유닛(2100)의 상부에 이격되어 배치되며 X축 방향으로 수평이동 가능하며, 상하방향으로 연장 형성되어 제2 공정 스테이지(2120b) 상의 피처리물(U)을 픽업 지지하는 제2 픽업부재(2231)와, 제2 픽업부재(2231)를 회전 가능하게 하는 픽업부재 회전부(2233) 및 제2 픽업부재(2231)를 X축 방향으로 수평이동 및 Z축 방향으로 상하 이동시키기 위한 제2 픽업 이송부(2235)를 포함한다.
제2 픽업부재(2231)는 상하방향(Z축 방향)으로 연장 형성되며, 피처리물(U)과 마주보는 하부에는 피처리물(U)을 픽업하여 지지할 수 있는 지지수단이 마련된다. 이때, 피처리물(U)을 지지하는 제2 픽업부재(2231)의 지지수단은 제1 픽업부재(2211)와 동일한 진공 흡착력으로 피처리물(U)을 지지하는 수단이 사용될 수 있다.
제2 픽업 이동유닛(2200b)은 제2 테이블(70b) 상에서 공정 진행 방향으로 제1 픽업 이동유닛(2200a)의 전방에 배치되어, 도포 공정이 완료된 피처리물(U)을 공정 스테이지 간에 전달하기 위한 수단이다. 보다 구체적으로 제2 픽업 이동유닛(2200b)은 전후진 이동유닛(2100) 상에서 도포 공정이 완료된 피처리물(U)을 픽업 지지하여 공정 스테이지 간에 상호 전달하기 위해 구비되며, 상하방향으로 피처리물을 픽업 지지하며 피처리물을 전달할 수 있는 제3 픽업유닛(2250)과, 제3 픽업유닛(2250)의 전방에 이격 배치되어 상하방향으로 피처리물을 픽업 지지하는 제4 픽업유닛(2270) 및 제3 픽업유닛(2250)과 제4 픽업유닛(2270)을 제2 테이블(70b) 상에 지지하기 위한 겐트리(이하, 제3 겐트리; G3)를 포함한다.
제3 픽업유닛(2250)은 도포 공정이 완료된 피처리물을 픽업 지지하며 예컨대, 전후진 이동유닛(2100)의 전진 상태에서 제3 공정 스테이지(2120c) 상의 피처리물을 후진 상태의 제4 공정 스테이지(2120d)에 전달하기 위한 수단으로서, 전후진 이동유닛(2100) 상부에 이격되어 배치되며 상하방향으로 이동 가능하다. 여기서, 제3 픽업유닛(2250)은 상하방향으로 연장 형성되며, 피처리물(U)을 픽업 지지하는 제3 픽업부재(2251)와, 제3 픽업부재(2251)를 상하방향으로 이동하기 위한 제3 픽업 이송부(2253)를 포함한다.
한편, 제4 픽업유닛(2270)은 전후진 이동유닛(2100)의 전진 상태에서 제4 공정 스테이지(2120d) 상의 피처리물을 후진 상태의 제5 공정 스테이지(2120e)에 전달하기 위한 수단으로서, 전후진 이동유닛(2100) 상부에 이격되어 배치되며 상하방향으로 이동 가능하다. 여기서, 제4 픽업유닛(2270)은 상하방향으로 연장 형성되며, 피처리물(U)을 픽업 지지하는 제4 픽업부재(2271)와, 제4 픽업 부재(2271)를 상하방향으로 이동하기 위한 제4 픽업 이송부(2273)를 포함한다.
여기서, 제3 픽업부재(2251)와 제4 픽업부재(2271)는 동일한 기능을 수행하는 것으로서, 피처리물을 픽업 지지하기 위해 구비된다. 이에, 제3 및 제4 픽업부재(2251, 2271)는 상하방향으로 연장 형성되며, 적어도 그 하부에 피처리물(U)을 지지 고정할 수 있는 지지수단을 구비한다. 본 발명의 실시 예에서는 피처리물(U)을 지지하는 지지 수단으로 진공 흡착력이 발생되는 지지수단이 사용될 수 있다.
이와 같은 이동모듈(2000)을 구성하는 전후진 이동유닛(2100)과 제1 픽업 이동유닛(2200a) 및 제2 픽업 이동유닛(2200b)은 도포장치(20)에 투입된 피처리물(U)의 도포 공정 진행 흐름에 따라 복수의 공정 스테이지(2120) 사이에서 피처리물(U)을 기존위치에서 다른 위치로 전달하거나 주고 받는 역할을 한다. 즉, 후술하는 압력 조절 장치(50)와 연결되어, 도포 공정 진행의 흐름에 따라 복수의 공정 스테이지(2120)와 복수의 픽업유닛(2210, 2230, 2250, 2270)은 상호 전달부(C) 및 수령부(R)로 판별되어 피처리물(U)을 안정적으로 전달할 수 있다. 이때, 본 발명에서는 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)가 전후진 동작하지 않는 초기 상태일 때, 제1 픽업 이동유닛(2200a)은 제2 공정 스테이지(2120b) 및 제3 공정 스테이지(2120c) 상에서 이격되어 배치될 수 있고, 제2 픽업 이동유닛(2200b)은 제4 공정 스테이지(2120d) 및 제5 공정 스테이지(2120e) 상에서 이격되어 배치될 수 있다.
상기와 같은 도포 설비(1)에서 피처리물(U)을 이송 및 전달하기 위한 구성에는 압력 조절 장치(50)가 연결되어, 피처리물(U)을 이송시키기 위한 구성간의 흡입력을 조절할 수 있다. 이하에서는, 도 5 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치(50)에 대해 설명하기로 한다.
압력 조절 장치(50)는 전술한 투입장치(10), 도포장치(20) 및 반출장치(60)의 외측에 구비되어 1차 정렬된 피처리물(U)의 공정방향으로의 전달 과정에서 피처리물(U)을 픽업 지지하거나 안착하는 구성요소의 흡입압력을 제어하기 위한 장치이다. 보다 구체적으로, 압력 조절 장치(50)는 피처리물(U)을 전달하는 구성들 각각에 연결되고, 압력조절밸브(V)가 설치된 진공형성라인(51)과, 상기 구성들 중, 피처리물(U)을 전달하는 전달부(C)와, 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)를 판단하는 판단부(53), 판단부(53)로부터 전해지는 결과에 대응하여 전달부(C) 및 수령부(R)에 연결된 각각의 진공 형성 라인의 흡입력을 조절하기 위한 제어부(54) 및 제어부(54)로부터 전달된 신호에 따라 전달부(C) 및 수령부(R)의 진공형성라인에 흡입력을 제공하는 압력발생부(55)를 포함한다.
전달부(C)는 피처리물(U)을 일 구성에서 타 구성으로 전달할 때에 피처리물(U)을 가지고 있는 구성으로서, 피처리물(U)과 접촉하고 있는 구성이다. 즉, 전달부(C)는 피처리물(U)을 전달하기 위한 구성을 의미한다. 수령부(R)는 전달부(C)와 상이하게 피처리물(U)을 일 구성에서 타 구성으로 전달할 때에 피처리물(U)을 가져가지 위한 구성으로서, 피처리물(U)을 전달받기 위한 구성을 의미한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서의 전달부(C) 및 수령부(R)는 정렬 스테이지(1210)와, 전달부재(1310), 공정 스테이지(2120) 및 픽업유닛(2210, 2230, 2250, 2270)의 구성중에서 피처리물(U)의 공정 경과에 따라 각각 전달부(C) 및 수령부(R)로 판단될 수 있다.
진공형성라인(51)은 도포공정이 수행되는 피처리물(U)을 전달하는 전달부(C) 및 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)에 각각 연결되어, 피처리물(U)로 흡입력을 제공하기 위해 진공이 형성되는 경로를 형성한다. 본 발명에서는 피처리물(U)이 1차로 정렬되는 정렬 스테이지(1210)와, 정렬 스테이지(1210) 상의 피처리물(U)을 도포장치(20)로 이송하기 위한 전달유닛(1300)의 전달부재(1310), 전달부재(1310)로부터 전달된 피처리물(U)이 일차적으로 안착된 후, 도포 진행에 따라 이동되는 복수의 공정 스테이지(2120) 및 복수의 공정 스테이지(2120) 간에 피처리물을 이동시키기 위해 피처리물(U)을 픽업 지지하는 픽업 이동유닛(2200)의 제1 내지 제4 픽업부재(2211, 2231, 2251, 2271)에 각각 연결될 수 있다. 이때, 진공형성라인(51)는 구비된 압력조절밸브(V)의 열림 또는 닫힘에 따라서 진공형성라인(51)에 흡입력을 발생되거나 발생되지 않도록 제어할 수 있다. 또한, 압력조절밸브(V)의 열림 정도에 따라서 흡입력의 크기를 조절할 수 있다.
여기서, 진공형성라인(51)은 단일로 구비되어, 피처리물(U)을 전달하기 위한 구성에 각각 연결될 수도 있고, 조절하고자 하는 흡입력을 각각 제공하는 진공형성라인(51)으로 구분되어 상기 구성들에 연결될 수 있다. 즉, 진공형성라인(51)은 피처리물(U)을 전달하기 위한 제1 압력이 형성되는 제1 진공형성라인(51a)과, 피처리물(U)을 전달받기 위한 제2 압력이 형성되는 제2 진공형성라인(51b)으로 구분될 수 있다. 이때, 제1 진공형성라인(51a)과 제2 진공형성라인(51b)에는 각각 압력조절밸브(V1, V2)가 구비될 수 있다.
판단부(53)는 피처리물(U)을 픽업 지지하거나 안착하는 구성 간의 피처리물(U) 전달 시에, 피처리물(U)을 전달하는 전달부(C)와 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)를 구분하기 위해 구비된다. 예컨대, 판단부(53)는 피처리물(U)와 접촉상태에 있는 일 구성을 전달부(C)로 판단하고, 피처리물(U)과 비접촉상태에 있으며, 피처리물(U)측으로 서서히 가까워지는 타 구성을 수령부(R)로 판단한다. 이처럼, 구성요소간의 상관관계(전달하는 구성/전달받는 구성)를 판단하기 위한 판단부(53)로는 위치 감지 센서, 운동력 감지 센서 및 기체 압력 감지기 등이 사용될 수 있다. 일례로, 판단부(53)로 위치 감지 센서(미도시)가 사용되는 경우, 피처리물(U)을 전달하는 구성 및 전달받는 구성 모두에 위치 감지 센서가 장착된다. 이때, 각각의 구성에 장착된 위치센서에서 피처리물(U)과의 위치에 변동이 없는 상태로 일정 시간이 흐르면, 그 구성은 피처리물(U)을 전달하기 위한 전달부(C)라고 인식하고, 피처리물(U)과의 위치가 가까워진다고 판단되면, 그 구성은 피처리물(U)의 전달받는 수령부(R)라고 인식할 수 있다. 그리고, 판단된 결과는 제어부(54)로 전달하여 제어부(54)가 피처리물(U)을 전달하는 구성에 알맞은 흡입력을 형성하도록 할 수 있다. 그러나, 판단부(53)는 이와 같은 감지수단 및 방법에 한정되지 않고 다양한 수단 및 방법으로 피처리물(U)을 전달하는 구성과 전달받는 구성을 판단할 수 있다.
제어부(54)는 판단부(53)로부터 전송된 신호에 대응하여 소정의 제어 신호를 발생시켜 전달부(C) 및 수령부(R)에 연결된 각각의 진공형성라인(51)에 흡입력을 조절할 수 있다. 즉, 제어부(54)는 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)를 개방 및 폐쇄할 수 있는 신호를 전달하고, 압력조절부(55)를 동작시키는 신호를 전달함으로써 전달부(C)와 수령부(R)에 제공되는 흡입력을 제어할 수 있다. 즉, 제어부(54)는 전달부(C)에는 압력발생부(55)로부터 낮은 진공 흡입 압력이 형성되도록 제어하며, 수령부(R)에는 전달부(C)보다 높은 흡입력이 발생하도록 압력발생부(55)를 제어할 수 있다.
압력발생부(55)는 제어부(54)로부터 인가되는 제어 신호에 따라서 전달부(C) 및 수령부(R)에 연결되는 복수의 진공형성라인(51)에 공급되는 흡입압력을 조절하는 것으로서, 피처리물을 전달하는 구성의 진공형성라인에 공급되는 흡입압력인 제1의 압력(P1)을 발생시키는 제1 압력발생부(55a)와, 피처리물(U)을 전달받는 구성의 진공형성라인에 공급되는 흡입압력인 제2의 압력(P2)를 발생시키는 제2 압력발생부(55b)를 포함한다. 이때, 본 발명에서는 제1 압력발생부(55a)가 발생시키는 제1 압력(P1)이 제2 압력발생부(55b)가 발생시키는 제2 압력(P2)에 대해서 낮은 값의 압력을 발생시키게 된다.
즉, 제1 압력(P1)은 피처리물(U)이 지지된 구성에서, 피처리물(U)이 외부충격에 의해 용이하게 밀려나지 않는 흡입력일 수 있으며, 제2 압력(P2)은 제1 압력(P1)보다는 높은 흡입력을 가져 제1 압력(P1)으로 피처리물(U)을 흡입 지지하는 구성에서 피처리물(U)을 더욱 흡착시켜 분리할 수 있는 흡입력일 수 있다. 여기서, 본 발명의 실시 예에 따른 피처리물(U)은 한 쌍의 기판이 접합된 패널을 기준으로 제1 압력(P1)은 -2.7KPa일 수 있으며 제2 압력(P2)은 -2.0KPa일 수 있다. 이때, 압력발생부(55)는 전술한 바와 같이 제어부(54)의 신호에 따라 제1 압력발생부(55a) 및 제2 압력발생부(55b) 중 선택하여 복수의 진공형성라인(51)에 발생되는 압력을 제어할 수 있는 레귤레이터(regulator)가 사용될 수 있다.
또한, 압력발생부(55)는 복수개가 구비되어 각각의 구성과 근접한 위치에 배치될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예의 경우에 정렬스테이지(1210) 및 공정 스테이지(2120)의 경우, 스테이지(1210, 2120)의 하부에 형성된 압력발생부(55)가 배치될 수 있고, 전달부재(1310)와 픽업부재(2211, 2311, 2511, 2711)에 연결되기 위해서 전달유닛(1300) 및 픽업 이동유닛(2200)과 근접한 위치에 구비될 수 있다. 이처럼, 피처리물(U)을 지지하는 구성요소 각각에 압력발생부(55)가 복수개 구비되어 배치됨으로써, 압력발생부(55)가 단일로 구비될 경우, 하나의 압력발생부(55)에 연결되는 복수개의 진공형성라인(51)이 각각의 구성과 연결되기 위해 설비 내에서 이동하는 구성의 경로에 방해가 되지 않는 위치에서 연결되기 위해 진공형성라인(51)이 복잡하게 구비되는 것을 방지할 수 있다.
전술한 압력 조절 장치(50)는 피처리물(U)을 전달할 때는 제1 압력발생부(55a)로부터 발생되는 제1 압력(P1)을 피처리물(U)을 전달하는 구성(즉, 전달부)에 연결된 진공형성라인(51)에 발생시키고, 피처리물(U)을 전달받을 때는 제2 압력발생부(55b)로부터 발생되는 제2 압력(P2)을 피처리물(U)을 전달받는 구성요소에 연결된 진공형성라인(51)에 발생시킴으로써 피처리물(U)을 전달할 때는 낮은 흡입력으로 피처리물(U)을 지지하고 있는 상태이며, 전달받을 때는 전달할때보다 상대적으로 증가된 흡입력으로 피처리물(U)을 지지하기 위해, 피처리물(U)을 주는 쪽과 받는 쪽을 판단한 뒤, 판단신호를 전달하여 전달하는 쪽과 전달받는 쪽의 구성에 흡입압력을 발생시키는 압력발생부를 제어함으로써 피처리물(U)을 전달 압력을 제어할 수 있다. 그러나, 압력발생부(55)를 제어하는 방법은 이에 한정되지 않으며, 피처리물이 접촉 지지되는 구성요소 각각에 2개의 진공라인, 즉, 극저진공 형성라인과 저진공 형성라인이 연결되고, 판단부의 판단 신호에 따라 제어부로부터 전달된 신호에 의해 둘 중 하나의 라인으로 진공흡입력을 발생시킴으로써 제어할 수도 있다. 또한, 2개의 진공라인을 갖도록 형성되는 경우에, 실시예와 같이 피처리물(U)을 전달하는 쪽은 제1 압력(P1), 피처리물(U)을 전달받는 쪽은 제2 압력(P2)만 발생시키지 않고, 피처리물(U)을 전달받는 쪽은 제1 압력(P1)과 제2 압력(P2)을 모두 발생시킬 수도 있다. 이에, 피처리물(U)을 전달하는 쪽은 극저진공의 흡입력이 발생되고, 피처리물(U)을 전달받는 쪽은 극저진공 및 저진공을 발생시켜 강제적으로 극저진공으로부터 피처리물(U)을 가져갈 수 있도록 제어될 수도 있다.
한편, 본 발명의 실시 예에서는 피처리물(U)을 이송 및 정렬하기 위한 이송/정렬 압력발생부(55')가 추가로 구비될 수도 있다. 이송/정렬 압력발생부(55')는 전술한 전달부(C) 및 수령부(R)에 연결되는 이송/정렬 진공형성라인(51)과 연결되어 피처리물(U)이 정렬하는 경우 또는 피처리물(U)이 일구성에서 타구성으로 전달되는 것이 아닌 이송되는 과정에서 피처리물(U)을 흡입하기 위한 흡입력(Pa)을 발생시킬 수 있다. 여기서 이송/정렬 흡입력(Pa)은 전술한 제1 압력(P1)보다는 큰 압력이며 제2 압력(P1)보다는 작은 흡입력을 나타낼 수 있다.
이하에서는 도 5 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 압력 조절 장치(50)를 이용한 피처리물 처리 방법에 대해 설명한다. 이때, 상기에서 전술한 내용과 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 압력 조절 장치(50)를 이용한 피처리물 처리 방법은, 피처리물을 안정적으로 이송 및 구성 간에 전달하기 위한 방법으로서, 수직 상태 또는 수평 상태로 이송되는 피처리물(U)을 마련하고, 피처리물(U)을 흡입한 상태로 정렬하는 과정과, 흡입 상태의 피처리물(U)을 전달하는 전달부(C)와, 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)를 판단하는 과정, 판단에 따라 피처리물(U)을 흡입하기 위한 전달부(C) 및 수령부(R)로 공급되는 흡입력의 압력을 조절하며, 피처리물(U)을 전달하는 과정 및 조절된 압력을 유지하며 피처리물(U)을 이송시키는 과정으로 수행된다.
먼저, 투입장치(10)로 제공된 피처리물(U)을 픽업 지지후 이송하여, 정렬 스테이지(1210) 상에 안착시킨 후 1차 정렬한다(S100). 도 6을 참조하면, 정렬 스테이지(1210) 상에서의 1차 정렬은 정렬 스테이지(1210)에 흡입력을 발생시켜 피처리물(U)을 정렬 스테이지(1210)와의 접촉면과 밀착시킨 뒤, 정렬 스테이지(1210)의 상면으로 돌출 구비된 복수의 정렬핀(1231)을 수평 방향으로 이동시켜 피처리물(U)의 측면을 밀어주어 정렬할 수 있다. 즉, 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하기 위해, 흡입력이 발생된 정렬 스테이지(1210) 상에 피처리물(U)을 안착하여 지지시킨 상태에서, 정렬핀(1231)을 수평방향으로 이동시키면서 피처리물(U)의 일측방향으로 밀어내는 힘을 가하며(측면을 밀어주면서) 피처리물(U)을 정렬한다. 이때, 정렬 스테이지(1210)에 발생하는 흡입력은 이송/전달 압력발생부(55')로부터 형성된 흡입력(Pa)에 의해 피처리물(U)을 소정의 흡입력으로 지지한 상태에서, 피처리물(U)이 정렬된다. 이에, 정렬핀(1231)이 피처리물(U)의 일부 측면에 접촉하여 밀어주는 힘을 가하더라도 흡입력(Pa)에 의해 정렬핀(1231)의 밀어주는 힘에 일부 대응하는 힘을 가질 수 있어 피처리물(U)이 정렬 스테이지(1210) 상에서 크게 이동하거나 튕겨 나가는 것을 억제하거나 방지할 수 있다. 또한, 상기와 같이 정렬핀(1231)으로 피처리물(U)의 일측방향으로만 피처리물(U)을 밀어줄 뿐만 아니라, 정렬핀(1231)으로 밀어주는 피처리물(U)의 일측방향과 교차하는 방향으로 정렬부재(1233)가 피처리물(U)의 측면쪽으로 이동하면서 밀어내는 힘을 가하여 정렬이 이루어질 수도 있다. 즉, 정렬부재(1233)를 피처리물(U)의 일측방향과 교차하는 방향에서 피처리물(U)측으로 이동시켜 피처리물(U)을 기준으로 일측방향 및 일측방향에 교차하는 방향으로 두 방향에서 밀어줌으로써, 일측방향으로의 밀림에 의해 피처리물(U)을 정렬시키는 것보다 피처리물(U)의 이동거리(즉, 틸팅되며 밀려 정렬되는 거리)를 단축시킬 수 있어 정렬과정에 소요되는 시간을 단축시키며 피처리물(U)의 1차 정렬을 완료할 수 있다. 여기서, 정렬 스테이지(1210)에 형성되는 이송/정렬 흡입력(Pa)은 정렬 스테이지(1210) 상에 형성된 흡입라인(1214)들 중 적어도 어느 하나로부터 형성될 수 있다. 즉, 제1 압력발생부(55a) 및 제2 압력발생부(55b)와 각각 상이하게 연결되는 제1 흡입라인(1214a) 및 제2 흡입라인(1214b) 모두에는 이송/정렬 압력발생부(55')가 연결되어, 이송/정렬 흡입력(Pa)을 정렬 스테이지(1210) 상으로 공급할 수 있다. 이때, 제1 압력발생부(55a)와 제1 흡입라인(1214a)을 연결하는 제1 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)와, 제2 압력발생부(55b)와 제2 흡입라인(1214b)을 연결하는 제2 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)는 닫혀있는 상태일 수 있다.
한편, 피처리물(U)을 정렬은 도 7의 장치 및 방법으로도 수행될 수 있다. 즉, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 정렬유닛(이하, 제2 정렬유닛; 1200')은 피처리물(U)이 안착되는 정렬 스테이지(이하, 제2 정렬 스테이지; 1210' )가 직접 이동하여 정렬부(이하, 제2 정렬부; 1230')에 접촉함으로써 피처리물(U)을 정렬할 수 있다. 이를 살펴보면, 제2 정렬 스테이지(1210)는 평면 형상을 기준으로 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하면서 제2 정렬부(1230')와 피처리물(U)을 접촉시킬 수 있다. 이때, 제2 정렬부(1230')는 피처리물(U)의 일측면과 일측면과 교차하는 방향으로의 타측면에 접촉하도록 형성되어, 즉, 'ㄴ' 또는 'ㄱ'의 형태를 가지도록 형성되어, 앞서 정렬핀(1231)과 정렬부재(1233)를 통한 피처리물(U)의 정렬과 마찬가지로 피처리물(U)의 측면을 두방향에서 밀어줌으로써, 일측방향으로의 밀림에 의해 피처리물(U)을 정렬시키는 것보다 피처리물(U)의 이동거리(즉, 틸팅되며 밀려 정렬되는 거리)를 단축시킬 수 있어 정렬과정에 소요되는 시간을 단축시키며 피처리물(U)의 1차 정렬을 완료할 수 있다. 여기서, 제2 정렬유닛(1200')에는 도시하지 않았으나, 피처리물(U)이 접촉하는 제2 정렬 스테이지(1210)의 측면에는 이송/정렬 압력발생부(55')로부터 이송/정렬 흡입력(Pa)이 형성되도록, 이송/정렬 압력발생부(55')와 정렬 스테이지(1210)를 연결하는 진공형성라인의 압력조절밸브(V3)를 개방함으로써, 제2 정렬 스테이지(1210)에 이송/정렬 흡입력(Pa)이 혈성된 상태에서 피처리물(U)이 정렬이 수행될 수 있다. 이때, 제1 압력발생부(55a)와 제1 흡입라인을 연결하는 제1 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)와, 제2 압력발생부(55b)와 제2 흡입라인을 연결하는 제2 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)는 닫혀있는 상태일 수 있다.
정렬 스테이지(1210, 1210')에서 피처리물(U)의 정렬이 완료되면, 정렬이 완료된 피처리물(U)을 공정 진행방향으로 이동시키는 수단으로 전달하기 위해 피처리물(U)의 전달부(C)와 수령부(R)를 판단한다(S200). 보다 구체적으로 설명하면, 피처리물(U)을 공정 진행 방향으로 이동시키기 위해, 전달부재(1310)는 피처리물(U)을 사이에 두고 정렬 스테이지(1210)와 상호 가까워지도록 이동한다. 이때, 판단부(53)는 위치 감지 센서를 사용하여 피처리물(U)과 정렬 스테이지(1210)와의 위치 및 피처리물(U)과 전달부재(1310)의 위치를 실시간으로 감지하여, 피처리물(U)과의 거리 및 이격 위치가 변화가 없을 때(즉, 피처리물(U)이 안착된 정렬 스테이지(1210))에는 정렬 스테이지(1210)를 전달부(C)로 판단하고, 피처리물(U)과의 거리 및 이격 위치가 서서히 가까워질 때(즉, 피처리물을 이송하기 위해 정렬 스테이지(1210)와 가까워지는 전달부재(1310))에는 전달부재(1310)를 수령부(R)로 판단한다.
전달부(C)와 수령부(R)를 판단됨과 동시에, 전달부(C)인 정렬 스테이지(1210)와 수령부(R)인 전달부재(1310)는 상호 가까워지면서 사이에 피처리물(U)을 두고 상호 접촉하게 된다. 이때, 정렬 스테이지(1210)에 형성되는 흡입력은 기존에 피처리물(U)을 정렬하기 위해 형성된 이송/정렬 흡입력(Pa)보다 감소시킨 값을 가지도록 형성하며, 전달부재(1310)에는 정렬 스테이지(1210)의 변경된 흡입력보다 큰 흡입력이 형성된다. 전달부(C)와 수령부(R)를 판단하여 판단된 신호가 제어부(54)로 전달되면, 제어부(54)는 전달부(C)보다 수령부(R)의 흡입력이 더 큰 값을 갖도록 상호 구성에 연결된 압력조절밸브(V)를 개방하거나 폐쇄한다. 즉, 정렬 스테이지(1210)는 기존에 이송/정렬 압력발생부(55')와 연결되어 이송/정렬 흡입력(Pa)이 형성된 상태로 공정을 진행하다가, 제어부(54)의 신호에 의해, 이송/정렬 압력발생부(55')와 연결된 이송/정렬 진공형성라인(51')의 압력조절밸브(V3)를 폐쇄하고, 제1 압력발생부(55a)와 연결된 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)를 개방함으로써 정렬 스테이지(1210)에 제1 압력(P1)이 발생하도록 한다. 그리고 전달부재(1310)에는 제2 압력발생부(55b)와 연결된 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)를 개방하도록 제어부(54)에서 동작 신호를 전달함으로써 전달부재(1310)에 제2 압력(P2)이 형성되도록 한다(S300). 이처럼, 피처리물(U)을 사이에 두고 접촉한 정렬 스테이지(1210)와 전달부재(1310)에 상이한 흡입력이 가해지고, 전달부재(1310)의 흡입력이 정렬 스테이지(1210)보다 큰 흡입력을 가짐으로써, 피처리물(U)이 전달부재(1310)측으로 더욱 밀착된 상태가 된다. 이후, 정렬 스테이지(1210)와 전달부재(1310)가 상호 멀어질 때에, 피처리물(U)은 정렬 스테이지(1210)보다 큰 흡입력을 갖는 전달부재(1310)에 흡착된 상태로 정렬 스테이지(1210)로부터 전달부재(1310)로 전달될 수 있다(S400).
한편, 실시예에서 수령부(R)에 형성된 흡입력을 전달부(C)의 흡입력보다 더 큰 흡입력을 갖도록 형성하는 것과 동시에, 전달부(C)의 흡입력과 동일한 흡입력을 수령부(R)에 추가로 형성할 수도 있다. 즉, 정렬 스테이지(1210)와 전달부재(1310)가 상호 접촉한 상태에서 정렬 스테이지(1210)에서 변화한 흡입력인 제1 압력(P1)이 전달부재(1310)에 동일하게 가해질 수 있으며, 이에, 전달부재(1310)는 제1 압력(P1)과 제2 압력(P2)이 동시에 공급될 수 있다. 이는, 제1 압력(P1)과 제2 압력(P2)이 형성되는 영역이 상이할 경우에 제1 압력(P1)과 제2 압력(P2)에 의한 흡입력이 동시에 형성됨으로써 보다 넓은 영역에 흡입력을 발생시킬 수 있어, 정렬 스테이지(1210)로부터 피처리물(U)을 보다 용이하게 가져올 수 있다.
전달부재(1310)로 피처리물(U)이 전달된 후, 전달부재(1310)는 피처리물(U)을 픽업 지지한 상태로 도포장치(20)의 전후진 이동유닛(2100)의 공정 스테이지(2120)로 이동시킨다. 즉, 정렬 스테이지(1210)와 가장 인접하게 배치되는 제1 공정 스테이지(2120a)에 이송되어 안착된다(S500). 이때, 도포장치(20)측으로 이동하는 전달부재(1310)의 피처리물(U)을 흡입하는 흡입력은 피처리물(U)을 전달받을 때와 동일한 제2 압력(P2)을 나타낼 수도 있고, 이송/정렬 압력발생부(55')로부터 형성된 이동/정렬 흡입력(Pa)으로 변경될 수도 있다.
상기의 과정은 피처리물(U)의 공정을 시작하기 전, 피처리물(U)의 정렬과정 및 후 공정 설비로의 수평상태의 피처리물(U) 전달 및 이송과정에 대한 내용을 설명하였다. 이하에서는 도포장치(20)로 투입되는 피처리물(U)의 공정에 대해 설명하기 이전에, 수직상태의 다수의 피처리물(U)을 전달 및 이송하는 과정에 대해 간략하게 설명하기로 한다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 압력 조절 장치가 적용된 다른 실시 예의 피처리물 이송 상태는, 수직상태의 피처리물(U)을 다수개 이격시켜 이송하기 위한 구성 및 방법이 제시되어 있다.
수직상태의 피처리물(U)은 이송부(1330)에 의해 이동 가능한 제1 지지대()의 연장 방향에 교차하는 방향으로 상하방향 연장 형성된 다수개의 제1 안착부에 지지되어 있다. 이때, 피처리물(U)을 지지하고 있는 제1 안착부는 전달부(C)로 판단되며, 제1 안착부의 이동 경로와 근접한 위치에 배치되는 제2 지지대 상에 설치된 다수개의 제2 안착부는 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)로 판단된다. 여기서, 제1 안착부에 지지되어 있는 상태의 피처리물(U)은 이송/정렬 압력 발생부(55')로부터 형성된 이송/정렬 흡입력(Pa)을 가진 상태로 이송되어 제2 안착부와 서서히 가까워지도록 한다. 상호 가까워진 제1 안착부 및 제2 안착부는 그 배치영역이 서로 중첩되도록 이동할 수 있다. 즉, 한 쌍의 제1 안착부의 이격 거리 사이에는 하나의 제2 안착부가 배치됨으로써 도 9의 (b)에 도시된 것처럼 제1 안착부의 일부 영역과 제2 안착부의 일부 영역이 피처리물(U)을 사이에 두고 상호 접촉된 상태일 수 있다. 여기서, 판단된 신호에 따라서 제1 안착부로는 피처리물(U)을 전달하기 위한 제1 압력(P1)을 발생시키기 위해 제1 압력발생부(55a)와 연결된 제1 진공형성라인(51a-1) 밸브(V1)가 개방되며, 제2 안착부로는 피처리물(U)을 전달받기 위한 제2 압력을 발생시키기 위해 제2 압력발생부(55b)와 연결된 제2 진공형성라인(51b-2)의 밸브(V2)가 개방된다. 이후, 앞서 설명한 바와 같이, 제2 안착부에는 제1 안착부의 피처리물(U)을 흡입하는 압력에 대해 큰 흡입력이 발생됨으로써, 제2 안착부 측으로 피처리물(U)이 보다 밀착된 상태가 되고, 제1 안착부와 제2 안착부가 상호 이격됨으로써 제1 안착부에서 제2 안착부로의 피처리물(U) 전달이 완료될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시 예의 도포 설비(1)의 도포장치(20)로 투입된 피처리물(U)의 이송 및 전달 과정에 대해 이어서 설명하기로 한다. 본 발명에서는 4측면(즉, 제1 내지 제4 측면)을 가지는 사각형 형태의 피처리물(U)에 있어서, 제1 내지 제3 측면에 대해 접합제를 도포하고, 제4 측면에는 접합제를 도포하지 않는다. 따라서, 복수의 공정 스테이지(2120) 간의 전달에 따라 도포 공정을 진행하는 피처리물(U)의 제4 측면은 제1 도포유닛 내지 제3 도포유닛(3300a, 3300b, 3300c)과 마주보지 않는 위치에 배치되도록 이송 및 전달되며 도포 공정을 진행할 수 있다.
일 공정 스테이지, 즉, 제1 공정 스테이지(2120a)에 피처리물(U)이 안착되면, 전후진 이동유닛(2100) 상의 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 전진하여 정렬 스테이지(1210)와 근접 배치된 제1 공정 스테이지(2120a)는 공정 진행 방향으로 이동한다. 이때, 전달부재(1310)에서 제1 공정 스테이지(2120a)에 피처리물을 안착시키는 방법으로는, 전술한 정렬 스테이지(1210)와 전달부재(1310)의 관계와 유사한 방법으로 피처리물(U)을 전달할 수 있다. 즉, 피처리물(U)을 지지하고 있는 전달부재(1310)가 제1 공정 스테이지(2120a)측으로 이동하면서 전달부재(1310)는 전달부(C)로 판단되고, 제1 공정 스테이지(2120a)는 수령부(R)로 판단되어, 전술한 압력 조절 방법과 같이 전달부재(1310)는 제1 압력발생부(55a)의 제1 압력(P1)이 형성되도록 제어되며, 제1 공정 스테이지(2120a)는 제2 압력발생부(55b)의 제2 압력(P2)이 형성되도록 제어하여 제1 공정 스테이지(2120a)에 피처리물(U)이 보다 밀착된 상태에서 전달부재(1310) 상승하여 본래의 위치로 돌아감으로써 피처리물(U)을 전달할 수 있다.
공정 진행 방향으로 이동하는 제1 공정 스테이지(2120a)에 안착된 피처리물(U)의 제1 측면은 제1 공정 스테이지(2120a)가 전진할 때에 도포제 도포 공정이 진행된다. 즉, 전후진 이동유닛(2100)을 사이에 두고 각각 이격되어 배치되는 도포모듈(3000)과 차단 모듈(4000) 사이로 제1 공정 스테이지(2120a)의 전진에 의해 피처리물(U)의 제1 측면에 도포제의 도포가 이루어질 수 있다. 이처럼, 제1 공정 스테이지(2120a)가 전진하면서 제1 도포모듈(3300a)과 제1 도포모듈(3300a)과 마주보는 차단 모듈(4000)사이를 지나갈 때, 우선 제1 도포유닛(3300a)에 구비된 촬상유닛(3510)이 피처리물(U)의 측면의 이미지를 수집하여 피처리물(U)의 배치 상태를 분석하고, 제1 도포유닛(3300a)의 도포부(3330)의 위치를 설정한 뒤, 전진 이동하는 피처리물(U)의 제1 측면에 대해 접합제를 도포한다. 제1 공정 스테이지(2120a) 상의 피처리물(U)의 제1 측면으로의 접합제의 도포가 완료되면, 제1 공정 스테이지(2120a)는 전진 전의, 즉, 부동상태에서의 제2 공정 스테이지(2120b) 위치에 배치된다. 즉, 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)가 전진함으로 인해, 기존의 제2 내지 제5 공정 스테이지(2120e)의 위치에 전진 후의 제1 내지 제4 공정 스테이지(2120d)가 위치하고, 각각의 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)의 이격거리 만큼 전방에 제5 공정 스테이지(2120e)가 위치한다.
이때, 이동모듈(2000)의 전후진 이동유닛(2100)과 픽업 이동유닛(2200)은 도 8과 같이 구성의 흡입력이 제어됨으로써 공정이 완료될 때까지 피처리물(U)을 동일한 방식으로 전달할 수 있다. 도 8을 참조하면, 즉, 복수의 공정 스테이지(2120)의 상의 피처리물(U)이 픽업유닛(2210, 2230, 2250, 2270)으로 전달될 때는, 공정 스테이지(2120)와 제1 압력발생부(55a)를 연결하는 제1 진공형성라인(51)의 압력조절 밸브(V1)를 개방시키기 위한 신호가 제어부(54)로부터 전달되며, 픽업유닛(2210, 2230, 2250, 2270)과 제2 압력발생부(55b)를 연결하는 제2 진공형성라인(51)의 압력조절밸브(V)를 개방시키기 위한 신호가 제어부(54)로부터 전달됨으로써, 공정 스테이지(2120)로부터 픽업유닛(2210, 2230, 2250, 2270)으로 피처리물(U)을 전달하여 픽업부재가 피처리물(U)을 복수의 공정 스테이지(2120) 간에 이동시킬 수 있다.
따라서, 전진 상태의 제1 공정 스테이지(2120a) 상에 위치한 제1 픽업유닛(2210)의 제1 픽업부재(2211)는 하강하여 제1 공정 스테이지(2120a) 상의 1차 도포가 완료된 피처리물(U)을 제1 압력(P1)의 흡입력으로 픽업 지지하고, 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 기존의 위치로 후진한다.
한편, 피처리물(U)의 도포 공정이 진행되면서 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)가 전후진 반복 이동할 때마다, 비어있는 제1 공정 스테이지(2120a)에는 새로운 피처리물이 안착되어, 공정이 연달아서 지속적으로 진행되도록 할 수 있다. 이때, 후진하여 기존 위치로 복귀한 제1 공정 스테이지(2120a)에 제2 피처리물(U)을 안착시킬 때, 제1 픽업유닛(2210)에 의해 지지된 제1 피처리물(U)을 제2 공정 스테이지(2120b) 상에 전달하여 제2 공정 스테이지(2120b) 상에 안착시킨다. 여기서, 제1 픽업유닛(2210)은 피처리물(U)을 전달하는 전달부(C)로 판단되고, 제2 공정 스테이지(2120b)는 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)로 판단되어, 각각 제1 압력(P1) 및 제2 압력(P2)을 가지고 기판을 전달하여 제2 공정 스테이지(2120b) 상에 피처리물(U)이 안착되도록 한다.
이후, 전후진 이동유닛(2100)의 전진 이동에 의해 제2 공정 스테이지(2120b) 상의피처리물(U)의 제2 측면으로의 도포 공정이 실시된다. 제2 측면으로의 도포가 완료된 제1 피처리물(U)은 기존의 제3 공정 스테이지(2120c)의 위치, 즉, 제2 픽업유닛(2230)의 하부에 배치되며 후 전술한 방법과 마찬가지로 제2 공정 스테이지(2120b)는 제1 압력(P1)의 흡입력이 형성되고, 제2 픽업부재(2231)는 제2 압력(P2)의 흡입력을 형성된 상태에서, 제2 공정 스테이지(2120b) 상의 피처리물(U)을 픽업 지지한 후, 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 후진한다. 그리고, 제2 픽업부재(2231)의 하부에 제3 공정 스테이지(2120c)가 위치하면, 제2 픽업부재(2231)는 제1 압력(P1)의 흡입력이 형성되고, 제3 공정 스테이지(2120c)는 제2 압력(P2)의 흡입력을 형성된 상태에서 피처리물(U)을 제3 공정 스테이지(2120c) 상에 안착시킨다.
제3 공정 스테이지(2120c)에 피처리물(U)을 회전시킨 후 안착한 상태에서, 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)는 전진하며 제1 피처리물(U1)의 제3 측면으로 도포제 도포가 진행되고, 제1 피처리물(U)의 제1 ~ 제3 측면으로의 도포제 도포가 완료된다. 제1 피처리물(U1)의 도포 공정이 모두 완료되면, 제3 공정 스테이지(2120c)는 기존의 제4 공정 스테이지(2120d) 위치에 배치되고, 제3 공정 스테이지(2120c)는 제1 압력(P1)의 흡입력이 형성되고, 제3 픽업유닛(2250)의 제3 픽업부재(2251)는 제2 압력(P2)의 흡입력을 형성된 상태에서 피처리물(U)을 제3 공정 스테이지(2120c)로부터 픽업 지지하고, 제1 내지 제5 공정 스테이지(2120e)는 후진 이동한 뒤, 제3 픽업부재(2251)는 제1 압력(P1)의 흡입력이 형성된 상태에서, 제2 압력(P2)의 흡입력이 형성된 제4 공정 스테이지(2120d) 상에 피처리물(U)을 안착시킨다.
그리고 제4 공정 스테이지(2120d)에 안착된 피처리물(U)은 제5 공정 스테이지(2120e)로 이동하기 위해 흡입력을 제1 압력(P1)의 흡입력으로 감소시키고, 제2 압력(P2)의 흡입력이 형성된 제4 픽업유닛(2270)의 제4 픽업부재(2271)에 의해 픽업 지지되고 공정 스테이지(2120a, 2120b, 2120c, 2120d, 2120e)의 후진 후, 제5 공정 스테이지(2120e)로 이동되기까지 소정시간 대기할 수 있다. 즉, 제1 내지 제3 측면에 도포된 도포제가 제1 피처리물(U)의 측면 갭 사이로 침투할 수 있는 시간을 부여한 뒤, 경화기(30)를 통과하며 도포제가 경화될 수 있도록 제4 공정 스테이지(2120d)에서 제5 공정 스테이지(2120e)로 이송되는 사이의 대기 시간을 마련할 수 있다. 이후, 연달아 투입된 피처리물들의 도포 공정에 의해 제4 공정 스테이지(2120d)로 후에 투입된 피처리물이 전달되어야 할 때, 제4 공정 스테이지(2120d) 상의 피처리물(U)이 제5 공정 스테이지(2120e)로 전달된다.
상기 일련의 도포 설비의 동작을 통한 피처리물(U)의 이송 및 전달 방법을 통해 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 수직상태 및 수평 상태로 이송하는 피처리물(U)을 1차 정렬한 후, 피처리물(U)의 이송 및 전달방향으로 배치되는 구성들 간의 피처리물(U) 흡입력을 제어한 상태로 피처리물(U)을 이송 및 전달한다.
즉, 본 발명에서는 피처리물(U)을 전달하는 전달부(C)와 피처리물(U)을 전달받는 수령부(R)의 구성으로 나눠질 때에, 전달부(C)에 발생하는 피처리물(U)을 흡입하는 압력보다 수령부(R)에 형성된 피처리물(U)을 흡입하는 압력을 큰 값으로 형성함으로써 피처리물(U)을 전달 및 수령하는 구성 모두 흡입력이 형성된 상태에서 피처리물(U)이 이송 및 전달될 수 있다.
따라서, 순간적으로 피처리물(U)을 지지하거나 흡입하는 흡입력이 발생하는 것이 아니기 때문에 피처리물(U)의 정렬상태를 유지한 상태로 이송 및 전달시킬 수 있어, 이송 및 전달시에 매번 정렬이 요구되지 않아 설비의 효율성을 증가시킬 수 있다.
또한, 전달 및 수령하는 구성이 각각 상이한 시점에 흡입력을 형성하는 것이 아니기 때문에 피처리물(U)을 수직 상태로 이송시킬 때, 피처리물(U)이 낙하하여 파손되는 것을 방지할 수 있어 설비의 안정성 및 설비의 유지보수로 인한 시간의 소모를 감소시킬 수 있다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
U : 피처리물 C : 전달부
R : 수령부 50 : 압력 조절 장치
53 : 판단부 54 : 제어부
55 : 압력발생부 55' : 이송/정렬 압력발생부
55a : 제1 압력발생부 55b : 제2 압력발생부
51, 51' : 진공형성라인 51a-1, 51a-2 : 제1 진공형성라인
51b-1, 51b-2 : 제2 진공형성라인 51'-1, 51'-2 : 이송/정렬 진공형성라인
V1 : 제1 압력조절밸브 V2 : 제2 압력조절밸브
V3 : 이송/정렬 압력조절밸브

Claims (11)

  1. 피처리물을 전달하는 구성간의 흡입력을 제어하기 위한 장치로서,
    상기 피처리물을 전달하는 구성들 각각에 연결되고, 압력조절밸브가 설치된 진공형성라인과;,
    상기 구성들 중, 상기 피처리물을 전달하는 전달부와 상기 피처리물을 전달받는 수령부를 판단하는 판단부;
    상기 판단부로부터 판단된 상기 전달부 및 상기 수령부에 연결된 각각의 진공 형성라인의 흡입력을 조절하기 위한 제어부; 및
    상기 제어부로부터 전달된 신호에 따라 상기 전달부의 진공형성라인에 제1 압력의 흡입력을 발생시키는 제1 압력발생부 및 상기 수령부의 진공형성라인에 상기 제1 압력보다 큰 흡입력을 갖는 제2 압력을 발생시키는 제2 압력발생부를 포함하는 압력발생부;를 포함하는 압력 조절 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1 에 잇어서,
    상기 수령부에는 제1 압력의 흡입력이 추가로 형성되는 압력 조절 장치.
  5. 청구항 1 에 있어서,
    상기 진공형성라인은
    상기 전달부와 상기 수령부에 각각 연결되며, 상기 제1 압력발생부와 연결되는 제1 진공형성라인과;,
    상기 전달부와 상기 수령부에 각각 연결되며, 상기 제2 압력발생부와 연결되는 제2 진공형성라인;을 포함하는 압력 조절 장치.
  6. 청구항 1 에 있어서,
    상기 판단부는 위치 감지 센서 및 운동력 감지센서를 포함하는 압력 조절 장치.
  7. 수직상태 또는 수평방향으로 이송되는 피처리물을 마련하고, 상기 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하는 과정;
    상기 흡입 상태의 피처리물을 전달하는 전달부와, 상기 피처리물을 전달받는 수령부를 판단하는 과정;
    상기 전달부와 상기 수령부를 상호 가까워지도록 하며, 상기 피처리물을 사이에 두고 상호 접촉시키는 과정;
    상기 판단에 따라 상기 전달부의 진공형성라인에 제1 압력발생부로부터 기존의 흡입력보다 감소된 제1 압력의 흡입력을 형성하고, 상기 수령부의 진공형성라인에 제2 압력발생부로부터 상기 전달부의 상기 제1 압력보다 큰 제2 압력의 흡입력을 갖도록 형성하여, 상기 전달부 및 상기 수령부로 공급되는 흡입력의 압력을 조절하며, 상기 피처리물을 전달하는 과정; 및
    상기 조절된 압력을 유지하며 상기 피처리물을 이송시키는 과정;을 포함하는 피처리물 처리 방법.
  8. 삭제
  9. 청구항 7 에 있어서,
    상기 수령부에 형성된 흡입력을 상기 전달부의 제1 압력의 흡입력보다 더 큰 제2 압력의 흡입력을 갖도록 형성하는 것과 동시에, 상기 전달부의 제1 압력의 흡입력과 동일한 흡입력을 상기 수령부에 추가로 형성하는 피처리물 처리 방법.
  10. 청구항 7 에 있어서,
    상기 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하는 과정은,
    정렬 전 피처리물을 흡입한 상태로 지지시키는 단계;
    상기 피처리물의 외측에서 상기 피처리물의 일측방향으로 밀어내는 힘을 가하는 단계;
    상기 밀어내는 힘에 의해 상기 피처리물을 수평방향 또는 상하방향으로의 축을 기준으로 상기 피처리물을 틸팅시키는 단계;로 수행되는 피처리물 처리 방법.
  11. 청구항 7 에 있어서,
    상기 피처리물을 흡입한 상태로 정렬하는 과정은,
    정렬 전 피처리물을 흡입한 상태로 지지시키는 단계;
    상기 피처리물의 외측에서 상기 피처리물의 일측방향 및 상기 일측방향과 교차하는 방향으로 밀어내는 힘을 가하는 단계;
    상기 밀어내는 힘에 의해 상기 피처리물을 수평방향 또는 상하방향으로의 축을 기준으로 상기 피처리물을 틸팅시키는 단계;로 수행되는 피처리물 처리 방법.
KR1020140047592A 2014-04-21 2014-04-21 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법 KR101479667B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140047592A KR101479667B1 (ko) 2014-04-21 2014-04-21 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140047592A KR101479667B1 (ko) 2014-04-21 2014-04-21 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101479667B1 true KR101479667B1 (ko) 2015-01-07

Family

ID=52588041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140047592A KR101479667B1 (ko) 2014-04-21 2014-04-21 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101479667B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060088625A1 (en) * 2004-10-25 2006-04-27 Delaware Capital Formation, Inc. Vacuum gripper for handling small components
KR100775870B1 (ko) * 2006-11-02 2007-11-13 양용찬 진공 흡착 시스템
KR20100110835A (ko) * 2007-12-24 2010-10-13 이스메카 세미컨덕터 홀딩 에스.아. 부품들을 정렬하기 위한 방법 및 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060088625A1 (en) * 2004-10-25 2006-04-27 Delaware Capital Formation, Inc. Vacuum gripper for handling small components
KR100775870B1 (ko) * 2006-11-02 2007-11-13 양용찬 진공 흡착 시스템
KR20100110835A (ko) * 2007-12-24 2010-10-13 이스메카 세미컨덕터 홀딩 에스.아. 부품들을 정렬하기 위한 방법 및 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102048042B1 (ko) 제조 시스템 및 제조 방법
KR20070116745A (ko) 유리 기판의 픽업 및 전달 장치 및 이를 이용하는 유리기판의 픽업 및 전달 방법
KR101824069B1 (ko) 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법
TW201934295A (zh) 樹脂模製裝置及樹脂模製方法
KR20150004131U (ko) 박막 광발전 장치의 처리를 위한 멀티 모듈 시스템
KR101500290B1 (ko) 도포 설비 및 이를 이용한 피처리물 처리 방법
KR20130051254A (ko) 플립칩 마운터 증식형 시스템
KR101479667B1 (ko) 압력 조절 장치 및 이를 이용한 피처리물 이송 방법
WO2020235535A1 (ja) 電子部品取付装置、電子装置の製造方法及びストラップの製造方法
KR101445745B1 (ko) 노즐 검사 유닛 및 이를 포함하는 도포 모듈 및 이를 이용한 노즐 유지보수 방법
KR100709504B1 (ko) 보호막 도포 장치
KR20190143740A (ko) 기판 반송 장치 및 방법
KR101445746B1 (ko) 도포 설비 및 이를 이용한 도포 방법
KR20230156347A (ko) 태양 전지 패널 생산 방법 및 장치
JP2014106051A (ja) 物品分類装置
JP2018114476A (ja) 塗布装置および塗布方法
JP2022076178A (ja) 搬送装置、搬送方法、ダイボンダ、およびボンディング方法
KR101303315B1 (ko) 반도체자재용 절삭장치 및 반도체자재의 절삭방법
KR101464253B1 (ko) 도포 장치
US8905109B2 (en) Apparatus for bonding substrates to each other
TWI440200B (zh) A supply device and the processing system for a plurality of solar wafer synchronous processing systems
KR200492111Y1 (ko) 두 장의 기판이 연속 증착되는 듀얼 증착 시스템
KR102615719B1 (ko) 자동 패널볼팅시스템 및 자동 패널볼팅방법
TWI441268B (zh) 基板搬運方法以及基板搬運裝置
KR20240050869A (ko) 매거진 이송모듈 및 이를 이용한 다이 본딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171106

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181231

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191230

Year of fee payment: 6