KR101475572B1 - 시편제조장치의 회전보조기구 - Google Patents

시편제조장치의 회전보조기구 Download PDF

Info

Publication number
KR101475572B1
KR101475572B1 KR1020120157030A KR20120157030A KR101475572B1 KR 101475572 B1 KR101475572 B1 KR 101475572B1 KR 1020120157030 A KR1020120157030 A KR 1020120157030A KR 20120157030 A KR20120157030 A KR 20120157030A KR 101475572 B1 KR101475572 B1 KR 101475572B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
specimen
rotating
abrasive plate
fixing block
manufacturing apparatus
Prior art date
Application number
KR1020120157030A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140086476A (ko
Inventor
임성환
김형균
이택우
최미리
김상민
Original Assignee
강원대학교산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 강원대학교산학협력단 filed Critical 강원대학교산학협력단
Priority to KR1020120157030A priority Critical patent/KR101475572B1/ko
Publication of KR20140086476A publication Critical patent/KR20140086476A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101475572B1 publication Critical patent/KR101475572B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32—Polishing; Etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B24B1/04—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/36—Embedding or analogous mounting of samples

Abstract

본 발명은 시편을 연마하기 위하여 회전하는 연마판의 상면에 배치되는 시편연마장치가 연마판의 상면에서 이동되는 것을 방지하기 위하여 설치되는 시편제조장치의 회전보조기구에 관한 것으로서, 특히 상기 시편연마장치는 시편이 부착된 마운트와, 상기 마운트가 설치되는 시편고정블록과, 상기 시편고정블록에 설치되는 두께조절기구를 포함하여 이루어지고, 상기 회전보조기구는 상기 연마판의 외부에 고정되는 지지대와; 상기 지지대에 회전가능하게 설치되고, 회전하는 연마판의 원심력에 의하여 연마판의 상면에서 회전하는 시편고정블록의 외주면을 양측에서 지지하는 제1,2회전휠;로 구성되어, 사용자가 손으로 시편제조장치를 파지하지 않아도 시편제조장치가 고정되므로 시편을 용이하게 제조할 수 있을 뿐만 아니라 편마모가 없는 균일한 시편을 제조할 수 있는 효과가 있다.

Description

시편제조장치의 회전보조기구{Rotation helping Device of Apparatus for Polishing Sample}
본 발명은 시편제조장치의 회전보조기구에 관한 것으로서, 특히 별도의 동력장치나 인력 사용 없이 시편이 설치된 시편제조장치를 연마판의 상면에서 회전시켜 연마판과 시편의 마찰만으로 시편을 연마함으로써 편마모가 없는 균일한 시편을 용이하게 제조할 수 있는 시편제조장치의 회전보조기구에 관한 것이다.
일반적으로 투과전자현미경을 이용하여 재료를 분석하기 위해서는 그에 맞는 시편을 준비하는 것이 매우 중요하다.
투과전자현미경을 이용하여 시료를 관찰하기 위해서는 전자빔이 투과할 수 있도록 시편이 얇아야 하는데 실제로 전자가 투과할 수 있는 정도의 두께를 지닌 시편이 거의 없으므로 관찰하기에 적절한 두께의 시편으로 제작하여야 한다.
따라서, 적절한 두께의 시편을 제작하기 위하여 종래에 자동방식 또는 수동방식으로 작동되는 많은 수의 시편제조장치가 제안되어 왔다.
종래의 수동방식 시편제조장치는 사용자가 손으로 시편제조장치를 파지한 후 연마판의 상면에서 수평방향으로 움직여 시편제조장치에 부착된 시편이 연마판과의 마찰에 의하여 연마되도록 하는 방식을 취하고 있는데, 이러한 방식은 시편의 연마에 인력이 투입되다 보니 편마모가 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 자동방식 시편제조장치는 시편의 편마모를 방지하기 위하여 별도의 보조동력장치를 장착하고, 이 보조동력장치로 시편을 회전시킴으로써 편리성은 높지만 장비 비용의 상승을 초래하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 별도의 동력장치나 인력을 사용하지 않고도 시편제조장치를 회전하는 연마판의 상면 특정지점에서 연마판의 원심력만으로 회전되도록 함으로써 시편을 용이하게 제조함과 아울러 연마판과 시편의 마찰만으로 시편을 연마하여 편마모가 없는 균일한 시편을 제조할 수 있는 시편제조장치의 회전보조기구를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구는 시편을 연마하기 위하여 회전하는 연마판의 상면에 배치되는 시편연마장치가 연마판의 상면에서 이동되는 것을 방지하기 위하여 설치되는 것으로서, 상기 시편연마장치는 시편이 부착된 마운트와, 상기 마운트가 설치되는 시편고정블록과, 상기 시편고정블록에 설치되는 두께조절기구를 포함하여 이루어지고, 상기 회전보조기구는 상기 연마판의 외부에 고정되는 지지대와; 상기 지지대에 회전가능하게 설치되고, 회전하는 연마판의 원심력에 의하여 연마판의 상면에서 회전하는 시편고정블록의 외주면을 양측에서 지지하는 제1,2회전휠;로 구성된다.
여기서, 상기 회전보조기구의 지지대는 상기 연마판의 외부에 고정되는 고정봉과; 상기 고정봉의 끝단에 연결되는 세로봉과; 상기 세로봉의 끝단에 중앙 부분이 연결되는 가로봉과; 상기 가로봉의 양단에 각각 연결됨과 아울러 상기 제1,2회전휠이 각각 회전가능하게 설치되는 제1,2연결봉;으로 구성된다.
또한, 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구는 상기 연마판의 외부에 고정되는 지지대와; 상기 지지대의 일측에 회전가능하게 설치되고, 회전하는 연마판의 원심력에 의하여 연마판의 상면에서 회전하는 시편고정블록의 외주면 일측을 지지하는 제1회전휠과; 상기 지지대의 타측에 설치되어 시편고정블록의 외주면 타측을 지지함과 아울러 상기 연마판의 상면에 접촉되는 회전유닛;으로 구성된다.
여기서, 상기 회전보조기구의 지지대는 상기 연마판의 외부에 고정되는 고정봉과; 상기 고정봉의 끝단에 연결되는 세로봉과; 상기 세로봉의 끝단에 중앙 부분이 연결되는 가로봉과; 상기 가로봉의 일단에 연결됨과 아울러 상기 제1회전휠이 회전가능하게 설치되는 제1연결봉과; 상기 가로봉의 타단에 연결되고 상기 회전유닛이 연결되는 제2연결봉;으로 구성된다.
그리고, 상기 회전유닛은 상기 제2연결봉의 끝단에 연결되는 덮개부와; 상기 덮개부의 저면에서 하측으로 연장되는 중심축과; 상기 중심축에 회전가능하게 설치되고, 상기 시편고정블록의 외주면에 접촉되는 제2회전휠과; 상기 중심축에 중앙이 관통되는 제1베벨기어와; 상기 중심축의 하단에 연결되고, 상기 제1베벨기어를 내부에 수용하며, 하면에 끼움홀이 형성된 하우징과; 상기 하우징과 중심축에 양단이 각각 회전가능하게 설치되는 회전축에 중앙이 관통 고정되어 상기 제1베벨기어에 치결합되는 제2베벨기어와; 상기 회전축에 중앙이 관통 고정되어 하우징의 끼움홀을 통하여 노출됨으로서 상기 연마판의 상면에 접촉되어 회전하는 바퀴;로 구성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 시편제조장치의 회전보조기구는 연마판의 외부에 고정된 지지대에 설치되는 제1회전휠과 제2회전휠에 의하여 시편제조장치가 고정됨으로써 사용자가 직접 손으로 시편제조장치를 파지하지 않아도 되므로 시편을 용이하게 제조할 수 있는 이점이 있다.
또한, 시편제조장치의 자중(自重)에 의하여 시편이 연마판의 상면에 견고하게 밀착되고, 이 상태에서 회전하는 연마판과 연마판의 상면에서 회전하는 시편의 마찰에 의해서만 시편을 연마하므로 편마모가 없는 균일한 시편을 제조할 수 있는 이점이 있다.
또한, 연마판의 회전에 의하여 발생되는 원심력에 의하여 시편과 시편제조장치를 회전시키기 때문에 시편제조장치를 회전시키기 위한 별도의 동력장치가 필요 없는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 일 실시예를 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구를 상측에서 본 도.
도 3은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 다른 실시예를 보인 사시도.
도 4는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구를 상측에서 본 도.
도 5는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 회전유닛의 내부를 보인 도.
도 6은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구에 사용되는 시편제조장치를 보인 사시도.
도 7은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구에 사용되는 시편제조장치의 단면을 보인 도.
이하, 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 일 실시예를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구를 상측에서 본 도이다.
그리고, 도 6은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구에 사용되는 시편제조장치를 보인 사시도이며, 도 7은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구에 사용되는 시편제조장치의 단면을 보인 도이다.
본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구는 시편제조장치(100)의 측면에 설치되는 것으로서, 이러한 회전보조기구(200)는 시편을 연마하기 위하여 회전하는 연마판(300)의 상면에서 시편제조장치(100)가 이동되는 것을 방지하기 위하여 설치한다.
상기 시편제조장치(100)는 마운트(110)와, 상기 마운트(110)가 설치되는 시편고정블록(130)과, 상기 시편고정블록(130)에 설치되는 두께조절기구(140)를 포함하여 구성된다.
상기 마운트(110)는 저면에 시편(120)이 부착된다.
이 시편(120)이 상기 연마판(300)의 상면에 접하도록 배치되어 연마판(300)이 회전할 때 연마판(300)과의 사이에서 발생되는 마찰에 의하여 투과전자현미경으로 관찰할 수 있을 만큼의 두께로 연마된다.
좀 더 자세히 설명하면, 시편(120)이 연마판(300)의 상면 특정 지점에 접촉되어 있기 때문에 연마판(300)이 회전하면 시편(120)은 연마판(300)에 접촉되어 있는 특정 지점에서 그 위치를 유지하면서 연마판(300)과 함께 회전하려고 한다. 이때, 회전보조기구(200)가 시편제조장치(100)의 시편고정블록(130)을 지지함으로써 시편제조장치(100)가 연마판(300)과 함께 회전하지 못하도록 하면, 시편(120)에 원심력이 작용하게 되어 그 원심력에 의해 시편(120)은 연마판(300)과 접촉되어 있는 그 자리에서 회전만을 하게 된다. 바로 이러한 메커니즘에 의하여 시편(120)은 연마판(300)의 특정 위치에서 이동을 하지 않고 회전만을 하면서 연마판(300)과의 마찰에 의해 얇게 연마된다.
상기 시편고정블록(130)은 저면에 장착홈(131a)이 형성되고, 이 장착홈(131a)에 시편(120)이 부착된 마운트(110)가 설치된다.
시편고정블록(130)은 마운트(110)가 삽입되는 대직경부(131)와, 상기 대직경부(131)의 상면에 일체로 형성되는 소직경부(132)로 구성된다.
상기 대직경부(131)는 후술할 회전보조기구(200)의 제1회전휠(220)과 제2회전휠(230)에 의하여 양측 외주면이 지지됨으로써 연마판(300)이 회전하더라도 연마판(300)의 특정지점에서 이동하지 않고 제 자리에서 회전만을 하게 된다.
상기 두께조절기구(140)는 상기 시편고정블록(130)의 대직경부(131) 저면으로 돌출되는 시편(120)의 두께를 조절하기 위한 것으로서, 상기 시편고정블록(130)의 소직경부(132)를 관통하여 상기 마운트(110)에 연결된다. 따라서, 마이크로미터의 형태로 구성되는 두께조절기구(140)를 일방향으로 회전시키면 시편(120)이 대직경부(131) 저면으로 많이 돌출되고, 타방향으로 회전시키면 마운트(110)가 대직경부(131)의 장착홈(131a) 내부로 더욱 삽입되어 돌출되는 시편(120)의 두께가 작아진다.
상기 회전보조기구(200)는 상기 시편제조장치(100)가 상기 연마판(300)의 상면 특정 지점에서 회전만을 할 뿐 이동되지 않도록 하기 위하여 시편제조장치(100)의 측면에 설치되는 것으로서, 지지대(210)와, 상기 지지대(210)에 설치되는 제1,2회전휠(220,230)로 구성된다.
상기 지지대(210)는 고정봉(211)과, 상기 고정봉(211)에 연결되는 세로봉(212)과, 상기 세로봉(212)에 연결되는 가로봉(213)과, 상기 가로봉(213)의 양단에 각각 설치되는 제1,2연결봉(214,215)으로 구성된다.
상기 고정봉(211)은 일단이 상기 연마판(300)의 외부에 고정된다.
상기 세로봉(212)은 상기 연마판(300)의 타단에 연결되어 고정되는 것으로서, 연마판(300)의 타단에서 하측으로 연장 형성된다.
상기 가로봉(213)은 상기 세로봉(212)의 하단에 중앙 부분이 연결되어 고정되어 수평방향으로 연장 형성된다.
상기 제1연결봉(214)은 상기 가로봉(213)의 일단에 연결 고정되는 것으로서, 연마판(300)을 향하여 하측으로 연장 형성된다. 이러한 제1연결봉(214)에는 상기 제1회전휠(220)이 회전가능하게 설치된다.
상기 제2연결봉(215)은 상기 가로봉(213)의 타단에 연결 고정되는 것으로서, 연마판(300)을 향하여 하측으로 연장 형성된다. 이러한 제2연결봉(215)에는 상기 제2회전휠(230)이 회전가능하게 설치된다.
상기와 같은 제1연결봉(214)과 제2연결봉(215)은 그 하단이 상기 연마판(300)의 상면에 접촉되도록 설치하는 것도 가능하지만, 접촉되지 않고 약간 이격되게 설치하는 것도 가능하다.
상기 제1회전휠(220)은 상기 지지대(210)의 일측, 좀 더 자세히는 상기 제1연결봉(214)에 회전가능하게 설치되는 것으로서, 상기 시편제조장치(100)의 시편고정블록(130) 외주면 일측에 접촉되어 회전하는 연마판(300)의 원심력에 의하여 연마판(300)의 상면에서 회전하는 시편고정블록(130)의 외주면 일측을 지지한다. 따라서, 시편고정블록(130)이 시계방향으로 회전하면 제1회전휠(220)은 시계반대방향으로 회전하게 된다.
상기 제2회전휠(230)은 상기 제2연결봉(215)에 설치되는 것으로서, 상기 시편제조장치(100)의 시편고정블록(130) 외주면 타측에 접촉된다. 따라서, 시편고정블록(130)이 시계방향으로 회전하면 제2회전휠(230)은 시계반대방향으로 회전하게 된다.
상기와 같이 제1회전휠(220)과 제2회전휠(230)이 시편고정블록(130)을 양측에서 지지함으로써 시편고정블록(130)은 연마판(300) 위에서 이동하지 않고 회전만을 하게 된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구 일 실시예가 어떻게 작동하는지를 간단히 살펴보면 다음과 같다.
연마판(300)이 회전하면 연마판(300)에 접해 있는 시편(120)에 원심력이 작용하게 되고, 이 원심력에 의하여 시편(120)이 회전하게 된다.
시편(120)에 원심력이 작용하여 회전하면 그 힘이 마운트(110)를 거쳐 시편고정블록(130)에 전해져서 상기 시편고정블록(130)도 회전하게 된다. 이때, 회전보조기구(200)의 제1회전휠(220)과 제2회전휠(230)이 시편제조장치(100)가 수평방향으로 이동하는 것을 방지하기 위하여 시편고정블록(130)의 일측면과 타측면을 각각 지지하고 있기 때문에 시편고정블록(130)은 제자리에서 회전만을 하게 된다.
그리고, 시편고정블록(130)이 제자리에서 회전을 하면 시편고정블록(130)의 대직경부(131)에 접촉되어 있는 제1회전휠(220)과 제2회전휠(230)도 회전하게 된다.
이렇게 회전보조기구(200)가 시편제조장치(100)를 지지하고 있기 때문에 사람이 직접 손으로 시편제조장치(100)를 파지하지 않아도 될 뿐만 아니라, 연마판(300)이 회전하고 동시에 연마판(300)의 상면에서 시편(120)이 회전하기 때문에 시편(120)은 편마모가 예방되어 일정한 두께로 골고루 연마된다.
이상에서는 도 1 내지 도 2에 도시된 시편제조장치의 회전보조기구에 대하여 설명을 하였고, 이하에서는 도 3 내지 도 5에 도시된 시편제조장치의 회전보조기구에 대하여 설명을 하도록 한다.
도 3 내지 도 5에 도시된 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구도 마찬가지로 시편제조장치(100)를 지지함으로써 시편제조장치(100)가 연마판(300)의 상면에서 이동되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 도 3 내지 도 5에서도 시편제조장치는 도 1 내지 도 2와 동일하기 때문에 여기에서는 회전보조기구(200)에 대해서만 설명을 하도로 한다.
도 3은 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 다른 실시예를 보인 사시도이고, 도 4는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구를 상측에서 본 도이며, 도 5는 본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구의 회전유닛의 내부를 보인 도이다.
본 발명에 의한 시편제조장치의 회전보조기구는 지지대(210)와, 상기 지지대(210)의 일측에 회전가능하게 설치되는 제1회전휠(220)과, 상기 지지대(210)의 타측에 설치되는 회전유닛(240)으로 구성된다.
상기 지지대(210)는 고정봉(211)과, 상기 고정봉(211)에 연결되는 세로봉(212)과, 상기 세로봉(212)에 연결되는 가로봉(213)과, 상기 가로봉(213)의 양단에 각각 설치되는 제1,2연결봉(214,215)으로 구성된다.
상기 고정봉(211)은 일단이 상기 연마판(300)의 외부에 고정된다.
상기 세로봉(212)은 상기 연마판(300)의 타단에 연결되어 고정되는 것으로서, 연마판(300)의 타단에서 하측으로 연장 형성된다.
상기 가로봉(213)은 상기 세로봉(212)의 하단에 중앙 부분이 연결되어 고정되어 수평방향으로 연장 형성된다.
상기 제1연결봉(214)은 상기 가로봉(213)의 일단에 연결 고정되는 것으로서, 연마판(300)을 향하여 하측으로 연장 형성된다. 이러한 제1연결봉(214)에는 상기 제1회전휠(220)이 회전가능하게 설치된다. 제1연결봉(214)은 그 하단이 상기 연마판(300)의 상면에 접촉되도록 설치하는 것도 가능하지만, 접촉되지 않고 약간 이격되게 설치하는 것도 가능하다.
상기 제2연결봉(215)은 상기 가로봉(213)의 타단에 연결 고정되는 것으로서, 연마판(300)을 향하여 하측으로 연장 형성된다. 이러한 제2연결봉(215)에는 상기 회전유닛(240)이 연결된다.
상기 제1회전휠(220)은 상기 지지대(210)의 일측, 좀 더 자세히는 상기 제1연결봉(214)에 회전가능하게 설치되는 것으로서, 상기 시편제조장치(100)의 시편고정블록(130) 외주면 일측에 접촉되어 회전하는 연마판(300)의 원심력에 의하여 연마판(300)의 상면에서 회전하는 시편고정블록(130)의 외주면 일측을 지지한다. 따라서, 시편고정블록(130)이 시계방향으로 회전하면 제1회전휠(220)은 시계반대방향으로 회전하게 된다.
상기 회전유닛(240)은 상기 지지대(210)의 타측에 설치되어 시편고정블록(130)의 외주면 타측을 지지하는 것으로서, 상기 시편고정블록(130)외 외주면과 연마판(300)의 상면에 접촉된다.
이러한 회전유닛(240)은 덮개부(241)와, 중심축(242)과, 제2회전휠(243)과, 제1베벨기어(244)와, 하우징(245)과, 제2베벨기어(246) 및 바퀴(248)로 구성된다.
상기 덮개부(241)는 상기 제2연결봉(215)의 끝단에 연결 고정된다.
상기 중심축(242)은 상기 덮개부(241)의 저면에 일체로 형성되거나, 덮개부(241)의 저면에 연결 고정된다. 이러한 중심축(242)은 덮개부(241)의 하측으로 연장 형성된다.
상기 제2회전휠(243)은 상기 중심축(242)에 회전가능하게 설치되고, 상기 시편고정블록(130)의 외주면에 접촉된다. 따라서, 시편고정블록(130)이 시계방향으로 회전하면 제2회전휠(243)은 시계반대방향으로 회전하게 된다.
상기 제1베벨기어(244)는 상기 중심축(242)에 의하여 중앙부분이 관통된다. 좀 더 자세하게 설명하면, 상기 제1베벨기어(244)는 상기 제2회전휠(243)의 하측에 일체로 형성되어 상기 제2회전휠(243)이 회전하면 같은 방향으로 함께 회전한다. 그리고, 제1베벨기어(244)의 중앙부분은 중심축(242)에 의하여 관통됨으로써 제1베벨기어(244)가 회전하더라도 중심축(242)은 회전하지 않고 정지된 상태를 유지한다.
상기 하우징(245)은 상기 중심축(242)의 하단에 일체로 연결되어 형성되는 부분으로서, 이 하우징(245)은 상기 제1베벨기어(244)와 제2베벨기어(246)를 내부에 수용한다. 그리고, 하우징(245)의 하면에는 끼움홀(245a)이 형성된다.
상기 제2베벨기어(246)는 상기 제1베벨기어(244)와 치결합되어 있는 부분으로서, 제1베벨기어(244)가 회전하면 회전방향을 직각으로 변환하여 제2베벨기어(246)도 회전한다. 좀 더 자세히 설명하면, 상기 제2베벨기어(246)는 회전축(247)에 의하여 중앙부분이 관통 고정되는데, 이 회전축(247)은 양단이 상기 하우징(245)과 중심축(242)에 각각 회전가능하게 설치된다.
상기 바퀴(248)는 상기 회전축(247)에 중앙이 관통 고정된 상태로 상기 하우징(245)의 끼움홀(245a)을 통하여 외부로 노출된다. 이러한 바퀴(248)는 상기 제2베벨기어(246)가 회전할 때 그 회전력을 제공받아 회전하여 상기 연마판(300)의 상면에 접촉된 상태에서 연마판(300)의 상면에서 회전한다.
상기와 같이 구성되는 도 3 내지 도 5에 도시된 시편제조장치의 회전보조기구 다른 실시예가 어떻게 작동하는지를 간단히 살펴보면 다음과 같다.
연마판(300)이 회전하면 연마판(300)의 회전력에 의해서 회전유닛(240)의 바퀴(248)가 회전하게 된다.
바퀴(248)가 회전하면 바퀴(248)의 회전력이 회전축(247)에 전달되고, 이 회전축(247)에 중앙이 관통되어 고정된 제2베벨기어(246)가 회전하게 된다.
제2베벨기어(246)가 회전하면 치결합되어 있는 제1베벨기어(244)가 회전하게 되고, 제1베벨기어(244)가 회전하면 제1베벨기어(244)에 연결되어 있는 제2회전휠(243)이 회전하게 된다.
제2회전휠(243)은 시편고정블록(130)의 대직경부(131) 외주면에 접촉되어 있기 때문에 제2회전휠(243)이 회전하게 되면 그 회전력이 시편고정블록(130)에 전달되어 시편고정블록(130)이 회전하게 된다. 동시에 시편고정블록(130)의 회전에 의하여 제1회전휠(220)도 회전하게 된다.
이렇게 시편고정블록(130)이 회전하면 시편고정블록(130)의 대직경부(131)에 설치되어 있는 시편(120)도 연마판(300) 상면에서 회전하게 되어 상기 시편(120)은 연마가 된다.
100: 시편제조장치 110: 마운트
120: 시편 130: 시편고정블록
131: 대직경부 131a: 장착홈
132: 소직경부 140: 두께조절기구
200: 회전보조기구 210: 지지대
211: 고정봉 212: 세로봉
213: 가로봉 214: 제1연결봉
215: 제2연결봉 220: 제1회전휠
230: 제2회전휠 240: 회전유닛
241: 덮개부 242: 중심축
243: 제2회전휠 244: 제1베벨기어
245: 하우징 245a: 끼움홀
246: 제2베벨기어 247: 회전축
248: 바퀴 300: 연마판

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 시편(120)이 부착된 마운트(110)와, 상기 마운트(110)가 설치되는 시편고정블록(130)과, 상기 시편고정블록(130)에 설치되는 두께조절기구(140)를 포함하여 이루어진 시편제조장치(100)가 시편(120)을 연마하기 위하여 회전하는 연마판(300)의 상면에 배치되고, 상기 연마판(300)의 상면에서 시편제조장치(100)가 이동되는 것을 방지하기 위하여 시편제조장치(100)의 측면에 회전보조기구(200)가 설치되되,
    상기 회전보조기구(200)는 상기 연마판(300)의 외부에 고정되는 지지대(210)와;
    상기 지지대(210)의 일측에 회전가능하게 설치되고, 회전하는 연마판(300)의 원심력에 의하여 연마판(300)의 상면에서 회전하는 시편고정블록(130)의 외주면 일측을 지지하는 제1회전휠(220)과;
    상기 지지대(210)의 타측에 설치되어 시편고정블록(130)의 외주면 타측을 지지함과 아울러 상기 연마판(300)의 상면에 접촉되는 회전유닛(240);으로 구성된 것을 특징으로 하는 시편제조장치의 회전보조기구.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 회전보조기구(200)의 지지대(210)는 상기 연마판(300)의 외부에 고정되는 고정봉(211)과;
    상기 고정봉(211)의 끝단에 연결되는 세로봉(212)과;
    상기 세로봉(212)의 끝단에 중앙 부분이 연결되는 가로봉(213)과;
    상기 가로봉(213)의 일단에 연결됨과 아울러 상기 제1회전휠(220)이 회전가능하게 설치되는 제1연결봉(214)과;
    상기 가로봉(213)의 타단에 연결되고 상기 회전유닛(240)이 연결되는 제2연결봉(215);으로 구성된 것을 특징으로 하는 시편제조장치의 회전보조기구.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 회전유닛(240)은 상기 제2연결봉(215)의 끝단에 연결되는 덮개부(241)와;
    상기 덮개부(241)의 저면에서 하측으로 연장되는 중심축(242)과;
    상기 중심축(242)에 회전가능하게 설치되고, 상기 시편고정블록(130)의 외주면에 접촉되는 제2회전휠(243)과;
    상기 중심축(242)에 중앙이 관통되는 제1베벨기어(244)와;
    상기 중심축(242)의 하단에 연결되고, 상기 제1베벨기어(244)를 내부에 수용하며, 하면에 끼움홀(245a)이 형성된 하우징(245)과;
    상기 하우징(245)과 중심축(242)에 양단이 각각 회전가능하게 설치되는 회전축(247)에 중앙이 관통 고정되어 상기 제1베벨기어(244)에 치결합되는 제2베벨기어(246)와;
    상기 회전축(247)에 중앙이 관통 고정되어 하우징(245)의 끼움홀(245a)을 통하여 노출됨으로서 상기 연마판(300)의 상면에 접촉되어 회전하는 바퀴(248);로 구성된 것을 특징으로 하는 시편제조장치의 회전보조기구.
KR1020120157030A 2012-12-28 2012-12-28 시편제조장치의 회전보조기구 KR101475572B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120157030A KR101475572B1 (ko) 2012-12-28 2012-12-28 시편제조장치의 회전보조기구

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120157030A KR101475572B1 (ko) 2012-12-28 2012-12-28 시편제조장치의 회전보조기구

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140086476A KR20140086476A (ko) 2014-07-08
KR101475572B1 true KR101475572B1 (ko) 2014-12-22

Family

ID=51735754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120157030A KR101475572B1 (ko) 2012-12-28 2012-12-28 시편제조장치의 회전보조기구

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101475572B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105437050A (zh) * 2015-11-06 2016-03-30 和县隆盛精密机械有限公司 一种金相研磨抛光工艺
CN111733421B (zh) * 2020-07-08 2022-04-12 福建省鈊美机械科技有限公司 一种金属加工用化学抛光机
CN112025469B (zh) * 2020-09-10 2022-06-10 西安奕斯伟材料科技有限公司 一种用于角抛光硅片样品的装置、设备及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05228829A (ja) * 1992-02-19 1993-09-07 Mitsubishi Materials Corp ウェーハ研磨装置
KR100919827B1 (ko) * 2009-07-23 2009-10-01 강원대학교산학협력단 시편 제조장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05228829A (ja) * 1992-02-19 1993-09-07 Mitsubishi Materials Corp ウェーハ研磨装置
KR100919827B1 (ko) * 2009-07-23 2009-10-01 강원대학교산학협력단 시편 제조장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140086476A (ko) 2014-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101475572B1 (ko) 시편제조장치의 회전보조기구
EP2133681A3 (en) Tire testing machine and tire testing method
KR101159918B1 (ko) 시편 연마기용 시편 홀더 장치
US10197478B2 (en) Sample carrier and method for processing a sample
CN203800007U (zh) Tem样品承载装置以及tem样品放置系统
JP5841846B2 (ja) 研削装置
US20070184755A1 (en) Grinding mount holder assembly, apparatus and method for manufacturing a sample
KR101499315B1 (ko) 연마 두께 조절 기능을 갖는 시편 연마 장치
US10920338B1 (en) Driving unit measuring apparatus and silicon crystal growing apparatus having same
KR101366811B1 (ko) 시편 연마장치
CN104390835A (zh) 三维原子探针制样第一阶段抛光设备
CN111336978B (zh) 周向间隙测量装置和周向间隙测量方法
US9242343B2 (en) Grinding wheel machining device
KR20080049166A (ko) 시편 제조 장치 및 방법
CN202275213U (zh) 一种适用于超景深显微镜的万向载物台
KR101140967B1 (ko) 시편 연마용 홀더 장치
KR20130084063A (ko) 사파이어 실린더 마운팅 장치
KR101141012B1 (ko) 시편 연삭기
KR100886574B1 (ko) 투과전자현미경 시편 커팅 장치
FR3041755A1 (fr) Dispositif porte-echantillon comprenant un dispositif de bridage et procede d'analyse d'un echantillon
US9496187B2 (en) Setup for multiple cross-section sample preparation
JP2716760B2 (ja) 試料研磨装置
KR101827646B1 (ko) 시험편 몰드용 홀더 장치
JP2009172728A (ja) レンズ加工装置
KR20150085715A (ko) 박리강도 측정 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181210

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191001

Year of fee payment: 6

R401 Registration of restoration