KR101469740B1 - 고압력 셀렌화 공정을 이용한 ci(g)s 박막 제조 방법과 이를 이용한 태양전지. - Google Patents
고압력 셀렌화 공정을 이용한 ci(g)s 박막 제조 방법과 이를 이용한 태양전지. Download PDFInfo
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Abstract
태양전지에 사용되는 CI(G)S의 제조 과정 중 셀렌화 공정의 효율을 높이기 위한 방법으로 더욱 구체적으로는 CI(G)S계 전구체 박막을 일정 콘테이너 혹은 챔버에 삽입하여, 상기 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se)을 주입하고 온도를 올려 셀렌화하는 공정을 통해 고압력 셀렌화가 가능한 것에 관한 것으로 일정 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se) 분압을 높여 고압력 셀렌화를 통해 손실되는 셀레늄(Se)을 줄일 수 있고, 셀렌화의 효율을 높이고 열처리의 시간을 단축시킬 수 있는 효과를 나타낸다.
이를 위해 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버(Chamber)의 간격이 6 mm 내지 20 mm이고, 상기 챔버(Chamber)에 셀레늄(Se)을 주입하며, 셀렌화를 위한 열처리는 상기 챔버(Chamber)의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 발열체에 의해 온도를 증가시킨다.
이를 위해 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버(Chamber)의 간격이 6 mm 내지 20 mm이고, 상기 챔버(Chamber)에 셀레늄(Se)을 주입하며, 셀렌화를 위한 열처리는 상기 챔버(Chamber)의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 발열체에 의해 온도를 증가시킨다.
Description
태양전지에 사용되는 CI(G)S 박막의 제조 과정 중 셀렌화 공정의 효율을 높이기 위한 방법으로 더욱 구체적으로는 CI(G)S계 전구체 박막을 일정 콘테이너 혹은 챔버에 삽입하여, 상기 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se)을 주입하고 온도를 올려 셀렌화하는 공정을 통해 고압력 셀렌화가 가능한 기술에 관한 것이다.
태양전지 및 발전시스템은 태양에너지를 직접 전기에너지로 변환시키는 기술로 반도체, 염료, 고분자 등의 물질로 이루어진 태양전지를 이용하여 태양 빛을 받아 바로 전기를 생성한다. 이와 비교되는 기술로는 태양의 복사에너지를 흡수하여 열에너지로 변환하여 이용하는 태양열발전이 있다.
태양광발전(PV, Photovoltaic)은 무한정, 무공해의 태양에너지를 직접 전기에너지로 변환하는 발전방식으로 태양전지(모듈), PCS, 축전장치 등의 요소로 구성된다. 가장 일반적인 실리콘 태양전지의 기본 구조 및 발전원리를 태양전지는 p형 반도체와 n형 반도체를 접합시키고 (p-n 접합) 양단에 금속전극을 코팅하여 제작한다. 태양 빛이 입사되면 반도체 내부에서 흡수되면 전자와 정공이 발생하여 p-n 접합부 전기장에 끌려 전자는 n측으로 정공은 p측으로 새로운 흐름이 생기면 접합부 양단의 전위차가 작아진다. 즉 반도체가 태양 빛을 흡수하면 전기가 발생하는 원리인 광기전력 효과(Photovoltaic Effect)를 이용한 것으로 반도체 접합부에 태양 빛이 입사되면 접합부에서 전자가 발생하여 외부회로에 전류가 흐르게 된다.
태양광 시스템은 빛을 받아서 전기로 전환시켜 주는 부분 (모듈)과 생산된 전기를 수요에 맞도록 교류로 변환시키고 계통에 연결시켜 주는 부분 (PCS) 으로 구성된다.
태양광발전 시스템의 구성 요소기기 중 핵심부품은 태양전지이다. 태양전지는 기본적으로 반도체 소자 기술로서 태양빛을 전기에너지로 변환하는 기능을 수행하는데, 이는 전기를 빛으로 변환시키는 레이저나 발광다이오드(Light Emitting Diode) 등 정보 표시 소자와 작동 방향이 반대일 뿐 기본 구조나 재료특성이 동일하다.
태양전지의 최소단위를 셀이라고 하며 보통 셀 1개로부터 나오는 전압이 약 0.5V로 매우 작으므로 다수의 태양전지를 직병렬로 연결하여 사용범위에 따라 실용적인 범위의 전압과 출력을 얻을 수 있도록 1매로 패키징하여 제작된 발전장치를 태양전지 모듈(PV Module)이라고 한다.
태양전지 모듈은 외부 환경으로부터 태양전지를 보호하기 위해서 유리, 완충재 및 표면제 등을 사용하여 패널 형태로 제작하며 내구성 및 내후성을 가진 출력을 인출하기 위한 외부단자를 포함한다. 복수 개의 태양전지 모듈에 태양빛이 많이 입사할 수 있도록 경사각, 방위각 등의 설치조건을 고려, 가대 및 지지대를 이용하여 전기적인 직병렬로 연결하여 사용범위에 맞게 구성한 발전장치를 태양전지 어레이(PV Array)라고 한다.
태양광발전용 PCS(Power Conditioning System)는 태양전지 어레이에서 발전된 직류전력을 교류전력으로 변환하기 위한 인버터 장치를 말한다. PCS는 태양전지 어레이에서 발전한 직류전원을 상용계통과 같은 전압과 주파수의 교류전력으로 변환하는 장치가 인버터이기 때문에 PCS를 인버터라고도 한다. PCS는 인버터, 전력제어장치 및 보호 장치로 구성되어 있다. 태양전지 본체를 제외한 주변장치 중에서 가장 큰 비중을 차지하는 요소이다.
태양광발전 시스템 태양에너지로부터 전기에너지로 변환하는 발전시스템으로 일사강도, 온도 등의 설치조건에 따른 환경변화, 구성요소기기 및 태양광발전 시스템의 설계시공에 따라서 발전성능이 결정된다. 태양광발전 시스템은 설치장소, 방식, 정격, 구성 등이 같다고 하더라도 설치장소의 환경변화에 따라서 성능특성은 변화된다. 친환경에너지원인 태양광발전 시스템의 이용보급이 확대됨에 따라 광범위하고 다양화되는 사용자 요구에 만족할 수 있는 고품질, 신뢰성과 안정성을 가진 시스템들이 기술개발이 점점 중요하게 된다. 태양광발전 시스템이 수명을 다할 때까지 최대성능을 달성하기 위해서는 고성능화와 설치조건 및 설계시공에 따른 성능추정, 발생손실 등의 종합적인 성능특성을 정량화가 필요하다. 성능평가 및 진단은 태양전지 모듈, PCS, 가대 및 지지대, 커넥터 등의 구성요소 기기의 저가화, 성능향상, 수명예측, 맞춤형 설계시공 및 유지점검 기술개발에 중요하다. 또한 대규모 시스템의 적용을 위한 연계제어기술, 전력품질 및 공급안정화와 전력저장기술에 대해서도 검토되어야 한다.
태양광 시장은 대체에너지 개발 및 온실가스 저감을 위한 청정에너지 개발, 그리고 지속가능한 미래 에너지원 확보를 위한 각국 정부의 신재생에너지 보급 정책에 따라 급속히 성장하고 있음에도 불구하고, 태양광발전의 높은 시스템 가격으로 인하여 발전단가는 화석연료를 이용한 타 발전방식에 비하여 여전히 높은 수준이며, 태양광발전 시스템 가격의 50~60%를 차지하는 태양전지(모듈)의 저가화가 반드시 요구된다. 결정질 실리콘 태양전지(모듈)은 전 세계적인 생산라인 증설에 따라 결정질 실리콘 태양전지 가격은 급속히 하락하고 있으나 아직까지 높은 원소재 가격, 웨이퍼 제조시 kerf loss 발생 및 단속적인 공급에 따른 공정 문제 등으로 추가적인 가격경쟁력 확보에는 한계가 따를 것으로 예측됨에 따라, 결정질 실리콘 태양전지보다 값싸고 높은 효율을 나타낼 수 있는 박막 태양전지를 비롯한 차세대 태양전지 기술개발이 활발히 이루어지고 있으며 시장점유율도 점차로 확대되어 나갈 것으로 예측된다.
박막 태양전지는 결정질 실리콘 태양전지에 비하여 원료사용량이 매우 적고 대면적화 및 대량생산이 가능하여 태양전지 제조단가를 낮출 수 있으며, 광흡수층 소재의 두께가 수 ㎛로 원소재 소비가 매우 적으며 5세대급의 대면적 모듈 제조가 가능하고 태양전지 및 모듈제조가 함께 이루어져 Value chain이 단순하다. 또한, 실리콘 박막과 CI(G)S 및 CdTe 등의 화합물 박막을 이용한 박막 태양전지(모듈)이 상용화되고 있다.
현재 생산되고 있는 대부분의 박막 태양전지는 유리기판 위에 제조되고 있으며 5세대급 모듈제조시 무게는 약 20㎏이상이 되고 있다.
플렉서블(flexible) 박막 태양전지는 기존의 결정질 실리콘 태양전지나 유리기판을 사용하는 박막 태양전지에 비하여 저가, 경량소재 사용 및 우수한 생산성을 바탕으로 태양전지의 제조비용을 획기적으로 저감할 수 있는 기술로, 현재 개발이 가장 활발히 진행되고 있는 플렉서블 박막 태양전지용 광흡수층으로는 실리콘 박막 및 CI(G)S 화합물 박막이다. 후면전극층으로는 일반적으로 반사율과 전기전도성이 우수한 금속박막(M, Ag, Al 등)을 사용하고, 투명전도층은 Window층으로 투과율이 우수한 동시에 전기전도성이 우수한 ZnO, ITO 등의 투명전도막을 사용한다.
또한, 플렉서블 박막 태양전지는 저가화 특성과 더불어 경량이며 잘 깨지지 않고, 심미성과 적용성이 우수하여 대용량 발전의 기존 시장 대체뿐만 아니라 BAPV(Building Applied PV) 및 휴대용, 군사용 전원을 포함하는 신규 거대시장 창출이 가능한 미래산업 분야이다.
태양전지 분야의 기술상의 문제점과 향후 개선 방안은 소면적 태양전지의 효율이 다결정 실리콘 태양전지의 최고 효율에 근접할 정도로 높은데 반해, 대면적 모듈의 효율이 이유는 공정이 복잡하고 엄밀한 제어를 필요로 하기 때문에 장치의 대형화가 어렵기 때문이다. 따라서, 저가, 고효율화, 대면적화를 통한 상업화 기술의 확보를 위해, 단위 박막의 성능 및 구조 개선을 통한 실험실 제조 태양전지의 효율 향상, 대면적 모듈의 제조, CdS 대체 공정 개발 등의 문제를 해결해야 할 것이다. 또한, 현재의 저가 고효율화를 위한 기술개발 노력과 함께 나노기술 및 다층구조 기술의 접목이 장기적인 차원에서 추진되어야 할 것이다.
셀렌화(selenization) 공정에서의 효율을 높이고, 상기 셀렌화를 위한 열처리 단계에서 셀레늄(Se)의 분압을 높여 열처리 시간을 단축시키고자 한다.
태양전지에 사용되는 CI(G)S의 제조 과정 중 셀렌화 공정의 효율을 높이기 위한 방법으로 더욱 구체적으로는 CI(G)S계 전구체 박막을 일정 콘테이너 혹은 챔버에 삽입하여, 상기 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se)을 주입하고 온도를 올려 셀렌화하는 공정을 통해 고압력 셀렌화가 가능하도록 한다.
기판(substrate)을 준비하는 단계, CI(G)S계 전구체 박막을 챔버(Chamber)에 삽입하는 단계, 상기 CI(G)S계 전구체 박막이 삽입된 챔버 내에 셀레늄(Se)을 주입하는 단계, 상기 셀레늄(Se)이 주입된 챔버 내의 온도를 증가시키는 단계, 상기 챔버 내의 온도를 증가시켜, 셀레늄(Se) 분위기에서 전구체 박막을 열처리하여, 압력을 증가시킨 상태로 셀렌화하는 단계를 포함하며, 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버(Chamber)의 간격이 6 mm 내지 20 mm이고, 상기 챔버(Chamber)에 셀레늄(Se)을 주입하며, 셀렌화를 위한 열처리는 상기 챔버(Chamber)의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 발열체에 의해 온도를 증가시킨다.
태양전지에 사용되는 CI(G)S의 제조 과정 중 셀렌화 공정의 효율을 높이기 위한 방법으로 더욱 구체적으로는 CI(G)S계 전구체 박막을 일정 콘테이너 혹은 챔버에 삽입하여, 상기 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se)을 주입하고 온도를 올려 셀렌화하는 공정을 통해 고압력 셀렌화가 가능한 것에 관한 것으로 일정 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se) 분압을 높여 고압력 셀렌화를 통해 손실되는 셀레늄(Se)을 줄일 수 있고, 셀렌화의 효율을 높이고 열처리의 시간을 단축시킬 수 있는 효과를 나타낸다.
도 1은 본원 발명의 실시 예에 의한 CI(G)S박막 제조 방법을 나타낸다.
도 2는 본원 발명의 실시 예에 의한 CI(G)S박막을 포함하는 태양전지의 제조 방법을 나타낸다.
도 3은 본원 발명의 실시 예에 의한 태양전지의 단면도를 나타낸다.
도 2는 본원 발명의 실시 예에 의한 CI(G)S박막을 포함하는 태양전지의 제조 방법을 나타낸다.
도 3은 본원 발명의 실시 예에 의한 태양전지의 단면도를 나타낸다.
도 1은 본원 발명의 실시 예에 의한 CI(G)S박막 제조 방법을 나타낸다.
상기 태양전지의 광흡수층으로서의 CI(G)S박막 제조 방법은 기판(substrate)을 준비하는 단계, 전구체인 CI(G)S계 화합물을 제조하는 단계, 상기 기판(substrate) 상에 상기 전구체인 CI(G)S계 화합물을 코팅하여 CI(G)S계 전구체 박막을 형성하는 단계, 상기 기판(substrate) 상에 형성된 CI(G)S계 전구체 박막을 건조하는 단계, 상기 건조된 CI(G)S계 전구체 박막을 챔버(Chamber)에 삽입하는 단계, 상기 CI(G)S계 전구체 박막이 삽입된 챔버 내에 셀레늄(Se)과 불활성 기체를 주입하는 단계, 상기 셀레늄(Se)이 주입된 챔버 내의 온도를 증가시키는 단계, 상기 챔버 내의 온도를 증가시켜, 셀레늄(Se) 분위기에서 전구체 박막을 열처리하여, 압력을 증가시킨 상태로 셀렌화하는 단계를 포함하여 이루어지는 것이 가능할 것이다.
상기 기판(substrate) 상에 상기 전구체인 CI(G)S계 화합물을 코팅하는 방법은 스핀코팅(Spin coating), 딥코팅(Dip coating), 스프레이코팅(Spray coating), 닥터블레이드코팅(Dr. blade coating), 롤코팅(Roll coating), 바코팅(Bar coating), 그래비에 코팅(Gravier coating), 슬롯다이코팅(Slot-die coating) 중 적어도 어느 하나의 방법을 이용하여 코팅하는 것이 바람직할 것이다.
또한, 상기 기판(substrate) 상에 상기 전구체인 CI(G)S계 화합물을 코팅하는 방법은 E-beam 증착법(Electron beam evaporation), 전자빔 이온 플레이팅(Electron Beam Ion plating), 스퍼터링(sputtering), 스퍼터링 이온 플레이팅 시스템(sputtering Ion plating System), 레이저 분자빔 증착법(Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스 레이저 증착법 (Pulsed Laser Deposition), 저항 가열식 증착법(Thermal evaporation), 이온 어시스트 증착법(Ion-Assist Deposition) 중 적어도 어느 하나의 방법으로 증착하여 코팅하는 것 또한, 가능할 것이나 이에 한정된 것은 아니다.
상기 건조된 CI(G)S계 전구체 박막을 챔버(Chamber)에 삽입하는 단계에서 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버의 간격이 6 mm 내지 20 mm인 것이 바람직할 것이다. 이는 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버의 간격이 5 mm 이하이면 상기 챔버 내에서 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버 내에 삽입시 상기 CI(G)S계 전구체 박막의 핸들링이 쉽지 않고, 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버의 간격이 20 mm 이상일 경우 다음 단계의 상기 챔버(Chamber)에 셀레늄(Se)을 주입하는 경우 상기 셀레늄(Se)의 분압을 달성하기 위해 주입되는 셀레늄(Se)을 양이 증가하는 문제점이 생길 수 있다.
상기 문제점들을 해결할 수 있는 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버의 간격이 6 mm 내지 20 mm인 것이 바람직할 것이나 이에 한정된 것은 아니다.
상기 챔버 내의 셀레늄(Se) 분압을 맞출 수 있고, 상기 챔버 내 상기 CI(G)S계 전구체 박막 삽입 시 핸들링이 가능하다면, 상기 기재한 간격에 한정되지 않는 것도 가능할 것이다.
상기 챔버(Chamber) 내에 셀레늄(Se)을 주입하는 방법은 다양한 방법이 이용될 수 있을 것이다. 상기 CI(G)S계 전구체 박막을 상기 챔버에 주입시 상기 CI(G)S계 전구체 박막의 주변에 놓아두는 방법이 가능할 것이다.
또한, 상기 챔버(Chamber) 내에 셀레늄(Se)을 주입하는 방법은 상기 챔버의 일측에 연결된 관을 통해 셀레늄(Se)을 주입하는 것도 가능할 것이다.
상기 챔버 내의 일측에 연결된 관은 상기 챔버와 탈착이 가능할 수 있으며 상기 관의 재질과 크기는 상기 챔버 및 상기 CI(G)S계 전구체 박막의 크기에 따라 다양하게 변형하는 것이 가능할 것이다.
상기 셀레늄(Se)이 주입된 챔버(Chamber) 내의 온도를 증가시키는 단계는 상기 챔버의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 발열체에 의해 온도를 증가시키는 것이 가능할 것이다.
상기 발열체가 상기 챔버의 내측 일면에 위치하는 경우, 가열된 공기를 내부순환시키기 위한 팬(fan)을 더 포함하는 것이 가능할 것이다.
상기 발열체는 코일을 이용한 가열체, 라디에이션(Radiation)을 이용한 가열체 등을 이용할 수 있으며, 이에 한정된 것은 아니다.
이와 같이 발열체가 챔버 내부 전면에 위치하는 경우는 500도 이하에서는 온도 분포가 좋지 않으나 그 이상에서 온도 분포가 좋고 높은 온도의 열처리가 가능한 장점이 있다.
이렇게 챔버의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 두 개의 온도 장비를 이용하여 고온과 저온 열처리을 하게 되는데 이때 사용하는 온도에 따라 온도 장비를 교체하며 열처리를 할 수 있을 것이다.
상기 챔버 내의 온도를 증가시켜, 셀레늄(Se) 분위기에서 전구체 박막을 열처리하여, 압력을 증가시킨 상태로 셀렌화하는 단계에서 상기 CI(G)S계 전구체 박막이 삽입된 챔버의 발열체를 이용하여 300 ℃ 내지 700 ℃ 에서 열처리하여
상기 챔버 내의 압력이 0.001 mtorr 내지 100 torr 가 되고, 상기 챔버 내의 상기 셀레늄(Se)의 분압이 0.001 mtorr 내지 50 torr 가 되도록 하는 것이 바람직할 것이다.
가장 바람직한 것은 400 ℃ 내지 650 ℃ 에서 열처리하여 상기 챔버 내의 압력이 0.01 mtorr 내지 10 torr 가 되고, 상기 챔버 내의 상기 셀레늄(Se)의 분압이 0.005 mtorr 내지 5 torr 가 되도록 하는 것이다.
상기 챔버 내의 압력 및 셀레늄의 분압을 조절하는 방법은 셀레늄 기체와 불활성 기체를 함께 주입하여 조절한다.
열처리를 통하여 불활성 기체로 상기 챔버 내의 압력을 메인으로 조절하고 상기 불활성 기체와 같이 상기 챔버에 주입된 셀레늄의 분압을 원하는 수치로 조절하는 것이 가능할 것이다.
상기 제조 방법에 의해 제조된 CI(G)S박막은 셀레늄(Se)의 함량이 40 atomic % 내지 60 atomic % 인 것이 바람직할 것이다.
가장 바람직한 것은 제조된 CI(G)S박막은 셀레늄(Se)의 함량이 45 atomic % 내지 55 atomic % 인 것이나, 이에 한정된 것은 아니다.
도 2는 본원 발명의 실시 예에 의한 CI(G)S박막을 이용한 태양전지의 제조 방법을 나타낸다.
상기 태양전지 제조 방법은 기판(10)을 준비하는 단계, 후면전극층(20)을 증착하는 단계, 본원 발명에 의한 방법으로 제조된 CI(G)S박막을 광흡수층(30)으로 증착하는 단계, 버퍼층(40)을 증착하는 단계, 투명전도층(50)을 증착하는 단계, 반사방지막(60)을 전면전극층(70)이 형성되는 영역을 제외한 부분에 증착하는 단계, 상기 반사방지막(60)이 형성되지 않은 부분에 전면전극층(70)을 증착하는 단계를 포함하는 것이 가능할 것이다.
상기 기판(10)은 유리 기판, 세라믹 기판, 스테인레스 스틸(stainless steel) 기판, 폴리머(polymer) 기판, 금속 기판 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 가능할 것이나 이에 한정된 것은 아니다.
상기 후면전극층(20)은 Mo, Ni, Cu 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 가능할 것이며, 상기 버퍼층(40)은 CdS, InxSey, Zn(O,S,OH)x, In(OH)xSy, ZnInxSey, ZnSe 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 가능할 것이다.
또한, 상기 투명전도층(50)은 ZnO 인 것이 바람직할 것이며, 상기 투명전도층(50)은 하부막인 ZnO 위에 상부막인 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진 2중 구조로 증착하는 것이 가능할 것이다.
상기 반사방지막(60)은 MgF2 인 것이 가능할 것이나 이에 한정된 것은 아니다.
상기 전면전극층(70)은 Al, Ag, Ni, M 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것이 가능할 것이다.
도 3은 본원 발명의 실시 예에 의한 태양전지의 단면도를 나타낸다.
본원 발명에 의한 태양전지는 기판(10), 상기 기판(10) 상의 후면전극층(20), 상기 후면전극층(20) 상에 광흡수층(30)으로 본원 발명에 의한 CI(G)S박막, 상기 광흡수층(30) 상의 버퍼층(40), 상기 버퍼층(40) 상의 투명전도층(50), 상기 투명전도층(50) 상의 반사방지막(60)과 상기 반사방지막(60)이 형성되지 않은 부분의 전면전극층(70)을 포함하는 것이 가능하다.
본 발명을 첨부된 도면과 함께 설명하였으나, 이는 본 발명의 요지를 포함하는 다양한 실시 형태 중의 하나의 실시 예에 불과하며, 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 하는 데에 그 목적이 있는 것으로, 본 발명은 상기 설명된 실시 예에만 국한되는 것이 아님은 명확하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 하기의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서의 변경, 치환, 대체 등에 의해 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함될 것이다. 또한, 도면의 일부 구성은 구성을 보다 명확하게 설명하기 위한 것으로 실제보다 과장되거나 축소되어 제공된 것임을 명확히 한다.
10 : 기판 20 : 후면전극층
30 : 광흡수층 40 : 버퍼층
50 : 투명전도층 60 : 반사방지막
70 : 전면전극층
30 : 광흡수층 40 : 버퍼층
50 : 투명전도층 60 : 반사방지막
70 : 전면전극층
Claims (17)
- 태양전지의 광흡수층으로서의 CI(G)S박막 제조 방법에 있어서,
(i) 기판(substrate)을 준비하는 단계;
(ii) 전구체인 CI(G)S계 화합물을 제조하는 단계;
(iii) 상기 기판(substrate) 상에 상기 전구체인 CI(G)S계 화합물을 코팅하여 CI(G)S계 전구체 박막을 형성하는 단계;
(iv) 상기 기판(substrate) 상에 형성된 CI(G)S계 전구체 박막을 건조하는 단계;
(v) 상기 건조된 CI(G)S계 전구체 박막을 챔버(Chamber)에 삽입하는 단계;
(vi) 상기 CI(G)S계 전구체 박막이 삽입된 챔버 내에 셀레늄(Se)과 불활성 기체를 주입하는 단계;
(vii) 상기 셀레늄(Se)이 주입된 챔버 내의 온도를 300 ℃ 내지 700 ℃로 증가시키는 단계; 및
(viii) 상기 챔버 내의 온도를 300 ℃ 내지 700 ℃로 증가시켜, 셀레늄(Se) 분위기에서 전구체 박막을 열처리하여,
챔버 내의 압력이 0.001 mtorr 내지 100 torr 가 되고, 상기 챔버 내의 상기 셀레늄(Se)의 분압이 0.001 mtorr 내지 50 torr 가 되도록 압력을 증가시킨 상태로 셀렌화하는 단계를 포함하고,
상기 (vii) 단계에서,
상기 챔버(Chamber)의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 발열체에 의해 온도를 증가시키고,
상기 발열체가 상기 챔버의 내측 일면에 위치하는 경우,
가열된 공기를 내부순환시키기 위한 팬(fan)을 더 포함하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 CI(G)S박막 제조 방법.
- 청구항 1에 있어서,
상기 (iii) 단계에서,
스핀코팅(Spin coating), 딥코팅(Dip coating), 스프레이코팅(Spray coating), 닥터블레이드코팅(Dr. blade coating), 롤코팅(Roll coating), 바코팅(Bar coating), 그래비에 코팅(Gravier coating), 슬롯다이코팅(Slot-die coating) 중 적어도 어느 하나의 방법으로 코팅하는 것
을 특징으로 하는 CI(G)S박막 제조 방법. - 청구항 1에 있어서,
상기 (iii) 단계에서,
E-beam 증착법(Electron beam evaporation), 전자빔 이온 플레이팅(Electron Beam Ion plating), 스퍼터링(sputtering), 스퍼터링 이온 플레이팅 시스템(sputtering Ion plating System), 레이저 분자빔 증착법(Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스 레이저 증착법 (Pulsed Laser Deposition), 저항 가열식 증착법(Thermal evaporation), 이온 어시스트 증착법(Ion-Assist Deposition) 중 적어도 어느 하나의 방법으로 증착하여 코팅하는 것
을 특징으로 하는 CI(G)S박막 제조 방법. - 청구항 1에 있어서,
상기 (v) 단계에서,
상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버(Chamber)의 간격이 6 mm 내지 20 mm인 것
을 특징으로 하는 CI(G)S박막 제조 방법. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 청구항 1 내지 4 중 어느 하나의 방법으로 제조되고,
셀레늄(Se)의 함량이 40 atomic % 내지 60 atomic % 인 것
을 특징으로 하는 CI(G)S박막. - 태양전지 제조 방법에 있어서,
(1) 기판을 준비하는 단계;
(2) 후면전극층을 증착하는 단계;
(3) 상기 청구항 1 내지 4 중 어느 하나의 방법으로 제조된 CI(G)S박막을 광흡수층으로 증착하는 단계;
(4) 버퍼층을 증착하는 단계;
(5) 투명전도층을 증착하는 단계;
(6) 반사방지막을 전면전극층이 형성되는 영역을 제외한 부분에 증착하는 단계;
(7) 상기 반사방지막이 형성되지 않은 부분에 전면전극층을 증착하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 9에 있어서,
상기 기판은 유리 기판, 세라믹 기판, 스테인레스 스틸(stainless steel) 기판, 폴리머(polymer) 기판, 금속 기판 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 10에 있어서,
상기 후면전극층은 Mo, Ni, Cu 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 11에 있어서,
상기 버퍼층은 CdS, InxSey, Zn(O,S,OH)x, In(OH)xSy, ZnInxSey, ZnSe 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 12에 있어서,
상기 투명전도층은 ZnO 인 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 13에 있어서,
상기 투명전도층은 하부막인 ZnO 위에 상부막인 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진 2중 구조로 증착하는 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 14에 있어서,
상기 반사방지막은 MgF2 인 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 청구항 15에 있어서,
상기 전면전극층은 Al, Ag, Ni, M 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것
을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법. - 태양전지에 있어서,
기판,
상기 기판 상의 후면전극층,
상기 후면전극층 상에 광흡수층으로 사용된 청구항 8의 CI(G)S박막,
상기 광흡수층 상의 버퍼층,
상기 버퍼층 상의 투명전도층,
상기 투명전도층 상의 반사 방지막과
상기 반사방지막이 형성되지 않은 부분의 전면전극층
을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지.
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Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| KR20110081564A (ko) * | 2010-01-08 | 2011-07-14 | 주식회사 쎄믹스 | 태양 전지 광흡수층 제조를 위한 셀렌화 방법 |
| KR20120018604A (ko) * | 2010-08-23 | 2012-03-05 | 삼성전자주식회사 | 태양 전지 |
| KR20120131536A (ko) * | 2011-05-25 | 2012-12-05 | 한국에너지기술연구원 | 고밀도를 갖는 ｃｉｓ계 박막 제조방법 |
-
2013
- 2013-04-03 KR KR1020130036156A patent/KR101469740B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-04-01 WO PCT/KR2014/002767 patent/WO2014163367A1/ko active Application Filing
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110081564A (ko) * | 2010-01-08 | 2011-07-14 | 주식회사 쎄믹스 | 태양 전지 광흡수층 제조를 위한 셀렌화 방법 |
| KR20120018604A (ko) * | 2010-08-23 | 2012-03-05 | 삼성전자주식회사 | 태양 전지 |
| KR20120131536A (ko) * | 2011-05-25 | 2012-12-05 | 한국에너지기술연구원 | 고밀도를 갖는 ｃｉｓ계 박막 제조방법 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| J. Herrero et al. "Improved ITO thin films for photovoltaic applications with a thin ZnO layer by sputtering", Thin Solid Films, Vol.451-452, pp.630-633 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20140120961A (ko) | 2014-10-15 |
| WO2014163367A1 (ko) | 2014-10-09 |
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