KR101461197B1 - 방열 구조의 cof 형 반도체칩 패키지 - Google Patents

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Abstract

COF 형 반도체칩 패키지는, 필름 상에 놓여져 범프에 의해 전극패턴과 접속되어 있는 단일층의 반도체칩을 구비한다. 반도체칩과 필름 사이에는 제1방열수지층이 도포되어 있고, 필름 상의 반도체칩의 측면에는 제2방열수지층이 도포되어 있다. 제2방열수지층은 반도체칩의 상면이 외부로 노출되도록 도포된다. 이에 따르면, 방열 효과를 높일 수 있으면서도 검사 단계에서 양부 판정의 오류가 유발되지 않는다. 또한, 발열이 큰 칩 측면 부위에서의 집중적인 방열이 가능하게 되며, 칩 측면의 방열수지가 전기적인 쇼트의 우려가 없으면서도 Al 또는 Cu 와 같은 열전도성 물질을 함유하도록 구성할 수 있어 방열효과를 극대화시킬 수 있다.

Description

방열 구조의 COF 형 반도체칩 패키지 {COF Type Semiconductor Chip Package with Heat-Radiation Construction}
본 발명은 방열 구조의 COF 형 반도체칩 패키지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, COF 형 반도체칩 패키지에서 칩 측면으로의 방열 성능을 높이면서도 쇼트의 우려가 없는 방열구조의 반도체칩 패키지에 관한 것이다.
COF 형 반도체칩 패키지는 폴리이미드 필름상에 칩을 장착하여 패키징을 한 반도체칩 패키지로서, 패키징된 반도체칩에 대한 내구성을 보장하고 칩의 오동작을 방지하기 위해서는 반도체칩의 동작 중에 발생하는 열을 효과적으로 방열하는 구조가 패키징 단계에서 강구되어야 한다. 방열 구조를 제공하기 위해서, 통상적으로 반도체칩과 필름 사이에 방열수지를 도포하는 방식이 사용되고 있다. 이는 반도체칩의 하면으로 방열을 하므로 반도체칩의 상면에서의 방열 효과를 높이기 위하여 이와 더불어 반도체칩의 상부에 방열수지를 도포하기도 한다.
그런데, 반도체칩의 상면에 방열수지를 도포하는 방식은, 패키징 공정 완료 후 검사(Inspection) 단계에서의 검사 오류를 야기할 우려가 있다. 즉, 검사 단계는 통상적으로 패키징된 반도체칩을 필름의 상면에서 촬상하여 그 장착 위치가 정확한지 여부 등을 표준 데이터와 비교함으로써 이루어지는데, 검사를 위한 촬상 과정에서 반도체칩 상면에 도포된 방열수지에 의하여 칩의 장착 상태가 명확한 이미지로서 검출되지 못하는 경우가 발생한다. 따라서 이 경우 정상인 패키지에 대해 불량으로 판단할 우려가 있고, 반면에 이러한 점을 고려하여 검사의 정밀도를 낮게 설정하는 경우 불량인 패키지에 대해 정상으로 판단할 우려가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 방열 효과를 높일 수 있으면서도 검사 단계에서 양부 판정의 오류가 유발되지 않는 COF 형 반도체칩 패키지의 방열구조를 제시하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 필름, 상기 필름 상에 형성된 전극패턴, 및 상기 필름 상에 놓여져 범프에 의해 상기 전극패턴과 접속되어 있는 단일층의 반도체칩을 구비한 COF 형 반도체칩 패키지에 있어서, 상기 반도체칩과 상기 필름 사이에 도포된 제1방열수지층; 및 상기 필름 상에 도포되되, 상기 반도체칩의 측면에 접하도록 도포되고 상기 반도체칩의 상면은 외부로 노출되도록 도포된 제2방열수지층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 COF 형 반도체칩 패키지를 제안한다.
상기 제1방열수지층은 절연층으로 구성되고, 상기 제2방열층수지층은 열전도성 물질을 함유하도록 구성된다. 상기 열전도성 물질은 Al 또는 Cu 일 수 있다.
상기 제2방열수지층은 상기 범프 및 상기 전극패턴으로부터 이격되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 방열 효과를 높일 수 있으면서도 검사 단계에서 양부 판정의 오류가 유발되지 않는다. 또한, 발열이 큰 칩 측면 부위에서의 집중적인 방열이 가능하게 되며, 칩 측면의 방열수지가 전기적인 쇼트의 우려가 없으면서도 Al 또는 Cu 와 같은 열전도성 물질을 함유하도록 구성할 수 있어 방열효과를 극대화시킬 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 COF 형 반도체칩 패키지의 측단면도이다.
이하에서는 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
도 1 은 본 발명에 따른 COF 형 반도체칩 패키지의 측단면도이다. 본 발명에 따른 COF 형 반도체칩 패키지는 폴리이미드 재질의 필름(10), 필름(10) 상에 형성된 전극패턴(20), 및 필름(10) 상에 놓여져 범프(40)에 의해 전극패턴(20)과 접속되어 있는 반도체칩(50)을 구비한다. 이는 COF 형 반도체칩 패키지의 통상적인 구조와 동일하나, 본 발명에서는 반도체칩(50)의 단일의 층으로 구성된 경우에 대해 국한하여 2층 또는 다층 구조로 반도체칩이 적층되어 설치되는 패키지는 본 발명에서 제외한다.
본 발명에 따른 COF 형 반도체칩 패키지는, 반도체칩(50)과 필름(10) 사이에 도포된 제1방열수지층(110), 및 필름(10) 상에서 반도체칩(50)의 측면에 도포된 제2방열수지층(120)을 구비한다.
제1방열수지층(110)은 반도체칩(50)에서 발생된 열을 필름(10) 하부로 방출하는 기능을 한다. 이때 제1방열수지층(110)은 절연 재질로만 이루어진 방열수지로 구성된다.
제2방열수지층(120)은 필름(10) 상에서 반도체칩(50)의 측면에 접하도록 도포되고 또한 반도체칩(50)의 상면은 외부로 노출되도록 도포된다. 방열 효과를 높이기 위하여, 제2방열층수지층(120)은 열전도성 물질을 함유하도록 구성된다. 여기에서 열전도성 물질은 Al 또는 Cu 일 수 있다.
이와 같은 구조의 COF 형 반도체칩 패키지는 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 제1방열수지층(110)과 제2방열수지층(120)의 이중 방열 구조에 의하여 반도체칩(50)의 하면과 측면에서의 방열이 효과적으로 이루어진다. 또한 반도체칩(50)의 상면에서는 공기와의 직접 접촉에 의해 방열이 이루어지는데, 반도체칩(50)의 상면에 방열수지가 도포되어 있지 않으므로 반도체칩(50)의 패키징이 완료된 후 검사 단계에서 전술한 바와 같이 방열수지에 의한 촬상 이미지 훼손이 발생하지 않아 검사의 신뢰도가 높이지게 된다.
또한, 본 발명에 의하면 발열이 큰 부위에서의 집중적인 방열이 가능하게 된다. 즉, 반도체칩(50)은 상면에서 발생되는 열보다 측면에서 발생되는 열이 통상적으로 더 많은데, 이와 같이 열이 많이 발생되는 반도체칩(50) 측면에 제2방열수지층(120)을 형성함으로써 방열 효과를 집중시킬 수 있다.
또한, 본 발명에서는 제1방열수지층(110)과 제2방열수지층(120)이 별도의 공정에 의해 개별적으로 형성되므로, 제1방열수지층(110)과 제2방열수지층(120)의 재질을 다르게 할 수 있으며 또한 제2방열수지층(120)을 범프(40) 및 전극패턴(20)들과 이격되도록 구성할 수 있다. 이러한 상황에서, 전술한 바와 같이 제1방열수지층(110)은 절연 재질로만 구성되므로 제1방열수지층(110)과 접하게 되는 전극패턴(20)들간 또는 범프(40)들 간의 쇼트를 유발하지 않도록 구성할 수 있고, 반면에 제2방열수지층(120)은 전기적인 쇼트의 우려가 없으면서도 Al 또는 Cu 와 같은 열전도성 물질을 함유하도록 구성할 수 있어 방열효과를 극대화시킬 수 있다.
10 : 필름 20 : 전극패턴
30 : 솔더레지스트 40 : 범프
50 : 반도체칩 110 : 제1방열수지층
120 : 제2방열수지층

Claims (5)

  1. 필름, 상기 필름 상에 형성된 전극패턴, 및 상기 필름 상에 놓여져 범프에 의해 상기 전극패턴과 접속되어 있는 단일층의 반도체칩을 구비한 COF 형 반도체칩 패키지에 있어서,
    상기 반도체칩과 상기 필름 사이에 도포된 제1방열수지층; 및
    상기 필름 상에 도포되되, 상기 반도체칩의 측면에 접하도록 도포되고 상기 반도체칩의 상면은 외부로 노출되도록 도포된 제2방열수지층;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 COF 형 반도체칩 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1방열수지층은 절연층인 것을 특징으로 하는 COF 형 반도체칩 패키지.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제2방열수지층은 열전도성 물질을 함유하는 것을 특징으로 하는 COF 형 반도체칩 패키지.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 열전도성 물질은 Al 또는 Cu 인 것을 특징으로 하는 COF 형 반도체칩 패키지.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제2방열수지층은 상기 범프 및 상기 전극패턴으로부터 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 COF 형 반도체칩 패키지.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101670392B1 (ko) * 2015-03-17 2016-10-31 매그나칩 반도체 유한회사 방열 반도체 소자 패키지 및 그 방법
US10249552B2 (en) 2017-02-22 2019-04-02 Jmj Korea Co., Ltd. Semiconductor package having double-sided heat dissipation structure
CN112420629A (zh) * 2019-08-20 2021-02-26 英飞凌科技股份有限公司 功率半导体封装体和用于制造功率半导体封装体的方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004221107A (ja) 2003-01-09 2004-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
KR20100050675A (ko) * 2008-11-06 2010-05-14 스테코 주식회사 Ｃｏｆ 패키지 및 그의 제조 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004221107A (ja) 2003-01-09 2004-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
KR20100050675A (ko) * 2008-11-06 2010-05-14 스테코 주식회사 Ｃｏｆ 패키지 및 그의 제조 방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101670392B1 (ko) * 2015-03-17 2016-10-31 매그나칩 반도체 유한회사 방열 반도체 소자 패키지 및 그 방법
US10249552B2 (en) 2017-02-22 2019-04-02 Jmj Korea Co., Ltd. Semiconductor package having double-sided heat dissipation structure
DE112018000108T5 (de) 2017-02-22 2019-05-29 Jmj Korea Co., Ltd. Halbleiterverpackung mit einer doppelseitigen Wärmeableitungsstruktur
CN112420629A (zh) * 2019-08-20 2021-02-26 英飞凌科技股份有限公司 功率半导体封装体和用于制造功率半导体封装体的方法

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