KR101458167B1

KR101458167B1 - Seal structure for gate valve

Info

Publication number: KR101458167B1
Application number: KR1020127019052A
Authority: KR
Inventors: 히데히코 요시다
Original assignee: 이리에 고켕 가부시키가이샤
Priority date: 2010-02-26
Filing date: 2010-02-26
Publication date: 2014-11-03
Also published as: CN102762905A; CN102762905B; KR20120118847A; JP5514893B2; JPWO2011104861A1; WO2011104861A1

Abstract

콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능이 좋은 게이트 밸브를 얻는 데에 적합한 게이트 밸브의 시일 구조를 제공한다. 시트형상 부재(W)를 끼워넣어 시일하는 게이트 밸브(GV)는 밀어붙임면(1)을 가지는 밀어붙임부재(2); 밀어붙임면(1)에 대향하는 받침면(3)을 가지는 받침 부재(4); 받침면(3)으로 일단이 개구된 게이트(5); 게이트(5)의 개구단 주위의 간극을 시일하는 환상의 제1 시일재(6); 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙인 상태에서 보아 제1 시일재(6)에 인접하는 제2 시일재(7); 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때에 그 밀어붙임면(1), 받침면(3), 제1 및 제2 시일재(6, 7)와 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)에 의해 둘러싸이는 공간(8); 공간(8)에 연통하는 차동 배기 통로(9);를 가지며, 이 공간(8)은 차동 배기 통로(9)를 통해 배기됨으로써 시트형상 부재(W) 주위의 미소 간극을 차동 배기에 의해 시일하는 차동 배기 시일의 차압실이 된다.A seal structure of a gate valve suitable for obtaining a gate valve having a good sealing performance in a compact device configuration is provided. The gate valve (GV) for sealing and sealing the sheet-like member (W) comprises a pushing member (2) having a pushing surface (1); A receiving member (4) having a receiving surface (3) facing the pushing surface (1); A gate (5) whose one end is open to the receiving surface (3); An annular first sealing material (6) for sealing the gap around the opening end of the gate (5); A second sealing material (7) adjacent to the first sealing material (6) when the pushing surface (1) is pressed against the receiving surface (3); When the pushing face 1 is pushed against the receiving face 3, the pushing face 1, the receiving face 3, the first and second sealing materials 6 and 7, A space 8 surrounded by the sheet-like member W; And a differential exhaust passage 9 communicating with the space 8. This space 8 is exhausted through the differential exhaust passage 9 to seal the minute clearance around the sheet-like member W by differential exhaust Pressure chamber of the differential exhaust seal.

Description

[0001] SEAL STRUCTURE FOR GATE VALVE [0002]

본 발명은 전자 페이퍼, 유기EL, 박막 태양 전지, 액정 표시 장치의 컬러 필터 등의 베이스 기재, 기타 시트형상 부재를 끼워넣어 시일하는 게이트 밸브의 시일 구조에 관한 것으로, 특히 콤팩트한 기기 구성으로 게이트 밸브의 시일 성능의 향상을 도모할 수 있도록 한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sealing structure of a gate valve for sealing an electronic paper, an organic EL, a thin film solar cell, a base substrate such as a color filter of a liquid crystal display device and other sheet- Thereby improving the sealing performance of the sealing member.

도 12는 전술한 시트형상 부재를 진공 챔버나 밀폐 챔버(이하, 모두 「챔버」라고 함) 내로 간헐적으로 이송하고, 동 챔버 내에서 정지한 시트형상 부재의 부재면에 PVD나 CVD 등의 가공을 실시하는 예를 들면 진공 가공 장치의 개념도이다.12 is a cross-sectional view of a sheet-like member intermittently fed into a vacuum chamber or a closed chamber (hereinafter, all referred to as " chamber ") and subjected to processing such as PVD or CVD on the member surface of the sheet- Fig. 3 is a conceptual view of an example of a vacuum processing apparatus.

도 12의 진공 가공 장치는, 진공 펌프에 의해 진공 상태가 되는 챔버의 출입구에 게이트 밸브를 설치하고 있다. 이 게이트 밸브는 시트형상 부재를 끼워넣어 그 부재면을 시일함으로써 챔버 내와 그 외부를 구획하여 챔버 내를 진공으로 유지할 수 있도록 하고 있다. 이러한 기능·구성을 구비한 게이트 밸브에 대해서는, 예를 들면 특허문헌 1(동 문헌 1의 도 2 및 도 3 참조)에 개시되어 있다.In the vacuum processing apparatus of Fig. 12, a gate valve is provided at an entrance of a chamber which is brought into a vacuum state by a vacuum pump. The gate valve seals the member surface by inserting the sheet-like member and divides the inside and the outside of the chamber so that the inside of the chamber can be kept in a vacuum. A gate valve having such a function and configuration is disclosed in, for example, Patent Document 1 (see Figs. 2 and 3 of the same document 1).

동 문헌 1에 개시된 게이트 밸브(이하, 「종래의 게이트 밸브」라고 함)는 시트형상 부재를 삽입 통과시키는 탄성 통체(35)와, 탄성 통체(35)를 직경방향으로 탄성 변형시키는 상하의 피스톤(71A, 71B)을 구비하고 있다(동 문헌의 도 2 및 도 3 참조). 그리고, 이 게이트 밸브에서는 상하의 피스톤(71A, 71B)으로 탄성 통체(35)를 안쪽으로 휘어지게 하고, 휘어진 탄성 통체(35)로 시트형상 부재(10)를 끼워넣으며, 끼워넣은 시트형상 부재(10)의 부재 양면을 탄성 통체(35)의 내면에 의해 시일하도록 하고 있다.(Hereinafter referred to as a "conventional gate valve") includes an elastic cylinder 35 for inserting a sheet-like member therethrough, an upper and a lower piston 71A for elastically deforming the elastic cylinder 35 in the radial direction, , 71B (see Figs. 2 and 3 of the same document). In this gate valve, the elastic cylinders 35 are bent inward by the upper and lower pistons 71A and 71B, the sheet-like member 10 is sandwiched by the bent elastic cylinders 35, and the inserted sheet- Is sealed by the inner surface of the elastic body 35. [0064]

그러나, 종래의 게이트 밸브에서는 탄성 통체(35)로 시트형상 부재(10)를 끼워넣었을 때, 탄성 통체(35)의 상하에 경도차가 없어 시트형상 부재가 변형되는 경우가 있고, 또한 탄성 통체(35)는 상부 피스톤(71A)과 하부 피스톤(71B)에 각각 접속하고 있어야 하므로, 유지보수 등으로 탄성 통체(35)의 교환이 필요하게 된 경우, 교환에는 매우 수고를 필요로 한다. 또한, 탄성 통체(35)로 시트형상 부재(10)를 끼워넣었을 때에 탄성 통체(35)와 시트형상 부재(10)의 양단에는 반드시 미소 간극이 생겨, 챔버 양 옆의 게이트 밸브 2대로 챔버 내부를 고진공으로 하기는 어렵다.However, in the conventional gate valve, when the sheet-like member 10 is sandwiched between the elastic cylinders 35, there is a difference in hardness between the upper and lower sides of the elastic cylinder 35, Must be connected to the upper piston 71A and the lower piston 71B, respectively. Therefore, when replacement of the elastic cylinder 35 is required for maintenance or the like, replacement is very laborious. When the sheet-like member 10 is sandwiched by the elastic cylinder 35, a small clearance is always formed at both ends of the elastic cylinder 35 and the sheet-like member 10, It is difficult to make high vacuum.

챔버 내의 고진공을 유지하는 수단으로서, 챔버에 구비한 게이트 밸브와는 별도로 차동 배기 챔버와 게이트 밸브 및 진공 펌프를 추가하여 차동 배기하는 것도 생각할 수 있는데, 그 추가에 의해 장치 기기 구성이 대규모가 되어 버리는 결점이 있다.As a means for maintaining a high vacuum in the chamber, it is also conceivable to additionally provide a differential exhaust chamber, a gate valve and a vacuum pump separately from the gate valve provided in the chamber to perform differential evacuation. There are drawbacks.

상기 괄호 안의 부호는 특허문헌 1에서 이용되고 있는 부호이다.The reference numerals in parentheses are those used in Patent Document 1.

특허문헌 1: 일본공개특허 2009-30754호 공보Patent Document 1: JP-A-2009-30754

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은 콤팩트한 기기 구성으로 시일성 및 유지보수성이 좋은 게이트 밸브를 얻는 데에 적합한 게이트 밸브의 시일 구조를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a gate structure of a gate valve suitable for obtaining a gate valve having a compact construction and good maintenance and maintenance.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 시트형상 부재를 끼워넣어 시일하는 게이트 밸브의 시일 구조로서, 밀어붙임면을 가지는 밀어붙임부재; 상기 밀어붙임면에 대향하는 받침면을 가지는 받침 부재; 상기 받침면으로 일단이 개구된 게이트; 상기 받침면과 밀어붙임면의 사이에 개재되고, 게이트의 개구단 주위의 간극을 시일하는 환상의 제1 시일재; 상기 밀어붙임면을 받침면에 밀어붙인 상태로 보아 상기 제1 시일재에 인접하는 제2 시일재; 상기 밀어붙임면을 상기 받침면에 밀어붙였을 때에 그 밀어붙임면, 받침면, 상기 제1 및 제2 시일재, 및 상기 게이트에 통과된 시트형상 부재에 의해 둘러싸이는 공간; 상기 공간에 연통(連通)하는 차동(差動) 배기 통로;를 가지며, 상기 공간은, 상기 차동 배기 통로를 통해 배기됨으로써 시트형상 부재 주위의 미소 간극을 차동 배기에 의해 시일하는 차동 배기 시일의 차압실(差壓室)이 되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a seal structure for a gate valve which seals and seals a sheet-like member, comprising: a pushing member having a pushing face; A receiving member having a receiving surface opposite to the pushing surface; A gate whose one end is open to the receiving surface; An annular first seal member interposed between the supporting surface and the pushing surface and sealing the gap around the opening end of the gate; A second seal member adjacent to the first seal member when the push-in surface is pressed against the support surface; A space surrounded by the push-in surface, the support surface, the first and second seal members, and the sheet-like member passed through the gate when the push-out surface is pressed against the support surface; And a differential exhaust passage communicating with the space, wherein the space is exhausted through the differential exhaust passage so that differential pressure in the differential exhaust seal for sealing the minute clearance around the sheet- Thereby forming a differential pressure chamber.

본 발명에 있어서, 제1 시일재는 밀어붙임면에 장착되고, 제2 시일재는 그 제1 시일재에 인접하여 같은 밀어붙임면에 장착되는 구성, 또는 제1 시일재는 받침면에 장착되고, 제2 시일재는 그 제1 시일재에 인접하여 같은 받침면에 장착되는 구성을 채용할 수 있다.In the present invention, it is preferable that the first sealing material is mounted on the pushing surface and the second sealing material is mounted on the same pushing surface adjacent to the first sealing material, or the first sealing material is mounted on the receiving surface, The sealing material may be mounted on the same supporting surface adjacent to the first sealing material.

본 발명에 있어서, 제1 시일재는 밀어붙임면에 장착되고, 제2 시일재는 받침면에 장착되어 있으며, 밀어붙임면을 받침면에 밀어붙인 단계에서 받침면의 제2 시일재가 밀어붙임면의 제1 시일재에 인접하여 배치되는 구성, 또는 제1 시일재는 받침면에 장착되고, 제2 시일재는 밀어붙임면에 장착되어 있으며, 밀어붙임면을 받침면에 밀어붙인한 단계에서 밀어붙임면의 제2 시일재가 받침면의 제1 시일재에 인접하여 배치되는 구성을 채용할 수도 있다.In the present invention, the first seal member is mounted on the push-in surface, the second seal member is mounted on the support surface, and when the push-in surface is pressed against the support surface, the second seal member of the support surface The first sealing member is mounted on the supporting surface, and the second sealing member is mounted on the pressing surface, and when the pushing surface is pressed against the supporting surface, 2 sealing material may be disposed adjacent to the first sealing material on the supporting surface.

본 발명에 있어서, 밀어붙임면과 받침면은 게이트에 통과된 시트형상 부재의 부재면과 대략 평행한 면 및 그 부재면에 대해 경사진 면을 가지며, 또한 각각의 대략 평행한 면끼리 대향하고 각각의 경사진 면끼리 대향하도록 되어 있어, 제1 시일재는 밀어붙임면 또는 받침면의 경사진 면에 장착되고, 제2 시일재는 밀어붙임면 또는 받침면의 대략 평행한 면에 장착되는 구성을 채용해도 된다.In the present invention, the push-up surface and the support surface have a surface substantially parallel to the member surface of the sheet-like member passed through the gate and a surface inclined with respect to the member surface, and the respective substantially parallel surfaces face each other So that the first sealing material is mounted on the slant face of the pushing face or the receiving face and the second sealing material is mounted on the substantially parallel face of the pushing face or the receiving face do.

본 발명에 있어서, 상기 경사진 면은 평면으로 할 수 있다.In the present invention, the inclined surface may be plane.

본 발명에 있어서는 상기 구성의 채용에 의해 이하의 작용 효과가 얻어진다.In the present invention, the following actions and effects are obtained by employing the above configuration.

(1) 제1 시일재에 의해 게이트의 개구단 주위의 간극을 시일함과 동시에, 게이트에 통과된 시트형상 부재 주위의 미소 간극을 차동 배기에 의해 시일하므로, 게이트 밸브와는 별도로 차동 배기 장치를 설치할 필요가 없어 콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능이 좋은 게이트 밸브를 얻을 수 있다.(1) Since the gap around the opening end of the gate is sealed by the first sealant and the minute gap around the sheet-like member passed through the gate is sealed by the differential exhaust, a differential exhaust system There is no need to install a gate valve having a good sealing performance in a compact device configuration.

(2) 또한, 밀어붙임면 또는 받침면의 경사진 면에 제1 시일재가 장착되는 구성에 있어서, 그 경사진 면을 평면으로 하는 구성에 의하면, 제1 시일재로서 저렴한 시판의 0링을 사용할 수 있는 점 및 그러한 평면에 제1 시일재를 장착하는 수단으로서 더브테일(dovetail) 홈과 같은 시일 홈을 이용하면, 시일 홈은 평면에 가공하면 되므로, 간단하면서 저렴하게 시일 홈을 형성할 수 있는 점에서 게이트 밸브 전체의 비용 절감을 도모할 수 있다.(2) Further, in the configuration in which the first sealing material is mounted on the inclined face of the pushing face or the receiving face and the inclined face is flat, an inexpensive commercial O ring is used as the first sealing material And a seal groove such as a dovetail groove is used as a means for mounting the first seal material on such a plane, the seal groove can be formed in a flat surface, and therefore, a seal groove can be formed simply and inexpensively The cost of the gate valve as a whole can be reduced.

(3) 또, 밀어붙임면 또는 받침면의 경사진 면에 제1 시일재가 장착되는 구성에 있어서, 그 경사진 면을 평면으로 하는 구성에 의하면, 제1 시일재는 평면에 배치되므로 제1 시일재를 분리하여 점검하거나 교환하거나 하는 등의 유지보수 작업이 용이하여 게이트 밸브의 유지보수성의 향상도 도모할 수 있다.(3) In the configuration in which the first sealing material is mounted on the inclined face of the pushing face or the receiving face, the first sealing material is arranged on the plane, It is easy to perform the maintenance work such as checking or replacing the gate valve, thereby improving maintenance of the gate valve.

도 1은 본 발명을 적용한 게이트 밸브(개방 상태)의 단면도.
도 2는 도 1의 게이트 밸브가 폐쇄 상태일 때의 단면도.
도 3은 도 1의 게이트 밸브에 있어서, 차동 배기 시일의 차압실이 되는 공간 및 받침면의 대략 평행한 평면과 경사진 평면간의 경계부의 설명도.
도 4는 도 1의 게이트 밸브를 구성하는 밀어붙임부재의 평면도.
도 5는 도 1의 게이트 밸브를 구성하는 받침 부재의 평면도.
도 6은 도 1의 게이트 밸브를 구성하는 제1 및 제2 시일재, 차동 배기 통로, 시트형상 부재의 위치 관계의 설명도.
도 7은 도 3의 A-A화살표에서 본 단면 확대도.
도 8은 제2 시일재의 다른 실시형태의 설명도.
도 9는 본 발명의 다른 실시형태의 설명도.
도 10은 본 발명의 다른 실시형태의 설명도.
도 11은 본 발명의 다른 실시형태의 설명도.
도 12는 게이트 밸브 부착 진공 챔버를 가지는 진공 가공 장치의 개념도.1 is a sectional view of a gate valve (open state) to which the present invention is applied;
Fig. 2 is a cross-sectional view of the gate valve of Fig. 1 when in a closed state; Fig.
Fig. 3 is an explanatory diagram of a space for forming a differential pressure chamber of the differential exhaust seal in the gate valve of Fig. 1 and a boundary portion between a substantially parallel plane and an inclined plane of the bearing surface; Fig.
4 is a plan view of a push-up member constituting the gate valve of Fig.
5 is a plan view of a supporting member constituting the gate valve of FIG.
Fig. 6 is an explanatory diagram of the positional relationship between the first and second sealing members, the differential exhaust passage, and the sheet-like member constituting the gate valve of Fig. 1; Fig.
FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line AA in FIG. 3; FIG.
8 is an explanatory diagram of another embodiment of the second seal member.
9 is an explanatory diagram of another embodiment of the present invention.
10 is an explanatory diagram of another embodiment of the present invention.
11 is an explanatory diagram of another embodiment of the present invention.
12 is a conceptual view of a vacuum processing apparatus having a vacuum chamber with a gate valve.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대해 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명을 적용한 게이트 밸브(개방 상태)의 단면도, 도 2는 도 1의 게이트 밸브가 폐쇄 상태일 때의 단면도, 도 3은 도 1의 게이트 밸브에 있어서, 차동 배기 시일의 차압실이 되는 공간 및 받침면의 대략 평행한 평면과 경사진 평면간의 경계부의 설명도, 도 4는 도 1의 게이트 밸브를 구성하는 밀어붙임부재의 평면도, 도 5는 도 1의 게이트 밸브를 구성하는 받침 부재의 평면도, 도 6은 도 1의 게이트 밸브를 구성하는 제1 및 제2 시일재와 차동 배기 통로와 시트형상 부재의 위치 관계의 설명도이다.Fig. 1 is a cross-sectional view of a gate valve (open state) to which the present invention is applied, Fig. 2 is a cross sectional view when the gate valve is closed in Fig. 1, Fig. 4 is a plan view of the push-up member constituting the gate valve of Fig. 1, Fig. 5 is a plan view of the supporting member constituting the gate valve of Fig. 1, Fig. Fig. 6 is an explanatory diagram of the positional relationship between the first and second sealing members, the differential exhaust passage, and the sheet-like member constituting the gate valve of Fig.

<도 1의 게이트 밸브(GV)의 개요><Outline of Gate Valve (GV) in FIG. 1>

도 1의 본 게이트 밸브(GV)는 시트형상 부재(W)를 끼워넣어 시일하는 게이트 밸브로서, 밀어붙임면(1)을 가지는 밀어붙임부재(2); 밀어붙임면(1)에 대향하는 받침면(3)을 가지는 받침 부재(4); 받침면(3)으로 일단이 개구된 게이트(5); 밀어붙임면(1)과 받침면(3)의 사이에 개재되고, 게이트(5)의 개구단 주위의 간극을 시일하는 환상의 제1 시일재(6); 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙인 상태(도 2 참조)에서 보아 제1 시일재(6)에 인접하는 제2 시일재(7); 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때에 그 밀어붙임면(1), 받침면(3), 제1 및 제2 시일재(6, 7)와 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)에 의해 둘러싸이는 공간(8)(도 2 및 도 3 참조); 이 공간(8)에 연통하는 차동 배기 통로(9);를 갖고 있다. 그리고, 상기 공간(8)은 차동 배기 통로(9)를 통해 배기됨으로써 시트형상 부재(W) 주위의 미소 간극(G)(도 7 참조)을 차동 배기에 의해 시일하는 차동 배기 시일의 차압실이 된다.The gate valve (GV) shown in Fig. 1 is a gate valve for sealing and sealing the sheet-like member W, and includes a push-up member 2 having a push-in surface 1; A receiving member (4) having a receiving surface (3) facing the pushing surface (1); A gate (5) whose one end is open to the receiving surface (3); An annular first sealing material (6) interposed between the pushing surface (1) and the receiving surface (3) and sealing the gap around the opening end of the gate (5); A second sealing material 7 adjacent to the first sealing material 6 when the pushing surface 1 is pushed against the receiving surface 3 (see Fig. 2); When the pushing face 1 is pushed against the receiving face 3, the pushing face 1, the receiving face 3, the first and second sealing materials 6 and 7, A space 8 (see Figs. 2 and 3) surrounded by the sheet-like member W; And a differential exhaust passage (9) communicating with the space (8). The space 8 is evacuated through the differential exhaust passage 9 so that the differential pressure chamber of the differential exhaust seal for sealing the minute gap G (see FIG. 7) around the sheet-like member W do.

<밀어붙임부재(2), 받침 부재(4)의 상세><Details of the pushing member 2 and the receiving member 4>

밀어붙임부재(2)의 밀어붙임면(1)과 받침 부재(4)의 받침면(3)은 모두 도 1과 같이 시트형상 부재(W)의 부재면(W1 또는 W2)과 대략 평행한 평면(1A, 3A) 및 그 시트형상 부재(W)의 부재면(W1 또는 W2)에 대해 경사진 평면(1B, 3B)을 가지며, 또한 각각의 대략 평행한 평면(1A, 3A)끼리 서로 대향하고 각각의 경사진 평면(1B, 3B)끼리 서로 대향하게 되어 있다.The pushing face 1 of the pushing member 2 and the receiving face 3 of the receiving member 4 are both formed in a plane substantially parallel to the member face W1 or W2 of the sheet- 3B having inclined planes 1B and 3B with respect to the member faces W1 and W2 of the sheet members W and 1A and 3A and the respective substantially parallel planes 1A and 3A are opposed to each other And the respective inclined planes 1B and 3B are opposed to each other.

도 3에 도시된 바와 같이, 받침면(3)의 대략 평행한 평면(3A)과 경사진 평면(3B)간의 경계부(3C)에는 제1 시일재(6)의 일부 선단이 접촉한다. 이 때문에, 경계부(3C)가 각면(角面)으로 되어 있으면 제1 시일재(6)가 파손되기 쉬우므로, 본 게이트 밸브(GV)에서는 이러한 경계부(3C)를 제1 시일재(6) 선단의 곡면보다 큰 곡률 반경의 곡면이 되도록 형성하고 있다. 이러한 경계부(3C)는 제1 시일재(6) 선단의 곡면과 동등한 곡률 반경의 곡면이 되도록 형성해도 된다.3, a front end portion of the first sealing material 6 is in contact with a boundary portion 3C between the substantially parallel plane 3A of the receiving surface 3 and the inclined plane 3B. Therefore, in the present gate valve GV, the boundary portion 3C is located at the front end of the first sealing material 6, The radius of curvature of the curved surface is larger than that of the curved surface. The boundary portion 3C may be formed so as to be a curved surface having a radius of curvature equivalent to the curved surface of the tip end of the first sealing material 6. [

밀어붙임면(1)의 경사진 평면(1B)에는, 제1 시일재(6)의 장착 수단의 일례로서 더브테일 홈으로 이루어지는 시일 홈(10)(도 3 참조)이 환상으로 형성되어 있다. 이러한 환상의 시일 홈(10)의 형성 가공은 평면(1B)에 대해 행해지므로 용이하고 저렴하여 게이트 밸브(GV) 전체의 비용 절감에 크게 기여한다. 또한, 밀어붙임면(1)의 대략 평행한 평면(1A)에는 제2 시일재(7)의 장착 수단의 일례로서 더브테일 홈으로 이루어지는 시일 홈(11)이 형성되어 있다. 이 시일 홈(11)의 형성 가공도 평면(1A)에 대해 행해지므로 용이하고 저렴하다.A sealing groove 10 (see Fig. 3) formed by a dub tail groove as an example of a mounting means of the first sealing material 6 is annularly formed on the inclined plane 1B of the push- Such formation of the annular seal groove 10 is performed with respect to the plane 1B, which is easy and inexpensive, and contributes greatly to cost reduction of the entire gate valve GV. A sealing groove 11 made of a dovetail groove as an example of a mounting means of the second sealing material 7 is formed on a substantially parallel plane 1A of the pushing face 1. [ The formation of the seal groove 11 is also easy and inexpensive because it is performed with respect to the plane 1A.

밀어붙임부재(2)는 승강축(12)의 선단에 장착되어 있고, 승강축(12)의 상승 동작에 의해 밀어붙임부재(2)의 밀어붙임면(1)은 받침 부재(4)의 받침면(3)에 밀어붙여진다. 또한, 그 승강축(12)의 하강 동작에 의해 밀어붙임부재(2)의 밀어붙임면(1)은 받침 부재(4)의 받침면(3)으로부터 떨어지게 되어 있다.The pushing member 2 is mounted on the tip end of the lifting shaft 12 and the pushing surface 1 of the lifting member 2 is lifted by the lifting action of the lifting shaft 12, Is pressed against the surface (3). The pushing face 1 of the pushing member 2 is separated from the receiving face 3 of the receiving member 4 by the lowering operation of the lifting shaft 12. [

<게이트(5)의 상세><Details of Gate 5>

게이트(5)는 받침 부재(4)의 후면으로부터 받침면(3)의 경사진 평면(3B)으로 향하여 수평으로 형성한 구멍으로 이루어지고, 저압실(예를 들면, 고진공실)과 고압실(예를 들면, 대기압실) 등과 같이 압력차가 있는 2개의 실을 연결하는 통로로서 기능한다. 한쪽의 실에 위치하는 시트형상 부재(W)는 이 게이트(5)를 통과함으로써 다른 쪽의 실로 진행할 수 있다. 다른 쪽의 실로부터 한쪽의 실로 진행하는 경우도 마찬가지이다. 또한, 받침면(3)으로 개구되어 있는 게이트(5)의 일단은 받침면(3)의 대략 평행한 평면(3A)에 대해 단차 없이 평평하게 연속하도록 형성되어 있다.The gate 5 is a hole horizontally formed from the rear surface of the receiving member 4 to the inclined plane 3B of the receiving surface 3 and is formed of a low pressure chamber (for example, a high vacuum chamber) For example, an atmospheric pressure chamber), and the like. The sheet-like member W positioned in one of the yarns can pass through the gate 5 and can advance to the other yarn. The same applies to the case of going from one yarn to another yarn. One end of the gate 5 opened to the receiving surface 3 is formed so as to be continuous flat without a step with respect to the substantially parallel plane 3A of the receiving surface 3. [

본 게이트 밸브(GV)에서는, 도 1과 같이 받침면(3)으로 개구되어 있는 게이트(5)의 일단측이 고진공실로 연통하고, 동 게이트(5)의 타단측이 대기압실로 연통함으로써 고진공실과 대기압실이 게이트(5)를 통해 연결되는 구성 및 대기압실로부터 게이트(5)를 통해 고진공실로 시트형상 부재(W)가 이송되는 구성을 채용하고 있는데, 이들 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 게이트(5)의 일단측이 고진공실로 연통하고, 동 게이트(5)의 타단측이 대기압실로 연통하는 구성도 채용할 수 있다.1, the one end side of the gate 5 opened to the receiving surface 3 communicates with the high vacuum chamber and the other end side of the gate 5 communicates with the atmospheric pressure chamber, The configuration in which the yarn is connected via the gate 5 and the configuration in which the sheet-like member W is fed from the atmospheric pressure chamber to the high vacuum chamber through the gate 5 are adopted. For example, a configuration in which one end of the gate 5 communicates with the high vacuum chamber and the other end of the copper gate 5 communicates with the atmospheric pressure chamber may be employed.

<제1 시일재(6)의 상세>&Lt; Details of the first sealing material 6 &

제1 시일재(6)는 선단이 곡면으로 되어 있는 시판의 O링(도 4 참조)으로 이루어지고, 앞서 설명한 시일 홈(10)에 끼워넣음으로써 밀어붙임면(1)의 경사진 평면(1B)에 장착되어 있다. 이에 의해, 제1 시일재(6)는 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)의 부재면(W1 또는 W2)에 대해 경사지도록 설치되어 있다. 그리고, 본 게이트 밸브(GV)에서는, 도 2와 같이 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때, 그와 같이 경사져 있는 제1 시일재(6)의 상부가 시트형상 부재(W)의 한쪽 부재면(W1)에 접촉하도록 구성되어 있다. 상기 시일 홈(10)에 시일재를 도포하는 방법으로 제1 시일재(6)를 성형할 수도 있다.The first sealing material 6 is made of a commercially available O-ring having a curved front surface (see Fig. 4), and is inserted into the seal groove 10 described above to form the inclined plane 1B Respectively. The first sealing material 6 is provided so as to be inclined with respect to the member surface W1 or W2 of the sheet-like member W passed through the gate 5. [ In this gate valve GV, when the pushing face 1 is pressed against the receiving face 3 as shown in FIG. 2, the upper portion of the first sealing material 6 inclined in such a manner is pressed against the sheet- W to contact with one of the member surfaces W1. The first sealing material 6 may be formed by applying a sealing material to the sealing groove 10. [

또, 시판의 O링 이외의 시일재에서도 환상의 시일재이면 제1 시일재(6)로서 채용할 수 있다.In addition, an annular sealing material may be employed as the first sealing material 6 in sealing materials other than commercial O-rings.

<제2 시일재(7)의 상세><Details of the Second Seal Material 7>

제2 시일재(7)는 고무 등과 같은 탄성 부재로 이루어지고, 앞서 설명한 시일 홈(11)에 끼워넣음으로써 제1 시일재(6)에 인접하여 같은 밀어붙임면(1)의 대략 평행한 평면(1A)에 장착되어 있다. 이에 의해, 제2 시일재(7)는 시트형상 부재(W)의 부재면(W1 또는 W2)에 대해 대략 평행하게 되도록 설치되어 있다. 그리고, 본 게이트 밸브(GV)에서는, 도 2와 같이 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때, 그와 같이 대략 평행하게 되어 있는 제2 시일재(7)도 시트형상 부재(W)의 한쪽 부재면(W1)에 접촉하도록 구성되어 있다. 또, 상기 시일 홈(11)에 시일재를 도포하는 방법으로 제2 시일재(7)를 성형할 수도 있다.The second sealing material 7 is made of an elastic material such as rubber or the like and is fitted in the seal groove 11 described above so as to be adjacent to the first sealing material 6, (Not shown). Thus, the second sealing material 7 is provided so as to be substantially parallel to the member surface W1 or W2 of the sheet-like member W. [ In the present gate valve GV, when the pushing face 1 is pressed against the receiving face 3 as shown in Fig. 2, the second sealing material 7, which is substantially parallel to the pushing face 1, (W1) of the wafers (W). In addition, the second sealing material 7 may be formed by applying a sealing material to the sealing groove 11. [

또한, 제2 시일재(7)는, 도 6과 같이 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)의 폭방향 양측으로부터 충분히 밀려나오도록 형성되어 있다. 또, 이 제2 시일재(7)는, 도 4와 같이 양단(7A, 7B)이 굴곡되어 제1 시일재(6)의 측면에 연결됨으로써 제1 시일재(6)와의 사이에서 좁고 긴 간극(이하, 「시일재 간극(13)」이라고 함)을 형성하도록 되어 있다.The second sealing material 7 is formed so as to be sufficiently pushed out from both sides in the width direction of the sheet-like member W passed through the gate 5 as shown in Fig. The second sealing material 7 is bent at both ends 7A and 7B as shown in Fig. 4 and connected to the side surface of the first sealing material 6 to form a narrow gap (Hereinafter referred to as " sealing material gap 13 ").

본 게이트 밸브(GV)에서는, 게이트(5)에 시트형상 부재(W)를 통과시켜 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때, 상기 시일재 간극(13)의 상면이 받침면(3)과 시트형상 부재(W)의 부재면으로 닫힘으로써, 상기 공간(8)(도 3 참조), 즉 밀어붙임면(1), 받침면(3), 제1 및 제2 시일재(6, 7)와 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)에 의해 둘러싸이는 공간(8)이 형성되도록 구성되어 있다.In the present gate valve GV, when the sheet-like member W is passed through the gate 5 and the pressing surface 1 is pressed against the receiving surface 3, the upper surface of the sealing material gap 13 is pressed against the receiving surface 3), that is, the pushing surface 1, the receiving surface 3, the first and second sealing members 1 and 2 are closed by the surfaces of the surface 3 and the sheet- Like member W passing through the gate 6 and the gate 5 and the space 8 surrounded by the sheet-like member W passing through the gate 5 are formed.

<차동 배기 통로의 상세><Details of differential exhaust passage>

차동 배기 통로(9)는 도 1, 도 5에 도시된 바와 같이 받침 부재(4)에 형성한 배기 홈(9A)과 배기공(9B)에 의해 구성되어 있다.The differential exhaust passage 9 is constituted by an exhaust groove 9A and an exhaust hole 9B formed in the supporting member 4 as shown in Figs.

배기 홈(9A)은 받침면(3)의 대략 평행한 평면(3A)에 형성되고, 또한 도 6과 같이 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)의 폭방향 양측으로부터 충분히 밀려나오는 길이를 갖고 있다. 또한, 이 배기 홈(9A)은 앞서 설명한 시일재 간극(13)과 대향하도록 설치되어 있어, 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때에 도 6과 같이 시일재 간극(13)에 연통하게 되어 있다.The exhaust groove 9A is formed in a substantially parallel plane 3A of the receiving surface 3 and has a length sufficient to be pushed out from both sides in the width direction of the sheet- . The exhaust groove 9A is provided so as to face the sealing material gap 13 described above and when the pushing face 1 is pressed against the receiving face 3, Respectively.

배기공(9B)의 일단은 배기 홈(9A)으로 개구되고, 동 배기공(9B)의 타단은 도시하지 않은 배기 펌프에 접속되어 있다. 또한, 도 1의 게이트 밸브(GV)에서는 상기와 같은 배기 홈(9A)의 밀려나온 부분에 배기공(9B)의 일단이 개구되어 있는데(도 6 참조), 이 개구 위치에 한정되는 것은 아니다. 배기공(9B)의 일단은 배기 홈(9A)의 어느 위치로든 개구됨으로써 배기 홈(9A)에 연결되어 있으면 된다.One end of the exhaust hole 9B is open to the exhaust groove 9A and the other end of the exhaust hole 9B is connected to an exhaust pump not shown. In the gate valve GV of Fig. 1, one end of the exhaust hole 9B is opened at the portion where the exhaust groove 9A is pushed out as described above (see Fig. 6), but the present invention is not limited to this opening position. One end of the exhaust hole 9B may be connected to the exhaust groove 9A by being opened to any position of the exhaust groove 9A.

<게이트 밸브(GV)의 동작 설명>&Lt; Description of operation of gate valve (GV) >

다음에, 상기와 같이 구성된 도 1의 게이트 밸브(GV)의 동작에 대해 설명한다.Next, the operation of the gate valve (GV) of Fig. 1 constructed as described above will be described.

도 1에 도시된 게이트 밸브(GV)의 게이트(5)는 개방되어 있다. 이 개방되어 있는 게이트(5)를 폐쇄하는 경우는 도시하지 않은 밸브 동작 스위치를 ON으로 한다. 그렇게 하면, 승강축(12)의 상승 동작에 의해 밀어붙임부재(2)가 받침 부재(4)에 접근하고, 도 2와 같이 밀어붙임면(1)이 받침면(3)에 소정의 압력으로 밀어붙여진다.The gate 5 of the gate valve GV shown in Fig. 1 is open. When the gate 5 is opened, the valve operation switch (not shown) is turned on. As a result, the pushing member 2 approaches the catching member 4 by the elevation of the lifting shaft 12 and the pushing face 1 is pressed against the catching face 3 at a predetermined pressure Is pushed.

이에 의해, 밀어붙임면(1)이 게이트(5)의 개구단을 막아 해당 게이트(5)는 폐쇄된다. 이 때, 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W)의 부재면(W1 또는 W2)에 대해 경사지어져 있는 제1 시일재(6)의 상부 및 동 부재면(W1 또는 W2)에 대해 대략 평행하게 되어 있는 제2 시일재(7)가 도 3과 같이 시트형상 부재(W)의 한쪽 부재면(W1)에 접촉함으로써, 그 부재면(W1) 부근의 간극이 이중으로 시일된다. 또한, 제1 시일재(6)에 의해 게이트(5)의 개구단 주위의 간극이 시일된다.As a result, the push-in surface 1 blocks the open end of the gate 5 and the gate 5 is closed. At this time, the upper surface of the first sealing material 6 inclined with respect to the member surface W1 or W2 of the sheet-like member W passed through the gate 5 and the upper surface of the sheet member W1 or W2 The parallel sealing second sealing material 7 is brought into contact with the one surface W1 of the sheet-like member W as shown in Fig. 3, so that the gap in the vicinity of the member surface W1 is doubly sealed. Also, the gap around the open end of the gate 5 is sealed by the first sealant 6.

그런데, 도 7에 도시된 바와 같이, 시트형상 부재(W)에는 소정의 두께(t)가 있기 때문에, 시트형상 부재(W)의 폭방향 양측에 제1 시일재(6)나 제2 시일재(7)로는 시일할 수 없는 미소 간극(G)이 생기는 것은 피할 수 없다.7, since the sheet-like member W has a predetermined thickness t, the first sealing material 6 and the second sealing material W are provided on both sides in the width direction of the sheet-like member W. Therefore, It is inevitable that a small gap G that can not be sealed is generated in the gap 7.

그러나, 본 게이트 밸브(GV)에서는 상기와 같은 시트형상 부재(W) 양측의 미소 간극(G)은 후술하는 차동 배기에 의해 시일되기 때문에, 미소 간극(G)을 빠져나가는 기체의 누설량은 대폭으로 저감된다.However, in the present gate valve GV, since the minute gaps G on both sides of the sheet-like member W are sealed by the differential exhaust gas to be described later, the leakage amount of the gas exiting the minute gap G is greatly reduced .

또한, 시트형상 부재(W)의 다른 쪽의 부재면(W2)과 이에 직접 접촉하고 있는 받침면(3)의 사이에 생기는 간극도 후술하는 차동 배기에 의해 시일되기 때문에, 그 간극을 빠져나가는 기체의 누설량도 대폭으로 저감된다.Further, since the gap formed between the other member surface W2 of the sheet-like member W and the bearing surface 3 in direct contact therewith is also sealed by the differential exhaust, which will be described later, The amount of leakage of the fuel is greatly reduced.

<차동 배기에 의한 시일>&Lt; seal by differential exhaust >

도 2와 같이 게이트(5)에 시트형상 부재(W)를 통과시킨 상태로 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙이면, 밀어붙임면(1)과 받침면(3)과 제1 및 제2 시일재(6, 7)와 시트형상 부재(W)에 의해 둘러싸이는 도 3의 공간(8)이 생기고, 이 공간(8)에 차동 배기 통로(9)가 연통하여 도시하지 않은 배기 펌프가 작동한다.The pushing surface 1 and the receiving surface 3 and the pushing surface 3 are formed by pushing the pushing surface 1 against the receiving surface 3 with the sheet-like member W passing through the gate 5 as shown in FIG. The space 8 in Fig. 3 surrounded by the first and second sealing materials 6 and 7 and the sheet-like member W is formed and the differential exhaust passage 9 is connected to the space 8, The exhaust pump operates.

그렇게 하면, 상기 공간(8)은 차동 배기 통로(9)를 통해 배기됨으로써 게이트(5)의 개구단 부근의 압력(대기압실의 압력과 거의 같음)보다도 저압이 된다.Then, the space 8 is exhausted through the differential exhaust passage 9, so that the pressure becomes lower than the pressure near the opening end of the gate 5 (almost equal to the pressure of the atmospheric pressure chamber).

따라서, 도 6과 같이 게이트(5)의 개구단으로부터 시트형상 부재(W) 양측의 미소 간극(G)(도 7 참조)을 빠져나가 고진공실 측으로 누설되려는 기체(GAS1)나, 시트형상 부재(W)의 다른 쪽의 부재면(W2)과 이에 직접 접촉하고 있는 받침면(3) 간의 간극(시트형상 부재(W)의 부재면(W2) 부근의 간극)을 빠져 고진공실 측으로 누설되려는 기체(GAS2)는 모두, 배기에 의해 감압되어 저압으로 되어 있는 상기 공간(8)에 흘러들어가고, 차동 배기 통로(9)를 통해 외부로 차동 배기된다.Therefore, as shown in Fig. 6, the base GAS1 which is to be leaked from the opening end of the gate 5 to the high vacuum chamber side through the fine gap G (see Fig. 7) on both sides of the sheet- Like member W2 that escapes from the gap W2 between the other member surface W2 of the sheet member W and the receiving surface 3 that is in direct contact with the other member surface W2 of the sheet member W GAS2 flow into the space 8, which is depressurized by the exhaust gas and is at a low pressure, and is differentially discharged to the outside through the differential exhaust passage 9. [

이상 설명한 바와 같이, 도 1의 게이트 밸브(GV)에 의하면, 제1 시일재(6)에 의해 게이트(5)의 개구단 주위의 간극을 시일함과 동시에, 게이트(5)에 통과된 시트형상 부재(W) 주위의 미소 간극(구체적으로 시트형상 부재(W)의 폭방향 양측의 미소 간극(G)이나, 시트형상 부재(W)의 다른 쪽의 부재면(W2)과 이에 직접 접촉하고 있는 받침면(3) 간의 간극)을 차동 배기에 의해 시일하기 때문에, 게이트 밸브(GV)와는 별도로 차동 배기 장치를 설치할 필요가 없어 콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능의 향상이 도모되어 있다.As described above, according to the gate valve (GV) of Fig. 1, the gap around the opening end of the gate 5 is sealed by the first sealant 6, Like member W in direct contact with the minute clearance G around the member W (specifically, the minute gap G on both sides in the widthwise direction of the sheet-like member W and the other member surface W2 of the sheet- (The gap between the support surfaces 3) is sealed by the differential exhaust, there is no need to provide a differential exhaust device separately from the gate valve GV, and the sealing performance is improved by a compact device structure.

또한, 도 1의 게이트 밸브(GV)에 있어서는, 평면(1B)에 환상의 제1 시일재(6)가 장착되는 구성의 채용에 의해 제1 시일재(6)로서 저렴한 시판의 O링을 사용할 수 있었던 점 및 평면(1B)에 제1 시일재(6)를 장착하는 수단으로서 더브테일 홈과 같은 시일 홈(10)을 이용하는 경우에 시일 홈(10)은 평면(1B)에 가공하면 되므로, 간단하고 저렴하게 시일 홈(10)을 형성할 수 있는 점 등에서 게이트 밸브(GV) 전체의 비용 절감이 도모되어 있다.1, an annular first sealing material 6 is mounted on the flat surface 1B so that an inexpensive commercial O-ring is used as the first sealing material 6 When the seal groove 10 such as the dovetail groove is used as the means for mounting the first seal material 6 on the point and the plane 1B at which the seal groove 10 is formed, the seal groove 10 can be processed in the plane 1B, The cost of the entire gate valve GV can be reduced in that the seal groove 10 can be formed simply and inexpensively.

또, 도 1의 게이트 밸브(GV)에 있어서는, 평면(1B)에 제1 시일재(6)가 장착되는 구성의 채용에 의해 제1 시일재(6)는 평면(1B)에 배치되므로, 제1 시일재(6)를 분리하여 점검하거나 교환하거나 하는 등의 유지보수 작업이 용이하여 유지보수성의 향상도 도모되어 있다In the gate valve GV of Fig. 1, since the first sealing material 6 is arranged on the plane 1B by adopting a configuration in which the first sealing material 6 is mounted on the plane 1B, The maintenance work such as separating and inspecting or replacing the one-piece sealing material 6 is facilitated, and the maintenance property is also improved

<다른 실시형태><Other Embodiments>

도 8은 제2 시일재(7)의 다른 실시형태를 나타낸 것이다. 도 8의 제2 시일재(7)는 제1 시일재(6)보다 약간 큰 직경인 시판의 O링을 제1 시일재(6)의 외측에 배치한 구조로 되어 있다. 이 구조의 제2 시일재(7)에서도 도 3의 공간(8)과 마찬가지의 공간을 형성할 수 있고, 이러한 공간이 차동 배기 통로(9)에 의해 배기됨으로써 차동 배기 시일의 차압실로서 기능하므로, 도 1의 게이트 밸브(GV)와 마찬가지로 콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능이 향상된다. 또, 도시는 생략하지만, 제1 시일재(6)보다 약간 작은 직경인 시판의 O링을 제3 시일재로서 제1 시일재(6)의 내측에 배치하는 구성으로도 도 3의 공간(8)과 마찬가지의 공간을 형성할 수 있다.Fig. 8 shows another embodiment of the second sealant 7. Fig. 8 has a structure in which a commercially available O-ring having a diameter slightly larger than that of the first sealing material 6 is disposed outside the first sealing material 6. The second sealing material 7 shown in Fig. A space similar to the space 8 in Fig. 3 can also be formed in the second sealing material 7 of this structure. Since this space is exhausted by the differential exhaust passage 9, it functions as a differential pressure chamber of the differential exhaust seal , The sealing performance is improved by a compact device configuration like the gate valve (GV) of FIG. Although not shown, a commercially available O-ring having a diameter slightly smaller than that of the first sealing material 6 may be disposed inside the first sealing material 6 as a third sealing material, ) Can be formed.

도 1의 게이트 밸브(GV)에서는 제1 시일재(6)를 밀어붙임면(1)에 장착하고, 제2 시일재(7)를 그 제1 시일재(6)에 인접하여 같은 밀어붙임면(1)에 장착하고 있는데, 도 9의 게이트 밸브(GV)와 같이 제1 시일재(6)를 받침면(3)에 장착하고, 제2 시일재(7)를 그 제1 시일재(6)에 인접하여 같은 받침면(3)에 장착하도록 구성해도 된다. 이러한 구성에서도, 게이트(5)에 시트형상 부재(W)를 통과시켜 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때에 도 3의 공간(8)과 마찬가지의 공간(8)이 형성되고, 이러한 공간(8)이 차동 배기 통로(9)를 통해 배기됨으로써 차동 배기 시일의 차압실로서 기능하므로, 도 1의 게이트 밸브(GV)와 같이 콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능이 향상된다.In the gate valve GV of Fig. 1, the first sealing material 6 is attached to the push-in surface 1, and the second sealing material 7 is adhered to the first sealing material 6, The first sealing material 6 is attached to the receiving surface 3 and the second sealing material 7 is attached to the first sealing material 6 as in the gate valve GV of FIG. And may be mounted on the same receiving surface 3. Even in such a configuration, when the sheet-like member W is passed through the gate 5 to push the attaching surface 1 against the receiving surface 3, a space 8 similar to the space 8 in Fig. 3 is formed And this space 8 functions as a differential pressure chamber of the differential exhaust seal by being exhausted through the differential exhaust passage 9, so that the sealing performance is improved by a compact device configuration like the gate valve GV of FIG.

도 10의 게이트 밸브(GV)와 같이, 제1 시일재(6)는 밀어붙임면(1)에 장착되고, 제2 시일재(7)는 받침면(3)에 장착되어 있으며, 또한 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙인 단계에서 비로소 받침면(3)의 제2 시일재(7)가 밀어붙임면(1)의 제1 시일재(6)에 인접하여 배치되도록 구성해도 된다. 또한, 상기와 같이 밀어붙인 단계에서 제2 시일재(6)의 양단(7A, 7B)(도 4 참조)이 제1 시일재(6)를 걸치는 구성을 채용하거나, 도시는 생략하지만 제2 시일재(7) 그 자체를 환상으로 형성함으로써 게이트(5)에 시트형상 부재(W)를 통과시켜 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때에 도 3의 공간(8)과 마찬가지의 공간(8)이 형성되고, 이러한 공간(8)이 차동 배기 통로(9)를 통해 배기됨으로써 차동 배기 시일의 차압실로서 기능하므로, 도 1의 게이트 밸브(GV)와 같이 콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능이 향상된다.10, the first sealing material 6 is mounted on the push-in surface 1, the second sealing material 7 is mounted on the receiving surface 3, and the push- The second sealing material 7 of the receiving face 3 is arranged adjacent to the first sealing material 6 of the pushing face 1 only when the face 1 is pressed against the receiving face 3 You can. 4) of the second sealing material 6 is applied to the first sealing material 6 in the step of pushing in the above manner, When the sheet 7 is passed through the gate 5 to form the ring 7 itself in the form of an annulus so that the slide surface 1 is pushed against the bearing surface 3, And this space 8 functions as a differential pressure chamber of the differential exhaust seal by being exhausted through the differential exhaust passage 9. This makes it possible to achieve a compact structure like the gate valve GV of Figure 1 Sealing performance is improved.

또한, 도 11의 게이트 밸브(GV)와 같이, 제1 시일재(6)는 받침면(3)에 장착되고, 제2 시일재(7)는 밀어붙임면(1)에 장착되어 있으며, 또한 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙인 단계에서 비로소 밀어붙임면(1)의 제2 시일재(7)가 받침면(3)의 제1 시일재(6)에 인접하여 배치되도록 구성해도 된다. 이 경우도 상기와 같이 밀어붙인 단계에서 제2 시일재(6)의 양단(7A, 7B)(도 4 참조)이 제1 시일재(6)를 넘는 구성을 채용하거나, 도시는 생략하지만 제2 시일재(7) 그 자체를 환상으로 형성함으로써 게이트(5)에 시트형상 부재(W)를 통과시켜 밀어붙임면(1)을 받침면(3)에 밀어붙였을 때에 도 3의 공간(8)과 마찬가지의 공간(8)이 형성되고, 이러한 공간(8)이 차동 배기 통로(9)를 통해 배기됨으로써 차동 배기 시일의 차압실로서 기능하므로, 도 1의 게이트 밸브(GV)와 같이 콤팩트한 기기 구성으로 시일 성능이 향상된다.11, the first sealing material 6 is mounted on the supporting surface 3, the second sealing material 7 is mounted on the pushing surface 1, The second sealing material 7 of the pushing face 1 is placed adjacent to the first sealing material 6 of the receiving face 3 only when the pushing face 1 is pushed against the receiving face 3 . Also in this case, at the stage of pushing as described above, both ends 7A and 7B (see FIG. 4) of the second sealing material 6 may be configured to pass over the first sealing material 6, When the sealing material W is passed through the gate 5 and the pressing surface 1 is pressed against the receiving surface 3 by forming the sealing material 7 itself in an annular shape, The same space 8 is formed and this space 8 functions as a differential pressure chamber of the differential exhaust seal by being exhausted through the differential exhaust passage 9. This makes it possible to provide a compact device configuration The sealing performance is improved.

도 1, 도 9에서 도 11의 게이트 밸브(GV)에서는 배기 홈(9A)과 배기공(9B)으로 이루어지는 차동 배기 통로(9)를 받침 부재(4)에 형성하고 있는데, 이 차동 배기 통로(9)는 밀어붙임부재(2)에 형성해도 되고, 받침 부재(4)와 밀어붙임부재(2) 쌍방에 차동 배기 통로(9)를 설치하는 구성도 채용할 수 있다. 도 1~3, 도 9~11에서는 밀어붙임부재(2)가 시트형상 부재(W) 아래에 배치되어 있는데, 받침 부재(4)와 밀어붙임부재(2)를 상하 반전시켜도 된다.1 and 9, in the gate valve GV of FIG. 11, the differential exhaust passage 9 composed of the exhaust groove 9A and the exhaust hole 9B is formed in the support member 4, and the differential exhaust passage 9 may be formed on the pushing member 2 or the differential exhausting passage 9 may be provided on both the supporting member 4 and the pushing member 2. [ In Figs. 1 to 3 and Figs. 9 to 11, the pushing member 2 is disposed below the sheet-like member W, but the support member 4 and the pushing member 2 may be flipped upside down.

또한, 이상 설명한 실시형태에 있어서, 밀어붙임면(1)의 대략 평행한 평면(1A)이나 경사진 평면(1B) 및 받침면(3)의 대략 평행한 평면(3A)이나 경사진 평면(3B)은 곡면이어도 된다.In the embodiment described above, the substantially parallel plane 1A of the push-in surface 1 and the inclined plane 1B and the substantially parallel plane 3A of the receiving surface 3 and the inclined plane 3B ) May be a curved surface.

1 밀어붙임면
1A 밀어붙임면의 대략 평행한 평면
1B 밀어붙임면의 경사진 평면
2 밀어붙임부재
3 받침면
3A 받침면의 대략 평행한 평면
3B 받침면의 경사진 평면
3C 경계부
4 받침 부재
5 게이트
6 제1 시일재
7 제2 시일재
8 공간(차압실)
9 차동 배기 통로
10, 11 시일 홈
12 승강축
13 시일재 간극
GV 게이트 밸브
G 시트형상 부재의 폭방향 양측의 미소 간극
W 시트형상 부재
W1 시트형상 부재의 한쪽의 부재면
W2 시트형상 부재의 다른 쪽의 부재면1 Pushing face
1A Approximate parallel plane of pushing surface
1B sloping plane of pushing surface
2 pushing member
3 Base Face
3A A generally parallel plane of the bearing surface
The inclined plane of the 3B bearing surface
3C boundary
4 Support members
5 gates
6 first sealant
7 2nd seal
8 space (differential pressure chamber)
9 differential exhaust passage
10, 11 Seal Home
12 Lift shaft
13 Sealing clearance
GV gate valve
G The micro clearances on both sides in the width direction of the sheet-
W sheet-
W1: one of the member surfaces of the sheet-
W2 The other member surface of the sheet-

Claims

A seal structure of a gate valve that seals and seals a sheet-like member,
A pushing member having a pushing surface;
A receiving member having a receiving surface opposite to the pushing surface;
A gate whose one end is open to the receiving surface;
An annular first seal member interposed between the supporting surface and the pushing surface and sealing the gap around the opening end of the gate;
A second seal member adjacent to the first seal member in a state in which the push-out surface is pressed against the support surface;
A space surrounded by the push-in surface, the support surface, the first and second seal members, and the sheet-like member passed through the gate when the push-out surface is pressed against the support surface;
And a differential (exhaust) passage communicating with the space,
Wherein the pushing face and the receiving face have a plane parallel to the member face of the sheet-like member passed through the gate and an inclined face with respect to the member face, and the parallel faces are opposed to each other, Respectively,
Wherein the first seal member is mounted on an inclined surface or a slanted surface of the receiving surface,
The second seal member is mounted on a parallel surface of a pushing surface or a receiving surface,
The inclined surface is planar,
The differential exhaust passage
Like member that is formed on the pushing surface or the receiving surface in the space facing the one member surface or the other member surface of the sheet-like member passed through the gate, and has a length protruding from both sides in the width direction of the sheet- Exhaust groove;
And an exhaust hole whose one end is opened by the exhaust groove,
Wherein the space is a differential pressure chamber of a differential exhaust seal that is exhausted through the differential exhaust passage to seal the minute clearance around the sheet-like member by differential exhaust.

The method according to claim 1,
Wherein the first sealing material is mounted on the pushing surface and the second sealing material is mounted on the same pushing surface adjacent to the first sealing material.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the first seal member is mounted on the support surface, and the second seal member is mounted on the same support surface adjacent to the first seal member.