KR101455537B1 - 다이스 자동 세정 장치 - Google Patents

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KR101455537B1
KR101455537B1 KR1020130086728A KR20130086728A KR101455537B1 KR 101455537 B1 KR101455537 B1 KR 101455537B1 KR 1020130086728 A KR1020130086728 A KR 1020130086728A KR 20130086728 A KR20130086728 A KR 20130086728A KR 101455537 B1 KR101455537 B1 KR 101455537B1
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윤원규
육장용
김갑수
임희준
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희성금속 주식회사
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

본 발명은 다이스(Dies) 자동 세정 장치에 관한 것으로, 다이스의 세정 방식으로 초음파를 이용하고, 다이스의 투입, 세정 및 배출이 자동으로 이루어지는 자동 세정 장치를 제공한다.

Description

다이스 자동 세정 장치{AUTOMATIC CLEANING APPARATUS FOR DIES}
본 발명은 초음파를 사용하여 다이스(Dies)를 자동으로 세정하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 다이스(Dies)는 골드 본딩 와이어(Gold bonding wire), 구리 본딩 와이어(Copper bonding wire), 팔라듐 코팅 와이어(Palladium coated wire) 등 반도체 제조에 사용되는 금속 와이어 선경을 줄이는 인발공정에 사용된다.
이러한 다이스를 세정하는 방법으로는 순수가 담긴 조 속에 다이스를 투입한 후, 혼(Horn)이 달린 초음파 세정기를 이용하여 순수에 초음파를 발생시킴으로써, 다이스에 묻은 이물질을 제거하는 방식이 주로 사용되고 있다.
그러나, 종래의 다이스 세정 방법은 세정 공정 중에 작업자가 각각의 다이스를 수동으로 투입시켜야 하고, 다이스와 혼 간에 위치를 잡아주어야 하며, 전면과 후면의 세정을 위해 작업자가 뒤집어주어야 한다. 또한, 다이스의 세정이 완료된 후, 각각의 다이스에 묻은 순수를 에어건(Air gun) 등을 이용하여 제거해주는 번거로움이 있었다. 이와 같이, 작업자가 수동으로 작업을 하기 때문에, 다이스 각각의 세정 정도에 차이가 있으며, 작업자의 손이 순수에 담궈지기 때문에 순수 오염의 문제가 있었다.
본 발명은 다이스 세정 방식으로 초음파를 이용하되, 다이스의 공급, 세정 및 배출이 자동으로 이루어지는 다이스 자동 세정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 적절한 일 예는, 다이스를 공급하는 다이스 공급부(10); 상기 다이스 공급부(10)의 일측 하부에 배치되고, 세정액에 초음파를 발생시켜 다이스를 세정하는 초음파 세정부(20); 상기 초음파 세정부(20)의 타측에 배치되고, 다이스에 에어를 고압으로 분사하여 다이스에 묻어있는 세정액을 제거하는 세정액 제거부(30); 상기 세정액 제거부(30)의 타측에 배치되고, 세정액이 제거된 다이스를 배출하는 다이스 배출부(40); 상기 다이스 공급부(10)와 초음파 세정부(20) 사이의 상부에 배치되어, 상기 다이스 공급부에 공급된 다이스를 초음파 세정부(20)로 이송시키는 제1 이송부(70); 및 상기 초음파 세정부(20)와 다이스 배출부(40) 사이의 상부에 배치되어, 상기 초음파 세정부에서 세정된 다이스를 세정액 제거부(30) 및 다이스 배출부(40)로 순차적으로 이송시키는 제2 이송부(80)를 포함하는 다이스 자동 세정 장치(100)를 제공한다.
여기서, 상기 다이스 자동 세정 장치(100)는 상기 다이스 공급부(10)와 초음파 세정부(20) 사이에 위치하고, 다이스를 대기시키는 제1 대기대(50) 및 상기 초음파 세정부(20)와 세정액 제거부(30) 사이의 상부에 위치하고, 다이스를 대기시키는 제2 대기대(60)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제1 대기대(50) 및 제2 대기대(60)를 추가로 포함할 경우, 상기 제1 이송부(70)는 상기 제1 대기대(50)에 대기 중인 다이스를 초음파 세정부(20) 및 제2 대기대(60)로 순차적으로 이송시킨다. 또한, 상기 제2 이송부(80)는 상기 제2 대기대(60)에 대기 중인 다이스를 세정액 제거부(30) 및 다이스 배출부(40)로 순차적으로 이송시키는 것을 특징으로 한다.
상기 다이스 공급부(10)는 다이스 투입부(12); 상기 다이스 투입부(12)의 상부에 위치하고, 다이스를 장착시키는 다이스 장착대(15); 상기 다이스 장착대(15)의 수평방향으로 위치하고, 다이스를 제1 대기대(50)로 밀어주는 제1 푸셔(Pusher)(13); 상기 다이스 투입부(12)의 하부에 위치하고, 다이스를 제1 푸셔(13) 앞으로 밀어주는 제2 푸셔(14); 및 일측이 상기 다이스 장착대(15)에 연결되고, 타측이 상기 제1 대기대(50)에 연결되어, 다이스의 이동 방향을 안내하는 가이드(Guide)(16)를 포함한다.
상기 제1 대기대(50), 제2 대기대(60) 및 제1 푸셔(13)에는 각각 제1 센서, 제2 센서 및 제3 센서가 설치되고, 상기 각 센서는 다이스의 유무를 감지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 초음파 세정부(20)는 세정액이 담겨있는 세정조(21); 상기 세정조(21)의 외부에 설치되고, 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생기(23); 및 상기 세정조(21) 내부에 설치되고, 다이스를 고정시키는 제1 다이스 홀더(Dies holder)(22)를 포함한다.
상기 제2 다이스 홀더(31)의 구조는 메쉬(Mesh) 구조인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정액 제거부(30)는 다이스를 고정시키는 제2 다이스 홀더(31); 상기 제2 다이스 홀더(31)의 상부에 설치되고, 다이스에 에어를 고압으로 분사하는 에어노즐(Air nozzle)(32)을 포함한다.
또한, 상기 제1 이송부(70)는 상하로 움직일 수 있는 실린더(Cylinder)(71); 및 상기 실린더의 하부에 연결되어, 다이스를 잡고, 회전시키는 회전 그립퍼(Rotating gripper)(72)로 구성된다.
상기 제2 이송부(80)는 실린더 및 상기 실린더의 하부에 연결되어, 다이스를 잡는 에어 척(Air chuck)(82)으로 구성된다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치는 종래와 달리, 다이스를 공급, 이송, 세정 및 배출하는 전 과정이 자동적으로 이루어짐으로써, 세정 공정에 투입되는 인력이 절감될 수 있고, 공정 시간도 단축되어 생산성이 향상될 수 있다.
또한, 본 발명은 작업자에 의해 수동적으로 세정하던 종래와 달리, 자동적으로 세정함으로써, 세정 편차가 발생하지 않고, 다이스의 세정이 일정하고 균일하게 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 다이스 자동 세정 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다이스 자동 세정 장치의 평면도이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 다이스 자동 세정 장치를 이용하여 다이스를 세정하는 과정을 나타낸 동작 상태도이다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 다이스(Dies) 자동 세정 장치를 설명한다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 다이스 공급부(10), 초음파 세정부(20), 세정액 제거부(30), 다이스 배출부(40), 제1 이송부(70) 및 제2 이송부(80)를 포함한다. 또한, 상기 다이스 자동 세정 장치(100)는 제1 대기대(50) 및 제2 대기대(60)를 추가로 포함할 수 있다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 다이스 공급부(10)를 포함한다.
상기 다이스 공급부(10)는 다이스를 공급하는 것으로, 다이스 투입부(12), 다이스 장착대(15), 제1 푸셔(13), 제2 푸셔(14) 및 가이드(16)를 포함한다.
다이스 공급부(10)에 포함되는 다이스 투입부(12)는 다이스를 투입하는 곳으로, 작업자가 수동으로 다이스(11)를 투입하게 된다.
또한, 다이스 공급부(10)에 포함되는 다이스 장착대(15)는 상기 다이스투입부(12)의 상부에 위치하고, 일정의 높이 및 폭을 가지며, 금속 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 다이스 장착대(15)의 크기 및 형상은 필요에 따라 적절하게 변경 가능하며, 그 재질 또한 금속 외 물적 특성이 우수한 공지된 다양한 종류의 것을 선택적으로 적용할 수 있다.
다이스 공급부(10)에 포함되는 제1 푸셔(13)는 다이스 장착대(15)의 수평방향으로 위치하고, 다이스 장착대(15)에 놓여진 다이스를 제1 대기대(50)로 밀어주는 역할을 한다. 이때, 가이드(16)를 따라 다이스가 이동한다.
상기 제1 푸셔(13)에는 다이스의 유무를 감지할 수 있는 제1 센서(미도시됨)가 설치될 수 있다. 상기 제1 센서가 제1 푸셔 앞에 다이스의 존재를 감지하면, 제1 푸셔가 작동하고, 제1 센서에 의해 감지되는 다이스가 없다면, 제2 푸셔가 작동한다.
상기 제1 센서의 예로는 근접센서, 포토센서 등이 있는데, 이에 한정되지 않는다.
다이스 공급부(10)를 구성하는 제2 푸셔(14)는 다이스 투입부(12)의 하부에 위치하고, 다이스 투입부(12)에 투입된 다이스(11)를 제1 푸셔(13) 앞으로 밀어주어 다이스가 상기 제1 푸셔(13) 앞에 위치하도록 한다.
다이스 공급부(10)를 구성하는 가이드(16)는 일측이 상기 다이스 장착대(15)에 연결되고, 타측이 상기 제1 대기대(50)에 연결되어, 다이스의 이동 방향을 안내하는 역할을 한다.
이와 같은 다이스 공급부를 포함함으로써, 다이스의 공급이 자동적으로 이루어진다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 초음파 세정부(20)를 포함한다. 상기 초음파 세정부(20)는 다이스 공급부(10)의 일측 하부에 배치되고, 세정조(21)에 초음파를 발생시켜 다이스를 세정하는 역할을 한다.
이러한 초음파 세정부(20)는 세정액이 담겨있는 세정조(21), 상기 세정조의 내부에 설치되고, 다이스를 고정시키는 제1 다이스 홀더(22) 및 상기 세정조(21)의 외부에 설치되고 세정조(21)에 초음파를 발생시키는 초음파 발생기(23)를 포함한다.
상기 초음파 발생기(23)는 혼(horn)을 포함한다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 세정액 제거부(30)를 포함한다. 상기 세정액 제거부(30)는 상기 초음파 세정부(20)의 타측에 배치되고, 다이스에 에어를 고압으로 분사하여 초음파 세정 시 다이스에 묻은 세정액을 제거하는 역할을 한다.
이러한 세정액 제거부(30)는 다이스를 고정시키는 제2 다이스 홀더(31) 및 상기 제2 다이스 홀더(31)의 상부에 설치되고, 다이스에 에어를 고압으로 분사하는 에어노즐(32)로 구성된다.
세정액 제거부(30)에 포함되는 제2 다이스 홀더(31)의 재질은 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 스테인레스 스틸(Stainless steel, STS) 등이 있다.
또한, 상기 제2 다이스 홀더의 구조는 메쉬(Mesh) 구조일 수 있다.
또한, 상기 에어노즐(32)은 건조효율이 뛰어난 공지된 다양한 종류의 것을 선택적으로 적용할 수 있다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 다이스 배출부(40)를 포함한다.
상기 다이스 배출부(40)는 세정액 제거부(30) 타측에 위치하며, 초음파 세정 및 세정액 제거가 완료된 다이스를 배출하는 곳이다. 제2 이송부(80)에 의해 다이스가 다이스 배출부(40)로 이송하여 배출되고, 배출된 다이스는 받이를 통해 수거가 된다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 제1 대기대(50)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제1 대기대(50)는 다이스 공급부(10)와 초음파 세정부(20) 사이에 위치하고, 공급된 다이스가 대기하는 곳이다.
상기 제1 대기대(50)에는 다이스의 유무를 감지할 수 있는 제2 센서가 설치될 수 있다.
상기 제2 센서의 예로는 근접센서, 포토센서 등이 있는데, 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 제2 대기대(60)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2 대기대(60)는 초음파 세정부(20)와 세정액 제거부(30) 사이의 상부에 위치하고, 초음파 세정부에서 세정된 다이스가 대기하는 곳이다.
상기 제2 대기대(60)에는 다이스의 유무를 감지할 수 있는 제3 센서가 설치될 수 있으며, 센서의 종류는 상기 제2 센서와 동일하다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 제1 이송부(70)를 포함한다.
상기 제1 이송부(70)는 다이스 공급부(10)와 초음파 세정부(20) 사이의 상부에 배치되어, 상기 다이스 공급부에 공급된 다이스를 초음파 세정부(20)로 이송시키는 역할을 한다.
다이스 자동 세정 장치(100)가 상기 제1 대기대 및 제2 대기대를 포함할 경우에는, 상기 제1 이송부(70)는 제1 대기대(50)와 제2 대기대(60) 사이의 상부에 배치되고, 상기 제1 대기대(50)에 대기 중인 다이스를 초음파 세정부(20)로 이송시키고, 초음파 세정부(20)에서 세정된 다이스를 제2 대기대(60)로 이송시킨다.
이러한 제1 이송부(70)는 상하로 움직일 수 있는 실린더(71)와 상기 실린더의 하부에 연결되어, 다이스를 잡고, 회전시키는 회전 그립퍼(72)를 포함한다.
본 발명의 다이스 자동 세정 장치(100)는 제2 이송부(80)를 포함한다.
상기 제2 이송부(80)는 초음파 세정부(20)와 다이스 배출부(40) 사이의 상부에 배치되어, 상기 초음파 세정부에서 세정된 다이스를 세정액 제거부(30)로 이송시키고, 세정액 제거부(30)에서 세정액이 제거된 다이스를 다이스 배출부(40)로 이송시키는 역할을 한다.
다이스 자동 세정 장치(100)가 상기 제1 대기대 및 제2 대기대를 추가로 포함할 경우에는, 상기 제2 이송부(80)는 제2 대기대(60)와 다이스 배출부(40) 사이의 상부에 배치되어, 상기 제2 대기대(60)에 대기 중인 다이스를 세정액 제거부(30)로 이송시키고, 세정액 제거부(30)에서 세정액이 제거된 다이스를 다이스 배출부(40)로 이송시키는 역할을 한다.
이러한 제2 이송부(80)는 상하로 움직일 수 있는 실린더(81)와 다이스를 잡는 에어척(82)을 포함한다.
이하, 본 발명의 일례에 따른 다이스 자동 세정 장치의 세정 과정에 대하여 설명한다.
세정이 필요한 다이스(11)를 다이스 투입부(12)에 작업자가 투입하면, 제2 푸셔(14)가 작동하여 다이스를 밀어주게 되어, 다이스는 다이스 장착대(15)에 놓이게 된다. 다이스 장착대(15)에 다이스가 위치하면, 제1 푸셔(13)가 다이스를 제1 대기대(50)로 밀어주게 되어, 다이스는 가이드(16)를 따라 이동한다.
이때, 상기 제1 푸셔(13)는 센서에 의해 다이스를 감지하여 작동하게 되며, 다이스가 감지되지 않을 경우에는 상기 제2 푸셔(14)가 작동하여 다이스를 밀어주어 다이스를 제1 푸셔(13) 앞에 위치하도록 한다. 상기와 같이 다이스가 제1 푸셔(13) 앞에 위치하게 되면, 제1 푸셔(13)는 작동하여 다이스를 제1 대기대(50)로 이송시키게 된다.
상기 제1 및 제2 푸셔가 반복적으로 작동되어 다이스는 자동으로 1개씩 제1 대기대(50)로 공급된다.
상기 제1 대기대(50)에 대기 중인 다이스가 제2 센서에 의해 감지되면, 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 제1 이송부(70)가 작동하여 다이스를 제1 대기대에서 초음파 세정부(20)로 이송시킨다.
상기 제1 대기대(50)에 대기중인 다이스가 제1 이송부(70)에 의해 상기 초음파 세정부(20)의 제1 다이스 홀더(22)로 이송되면, 초음파 발생기(23)의 혼(Horn)이 다이스의 중앙으로 설정된 거리만큼 진입하게 되고, 설정된 시간 동안 초음파를 전달하여 다이스를 초음파 세정하게 된다. 상기 설정된 거리 및 시간은 특별히 한정되지 않으며, 작업 조건에 따라서 최적의 값을 입력하면 된다.
상기 초음파 세정에 의해 다이스 한면의 세정이 완료되면, 상기 제1 이송부(70)가 작동하고 회전 그립퍼(72)를 이용하여 다이스를 180도 회전시킨다. 회전된 다이스는 제1 이송부(70)에 의해 다시 제1 다이스 홀더(22)에 고정되고, 다이스 반대면을 초음파 세정하게 된다.
상기 초음파 세정이 완료되면, 도 3b에 도시된 바와 같이, 세정이 완료된 다이스는 제1 이송부(70)에 의해 제2 대기대(60)로 이송하게 된다.
상기 제2 대기대(60)에 대기 중인 다이스가 제2 센서에 의해 감지되면, 도 3c에 도시된 바와 같이, 제2 이송부(80)가 작동하여 다이스를 세정액 제거부(30)로 이송시킨다.
상기 제2 이송부(80)에 의해 제2 대기대(60)에 대기 중인 다이스는 세정액 제거부(30)의 제2 다이스 홀더(31)로 이송되고, 상기 에어노즐(32)을 이용하여 초음파 세정 시 다이스에 묻은 세정액을 제거하게 된다. 이때, 상기 에어노즐(32)을 다이스의 중앙부에 집중적으로 분사하여 홀(Hall) 속에 있는 세정액을 제거하는 것이 바람직하다.
세정액 제거가 완료되면, 도 3d에 도시된 바와 같이, 제2 이송부(80)에 의해 세정액이 제거된 다이스가 다이스 배출부(40)로 이송하여 배출되고, 배출된 다이스는 받이를 통해 수거가 된다.
이와 같은 구성에 의하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이스 자동 세정 장치(100)는 다이스를 자동으로 공급, 세정 및 배출할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명은 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 다이스 공급부 11: 다이스
12: 다이스 투입부 13: 제1 푸셔
14: 제2 푸셔 15: 다이스 장착대
16: 가이드 20: 초음파 세정부
21: 세정조 22: 제1 다이스 홀더
23: 초음파 발생기 30: 세정액 제거부
31: 제2 다이스 홀더 32: 에어 노즐
40: 다이스 배출부 50: 제1 대기대
60: 제2 대기대 70: 제1 이송부
71: 실린더 72: 회전 그립퍼
80: 제2 이송부 81: 실린더
82: 에어척 100: 다이스 자동 세정 장치

Claims (13)

  1. 다이스(Dies)를 공급하는 다이스 공급부(10);
    상기 다이스 공급부(10)의 일측 하부에 배치되고, 세정액에 초음파를 발생시켜 다이스를 세정하는 초음파 세정부(20);
    상기 초음파 세정부(20)의 타측에 배치되고, 다이스에 에어를 고압으로 분사하여 다이스에 묻어있는 세정액을 제거하는 세정액 제거부(30);
    상기 세정액 제거부(30)의 타측에 배치되고, 세정액이 제거된 다이스를 배출하는 다이스 배출부(40);
    상기 다이스 공급부(10)와 초음파 세정부(20) 사이의 상부에 배치되어, 상기 다이스 공급부에 공급된 다이스를 초음파 세정부(20)로 이송시키는 제1 이송부(70); 및
    상기 초음파 세정부(20)와 다이스 배출부(40) 사이의 상부에 배치되어, 상기 초음파 세정부에서 세정된 다이스를 세정액 제거부(30) 및 다이스 배출부(40)로 순차적으로 이송시키는 제2 이송부(80)
    를 포함하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다이스 자동 세정 장치(100)는
    상기 다이스 공급부(10)와 초음파 세정부(20) 사이에 위치하고, 다이스를 대기시키는 제1 대기대(50); 및
    상기 초음파 세정부(20)와 세정액 제거부(30) 사이의 상부에 위치하고, 다이스를 대기시키는 제2 대기대(60)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 이송부(70)는 상기 제1 대기대(50)에 대기 중인 다이스를 초음파 세정부(20) 및 제2 대기대(60)로 순차적으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2 이송부(80)는 상기 제2 대기대(60)에 대기 중인 다이스를 세정액 제거부(30) 및 다이스 배출부(40)로 순차적으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  5. 제1항에 있어서,
    상기 다이스 공급부(10)는
    다이스 투입부(12);
    상기 다이스 투입부(12)의 상부에 위치하고, 다이스를 장착시키는 다이스 장착대(15);
    상기 다이스 장착대(15)의 수평방향으로 위치하고, 다이스를 제1 대기대(50)로 밀어주는 제1 푸셔(Pusher)(13);
    상기 다이스 투입부(12)의 하부에 위치하고, 다이스를 제1 푸셔(13) 앞으로 밀어주는 제2 푸셔(14); 및
    일측이 상기 다이스 장착대(15)에 연결되고, 타측이 상기 제1 대기대(50)에 연결되어, 다이스의 이동 방향을 안내하는 가이드(Guide)(16)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  6. 제1항에 있어서,
    상기 초음파 세정부(20)는
    세정액이 담겨있는 세정조(21);
    상기 세정조(21)의 내부에 설치되고, 다이스를 고정시키는 제1 다이스 홀더(Dies holder)(22); 및
    상기 세정조(21)의 외부에 설치되고 세정액에 초음파를 발생시키는 초음파 발생기(23)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  7. 제1항에 있어서,
    상기 세정액 제거부(30)는
    다이스를 고정시키는 제2 다이스 홀더(31);
    상기 제2 다이스 홀더(31)의 상부에 설치되고, 다이스에 에어를 고압으로 분사하는 에어노즐(Air nozzle)(32)
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이송부(70)는
    상하로 움직일 수 있는 실린더(71); 및
    상기 실린더(71)의 하부에 연결되어 다이스를 잡고, 회전시키는 회전 그립퍼(Rotating gripper)(72)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2 이송부(80)는
    상하로 움직일 수 있는 실린더(81); 및
    상기 실린더의 하부에 연결되어 다이스를 잡는 에어 척(Air chuck)(82)
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  10. 제5항에 있어서,
    상기 제1 푸셔(13)에는 다이스의 유무를 감지하는 제1 센서가 설치되어있는 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
  11. 제2항에 있어서,
    상기 제1 대기대(50)에는 다이스의 유무를 감지하는 제2 센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 자동 세정 장치(100).
  12. 제2항에 있어서,
    상기 제2 대기대(60)에는 다이스의 유무를 감지하는 제3 센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 자동 세정 장치(100).
  13. 제7항에 있어서,
    상기 제2 다이스 홀더(31)의 구조는 메쉬(Mesh) 구조인 것을 특징으로 하는 다이스 자동 세정 장치(100).
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