KR20130097450A - 트레이와 다이 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수의 다이가 트레이 상에 적재된 상태에서 트레이와 다이를 동시에 세정하도록 구비되어 우수한 세정효과를 발휘하면서도 작업상의 편리함을 제공할 수 있는 트레이와 다이 세정장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 결합돌기(21)가 형성된 판형태의 트레이(20)에 상기 결합돌기(21)에 대응된 결합공(16)이 형성된 다이(10)가 다수개 적재된 상태의 피세정물을 일체로 투입하여 순차적으로 세정이 이루어지되, 상기 피세정물이 잠기도록 세정수가 충전됨과 동시에 이 세정수 상에서 초음파를 발생하도록 된 초음파 진동자(43,44)가 각각 구비된 밀폐구조의 제1 세정조(41) 및 제2 세정조(42)를 포함하는 세정수단(40)과; 상기 세정수단(40)으로부터 공급된 피세정물을 투입하여 헹굼과 건조가 이루어지도록 된 린스 및 건조조(71)와, 이 린스 및 건조조(71)에 연결되어 증기를 투입하도록 된 증기발생기(72) 및 진공을 형성하도록 된 진공펌프(73)를 포함하는 린스 및 건조수단(70)을 포함하여 이루어지며; 상기 세정수단(40)은 상기 각 세정조(41,42)에 수평방향으로 위치되는 회전축(46) 및 이 회전축(46)에 결합되어 상기 피세정물을 클램프한 상태로 회전시키도록 된 회전다이(47)와; 상기 제2 세정조(42)에 연결되어 세정수 상에 미세버블을 생성하도록 된 미세버블 생성기(45)가 구비된 트레이와 다이 세정장치가 제공된다.

Description

트레이와 다이 세정장치{Tray and die cleaning apparatus}
본 발명은 트레이와 다이 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 다이가 트레이 상에 적재된 상태에서 트레이와 다이를 동시에 세정하도록 구비되어 우수한 세정효과를 발휘하면서도 작업상의 편리함을 제공할 수 있는 트레이와 다이 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지 제조공정에서는 웨이퍼에서 절단된 반도체칩을 통상적으로 다이라 칭하는데, 이 다이는 인쇄된 기판 상에 본딩하는 제조과정을 통해 상호 전기적으로 접속시키게 된다.
이러한 본딩공정의 일례는 반도체칩을 기판에 안착시키는 다이 본딩과, 이 다이 본딩 이후에 반도체칩과 기판의 회로패턴을 와이어로 상호 결합하는 와이어 본딩을 행하는 것이다.
통상적으로 이러한 다이는 다양한 제조공정 중에 운반이 용이하도록 다수개가 트레이 상에 적재된 상태로 구비되는데, 이를 도 1에 의해 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같이, 개별적으로 절단된 다이(10)는 운반이 용이하도록 트레이(20) 상에 다수개가 적재되는데, 통상적으로 상기 트레이(20)는 상기 다이(10)를 거치하도록 다수의 결합돌기(21)이 돌출 형성되고, 상기 다이(10)에는 상기 결합돌기(21)에 대응된 결합공(11)이 형성되어 있다.
이러한 반도체 제조공정 중에는 통상적으로 공정 중에 발생된 이물질을 제거하기 위한 세정과정을 거치게 되는데, 종래에는 상기 다이(10)의 커팅공정이후에 별도의 세정작업을 행하기보다는 절단하는 과정에서 발생된 이물질을 에어 등에 의해 대략적으로 털어내는 정도의 제거작업을 행하는 것이 통상적이다.
그러므로 종래에는 트레이(20)나 다이(10)에 묻은 이물질을 완전하게 제거하지 못함으로 인해 민감하게 작동하는 반도체 장치에서 불량이 발생될 우려가 있는 것이다.
한국 등록특허공보(제10-0991430호) 2010. 10. 27.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 다수의 다이가 트레이 상에 적재된 상태에서 트레이와 다이를 동시에 세정하도록 구비되어 작업상의 편리함을 제공함과 동시에 생산성을 대폭적으로 증대시킬 수 있으며, 또한 트레이와 다이를 일체로 세정조에 투입하여 동시 세정이 가능할 뿐만 아니라 세정 및 건조시에 피세정물을 회전시킴으로 인해 우수한 세정효과를 발휘할 수 있는 트레이와 다이 세정장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 특징에 따르면, 결합돌기(21)가 형성된 판형태의 트레이(20)에 상기 결합돌기(21)에 대응된 결합공(16)이 형성된 다이(10)가 다수개 적재된 상태의 피세정물을 일체로 투입하여 순차적으로 세정이 이루어지되, 상기 피세정물이 잠기도록 세정수가 충전됨과 동시에 이 세정수 상에서 초음파를 발생하도록 된 초음파 진동자(43,44)가 각각 구비된 밀폐구조의 제1 세정조(41) 및 제2 세정조(42)를 포함하는 세정수단(40)과;
상기 세정수단(40)으로부터 공급된 피세정물을 투입하여 헹굼과 건조가 이루어지도록 된 린스 및 건조조(71)와, 이 린스 및 건조조(71)에 연결되어 증기를 투입하도록 된 증기발생기(72) 및 진공을 형성하도록 된 진공펌프(73)를 포함하는 린스 및 건조수단(70)을 포함하여 이루어지며;
상기 세정수단(40)은 상기 각 세정조(41,42)에 수평방향으로 위치되는 회전축(46) 및 이 회전축(46)에 결합되어 상기 피세정물을 클램프한 상태로 회전시키도록 된 회전다이(47)와;
상기 제2 세정조(42)에 연결되어 세정수 상에 미세버블을 생성하도록 된 미세버블 생성기(45)가 구비된 것을 특징으로 하는 트레이와 다이 세정장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 린스 및 건조조(71)에는 수직방향으로 위치되는 회전축(77) 및 이 회전축(77) 상에 수평방향으로 결합되어 상기 피세정물을 클램프한 상태에서 회전 원심력에 의해 탈수되도록 된 회전다이(78)가 구비된 것을 특징으로 하는 트레이와 다이 세정장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 제1 세정조(41)에는 진공흡입에 의해 세정수에 포함된 공기를 탈기할 수 있도록 상기 진공펌프(73)와 이에 연결된 흡기라인(41b)이 결합된 것을 특징으로 하는 트레이과 다이 세정장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 각 세정조(41,42)에는 세정수를 공급하도록 된 세정수탱크(50)가 연결되고, 상기 각 세정조(41,42) 중에서 적어도 제2 세정조(42)는 세정시에 상기 세정수탱크(50)에 의해 상기 피세정물이 완전하게 잠기도록 세정수를 공급하고, 세정후에 상기 피세정물이 노출되도록 세정수의 수위를 조절하도록 밸브(53)를 포함한 수위조절수단(51)이 구비된 것을 특징으로 하는 트레이와 다이 세정장치가 제공된다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 세정수 상에 초음파를 발생하도록 된 초음파 진동자(43,44)가 각각 구비된 제1 세정조(41)와 제2 세정조(42)를 포함하여 이루어지고, 상기 제2 세정조(42)에는 세정수 상에 미세버블을 생성하도록 된 미세버블 생성기(45)가 구비됨으로써, 상기 초음파 진동자(44)와 미세버블 생성기(55)에 의한 수공진으로 미세한 크기의 버블이 생성됨과 동시에 이 미세버블 생성으로 인해 상기 제2 세정조(42)의 전체에 걸쳐 초음파의 전달이 용이하여 피세정물에 묻은 이물질을 제거하는 탁월한 세정효과를 발휘할 수 있는 장점이 있다.
또한 상기 미세버블 생성기(45)에 의한 탁월한 세정효과를 발휘함에 따라 트레이(20) 상에 다수의 다이(10)를 적재한 상태에서 트레이(20)와 다이(10)를 일체로 세정조(41,42)에 투입한 경우에도 우수한 세정효과를 발휘할 수 있을 뿐만 아니라 트레이(20) 상에 다이(10)를 적재한 상태로 동시 세정이 가능하여 작업상의 편리함 및 생산성의 증대효과를 발휘할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 각 세정조(41,42) 내에 피세정물을 적재한 상태에서 회전시킬 수 있도록 회전축(46)과 회전다이(47)가 구비됨으로써, 전술된 바와 같은 미세버블 생성기(45)에 의한 수공진에 따른 세정작용에 더하여 상기 피세정물이 회전됨에 따라 세정수의 수격작용에 의해 미세한 틈새의 이물질을 용이하게 제거하여 보다 우수한 세정효과를 발휘할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 린스 및 건조조(71) 내에 피세정물을 적재한 상태에서 회전시키도록 구비됨으로써, 회전 원심력에 의해 피세정물에 잔존하는 물기를 탈수시킴으로 인해 건조시간을 단축시킴과 동시에 건조효과를 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 상기 제1 세정조(41)에 내부의 세정수 중에 포함된 공기를 제거할 수 있도록 진공펌프(73) 및 이에 연결된 흡기라인(41b)이 결합됨으로써, 세정수 중에 포함된 공기를 탈기함으로 인해 세정수 내에서 초음파의 전달을 증대시켜 세정효과를 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 세정수탱크(50)로부터 세정조(41,42)에 공급되는 세정수의 수위를 조절하도록 수위조절수단(51)이 구비됨으로써, 세정후에 피세정물의 상부 일부가 노출되도록 세정수의 일부를 교환하여 세정과정에서 세정수에 포함된 이물질을 부분적으로 배출함으로 인해 세정수의 순도를 일정 수준 이상으로 유지하여 세정효과를 지속시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 일반적인 피세정물의 일례를 도시한 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예를 도시한 정면도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 구성의 요부를 도시한 구성도
상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정면도와 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명은 피세정물을 다단계에 걸쳐 세정할 수 있도록 제1 세정조(41)와 제2 세정조(42)를 포함한 세정수단(40)이 구비되고, 이 세정수단(40)의 후단에는 전단계에서 세정된 피세정물을 헹군 후에 건조하도록 린스 및 건조조(71)를 포함하는 린스 및 건조수단(70)이 구비되어 있다.
이러한 본 발명의 구성에 세정되는 피세정물은 도 1에 도시된 바와 같이 판형태의 다이(10)를 직사각형의 판형태로 된 트레이(20) 상에 다수개 적재된 상태에서 상기 트레이(20)와 다이(10)가 일체로 상기 각 세정조(41,42)와 린스 및 건조조(71)에 투입되고, 이에 의해 상기 트레이(20)과 다이(10)가 동시에 세정된 후에, 헹굼과 건조가 순차적으로 이루어지도록 된 것이다.
이러한 구성에 있어서, 상기 세정수단(40)과 린스 및 건조수단(70)은 본체(31) 상에 일직선상으로 배치되어 세정과 건조작업을 순차적으로 행할 수 있도록 구비되는 것이 바람직하며, 상기 본체(31)에는 일측에 투입부(32)가 형성됨과 동시에 타측에 배출부(33)가 형성되어 피세정물의 투입과 배출이 가능하도록 구비되고, 상기 투입부(32)와 배출부(33) 사이에 상기 세정수단(40)과 린스 및 건조수단(70)이 일렬로 배치되며, 상기 본체(31)의 상부측에는 피세정물을 자동적으로 이동시키도록 된 픽업수단(34)이 구비되어 있다.
보다 상세하게는 상기 투입부(32)와 배출부(33)에는 상기 피세정물의 투입과 배출이 용이하도록 이송라인(35,36)이 형성되고, 상기 픽업수단(34)은 상기 피세정물을 이동시키도록 상하로 승강되는 승강수단(37)과 이 승강수단(37)을 수평방향으로 이동시키도록 된 수평이동수단(도시되지 않음)을 포함하여 이루어지는데, 상기 픽업수단(34)은 필요에 따라 다수개가 구비될 수 있는 것이다.
또한 상기 승강수단(37)의 하단에는 피세정물을 매달 수 있도록 된 걸림고리(38)가 구비되고, 상기 본체(31)에는 프레임 상에 상기 픽업수단(34)이 수평방향으로 이동 가능하도록 가이드레일(39)이 형성되는데, 상기 매거진(20)에는 상단부에 상기 걸림고리(38)가 끼워지도록 된 걸림홈이나 걸이가 형성될 수 있는 것이다.
이러한 본 발명에 따른 세정수단(40)과 린스 및 건조수단(70)의 구체적인 구성과 그에 따른 작동방법을 도 3을 더하여 설명하면 다음과 같다. 도시된 바와 같이, 상기 세정수단(40)은 상기 피세정물을 1차적으로 세정하도록 된 제1 세정조(41)와, 이 제1 세정조(41)의 후단에 구비되어 상기 피세정물을 재차 세정하도록 된 제2 세정조(42)를 포함하여 구성되는데, 상기 각 세정조(41,42)에는 상기 피세정물이 잠기도록 된 세정수가 충전됨과 동시에 이 세정수 상에서 초음파를 발생하도록 된 초음파 진동자(43,44)가 구비되어 있다.
여기에서 상기 제1 세정조(41)에 의해서는 종래의 초음파 세정에 유사하게 초음파 진동자(43)에 의한 초음파가 세정수에 파동을 일으켜 상기 피세정물의 표면에 묻은 이물질을 일부 제거하게 된다. 바람직하게는 제1 세정조(41)에는 진공펌프(73)와 이에 연결되는 흡기라인(41b)이 결합되는데, 이는 상기 제1 세정조(41) 내에 피세정물을 투입한 상태에서 상단의 커버(41a)가 밀폐되도록 한 후에, 상기 진공펌프(73)에 의해 상기 제1 세정조(41)의 내부를 진공을 형성함과 동시에 그에 충전된 세정수에 포함된 공기를 흡입하게 된다.
이러한 구성에 의해 세정수 중에 포함된 공기를 탈기하게 되면, 세정수 상에서 초음파의 전달이 보다 용이해질 뿐만 아니라 이로 인해 초음파에 의한 피세정물 상의 이물질을 제거하는 효과를 높일 수 있게 된다.
한편, 상기 제2 세정조(42)에는 세정수 상에 미세버블을 생성하도록 된 미세버블 생성기(45)가 결합되어 있는데, 이 미세버블 생성기(45)는 상기 제2 세정조(42)의 세정수가 일부 통과되도록 구비되어 세정수를 소정의 주파수로 진동시킨 상태로 상기 제2 세정조(42) 내에 투입하게 되는데, 이때에 상기 제2 세정조(42) 내의 초음파 진동자(44)에 의해 소정의 주파수로 진동되는 세정수와 상기 미세버블 생성기(45)로부터 소정의 주파수로 투입되는 세정수가 수공진(Water resonance)을 하도록 구비되며, 이로 인해 상기 제2 세정조(42) 내에서는 수공진에 의한 세정수의 진동이 증폭되어 입자가 마이크로 또는 나노 단위로 작은 미세버블을 형성함과 동시에 수공진에 따른 충격파에 의해 세정작용의 효과을 증대시키게 된다.
전술된 바와 같은 미세버블의 생성에 따르면, 상기 제2 세정조(42)의 바닥면에 위치된 초음파 진동자(44)에 의한 초음파를 세정조(42) 내의 전체에 걸쳐 균일하게 작용 가능하게 할 뿐만 아니라 수공진에 의한 미세버블의 충격파로 인해 세정수 전체에 걸쳐 강한 세정효과를 발휘할 수 있게 된다.
또한 상기 각 세정조(41,42) 내에는 그에 투입되는 피세정물을 클램프한 상태로 회전시킬 수 있도록 회전수단이 구비되는데, 이 회전수단은 상기 세정조(41,42)의 일측에 수평방향으로 연장되는 회전축(46)과 이 회전축(46)을 구동하는 구동모터가 구비되고, 상기 회전축(46)에는 대략적으로 상기 트레이(20)의 단면형상에 대응된 회전다이(47)가 결합되며, 이 회전다이(47)에는 상기 트레이(20)를 클램프하는 고정수단(48)이 구비된 것으로, 이러한 회전수단은 세정시에 상기 피세정물을 상기 회전축(46)을 중심으로 회전시켜 세정수의 수격작용에 의해 트레이(20)와 그에 적재된 다이(10)로부터 이물질을 분리해 내는 데에 효과를 발휘하게 된다.
한편, 상기 각 세정조(41,42)에 공급되는 세정수는 수중의 이물질을 제거한 초순수를 사용하는 것으로, 이러한 초순수는 상기 각 세정조(41,42)에 연결되는 세정수탱크(46)에 의해 공급되도록 구비된다. 또한 각 세정조(41,42)는 세정시에 상기 트레이(20)을 포함한 피세정물 전체가 잠기도록 세정수를 충전하게 되는데, 세정후에는 상기 각 세정조(41,42)에 충전된 세정수의 일부를 배출하게 되고, 이후에 새로운 피세정물이 투입될 때에 상기 세정수탱크(50)로부터 세정수를 공급받아 상기 피세정물이 완전하게 잠길 수 있도록 하게 된다.
이는 피세정물의 세정시에 세정수에 포함되는 이물질을 일부 배출함으로 인해 세정수의 순도를 일정하게 유지하여 세정효과를 증대시킴과 동시에 세정수 전체를 일시적으로 교환함에 따른 대기시간을 최소화하여 지속적인 세정작업을 행하여 생산성을 증대시키기 위함이다.
또한 전술된 바와 같이 각 세정조(41,42)의 수위를 조절하기 위해 수위조절수단(51)이 구비되는데, 이 수위조절수단(51)은 상기 각 세정조(41,42)에 연결되는 배출관(52)과 이 배출관(52)의 유로를 개폐하도록 된 밸브(53) 및 이 밸브(53)의 작동을 제어하도록 된 컨트롤러(도시되지 않음) 등을 포함하여 이루어질 수 있는 것이다.
또한 상기 수위조절수단(51)에 의해 각 세정조(41,42)의 수위를 조절함에 있어서, 세정시에는 피세정물 전체가 잠기도록 하고, 세정후에는 상기 피세정물이 노출되도록 하는 것이 바람직한데, 이는 상기 피세정물을 픽업수단(34)에 의해 픽업할 때에 상기 픽업수단(34)의 픽업동작이 상기 초음파진동자(43,44)와 미세버블 생성기(45)에 의한 세정수의 출렁거림 또는 압력 등에 의해 방해됨이 없이 정확하게 이루어질 수 있고, 또한 피세정물의 픽업시에 세정수가 세정조(41,42)의 외부로 튀는 것을 방지함과 동시에 피세정물로부터 신속하게 세정수가 배출될 수 있는 효과를 가지게 된다.
한편, 상기 린스 및 건조수단(70)은 상기 세정수단(40)에 의해 세정이 완료된 피세정물을 투입하도록 된 린스 및 건조조(71)가 구비되는데, 상기 린스 및 건조조(71)에 투입된 피세정물은 증기에 의한 헹굼과 진공에 의한 건조가 이루어지게 되는데, 이를 위해 상기 린스 및 건조조(71)에는 증기발생기(72)와 진공펌프(73)가 각각 연결되어 있다.
바람직하게는 상기 린스 및 건조조(71)의 전단에는 상기 세정수단(40)에 의해 세정이 완료된 피세정물로부터 물기를 미리 제거하도록 된 예비건조수단(60)이 구비될 수 있는데, 이 예비건조수단(60)은 피세정물을 투입할 수 있는 예비건조조(61)와 이 예비건조조(61) 내에 구비되어 에어나 초순수 등을 분사할 수 있도록 된 분사노즐(62)을 포함할 수 있으며, 상기 예비건조조(61)에는 전술된 바와 같이 피세정물을 클램프한 상태로 회전시킬 수 있는 회전수단이 구비될 수 있는 것이다.
이러한 구성에 의해, 상기 예비건조조(61)에 피세정물이 투입되면 상기 회전수단에 의해 피세정물을 회전시킨 상태에서 상기 분사노즐(62)에 의해 에어나 초순수를 분사하여 피세정물 상의 큰 물방울을 제거하게 되고, 이후에 상기 린스 및 건조수단(70)으로 피세정물을 공급하게 된다.
한편 상기 린스 및 건조수단(70)은 상기 린스 및 건조조(71) 내에 피세정물을 투입한 상태에서 상기 진공펌프(73)에 의해 상기 린스 및 건조조(71) 내부를 진공상태로 감압시킴과 동시에 상기 증기발생기(72)에 의해 발생된 증기를 투입하게 되는데, 상기 린스 및 건조조(71)에 투입된 증기는 응축수로 상변화되어 상기 피세정물을 헹구는 증기린스 효과를 발휘하게 되며, 상기 진공펌프(73)에 의해 지속적으로 린스 및 건조조(71) 내부를 진공상태로 감압시키게 되면 증기의 상변화에 따른 잠열에 의한 건조효율을 증대시키게 된다.
여기에서, 상기 진공펌프(73)의 전단에는 상기 린스 및 건조조(71)로부터 흡입되는 증기로부터 수분을 제거하도록 응축기(74)가 더 부가될 수 있으며, 상기 린스 및 건조조(71)에는 응축수를 배출하기 위한 드레인밸브(75)가 구비된 드레인관(76)이 연결될 수 있는 것이다.
또한 상기 린스 및 건조조(71)의 내부에는 상기 피세정물로부터 물기를 탈수시킬 수 있도록 된 회전수단이 구비되는데, 이 회전수단은 상기 린스 및 건조조(71) 내에 수직방향으로 설치되는 회전축(77) 및 이 회전축(77)을 구동하는 구동모터와, 상기 회전축(77) 상에 수평방향으로 결합되는 회전다이(78)를 포함하여 이루어지고, 이 회전다이(78)는 대략 상기 트레이(20)의 단면형상에 대응되도록 형성되어 고정수단(79)에 의해 트레이(20)를 클램프하도록 구비되어 있다.
이러한 회전수단에 의하면, 상기 피세정물을 수평방향으로 회전시킴으로 인해 회전 원심력에 의해 피세정물 상의 물기를 효과적으로 탈수시킬 수 있을 뿐만 아니라 이로 인해 건조시간을 대폭적으로 단축시킴과 동시에 건조효과를 높일 수 있는 효과를 가지게 된다.
이상에서 설명되지 않은 부호는 상기 제2 세정조(42)로부터 배출되는 세정수를 저장하도록 된 탱크(45a)를 나타낸 것으로, 이 탱크(45a)에 충전된 세정수는 필터(45b)를 통해 상기 미세버블 생성기(45)로 투입 가능하도록 연결된 것이다.
또한 다른 부호는 상기 제2 세정조(42), 예비건조조(61), 린스 및 건조조(71)의 상단을 개폐하도록 된 커버(42a,61a,71a)와 상기 흡기라인(41b)에 구비된 밸브(41c)를 나타낸 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

Claims (4)

  1. 결합돌기(21)가 형성된 판형태의 트레이(20)에 상기 결합돌기(21)에 대응된 결합공(16)이 형성된 다이(10)가 다수개 적재된 상태의 피세정물을 일체로 투입하여 순차적으로 세정이 이루어지되, 상기 피세정물이 잠기도록 세정수가 충전됨과 동시에 이 세정수 상에서 초음파를 발생하도록 된 초음파 진동자(43,44)가 각각 구비된 밀폐구조의 제1 세정조(41) 및 제2 세정조(42)를 포함하는 세정수단(40)과;
    상기 세정수단(40)으로부터 공급된 피세정물을 투입하여 헹굼과 건조가 이루어지도록 된 린스 및 건조조(71)와, 이 린스 및 건조조(71)에 연결되어 증기를 투입하도록 된 증기발생기(72) 및 진공을 형성하도록 된 진공펌프(73)를 포함하는 린스 및 건조수단(70)을 포함하여 이루어지며;
    상기 세정수단(40)은 상기 각 세정조(41,42)에 수평방향으로 위치되는 회전축(46) 및 이 회전축(46)에 결합되어 상기 피세정물을 클램프한 상태로 회전시키도록 된 회전다이(47)와;
    상기 제2 세정조(42)에 연결되어 세정수 상에 미세버블을 생성하도록 된 미세버블 생성기(45)가 구비된 것을 특징으로 하는 트레이와 다이 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 린스 및 건조조(71)에는 수직방향으로 위치되는 회전축(77) 및 이 회전축(77) 상에 수평방향으로 결합되어 상기 피세정물을 클램프한 상태에서 회전 원심력에 의해 탈수되도록 된 회전다이(78)가 구비된 것을 특징으로 하는 트레이와 다이 세정장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 세정조(41)에는 진공흡입에 의해 세정수에 포함된 공기를 탈기할 수 있도록 상기 진공펌프(73)와 이에 연결된 흡기라인(41b)이 결합된 것을 특징으로 하는 트레이과 다이 세정장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 각 세정조(41,42)에는 세정수를 공급하도록 된 세정수탱크(50)가 연결되고, 상기 각 세정조(41,42) 중에서 적어도 제2 세정조(42)는 세정시에 상기 세정수탱크(50)에 의해 상기 피세정물이 완전하게 잠기도록 세정수를 공급하고, 세정후에 상기 피세정물이 노출되도록 세정수의 수위를 조절하도록 밸브(53)를 포함한 수위조절수단(51)이 구비된 것을 특징으로 하는 트레이와 다이 세정장치.
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