KR101436310B1 - 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치 - Google Patents

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    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4407—Cleaning of reactor or reactor parts by using wet or mechanical methods
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Abstract

본 발명은 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치에 관한 것으로, 그 주된 목적은 디퓨져의 분배홀에 축적된 이물질을 용이하게 제거함으로서, 작업능률을 향상시키고, 독성물질에 중독되는 안전사고를 예방하는 것이다.
이러한 목적을 이루기 위한 본 발명은,
로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치에 관한 것으로,
상기 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치는,
로봇 아암에 장착이 용이하도록 방사상으로 다수의 체결공이 형성된 고정판과;
상기 고정판의 상단에 직각방향으로 구비된 제 1연결부재와;
상기 제 1연결부재 단부와 결합되는 제 2연결부재와;
상기 제 2연결부재의 단부와 결합되는 베이스와;
상기 베이스의 길이방향으로 구비되는 세정용 지그로 이루어진다.
이에 따라, 디퓨져의 분배홀에 축적된 이물질을 용이하게 제거함으로서, 작업능률을 향상시키고, 독성물질에 중독되는 안전사고를 예방하는 이점이 있다.

Description

로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치{A DIFFUSER CLEANING EQUIPMENT FOR ROBOT ARM JOINT}
본 발명은 디퓨져 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디퓨져 분배홀에 축적된 이물질의 제거가 용이하도록 로봇 아암에 장착하여 사용하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 기판을 증착하는 플라즈마 증착장치(10)(이하, "증착장치"라 칭한다)에 대해서는 여러가지가 알려져 오고 있다.
예를 들면, 도 1에 도시한 바와 같은 증착장치(1)가 그 대표적인 것으로, 그 내용은 다음과 같다.
도시한 바를 참조하면, 증착장치(1)는 챔버(11)의 하측 중심에 다수의 기판(12)이 구비된 서셉터(13)가 마련되는데, 이 서셉터(13)의 내부에는 히터(미도시)가 구비된다.
이와 같은, 서셉터(13)의 상측에는 증착공정가스가 공급되는 백킹 플레이트(14)가 구비되고, 이 백킹 플레이트(14)에서 공급된 공정가스를 샤워식으로 분배하도록 디퓨저(15)가 마련된다.
상기한 디퓨져(15) 표면에는 공정가스를 샤워식으로 분배할 수 있도록 무수히 많은 분배홀(15a)이 형성되는데, 이 분배홀(15ａ)에 이물질(“Ｗ”표시참조)이 축적될 경우, 공정가스의 분배 효율이 떨어짐과 동시에 상술한 증착공정에서 생산되는 제품에 치명적인 결함으로 작용함으로, 주기적으로 이물질을 제거해야 한다.
그러나, 종래에는 상기한 분배홀에 이물질을 제거하기 위해 한사람의 작업자가 도시하지 않은 스프레이 노즐을 이용하여 이물질을 제거하는 과정에서, 이물질의 제거효율이 떨어짐과 동시에 생산성 또한 떨어지는 문제가 있었다.
또한, 상기한 분배홀에 축적된 이물질이 독성을 함유한 물질이기 때문에 이물질을 제거하는 작업자가 독성물질에 중독되는 안전사고가 다발하는 문제가 있었다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 디퓨져의 분배홀에 축적된 이물질을 용이하게 제거함으로서, 작업능률을 향상시키고, 독성물질에 중독되는 안전사고를 예방하는데 있다.
이와 같은 목적으로 이루어진 본 발명은,
로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치에 관한 것으로,
상기 디퓨져 세정장치는;
로봇 아암에 장착이 용이하도록 방사상으로 다수의 체결공이 형성된 고정판과;
상기 고정판의 상단에 직각방향으로 구비된 제 1연결부재와;
상기 제 1연결부재 단부와 결합되는 제 2연결부재와;
상기 제 2연결부재의 단부와 결합되는 베이스와;
상기 베이스의 길이방향으로 구비되는 세정장치로 이루어진다.
또한, 상기 제 1연결부재는,
상기 고정판 상측에 수평방향으로 구비된 제 1지지구와, 상기 제 1지지구의 단부에 수직방향으로 구비되는 제 2지지구와, 상기 제 2지지구 상단에 구비된 너트로 이루어진다.
또한, 상기 제 2연결부재는,
제 2지지구 상단의 너트와 나사결합 하도록 형성된 제 1나사부와, 상기 제 1나사부와 대칭형으로 구비된 제 2나사부로 이루어진다.
또한, 상기 베이스는,
상기 제 2나사부와 나사결합하도록 하단에 너트가 구비된 수직봉과, 상기 수직봉의 상측에 구비된 지지 플레이트로 이루어진다.
또한, 상기 지지 플레이트는 단면상 호형으로 절곡되며, 양측 길이방향으로 적어도 하나 이상의 관통공이 형성된다.
또한, 상기 세정장치는,
원통형 일단 내주에 형성된 나사부와, 상기 나사부 일측에 링형으로 형성된 스토퍼와, 상기 스토퍼의 일측에 지지 플레이트의 관통공과 수직상으로 중심이 일치하도록 형성되는 제 1탭과, 상기 제 1탭의 각 90도 방향으로 형성된 제 2탭으로 이루어진다.
이와 같이, 본 발명에 따른 디퓨져 세정장치에 의하면, 디퓨져의 분배홀에 축적된 이물질을 용이하게 제거함으로서, 작업능률을 향상시키고, 독성물질에 중독되는 안전사고를 예방하는 효과가 있다.
도 1은 도 1은 플라즈마 증착장치를 보인 일측 단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 디퓨져 세정장치의 구성을 보인 분해사시도이고,
도 3은 도 2 "A"방향에서 바라본 일측면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 디퓨져 세정용 지그의 작용을 보인 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치(10)(이하, "세정장치"라 칭한다)는 고정판(100)과 제 1, 2연결부재(200)(300)와 베이스(400)와 세정용 지그(500)로 대별된다.
고정판(100)은 원반형(圓盤形)으로 형성되며, 로봇아암(20)의 단부에 마련된 탭(미도시)과 장착이 용이하도록 방사상으로 다수의 체결공(410)이 형성된다.
제 1연결부재(200)는 원형관으로 이루어진 제 1, 2지지구(210)(230)와 너트(250)로 이루어지는데, 제 1지지구(210)는 상기한 고정판(100)의 상측에 수평방향으로 장착된다.
이 제 1지지구(210)의 단부에 수직방향으로 제 2지지구(230)가 구비되며, 이 제 2지지구(230)의 상단에 너트(250)가 구비된다.
제 2연결부재(300)는, 제 1, 2나사부(310)(330)가 상호 대칭형 일체로 구비되는 구성으로서, 이 제 1, 2나사부(310)(330)의 중간부분에 도시하지 않은 스패너(Spanner)에 의해 용이하게 조일 수 있도록 평면부(301)가 대칭형으로 형성되어 있다.
베이스(400)는, 후술하는 세정용 지그(500)와 결합이 용이하도록 구비되는 것으로서, 수직봉(410)과 지지 플레이트(430)로 이루어진다.
수직봉(410)은 상기한 제 2연결부재(300)의 제 2나사부(330)와 나사결합이 용이하도록 하단에 너트(411)가 구비되어 있다.
이 수직봉(410)의 상측에 지지 플레이트(430)가 구비된다.
지지 플레이트(430)는 철판을 일측에서 바라볼 때, 호형(弧形)으로 절곡하며, 그 절곡된 양측 길이방향으로 적어도 하나 이상의 관통공(431)이 형성되어, 후술하는 세정용 지그(500)와의 장착이 용이하도록 하였다.
이 지지 플레이트(430)의 상측 길이방향으로 세정용 지그(500)가 구비되는데, 이 세정용 지그(500)는 나사부(510)와 스토퍼(530)와 제 1, 2탭(550)(570)으로 이루어진다.
도시한 바와 같이, 세정용 지그(500)는 원통형 일단의 내경에 나사부(510)가 형성되며, 이 나사부(510)의 일측, 다시 말해서 단면으로 도시한 중간 부분에 단턱으로 스토퍼(530)가 형성되어 있다.
이 스토퍼(530)는 후술하는 분사노즐(21)의 고무호스(23)가 더 이상 진입하지 못하도록 막아주는 역할을 하는 것이다.
다시 말해서, 상기한 나사부(510)는 분사노즐(21)과 결합하도록 형성되며, 이 나사부(510)의 대향하는 타측으로 고무호스(23)가 삽입되며, 이 고무호스(23)의 단부가 스토퍼(530)에 의해 과도한 진입이 방지된다.
한편, 이 스토퍼(530)의 일측으로 제 1, 2탭(550)(570)이 구비된다.
제 1탭(550)은 도 2에 도시한 방향을 기준하여 하측에 형성되며, 상기한 지지 플레이트(430)의 관통공(431)과 수직상으로 중심이 일치하는 위치에 형성됨으로써 볼트 체결이 용이하도록 하였다.
이 제 1탭(550)의 상측 각 90도 방향으로 제 2탭(570)이 형성되어 있다.
제 2탭(570)은 상기한 나사부(510)에 대향하는 방향으로 삽입되는 고무호스(23)가 이탈하지 않도록 고정하는 볼트(BT)를 체결할 수 있도록 형성되는 것이다.
상술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 세정장치(10)는 도 4에 도시한 바와 같이, 로봇아암(20)에 장착하고, 도시하지 않은 컴프레서에서 공급되는 압축공기와 약품을 상기한 분사노즐(23)을 통해 고압으로 배출하면, 디퓨져(15)의 분배홀(15a)에 축적된 이물질이 제거된다.
이상에서 상세하게 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 세정장치(10)를 통해, 디퓨져의 분배홀에 축적된 이물질을 용이하게 제거함으로서, 인력에 의한 작업이 아니기 때문에 작업효율이 향상되고, 작업자의 안전사고가 예방된다.
본 발명은 상술한 특정 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변형실시는 본 발명의 청구범위 기재 범위 내에 있게 된다.
10 : 세정장치 100 : 고정판
200, 300 : 제 1, 2연결부재 400 : 베이스
500 : 세정용 지그

Claims (6)

  1. 로봇 아암에 장착이 용이하도록 방사상으로 다수의 체결공이 형성된 고정판과;
    상기 고정판의 상단에 직각방향으로 구비된 제 1연결부재와;
    상기 제 1연결부재 단부와 결합되는 제 2연결부재와;
    상기 제 2연결부재의 단부와 결합되는 베이스와;
    상기 베이스의 길이방향으로 구비되는 세정용 지그로 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1연결부재는, 상기 고정판 상측에 수평방향으로 구비된 제 1지지구와, 상기 제 1지지구의 단부에 수직방향으로 구비되는 제 2지지구와, 상기 제 2지지구 상단에 구비된 너트로 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2연결부재는, 제 2지지구 상단의 너트와 나사결합 하도록 형성된 제 1나사부와, 상기 제 1나사부와 대칭형으로 구비된 제 2나사부로 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스는, 제 2나사부와 나사결합하도록 하단에 너트가 구비된 수직봉과, 상기 수직봉의 상측에 구비된 지지 플레이트 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지 플레이트는, 단면상 호형으로 절곡되며, 양측 길이방향으로 적어도 하나 이상의 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 세정장치는, 원통형 일단 내주에 형성된 나사부와, 상기 나사부 일측에 링형으로 형성된 스토퍼와, 상기 스토퍼의 일측에 지지 플레이트의 관통공과 수직상으로 중심이 일치하도록 형성되는 제 1탭과, 상기 제 1탭의 각 90도 방향으로 형성된 제 2탭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 로봇아암 연결용 디퓨져 세정장치.
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JP2005146586A (ja) 2003-11-13 2005-06-09 Sanki Eng Co Ltd 路面灯または反射鏡のガラス面洗浄方法とその洗浄システム
KR20080020107A (ko) * 2006-08-30 2008-03-05 주식회사 한힘테크놀러지 고속회전식 분사노즐을 구비한 여과용지용 표면세척기

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